基板収納容器
【課題】 容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものであり、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にした基板収納容器を提供する。
【解決手段】 正面に開口部を有する容器本体と、容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部材とを備える。各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成される。一対の支持部の高さが同じ支持板によって規制板を載置させるともに、規制板を載置する支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる。規制板は、平面的に観た場合、収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、規制板を支持する前記支持板に対して位置規制される簡易な構成の位置規制手段が設けられている。
【解決手段】 正面に開口部を有する容器本体と、容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部材とを備える。各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成される。一対の支持部の高さが同じ支持板によって規制板を載置させるともに、規制板を載置する支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる。規制板は、平面的に観た場合、収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、規制板を支持する前記支持板に対して位置規制される簡易な構成の位置規制手段が設けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば半導体ウェーハ、ガラスウェーハ等からなる基板を収納、輸送、搬送、保管等に使用される基板収納容器に係り、特に、直径が大きく、たとえばバックグラインドされて薄くなった基板を収納するのに好適な基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板収納容器としては、たとえば、正面に開口を有する容器本体と、該開口をシール可能に閉鎖する蓋体とからなるものが知られている。そして、このような基板収納容器は、容器本体の内側壁に一対の支持部材が対向して配置され、それぞれの支持部材は、垂直方向に等間隔に配置させた支持板を備えて構成されている。各基板は、その周辺部においてそれぞれの支持部材の高さが同じ支持板に載置されることにより、水平状態で基板収納容器に収納されるようになっている。また、工程内での基板の一時保管や取り出しを行うために、蓋体を用いずに、容器本体部分だけで使用される基板収納容器（カセット）も用いられる。
【０００３】
ここで、基板収納容器に収納する基板として、たとえば、シリコンからなる直径３００ｍｍの半導体ウェーハのように、その表面に電子回路を形成した後に裏面をバックグラインドすることにより、基板の厚さが３００μｍ程度あるいはこれ以下となるまで薄く加工したもの（このような基板を薄肉厚基板と称する）を収納する場合がある。また、基板の材質をガラスにしたり、外径が３００ｍｍ以上に大きくなることでも撓み量が大きくなってしまう。
【０００４】
この場合、薄肉厚基板は、基板収納容器内において、その周辺部を一対の支持部材によって支持されていることから、中央部が撓み易くなり、自重により１ｍｍ以上撓んでしまう。特には、２ｍｍ以上の撓みがあると基板の載置や取り出しや薄肉厚基板の安全な支持や、自動機での移載が損なわれる不都合が生じる。
具体的には、薄肉厚基板が基板収納容器や自動機と接触することにより、擦れによる汚染や破損事故が考えられる。
【０００５】
このため、たとえば特許文献１に開示されているように、容器本体の各支持部に比較的剛性の大きな円盤状の規制板を支持させるとともに、この規制板の上面に薄肉厚基板を当接させることによって、該薄肉厚基板の撓みを回避させる技術が知られるに至っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−３０８１７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１に示す基板収納容器は、各支持部に支持される規制板が、支持板に載置させるだけの構成とするとともに円盤状となっているため、使用時に回転しまう不都合が生じる問題を有していた。また、このような回転を防止するため、規制板の周辺の一部に外方に延在して容器本体との係止部となる突起を設けた形状とすることも提案されているが、基板直径と異なる位置で取り出し機によってチャックしなければならず、基板の取り出しが面倒となっていた。
【０００８】
また、規制板は各支持部に支持される構成となっていることから、規制板を挿入する際や取り出す際において各支持部との擦れが頻繁に生じ、いわゆるパーティクルが発生し易く、基板への汚れが懸念される。
【０００９】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みなされたものであり、容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものであって、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にした基板収納容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の基板収納容器は、自重での撓みが１ｍｍ以上、特には２ｍｍ以上となる薄肉厚の基板の撓みを防止して安全に支持するための規制板を工夫された形状とするとともに、規制板と支持部の支持板との間に簡易な構成の位置規制手段を備えたことにある。
【００１１】
本発明は、以下のような構成によって把握される。
（１）本発明の基板収納容器は、正面に開口部を有する容器本体と、前記容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部とを備え、前記各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成され、前記一対の支持部の高さが同じ前記支持板によって規制板を載置させるともに、前記規制板を載置する前記支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる基板収納容器であって、前記規制板は、平面的に観た場合、前記収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、前記規制板を支持する前記支持板に対して位置規制される位置規制手段が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
（２）本発明の基板収納容器は、（１）を前提とし、前記規制板は、平面的に観た場合、前記基板とほぼ同じ形状に対して前記切り欠きが設けた形状をなすことを特徴とする。
