グラファイトシート及びその製造方法
【課題】 各種の電子・電気機器における発熱部品の放熱用部品として、熱抵抗がなく小型で、多機能を具備したグラファイトシート及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 グラファイトシート本体１の一部分に溝４ａ等を設けて放熱部３を形成し、残りの部分を板状の熱伝導部２として、同一シート上に熱伝導部２と放熱部３とを一体に形成し、１枚のグラファイトシートでヒートコンダクターとフィンの機能をさせ、更に高熱伝導性フィラーを含有させた高分子シート８で、グラファイトシート本体１の少なくとも一方の面をラミネートして補強する。これにより発熱体１１からグラファイトシート本体１へ効率良く熱伝達され、一枚のシートからなるグラファイトシート上を小さな抵抗で熱伝導されて放熱部３で放熱できると共に、高い熱伝導性のため放熱部の小型化が可能となり、制限されたスペースへの取付けが可能になる。
【解決手段】 グラファイトシート本体１の一部分に溝４ａ等を設けて放熱部３を形成し、残りの部分を板状の熱伝導部２として、同一シート上に熱伝導部２と放熱部３とを一体に形成し、１枚のグラファイトシートでヒートコンダクターとフィンの機能をさせ、更に高熱伝導性フィラーを含有させた高分子シート８で、グラファイトシート本体１の少なくとも一方の面をラミネートして補強する。これにより発熱体１１からグラファイトシート本体１へ効率良く熱伝達され、一枚のシートからなるグラファイトシート上を小さな抵抗で熱伝導されて放熱部３で放熱できると共に、高い熱伝導性のため放熱部の小型化が可能となり、制限されたスペースへの取付けが可能になる。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、電子・電気機器における発熱部品の放熱に好適なグラファイトシート及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】コンピューターなどの各種の電子・電気機器に搭載されている半導体素子や、その他の発熱部品などの冷却の問題が注目されている。
【０００３】このような冷却すべき部品の冷却方法としては、それが搭載される機器筐体にファンを取り付け、その機器筐体を冷却する方法や、その冷却する部品にヒートパイプやヒートスプレッダー、ヒートシンクやフィンなどの熱伝導体を取り付け、その素子からの熱を外部に運ぶことで冷却する方法等が一般的である。
【０００４】冷却すべき部品に取り付ける熱伝導材料としては、アルミニウム板や銅板などが挙げられる。そして、この場合、アルミニウムや銅板の一部、またはヒートパイプに発熱部品を取り付け、更に、その板の部分をフィンやファンを用いて外部に放熱する。
【０００５】ところで、近年は半導体素子等の発熱部品が搭載される各機器が小型化され、また、その部材の発熱量が大きくなる傾向がある。しかし筐体が小型化するため、フィンやヒートシンク及びファンなどの部品を挿入するスペースが制限されてきている。
【０００６】そこで近年は、熱伝導体（ヒートコンダクタ）として、熱伝導性に優れるグラファイトシートが有力視されている。グラファイトシートはカーボンが層状構造をとっており、グラファイトシートの面内の熱伝導率が６００から８００Ｗ／ｍＫと銅やアルミニウムなどの金属より高く、かつ密度が１ｇ／ｃｍ3程度と軽い上に、高い電気伝導性を持つ材料である。また、シートの厚さを薄くでき、フレキシブルなために狭い場所や、隙間をぬって取り回す必要のある場所のヒートコンダクタ材として期待される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、グラファイトシートをヒートコンダクタとして用いても、最後は大気中に放熱しなければならず、別途作製したフィンを筐体につけるスペースがないことや、フィンとヒートコンダクタの熱抵抗が問題となっていた。
【０００８】そこで本発明の目的は、熱抵抗がなく小型で、多機能を具備したグラファイトシート及びその製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、グラファイトシート本体に、凹凸部からなる放熱部と板状の熱伝導部とが形成されたグラファイトシート（以下、本発明のグラファイトシートと称する。）に係るものである。
【００１０】本発明のグラファイトシートによれば、グラファイトシート本体に凹凸部からなる放熱部と板状の熱伝導部とが形成されているので、この凹凸部によって放熱部の表面積が増大し、放熱部と熱伝導部とが同一のグラファイトシート上に一体形成され、放熱と熱伝導との両機能を具備することができる。従って、高熱伝導性のグラファイトシートにより伝導された熱が、同一の本体に形成された凹凸部から直接放熱されるため、高効率な熱伝達及び放熱が可能になり、その結果、同一シート上を小さい熱抵抗で熱伝導されるために、発熱体からの熱を効率良く放熱部へ伝達でき、しかも高熱伝導性のために放熱部を小型化しても外部への放熱効率が向上することから、小型化が可能になって、制限されたスペースへの取付けが可能になる。
【００１１】また、本発明は、グラファイトシート本体に、凹凸部からなる放熱部と板状の熱伝導部とを形成する工程を有する、グラファイトシートの製造方法（以下、本発明の製造方法と称する。）に係るものである。
【００１２】本発明の製造方法によれば、上記した本発明のグラファイトシートと同様にグラファイトシートが形成されるので、本発明のグラファイトシートと同様な効果が奏せられる、再現性の良いグラファイトシートの製造方法を提供することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形態を説明する。
【００１４】上記した本発明のグラファイトシート及び製造方法においては、前記熱伝導部に発熱体が配されるグラファイトシートとして使用されるのが望ましく、このため、前記熱伝導部の少なくとも一方の面に高分子シートが設けられているのが、グラファイトシートの補強と柔軟性を持たせる点で望ましい。
【００１５】そして、前記高分子シートが、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート又はシリコーンゴムにより形成されていることが、グラファイトシートを絶縁し、高分子シートの可撓性によってグラファイトシートを保護できる点で望ましい。
【００１６】更に、前記高分子シートに、高熱伝導性材料を含有させることが、高分子シートに熱伝導性を持たせ、発熱体の熱を効率良くグラファイトシートに伝導できる点で望ましい。
【００１７】この場合、前記放熱部及び前記熱伝導部の少なくとも一方の面がダイヤモンドライクカーボンで被覆されていてもよい。これによりグラファイトシートの補強と共に、発熱体からグラファイトシートへの熱伝導も良く、グラファイトシートからの粉落ちを防止できる点で望ましい。
【００１８】そして、前記熱伝導部の少なくとも一方の面に前記高分子シートが被着され、前記グラファイトシート上に発熱体が接合されることがグラファイトシートと発熱体間を絶縁すると共に、高分子シートに付加された熱伝導性によって発熱体からグラファイトシートへ熱伝導できる点で望ましい。
