【課題】本発明が解決しようとする課題は、より強い電界強度を生じさせることができるプラズマ発生装置、プラズマ処理装置、プラズマ発生方法、およびプラズマ処理方法を提供することである。
【解決手段】実施形態によれば、プラズマを発生させる領域にマイクロ波を放射して前記プラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生部と、前記マイクロ波を共振させる共振部と、前記共振部から前記プラズマを発生させる領域への前記マイクロ波の放射を制御する放射制御部と、を備え、前記放射制御部は、前記マイクロ波の放射を抑制してマイクロ波エネルギーを前記共振部に蓄積し、前記蓄積されたマイクロ波エネルギーを放出することで電界強度を強めることを特徴とするプラズマ発生装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする課題は、液体の金属汚染を抑制することができる液中プラズマ発生装置、液中プラズマ処理装置、液中プラズマ発生方法、および液中プラズマ処理方法を提供することである。
【解決手段】実施形態によれば、液体を供給する液体供給部と、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生部と、前記液体の流速を上昇させることで前記液体の圧力を減圧させて気泡を発生させるまたは気泡を発生させやすくする減圧部と、前記マイクロ波を共振させ、前記減圧部に前記共振させたマイクロ波を放射する共振部と、を備え、前記減圧部により、前記液体と、前記共振部と、が離隔されたことを特徴とする液中プラズマ発生装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】プラズマ放電時に生じる物質を効率よく吸収することができると共に漏洩を著しく減少させることが可能な改質装置及びこれを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】シート状の被加工物Ｓを所定の方向に搬送する搬送手段７９と、被加工物Ｓの被加工面と接触配置され被加工面に向けてプラズマを生成する放電電極ローラ８４及びカウンタ電極８０とを有する対向電極部８５とを有し、プラズマにより被加工面の改質を行う改質装置１００であって、対向電極部８５を覆うと共に空気を吸引する吸引手段に接続されるダクト部６１ａと吸引手段の作動時に空気が流入する流入部とを有するカバー部材６１を有し、カバー部材６１は吸引手段の作動時にその内部の流入部近傍において空気の乱流が発生しない形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】スパークなどの望ましくない寄生的な影響を最小化することのできる実用的なスパーク管理装置を提供する。
【解決手段】電力を負荷装置に供給するよう動作可能な高電圧電源と、前記負荷装置における１つ以上の電磁パラメータを監視するよう動作可能なセンサと、前記負荷におけるスパーク前の状態を識別するために前記１つ以上の電磁パラメータに応答する第１の検出器と、前記高電圧電源が、前記スパーク前の状態に応答して前記電力の大きさを所望のレベルに速やかに変えることを可能にするよう前記第１の検出器に接続された第２の検出器とを含む。 （もっと読む）

【課題】プラズマ放電時に生じるオゾンガスを効率よく吸収することができると共に長寿命で吸収を行うことが可能なオゾン分解装置、これを備えた改質装置及びこれを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】オゾンガスが吸引されるダクト６３ａを有し、ダクト６３ａより吸引されたオゾンガスを通過の際に分解するオゾン分解装置６３において、触媒を有する触媒層６３ｃと、通過するオゾンガスを拡散させる拡散処理層６３ｅと、活性炭を有する活性炭層６３ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】重粒子線治療装置に必要な数の重粒子イオンを安定して生成することができる重粒子線治療用重粒子イオン発生装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る重粒子線治療用重粒子イオン発生装置は、レーザ光の照射によってプラズマを発生する物質と、物質を収納する容器と、レーザ光を発生するレーザ光源と、物質上に前記レーザ光の焦点が形成されるようにレーザ光を集光する集光手段と、物質から発生したプラズマから重粒子イオンをクーロン力によって引き出し、容器の外部に送り出す電極手段と、物質から発生するプラズマを観測し、物質に接する領域のプラズマ径からレーザ光の集光径を求める観測手段と、物質の位置または集光手段の位置を調節する位置調節手段と、観測手段で求めた集光径が所定の基準集光径となるように、位置調節手段による物質の位置調節を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、かつ従来のプラズマストリッパーに比べて格段に高速、短時間で被皮処理ワイヤの表面処理を可能にした同軸マグネトロンプラズマストリッパーを提供する。
【解決手段】内部に動作ガスが導入される筒状の外側陽極電極１２と、外側陽極電極１２内に同軸的に配置された線状の中心陽極電極１３を備える。さらに、外側陽極電極１２内に中心陽極電極１３を囲うように配置されて軸方向に移送される陰極となる複数の被処理ワイヤ１４と、外側陽極電極１２内に軸心方向の磁界Ｂを発生させる磁界発生手段１５とを備える。被処理ワイヤ１４の周りで発生するマグネトロンプラズマ１０で被処理ワイヤ１４の表面処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】付着菌の殺菌と脱臭の両方を水蒸気や微小液滴存在下でも同時に実現する。
【解決手段】一対の電極２１、２２を有し、それら電極２１、２２間に所定電圧が印加されてプラズマ放電するものにおいて、各電極２１、２２の対応する箇所にそれぞれ流体流通孔２１ｂ、２２、を設けてこれらが貫通するように構成するとともに、当該流体流通孔２１ｂ、２２ｂ及びその近傍に生じるプラズマに水蒸気又は微小液滴を作用させる。 （もっと読む）

【課題】基板の処理に好適なプラズマ源を提供すること。
【解決手段】基板を処理するための直線形状のプラズマ源であって、 内部にマグネトロンプラズマが生成される放電キャビティであるとともに、内面上に配置されたカソード電極（１６）上にマグネトロンプラズマが生成され、アノード電極が放電キャビティの外部に配置されている、放電キャビティと；放電キャビティの外部に配置された複数の磁石（１，２）であるとともに、放電キャビティ内に無磁界ポイントを形成する、複数の磁石と；を具備し、処理の一様性が、プラズマに対して基板を移動させることにより、あるいは、基板に対してプラズマを移動させることにより、得られている。 （もっと読む）

【課題】大気圧プラズマにて被処理物を処理するに際してプラズマ点灯後のプラズマの点灯状態やプラズマの照射状態を確認できて信頼性の高いプラズマ処理を確保することができる大気圧プラズマ処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】大気圧近傍の所定の反応空間１１に第１のガス１５を供給するとともに反応空間１１近傍のアンテナ１３又は電極に高周波電圧を印加して一次プラズマ１６を発生させ、発生した一次プラズマ１６又は前記一次プラズマ１６を第２のガス１８に衝突させて発生させた二次プラズマ２１を被処理表面６に向けて照射し、被処理表面６をプラズマ処理する大気圧プラズマ処理方法において、一次プラズマ１６の点灯後の反射波の大きさを検出し、反射波の大きさを第１の所定値と比較して一次プラズマ１６が点灯しているか否かを確認するようにした。 （もっと読む）