（３）本発明の基板収納容器は、（１）を前提とし、前記規制板の位置規制手段は、前記規制板の表面の周辺の一部に該周辺に沿った凹陥部によって構成され、前記凹陥部は、基板の容器本体への挿入の後にあって前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対して位置規制がなされるようになっていることを特徴とする。
【００１３】
（４）本発明の基板収納容器は、（３）を前提とし、前記規制板の位置規制手段の前記凹陥部は、基板の容器本体への挿入の際に、前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対してガイド機能を有するようになっていることを特徴とする。
（５）本発明の基板収納容器は、（３）、（４）のいずれかを前提とし、前記規制板の前記凹陥部は、前記規制板の容器本体への挿入方向に対して対称の位置に設けられ、これら凹陥部の平面的に観た形状は非対称となっていることを特徴とする。
【００１４】
（６）本発明の基板収納容器は、（５）を前提とし、前記規制板のそれぞれの凹陥部の平面的に観た形状は、前記規制板を容器本体の奥側まで挿入した後に、一方向の回転を施すことにより、前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対して干渉を回避する形状で形成されていることを特徴とする。
（７）本発明の基板収納容器は、（１）を前提とし、前記支持板の上面には点接触させるための支持用突起が形成されているともに、前記規制板の裏面には、前記規制板が前記支持板に支持されている際に、前記支持用突起と嵌合する溝部が形成されていることを特徴とする。
【００１５】
（８）本発明の基板収納容器は、（１）を前提とし、前記規制板の前記位置規制手段は、前記規制板の側壁面に形成され、前記規制板を支持する支持板を挿入させる嵌合溝によって構成されていることを特徴とする。
（９）本発明の基板収納容器は、（８）を前提とし、前記規制板には、前記嵌合溝内に挿入された前記支持板の凹陥部に嵌合される係止爪が形成されていることを特徴とする。
【００１６】
（１０）本発明の規制板は、正面に開口部を有する容器本体と、前記容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部とを備え、前記各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成された基板収納容器内に、前記一対の支持部の高さが同じ前記支持板によって基板を載置させるともに、前記基板を載置する前記支持板よりも一段下にある他の支持板に載置させる規制板であって、前記規制板は、平面的に観た場合、前記収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、前記支持板に対して位置規制される位置規制手段が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の基板収納容器によれば、容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものにおいて、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の基板収納容器の実施態様１を示す斜視図である。
【図２】本発明の基板収納容器の実施態様１を示す正面図である。
【図３】本発明の基板収納容器の支持部を拡大して示す斜視図である。
【図４】本発明の基板収納容器に収納される規制板を示す平面図である。
【図５】本発明の基板収納容器に収納される規制板を裏面から観た斜視図である。
【図６】本発明の基板収納容器に規制板と薄肉厚基板が支持部に支持されている状態を示す正面図である。
【図７】本発明の基板収納容器に規制板を収納する際の手順を図８とともに示す説明図である。
【図８】本発明の基板収納容器に規制板を収納する際の手順を図７とともに示す説明図である。
【図９】本発明の基板収納容器の実施態様２を示す斜視図である。
【図１０】本発明の基板収納容器に規制板を収納した状態を示す斜視図である。
【図１１】規制板に設けられた嵌合溝および係止爪を示す斜視図である。
【図１２】規制板を支持板に支持した際における係止爪の近傍を示す平面図である。
【図１３】図１２のXIII−XIII線における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
（実施形態１）
【００２０】
図１は、本発明の基板収納容器１の実施態様１を示す斜視図で、ほぼ正面側から観た図となっている。また、図２は、図１に示す基板収納容器１の正面図である。
【００２１】
図１、図２に示すように、基板収納容器１００は、正面側に開口部１Ａを有するほぼ立方体をなす容器本体１を備えたものとなっている。基板収納容器１００は、容器本体１とともに、この開口部１Ａをシール可能に閉鎖する蓋体を備えることによって構成されるが、図１、図２においては、蓋体は省略して示している。このため、図１、図２では、開口部１Ａを通して、容器本体１の内側壁によって囲まれる空間（基板収納部）が目視されるようになっている。
【００２２】
なお、このように構成される容器本体１の上面１Ｂには、たとえば図示しないロボテックフランジが取り付けられるようになっており、基板収納容器１００は、このロボテックフランジを介して、工場のクリーンルームに設置された搬送レール６０に沿って搬送されるようになっている。
【００２３】
容器本体１の内側壁のうち開口部１Ａ側から観た左側壁面および右側壁面には、一対の支持部２Ｌ、２Ｒが互いに対向するようにして配置されている。これら支持部２Ｌ、２Ｒは、それぞれ、垂直方向に等間隔に配置された複数の支持板２０によって構成されている。各支持板２０は、容器本体１の開口部１Ａ側から奥側へ沿って水平に配置され、それらの幅は比較的狭く形成されている。
【００２４】
容器本体１に収納するたとえば半導体ウェーハ等の基板が比較的厚く形成され、基板に撓みが生じる憂いがない場合、これら各基板は、その周辺部において、それぞれの支持部材２Ｌ、２Ｒの高さが同じ支持板２０に載置させることにより、容器本体１内に水平に収納されるようになっている。しかし、容器本体１に収納する基板が薄く形成された薄肉厚基板である場合、図１、図２に示すように、一対の支持部２Ｌ、２Ｒの各支持板２０のうち高さの同じ支持板２０によって載置されるように規制板６を配置させるともに、該規制板６を載置する支持板２０よりも一段上にある他の支持板２０に薄肉厚基板を載置させることによって、該薄肉厚基板に生じる撓みを前記規制板６によって回避できるようになっている。このため、規制板６の厚さは、規制板６と薄肉厚基板とが上述した配置関係にあるとき、規制板６の表面と薄肉厚基板との裏面とが軽く当接する程度にあることが好ましくなる。薄肉厚基板の裏面は規制板６の表面に当接されてほぼ水平状態を保持して支持されるからである。
【００２５】
規制板６は、容器本体１内に収納される状態で、その平面形状が、容器本体１の左側壁面（支持部２Ｌが配置されている）、右側壁面（支持部２Ｒが配置されている）、および奥側壁面のそれぞれの側において水平方向の幅を有し、開口部１Ａ側および中央部において切り欠きが形成されたほぼ三日月状をなして形成されている。規制板６をこのような形状としたのは、規制板６を一対の支持部２Ｌ、２Ｒによって支持された状態のまま、薄肉厚基板を容器本体１に挿入あるいは取り出しができ、この際に容器本体１の開口部１Ａの近傍において規制板が傷害となることがないようにするためである。この場合、規制板６の容器本体１に対する出し入れの回数を低減できるため、規制板６と各支持部２Ｌ、２Ｒとの擦れを減少でき、いわゆるパーティクルの発生を抑制させることができる。