【００１９】また、前記熱伝導部に被着された前記高分子シートに欠除部が形成され、この欠除部において絶縁性の熱伝導性接着材を介して発熱体が前記グラファイトシート本体に接合されていてもよく、これにより、発熱体の熱が直にグラファイトシートに伝導され、熱伝導効率が高められる点で望ましい。
【００２０】更に、前記発熱体が熱伝導性接着材によって前記熱伝導部に接合されることが、発熱体の接着性を高めると共に、接合部の熱伝導を高める点で望ましい。
【００２１】また、前記凹凸部がエンボッシングにより形成されていることが凹凸部を精度良く形成できる点で望ましい。
【００２２】この場合、前記グラファイトシート本体を加熱処理しながら加工して少なくとも前記熱伝導部を形成し、凹凸部も加熱処理しながらエンボッシングすることが、加工を容易にできる点で望ましい。
【００２３】更に、前記熱伝導部を曲げ加工する場合やエンボッシング時は、前記加熱処理を室温から１００℃の温度で行うのが加工性が高められる点で望ましい。
【００２４】以下、本発明の好ましい実施の形態を具体的に説明する。
【００２５】本発明のグラファイトシートは、例えば、厚みが０．０５〜０．５ｍｍに圧延されたグラファイトシートの一部分にエンボッシング（以下、エンボス加工と称することがある。）を行ない、表面積を増やすことにより小型のフィンとしての機能を持たせ、残りの部材にヒートスプレッダーもしくはヒートコンダクタの役割を負わせることにより、フィンとヒートコンダクタが一体成形された放熱部品である。図１〜図３にその基本的なグラファイトシートの形状を示す。
【００２６】但し、グラファイトシート本体１の厚さが、０．０５ｍｍ未満であれば、薄すぎるために、グラファイトシート本体１の強度が低下し、シート化が難しくなり、また面方向への熱伝導が不均一になり易い。グラファイトシート本体１の厚さが、０．５ｍｍを超えると、グラファイトシート本体１の機械的強度は増すが熱伝導性が損なわれると共に、制約された場所への設置性が妨げられる。
【００２７】即ち、図１は、グラファイトシート本体１に、板状の熱伝導部２と横方向に溝４ａが複数形成された放熱部３が設けられ、発熱体取付け部６上に発熱体が配される。従って、発熱体の熱は熱伝導部２に伝導され、これと一体の放熱部３へ運ばれて放熱され、溝４ａと平行な空気の流れ７によって効率的に放熱部３が冷却される。
【００２８】図２は、図１と同様なグラファイトシート本体１に、放熱部３の溝４ａを縦方向に形成したものであり、この場合も、冷却するための空気の流れも溝４ａに平行な方向がよい。また、図３は、図１と同様なグラファイトシート本体１に、放熱部３が上記した溝４ａと異なるブラインド孔４ｂを設けて形成される。この場合の冷却のための空気の流れ方向７はいずれの方向でもよく、空気が孔内に巻き込まれることによりフィンとして機能すると共に、強度が高い利点を有している。
【００２９】上記した基本的な形状は、圧延によってシート加工後にエンボス加工によって形成される。そして、これらのグラファイトシート本体１の寸法は、図１に示すように、長さＬが１０ｃｍ、幅Ｗが４ｃｍ、厚さＴが０．２ｍｍのグラファイトシートの一部（長さ３ｃｍ）を放熱部３として室温から１００℃の低温でエンボス加工を行う。
【００３０】そして、図４に放熱部３の拡大概略断面図として示すように、溝４ａ（又はブラインド孔４ｂ）の幅Ｗ1と深さＤとのアスペクト比は１：１０（０．１ｍｍ：１．０ｍｍ）、溝４ａの幅Ｗ1と溝間の距離Ｗ2との比が１：１（０．１ｍｍ：０．１ｍｍ）に形成される。しかし、これらの比はこのサイズに限定されるものではない。
【００３１】上記したグラファイトシート本体１の熱伝導部２と放熱部３のエンボス加工の形状は、用途に応じて図１〜図３など、どの構造をとってもよい。このように同一部材上に熱伝導部２と放熱部３を一体形成することにより、従来、熱伝導部と放熱部が異なる部材を用いていたために生じていた両者間の熱抵抗を大幅に低下させることができる。
【００３２】しかし、グラファイトシート本体１は、図５R>５に示すようにカーボンが層構造をなしたものであり、面内方向（ａ−ｂ方向）の分子の結合は強固であるが、面方向と直交する方向のｃ1〜ｃ2〜ｃ3間は分子間力によって結合されているため、結合力は弱く、面内方向にはずれ易い。従って、圧延によって形成したグラファイトシート本体１にエンボス加工することにより、その一部分に放熱部３を凹凸に形成して表面積を増大させると共に、エンボス加工時の押圧により分子が緻密になり、厚みが１０％程減少するもののグラファイトシートの強度が向上する。
【００３３】また、既述したように、グラファイトシートは材質的に脆いので、グラファイトシート本体１の絶縁のためなど、必要に応じてシートの熱伝導部２の少なくとも片面をＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ポリエチレンナフタレート、ポリイミドなどの高分子シート又はシリコーンなどの樹脂材でラミネートすることにより、グラファイトシートを補強し、柔軟性を持たせることができる。
【００３４】更に、上記高分子シートに高熱伝導性のフィラー（金属粉など）を含有させておくことにより、絶縁性のある高分子シートに熱伝導性が付加されるため、発熱体の熱のグラファイトシートへの伝導効率を高めることができる。
【００３５】また、グラファイトシート本体１の表面に、例えば、スパッタリングによりダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）を薄くコーティング（厚さ１０μｍ以下）しておけば、ダイヤモンドライクカーボンは硬く、熱伝導率も良いためにシートの強度も向上し、発熱体からグラファイトシートへの熱伝導性も良くなり、シートからの粉落ちを防ぐことができる。
【００３６】実施の形態１図６は本実施の形態を示す概略断面図であり、上記した図１のような構造のグラファイトシート本体１の熱伝導部２の一方の面に、ＰＥＴ等からなる高分子シート８をラミネートし、この上に発熱体１１が熱伝導性接着材９を介して接合されたグラファイトシート１０Ａを示す。
【００３７】この高分子シート８は、上記のようにして熱伝導性を持たせたものであり、これによりグラファイトシート本体１が補強されて柔軟性を帯びると共に、発熱体１１とグラファイトシート本体１との間が電気的に絶縁される。但し、この高分子シート８でラミネートする面はこれに限るものではない。
【００３８】即ち、図６は、グラファイトシート本体１の上面に高分子シート８がラミネートされ、その上方に発熱体１１が配されているが、高分子シート８を反対側の面にもラミネートしてグラファイトシート本体１の両面に配してもよく、また、高分子シート８を図６とは反対側のみに設けることもできる。しかし、高分子シート８を図６とは反対側のみに設ける場合は、発熱体１１とグラファイトシート本体１との間に絶縁性のある熱伝導性接着材等を配し、双方を接合することが必要である。
【００３９】このような構成により、放熱して冷却すべき半導体素子等の発熱体１１の熱が、熱伝導性接着材９から高分子シート８を経て、グラファイトシート本体１の熱伝導部２へ伝導され、熱伝導部２と一体に形成された放熱部３から大気中に放熱される。
