スクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法
【課題】より確実にアタック角度を略一定に保つことが可能なスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法を提供することを課題とする。
【解決手段】スクリーン印刷機１は、基板Ｂの上面に配置されパターン孔を有するマスク３２と、マスク３２の上面を摺動し、パターン孔を介して、はんだを基板Ｂに転写するスキージ２６と、スキージ２６を揺動させる揺動機構２８、２７、２４と、スキージ２６を上下動させる上下動機構２３、２２、２５と、を備える。スクリーン印刷機１は、マスク３２の上面をスキージ２６が摺動する際、上下動機構２３、２２、２５および揺動機構２８、２７、２４を動かすことにより、マスク３２の上面に対するスキージ２６のアタック角度θを略一定に保つ。
【解決手段】スクリーン印刷機１は、基板Ｂの上面に配置されパターン孔を有するマスク３２と、マスク３２の上面を摺動し、パターン孔を介して、はんだを基板Ｂに転写するスキージ２６と、スキージ２６を揺動させる揺動機構２８、２７、２４と、スキージ２６を上下動させる上下動機構２３、２２、２５と、を備える。スクリーン印刷機１は、マスク３２の上面をスキージ２６が摺動する際、上下動機構２３、２２、２５および揺動機構２８、２７、２４を動かすことにより、マスク３２の上面に対するスキージ２６のアタック角度θを略一定に保つ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表面にはんだを印刷するスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
はんだを印刷する際、基板は、クランプ装置により、水平方向両側から挟持される。近年においては、基板の薄型化が顕著である。このため、クランプ装置で挟持する際、基板に「反り」が発生する場合がある。すなわち、はんだを印刷する際、撓んだ状態で基板が固定されている場合がある。
【０００３】
図１６に、従来のスクリーン印刷機のスキージの軌跡を示す。図１６に強調して示すように、基板１０２は、下方に膨らむように撓んでいる。このため、マスク１０１も、下方に膨らむように撓んでいる。一方、スキージ１００のマスク１０１に対する摺動角度βは固定されている。このため、スキージ１００のマスク１０１に対するアタック角度θ１００が変化してしまう。アタック角度θ１００が変化すると、はんだの基板１０２に対する印圧が変化してしまう。このため、印刷品質が不安定になる。
【０００４】
この点に鑑み、特許文献１には、押圧手段と、可撓性を有するスキージと、を備えるスクリーン印刷機が開示されている。押圧手段は、空気圧を調整することにより、マスクに対するスキージの押圧力を調整している。押圧力を調整すると、スキージのマスクに対する湾曲程度が変化する。このため、スキージのマスクに対するアタック角度を調整することができる。同文献記載のスクリーン印刷機によると、アタック角度を略一定にすることにより、印刷品質を安定化している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１６２１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のスクリーン印刷機によると、スキージの可撓性に依存して、アタック角度を略一定にしている。スキージはゴム製である。このため、スキージの耐久性によっては、スキージに「へたり（変形残り）」が生じるおそれがある。この場合、アタック角度を略一定に保ちにくくなる。また、マスクのパターン孔にはんだを押し込む際、はんだからの反力によりスキージが撓み、アタック角度が変化するおそれがある。このように、特許文献１のスクリーン印刷方法によると、アタック角度を略一定に保ちにくい。
【０００７】
本発明のスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法は、上記課題に鑑みて完成されたものである。本発明は、より確実にアタック角度を略一定に保つことが可能なスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）上記課題を解決するため、本発明のスクリーン印刷機は、基板の上面に配置されパターン孔を有するマスクと、該マスクの上面を摺動し、該パターン孔を介して、はんだを該基板に転写するスキージと、該スキージを揺動させる揺動機構と、該スキージを上下動させる上下動機構と、を備えてなるスクリーン印刷機であって、前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、前記上下動機構および前記揺動機構を動かすことにより、該マスクの上面に対する該スキージのアタック角度を略一定に保つことを特徴とする（請求項１に対応）。
【０００９】
「アタック角度」とは、マスクの上面の延在方向と、スキージの延在方向と、の間の挟角をいう。マスクの上面が曲面状の場合、マスクの上面の延在方向とは、マスクとスキージとの接点におけるマスクの上面の接線方向をいう。
【００１０】
本発明のスクリーン印刷機によると、スキージが可撓性を有する必要がない。このため、より確実にアタック角度を略一定に保つことができる。したがって、より確実に印刷品質を安定化させることができる。
【００１１】
（１−１）好ましくは、上記（１）の構成において、前記スキージの揺動軸と、前記マスクと該スキージとの接点と、を結ぶ直線と、該マスクの上面の延在方向と、の間の挟角は、４５°以内である構成とする方がよい。
【００１２】
ここで、スキージの揺動軸と、マスクとスキージとの接点と、を結ぶ直線と、マスクの上面の延在方向と、の間の挟角を４５°以内としたのは、当該挟角が４５°超過の場合、スキージが円滑に揺動しにくいからである。
【００１３】
（２）好ましくは、上記（１）の構成において、前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、前記上下動機構を駆動し、該スキージを上下動させ、該スキージが該マスクから受ける反力を利用して、前記揺動機構を従動させることにより、前記アタック角度を略一定に保つ構成とする方がよい（請求項２に対応）。
【００１４】
本構成によると、スキージがマスクから受ける反力を介して、揺動機構が上下動機構に従動している。このため、アタック角度を略一定に保つ際、上下動機構に対して、揺動機構を、独立して駆動する必要がない。したがって、スクリーン印刷機の構造が簡単になる。
【００１５】
（３）好ましくは、上記（１）または（２）の構成において、さらに、前記スキージが前記マスクから受ける反力に関する検出値を検出する検出装置を備え、前記アタック角度は、該検出値を基に略一定に保たれる構成とする方がよい（請求項３に対応）。
【００１６】
スキージがマスクから受ける反力は、上下動機構や揺動機構の種類により、圧力、荷重、角度、トルクなど、種々の検出値に反映される。本構成によると、当該検出値を基にアタック角度を略一定に保つことができる。
【００１７】
（４）また、上記課題を解決するため、本発明のスクリーン印刷方法は、基板の上面に配置されパターン孔を有するマスクの上面をスキージが摺動することにより、該パターン孔を介して、はんだを該基板に転写するスクリーン印刷方法であって、前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、該スキージを揺動させることにより、該マスクの上面に対する該スキージのアタック角度を略一定に保つことを特徴とする（請求項４に対応）。
【００１８】
本発明のスクリーン印刷方法によると、スキージが可撓性を有する必要がない。このため、より確実にアタック角度を略一定に保つことができる。したがって、より確実に印刷品質を安定化させることができる。
【００１９】
（４−１）好ましくは、上記（４）の構成において、前記スキージの揺動軸と、前記マスクと該スキージとの接点と、を結ぶ直線と、該マスクの上面の延在方向と、の間の挟角は、４５°以内である構成とする方がよい。
【００２０】
ここで、スキージの揺動軸と、マスクとスキージとの接点と、を結ぶ直線と、マスクの上面の延在方向と、の間の挟角を４５°以内としたのは、当該挟角が４５°超過の場合、スキージが円滑に揺動しにくいからである。
【００２１】
（５）好ましくは、上記（４）の構成において、前記アタック角度は、前記スキージが前記マスクから受ける反力を基に略一定に保たれる構成とする方がよい（請求項５に対応）。
【００２２】
本構成によると、スキージがマスクから受ける反力を介して、アタック角度を略一定に保っている。このため、アタック角度を略一定に保つ際、別途、駆動機構によりスキージ自体を駆動する必要がない。したがって、スクリーン印刷機の構造が簡単になる。
【００２３】
（６）好ましくは、上記（４）または（５）の構成において、通常モードにおいては、前記アタック角度を所定の通常角度に設定し、該通常モードと比較して前記はんだを前記パターン孔に高充填することが必要な高充填モードにおいては、該アタック角度を該通常角度よりも小さい高充填角度に設定する構成とする方がよい（請求項６に対応）。
【００２４】
例えば、マスクをクリーニングした直後や、はんだを追加した直後などは、通常印刷時と比較して、基板に対するはんだの転写性が低下してしまう。つまり、はんだがかすれやすくなる。この場合、一枚目の基板に対してはんだを往復印刷や低速度印刷することなどにより、はんだの転写性を確保している。しかしながら、こうすると、サイクルタイムが遅延してしまう。すなわち、基板の生産性が低下してしまう。
【００２５】
この点、本構成のスクリーン印刷方法によると、通常モードにおいては、アタック角度が通常角度に設定される。一方、高充填モードにおいては、アタック角度が高充填角度に設定される。すなわち、通常モードと高充填モードとで、アタック角度を大小切り替えることができる。このため、はんだの転写性が低下しそうな場合は、高充填モードに切り替えることにより、はんだの転写性を確保することができる。したがって、基板の生産性が低下するのを抑制することができる。
【００２６】
（７）好ましくは、上記（６）の構成において、前記高充填モードは、以下の（ａ）〜（ｆ）から選ばれる少なくとも一つのモードである構成とする方がよい。（ａ）前記マスクをクリーニング後、一枚目の前記基板に実行されるクリーニング後一枚目モード。（ｂ）先発の該基板を生産後、所定の待機時間を超過した次発の該基板に対して実行される待機時間オーバーモード。（ｃ）前記はんだを供給後、一枚目の該基板に実行されるはんだ供給モード。（ｄ）一旦停止した生産を再開後、一枚目の該基板に実行される自動運転一枚目モード。（ｅ）段取り替え後、一枚目の該基板に実行される生産開始一枚目モード。（ｆ）ユーザが手動により実行する手動モード（請求項７に対応）。本構成によると、各種印刷状況に応じて、適宜、アタック角度を高充填角度に設定することができる。
【００２７】
（８）上記（６）、（７）の構成は、上記（４）、（５）の構成から独立した構成としてもよい。すなわち、スキージのアタック角度を略一定に保つ工程を有しないスクリーン印刷方法に用いてもよい。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によると、より確実にアタック角度を略一定に保つことが可能なスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第一実施形態のスクリーン印刷機の右側面図である。
【図２】同スクリーン印刷機のスキージ装置の断面図である。
【図３】同スキージ装置の斜視図である。
【図４】同スキージ装置の分解斜視図である。
【図５】同スクリーン印刷機の基板保持工程の右側面図である。
【図６】同スクリーン印刷機の印刷工程の右側面図である。
【図７】同スクリーン印刷機のスキージの印刷工程の軌跡を示す模式図である。
【図８】第二実施形態のスクリーン印刷方法に用いられるスクリーン印刷機のメモリのブロック図である。
【図９】同スクリーン印刷方法のクリーニング後一枚目モードのフローチャートである。
【図１０】同スクリーン印刷方法の待機時間オーバーモードのフローチャートである。
【図１１】同スクリーン印刷方法のはんだ供給モードのフローチャートである。
【図１２】同スクリーン印刷方法の自動運転一枚目モードのフローチャートである。
【図１３】同スクリーン印刷方法の生産開始一枚目モードのフローチャートである。
【図１４】同スクリーン印刷方法の手動モードのフローチャートである。
【図１５】スキージ揺動軸とマスク上面との間の距離の変化を基にアタック角度を略一定に保つ場合のスキージの軌跡を示す模式図である。
【図１６】従来のスクリーン印刷機のスキージの軌跡を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明のスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法の実施の形態について説明する。
【００３１】
＜第一実施形態＞
［スクリーン印刷機の構成］
まず、本実施形態のスクリーン印刷機の構成について説明する。図１に、本実施形態のスクリーン印刷機の右側面図を示す。図１に示すように、本実施形態のスクリーン印刷機１は、スキージ装置２と、マスク装置３と、クランプ装置４と、バックアップ装置５と、搬送装置６と、メインテーブル７と、Ｙ軸方向ガイドレール８と、を備えている。
【００３２】
（メインテーブル７、クランプ装置４）
メインテーブル７は、長方形板状を呈している。メインテーブル７は、上下動可能である。クランプ装置４は、固定クランプ４０Ｆと、可動クランプ４０Ｒと、を備えている。固定クランプ４０Ｆは、長方形板状を呈している。固定クランプ４０Ｆは、メインテーブル７の前縁から、上方に立設されている。可動クランプ４０Ｒは、長方形板状を呈している。可動クランプ４０Ｒは、メインテーブル７の後縁から、上方に立設されている。固定クランプ４０Ｆと可動クランプ４０Ｒとは、前後方向に対向している。可動クランプ４０Ｒは、前後方向に移動可能である。