【００２６】
なお、図１は、容器本体１には、規制板６のみが収納された状態を示しているが、図２は、該規制板６とこの規制板６の上段に収納される薄肉厚基板Ｗをも示している。薄肉厚基板Ｗはたとえば直径３００ｍｍの円形状の半導体ウェーハとなっている。図６には、容器本体１のたとえば左側壁面に配置された支持部２Ｌに規制板６および薄肉厚基板Ｗが支持されている状態を拡大して示している。規制板６は支持部２Ｌの支持板２０に載置されて支持され、この規制板６の表面に当接されて配置される薄肉厚基板Ｗは前記支持板２０よりも一段上の他の支持板２０に載置されるようになっている。図６（図２も同様）には、一つの規制板６と一つの薄肉厚基板Ｗを示したものであるが、実際には複数の規制板６と複数の薄肉厚基板Ｗが収納されるようになっており、支持部２Ｌ、２Ｒの各支持板２０には、容器本体１の底面側から、それぞれ、規制板６、薄肉厚基板Ｗ、規制板６、薄肉厚基板Ｗ、規制板６、……というように、交互に配置されるようになる。
【００２７】
図３は、一対の支持部２Ｌ、２Ｒのうち容器本体１の右側壁面に配置される支持部２Ｒを拡大して示した部分斜視図である。垂直方向に並設される各支持板２０は、その上面において、たとえば、容器本体１の開口部１Ａ側に近接する個所および容器本体１の奥側に近接する個所にそれぞれ支持用突起３が形成されている。容器本体１の左側壁面の支持部２Ｌの各支持板２０も同様となっており、これにより、薄肉厚基板Ｗは、一対の支持部２Ｌ、２Ｒの同じ高さの支持板２０上において、たとえば４個の支持用突起３によって支持されるようになっている。このようにすることによって、薄肉厚基板Ｗは、支持板２０上において極めて少ない面積の接触部を有して支持され、該薄肉厚基板Ｗの汚染を最小限に抑えることができるようになる。また、各支持板２０の上面において、薄肉厚基板Ｗが載置される領域以外の他の領域は、支持用突起３よりも高さが大きく形成されて位置規制段差部４が形成されている。この位置規制段差部４によって薄肉厚基板Ｗをたとえば容器本体１の開口部１Ａ側へずれてしまうのを防止できるようになっている。なお、支持板２０の奥側の末端部には傾斜壁面５が形成され、この傾斜壁面５によって、奥側方向の薄肉厚基板Ｗの位置決めを行うようになっている。
【００２８】
図４は、前記規制板６を示した平面図である。規制板６は、上述したように、三日月形状をなしている。すなわち、薄肉厚基板Ｗとほぼ同じ大きさをなす円形状において、一方の側（容器本体１に収納した場合、容器本体１の開口部１Ａ側）に円弧を有する切り欠き７を設けた形状となっている。そして、このような形状からなる規制板６は、その周辺の一部に該周辺に沿った凹陥部８が形成されている。すなわち、この凹陥部８は、規制板６が容器本体１に収納された場合、容器本体１の左側壁面および右側壁面のそれぞれに対向する側に設けられている（以下、左側壁面に対向する凹陥部８を符号８Ｌ、右側側壁面に対向する凹陥部８を符号８Ｒで示す）。規制板６の凹陥部８Ｌ、８Ｒは、規制板を容器本体１に収納する際に支持板に対するガイド機能を有するようになっている。容器本体１に規制板６を収納する場合の収納方法の一例は後に説明するが、凹陥部８Ｌと凹陥部８Ｒは、規制板６を容器本体１に挿入する方向（図中矢印α方向）に対して非対称の形状をなしている。すなわち、凹陥部８Ｌは、容器本体１の開口部側からα方向とほぼ平行に延在する端壁９ａとその後に中心側に若干屈曲して延在する端壁９ｂを有する形状の凹陥部となっている。凹陥部８Ｌは、容器本体１の奥側からα方向とほぼ平行に延在する端壁９ｄとその後に中心側に若干屈曲して延在する端壁６ｃを有する形状の凹陥部となっている。また、図５は、規制板６を裏面側から観た斜視図である。規制板６には、規制板６が容器本体１に収納された場合、容器本体１の左側壁面に対向する側の裏面において溝部１０Ｌが形成され、容器本体１の右側壁面に対向する側の裏面において溝部１０Ｒが形成されている。これら溝１０Ｌ、１０Ｒは、規制板６が容器本体１に収納され、該規制板６を載置する支持板２０に対して正規の位置に位置調整された場合に、該支持板１０に形成されている前記支持用突起３が係合されるようになっている。
【００２９】
図７および図８は、規制板６を容器本体１に収納する場合の手順の一例を示す図である。まず、図７に示すように、容器本体１の開口部１Ａから規制板６を矢印α方向に沿って挿入する際に、たとえば規制板６の凹陥部８Ｌの端壁９ｂが該規制板６を支持する支持板２０の一つ上段の支持板２０の端辺に当接するようにして移動させる。この場合、規制板６の凹陥部８Ｒにおいて、それらの端壁９ｃ、９ｄは対応する支持板２０の端壁から若干の隙間を有しており、規制板６を容易に挿入することができるようになっている。そして、規制板６が容器本体１の奥側にまで充分挿入されたことが確認された後に、規制板６をその中心（図４中符号Ｃで示す）に対して時計回り方向へ若干回動させるようにする。
【００３０】
これにより、規制板６は、図８に示すように、その凹陥部８Ｌの端壁９ａが支持部２Ｌの対応する支持板２０の端辺に当接するとともに、凹陥部８Ｌの端壁９ｄが支持部２Ｒの対応する支持板２０の端辺に当接するようになり、規制板６の一対の支持部２Ｌ、２Ｒに対する位置決めが完了するようになる。
【００３１】
これにより、規制板６に形成された上述の形状からなる凹陥部８Ｌ、８Ｒは、薄肉厚基板Ｗの容器本体１への挿入の際に、該規制板６を支持する支持板２０よりも一段上の支持板２０に対してガイド機能を有し、その後にあって前記支持板２０に対して位置規制がなされる機能を有することが明らかになる。なお、この場合、図５の説明の際に示したように、規制板６の裏面に形成された溝１０Ｌは対応する支持板２０の支持用突起３に嵌合され、溝１０Ｒは対応する支持板２０の支持用突起３に嵌合するようになる。
【００３２】
このように構成された基板収納容器１００は、容器本体１の各支持部２Ｌ、２Ｒに規制板６を支持させ、この規制板６によって薄肉厚基板Ｗの撓みを回避させることができるようになる。また、該規制板Ｗの回転を防止できるとともに、該規制板Ｗと支持部２Ｌ、２Ｒとの擦れを低減させ、また、薄肉厚基板Ｗの取り出しも容易に行うことができるようになる。
（実施態様２）
【００３３】
図９は、本発明の基板収納容器１００の実施態様２を示す斜視図で、ほぼ正面側から観た図となっている。図９に示す基板収納容器１００は、実施態様１の場合と同様に、規制板１２を備えて構成されている。
【００３４】
規制板１２は、その平面形状がほぼ三日月状をなすが、規制板１２を容器本体１に収納された場合に、その奥側に相当する部分の幅ｗ１が容器本体１の開口部１Ａ側に相当する部分の幅ｗ２よりも段差状に小さく形成されている。そして、規制板１２の容器本体１の開口部１Ａ側に相当する部分の幅ｗ２は、容器本体１の一対の支持部２Ｌ、２Ｒの離間距離よりも若干大きく形成されているとともに、当該幅ｗ２を有する部分の左右のそれぞれの端壁部には、規制板１２の容器本体１への挿入方向（図中矢印α方向）に沿った嵌合溝１３Ｌ、１３Ｒが形成されている。