【００４０】このように、本実施の形態のグラファイトシート１０Ａは、冷却すべき発熱体１１をこのグラファイトシート１０Ａに接合して放熱する放熱用部品であり、このグラファイトシート１０Ａを筐体に結合して筐体内部で放熱したり、グラファイトシート１０Ａの放熱部３を筐体の外部へ配置するなど、様々な放熱形態に使用される。
【００４１】従って、放熱部３からの放熱と同時に、グラファイトシート１０Ａの熱伝導部２からも機器の筐体に熱を直接逃がす場合には、絶縁性無機物や金属粉が充填された電気絶縁性を持つ熱伝導性接着剤や、１００ミクロン以下の厚さを持つ熱伝導性テープを用いて筐体とグラファイトシート本体１を接着してもよい。
【００４２】また、発熱体１１とグラファイトシート１０Ａの熱伝導部２との密着性を高めるには、それらの間に高熱伝導率を持つ絶縁性無機物や金属粉が充填された電気絶縁性を持つ熱伝導性接着剤を塗布して接着したり、グリースや放熱シート又は相変化（フェーズチェンジ）材等を用いてもよい。上記した用途及び接着方法や接着剤は後述する他の実施の形態も同様。
【００４３】実施の形態２図７は、本実施の形態を示す概略断面図であり、図１のような構造のグラファイトシート本体１の一方の面に、スパッタリングによりＤＬＣ５を用いて被覆したグラファイトシート１０Ｂであり、この熱伝導部２の上方に発熱体１１が熱伝導性接着材９を介して接合されている。そして、この例も上記実施の形態１の場合と同様に、グラファイトシート本体１の両面又は反対側の面のみを被覆することができる。
【００４４】このような構成により、硬いＤＬＣ５による被覆によって補強されるため、グラファイトシート本体１の強度が向上すると共に、熱伝導性が妨げられることもなく、シートからの粉落ちが防がれながら、図１と同様な放熱性能を発揮することができる。
【００４５】実施の形態３図８は、本実施の形態を示す概略斜視図であり、図１のような構造のグラファイトシート本体の熱伝導部２の一方の面に、高分子シート８をラミネートし、この高分子シート８の一部分が欠除されたグラファイトシート１０Ｃである。
【００４６】図示の如く、このグラファイトシート１０Ｃは、発熱体１１が接合される部分の高分子シート８の一部分が欠除された欠除部１２が形成され、この欠除部１２に熱伝導性接着材９を介して発熱体１１が接合される。従って、発熱体１１の位置決めが容易であり、接合した発熱体１１の熱は、密着性と熱伝導性の優れた熱伝導性接着材９を介して直にグラファイトシート１０Ｃに接合されるため、熱伝導性が向上するという利点がある。そして、これも上記した実施の形態１と同様に、高分子シート８をグラファイトシート本体１の両面又は図８R>８とは反対側面のみに設けることができる。
【００４７】図９は変形例の一例を示す概略断面図であり、図１のような構造のグラファイトシート本体１において、放熱部３の溝４ａを放熱部３の両面に設けたグラファイトシートを示し、実施の形態１と同様に、発熱体１１は熱伝導部２の一方の面にラミネートした高分子シート８の上方に、熱伝導性接着材９を介して接合される。
【００４８】従って、上記した各実施の形態と同様に放熱部３に運ばれた熱は、放熱部３の両面に設けた溝４ａで形成された凹凸によって、放熱効率を高めて放熱することができる。
【００４９】図１０は、他の変形例を示す概略断面図であり、放熱部３をグラファイトシート本体１の中央部に設け、上記例（図９）と同様にシートの両面に溝４ａを形成し、グラファイトシート本体１の両端部を熱伝導部２とし、この両端部に発熱体１１を配するようにしたものである。
【００５０】従って、発熱体１１は、双方の熱伝導部２の一方の面にラミネートした高分子シート８の上方に熱伝導性接着材９を介して接合することができ、これら発熱体１１の熱は放熱効率の高い放熱部３で放熱される。そして、図示の如くこの場合、グラファイトシート本体１は、両端部の熱伝導部２の端部を支持体１４で支持できるので、グラファイトシート本体１の応力が軽減されるため、本体の厚みを薄く形成でき、その結果、グラファイトシートの熱伝導性を更に高めることができる。
【００５１】図１１は、他の変形例を示す概略断面図であり、グラファイトシート本体１の両端部において、互いに反対側面に溝４ａを設けて放熱部を形成し、それぞれの溝４ａとは反対側の面に高分子シート８をラミネートし、そこに発熱体１１が熱伝導性接着材９を介してグラファイトシート本体１上に配設されたものである。つまり、この場合、グラファイトシート本体の両端部において、一方の面側が熱伝導部２となり、その反対面側が放熱部３として形成される。
【００５２】従って、各発熱体１１の熱は、熱伝導性接着材９及び高分子シート８を経てグラファイトシート本体１へ伝導され、発熱体１１の接合面の反対側面の放熱部３へ最短距離を熱伝導して放熱することができる。
【００５３】図１２は、他の変形例を示す概略断面図であり、グラファイトシート本体１に折り曲げ加工を施し、筐体等の内面角等にグラファイトシートを配する例である。
【００５４】即ち、グラファイトシート本体１を例えば筐体に沿って９０度に曲げた構造が必要な場合、これまではシートを曲げることにより折れ、粉が落ち、かつその部分で熱伝達が悪くなることが多かったが、グラファイトシート本体１を前もって室温から１００℃の低温で熱処理しながら加工することにより、折り目の破断を防ぐことができる。これにより、グラファイトシート本体１の熱伝導部２を筐体１５の内角部に両面テープ１６で接着し、かつ放熱部３のみを筐体１５の外側に配置することも可能になる。なおグラファイトシートの強度を上げるためや絶縁のために、高分子シート８でラミネートし、補強してもよい。また、高分子シート８をラミネート後に曲げ加工してもよく、これにより曲げ部の割れ等を防ぐことができる。
【００５５】図１３は、更に他の変形例を示す概略斜視図であり、図１２の例がコ型に曲げ加工したのに対し、Ｚ型に曲げ加工した例である。
【００５６】この曲げ加工は図１２の場合と同様にして実施することができる。そして、発熱体１１の接合部のみの高分子シート８を、上記した実施の形態３と同様に欠除して欠除部１２を設け、この欠除部１２において、発熱体１１を絶縁性のある熱伝導性接着材９を介してグラファイトシート本体１に接合してもよい。そしてこのグラファイトシートを筐体内の支持板１４等に両面テープ１６等で接着し、図１２の場合と同様に使用することができる。
【００５７】上記した各実施の形態及び変形例によれば、グラファイトシート本体１の一部分に溝４ａ又はブラインド孔４ｂを設けて放熱部３を形成し、残りの部分を板状の熱伝導部２とすることにより、熱伝導部２と放熱部３とが同一部材上に一体に形成され、換言すれば、１枚のグラファイトシートがヒートコンダクタとフィンとして機能する。しかも、高熱伝導性のフィラーを含有させた高分子シート８でグラファイトシート本体１の少なくとも一方の面をラミネートすることにより、グラファイトシートに柔軟性を持たせて補強すると共に、絶縁性のある高分子シート８に熱伝導性が付加される、またＤＬＣ５で少なくとも一方の面を被覆することにより補強される。そしていずれも、熱伝導部２上に配される発熱体１１の熱が熱伝導性良くグラファイトシートに伝わり、同一部材上で熱伝導部２の反対側に形成された放熱部３から高効率で放熱することができ、フィンやヒートシンクなどを設置するスペースのない小型の電気・電子機器等の放熱に効果的に用いることができる。