【００３３】
（搬送装置６）
搬送装置６は、一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒを備えている。コンベアベルト６０Ｆは、固定クランプ４０Ｆの後面上縁に配置されている。コンベアベルト６０Ｆは、左右方向に延在している。コンベアベルト６０Ｒは、可動クランプ４０Ｒの前面上縁に配置されている。コンベアベルト６０Ｒは、左右方向に延在している。一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒは、前後方向に対向している。基板Ｂは、一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒ間に架設されている。基板Ｂは、一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒにより、左側（上流側）から右側（下流側）に搬送される。
【００３４】
（バックアップ装置５）
バックアップ装置５は、バックアップテーブル５０と、複数のバックアップピン５１と、一対のガイドロッド５２と、を備えている。バックアップテーブル５０は、長方形板状を呈している。バックアップテーブル５０は、メインテーブル７の上方に配置されている。また、バックアップテーブル５０は、固定クランプ４０Ｆと可動クランプ４０Ｒとの間に配置されている。一対のガイドロッド５２は、バックアップテーブル５０の下面を、上下動可能に支持している。複数のバックアップピン５１は、バックアップテーブル５０の上面に配置されている。
【００３５】
（マスク装置３）
マスク装置３は、フレーム３０と、メッシュ３１と、マスク３２と、を備えている。マスク装置３は、クランプ装置４の上方に配置されている。フレーム３０は、長方形枠状を呈している。メッシュ３１は、長方形枠状を呈している。メッシュ３１は、フレーム３０の枠内に配置されている。マスク３２は、長方形薄板状を呈している。マスク３２は、メッシュ３１に張設されている。マスク３２には、多数のパターン孔（図略）が形成されている。パターン孔は、基板Ｂの印刷位置に応じて、所定のパターンで配置されている。
【００３６】
（スキージ装置２、Ｙ軸方向ガイドレール８）
Ｙ軸方向ガイドレール８は、マスク装置３の上方に配置されている。Ｙ軸方向ガイドレール８は、前後方向に延在している。スキージ装置２は、Ｙ軸方向ガイドレール８に、前後方向に摺動可能に配置されている。
【００３７】
図２に、本実施形態のスクリーン印刷機のスキージ装置の断面図を示す。図３に、同スキージ装置の斜視図を示す。図４に、同スキージ装置の分解斜視図を示す。図２〜図４に示すように、スキージ装置２は、モータ２０と、モータブラケット２１と、Ｙ軸方向スライダ２２と、ボールねじ２３と、エアシリンダ２４と、Ｚ軸方向スライダ２５と、スキージ２６と、入力板２７と、ホルダ２８と、ホルダ連結アーム２９と、を備えている。
【００３８】
これらの部材のうち、ボールねじ２３、Ｙ軸方向スライダ２２、Ｚ軸方向スライダ２５は、本発明の上下動機構に含まれる。また、ホルダ２８、入力板２７、エアシリンダ２４は、本発明の揺動機構に含まれる。
【００３９】
Ｙ軸方向スライダ２２は、長方形板状を呈している。Ｙ軸方向スライダ２２は、図１に示すＹ軸方向ガイドレール８に、前後方向に摺動可能に配置されている。Ｙ軸方向スライダ２２の前面には、一対のガイドリブ２２０が突設されている。一対のガイドリブ２２０は、上下方向に延在している。
【００４０】
モータブラケット２１は、Ｙ軸方向スライダ２２の上面に配置されている。モータ２０は、モータブラケット２１に装着されている。ボールねじ２３は、上下方向に延在している。ボールねじ２３は、モータ２０の回転軸（図略）に連結されている。
【００４１】
Ｚ軸方向スライダ２５は、直方体ブロック状を呈している。Ｚ軸方向スライダ２５は、一対の被ガイド溝２５０と、ボールねじ挿通孔２５１と、シリンダ連結アーム２５２と、を備えている。一対の被ガイド溝２５０は、Ｚ軸方向スライダ２５の後面に配置されている。一対の被ガイド溝２５０は、上下方向に延在している。図４に示すように、一対の被ガイド溝２５０は、Ｙ軸方向スライダ２２の一対のガイドリブ２２０に、係合している。ボールねじ挿通孔２５１は、Ｚ軸方向スライダ２５を上下方向に貫通している。ボールねじ挿通孔２５１には、ボールねじ２３が挿通されている。ボールねじ２３の外周面とボールねじ挿通孔２５１の内周面との間には、多数のボール（図略）が介装されている。多数のボールにより、ボールねじ２３は、ボールねじ挿通孔２５１に対して、螺動可能である。シリンダ連結アーム２５２は、角柱状を呈している。シリンダ連結アーム２５２は、Ｚ軸方向スライダ２５の前面から、前方に突設されている。
【００４２】
ホルダ連結アーム２９は、下方に開口するＣ字状を呈している。ホルダ連結アーム２９は、Ｚ軸方向スライダ２５の下面に固定されている。ホルダ２８は、ホルダ本体２８０と、一対のスキージ揺動凸部２８１と、を備えている。ホルダ本体２８０は、左右方向に長い長方形板状を呈している。スキージ揺動凸部２８１は、短軸円柱状を呈している。一対のスキージ揺動凸部２８１は、ホルダ本体２８０の上縁の左右両端に配置されている。一対のスキージ揺動凸部２８１は、ホルダ連結アーム２９のＣ字開口縁に、揺動可能に保持されている。
【００４３】
スキージ２６は、左右方向に長い長方形板状を呈している。スキージ２６は、ホルダ本体２８０の下面に固定されている。図４に示すように、スキージ２６は、スキージ揺動軸Ａ１（一対のスキージ揺動凸部２８１）を中心に、縦方向に揺動可能である。入力板２７は、長方形板状を呈している。入力板２７は、ホルダ本体２８０の上面の略中央に固定されている。
【００４４】
エアシリンダ２４は、シリンダ本体２４０と、ピストン２４１と、スライダ連結アーム２４２と、一対のシリンダ揺動凸部２４３と、を備えている。シリンダ本体２４０は、角柱状を呈している。シリンダ本体２４０の内部には、円柱状の空間が形成されている。図２に示すように、シリンダ本体２４０の内部空間には、配管２４４が連結されている。配管２４４には、バルブ２４４ａと圧力計２４４ｂとが取り付けられている。圧力計２４４ｂは、バルブ２４４ａとシリンダ本体２４０との間に配置されている。スライダ連結アーム２４２は、角柱状を呈している。スライダ連結アーム２４２は、シリンダ本体２４０の後面から、後方に突設されている。シリンダ揺動凸部２４３は、短軸円柱状を呈している。一対のシリンダ揺動凸部２４３は、スライダ連結アーム２４２の後端から、左右方向に突設されている。一対のシリンダ揺動凸部２４３は、シリンダ連結アーム２５２の前端に、揺動可能に保持されている。図４に示すように、エアシリンダ２４は、シリンダ揺動軸Ａ２（一対のシリンダ揺動凸部２４３）を中心に、縦方向に揺動可能である。ピストン２４１は、シリンダ本体２４０の内部空間に対して、下方から出入り可能に配置されている。ピストン２４１の下端には、入力板２７が、揺動可能に連結されている。図４に示すように、入力板２７は、入力軸Ａ３（ピストン２４１の下端）を中心に、縦方向に揺動可能である。
【００４５】
以上説明したように、また、図２に細線で示すように、スキージ２６は、スキージ揺動軸Ａ１を中心に、揺動可能である。また、エアシリンダ２４は、入力軸Ａ３を介して、スキージ２６に揺動力を加えることができる。また、エアシリンダ２４は、空気圧により、スキージ２６が入力軸Ａ３方向に揺動するのを、抑制することができる。
【００４６】
［スクリーン印刷方法］
次に、本実施形態のスクリーン印刷方法について説明する。本実施形態のスクリーン印刷方法は、基板搬入工程と、基板保持工程と、印刷工程と、基板搬出工程と、を有している。
【００４７】
（基板搬入工程）
基板搬入工程においては、図１に示すように、一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒにより、基板Ｂを、バックアップピン５１上方の所定位置に配置する。
【００４８】
（基板保持工程）
図５に、本実施形態のスクリーン印刷機の基板保持工程の右側面図を示す。基板保持工程においては、まず、図５に白抜き矢印Ｃ１で示すように、バックアップテーブル５０を上昇させる。続いて、複数のバックアップピン５１により、基板Ｂを持ち上げる。そして、基板Ｂの上面の高さと、固定クランプ４０Ｆ、可動クランプ４０Ｒの上面の高さと、を揃える。それから、白抜き矢印Ｃ２で示すように、可動クランプ４０Ｒを前方に動かすことにより、固定クランプ４０Ｆと可動クランプ４０Ｒとで、基板Ｂを前後方向から挟持する。その後、白抜き矢印Ｃ３で示すように、バックアップテーブル５０、複数のバックアップピン５１、基板Ｂと共に、メインテーブル７を上昇させ、マスク３２の下面に、基板Ｂの上面を、当接させる。続いて、白抜き矢印Ｃ４で示すように、スキージ装置２のスキージ２６を下降させ、マスク３２の上面に当接させる。
【００４９】
スキージ２６を下降させる際の動きについて詳しく説明すると、図２に示すように、まず、モータ２０を駆動し、ボールねじ２３を軸回りに回転させる。そして、Ｚ軸方向スライダ２５を下降させ、スキージ２６をマスク３２の上面に当接させる。続いて、配管２４４を介して、エアシリンダ２４に空気を供給する。そして、ピストン２４１により、入力板２７、ホルダ２８を介して、スキージ２６を押圧する。図４に示すように、スキージ２６は、スキージ揺動軸Ａ１を中心に、下方に揺動する方向に、押圧される。ピストン２４１には、スキージ２６を介して、マスク３２からの反力が加わる。当該反力により、シリンダ本体２４０の内部空間の空気圧は上昇する。当該空気圧は、圧力計２４４ｂにより検出される。当該空気圧が、設定印圧まで上昇した時点で、バルブ２４４ａを閉じる。このようにして、図５に示すように、スキージ２６とマスク３２の上面との間の挟角を、所定のアタック角度θとする。また、スキージ揺動軸Ａ１と、マスク３２とスキージ２６との接点Ｄ１と、を結ぶ直線と、マスク３２の上面の延在方向と、の間の挟角αを、４５°以内に設定する。
【００５０】
（印刷工程）
図６に、本実施形態のスクリーン印刷機の印刷工程の右側面図を示す。印刷工程においては、図６に白抜き矢印Ｃ５で示すように、Ｙ軸方向ガイドレール８に沿って、スキージ装置２を、前方から後方に向かって、移動させる。そして、マスク３２の上面に対して、スキージ２６を摺動させる。マスク３２の上面には、はんだ（図略）が配置されている。摺動するスキージ２６により、はんだは、パターン孔に押し込まれる。パターン孔に押し込まれたはんだは、基板Ｂの所定位置に転写される。
【００５１】
図７に、本実施形態のスクリーン印刷機のスキージの印刷工程の軌跡を示す。図７に強調して示すように、基板Ｂは、下方に膨らむように撓んでいる。このため、マスク３２も、下方に膨らむように撓んでいる。
【００５２】
基板Ｂの水平区間Ｅ１においては、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は変化しない。このため、図２に示す圧力計２４４ｂの検出値は変化しない。すなわち、検出値は、設定印圧のままである。したがって、アタック角度θは、略一定のままである。
【００５３】
基板Ｂの下降区間Ｅ２においては、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は小さくなる。このため、図２に示す圧力計２４４ｂの検出値が、設定印圧と比較して、小さくなる。検出値が小さくなると、制御装置（図略）からの指示により、Ｚ軸方向スライダ２５を下降させ、マスク３２に対するスキージ２６の押圧力を大きくする。このため、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は大きくなる。圧力計２４４ｂの検出値が、再び設定印圧と等しくなったら、Ｚ軸方向スライダ２５の下降を停止する。このようにして、アタック角度θ（スキージ２６と、接点Ｄ１におけるマスク３２上面の接線方向と、の間の挟角）を略一定に保っている。
【００５４】
基板Ｂの上昇区間Ｅ３においては、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は大きくなる。このため、図２に示す圧力計２４４ｂの検出値が、設定印圧と比較して、大きくなる。検出値が大きくなると、制御装置からの指示により、Ｚ軸方向スライダ２５を上昇させ、マスク３２に対するスキージ２６の押圧力を小さくする。このため、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は小さくなる。圧力計２４４ｂの検出値が、再び設定印圧と等しくなったら、Ｚ軸方向スライダ２５の上昇を停止する。このようにして、アタック角度θ（スキージ２６と、接点Ｄ１におけるマスク３２上面の接線方向と、の間の挟角）を略一定に保っている。
【００５５】
（基板搬出工程）
基板搬出工程においては、まず、マスク３２に対して、スキージ２６を上昇させる。すなわち、いわゆる版離れを行う。続いて、マスク３２に対して、基板Ｂを下降させる。それから、基板Ｂを、再び一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒに載置する。その後、一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒを再駆動し、基板Ｂを下流側に送り出す。
【００５６】
［作用効果］
次に、本実施形態のスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法の作用効果について説明する。
【００５７】
本実施形態のスクリーン印刷機１のスキージ２６は金属製であり、剛性が高い。すなわち、スキージ２６は、可撓性を有しない。このため、より確実にアタック角度θを略一定に保つことができる。したがって、より確実に印刷品質を安定化させることができる。
【００５８】