【００３５】
規制板の容器本体１への挿入状態を図１０に示すように、規制板６の嵌合溝１３Ｌ、１３Ｒは一対の支持部２Ｌ、２Ｒのそれぞれ対応する支持板２０の端辺（容器本体１の中央側の指向する周辺部）が嵌合されるようになっている。すなわち、規制板６を容器本体１に挿入する際に、その奥側の幅ｗ１は小さく形成されているため、最初は、各支持部２Ｌ、２Ｒに干渉されなく挿入され、その後、大きな幅ｗ２を有する部分において各支持部２Ｌ、２Ｒの対応する支持板２０が嵌合溝１３Ｌ、１３Ｒに嵌合されることによって、規制板６は容器本体１の奥側にまで移動させて容器本体１内に収納させることができる。この場合、規制板６の嵌合溝１３Ｌ、１３Ｒに嵌合された支持板２０が当該規制板１２を支持するようになる。
【００３６】
そして、規制板１２が容器本体１の奥側にまで移動させた際に、規制板１２に形成された係止爪１７が支持板２０にクリック的に係合されることにより規制板１２の位置決めが正確になされるようになる。図１１は、規制板１２に設けられた係止爪１７を示し、規制板１２を平面的に観た場合、前記嵌合溝１３の形成領域内に形成されている。係止爪１７は、規制板１２の上面にたとえばほぼ「コ」字状の切り欠き１８を嵌合溝１３に至るまで形成することにより構成されている。係止爪１７の先端は規制板１２の容器本体１への挿入方向に一致づけられている。図１２は、規制板１２が容器本体１の右側壁面に配置される支持板２０上に正規の位置に嵌合されている場合を拡大して示した平面図である。係止爪１７は、規制板１２の嵌合溝１３Ｒに嵌合された支持板２０に重なる位置に配置されており、係止爪１７は支持板２０側へ付勢される弾力によって支持板２０の表面に形成された凹陥部２０Ａに係止されるようになっている。図１３は、図１２のXIII−XIII線における断面図を示している。係止爪１７の先端はたとえば肉厚に形成され、この肉厚部１７Ａが支持板２０の表面に形成された凹陥部２０Ａに係止されるようになっている。なお、係止爪１７の肉厚部１７Ａにおける係止爪１７の付け根側の側壁およびこの側壁と対向する凹陥部２０Ａの側壁を、それぞれ斜面状に形成することによって、規制板１２の収納容器１からの取り出しを容易にできるようになっている。
【００３７】
このように構成された基板収納容器１００は、容器本体１の各支持部２Ｌ、２Ｒに規制板１２を支持させ、この規制板１２によって薄肉厚基板Ｗの撓みを回避させることができるようになる。また、該規制板１２の回転を防止できるとともに、該規制板１２と支持部２Ｌ、２Ｒとの擦れを低減させ、また、薄肉厚基板Ｗの取り出しも容易に行うことができるようになる。
【００３８】
なお、本発明の基板収納容器は、上述した構成に限定されることはなく、たとえば正面と背面に開口を有し、左右の側壁に支持部が形成され、背面側に支柱が形成されたカセットであってもよい。また、規制板に形成される切り欠きは、円弧状やＵ字状の形状以外に、たとえば矩形や台形等であってもよい。いずれも同様の効果が得られるからである。
【００３９】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００４０】
１……容器本体、１Ａ……開口部、１Ｂ……上面、２Ｌ、２Ｒ……支持部、３……支持用突起、６、１２……規制板、７……切り欠き、８Ｌ、８Ｒ……凹陥部、９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ……端壁、１０……溝部、１３Ｌ、１３Ｒ……嵌合溝、１７……係止爪、１８……切り欠き、２０……支持板、１００……基板収納容器、Ｗ……薄肉厚基板。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば半導体ウェーハ、ガラスウェーハ等からなる基板を収納、輸送、搬送、保管等に使用される基板収納容器に係り、特に、直径が大きく、たとえばバックグラインドされて薄くなった基板を収納するのに好適な基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板収納容器としては、たとえば、正面に開口を有する容器本体と、該開口をシール可能に閉鎖する蓋体とからなるものが知られている。そして、このような基板収納容器は、容器本体の内側壁に一対の支持部材が対向して配置され、それぞれの支持部材は、垂直方向に等間隔に配置させた支持板を備えて構成されている。各基板は、その周辺部においてそれぞれの支持部材の高さが同じ支持板に載置されることにより、水平状態で基板収納容器に収納されるようになっている。また、工程内での基板の一時保管や取り出しを行うために、蓋体を用いずに、容器本体部分だけで使用される基板収納容器（カセット）も用いられる。
【０００３】
ここで、基板収納容器に収納する基板として、たとえば、シリコンからなる直径３００ｍｍの半導体ウェーハのように、その表面に電子回路を形成した後に裏面をバックグラインドすることにより、基板の厚さが３００μｍ程度あるいはこれ以下となるまで薄く加工したもの（このような基板を薄肉厚基板と称する）を収納する場合がある。また、基板の材質をガラスにしたり、外径が３００ｍｍ以上に大きくなることでも撓み量が大きくなってしまう。
【０００４】
この場合、薄肉厚基板は、基板収納容器内において、その周辺部を一対の支持部材によって支持されていることから、中央部が撓み易くなり、自重により１ｍｍ以上撓んでしまう。特には、２ｍｍ以上の撓みがあると基板の載置や取り出しや薄肉厚基板の安全な支持や、自動機での移載が損なわれる不都合が生じる。
具体的には、薄肉厚基板が基板収納容器や自動機と接触することにより、擦れによる汚染や破損事故が考えられる。
【０００５】
このため、たとえば特許文献１に開示されているように、容器本体の各支持部に比較的剛性の大きな円盤状の規制板を支持させるとともに、この規制板の上面に薄肉厚基板を当接させることによって、該薄肉厚基板の撓みを回避させる技術が知られるに至っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−３０８１７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１に示す基板収納容器は、各支持部に支持される規制板が、支持板に載置させるだけの構成とするとともに円盤状となっているため、使用時に回転しまう不都合が生じる問題を有していた。また、このような回転を防止するため、規制板の周辺の一部に外方に延在して容器本体との係止部となる突起を設けた形状とすることも提案されているが、基板直径と異なる位置で取り出し機によってチャックしなければならず、基板の取り出しが面倒となっていた。
【０００８】
また、規制板は各支持部に支持される構成となっていることから、規制板を挿入する際や取り出す際において各支持部との擦れが頻繁に生じ、いわゆるパーティクルが発生し易く、基板への汚れが懸念される。
【０００９】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みなされたものであり、容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものであって、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にした基板収納容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の基板収納容器は、自重での撓みが１ｍｍ以上、特には２ｍｍ以上となる薄肉厚の基板の撓みを防止して安全に支持するための規制板を工夫された形状とするとともに、規制板と支持部の支持板との間に簡易な構成の位置規制手段を備えたことにある。
