【課題】バリア放電性能に優れ、屋外環境下やプラズマ放電下でも長期使用可能な絶縁層を有する気流発生装置を提供する。
【解決手段】第１の電極と、前記第１の電極上において、前記第１の電極の端部が露出するようにして積層された、シロキサン結合を主体とするシリカ系無機ポリマーを含む絶縁層と、前記絶縁層上に積層された第２の電極と、を具えるようにして、気流発生装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】異常放電が少なく、長時間安定的に放電可能なプラズマ処理用マグネトロン電極、及び異常放電に伴うダスト発生を抑制した成膜方法を提供する。
【解決手段】カソードケース１０１の開口部にバッキングプレート１０３を設け、その上にターゲット１０２が設けられ、カソードケースの中央部に主磁石１０５がターゲット側がＳ極の向きで設けられ、主磁石を取り囲むように補助磁石１０６がＮ極向きで設けられる。第二電極１０４を、第一電極１０１，１０２，１０３の外側磁極１１１の内側端部よりも外側か、または磁束密度の低い部分にのみ設ける。 （もっと読む）

【課題】活性種の生成量を増やすとともに誘電体膜に結露や水分付着が起こりにくくする。
【解決手段】対向面の少なくとも一方に誘電体膜を設けた一対の電極を有し、それら電極間に所定電圧が印加されてプラズマ放電するものにおいて、前記誘電体膜の表面にコーティング層が設けられている。 （もっと読む）

【課題】活性種の生成量を増やすとともに、誘電体膜に結露や水分付着が起こりにくくする又は誘電体膜に結露又は付着した水分を除去するプラズマ発生装置及びプラズマ発生方法を提供する。
【解決手段】対向面に誘電体膜２１ａ、２２ａを設けた一対の電極２１、２２を有するプラズマ電極部を備え、それら電極２１、２２間に所定電圧が印加されてプラズマ放電するものにおいて、各電極２１、２２の対応する箇所にそれぞれ流体流通孔を設けてこれらが貫通するように構成するとともに、プラズマ電極部に発熱体６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】凸凹が大きい立体的形状を含むような基材も含め、大気圧状態でも短時間で均一に被膜を形成することができる被膜形成装置及び被膜形成方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る被膜形成装置１及び被膜形成方法は、希釈ガス供給管２の内部に設けられた導電体の細棒部材が希釈ガス供給管２の内部を優れた共振系とするため、リング状共振器６からスリット６１を介して３６０°方向から照射されたマイクロ波により希釈ガス供給管２の内部に表面波プラズマを形成し、プラズマ化された希釈ガスが混合器７に導入され、原料ガスと混合されることにより、大気圧状態であっても原料ガスのプラズマ化が効率よく行われる。そして、プラズマ化された原料ガスを基材Ｓに噴射することにより、基材Ｓを均一に処理することができ、被膜形成が効率よくかつ安定して行われることになる。 （もっと読む）

【課題】電極と誘電体の間における接合強度や誘電体の絶縁耐力に優れ、十分な気流発生効果を発揮することができる気流発生装置を提供する。
【解決手段】気流発生装置１１は、第１の誘電層３１および第２の誘電層３２の異なる２つの誘電層を積層して構成され、第１の誘電層３１および第２の誘電層３２の少なくとも一方が可撓性材料からなる誘電体と、第１の誘電層３１の表面に設けられた第１の電極２３と、第２の誘電層３２の、第１の誘電層側とは異なる側の表面に設けられた第２の電極２４とを備える。そして、第１の電極２３と第２の電極２４との間に電圧を印加して、第１の誘電層３１の表面に接する気体の一部をプラズマ化することにより気流を発生させる。 （もっと読む）

【課題】プラズマを遠方まで導くことができ、カソード物質の流出を抑制させるプラズマ源及び成膜装置を提供する。
【解決手段】プラズマを前面側から照射するカソード４と、カソード４の背面側に配置された背面磁石５と、カソード４の外周を取り囲むように配置された外周磁石６とを有するプラズマ源１において、カソード４には、このカソード４の前面側に開口した中空部３が設けられ、背面磁石５及び外周磁石６は、カソード４側に対面する磁極がすべて同極とされている。 （もっと読む）

【課題】耐絶縁性を向上させながらも、低電圧で安定的にプラズマ放電を行うためのプラズマ電極を提供する。
【解決手段】複数の貫通孔を有する金属基板２枚が平行に配設されたプラズマ電極１０であって、該金属基板１３，１４の対向する面には、ブラスト加工、エッチング、プレス、電鋳加工などの表面加工により１〜５００μｍの凹凸が形成され、その上にコーティング層１６が形成されており、前記２枚の金属基板に形成された貫通孔１１，１２は、その表面にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、Ｓｉ０_２などの絶縁膜１７が形成されている。コーティング層１６は、金属基板１３，１４の上にＢａＴｉＯ_３などの強誘電体薄膜が形成されたものであることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】気体通路内にバルブ等の可動部を設けることなく、気体通路内の流れを制御可能とする。
【解決手段】気体が通流する内燃機関の気体通路１１内にプラズマアクチュエータ１を設け、その電気的作用によって気体通路１１内の気体の流れを変化させる。このプラズマアクチュエータ１は、気体通路１１内に露出して配置される表面電極２と、この表面電極２と誘電体４を挟んで配置される裏面電極３と、を有し、これら表面電極２と裏面電極３との間に交流電圧を印加することによって、誘電体４のバリア放電により、表面電極２から裏面電極３へ向かうブローイング力９を発生させて、気体通路１１内の気体の流れを変化させる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理により、被処理物を覆う被覆を被処理物表面の酸化を抑制しつつ選択的かつ高速で除去する。
【解決手段】被覆除去装置１は、大気圧プラズマ照射部１５を備える。大気圧プラズマ照射部１５は、不活性ガスの誘導結合型プラズマからなる一次プラズマ４６を吹き出す放電管３３と、第２の不活性ガスと反応性ガスの混合ガス領域と一次プラズマ４６が衝突されることによりプラズマ化した混合ガスから成る二次プラズマ４７を発生する混合器４１を備える。二次プラズマ４７がマスク２２を介して線材２に照射され、反応熱により被覆４が炭化する。炭化した被覆は研磨部１７Ａ，１７Ｂで除去される。 （もっと読む）