また、本実施形態のスクリーン印刷機１によると、スキージ揺動軸Ａ１と、マスク３２とスキージ２６との接点Ｄ１と、を結ぶ直線と、マスク３２の上面の延在方向と、の間の挟角αが４５°以内に設定されている。このため、マスク３２の上面に押しつけてスキージ２６を揺動させる際、スキージ２６が揺動しやすい。ここで、挟角αを４５°以内としたのは、挟角αが４５°超過の場合、ホルダ連結アーム２９に対する、スキージ２６の屈曲程度が小さくなるからである。言い換えると、ホルダ連結アーム２９とスキージ２６とが、より直線に近い状態で、連動するようになるからである。挟角αが４５°超過の場合、スキージ２６が下降する際、スキージ２６からマスク３２の上面に加わる力のうち、上下方向の分力が大きくなる。上下方向の分力が大きくなると、スキージ２６が揺動しにくくなる。また、スキージ２６がマスク３２の上面を過度に下方に押圧してしまう。
【００５９】
また、本実施形態のスクリーン印刷機１によると、スキージ２６がマスク３２から受ける反力を介して、揺動機構が上下動機構に従動している。このため、アタック角度θを略一定に保つ際、上下動機構に対して、揺動機構を、独立して駆動する必要がない。したがって、スクリーン印刷機１の構造が簡単になる。
【００６０】
また、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は、エアシリンダ２４のシリンダ本体２４０の内部空間の空気圧に反映される。この点に着目して、本実施形態のスクリーン印刷機１によると、圧力計２４４ｂの検出値を基に、アタック角度θを略一定に保っている。このため、反力そのものを直接検出することなく、反力に基づいてアタック角度θを略一定に保つことができる。
【００６１】
また、スキージ２６とは別に、揺動式のブレードを配置し、当該ブレードを揺動させることにより、アタック角度を制御する場合と比較して、スキージ装置２延いてはスクリーン印刷機１の構造が簡単になる。また、部品点数が少なくなる。
【００６２】
また、本実施形態のスクリーン印刷機１によると、スキージ２６がマスク３２から受ける反力の変動を、シリンダ本体２４０の内部空間の空気圧により、吸収することができる。このため、反力が急に変動する場合であっても、アタック角度θが急に変動するのを抑制することができる。
【００６３】
＜第二実施形態＞
本実施形態のスクリーン印刷方法は、通常モードと高充填モードとで、アタック角度を切り替えるスクリーン印刷方法である。本実施形態のスクリーン印刷方法には、第一実施形態のスクリーン印刷機を使用する。
【００６４】
［メモリ］
まず、本実施形態のスクリーン印刷方法に用いられるスクリーン印刷機のメモリの格納データについて説明する。図８に、本実施形態のスクリーン印刷方法に用いられるスクリーン印刷機のメモリのブロック図を示す。図８に示すように、スクリーン印刷機のメモリ９１には、生産レシピ９１０と、装置設定メモリ領域９１１と、内部メモリ領域９１２と、が格納されている。メモリ９１は、スクリーン印刷機の制御装置（図略）に配置されている。
【００６５】
生産レシピ９１０には、スクリーン印刷機を制御するためのプログラムが記憶されている。生産レシピ９１０には、通常モードにおける通常アタック角度θ１、高充填モードにおける高充填アタック角度θ２、クリーニングインターバルｎ１、はんだ供給インターバルｎ２が記憶されている。
【００６６】
装置設定メモリ領域９１１には、スクリーン印刷機をユーザの嗜好に応じてカスタマイズするための設定が記憶されている。装置設定メモリ領域９１１には、待機時間リミットｔ１、クリーニング後高充填フラグｆ１、待機時間オーバー時高充填フラグｆ２、はんだ供給後高充填フラグｆ３、自動運転開始後高充填フラグｆ４、生産開始後高充填フラグｆ５が記憶されている。
【００６７】
内部メモリ領域９１２には、クリーニング後一枚目フラグｆ６、はんだ供給後一枚目フラグｆ７、自動運転開始後一枚目フラグｆ８、生産開始後一枚目フラグｆ９、高充填アタック角度ボタンオンフラグｆ１０が記憶されている。
【００６８】
［スクリーン印刷方法］
次に、本実施形態のスクリーン印刷方法について説明する。本実施形態のスクリーン印刷方法は、通常モードと各種高充填モードとに切り替えることができる。
【００６９】
（通常モード）
通常モードにおいては、アタック角度を通常アタック角度θ１に設定して、はんだを基板に印刷する。この際の印刷方法は、第一実施形態のスクリーン印刷方法同様である。
【００７０】
（高充填モード）
高充填モードにおいては、アタック角度を高充填アタック角度θ２に設定して、はんだを基板に印刷する。この際の印刷方法は、第一実施形態のスクリーン印刷方法同様である。
【００７１】
ここで、高充填アタック角度θ２（例えば５５°）は、通常アタック角度θ１（例えば６０°）に対して、小さく設定されている。このため、高充填アタック角度θ２に切り替えると、通常アタック角度θ１と比較して、マスクのパターン孔に、はんだを押し込みやすくなる。すなわち、パターン孔に、はんだを高充填しやすくなる。
【００７２】
高充填モードとしては、クリーニング後一枚目モード、待機時間オーバーモード、はんだ供給モード、自動運転一枚目モード、生産開始一枚目モード、手動モードが設定されている。以下、これらのモードを順番に説明する。
【００７３】
（クリーニング後一枚目モード）
クリーニング後一枚目モードは、マスクをクリーニングした後、一枚目の基板を生産する際に実行される。図９に、本実施形態のスクリーン印刷方法のクリーニング後一枚目モードのフローチャートを示す。
【００７４】
図９に示すように、基板待ちの状態から（ｓ１（ステップ１、以下同様））、コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ２）、制御装置は、クリーニング後一枚目フラグｆ６を参照して、搬入された基板がクリーニング後一枚目に該当するか否かを判別する（ｓ３）。基板がクリーニング後一枚目に該当する場合は、制御装置は、クリーニング後高充填フラグｆ１を参照して、高充填アタック角度θ２を用いるか否かを判別する（ｓ４）。なお、クリーニング後高充填フラグｆ１は、ユーザ操作によりオン−オフ切り替え可能である。高充填アタック角度θ２を用いる場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する（ｓ５）。印刷後、コンベアベルトにより基板を払い出す（ｓ６）。その後、制御装置は、クリーニングインターバルｎ１が経過したか否かを判別する（ｓ７）。そして、クリーニングインターバルｎ１が経過した場合は、マスクのクリーニングを実行する（ｓ８）。例えば、基板を１００枚生産するごとにマスクのクリーニングを実行する場合、クリーニングインターバルｎ１は１００である。基板が１００枚目に該当する場合に、クリーニングを実行する。
【００７５】
ステップ３（ｓ３）において、基板がクリーニング後一枚目に該当しない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ９）。そして、基板を払い出す（ｓ６）。同様に、ステップ４（ｓ４）において、高充填アタック角度θ２を用いない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ９）。そして、基板を払い出す（ｓ６）。ステップ７（ｓ７）において、クリーニングインターバルｎ１が経過していない場合は、マスクのクリーニングを実行せずに、基板待ちの状態に復帰する（ｓ１）。
【００７６】
このように、クリーニング後一枚目モードにおいては、クリーニング後一枚目の基板にはんだを印刷する場合に、高充填アタック角度θ２を用いている。このため、マスクのパターン孔の中まで、はんだを充填しにくいにも関わらず、はんだをパターン孔の中から基板まで充填可能になり、はんだを基板に良好に印刷することができる。
【００７７】
（待機時間オーバーモード）
待機時間オーバーモードは、所定の基板待ち時間が経過した後、基板を生産する際に実行される。図１０に、本実施形態のスクリーン印刷方法の待機時間オーバーモードのフローチャートを示す。
【００７８】
図１０に示すように、基板待ちの状態から（ｓ１１）、コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ１２）、制御装置は、待機時間リミットｔ１を参照して、搬入された基板が基板待ち時間をオーバーしたか否かを判別する（ｓ１３）。基板が基板待ち時間をオーバーした場合は、制御装置は、待機時間オーバー時高充填フラグｆ２を参照して、高充填アタック角度θ２を用いるか否かを判別する（ｓ１４）。なお、待機時間オーバー時高充填フラグｆ２は、ユーザ操作によりオン−オフ切り替え可能である。高充填アタック角度θ２を用いる場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する（ｓ１５）。印刷後、基板待ち時間を計測するためのタイマーをスタートさせる（ｓ１６）。
【００７９】
ステップ１３（ｓ１３）において、基板が基板待ち時間をオーバーしなかった場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ１７）。そして、基板を払い出す（ｓ１６）。同様に、ステップ１４（ｓ１４）において、高充填アタック角度θ２を用いない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ１７）。そして、基板を払い出す（ｓ１６）。
【００８０】
このように、待機時間オーバーモードにおいては、待機時間オーバー後の基板にはんだを印刷する場合に、高充填アタック角度θ２を用いている。このため、基板待ち時間の経過によりはんだの粘性が高くなっているにも関わらず、はんだを基板に良好に印刷することができる。
【００８１】
（はんだ供給モード）
はんだ供給モードは、マスクにはんだを供給した後、基板を生産する際に実行される。図１１に、本実施形態のスクリーン印刷方法のはんだ供給モードのフローチャートを示す。
【００８２】
図１１に示すように、基板待ちの状態から（ｓ２１）、コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ２２）、制御装置は、はんだ供給後一枚目フラグｆ７を参照して、搬入された基板がはんだ供給後一枚目に該当するか否かを判別する（ｓ２３）。基板がはんだ供給後一枚目に該当する場合は、制御装置は、はんだ供給後高充填フラグｆ３を参照して、高充填アタック角度θ２を用いるか否かを判別する（ｓ２４）。なお、はんだ供給後高充填フラグｆ３は、ユーザ操作によりオン−オフ切り替え可能である。高充填アタック角度θ２を用いる場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する（ｓ２５）。印刷後、コンベアベルトにより基板を払い出す（ｓ２６）。その後、制御装置は、はんだ供給インターバルｎ２が経過したか否かを判別する（ｓ２７）。そして、はんだ供給インターバルｎ２が経過した場合は、はんだを供給する（ｓ２８）。例えば、基板を１００枚生産するごとにはんだを供給する場合、はんだ供給インターバルｎ２は１００である。基板が１００枚目に該当する場合に、はんだを供給する。
【００８３】
ステップ２３（ｓ２３）において、基板がはんだ供給後一枚目に該当しない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ２９）。そして、基板を払い出す（ｓ２６）。同様に、ステップ２４（ｓ２４）において、高充填アタック角度θ２を用いない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ２９）。そして、基板を払い出す（ｓ２６）。ステップ２７（ｓ２７）において、はんだ供給インターバルｎ２が経過していない場合は、はんだを供給せずに、基板待ちの状態に復帰する（ｓ２１）。
【００８４】
このように、はんだ供給モードにおいては、はんだ供給後一枚目の基板にはんだを印刷する場合に、高充填アタック角度θ２を用いている。このため、供給直後のはんだの粘性が高いにも関わらず、はんだを基板に良好に印刷することができる。
【００８５】
（自動運転一枚目モード）
自動運転一枚目モードは、生産途中でスクリーン印刷機を一旦停止し、再起動する際に実行される。図１２に、本実施形態のスクリーン印刷方法の自動運転一枚目モードのフローチャートを示す。
【００８６】
図１２に示すように、段取り替え後（ｓ３１）、自動運転起動待ちを経て（ｓ３２）、自動運転が起動すると（ｓ３３）、自動運転開始後一枚目フラグｆ８がオンになる（ｓ３４）。基板待ちの状態から（ｓ３５）、コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ３６）、制御装置は、自動運転開始後一枚目フラグｆ８がオンかオフかを判別する（ｓ３７）。自動運転開始後一枚目フラグｆ８がオンの場合は、制御装置は、自動運転開始後高充填フラグｆ４を参照して、高充填アタック角度θ２を用いるか否かを判別する（ｓ３８）。なお、自動運転開始後高充填フラグｆ４は、ユーザ操作によりオン−オフ切り替え可能である。高充填アタック角度θ２を用いる場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する。この際、自動運転開始後一枚目フラグｆ８がオフになる（ｓ３９）。印刷後、コンベアベルトにより基板を払い出す（ｓ４０）。その後、制御装置は、生産を停止するか否かを判別する（ｓ４１）。生産を続ける場合は、基板待ちの状態に復帰する（ｓ３５）。
【００８７】
ステップ３７（ｓ３７）において、自動運転開始後一枚目フラグｆ８がオフの場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ４２）。そして、基板を払い出す（ｓ４０）。同様に、ステップ３８（ｓ３８）において、高充填アタック角度θ２を用いない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ４２）。そして、基板を払い出す（ｓ４０）。ステップ４１（ｓ４１）において、生産を停止する場合は、自動運転起動待ちの状態に復帰する（ｓ３２）。