【００１１】
本発明は、以下のような構成によって把握される。
（１）本発明の基板収納容器は、正面に開口部を有する容器本体と、前記容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部とを備え、前記各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成され、前記一対の支持部の高さが同じ前記支持板によって規制板を載置させるともに、前記規制板を載置する前記支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる基板収納容器であって、前記規制板は、平面的に観た場合、前記収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、前記規制板を支持する前記支持板に対して位置規制される位置規制手段が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
（２）本発明の基板収納容器は、（１）を前提とし、前記規制板は、平面的に観た場合、前記基板とほぼ同じ形状に対して前記切り欠きが設けた形状をなすことを特徴とする。
（３）本発明の基板収納容器は、（１）を前提とし、前記規制板の位置規制手段は、前記規制板の表面の周辺の一部に該周辺に沿った凹陥部によって構成され、前記凹陥部は、基板の容器本体への挿入の後にあって前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対して位置規制がなされるようになっていることを特徴とする。
【００１３】
（４）本発明の基板収納容器は、（３）を前提とし、前記規制板の位置規制手段の前記凹陥部は、基板の容器本体への挿入の際に、前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対してガイド機能を有するようになっていることを特徴とする。
（５）本発明の基板収納容器は、（３）、（４）のいずれかを前提とし、前記規制板の前記凹陥部は、前記規制板の容器本体への挿入方向に対して対称の位置に設けられ、これら凹陥部の平面的に観た形状は非対称となっていることを特徴とする。
【００１４】
（６）本発明の基板収納容器は、（５）を前提とし、前記規制板のそれぞれの凹陥部の平面的に観た形状は、前記規制板を容器本体の奥側まで挿入した後に、一方向の回転を施すことにより、前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対して干渉を回避する形状で形成されていることを特徴とする。
（７）本発明の基板収納容器は、（１）を前提とし、前記支持板の上面には点接触させるための支持用突起が形成されているともに、前記規制板の裏面には、前記規制板が前記支持板に支持されている際に、前記支持用突起と嵌合する溝部が形成されていることを特徴とする。
【００１５】
（８）本発明の基板収納容器は、（１）を前提とし、前記規制板の前記位置規制手段は、前記規制板の側壁面に形成され、前記規制板を支持する支持板を挿入させる嵌合溝によって構成されていることを特徴とする。
（９）本発明の基板収納容器は、（８）を前提とし、前記規制板には、前記嵌合溝内に挿入された前記支持板の凹陥部に嵌合される係止爪が形成されていることを特徴とする。
【００１６】
（１０）本発明の規制板は、正面に開口部を有する容器本体と、前記容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部とを備え、前記各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成された基板収納容器内に、前記一対の支持部の高さが同じ前記支持板によって基板を載置させるともに、前記基板を載置する前記支持板よりも一段下にある他の支持板に載置させる規制板であって、前記規制板は、平面的に観た場合、前記収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、前記支持板に対して位置規制される位置規制手段が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の基板収納容器によれば、容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものにおいて、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の基板収納容器の実施態様１を示す斜視図である。
【図２】本発明の基板収納容器の実施態様１を示す正面図である。
【図３】本発明の基板収納容器の支持部を拡大して示す斜視図である。
【図４】本発明の基板収納容器に収納される規制板を示す平面図である。
【図５】本発明の基板収納容器に収納される規制板を裏面から観た斜視図である。
【図６】本発明の基板収納容器に規制板と薄肉厚基板が支持部に支持されている状態を示す正面図である。
【図７】本発明の基板収納容器に規制板を収納する際の手順を図８とともに示す説明図である。
【図８】本発明の基板収納容器に規制板を収納する際の手順を図７とともに示す説明図である。
【図９】本発明の基板収納容器の実施態様２を示す斜視図である。
【図１０】本発明の基板収納容器に規制板を収納した状態を示す斜視図である。
【図１１】規制板に設けられた嵌合溝および係止爪を示す斜視図である。
【図１２】規制板を支持板に支持した際における係止爪の近傍を示す平面図である。
【図１３】図１２のXIII−XIII線における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
（実施形態１）
【００２０】
図１は、本発明の基板収納容器１の実施態様１を示す斜視図で、ほぼ正面側から観た図となっている。また、図２は、図１に示す基板収納容器１の正面図である。
【００２１】
図１、図２に示すように、基板収納容器１００は、正面側に開口部１Ａを有するほぼ立方体をなす容器本体１を備えたものとなっている。基板収納容器１００は、容器本体１とともに、この開口部１Ａをシール可能に閉鎖する蓋体を備えることによって構成されるが、図１、図２においては、蓋体は省略して示している。このため、図１、図２では、開口部１Ａを通して、容器本体１の内側壁によって囲まれる空間（基板収納部）が目視されるようになっている。
【００２２】
なお、このように構成される容器本体１の上面１Ｂには、たとえば図示しないロボテックフランジが取り付けられるようになっており、基板収納容器１００は、このロボテックフランジを介して、工場のクリーンルームに設置された搬送レール６０に沿って搬送されるようになっている。
【００２３】
容器本体１の内側壁のうち開口部１Ａ側から観た左側壁面および右側壁面には、一対の支持部２Ｌ、２Ｒが互いに対向するようにして配置されている。これら支持部２Ｌ、２Ｒは、それぞれ、垂直方向に等間隔に配置された複数の支持板２０によって構成されている。各支持板２０は、容器本体１の開口部１Ａ側から奥側へ沿って水平に配置され、それらの幅は比較的狭く形成されている。
