バッファ内のウエハキャリアに関する情報管理システム及び方法
【課題】バッファに積載されたウエハキャリアに関する情報管理システム及び方法を提供すること。
【解決手段】このシステムは、バッファ内のウエハキャリアに付着した送受信ユニットからウエハキャリア情報を読み込むリーダーユニット、該リーダーユニットから前記ウエハキャリア情報を収集するリーダーユニット制御部、該リーダーユニット制御部から前記ウエハキャリア情報を収集するバッファ制御部、該バッファ制御部から前記ウエハキャリア情報を受信するウエハ管理部を含む。本発明は、バッファ内のウエハキャリアの情報を、リーダーユニット制御部、バッファ制御部自体で収集するため、半導体工程中にバッファに積載されたウエハキャリアに関する情報を效率的に管理することができる。
【解決手段】このシステムは、バッファ内のウエハキャリアに付着した送受信ユニットからウエハキャリア情報を読み込むリーダーユニット、該リーダーユニットから前記ウエハキャリア情報を収集するリーダーユニット制御部、該リーダーユニット制御部から前記ウエハキャリア情報を収集するバッファ制御部、該バッファ制御部から前記ウエハキャリア情報を受信するウエハ管理部を含む。本発明は、バッファ内のウエハキャリアの情報を、リーダーユニット制御部、バッファ制御部自体で収集するため、半導体工程中にバッファに積載されたウエハキャリアに関する情報を效率的に管理することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体工程ラインにおいてウエハキャリア(wafer carrier)に関する情報を収集して上位システムに報告するウエハキャリア情報管理システム及び方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
近年、半導体工程に自動物流管理システムが導入され、無人搬送車(Auto−guided vehicle)、レーザー搬送車(Laser guided vehicle)、天井走行式無人搬送車(Overhead Hoist Transport:OHT)などを用いてウエハを運搬、積載している。
【0003】
ウエハ搬送車が移動する移動経路の側面には、ウエハ搬送車がウエハキャリアを搬送する途中にウエハキャリアを一時的に保管するバッファ(Buffer)が存在するが、どの位置のバッファにどのウエハキャリアが存在するかを把握すると、搬送車が新しいウエハキャリアをバッファに積載しようとしたり、バッファに積載されているウエハキャリアを搬送しようとしたりする際に、ウエハ搬送車の移動を効率的に管理することができる。さらに、バッファに積載されているウエハキャリアに関する情報は、半導体工程を管理する上で重要な役割を果たすものである。
【0004】
今までは、バッファ上にウエハキャリア情報を収集、管理できるシステムがなく、ウエハ搬送車がウエハキャリアをバッファに移積載する間に、ウエハキャリアに付着している送受信ユニットからウエハキャリア情報を認識する方式でバッファのウエハキャリア情報を収集、管理してきた。図1に、ウエハ搬送車をOHTにした既存のウエハキャリア情報管理システムの構成図を示す。OHT 30は、レール31に乗って移動しながらバッファ10にウエハキャリアを積載したり、積載されているウエハキャリアを移送する作業を行う。OHTは、この上記作業を行う間に、当該バッファ10中のウエハキャリア20の情報を読み込み、これをOHTの上位システムであるOHT制御部32に伝送し、OHT制御部32は、該ウエハキャリア情報を半導体工程ラインのウエハ管理部40に伝送して、ウエハ管理部40でバッファ中のウエハキャリア20に関する情報を収集し、データベース化して管理するようにした。
【0005】
上述したように、半導体ラインのウエハ管理部40でウエハキャリア情報をデータベース化して管理する場合に、システムの電源が遮断されたり、システムに誤りが生じる等の問題からデータベースに誤りが生じると、データ復旧のために作業者が手作業でデータを再び入力したり、ウエハキャリアをバッファ上から除去するなどの作業を行わなければならない。
また、上述の方法でウエハキャリア情報を管理すると、半導体工程ライン内の特定区間に対するバッファのウエハキャリア情報がわからず、ウエハキャリアの効率的な管理が困難になる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、上述した問題点を解決するために、バッファに積載されているウエハキャリアに関する情報を、バッファ自体で収集して半導体工程ラインのウエハ管理部に直接伝送することによって、ウエハ管理部のデータベースに誤りが生じてもバッファのウエハキャリア情報を容易に復旧できるようにするウエハキャリア情報管理システム及び方法を提供する。
【0007】
また、本発明は、実時間でバッファのウエハキャリア情報を収集、伝送することによって、既存のウエハ管理部のデータベースで管理するウエハキャリア情報に対する信頼性検証を可能にしたウエハキャリア情報管理システム及び方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0008】