【００８８】
このように、自動運転一枚目モードにおいては、スクリーン印刷機を再起動する場合に、高充填アタック角度θ２を用いている。このため、停止中にはんだの粘性が高くなっているにも関わらず、はんだを基板に良好に印刷することができる。
【００８９】
（生産開始一枚目モード）
生産開始一枚目モードは、段取り替え後、一枚目の基板を生産する際に実行される。図１３に、本実施形態のスクリーン印刷方法の生産開始一枚目モードのフローチャートを示す。
【００９０】
図１３に示すように、段取り替えを行うと、生産開始後一枚目フラグｆ９がオンになる（ｓ５１）。自動運転起動待ちを経て（ｓ５２）、自動運転が起動すると（ｓ５３）、基板待ちの状態になる（ｓ５４）。コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ５５）、制御装置は、生産開始後一枚目フラグｆ９がオンかオフかを判別する（ｓ５６）。生産開始後一枚目フラグｆ９がオンの場合は、制御装置は、生産開始後高充填フラグｆ５を参照して、高充填アタック角度θ２を用いるか否かを判別する（ｓ５７）。なお、生産開始後高充填フラグｆ５は、ユーザ操作によりオン−オフ切り替え可能である。高充填アタック角度θ２を用いる場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する。この際、生産開始後一枚目フラグｆ９がオフになる（ｓ５８）。印刷後、コンベアベルトにより基板を払い出す（ｓ５９）。その後、制御装置は、基板を所定の枚数だけ生産したか否かを判別する（ｓ６０）。基板を所定の枚数だけ未だ生産していない場合は、制御装置は、生産を停止するか否かを判別する（ｓ６１）。生産を続ける場合は、基板待ちの状態に復帰する（ｓ５４）。
【００９１】
ステップ５６（ｓ５６）において、生産開始後一枚目フラグｆ９がオフの場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ６２）。そして、基板を払い出す（ｓ５９）。同様に、ステップ５７（ｓ５７）において、高充填アタック角度θ２を用いない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ６２）。そして、基板を払い出す（ｓ５９）。ステップ６０（ｓ６０）において、基板を所定の枚数だけ生産した場合は、段取り替えを実行する（ｓ５１）。ステップ６１（ｓ６１）において、生産を停止する場合は、自動運転起動待ちの状態に復帰する（ｓ５２）。
【００９２】
このように、生産開始一枚目モードにおいては、段取り替え後一枚目の基板を生産する場合に、高充填アタック角度θ２を用いている。このため、マスクのパターン孔の中まで、はんだを充填しにくいにも関わらず、はんだを基板に良好に印刷することができる。また、はんだの粘性が高いにも関わらず、はんだを基板に良好に印刷することができる。
【００９３】
（手動モード）
手動モードは、ユーザが高充填アタック角度θ２を用いたい場合に、随時実行される。図１４に、本実施形態のスクリーン印刷方法の手動モードのフローチャートを示す。
【００９４】
図１４に示すように、基板待ちの状態から（ｓ７１）、コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ７２）、制御装置は、高充填アタック角度ボタンオンフラグｆ１０を参照して、ユーザが高充填アタックボタンを押したか否かを判別する（ｓ７３）。ユーザが高充填アタックボタンを押したと制御装置が判断した場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する（ｓ７４）。印刷後、コンベアベルトにより基板を払い出し（ｓ７６）、基板待ちの状態に復帰する（ｓ７１）。
【００９５】
ステップ７３（ｓ７３）において、ユーザが高充填アタックボタンを押していないと制御装置が判断した場合は、制御装置からの指示により、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ７５）。
【００９６】
このように、手動モードにおいては、ユーザの嗜好に応じて、随時、高充填アタック角度θ２を用いることができる。
【００９７】
［作用効果］
次に、本実施形態のスクリーン印刷方法の作用効果について説明する。本実施形態のスクリーン印刷方法は、構成が共通する部分に関しては、第一実施形態のスクリーン印刷方法と同様の作用効果を有する。
【００９８】
また、本実施形態のスクリーン印刷方法によると、マスクのパターン孔にはんだを高充填したい状況に応じて、通常モードから各種高充填モードに切り替えることができる。このため、基板に対するはんだの転写性が低下しにくい。すなわち、はんだを往復印刷や低速度印刷するなどして、はんだの転写性を確保する必要がない。したがって、サイクルタイムが遅延しにくく、基板の生産性が低下しにくい。
【００９９】
また、本実施形態のスクリーン印刷方法によると、通常モードにおいては通常アタック角度θ１を、高充填モードにおいては高充填アタック角度θ２を、各々、略一定に保つことができる。
【０１００】
＜その他＞
以上、本発明のスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【０１０１】
上記実施形態においては、圧力計２４４ｂの検出値を基に、アタック角度θを略一定に保った。しかしながら、スキージ揺動軸Ａ１に配置したセンサでスキージ２６の揺動トルクの変化を検出することにより、アタック角度θを略一定に保ってもよい。
【０１０２】
また、スキージ２６あるいはエアシリンダ２４に配置したロードセルでマスク３２からスキージ２６に加わる反力の変化を検出することにより、アタック角度θを略一定に保ってもよい。
【０１０３】
また、スキージ揺動軸Ａ１とマスク３２上面との間の距離の変化を基に、アタック角度θを略一定に保ってもよい。図１５に、スキージ揺動軸とマスク上面との間の距離の変化を基にアタック角度を略一定に保つ場合のスキージの軌跡を示す。なお、図７と対応する部位については、同じ符号で示す。
【０１０４】
図１５に強調して示すように、基板Ｂは、下方に膨らむように撓んでいる。このため、マスク３２も、下方に膨らむように撓んでいる。
【０１０５】
基板Ｂの水平区間Ｅ１においては、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は変化しない。ここで、スキージ揺動軸Ａ１と、マスク３２とスキージ２６との接点Ｄ１と、を結ぶ直線Ｌ１の長さは一定である。また、アタック角度をθに設定すると、直線Ｌ１とマスク３２の上面の延在方向との間の挟角αは、一義的に決まる。このため、スキージ揺動軸Ａ１からマスク３２に垂直に降ろした直線Ｌ２の長さは、Ｌ２＝Ｌ１×ｓｉｎαとなる。この直線Ｌ２の長さが、常にＬ１×ｓｉｎαになるように、スキージ２６を上下動させる。なお、直線Ｌ２の長さを測定するためのセンサ（図略）は、スキージ２６と共に揺動可能に、スキージ揺動軸Ａ１に装着されている。センサは、直線Ｌ１に対して、角度γ（＝９０°−α）で交差する方向における、スキージ揺動軸Ａ１からマスク３２までの距離を検出する。
【０１０６】
基板Ｂの下降区間Ｅ２においては、直線Ｌ２の長さが、Ｌ１×ｓｉｎαよりも長くなる。すなわち、Ｌ２＞Ｌ１×ｓｉｎαとなる。Ｌ２＞Ｌ１×ｓｉｎαとなると、制御装置（図略）からの指示により、Ｚ軸方向スライダ２５を下降させ、スキージ揺動軸Ａ１に対して、スキージ２６を前方に揺動させる。Ｌ２が再びＬ１×ｓｉｎαと等しくなったら、Ｚ軸方向スライダ２５の下降を停止する。このようにして、アタック角度θ（スキージ２６と、接点Ｄ１におけるマスク３２上面の接線方向と、の間の挟角）を略一定に保っている。
【０１０７】
基板Ｂの上昇区間Ｅ３においては、直線Ｌ２の長さが、Ｌ１×ｓｉｎαよりも短くなる。すなわち、Ｌ２＜Ｌ１×ｓｉｎαとなる。Ｌ２＜Ｌ１×ｓｉｎαとなると、制御装置からの指示により、Ｚ軸方向スライダ２５を上昇させ、スキージ揺動軸Ａ１に対して、スキージ２６を後方に揺動させる。Ｌ２が再びＬ１×ｓｉｎαと等しくなったら、Ｚ軸方向スライダ２５の上昇を停止する。このようにして、アタック角度θ（スキージ２６と、接点Ｄ１におけるマスク３２上面の接線方向と、の間の挟角）を略一定に保っている。
【０１０８】
このように、スキージ揺動軸Ａ１とマスク３２上面との間の距離の変化を基に、アタック角度θを略一定に保つと、スキージ２６がマスク３２から受ける反力、および当該反力に関する検出値を検出しないで、アタック角度θを略一定に保つことができる。
【０１０９】
また、上記実施形態においては、スキージ装置２に単一のスキージ２６を配置したが、二つのスキージ２６を前後方向に並べて配置してもよい。この場合、スキージ装置２が前方から後方に移動する際に一方のスキージ２６を用いて印刷を行い、スキージ装置２が後方から前方に移動する際に他方のスキージ２６を用いて印刷を行ってもよい。また、二つのスキージ２６のスキージ揺動軸Ａ１を共通化してもよい。また、エアシリンダ２４を共用化してもよい。
【０１１０】
また、上記実施形態においては、エアシリンダ２４によりスキージ２６に揺動力を加えたが、他の流体シリンダ（油圧シリンダなど）によりスキージ２６に揺動力を加えてもよい。
【０１１１】
また、上記第二実施形態のスクリーン印刷方法は、第一実施形態のスクリーン印刷機以外のスクリーン印刷機で実施することもできる。すなわち、印刷工程において、アタック角度を略一定に保つことができないタイプのスクリーン印刷機で実施することもできる。
【符号の説明】
【０１１２】
１：スクリーン印刷機、２：スキージ装置、３：マスク装置、４：クランプ装置、５：バックアップ装置、６：搬送装置、７：メインテーブル、８：軸方向ガイドレール。
２０：モータ、２１：モータブラケット、２２：Ｙ軸方向スライダ、２４：エアシリンダ、２５：Ｚ軸方向スライダ、２６：スキージ、２７：入力板、２８：ホルダ、２９：ホルダ連結アーム、３０：フレーム、３１：メッシュ、３２：マスク、４０Ｆ：固定クランプ、４０Ｒ：可動クランプ、５０：バックアップテーブル、５１：バックアップピン、５２：ガイドロッド、６０Ｆ：コンベアベルト、６０Ｒ：コンベアベルト、９１：メモリ。
２２０：ガイドリブ、２４０：シリンダ本体、２４１：ピストン、２４２：スライダ連結アーム、２４３：シリンダ揺動凸部、２４４：配管、２４４ａ：バルブ、２４４ｂ：圧力計、２５０：被ガイド溝、２５１：挿通孔、２５２：シリンダ連結アーム、２８０：ホルダ本体、２８１：スキージ揺動凸部、９１０：生産レシピ、９１１：装置設定メモリ領域、９１２：内部メモリ領域。
Ａ１：スキージ揺動軸、Ａ２：シリンダ揺動軸、Ａ３：入力軸、Ｂ：基板、Ｅ１：水平区間、Ｅ２：下降区間、Ｅ３：上昇区間、ｆ１：クリーニング後高充填フラグ、ｆ２：待機時間オーバー時高充填フラグ、ｆ３：供給後高充填フラグ、ｆ４：自動運転開始後高充填フラグ、ｆ５：生産開始後高充填フラグ、ｆ６：クリーニング後一枚目フラグ、ｆ７：供給後一枚目フラグ、ｆ８：自動運転開始後一枚目フラグ、ｆ９：生産開始後一枚目フラグ、ｆ１０：高充填アタック角度ボタンオンフラグ、ｎ１：クリーニングインターバル、ｎ２：供給インターバル、ｔ１：待機時間リミット。
θ：アタック角度、θ１：通常アタック角度、θ２：高充填アタック角度。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表面にはんだを印刷するスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
はんだを印刷する際、基板は、クランプ装置により、水平方向両側から挟持される。近年においては、基板の薄型化が顕著である。このため、クランプ装置で挟持する際、基板に「反り」が発生する場合がある。すなわち、はんだを印刷する際、撓んだ状態で基板が固定されている場合がある。
【０００３】
図１６に、従来のスクリーン印刷機のスキージの軌跡を示す。図１６に強調して示すように、基板１０２は、下方に膨らむように撓んでいる。このため、マスク１０１も、下方に膨らむように撓んでいる。一方、スキージ１００のマスク１０１に対する摺動角度βは固定されている。このため、スキージ１００のマスク１０１に対するアタック角度θ１００が変化してしまう。アタック角度θ１００が変化すると、はんだの基板１０２に対する印圧が変化してしまう。このため、印刷品質が不安定になる。
【０００４】
この点に鑑み、特許文献１には、押圧手段と、可撓性を有するスキージと、を備えるスクリーン印刷機が開示されている。押圧手段は、空気圧を調整することにより、マスクに対するスキージの押圧力を調整している。押圧力を調整すると、スキージのマスクに対する湾曲程度が変化する。このため、スキージのマスクに対するアタック角度を調整することができる。同文献記載のスクリーン印刷機によると、アタック角度を略一定にすることにより、印刷品質を安定化している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１６２１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のスクリーン印刷機によると、スキージの可撓性に依存して、アタック角度を略一定にしている。スキージはゴム製である。このため、スキージの耐久性によっては、スキージに「へたり（変形残り）」が生じるおそれがある。この場合、アタック角度を略一定に保ちにくくなる。また、マスクのパターン孔にはんだを押し込む際、はんだからの反力によりスキージが撓み、アタック角度が変化するおそれがある。このように、特許文献１のスクリーン印刷方法によると、アタック角度を略一定に保ちにくい。
【０００７】