【００２４】
容器本体１に収納するたとえば半導体ウェーハ等の基板が比較的厚く形成され、基板に撓みが生じる憂いがない場合、これら各基板は、その周辺部において、それぞれの支持部材２Ｌ、２Ｒの高さが同じ支持板２０に載置させることにより、容器本体１内に水平に収納されるようになっている。しかし、容器本体１に収納する基板が薄く形成された薄肉厚基板である場合、図１、図２に示すように、一対の支持部２Ｌ、２Ｒの各支持板２０のうち高さの同じ支持板２０によって載置されるように規制板６を配置させるともに、該規制板６を載置する支持板２０よりも一段上にある他の支持板２０に薄肉厚基板を載置させることによって、該薄肉厚基板に生じる撓みを前記規制板６によって回避できるようになっている。このため、規制板６の厚さは、規制板６と薄肉厚基板とが上述した配置関係にあるとき、規制板６の表面と薄肉厚基板との裏面とが軽く当接する程度にあることが好ましくなる。薄肉厚基板の裏面は規制板６の表面に当接されてほぼ水平状態を保持して支持されるからである。
【００２５】
規制板６は、容器本体１内に収納される状態で、その平面形状が、容器本体１の左側壁面（支持部２Ｌが配置されている）、右側壁面（支持部２Ｒが配置されている）、および奥側壁面のそれぞれの側において水平方向の幅を有し、開口部１Ａ側および中央部において切り欠きが形成されたほぼ三日月状をなして形成されている。規制板６をこのような形状としたのは、規制板６を一対の支持部２Ｌ、２Ｒによって支持された状態のまま、薄肉厚基板を容器本体１に挿入あるいは取り出しができ、この際に容器本体１の開口部１Ａの近傍において規制板が傷害となることがないようにするためである。この場合、規制板６の容器本体１に対する出し入れの回数を低減できるため、規制板６と各支持部２Ｌ、２Ｒとの擦れを減少でき、いわゆるパーティクルの発生を抑制させることができる。
【００２６】
なお、図１は、容器本体１には、規制板６のみが収納された状態を示しているが、図２は、該規制板６とこの規制板６の上段に収納される薄肉厚基板Ｗをも示している。薄肉厚基板Ｗはたとえば直径３００ｍｍの円形状の半導体ウェーハとなっている。図６には、容器本体１のたとえば左側壁面に配置された支持部２Ｌに規制板６および薄肉厚基板Ｗが支持されている状態を拡大して示している。規制板６は支持部２Ｌの支持板２０に載置されて支持され、この規制板６の表面に当接されて配置される薄肉厚基板Ｗは前記支持板２０よりも一段上の他の支持板２０に載置されるようになっている。図６（図２も同様）には、一つの規制板６と一つの薄肉厚基板Ｗを示したものであるが、実際には複数の規制板６と複数の薄肉厚基板Ｗが収納されるようになっており、支持部２Ｌ、２Ｒの各支持板２０には、容器本体１の底面側から、それぞれ、規制板６、薄肉厚基板Ｗ、規制板６、薄肉厚基板Ｗ、規制板６、……というように、交互に配置されるようになる。
【００２７】
図３は、一対の支持部２Ｌ、２Ｒのうち容器本体１の右側壁面に配置される支持部２Ｒを拡大して示した部分斜視図である。垂直方向に並設される各支持板２０は、その上面において、たとえば、容器本体１の開口部１Ａ側に近接する個所および容器本体１の奥側に近接する個所にそれぞれ支持用突起３が形成されている。容器本体１の左側壁面の支持部２Ｌの各支持板２０も同様となっており、これにより、薄肉厚基板Ｗは、一対の支持部２Ｌ、２Ｒの同じ高さの支持板２０上において、たとえば４個の支持用突起３によって支持されるようになっている。このようにすることによって、薄肉厚基板Ｗは、支持板２０上において極めて少ない面積の接触部を有して支持され、該薄肉厚基板Ｗの汚染を最小限に抑えることができるようになる。また、各支持板２０の上面において、薄肉厚基板Ｗが載置される領域以外の他の領域は、支持用突起３よりも高さが大きく形成されて位置規制段差部４が形成されている。この位置規制段差部４によって薄肉厚基板Ｗをたとえば容器本体１の開口部１Ａ側へずれてしまうのを防止できるようになっている。なお、支持板２０の奥側の末端部には傾斜壁面５が形成され、この傾斜壁面５によって、奥側方向の薄肉厚基板Ｗの位置決めを行うようになっている。
【００２８】
図４は、前記規制板６を示した平面図である。規制板６は、上述したように、三日月形状をなしている。すなわち、薄肉厚基板Ｗとほぼ同じ大きさをなす円形状において、一方の側（容器本体１に収納した場合、容器本体１の開口部１Ａ側）に円弧を有する切り欠き７を設けた形状となっている。そして、このような形状からなる規制板６は、その周辺の一部に該周辺に沿った凹陥部８が形成されている。すなわち、この凹陥部８は、規制板６が容器本体１に収納された場合、容器本体１の左側壁面および右側壁面のそれぞれに対向する側に設けられている（以下、左側壁面に対向する凹陥部８を符号８Ｌ、右側側壁面に対向する凹陥部８を符号８Ｒで示す）。規制板６の凹陥部８Ｌ、８Ｒは、規制板を容器本体１に収納する際に支持板に対するガイド機能を有するようになっている。容器本体１に規制板６を収納する場合の収納方法の一例は後に説明するが、凹陥部８Ｌと凹陥部８Ｒは、規制板６を容器本体１に挿入する方向（図中矢印α方向）に対して非対称の形状をなしている。すなわち、凹陥部８Ｌは、容器本体１の開口部側からα方向とほぼ平行に延在する端壁９ａとその後に中心側に若干屈曲して延在する端壁９ｂを有する形状の凹陥部となっている。凹陥部８Ｌは、容器本体１の奥側からα方向とほぼ平行に延在する端壁９ｄとその後に中心側に若干屈曲して延在する端壁６ｃを有する形状の凹陥部となっている。また、図５は、規制板６を裏面側から観た斜視図である。規制板６には、規制板６が容器本体１に収納された場合、容器本体１の左側壁面に対向する側の裏面において溝部１０Ｌが形成され、容器本体１の右側壁面に対向する側の裏面において溝部１０Ｒが形成されている。これら溝１０Ｌ、１０Ｒは、規制板６が容器本体１に収納され、該規制板６を載置する支持板２０に対して正規の位置に位置調整された場合に、該支持板１０に形成されている前記支持用突起３が係合されるようになっている。
【００２９】
図７および図８は、規制板６を容器本体１に収納する場合の手順の一例を示す図である。まず、図７に示すように、容器本体１の開口部１Ａから規制板６を矢印α方向に沿って挿入する際に、たとえば規制板６の凹陥部８Ｌの端壁９ｂが該規制板６を支持する支持板２０の一つ上段の支持板２０の端辺に当接するようにして移動させる。この場合、規制板６の凹陥部８Ｒにおいて、それらの端壁９ｃ、９ｄは対応する支持板２０の端壁から若干の隙間を有しており、規制板６を容易に挿入することができるようになっている。そして、規制板６が容器本体１の奥側にまで充分挿入されたことが確認された後に、規制板６をその中心（図４中符号Ｃで示す）に対して時計回り方向へ若干回動させるようにする。
【００３０】
これにより、規制板６は、図８に示すように、その凹陥部８Ｌの端壁９ａが支持部２Ｌの対応する支持板２０の端辺に当接するとともに、凹陥部８Ｌの端壁９ｄが支持部２Ｒの対応する支持板２０の端辺に当接するようになり、規制板６の一対の支持部２Ｌ、２Ｒに対する位置決めが完了するようになる。
【００３１】