【００５８】上記した各実施の形態及び変形例は、本発明の技術的思想に基づいて変形することが可能である。
【００５９】例えば、凹凸部の形状は実施の形態等に示した溝４ａ又はブラインド孔４ｂ以外の形状（鋸刃型等）であってもよく、ラミネート材も実施の形態以外の適宜の材料を使用してもよい。
【００６０】また、グラファイトシート本体１の形状、寸法等も実施の形態等に限定するものでもなく、適宜であってよい。
【００６１】
【発明の作用効果】上述した如く、本発明のグラファイトシート及びその製造方法は、凹凸部によって放熱部の表面積が増大し、放熱部と熱伝導部とが同一のグラファイトシート上に一体形成され、放熱と熱伝導との両機能を具備することができる。従って、高熱伝導性のグラファイトシートにより伝導された熱が、同一の本体に形成された凹凸部から直接放熱されるため、高効率な熱伝達及び放熱が可能になり、その結果、同一シート上を小さな熱抵抗で熱伝導されるために、発熱体からの熱を効率良く放熱部へ伝達でき、しかも高熱伝導性のために放熱部を小型化しても外部への放熱効果が向上することから、小型化が可能になって、制限されたスペースへの取付けが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のグラファイトシート本体の基本的な形状を示す概略斜視図である。
【図２】同、グラファイトシート本体の基本的な他の形状を示す概略斜視図である。
【図３】同、グラファイトシート本体の基本的な更に他の形状を示す概略斜視図である。
【図４】同、グラファイトシートの放熱部の拡大概略断面図である。
【図５】同、グラファイトシートの層構造を示す概略図である。
【図６】同、実施の形態１によるグラファイトシートを示す概略断面図である。
【図７】同、実施の形態２によるグラファイトシートを示す概略断面図である。
【図８】同、実施の形態３によるグラファイトシートを示す概略断面図である。
【図９】同、グラファイトシートの変形例を示す概略断面図である。
【図１０】同、グラファイトシートの他の変形例を示す概略断面図である。
【図１１】同、グラファイトシートの他の変形例を示す概略断面図である。
【図１２】同、グラファイトシートの他の変形例を示す概略断面図である。
【図１３】同、グラファイトシートの更に他の変形例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１…グラファイトシート本体、２…熱伝導部、３…放熱部、４ａ…溝、４ｂ…ブラインド孔、５…ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、６…発熱体取付け部、７…空気の流れ、８…高分子シート、９…接着材、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ…グラファイトシート、１１…発熱体、１２…欠除部、１４…支持板、１５…筐体、１６…両面テープ、ｃ１〜ｃ３…カーボン層、Ｌ…長さ、Ｗ…幅、Ｔ…厚さ
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、電子・電気機器における発熱部品の放熱に好適なグラファイトシート及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】コンピューターなどの各種の電子・電気機器に搭載されている半導体素子や、その他の発熱部品などの冷却の問題が注目されている。
【０００３】このような冷却すべき部品の冷却方法としては、それが搭載される機器筐体にファンを取り付け、その機器筐体を冷却する方法や、その冷却する部品にヒートパイプやヒートスプレッダー、ヒートシンクやフィンなどの熱伝導体を取り付け、その素子からの熱を外部に運ぶことで冷却する方法等が一般的である。
【０００４】冷却すべき部品に取り付ける熱伝導材料としては、アルミニウム板や銅板などが挙げられる。そして、この場合、アルミニウムや銅板の一部、またはヒートパイプに発熱部品を取り付け、更に、その板の部分をフィンやファンを用いて外部に放熱する。
【０００５】ところで、近年は半導体素子等の発熱部品が搭載される各機器が小型化され、また、その部材の発熱量が大きくなる傾向がある。しかし筐体が小型化するため、フィンやヒートシンク及びファンなどの部品を挿入するスペースが制限されてきている。
【０００６】そこで近年は、熱伝導体（ヒートコンダクタ）として、熱伝導性に優れるグラファイトシートが有力視されている。グラファイトシートはカーボンが層状構造をとっており、グラファイトシートの面内の熱伝導率が６００から８００Ｗ／ｍＫと銅やアルミニウムなどの金属より高く、かつ密度が１ｇ／ｃｍ3程度と軽い上に、高い電気伝導性を持つ材料である。また、シートの厚さを薄くでき、フレキシブルなために狭い場所や、隙間をぬって取り回す必要のある場所のヒートコンダクタ材として期待される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、グラファイトシートをヒートコンダクタとして用いても、最後は大気中に放熱しなければならず、別途作製したフィンを筐体につけるスペースがないことや、フィンとヒートコンダクタの熱抵抗が問題となっていた。
【０００８】そこで本発明の目的は、熱抵抗がなく小型で、多機能を具備したグラファイトシート及びその製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、グラファイトシート本体に、凹凸部からなる放熱部と板状の熱伝導部とが形成されたグラファイトシート（以下、本発明のグラファイトシートと称する。）に係るものである。
【００１０】本発明のグラファイトシートによれば、グラファイトシート本体に凹凸部からなる放熱部と板状の熱伝導部とが形成されているので、この凹凸部によって放熱部の表面積が増大し、放熱部と熱伝導部とが同一のグラファイトシート上に一体形成され、放熱と熱伝導との両機能を具備することができる。従って、高熱伝導性のグラファイトシートにより伝導された熱が、同一の本体に形成された凹凸部から直接放熱されるため、高効率な熱伝達及び放熱が可能になり、その結果、同一シート上を小さい熱抵抗で熱伝導されるために、発熱体からの熱を効率良く放熱部へ伝達でき、しかも高熱伝導性のために放熱部を小型化しても外部への放熱効率が向上することから、小型化が可能になって、制限されたスペースへの取付けが可能になる。
【００１１】また、本発明は、グラファイトシート本体に、凹凸部からなる放熱部と板状の熱伝導部とを形成する工程を有する、グラファイトシートの製造方法（以下、本発明の製造方法と称する。）に係るものである。
【００１２】本発明の製造方法によれば、上記した本発明のグラファイトシートと同様にグラファイトシートが形成されるので、本発明のグラファイトシートと同様な効果が奏せられる、再現性の良いグラファイトシートの製造方法を提供することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形態を説明する。
【００１４】上記した本発明のグラファイトシート及び製造方法においては、前記熱伝導部に発熱体が配されるグラファイトシートとして使用されるのが望ましく、このため、前記熱伝導部の少なくとも一方の面に高分子シートが設けられているのが、グラファイトシートの補強と柔軟性を持たせる点で望ましい。