本発明のスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法は、上記課題に鑑みて完成されたものである。本発明は、より確実にアタック角度を略一定に保つことが可能なスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）上記課題を解決するため、本発明のスクリーン印刷機は、基板の上面に配置されパターン孔を有するマスクと、該マスクの上面を摺動し、該パターン孔を介して、はんだを該基板に転写するスキージと、該スキージを揺動させる揺動機構と、該スキージを上下動させる上下動機構と、を備えてなるスクリーン印刷機であって、前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、前記上下動機構および前記揺動機構を動かすことにより、該マスクの上面に対する該スキージのアタック角度を略一定に保つことを特徴とする（請求項１に対応）。
【０００９】
「アタック角度」とは、マスクの上面の延在方向と、スキージの延在方向と、の間の挟角をいう。マスクの上面が曲面状の場合、マスクの上面の延在方向とは、マスクとスキージとの接点におけるマスクの上面の接線方向をいう。
【００１０】
本発明のスクリーン印刷機によると、スキージが可撓性を有する必要がない。このため、より確実にアタック角度を略一定に保つことができる。したがって、より確実に印刷品質を安定化させることができる。
【００１１】
（１−１）好ましくは、上記（１）の構成において、前記スキージの揺動軸と、前記マスクと該スキージとの接点と、を結ぶ直線と、該マスクの上面の延在方向と、の間の挟角は、４５°以内である構成とする方がよい。
【００１２】
ここで、スキージの揺動軸と、マスクとスキージとの接点と、を結ぶ直線と、マスクの上面の延在方向と、の間の挟角を４５°以内としたのは、当該挟角が４５°超過の場合、スキージが円滑に揺動しにくいからである。
【００１３】
（２）好ましくは、上記（１）の構成において、前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、前記上下動機構を駆動し、該スキージを上下動させ、該スキージが該マスクから受ける反力を利用して、前記揺動機構を従動させることにより、前記アタック角度を略一定に保つ構成とする方がよい（請求項２に対応）。
【００１４】
本構成によると、スキージがマスクから受ける反力を介して、揺動機構が上下動機構に従動している。このため、アタック角度を略一定に保つ際、上下動機構に対して、揺動機構を、独立して駆動する必要がない。したがって、スクリーン印刷機の構造が簡単になる。
【００１５】
（３）好ましくは、上記（１）または（２）の構成において、さらに、前記スキージが前記マスクから受ける反力に関する検出値を検出する検出装置を備え、前記アタック角度は、該検出値を基に略一定に保たれる構成とする方がよい（請求項３に対応）。
【００１６】
スキージがマスクから受ける反力は、上下動機構や揺動機構の種類により、圧力、荷重、角度、トルクなど、種々の検出値に反映される。本構成によると、当該検出値を基にアタック角度を略一定に保つことができる。
【００１７】
（４）また、上記課題を解決するため、本発明のスクリーン印刷方法は、基板の上面に配置されパターン孔を有するマスクの上面をスキージが摺動することにより、該パターン孔を介して、はんだを該基板に転写するスクリーン印刷方法であって、前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、該スキージを揺動させることにより、該マスクの上面に対する該スキージのアタック角度を略一定に保つことを特徴とする（請求項４に対応）。
【００１８】
本発明のスクリーン印刷方法によると、スキージが可撓性を有する必要がない。このため、より確実にアタック角度を略一定に保つことができる。したがって、より確実に印刷品質を安定化させることができる。
【００１９】
（４−１）好ましくは、上記（４）の構成において、前記スキージの揺動軸と、前記マスクと該スキージとの接点と、を結ぶ直線と、該マスクの上面の延在方向と、の間の挟角は、４５°以内である構成とする方がよい。
【００２０】
ここで、スキージの揺動軸と、マスクとスキージとの接点と、を結ぶ直線と、マスクの上面の延在方向と、の間の挟角を４５°以内としたのは、当該挟角が４５°超過の場合、スキージが円滑に揺動しにくいからである。
【００２１】
（５）好ましくは、上記（４）の構成において、前記アタック角度は、前記スキージが前記マスクから受ける反力を基に略一定に保たれる構成とする方がよい（請求項５に対応）。
【００２２】
本構成によると、スキージがマスクから受ける反力を介して、アタック角度を略一定に保っている。このため、アタック角度を略一定に保つ際、別途、駆動機構によりスキージ自体を駆動する必要がない。したがって、スクリーン印刷機の構造が簡単になる。
【００２３】
（６）好ましくは、上記（４）または（５）の構成において、通常モードにおいては、前記アタック角度を所定の通常角度に設定し、該通常モードと比較して前記はんだを前記パターン孔に高充填することが必要な高充填モードにおいては、該アタック角度を該通常角度よりも小さい高充填角度に設定する構成とする方がよい（請求項６に対応）。
【００２４】
例えば、マスクをクリーニングした直後や、はんだを追加した直後などは、通常印刷時と比較して、基板に対するはんだの転写性が低下してしまう。つまり、はんだがかすれやすくなる。この場合、一枚目の基板に対してはんだを往復印刷や低速度印刷することなどにより、はんだの転写性を確保している。しかしながら、こうすると、サイクルタイムが遅延してしまう。すなわち、基板の生産性が低下してしまう。
【００２５】
この点、本構成のスクリーン印刷方法によると、通常モードにおいては、アタック角度が通常角度に設定される。一方、高充填モードにおいては、アタック角度が高充填角度に設定される。すなわち、通常モードと高充填モードとで、アタック角度を大小切り替えることができる。このため、はんだの転写性が低下しそうな場合は、高充填モードに切り替えることにより、はんだの転写性を確保することができる。したがって、基板の生産性が低下するのを抑制することができる。
【００２６】
（７）好ましくは、上記（６）の構成において、前記高充填モードは、以下の（ａ）〜（ｆ）から選ばれる少なくとも一つのモードである構成とする方がよい。（ａ）前記マスクをクリーニング後、一枚目の前記基板に実行されるクリーニング後一枚目モード。（ｂ）先発の該基板を生産後、所定の待機時間を超過した次発の該基板に対して実行される待機時間オーバーモード。（ｃ）前記はんだを供給後、一枚目の該基板に実行されるはんだ供給モード。（ｄ）一旦停止した生産を再開後、一枚目の該基板に実行される自動運転一枚目モード。（ｅ）段取り替え後、一枚目の該基板に実行される生産開始一枚目モード。（ｆ）ユーザが手動により実行する手動モード（請求項７に対応）。本構成によると、各種印刷状況に応じて、適宜、アタック角度を高充填角度に設定することができる。
【００２７】
（８）上記（６）、（７）の構成は、上記（４）、（５）の構成から独立した構成としてもよい。すなわち、スキージのアタック角度を略一定に保つ工程を有しないスクリーン印刷方法に用いてもよい。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によると、より確実にアタック角度を略一定に保つことが可能なスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第一実施形態のスクリーン印刷機の右側面図である。
【図２】同スクリーン印刷機のスキージ装置の断面図である。
【図３】同スキージ装置の斜視図である。
【図４】同スキージ装置の分解斜視図である。
【図５】同スクリーン印刷機の基板保持工程の右側面図である。
【図６】同スクリーン印刷機の印刷工程の右側面図である。
【図７】同スクリーン印刷機のスキージの印刷工程の軌跡を示す模式図である。
【図８】第二実施形態のスクリーン印刷方法に用いられるスクリーン印刷機のメモリのブロック図である。
【図９】同スクリーン印刷方法のクリーニング後一枚目モードのフローチャートである。
【図１０】同スクリーン印刷方法の待機時間オーバーモードのフローチャートである。
【図１１】同スクリーン印刷方法のはんだ供給モードのフローチャートである。
【図１２】同スクリーン印刷方法の自動運転一枚目モードのフローチャートである。
【図１３】同スクリーン印刷方法の生産開始一枚目モードのフローチャートである。
【図１４】同スクリーン印刷方法の手動モードのフローチャートである。
【図１５】スキージ揺動軸とマスク上面との間の距離の変化を基にアタック角度を略一定に保つ場合のスキージの軌跡を示す模式図である。
【図１６】従来のスクリーン印刷機のスキージの軌跡を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明のスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法の実施の形態について説明する。
【００３１】
＜第一実施形態＞
［スクリーン印刷機の構成］
まず、本実施形態のスクリーン印刷機の構成について説明する。図１に、本実施形態のスクリーン印刷機の右側面図を示す。図１に示すように、本実施形態のスクリーン印刷機１は、スキージ装置２と、マスク装置３と、クランプ装置４と、バックアップ装置５と、搬送装置６と、メインテーブル７と、Ｙ軸方向ガイドレール８と、を備えている。
【００３２】
（メインテーブル７、クランプ装置４）
メインテーブル７は、長方形板状を呈している。メインテーブル７は、上下動可能である。クランプ装置４は、固定クランプ４０Ｆと、可動クランプ４０Ｒと、を備えている。固定クランプ４０Ｆは、長方形板状を呈している。固定クランプ４０Ｆは、メインテーブル７の前縁から、上方に立設されている。可動クランプ４０Ｒは、長方形板状を呈している。可動クランプ４０Ｒは、メインテーブル７の後縁から、上方に立設されている。固定クランプ４０Ｆと可動クランプ４０Ｒとは、前後方向に対向している。可動クランプ４０Ｒは、前後方向に移動可能である。
【００３３】
（搬送装置６）
搬送装置６は、一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒを備えている。コンベアベルト６０Ｆは、固定クランプ４０Ｆの後面上縁に配置されている。コンベアベルト６０Ｆは、左右方向に延在している。コンベアベルト６０Ｒは、可動クランプ４０Ｒの前面上縁に配置されている。コンベアベルト６０Ｒは、左右方向に延在している。一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒは、前後方向に対向している。基板Ｂは、一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒ間に架設されている。基板Ｂは、一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒにより、左側（上流側）から右側（下流側）に搬送される。
【００３４】
（バックアップ装置５）
バックアップ装置５は、バックアップテーブル５０と、複数のバックアップピン５１と、一対のガイドロッド５２と、を備えている。バックアップテーブル５０は、長方形板状を呈している。バックアップテーブル５０は、メインテーブル７の上方に配置されている。また、バックアップテーブル５０は、固定クランプ４０Ｆと可動クランプ４０Ｒとの間に配置されている。一対のガイドロッド５２は、バックアップテーブル５０の下面を、上下動可能に支持している。複数のバックアップピン５１は、バックアップテーブル５０の上面に配置されている。
【００３５】
（マスク装置３）
マスク装置３は、フレーム３０と、メッシュ３１と、マスク３２と、を備えている。マスク装置３は、クランプ装置４の上方に配置されている。フレーム３０は、長方形枠状を呈している。メッシュ３１は、長方形枠状を呈している。メッシュ３１は、フレーム３０の枠内に配置されている。マスク３２は、長方形薄板状を呈している。マスク３２は、メッシュ３１に張設されている。マスク３２には、多数のパターン孔（図略）が形成されている。パターン孔は、基板Ｂの印刷位置に応じて、所定のパターンで配置されている。
【００３６】
（スキージ装置２、Ｙ軸方向ガイドレール８）
Ｙ軸方向ガイドレール８は、マスク装置３の上方に配置されている。Ｙ軸方向ガイドレール８は、前後方向に延在している。スキージ装置２は、Ｙ軸方向ガイドレール８に、前後方向に摺動可能に配置されている。
【００３７】
図２に、本実施形態のスクリーン印刷機のスキージ装置の断面図を示す。図３に、同スキージ装置の斜視図を示す。図４に、同スキージ装置の分解斜視図を示す。図２〜図４に示すように、スキージ装置２は、モータ２０と、モータブラケット２１と、Ｙ軸方向スライダ２２と、ボールねじ２３と、エアシリンダ２４と、Ｚ軸方向スライダ２５と、スキージ２６と、入力板２７と、ホルダ２８と、ホルダ連結アーム２９と、を備えている。
【００３８】
これらの部材のうち、ボールねじ２３、Ｙ軸方向スライダ２２、Ｚ軸方向スライダ２５は、本発明の上下動機構に含まれる。また、ホルダ２８、入力板２７、エアシリンダ２４は、本発明の揺動機構に含まれる。
【００３９】
Ｙ軸方向スライダ２２は、長方形板状を呈している。Ｙ軸方向スライダ２２は、図１に示すＹ軸方向ガイドレール８に、前後方向に摺動可能に配置されている。Ｙ軸方向スライダ２２の前面には、一対のガイドリブ２２０が突設されている。一対のガイドリブ２２０は、上下方向に延在している。
【００４０】
モータブラケット２１は、Ｙ軸方向スライダ２２の上面に配置されている。モータ２０は、モータブラケット２１に装着されている。ボールねじ２３は、上下方向に延在している。ボールねじ２３は、モータ２０の回転軸（図略）に連結されている。
【００４１】