これにより、規制板６に形成された上述の形状からなる凹陥部８Ｌ、８Ｒは、薄肉厚基板Ｗの容器本体１への挿入の際に、該規制板６を支持する支持板２０よりも一段上の支持板２０に対してガイド機能を有し、その後にあって前記支持板２０に対して位置規制がなされる機能を有することが明らかになる。なお、この場合、図５の説明の際に示したように、規制板６の裏面に形成された溝１０Ｌは対応する支持板２０の支持用突起３に嵌合され、溝１０Ｒは対応する支持板２０の支持用突起３に嵌合するようになる。
【００３２】
このように構成された基板収納容器１００は、容器本体１の各支持部２Ｌ、２Ｒに規制板６を支持させ、この規制板６によって薄肉厚基板Ｗの撓みを回避させることができるようになる。また、該規制板Ｗの回転を防止できるとともに、該規制板Ｗと支持部２Ｌ、２Ｒとの擦れを低減させ、また、薄肉厚基板Ｗの取り出しも容易に行うことができるようになる。
（実施態様２）
【００３３】
図９は、本発明の基板収納容器１００の実施態様２を示す斜視図で、ほぼ正面側から観た図となっている。図９に示す基板収納容器１００は、実施態様１の場合と同様に、規制板１２を備えて構成されている。
【００３４】
規制板１２は、その平面形状がほぼ三日月状をなすが、規制板１２を容器本体１に収納された場合に、その奥側に相当する部分の幅ｗ１が容器本体１の開口部１Ａ側に相当する部分の幅ｗ２よりも段差状に小さく形成されている。そして、規制板１２の容器本体１の開口部１Ａ側に相当する部分の幅ｗ２は、容器本体１の一対の支持部２Ｌ、２Ｒの離間距離よりも若干大きく形成されているとともに、当該幅ｗ２を有する部分の左右のそれぞれの端壁部には、規制板１２の容器本体１への挿入方向（図中矢印α方向）に沿った嵌合溝１３Ｌ、１３Ｒが形成されている。
【００３５】
規制板の容器本体１への挿入状態を図１０に示すように、規制板６の嵌合溝１３Ｌ、１３Ｒは一対の支持部２Ｌ、２Ｒのそれぞれ対応する支持板２０の端辺（容器本体１の中央側の指向する周辺部）が嵌合されるようになっている。すなわち、規制板６を容器本体１に挿入する際に、その奥側の幅ｗ１は小さく形成されているため、最初は、各支持部２Ｌ、２Ｒに干渉されなく挿入され、その後、大きな幅ｗ２を有する部分において各支持部２Ｌ、２Ｒの対応する支持板２０が嵌合溝１３Ｌ、１３Ｒに嵌合されることによって、規制板６は容器本体１の奥側にまで移動させて容器本体１内に収納させることができる。この場合、規制板６の嵌合溝１３Ｌ、１３Ｒに嵌合された支持板２０が当該規制板１２を支持するようになる。
【００３６】
そして、規制板１２が容器本体１の奥側にまで移動させた際に、規制板１２に形成された係止爪１７が支持板２０にクリック的に係合されることにより規制板１２の位置決めが正確になされるようになる。図１１は、規制板１２に設けられた係止爪１７を示し、規制板１２を平面的に観た場合、前記嵌合溝１３の形成領域内に形成されている。係止爪１７は、規制板１２の上面にたとえばほぼ「コ」字状の切り欠き１８を嵌合溝１３に至るまで形成することにより構成されている。係止爪１７の先端は規制板１２の容器本体１への挿入方向に一致づけられている。図１２は、規制板１２が容器本体１の右側壁面に配置される支持板２０上に正規の位置に嵌合されている場合を拡大して示した平面図である。係止爪１７は、規制板１２の嵌合溝１３Ｒに嵌合された支持板２０に重なる位置に配置されており、係止爪１７は支持板２０側へ付勢される弾力によって支持板２０の表面に形成された凹陥部２０Ａに係止されるようになっている。図１３は、図１２のXIII−XIII線における断面図を示している。係止爪１７の先端はたとえば肉厚に形成され、この肉厚部１７Ａが支持板２０の表面に形成された凹陥部２０Ａに係止されるようになっている。なお、係止爪１７の肉厚部１７Ａにおける係止爪１７の付け根側の側壁およびこの側壁と対向する凹陥部２０Ａの側壁を、それぞれ斜面状に形成することによって、規制板１２の収納容器１からの取り出しを容易にできるようになっている。
【００３７】
このように構成された基板収納容器１００は、容器本体１の各支持部２Ｌ、２Ｒに規制板１２を支持させ、この規制板１２によって薄肉厚基板Ｗの撓みを回避させることができるようになる。また、該規制板１２の回転を防止できるとともに、該規制板１２と支持部２Ｌ、２Ｒとの擦れを低減させ、また、薄肉厚基板Ｗの取り出しも容易に行うことができるようになる。
【００３８】
なお、本発明の基板収納容器は、上述した構成に限定されることはなく、たとえば正面と背面に開口を有し、左右の側壁に支持部が形成され、背面側に支柱が形成されたカセットであってもよい。また、規制板に形成される切り欠きは、円弧状やＵ字状の形状以外に、たとえば矩形や台形等であってもよい。いずれも同様の効果が得られるからである。
【００３９】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００４０】
１……容器本体、１Ａ……開口部、１Ｂ……上面、２Ｌ、２Ｒ……支持部、３……支持用突起、６、１２……規制板、７……切り欠き、８Ｌ、８Ｒ……凹陥部、９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ……端壁、１０……溝部、１３Ｌ、１３Ｒ……嵌合溝、１７……係止爪、１８……切り欠き、２０……支持板、１００……基板収納容器、Ｗ……薄肉厚基板。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
正面に開口部を有する容器本体と、前記容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部とを備え、
前記各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成され、
前記一対の支持部の高さが同じ前記支持板によって規制板を載置させるともに、前記規制板を載置する前記支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる基板収納容器であって、
前記規制板は、平面的に観た場合、前記収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、
前記規制板を支持する前記支持板に対して位置規制される位置規制手段が設けられていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記規制板は、平面的に観た場合、前記基板とほぼ同じ形状に対して前記切り欠きが設けた形状をなすことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記規制板の位置規制手段は、前記規制板の表面の周辺の一部に該周辺に沿った凹陥部によって構成され、前記凹陥部は、基板の容器本体への挿入の後にあって前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対して位置規制がなされるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記規制板の位置規制手段の前記凹陥部は、基板の容器本体への挿入の際に、前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対してガイド機能を有するようになっていることを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