【００１５】そして、前記高分子シートが、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート又はシリコーンゴムにより形成されていることが、グラファイトシートを絶縁し、高分子シートの可撓性によってグラファイトシートを保護できる点で望ましい。
【００１６】更に、前記高分子シートに、高熱伝導性材料を含有させることが、高分子シートに熱伝導性を持たせ、発熱体の熱を効率良くグラファイトシートに伝導できる点で望ましい。
【００１７】この場合、前記放熱部及び前記熱伝導部の少なくとも一方の面がダイヤモンドライクカーボンで被覆されていてもよい。これによりグラファイトシートの補強と共に、発熱体からグラファイトシートへの熱伝導も良く、グラファイトシートからの粉落ちを防止できる点で望ましい。
【００１８】そして、前記熱伝導部の少なくとも一方の面に前記高分子シートが被着され、前記グラファイトシート上に発熱体が接合されることがグラファイトシートと発熱体間を絶縁すると共に、高分子シートに付加された熱伝導性によって発熱体からグラファイトシートへ熱伝導できる点で望ましい。
【００１９】また、前記熱伝導部に被着された前記高分子シートに欠除部が形成され、この欠除部において絶縁性の熱伝導性接着材を介して発熱体が前記グラファイトシート本体に接合されていてもよく、これにより、発熱体の熱が直にグラファイトシートに伝導され、熱伝導効率が高められる点で望ましい。
【００２０】更に、前記発熱体が熱伝導性接着材によって前記熱伝導部に接合されることが、発熱体の接着性を高めると共に、接合部の熱伝導を高める点で望ましい。
【００２１】また、前記凹凸部がエンボッシングにより形成されていることが凹凸部を精度良く形成できる点で望ましい。
【００２２】この場合、前記グラファイトシート本体を加熱処理しながら加工して少なくとも前記熱伝導部を形成し、凹凸部も加熱処理しながらエンボッシングすることが、加工を容易にできる点で望ましい。
【００２３】更に、前記熱伝導部を曲げ加工する場合やエンボッシング時は、前記加熱処理を室温から１００℃の温度で行うのが加工性が高められる点で望ましい。
【００２４】以下、本発明の好ましい実施の形態を具体的に説明する。
【００２５】本発明のグラファイトシートは、例えば、厚みが０．０５〜０．５ｍｍに圧延されたグラファイトシートの一部分にエンボッシング（以下、エンボス加工と称することがある。）を行ない、表面積を増やすことにより小型のフィンとしての機能を持たせ、残りの部材にヒートスプレッダーもしくはヒートコンダクタの役割を負わせることにより、フィンとヒートコンダクタが一体成形された放熱部品である。図１〜図３にその基本的なグラファイトシートの形状を示す。
【００２６】但し、グラファイトシート本体１の厚さが、０．０５ｍｍ未満であれば、薄すぎるために、グラファイトシート本体１の強度が低下し、シート化が難しくなり、また面方向への熱伝導が不均一になり易い。グラファイトシート本体１の厚さが、０．５ｍｍを超えると、グラファイトシート本体１の機械的強度は増すが熱伝導性が損なわれると共に、制約された場所への設置性が妨げられる。
【００２７】即ち、図１は、グラファイトシート本体１に、板状の熱伝導部２と横方向に溝４ａが複数形成された放熱部３が設けられ、発熱体取付け部６上に発熱体が配される。従って、発熱体の熱は熱伝導部２に伝導され、これと一体の放熱部３へ運ばれて放熱され、溝４ａと平行な空気の流れ７によって効率的に放熱部３が冷却される。
【００２８】図２は、図１と同様なグラファイトシート本体１に、放熱部３の溝４ａを縦方向に形成したものであり、この場合も、冷却するための空気の流れも溝４ａに平行な方向がよい。また、図３は、図１と同様なグラファイトシート本体１に、放熱部３が上記した溝４ａと異なるブラインド孔４ｂを設けて形成される。この場合の冷却のための空気の流れ方向７はいずれの方向でもよく、空気が孔内に巻き込まれることによりフィンとして機能すると共に、強度が高い利点を有している。
【００２９】上記した基本的な形状は、圧延によってシート加工後にエンボス加工によって形成される。そして、これらのグラファイトシート本体１の寸法は、図１に示すように、長さＬが１０ｃｍ、幅Ｗが４ｃｍ、厚さＴが０．２ｍｍのグラファイトシートの一部（長さ３ｃｍ）を放熱部３として室温から１００℃の低温でエンボス加工を行う。
【００３０】そして、図４に放熱部３の拡大概略断面図として示すように、溝４ａ（又はブラインド孔４ｂ）の幅Ｗ1と深さＤとのアスペクト比は１：１０（０．１ｍｍ：１．０ｍｍ）、溝４ａの幅Ｗ1と溝間の距離Ｗ2との比が１：１（０．１ｍｍ：０．１ｍｍ）に形成される。しかし、これらの比はこのサイズに限定されるものではない。
【００３１】上記したグラファイトシート本体１の熱伝導部２と放熱部３のエンボス加工の形状は、用途に応じて図１〜図３など、どの構造をとってもよい。このように同一部材上に熱伝導部２と放熱部３を一体形成することにより、従来、熱伝導部と放熱部が異なる部材を用いていたために生じていた両者間の熱抵抗を大幅に低下させることができる。
【００３２】しかし、グラファイトシート本体１は、図５R>５に示すようにカーボンが層構造をなしたものであり、面内方向（ａ−ｂ方向）の分子の結合は強固であるが、面方向と直交する方向のｃ1〜ｃ2〜ｃ3間は分子間力によって結合されているため、結合力は弱く、面内方向にはずれ易い。従って、圧延によって形成したグラファイトシート本体１にエンボス加工することにより、その一部分に放熱部３を凹凸に形成して表面積を増大させると共に、エンボス加工時の押圧により分子が緻密になり、厚みが１０％程減少するもののグラファイトシートの強度が向上する。
【００３３】また、既述したように、グラファイトシートは材質的に脆いので、グラファイトシート本体１の絶縁のためなど、必要に応じてシートの熱伝導部２の少なくとも片面をＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ポリエチレンナフタレート、ポリイミドなどの高分子シート又はシリコーンなどの樹脂材でラミネートすることにより、グラファイトシートを補強し、柔軟性を持たせることができる。
【００３４】更に、上記高分子シートに高熱伝導性のフィラー（金属粉など）を含有させておくことにより、絶縁性のある高分子シートに熱伝導性が付加されるため、発熱体の熱のグラファイトシートへの伝導効率を高めることができる。
【００３５】また、グラファイトシート本体１の表面に、例えば、スパッタリングによりダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）を薄くコーティング（厚さ１０μｍ以下）しておけば、ダイヤモンドライクカーボンは硬く、熱伝導率も良いためにシートの強度も向上し、発熱体からグラファイトシートへの熱伝導性も良くなり、シートからの粉落ちを防ぐことができる。
【００３６】実施の形態１図６は本実施の形態を示す概略断面図であり、上記した図１のような構造のグラファイトシート本体１の熱伝導部２の一方の面に、ＰＥＴ等からなる高分子シート８をラミネートし、この上に発熱体１１が熱伝導性接着材９を介して接合されたグラファイトシート１０Ａを示す。