Ｚ軸方向スライダ２５は、直方体ブロック状を呈している。Ｚ軸方向スライダ２５は、一対の被ガイド溝２５０と、ボールねじ挿通孔２５１と、シリンダ連結アーム２５２と、を備えている。一対の被ガイド溝２５０は、Ｚ軸方向スライダ２５の後面に配置されている。一対の被ガイド溝２５０は、上下方向に延在している。図４に示すように、一対の被ガイド溝２５０は、Ｙ軸方向スライダ２２の一対のガイドリブ２２０に、係合している。ボールねじ挿通孔２５１は、Ｚ軸方向スライダ２５を上下方向に貫通している。ボールねじ挿通孔２５１には、ボールねじ２３が挿通されている。ボールねじ２３の外周面とボールねじ挿通孔２５１の内周面との間には、多数のボール（図略）が介装されている。多数のボールにより、ボールねじ２３は、ボールねじ挿通孔２５１に対して、螺動可能である。シリンダ連結アーム２５２は、角柱状を呈している。シリンダ連結アーム２５２は、Ｚ軸方向スライダ２５の前面から、前方に突設されている。
【００４２】
ホルダ連結アーム２９は、下方に開口するＣ字状を呈している。ホルダ連結アーム２９は、Ｚ軸方向スライダ２５の下面に固定されている。ホルダ２８は、ホルダ本体２８０と、一対のスキージ揺動凸部２８１と、を備えている。ホルダ本体２８０は、左右方向に長い長方形板状を呈している。スキージ揺動凸部２８１は、短軸円柱状を呈している。一対のスキージ揺動凸部２８１は、ホルダ本体２８０の上縁の左右両端に配置されている。一対のスキージ揺動凸部２８１は、ホルダ連結アーム２９のＣ字開口縁に、揺動可能に保持されている。
【００４３】
スキージ２６は、左右方向に長い長方形板状を呈している。スキージ２６は、ホルダ本体２８０の下面に固定されている。図４に示すように、スキージ２６は、スキージ揺動軸Ａ１（一対のスキージ揺動凸部２８１）を中心に、縦方向に揺動可能である。入力板２７は、長方形板状を呈している。入力板２７は、ホルダ本体２８０の上面の略中央に固定されている。
【００４４】
エアシリンダ２４は、シリンダ本体２４０と、ピストン２４１と、スライダ連結アーム２４２と、一対のシリンダ揺動凸部２４３と、を備えている。シリンダ本体２４０は、角柱状を呈している。シリンダ本体２４０の内部には、円柱状の空間が形成されている。図２に示すように、シリンダ本体２４０の内部空間には、配管２４４が連結されている。配管２４４には、バルブ２４４ａと圧力計２４４ｂとが取り付けられている。圧力計２４４ｂは、バルブ２４４ａとシリンダ本体２４０との間に配置されている。スライダ連結アーム２４２は、角柱状を呈している。スライダ連結アーム２４２は、シリンダ本体２４０の後面から、後方に突設されている。シリンダ揺動凸部２４３は、短軸円柱状を呈している。一対のシリンダ揺動凸部２４３は、スライダ連結アーム２４２の後端から、左右方向に突設されている。一対のシリンダ揺動凸部２４３は、シリンダ連結アーム２５２の前端に、揺動可能に保持されている。図４に示すように、エアシリンダ２４は、シリンダ揺動軸Ａ２（一対のシリンダ揺動凸部２４３）を中心に、縦方向に揺動可能である。ピストン２４１は、シリンダ本体２４０の内部空間に対して、下方から出入り可能に配置されている。ピストン２４１の下端には、入力板２７が、揺動可能に連結されている。図４に示すように、入力板２７は、入力軸Ａ３（ピストン２４１の下端）を中心に、縦方向に揺動可能である。
【００４５】
以上説明したように、また、図２に細線で示すように、スキージ２６は、スキージ揺動軸Ａ１を中心に、揺動可能である。また、エアシリンダ２４は、入力軸Ａ３を介して、スキージ２６に揺動力を加えることができる。また、エアシリンダ２４は、空気圧により、スキージ２６が入力軸Ａ３方向に揺動するのを、抑制することができる。
【００４６】
［スクリーン印刷方法］
次に、本実施形態のスクリーン印刷方法について説明する。本実施形態のスクリーン印刷方法は、基板搬入工程と、基板保持工程と、印刷工程と、基板搬出工程と、を有している。
【００４７】
（基板搬入工程）
基板搬入工程においては、図１に示すように、一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒにより、基板Ｂを、バックアップピン５１上方の所定位置に配置する。
【００４８】
（基板保持工程）
図５に、本実施形態のスクリーン印刷機の基板保持工程の右側面図を示す。基板保持工程においては、まず、図５に白抜き矢印Ｃ１で示すように、バックアップテーブル５０を上昇させる。続いて、複数のバックアップピン５１により、基板Ｂを持ち上げる。そして、基板Ｂの上面の高さと、固定クランプ４０Ｆ、可動クランプ４０Ｒの上面の高さと、を揃える。それから、白抜き矢印Ｃ２で示すように、可動クランプ４０Ｒを前方に動かすことにより、固定クランプ４０Ｆと可動クランプ４０Ｒとで、基板Ｂを前後方向から挟持する。その後、白抜き矢印Ｃ３で示すように、バックアップテーブル５０、複数のバックアップピン５１、基板Ｂと共に、メインテーブル７を上昇させ、マスク３２の下面に、基板Ｂの上面を、当接させる。続いて、白抜き矢印Ｃ４で示すように、スキージ装置２のスキージ２６を下降させ、マスク３２の上面に当接させる。
【００４９】
スキージ２６を下降させる際の動きについて詳しく説明すると、図２に示すように、まず、モータ２０を駆動し、ボールねじ２３を軸回りに回転させる。そして、Ｚ軸方向スライダ２５を下降させ、スキージ２６をマスク３２の上面に当接させる。続いて、配管２４４を介して、エアシリンダ２４に空気を供給する。そして、ピストン２４１により、入力板２７、ホルダ２８を介して、スキージ２６を押圧する。図４に示すように、スキージ２６は、スキージ揺動軸Ａ１を中心に、下方に揺動する方向に、押圧される。ピストン２４１には、スキージ２６を介して、マスク３２からの反力が加わる。当該反力により、シリンダ本体２４０の内部空間の空気圧は上昇する。当該空気圧は、圧力計２４４ｂにより検出される。当該空気圧が、設定印圧まで上昇した時点で、バルブ２４４ａを閉じる。このようにして、図５に示すように、スキージ２６とマスク３２の上面との間の挟角を、所定のアタック角度θとする。また、スキージ揺動軸Ａ１と、マスク３２とスキージ２６との接点Ｄ１と、を結ぶ直線と、マスク３２の上面の延在方向と、の間の挟角αを、４５°以内に設定する。
【００５０】
（印刷工程）
図６に、本実施形態のスクリーン印刷機の印刷工程の右側面図を示す。印刷工程においては、図６に白抜き矢印Ｃ５で示すように、Ｙ軸方向ガイドレール８に沿って、スキージ装置２を、前方から後方に向かって、移動させる。そして、マスク３２の上面に対して、スキージ２６を摺動させる。マスク３２の上面には、はんだ（図略）が配置されている。摺動するスキージ２６により、はんだは、パターン孔に押し込まれる。パターン孔に押し込まれたはんだは、基板Ｂの所定位置に転写される。
【００５１】
図７に、本実施形態のスクリーン印刷機のスキージの印刷工程の軌跡を示す。図７に強調して示すように、基板Ｂは、下方に膨らむように撓んでいる。このため、マスク３２も、下方に膨らむように撓んでいる。
【００５２】
基板Ｂの水平区間Ｅ１においては、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は変化しない。このため、図２に示す圧力計２４４ｂの検出値は変化しない。すなわち、検出値は、設定印圧のままである。したがって、アタック角度θは、略一定のままである。
【００５３】
基板Ｂの下降区間Ｅ２においては、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は小さくなる。このため、図２に示す圧力計２４４ｂの検出値が、設定印圧と比較して、小さくなる。検出値が小さくなると、制御装置（図略）からの指示により、Ｚ軸方向スライダ２５を下降させ、マスク３２に対するスキージ２６の押圧力を大きくする。このため、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は大きくなる。圧力計２４４ｂの検出値が、再び設定印圧と等しくなったら、Ｚ軸方向スライダ２５の下降を停止する。このようにして、アタック角度θ（スキージ２６と、接点Ｄ１におけるマスク３２上面の接線方向と、の間の挟角）を略一定に保っている。
【００５４】
基板Ｂの上昇区間Ｅ３においては、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は大きくなる。このため、図２に示す圧力計２４４ｂの検出値が、設定印圧と比較して、大きくなる。検出値が大きくなると、制御装置からの指示により、Ｚ軸方向スライダ２５を上昇させ、マスク３２に対するスキージ２６の押圧力を小さくする。このため、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は小さくなる。圧力計２４４ｂの検出値が、再び設定印圧と等しくなったら、Ｚ軸方向スライダ２５の上昇を停止する。このようにして、アタック角度θ（スキージ２６と、接点Ｄ１におけるマスク３２上面の接線方向と、の間の挟角）を略一定に保っている。
【００５５】
（基板搬出工程）
基板搬出工程においては、まず、マスク３２に対して、スキージ２６を上昇させる。すなわち、いわゆる版離れを行う。続いて、マスク３２に対して、基板Ｂを下降させる。それから、基板Ｂを、再び一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒに載置する。その後、一対のコンベアベルト６０Ｆ、６０Ｒを再駆動し、基板Ｂを下流側に送り出す。
【００５６】
［作用効果］
次に、本実施形態のスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法の作用効果について説明する。
【００５７】
本実施形態のスクリーン印刷機１のスキージ２６は金属製であり、剛性が高い。すなわち、スキージ２６は、可撓性を有しない。このため、より確実にアタック角度θを略一定に保つことができる。したがって、より確実に印刷品質を安定化させることができる。
【００５８】
また、本実施形態のスクリーン印刷機１によると、スキージ揺動軸Ａ１と、マスク３２とスキージ２６との接点Ｄ１と、を結ぶ直線と、マスク３２の上面の延在方向と、の間の挟角αが４５°以内に設定されている。このため、マスク３２の上面に押しつけてスキージ２６を揺動させる際、スキージ２６が揺動しやすい。ここで、挟角αを４５°以内としたのは、挟角αが４５°超過の場合、ホルダ連結アーム２９に対する、スキージ２６の屈曲程度が小さくなるからである。言い換えると、ホルダ連結アーム２９とスキージ２６とが、より直線に近い状態で、連動するようになるからである。挟角αが４５°超過の場合、スキージ２６が下降する際、スキージ２６からマスク３２の上面に加わる力のうち、上下方向の分力が大きくなる。上下方向の分力が大きくなると、スキージ２６が揺動しにくくなる。また、スキージ２６がマスク３２の上面を過度に下方に押圧してしまう。
【００５９】
また、本実施形態のスクリーン印刷機１によると、スキージ２６がマスク３２から受ける反力を介して、揺動機構が上下動機構に従動している。このため、アタック角度θを略一定に保つ際、上下動機構に対して、揺動機構を、独立して駆動する必要がない。したがって、スクリーン印刷機１の構造が簡単になる。
【００６０】
また、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は、エアシリンダ２４のシリンダ本体２４０の内部空間の空気圧に反映される。この点に着目して、本実施形態のスクリーン印刷機１によると、圧力計２４４ｂの検出値を基に、アタック角度θを略一定に保っている。このため、反力そのものを直接検出することなく、反力に基づいてアタック角度θを略一定に保つことができる。
【００６１】
また、スキージ２６とは別に、揺動式のブレードを配置し、当該ブレードを揺動させることにより、アタック角度を制御する場合と比較して、スキージ装置２延いてはスクリーン印刷機１の構造が簡単になる。また、部品点数が少なくなる。
【００６２】
また、本実施形態のスクリーン印刷機１によると、スキージ２６がマスク３２から受ける反力の変動を、シリンダ本体２４０の内部空間の空気圧により、吸収することができる。このため、反力が急に変動する場合であっても、アタック角度θが急に変動するのを抑制することができる。
【００６３】
＜第二実施形態＞
本実施形態のスクリーン印刷方法は、通常モードと高充填モードとで、アタック角度を切り替えるスクリーン印刷方法である。本実施形態のスクリーン印刷方法には、第一実施形態のスクリーン印刷機を使用する。
【００６４】
［メモリ］
まず、本実施形態のスクリーン印刷方法に用いられるスクリーン印刷機のメモリの格納データについて説明する。図８に、本実施形態のスクリーン印刷方法に用いられるスクリーン印刷機のメモリのブロック図を示す。図８に示すように、スクリーン印刷機のメモリ９１には、生産レシピ９１０と、装置設定メモリ領域９１１と、内部メモリ領域９１２と、が格納されている。メモリ９１は、スクリーン印刷機の制御装置（図略）に配置されている。
【００６５】
生産レシピ９１０には、スクリーン印刷機を制御するためのプログラムが記憶されている。生産レシピ９１０には、通常モードにおける通常アタック角度θ１、高充填モードにおける高充填アタック角度θ２、クリーニングインターバルｎ１、はんだ供給インターバルｎ２が記憶されている。
【００６６】
装置設定メモリ領域９１１には、スクリーン印刷機をユーザの嗜好に応じてカスタマイズするための設定が記憶されている。装置設定メモリ領域９１１には、待機時間リミットｔ１、クリーニング後高充填フラグｆ１、待機時間オーバー時高充填フラグｆ２、はんだ供給後高充填フラグｆ３、自動運転開始後高充填フラグｆ４、生産開始後高充填フラグｆ５が記憶されている。
【００６７】
内部メモリ領域９１２には、クリーニング後一枚目フラグｆ６、はんだ供給後一枚目フラグｆ７、自動運転開始後一枚目フラグｆ８、生産開始後一枚目フラグｆ９、高充填アタック角度ボタンオンフラグｆ１０が記憶されている。
【００６８】
［スクリーン印刷方法］
次に、本実施形態のスクリーン印刷方法について説明する。本実施形態のスクリーン印刷方法は、通常モードと各種高充填モードとに切り替えることができる。
【００６９】
（通常モード）
通常モードにおいては、アタック角度を通常アタック角度θ１に設定して、はんだを基板に印刷する。この際の印刷方法は、第一実施形態のスクリーン印刷方法同様である。