記規制板の前記凹陥部は、前記規制板の容器本体への挿入方向に対して対称の位置に設けられ、これら凹陥部の平面的に観た形状は非対称となっていることを特徴とする請求項３、４のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記規制板のそれぞれの凹陥部の平面的に観た形状は、前記規制板を容器本体を奥側まで挿入した後に、一方向の回転を施すことにより、前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対して干渉を回避する形状で形成されていることを特徴とする請求項５に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記支持板の上面には点接触させるための支持用突起が形成されているともに、前記規制板の裏面には、前記規制板が前記支持板に支持されている際に、前記支持用突起と嵌合する溝部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記規制板の前記位置規制手段は、前記規制板の側壁面に形成され、前記規制板を支持する支持板を挿入させる嵌合溝によって構成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項９】
前記規制板には、前記嵌合溝内に挿入された前記支持板の凹陥部に嵌合される係止爪が形成されていることを特徴とする請求項８に記載の基板収納容器。
【請求項１０】
正面に開口部を有する容器本体と、前記容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部とを備え、
前記各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成された基板収納容器内に、
前記一対の支持部の高さが同じ前記支持板によって基板を載置させるともに、前記基板を載置する前記支持板よりも一段下にある他の支持板に載置させる規制板であって、
前記規制板は、平面的に観た場合、前記収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、前記支持板に対して位置規制される位置規制手段が設けられていることを特徴とする規制板。
【請求項１】
正面に開口部を有する容器本体と、前記容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部とを備え、
前記各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成され、
前記一対の支持部の高さが同じ前記支持板によって規制板を載置させるともに、前記規制板を載置する前記支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる基板収納容器であって、
前記規制板は、平面的に観た場合、前記収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、
前記規制板を支持する前記支持板に対して位置規制される位置規制手段が設けられていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記規制板は、平面的に観た場合、前記基板とほぼ同じ形状に対して前記切り欠きが設けた形状をなすことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記規制板の位置規制手段は、前記規制板の表面の周辺の一部に該周辺に沿った凹陥部によって構成され、前記凹陥部は、基板の容器本体への挿入の後にあって前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対して位置規制がなされるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記規制板の位置規制手段の前記凹陥部は、基板の容器本体への挿入の際に、前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対してガイド機能を有するようになっていることを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記規制板の前記凹陥部は、前記規制板の容器本体への挿入方向に対して対称の位置に設けられ、これら凹陥部の平面的に観た形状は非対称となっていることを特徴とする請求項３、４のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記規制板のそれぞれの凹陥部の平面的に観た形状は、前記規制板を容器本体を奥側まで挿入した後に、一方向の回転を施すことにより、前記規制板を支持する支持板よりも一段上の支持板に対して干渉を回避する形状で形成されていることを特徴とする請求項５に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記支持板の上面には点接触させるための支持用突起が形成されているともに、前記規制板の裏面には、前記規制板が前記支持板に支持されている際に、前記支持用突起と嵌合する溝部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記規制板の前記位置規制手段は、前記規制板の側壁面に形成され、前記規制板を支持する支持板を挿入させる嵌合溝によって構成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項９】
前記規制板には、前記嵌合溝内に挿入された前記支持板の凹陥部に嵌合される係止爪が形成されていることを特徴とする請求項８に記載の基板収納容器。
【請求項１０】
正面に開口部を有する容器本体と、前記容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部とを備え、
前記各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成された基板収納容器内に、
前記一対の支持部の高さが同じ前記支持板によって基板を載置させるともに、前記基板を載置する前記支持板よりも一段下にある他の支持板に載置させる規制板であって、
前記規制板は、平面的に観た場合、前記収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、前記支持板に対して位置規制される位置規制手段が設けられていることを特徴とする規制板。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１２−１０４５７０（Ｐ２０１２−１０４５７０Ａ）
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２５０１２１（Ｐ２０１０−２５０１２１）
【出願日】平成２２年１１月８日（２０１０．１１．８）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月８日（２０１０．１１．８）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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