【００３７】この高分子シート８は、上記のようにして熱伝導性を持たせたものであり、これによりグラファイトシート本体１が補強されて柔軟性を帯びると共に、発熱体１１とグラファイトシート本体１との間が電気的に絶縁される。但し、この高分子シート８でラミネートする面はこれに限るものではない。
【００３８】即ち、図６は、グラファイトシート本体１の上面に高分子シート８がラミネートされ、その上方に発熱体１１が配されているが、高分子シート８を反対側の面にもラミネートしてグラファイトシート本体１の両面に配してもよく、また、高分子シート８を図６とは反対側のみに設けることもできる。しかし、高分子シート８を図６とは反対側のみに設ける場合は、発熱体１１とグラファイトシート本体１との間に絶縁性のある熱伝導性接着材等を配し、双方を接合することが必要である。
【００３９】このような構成により、放熱して冷却すべき半導体素子等の発熱体１１の熱が、熱伝導性接着材９から高分子シート８を経て、グラファイトシート本体１の熱伝導部２へ伝導され、熱伝導部２と一体に形成された放熱部３から大気中に放熱される。
【００４０】このように、本実施の形態のグラファイトシート１０Ａは、冷却すべき発熱体１１をこのグラファイトシート１０Ａに接合して放熱する放熱用部品であり、このグラファイトシート１０Ａを筐体に結合して筐体内部で放熱したり、グラファイトシート１０Ａの放熱部３を筐体の外部へ配置するなど、様々な放熱形態に使用される。
【００４１】従って、放熱部３からの放熱と同時に、グラファイトシート１０Ａの熱伝導部２からも機器の筐体に熱を直接逃がす場合には、絶縁性無機物や金属粉が充填された電気絶縁性を持つ熱伝導性接着剤や、１００ミクロン以下の厚さを持つ熱伝導性テープを用いて筐体とグラファイトシート本体１を接着してもよい。
【００４２】また、発熱体１１とグラファイトシート１０Ａの熱伝導部２との密着性を高めるには、それらの間に高熱伝導率を持つ絶縁性無機物や金属粉が充填された電気絶縁性を持つ熱伝導性接着剤を塗布して接着したり、グリースや放熱シート又は相変化（フェーズチェンジ）材等を用いてもよい。上記した用途及び接着方法や接着剤は後述する他の実施の形態も同様。
【００４３】実施の形態２図７は、本実施の形態を示す概略断面図であり、図１のような構造のグラファイトシート本体１の一方の面に、スパッタリングによりＤＬＣ５を用いて被覆したグラファイトシート１０Ｂであり、この熱伝導部２の上方に発熱体１１が熱伝導性接着材９を介して接合されている。そして、この例も上記実施の形態１の場合と同様に、グラファイトシート本体１の両面又は反対側の面のみを被覆することができる。
【００４４】このような構成により、硬いＤＬＣ５による被覆によって補強されるため、グラファイトシート本体１の強度が向上すると共に、熱伝導性が妨げられることもなく、シートからの粉落ちが防がれながら、図１と同様な放熱性能を発揮することができる。
【００４５】実施の形態３図８は、本実施の形態を示す概略斜視図であり、図１のような構造のグラファイトシート本体の熱伝導部２の一方の面に、高分子シート８をラミネートし、この高分子シート８の一部分が欠除されたグラファイトシート１０Ｃである。
【００４６】図示の如く、このグラファイトシート１０Ｃは、発熱体１１が接合される部分の高分子シート８の一部分が欠除された欠除部１２が形成され、この欠除部１２に熱伝導性接着材９を介して発熱体１１が接合される。従って、発熱体１１の位置決めが容易であり、接合した発熱体１１の熱は、密着性と熱伝導性の優れた熱伝導性接着材９を介して直にグラファイトシート１０Ｃに接合されるため、熱伝導性が向上するという利点がある。そして、これも上記した実施の形態１と同様に、高分子シート８をグラファイトシート本体１の両面又は図８R>８とは反対側面のみに設けることができる。
【００４７】図９は変形例の一例を示す概略断面図であり、図１のような構造のグラファイトシート本体１において、放熱部３の溝４ａを放熱部３の両面に設けたグラファイトシートを示し、実施の形態１と同様に、発熱体１１は熱伝導部２の一方の面にラミネートした高分子シート８の上方に、熱伝導性接着材９を介して接合される。
【００４８】従って、上記した各実施の形態と同様に放熱部３に運ばれた熱は、放熱部３の両面に設けた溝４ａで形成された凹凸によって、放熱効率を高めて放熱することができる。
【００４９】図１０は、他の変形例を示す概略断面図であり、放熱部３をグラファイトシート本体１の中央部に設け、上記例（図９）と同様にシートの両面に溝４ａを形成し、グラファイトシート本体１の両端部を熱伝導部２とし、この両端部に発熱体１１を配するようにしたものである。
【００５０】従って、発熱体１１は、双方の熱伝導部２の一方の面にラミネートした高分子シート８の上方に熱伝導性接着材９を介して接合することができ、これら発熱体１１の熱は放熱効率の高い放熱部３で放熱される。そして、図示の如くこの場合、グラファイトシート本体１は、両端部の熱伝導部２の端部を支持体１４で支持できるので、グラファイトシート本体１の応力が軽減されるため、本体の厚みを薄く形成でき、その結果、グラファイトシートの熱伝導性を更に高めることができる。
【００５１】図１１は、他の変形例を示す概略断面図であり、グラファイトシート本体１の両端部において、互いに反対側面に溝４ａを設けて放熱部を形成し、それぞれの溝４ａとは反対側の面に高分子シート８をラミネートし、そこに発熱体１１が熱伝導性接着材９を介してグラファイトシート本体１上に配設されたものである。つまり、この場合、グラファイトシート本体の両端部において、一方の面側が熱伝導部２となり、その反対面側が放熱部３として形成される。
【００５２】従って、各発熱体１１の熱は、熱伝導性接着材９及び高分子シート８を経てグラファイトシート本体１へ伝導され、発熱体１１の接合面の反対側面の放熱部３へ最短距離を熱伝導して放熱することができる。
【００５３】図１２は、他の変形例を示す概略断面図であり、グラファイトシート本体１に折り曲げ加工を施し、筐体等の内面角等にグラファイトシートを配する例である。
【００５４】即ち、グラファイトシート本体１を例えば筐体に沿って９０度に曲げた構造が必要な場合、これまではシートを曲げることにより折れ、粉が落ち、かつその部分で熱伝達が悪くなることが多かったが、グラファイトシート本体１を前もって室温から１００℃の低温で熱処理しながら加工することにより、折り目の破断を防ぐことができる。これにより、グラファイトシート本体１の熱伝導部２を筐体１５の内角部に両面テープ１６で接着し、かつ放熱部３のみを筐体１５の外側に配置することも可能になる。なおグラファイトシートの強度を上げるためや絶縁のために、高分子シート８でラミネートし、補強してもよい。また、高分子シート８をラミネート後に曲げ加工してもよく、これにより曲げ部の割れ等を防ぐことができる。
【００５５】図１３は、更に他の変形例を示す概略斜視図であり、図１２の例がコ型に曲げ加工したのに対し、Ｚ型に曲げ加工した例である。