【００７０】
（高充填モード）
高充填モードにおいては、アタック角度を高充填アタック角度θ２に設定して、はんだを基板に印刷する。この際の印刷方法は、第一実施形態のスクリーン印刷方法同様である。
【００７１】
ここで、高充填アタック角度θ２（例えば５５°）は、通常アタック角度θ１（例えば６０°）に対して、小さく設定されている。このため、高充填アタック角度θ２に切り替えると、通常アタック角度θ１と比較して、マスクのパターン孔に、はんだを押し込みやすくなる。すなわち、パターン孔に、はんだを高充填しやすくなる。
【００７２】
高充填モードとしては、クリーニング後一枚目モード、待機時間オーバーモード、はんだ供給モード、自動運転一枚目モード、生産開始一枚目モード、手動モードが設定されている。以下、これらのモードを順番に説明する。
【００７３】
（クリーニング後一枚目モード）
クリーニング後一枚目モードは、マスクをクリーニングした後、一枚目の基板を生産する際に実行される。図９に、本実施形態のスクリーン印刷方法のクリーニング後一枚目モードのフローチャートを示す。
【００７４】
図９に示すように、基板待ちの状態から（ｓ１（ステップ１、以下同様））、コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ２）、制御装置は、クリーニング後一枚目フラグｆ６を参照して、搬入された基板がクリーニング後一枚目に該当するか否かを判別する（ｓ３）。基板がクリーニング後一枚目に該当する場合は、制御装置は、クリーニング後高充填フラグｆ１を参照して、高充填アタック角度θ２を用いるか否かを判別する（ｓ４）。なお、クリーニング後高充填フラグｆ１は、ユーザ操作によりオン−オフ切り替え可能である。高充填アタック角度θ２を用いる場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する（ｓ５）。印刷後、コンベアベルトにより基板を払い出す（ｓ６）。その後、制御装置は、クリーニングインターバルｎ１が経過したか否かを判別する（ｓ７）。そして、クリーニングインターバルｎ１が経過した場合は、マスクのクリーニングを実行する（ｓ８）。例えば、基板を１００枚生産するごとにマスクのクリーニングを実行する場合、クリーニングインターバルｎ１は１００である。基板が１００枚目に該当する場合に、クリーニングを実行する。
【００７５】
ステップ３（ｓ３）において、基板がクリーニング後一枚目に該当しない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ９）。そして、基板を払い出す（ｓ６）。同様に、ステップ４（ｓ４）において、高充填アタック角度θ２を用いない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ９）。そして、基板を払い出す（ｓ６）。ステップ７（ｓ７）において、クリーニングインターバルｎ１が経過していない場合は、マスクのクリーニングを実行せずに、基板待ちの状態に復帰する（ｓ１）。
【００７６】
このように、クリーニング後一枚目モードにおいては、クリーニング後一枚目の基板にはんだを印刷する場合に、高充填アタック角度θ２を用いている。このため、マスクのパターン孔の中まで、はんだを充填しにくいにも関わらず、はんだをパターン孔の中から基板まで充填可能になり、はんだを基板に良好に印刷することができる。
【００７７】
（待機時間オーバーモード）
待機時間オーバーモードは、所定の基板待ち時間が経過した後、基板を生産する際に実行される。図１０に、本実施形態のスクリーン印刷方法の待機時間オーバーモードのフローチャートを示す。
【００７８】
図１０に示すように、基板待ちの状態から（ｓ１１）、コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ１２）、制御装置は、待機時間リミットｔ１を参照して、搬入された基板が基板待ち時間をオーバーしたか否かを判別する（ｓ１３）。基板が基板待ち時間をオーバーした場合は、制御装置は、待機時間オーバー時高充填フラグｆ２を参照して、高充填アタック角度θ２を用いるか否かを判別する（ｓ１４）。なお、待機時間オーバー時高充填フラグｆ２は、ユーザ操作によりオン−オフ切り替え可能である。高充填アタック角度θ２を用いる場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する（ｓ１５）。印刷後、基板待ち時間を計測するためのタイマーをスタートさせる（ｓ１６）。
【００７９】
ステップ１３（ｓ１３）において、基板が基板待ち時間をオーバーしなかった場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ１７）。そして、基板を払い出す（ｓ１６）。同様に、ステップ１４（ｓ１４）において、高充填アタック角度θ２を用いない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ１７）。そして、基板を払い出す（ｓ１６）。
【００８０】
このように、待機時間オーバーモードにおいては、待機時間オーバー後の基板にはんだを印刷する場合に、高充填アタック角度θ２を用いている。このため、基板待ち時間の経過によりはんだの粘性が高くなっているにも関わらず、はんだを基板に良好に印刷することができる。
【００８１】
（はんだ供給モード）
はんだ供給モードは、マスクにはんだを供給した後、基板を生産する際に実行される。図１１に、本実施形態のスクリーン印刷方法のはんだ供給モードのフローチャートを示す。
【００８２】
図１１に示すように、基板待ちの状態から（ｓ２１）、コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ２２）、制御装置は、はんだ供給後一枚目フラグｆ７を参照して、搬入された基板がはんだ供給後一枚目に該当するか否かを判別する（ｓ２３）。基板がはんだ供給後一枚目に該当する場合は、制御装置は、はんだ供給後高充填フラグｆ３を参照して、高充填アタック角度θ２を用いるか否かを判別する（ｓ２４）。なお、はんだ供給後高充填フラグｆ３は、ユーザ操作によりオン−オフ切り替え可能である。高充填アタック角度θ２を用いる場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する（ｓ２５）。印刷後、コンベアベルトにより基板を払い出す（ｓ２６）。その後、制御装置は、はんだ供給インターバルｎ２が経過したか否かを判別する（ｓ２７）。そして、はんだ供給インターバルｎ２が経過した場合は、はんだを供給する（ｓ２８）。例えば、基板を１００枚生産するごとにはんだを供給する場合、はんだ供給インターバルｎ２は１００である。基板が１００枚目に該当する場合に、はんだを供給する。
【００８３】
ステップ２３（ｓ２３）において、基板がはんだ供給後一枚目に該当しない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ２９）。そして、基板を払い出す（ｓ２６）。同様に、ステップ２４（ｓ２４）において、高充填アタック角度θ２を用いない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ２９）。そして、基板を払い出す（ｓ２６）。ステップ２７（ｓ２７）において、はんだ供給インターバルｎ２が経過していない場合は、はんだを供給せずに、基板待ちの状態に復帰する（ｓ２１）。
【００８４】
このように、はんだ供給モードにおいては、はんだ供給後一枚目の基板にはんだを印刷する場合に、高充填アタック角度θ２を用いている。このため、供給直後のはんだの粘性が高いにも関わらず、はんだを基板に良好に印刷することができる。
【００８５】
（自動運転一枚目モード）
自動運転一枚目モードは、生産途中でスクリーン印刷機を一旦停止し、再起動する際に実行される。図１２に、本実施形態のスクリーン印刷方法の自動運転一枚目モードのフローチャートを示す。
【００８６】
図１２に示すように、段取り替え後（ｓ３１）、自動運転起動待ちを経て（ｓ３２）、自動運転が起動すると（ｓ３３）、自動運転開始後一枚目フラグｆ８がオンになる（ｓ３４）。基板待ちの状態から（ｓ３５）、コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ３６）、制御装置は、自動運転開始後一枚目フラグｆ８がオンかオフかを判別する（ｓ３７）。自動運転開始後一枚目フラグｆ８がオンの場合は、制御装置は、自動運転開始後高充填フラグｆ４を参照して、高充填アタック角度θ２を用いるか否かを判別する（ｓ３８）。なお、自動運転開始後高充填フラグｆ４は、ユーザ操作によりオン−オフ切り替え可能である。高充填アタック角度θ２を用いる場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する。この際、自動運転開始後一枚目フラグｆ８がオフになる（ｓ３９）。印刷後、コンベアベルトにより基板を払い出す（ｓ４０）。その後、制御装置は、生産を停止するか否かを判別する（ｓ４１）。生産を続ける場合は、基板待ちの状態に復帰する（ｓ３５）。
【００８７】
ステップ３７（ｓ３７）において、自動運転開始後一枚目フラグｆ８がオフの場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ４２）。そして、基板を払い出す（ｓ４０）。同様に、ステップ３８（ｓ３８）において、高充填アタック角度θ２を用いない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ４２）。そして、基板を払い出す（ｓ４０）。ステップ４１（ｓ４１）において、生産を停止する場合は、自動運転起動待ちの状態に復帰する（ｓ３２）。
【００８８】
このように、自動運転一枚目モードにおいては、スクリーン印刷機を再起動する場合に、高充填アタック角度θ２を用いている。このため、停止中にはんだの粘性が高くなっているにも関わらず、はんだを基板に良好に印刷することができる。
【００８９】
（生産開始一枚目モード）
生産開始一枚目モードは、段取り替え後、一枚目の基板を生産する際に実行される。図１３に、本実施形態のスクリーン印刷方法の生産開始一枚目モードのフローチャートを示す。
【００９０】
図１３に示すように、段取り替えを行うと、生産開始後一枚目フラグｆ９がオンになる（ｓ５１）。自動運転起動待ちを経て（ｓ５２）、自動運転が起動すると（ｓ５３）、基板待ちの状態になる（ｓ５４）。コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ５５）、制御装置は、生産開始後一枚目フラグｆ９がオンかオフかを判別する（ｓ５６）。生産開始後一枚目フラグｆ９がオンの場合は、制御装置は、生産開始後高充填フラグｆ５を参照して、高充填アタック角度θ２を用いるか否かを判別する（ｓ５７）。なお、生産開始後高充填フラグｆ５は、ユーザ操作によりオン−オフ切り替え可能である。高充填アタック角度θ２を用いる場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する。この際、生産開始後一枚目フラグｆ９がオフになる（ｓ５８）。印刷後、コンベアベルトにより基板を払い出す（ｓ５９）。その後、制御装置は、基板を所定の枚数だけ生産したか否かを判別する（ｓ６０）。基板を所定の枚数だけ未だ生産していない場合は、制御装置は、生産を停止するか否かを判別する（ｓ６１）。生産を続ける場合は、基板待ちの状態に復帰する（ｓ５４）。
【００９１】
ステップ５６（ｓ５６）において、生産開始後一枚目フラグｆ９がオフの場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ６２）。そして、基板を払い出す（ｓ５９）。同様に、ステップ５７（ｓ５７）において、高充填アタック角度θ２を用いない場合は、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ６２）。そして、基板を払い出す（ｓ５９）。ステップ６０（ｓ６０）において、基板を所定の枚数だけ生産した場合は、段取り替えを実行する（ｓ５１）。ステップ６１（ｓ６１）において、生産を停止する場合は、自動運転起動待ちの状態に復帰する（ｓ５２）。
【００９２】
このように、生産開始一枚目モードにおいては、段取り替え後一枚目の基板を生産する場合に、高充填アタック角度θ２を用いている。このため、マスクのパターン孔の中まで、はんだを充填しにくいにも関わらず、はんだを基板に良好に印刷することができる。また、はんだの粘性が高いにも関わらず、はんだを基板に良好に印刷することができる。
【００９３】
（手動モード）
手動モードは、ユーザが高充填アタック角度θ２を用いたい場合に、随時実行される。図１４に、本実施形態のスクリーン印刷方法の手動モードのフローチャートを示す。
【００９４】
図１４に示すように、基板待ちの状態から（ｓ７１）、コンベアベルトにより基板が搬入されると（ｓ７２）、制御装置は、高充填アタック角度ボタンオンフラグｆ１０を参照して、ユーザが高充填アタックボタンを押したか否かを判別する（ｓ７３）。ユーザが高充填アタックボタンを押したと制御装置が判断した場合は、制御装置からの指示により、高充填アタック角度θ２により、印刷を実行する（ｓ７４）。印刷後、コンベアベルトにより基板を払い出し（ｓ７６）、基板待ちの状態に復帰する（ｓ７１）。
【００９５】
ステップ７３（ｓ７３）において、ユーザが高充填アタックボタンを押していないと制御装置が判断した場合は、制御装置からの指示により、通常アタック角度θ１により、印刷を実行する（ｓ７５）。
【００９６】
このように、手動モードにおいては、ユーザの嗜好に応じて、随時、高充填アタック角度θ２を用いることができる。
【００９７】
［作用効果］
次に、本実施形態のスクリーン印刷方法の作用効果について説明する。本実施形態のスクリーン印刷方法は、構成が共通する部分に関しては、第一実施形態のスクリーン印刷方法と同様の作用効果を有する。
【００９８】