【００５６】この曲げ加工は図１２の場合と同様にして実施することができる。そして、発熱体１１の接合部のみの高分子シート８を、上記した実施の形態３と同様に欠除して欠除部１２を設け、この欠除部１２において、発熱体１１を絶縁性のある熱伝導性接着材９を介してグラファイトシート本体１に接合してもよい。そしてこのグラファイトシートを筐体内の支持板１４等に両面テープ１６等で接着し、図１２の場合と同様に使用することができる。
【００５７】上記した各実施の形態及び変形例によれば、グラファイトシート本体１の一部分に溝４ａ又はブラインド孔４ｂを設けて放熱部３を形成し、残りの部分を板状の熱伝導部２とすることにより、熱伝導部２と放熱部３とが同一部材上に一体に形成され、換言すれば、１枚のグラファイトシートがヒートコンダクタとフィンとして機能する。しかも、高熱伝導性のフィラーを含有させた高分子シート８でグラファイトシート本体１の少なくとも一方の面をラミネートすることにより、グラファイトシートに柔軟性を持たせて補強すると共に、絶縁性のある高分子シート８に熱伝導性が付加される、またＤＬＣ５で少なくとも一方の面を被覆することにより補強される。そしていずれも、熱伝導部２上に配される発熱体１１の熱が熱伝導性良くグラファイトシートに伝わり、同一部材上で熱伝導部２の反対側に形成された放熱部３から高効率で放熱することができ、フィンやヒートシンクなどを設置するスペースのない小型の電気・電子機器等の放熱に効果的に用いることができる。
【００５８】上記した各実施の形態及び変形例は、本発明の技術的思想に基づいて変形することが可能である。
【００５９】例えば、凹凸部の形状は実施の形態等に示した溝４ａ又はブラインド孔４ｂ以外の形状（鋸刃型等）であってもよく、ラミネート材も実施の形態以外の適宜の材料を使用してもよい。
【００６０】また、グラファイトシート本体１の形状、寸法等も実施の形態等に限定するものでもなく、適宜であってよい。
【００６１】
【発明の作用効果】上述した如く、本発明のグラファイトシート及びその製造方法は、凹凸部によって放熱部の表面積が増大し、放熱部と熱伝導部とが同一のグラファイトシート上に一体形成され、放熱と熱伝導との両機能を具備することができる。従って、高熱伝導性のグラファイトシートにより伝導された熱が、同一の本体に形成された凹凸部から直接放熱されるため、高効率な熱伝達及び放熱が可能になり、その結果、同一シート上を小さな熱抵抗で熱伝導されるために、発熱体からの熱を効率良く放熱部へ伝達でき、しかも高熱伝導性のために放熱部を小型化しても外部への放熱効果が向上することから、小型化が可能になって、制限されたスペースへの取付けが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のグラファイトシート本体の基本的な形状を示す概略斜視図である。
【図２】同、グラファイトシート本体の基本的な他の形状を示す概略斜視図である。
【図３】同、グラファイトシート本体の基本的な更に他の形状を示す概略斜視図である。
【図４】同、グラファイトシートの放熱部の拡大概略断面図である。
【図５】同、グラファイトシートの層構造を示す概略図である。
【図６】同、実施の形態１によるグラファイトシートを示す概略断面図である。
【図７】同、実施の形態２によるグラファイトシートを示す概略断面図である。
【図８】同、実施の形態３によるグラファイトシートを示す概略断面図である。
【図９】同、グラファイトシートの変形例を示す概略断面図である。
【図１０】同、グラファイトシートの他の変形例を示す概略断面図である。
【図１１】同、グラファイトシートの他の変形例を示す概略断面図である。
【図１２】同、グラファイトシートの他の変形例を示す概略断面図である。
【図１３】同、グラファイトシートの更に他の変形例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１…グラファイトシート本体、２…熱伝導部、３…放熱部、４ａ…溝、４ｂ…ブラインド孔、５…ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、６…発熱体取付け部、７…空気の流れ、８…高分子シート、９…接着材、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ…グラファイトシート、１１…発熱体、１２…欠除部、１４…支持板、１５…筐体、１６…両面テープ、ｃ１〜ｃ３…カーボン層、Ｌ…長さ、Ｗ…幅、Ｔ…厚さ
【特許請求の範囲】
【請求項１】 グラファイトシート本体に、凹凸部からなる放熱部と板状の熱伝導部とが形成されたグラファイトシート。
【請求項２】 前記熱伝導部に発熱体が配される、請求項１に記載したグラファイトシート。
【請求項３】 前記熱伝導部の少なくとも一方の面に高分子シートが設けられている、請求項１に記載したグラファイトシート。
【請求項４】 前記高分子シートが、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート又はシリコーンゴムからなる、請求項３に記載したグラファイトシート。
【請求項５】 前記高分子シートが高熱伝導性材料を含有している、請求項４に記載したグラファイトシート。
【請求項６】 前記放熱部及び前記熱伝導部の少なくとも一方の面がダイヤモンドライクカーボンで被覆されている、請求項１に記載したグラファイトシート。
【請求項７】 前記熱伝導部の少なくとも一方の面に前記高分子シートが被着され、前記グラファイトシート上に発熱体が接合される、請求項３又は５に記載したグラファイトシート。
【請求項８】 前記熱伝導部に被着された前記高分子シートに欠除部が形成され、この欠除部において発熱体が前記グラファイトシート本体に接合されている、請求項３に記載したグラファイトシート。
【請求項９】 前記発熱体が熱伝導性接着材によって前記熱伝導部に接合される、請求項２、７又は８に記載したグラファイトシート。
【請求項１０】 前記凹凸部がエンボッシングにより形成されている、請求項１に記載したグラファイトシート。
【請求項１１】 グラファイトシート本体に、凹凸部からなる放熱部と板状の熱伝導部とを形成する工程を有する、グラファイトシートの製造方法。
【請求項１２】 前記凹凸部をエンボッシングにより形成する、請求項１１に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１３】 前記グラファイトシート本体を加熱処理しながら加工して少なくとも前記熱電導部を形成する、請求項１２に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１４】 前記熱伝導部を曲げ加工する、請求項１３に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１５】 前記加熱処理を室温から１００℃の温度で行う、請求項１３又は１４に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１６】 前記熱伝導部に発熱体を配する、請求項１１に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１７】 前記熱伝導部の少なくとも一方の面に高分子シートを設ける、請求項１１に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１８】 