また、本実施形態のスクリーン印刷方法によると、マスクのパターン孔にはんだを高充填したい状況に応じて、通常モードから各種高充填モードに切り替えることができる。このため、基板に対するはんだの転写性が低下しにくい。すなわち、はんだを往復印刷や低速度印刷するなどして、はんだの転写性を確保する必要がない。したがって、サイクルタイムが遅延しにくく、基板の生産性が低下しにくい。
【００９９】
また、本実施形態のスクリーン印刷方法によると、通常モードにおいては通常アタック角度θ１を、高充填モードにおいては高充填アタック角度θ２を、各々、略一定に保つことができる。
【０１００】
＜その他＞
以上、本発明のスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【０１０１】
上記実施形態においては、圧力計２４４ｂの検出値を基に、アタック角度θを略一定に保った。しかしながら、スキージ揺動軸Ａ１に配置したセンサでスキージ２６の揺動トルクの変化を検出することにより、アタック角度θを略一定に保ってもよい。
【０１０２】
また、スキージ２６あるいはエアシリンダ２４に配置したロードセルでマスク３２からスキージ２６に加わる反力の変化を検出することにより、アタック角度θを略一定に保ってもよい。
【０１０３】
また、スキージ揺動軸Ａ１とマスク３２上面との間の距離の変化を基に、アタック角度θを略一定に保ってもよい。図１５に、スキージ揺動軸とマスク上面との間の距離の変化を基にアタック角度を略一定に保つ場合のスキージの軌跡を示す。なお、図７と対応する部位については、同じ符号で示す。
【０１０４】
図１５に強調して示すように、基板Ｂは、下方に膨らむように撓んでいる。このため、マスク３２も、下方に膨らむように撓んでいる。
【０１０５】
基板Ｂの水平区間Ｅ１においては、スキージ２６がマスク３２から受ける反力は変化しない。ここで、スキージ揺動軸Ａ１と、マスク３２とスキージ２６との接点Ｄ１と、を結ぶ直線Ｌ１の長さは一定である。また、アタック角度をθに設定すると、直線Ｌ１とマスク３２の上面の延在方向との間の挟角αは、一義的に決まる。このため、スキージ揺動軸Ａ１からマスク３２に垂直に降ろした直線Ｌ２の長さは、Ｌ２＝Ｌ１×ｓｉｎαとなる。この直線Ｌ２の長さが、常にＬ１×ｓｉｎαになるように、スキージ２６を上下動させる。なお、直線Ｌ２の長さを測定するためのセンサ（図略）は、スキージ２６と共に揺動可能に、スキージ揺動軸Ａ１に装着されている。センサは、直線Ｌ１に対して、角度γ（＝９０°−α）で交差する方向における、スキージ揺動軸Ａ１からマスク３２までの距離を検出する。
【０１０６】
基板Ｂの下降区間Ｅ２においては、直線Ｌ２の長さが、Ｌ１×ｓｉｎαよりも長くなる。すなわち、Ｌ２＞Ｌ１×ｓｉｎαとなる。Ｌ２＞Ｌ１×ｓｉｎαとなると、制御装置（図略）からの指示により、Ｚ軸方向スライダ２５を下降させ、スキージ揺動軸Ａ１に対して、スキージ２６を前方に揺動させる。Ｌ２が再びＬ１×ｓｉｎαと等しくなったら、Ｚ軸方向スライダ２５の下降を停止する。このようにして、アタック角度θ（スキージ２６と、接点Ｄ１におけるマスク３２上面の接線方向と、の間の挟角）を略一定に保っている。
【０１０７】
基板Ｂの上昇区間Ｅ３においては、直線Ｌ２の長さが、Ｌ１×ｓｉｎαよりも短くなる。すなわち、Ｌ２＜Ｌ１×ｓｉｎαとなる。Ｌ２＜Ｌ１×ｓｉｎαとなると、制御装置からの指示により、Ｚ軸方向スライダ２５を上昇させ、スキージ揺動軸Ａ１に対して、スキージ２６を後方に揺動させる。Ｌ２が再びＬ１×ｓｉｎαと等しくなったら、Ｚ軸方向スライダ２５の上昇を停止する。このようにして、アタック角度θ（スキージ２６と、接点Ｄ１におけるマスク３２上面の接線方向と、の間の挟角）を略一定に保っている。
【０１０８】
このように、スキージ揺動軸Ａ１とマスク３２上面との間の距離の変化を基に、アタック角度θを略一定に保つと、スキージ２６がマスク３２から受ける反力、および当該反力に関する検出値を検出しないで、アタック角度θを略一定に保つことができる。
【０１０９】
また、上記実施形態においては、スキージ装置２に単一のスキージ２６を配置したが、二つのスキージ２６を前後方向に並べて配置してもよい。この場合、スキージ装置２が前方から後方に移動する際に一方のスキージ２６を用いて印刷を行い、スキージ装置２が後方から前方に移動する際に他方のスキージ２６を用いて印刷を行ってもよい。また、二つのスキージ２６のスキージ揺動軸Ａ１を共通化してもよい。また、エアシリンダ２４を共用化してもよい。
【０１１０】
また、上記実施形態においては、エアシリンダ２４によりスキージ２６に揺動力を加えたが、他の流体シリンダ（油圧シリンダなど）によりスキージ２６に揺動力を加えてもよい。
【０１１１】
また、上記第二実施形態のスクリーン印刷方法は、第一実施形態のスクリーン印刷機以外のスクリーン印刷機で実施することもできる。すなわち、印刷工程において、アタック角度を略一定に保つことができないタイプのスクリーン印刷機で実施することもできる。
【符号の説明】
【０１１２】
１：スクリーン印刷機、２：スキージ装置、３：マスク装置、４：クランプ装置、５：バックアップ装置、６：搬送装置、７：メインテーブル、８：軸方向ガイドレール。
２０：モータ、２１：モータブラケット、２２：Ｙ軸方向スライダ、２４：エアシリンダ、２５：Ｚ軸方向スライダ、２６：スキージ、２７：入力板、２８：ホルダ、２９：ホルダ連結アーム、３０：フレーム、３１：メッシュ、３２：マスク、４０Ｆ：固定クランプ、４０Ｒ：可動クランプ、５０：バックアップテーブル、５１：バックアップピン、５２：ガイドロッド、６０Ｆ：コンベアベルト、６０Ｒ：コンベアベルト、９１：メモリ。
２２０：ガイドリブ、２４０：シリンダ本体、２４１：ピストン、２４２：スライダ連結アーム、２４３：シリンダ揺動凸部、２４４：配管、２４４ａ：バルブ、２４４ｂ：圧力計、２５０：被ガイド溝、２５１：挿通孔、２５２：シリンダ連結アーム、２８０：ホルダ本体、２８１：スキージ揺動凸部、９１０：生産レシピ、９１１：装置設定メモリ領域、９１２：内部メモリ領域。
Ａ１：スキージ揺動軸、Ａ２：シリンダ揺動軸、Ａ３：入力軸、Ｂ：基板、Ｅ１：水平区間、Ｅ２：下降区間、Ｅ３：上昇区間、ｆ１：クリーニング後高充填フラグ、ｆ２：待機時間オーバー時高充填フラグ、ｆ３：供給後高充填フラグ、ｆ４：自動運転開始後高充填フラグ、ｆ５：生産開始後高充填フラグ、ｆ６：クリーニング後一枚目フラグ、ｆ７：供給後一枚目フラグ、ｆ８：自動運転開始後一枚目フラグ、ｆ９：生産開始後一枚目フラグ、ｆ１０：高充填アタック角度ボタンオンフラグ、ｎ１：クリーニングインターバル、ｎ２：供給インターバル、ｔ１：待機時間リミット。
θ：アタック角度、θ１：通常アタック角度、θ２：高充填アタック角度。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上面に配置されパターン孔を有するマスクと、該マスクの上面を摺動し、該パターン孔を介して、はんだを該基板に転写するスキージと、該スキージを揺動させる揺動機構と、該スキージを上下動させる上下動機構と、を備えてなるスクリーン印刷機であって、
前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、前記上下動機構および前記揺動機構を動かすことにより、該マスクの上面に対する該スキージのアタック角度を略一定に保つことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、前記上下動機構を駆動し、該スキージを上下動させ、該スキージが該マスクから受ける反力を利用して、前記揺動機構を従動させることにより、前記アタック角度を略一定に保つ請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
さらに、前記スキージが前記マスクから受ける反力に関する検出値を検出する検出装置を備え、
前記アタック角度は、該検出値を基に略一定に保たれる請求項１または請求項２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
基板の上面に配置されパターン孔を有するマスクの上面をスキージが摺動することにより、該パターン孔を介して、はんだを該基板に転写するスクリーン印刷方法であって、
前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、該スキージを揺動させることにより、該マスクの上面に対する該スキージのアタック角度を略一定に保つことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項５】
前記アタック角度は、前記スキージが前記マスクから受ける反力を基に略一定に保たれる請求項４に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項６】
通常モードにおいては、前記アタック角度を所定の通常角度に設定し、該通常モードと比較して前記はんだを前記パターン孔に高充填することが必要な高充填モードにおいては、該アタック角度を該通常角度よりも小さい高充填角度に設定する請求項４または請求項５に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項７】
前記高充填モードは、以下の（ａ）〜（ｆ）から選ばれる少なくとも一つのモードである請求項６に記載のスクリーン印刷方法。
（ａ）前記マスクをクリーニング後、一枚目の前記基板に実行されるクリーニング後一枚目モード。
（ｂ）先発の該基板を生産後、所定の待機時間を超過した次発の該基板に対して実行される待機時間オーバーモード。
（ｃ）前記はんだを供給後、一枚目の該基板に実行されるはんだ供給モード。
（ｄ）一旦停止した生産を再開後、一枚目の該基板に実行される自動運転一枚目モード。
（ｅ）段取り替え後、一枚目の該基板に実行される生産開始一枚目モード。
（ｆ）ユーザが手動により実行する手動モード。
【請求項１】
基板の上面に配置されパターン孔を有するマスクと、該マスクの上面を摺動し、該パターン孔を介して、はんだを該基板に転写するスキージと、該スキージを揺動させる揺動機構と、該スキージを上下動させる上下動機構と、を備えてなるスクリーン印刷機であって、
前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、前記上下動機構および前記揺動機構を動かすことにより、該マスクの上面に対する該スキージのアタック角度を略一定に保つことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、前記上下動機構を駆動し、該スキージを上下動させ、該スキージが該マスクから受ける反力を利用して、前記揺動機構を従動させることにより、前記アタック角度を略一定に保つ請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
さらに、前記スキージが前記マスクから受ける反力に関する検出値を検出する検出装置を備え、
前記アタック角度は、該検出値を基に略一定に保たれる請求項１または請求項２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
基板の上面に配置されパターン孔を有するマスクの上面をスキージが摺動することにより、該パターン孔を介して、はんだを該基板に転写するスクリーン印刷方法であって、
前記マスクの上面を前記スキージが摺動する際、該スキージを揺動させることにより、該マスクの上面に対する該スキージのアタック角度を略一定に保つことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項５】
前記アタック角度は、前記スキージが前記マスクから受ける反力を基に略一定に保たれる請求項４に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項６】
通常モードにおいては、前記アタック角度を所定の通常角度に設定し、該通常モードと比較して前記はんだを前記パターン孔に高充填することが必要な高充填モードにおいては、該アタック角度を該通常角度よりも小さい高充填角度に設定する請求項４または請求項５に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項７】
前記高充填モードは、以下の（ａ）〜（ｆ）から選ばれる少なくとも一つのモードである請求項６に記載のスクリーン印刷方法。
（ａ）前記マスクをクリーニング後、一枚目の前記基板に実行されるクリーニング後一枚目モード。
（ｂ）先発の該基板を生産後、所定の待機時間を超過した次発の該基板に対して実行される待機時間オーバーモード。
（ｃ）前記はんだを供給後、一枚目の該基板に実行されるはんだ供給モード。
（ｄ）一旦停止した生産を再開後、一枚目の該基板に実行される自動運転一枚目モード。
（ｅ）段取り替え後、一枚目の該基板に実行される生産開始一枚目モード。
（ｆ）ユーザが手動により実行する手動モード。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２０１０−２８４８７４（Ｐ２０１０−２８４８７４Ａ）
【公開日】平成２２年１２月２４日（２０１０．１２．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１４０１０４（Ｐ２００９−１４０１０４）
【出願日】平成２１年６月１１日（２００９．６．１１）
【出願人】（０００２３７２７１）富士機械製造株式会社 (775)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１２月２４日（２０１０．１２．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年６月１１日（２００９．６．１１）
【出願人】（０００２３７２７１）富士機械製造株式会社 (775)
【Ｆターム（参考）】
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