前記高分子シートに、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート又はシリコーンゴムを用いる、請求項１７に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１９】 前記高分子シートに、高熱伝導性材料を含有させる、請求項１８に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項２０】 前記放熱部及び前記熱伝導部の少なくとも一方の面をダイヤモンドライクカーボンで被覆する、請求項１１に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項２１】 前記熱伝導部の少なくとも一方の面に前記高分子シートを被着し、前記グラファイトシート上に発熱体を接合する、請求項１７又は１９に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項２２】 前記熱伝導部に被着した前記高分子シートに欠除部を形成し、この欠除部において発熱体を前記グラファイトシート本体に接合する、請求項１７に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項２３】 前記発熱体を熱伝導性接着材によって前記熱伝導部に接合する、請求項１６、２１又は２２に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１】 グラファイトシート本体に、凹凸部からなる放熱部と板状の熱伝導部とが形成されたグラファイトシート。
【請求項２】 前記熱伝導部に発熱体が配される、請求項１に記載したグラファイトシート。
【請求項３】 前記熱伝導部の少なくとも一方の面に高分子シートが設けられている、請求項１に記載したグラファイトシート。
【請求項４】 前記高分子シートが、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート又はシリコーンゴムからなる、請求項３に記載したグラファイトシート。
【請求項５】 前記高分子シートが高熱伝導性材料を含有している、請求項４に記載したグラファイトシート。
【請求項６】 前記放熱部及び前記熱伝導部の少なくとも一方の面がダイヤモンドライクカーボンで被覆されている、請求項１に記載したグラファイトシート。
【請求項７】 前記熱伝導部の少なくとも一方の面に前記高分子シートが被着され、前記グラファイトシート上に発熱体が接合される、請求項３又は５に記載したグラファイトシート。
【請求項８】 前記熱伝導部に被着された前記高分子シートに欠除部が形成され、この欠除部において発熱体が前記グラファイトシート本体に接合されている、請求項３に記載したグラファイトシート。
【請求項９】 前記発熱体が熱伝導性接着材によって前記熱伝導部に接合される、請求項２、７又は８に記載したグラファイトシート。
【請求項１０】 前記凹凸部がエンボッシングにより形成されている、請求項１に記載したグラファイトシート。
【請求項１１】 グラファイトシート本体に、凹凸部からなる放熱部と板状の熱伝導部とを形成する工程を有する、グラファイトシートの製造方法。
【請求項１２】 前記凹凸部をエンボッシングにより形成する、請求項１１に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１３】 前記グラファイトシート本体を加熱処理しながら加工して少なくとも前記熱電導部を形成する、請求項１２に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１４】 前記熱伝導部を曲げ加工する、請求項１３に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１５】 前記加熱処理を室温から１００℃の温度で行う、請求項１３又は１４に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１６】 前記熱伝導部に発熱体を配する、請求項１１に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１７】 前記熱伝導部の少なくとも一方の面に高分子シートを設ける、請求項１１に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１８】 前記高分子シートに、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート又はシリコーンゴムを用いる、請求項１７に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項１９】 前記高分子シートに、高熱伝導性材料を含有させる、請求項１８に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項２０】 前記放熱部及び前記熱伝導部の少なくとも一方の面をダイヤモンドライクカーボンで被覆する、請求項１１に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項２１】 前記熱伝導部の少なくとも一方の面に前記高分子シートを被着し、前記グラファイトシート上に発熱体を接合する、請求項１７又は１９に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項２２】 前記熱伝導部に被着した前記高分子シートに欠除部を形成し、この欠除部において発熱体を前記グラファイトシート本体に接合する、請求項１７に記載したグラファイトシートの製造方法。
【請求項２３】 前記発熱体を熱伝導性接着材によって前記熱伝導部に接合する、請求項１６、２１又は２２に記載したグラファイトシートの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００３−１８８３２３（Ｐ２００３−１８８３２３Ａ）
【公開日】平成１５年７月４日（２００３．７．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００１−３８５５８３（Ｐ２００１−３８５５８３）
【出願日】平成１３年１２月１９日（２００１．１２．１９）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【出願人】（５０１４８８５２７）大成ラミネーター株式会社 (1)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１５年７月４日（２００３．７．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１３年１２月１９日（２００１．１２．１９）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【出願人】（５０１４８８５２７）大成ラミネーター株式会社 (1)
【Ｆターム（参考）】
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