このために、本発明に係るウエハキャリア情報管理システムは、ウエハキャリアに関する情報が保存され、前記ウエハキャリアに付着した送受信ユニットと、バッファ内に保管されているウエハキャリアに付着した送受信ユニットから、前記ウエハキャリアに関する情報を読み込むリーダーユニットと、少なくとも一つの前記リーダーユニットにより読み込まれたウエハキャリアに関する情報を受信して保存するリーダーユニット制御部と、を含む。
【0009】
前記ウエハキャリア情報管理システムは、前記バッファ内にウエハキャリアが存在するか否かを検知する在荷検知センサー部をさらに含むことができる。
【0010】
前記在荷検知センサー部が、前記バッファにウエハキャリアが積載されたと検知した場合に、前記リーダーユニットが、前記積載されているウエハキャリアに付着した送受信ユニットからウエハキャリア情報を読み込むことができる。
【0011】
前記リーダーユニット制御部は、少なくとも一つの前記リーダーユニットから、該リーダーユニットに保存されているウエハキャリアに関する情報を受信して収集することができる。
【0012】
本発明は、少なくとも一つの前記リーダーユニット制御部から、前記リーダーユニット制御部に保存されているウエハキャリア情報を受信して収集するバッファ制御部をさらに含むことができる。
【0013】
本発明は、少なくとも一つの前記リーダーユニット制御部からウエハキャリア情報を受信し、該ウエハキャリア情報をデータベース化して管理するウエハ管理部をさらに含むことができる。
【0014】
本発明は、前記バッファ制御部からウエハキャリア情報を収集し、該ウエハキャリア情報をデータベース化して管理するウエハ管理部をさらに含むことができる。
【0015】
前記リーダーユニット制御部は、各リーダーユニットに保存されているウエハキャリア情報を周期的に収集することができる。
【0016】
前記バッファ制御部は、各リーダーユニット制御部に保存されているウエハキャリア情報を周期的に収集することができる。
【0017】
本発明において、前記ウエハキャリアは、前面開放一体式ポッド(Front Open Unified Pod:FOUP)でよい。
【0018】
本発明において、前記ウエハキャリアに付着した送受信ユニットは、無線周波数(Radio Frequency:RF)を用いるRFIDタグとし、前記リーダーユニットは、前記RFIDタグからの情報を無線周波数通信で受信するRFIDリーダー機とすることができる。
【0019】
本発明に係るウエハキャリア情報管理方法は、リーダーユニットを用いて、バッファに積載されているウエハキャリアに付着した送信ユニットからウエハキャリアに関する情報を読み込むこと、及び前記リーダーユニットにより読み込まれたウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送すること、を含む。
【0020】
前記ウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送することは、前記リーダーユニットを制御するリーダーユニット制御部が少なくても一つのリーダーユニットからウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送することでよい。
【0021】
前記ウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送することは、前記リーダーユニットを制御するリーダーユニット制御部が、少なくても一つのリーダーユニットからウエハキャリア情報を収集し、前記リーダーユニット制御部を制御するバッファ制御部が、少なくても一つのリーダーユニット制御部からウエハキャリア情報を収集し、前記バッファ制御部に収集されたウエハキャリア情報をウエハ管理部に伝送することでよい。
【0022】
前記リーダーユニット制御部または前記バッファ制御部は、各リーダーユニットに保存されたウエハキャリア情報を周期的に収集することができる。
【0023】
本発明は、前記ウエハ管理部で、伝送されたウエハキャリア情報をデータベース化することをさらに含むことができる。
【0024】
本発明は、前記周期的に収集されたウエハキャリアに関する情報を用いて、前記ウエハ管理部のデータベースに対する信頼性を検証することをさらに含むことができる。
【発明の効果】
【0025】
本発明を用いてバッファ内のウエハキャリアの情報を管理すると、半導体工程ライン内のバッファに積載されたウエハキャリアに関する情報を、バッファ自体で直接収集して、上位システムであるウエハ管理部に報告するので、ウエハ管理部のデータベースに誤りが生じても、バッファから報告したウエハキャリアに関する情報を用いて速かにデータベースを復旧することができる。
【0026】
また、本発明によれば、各バッファ内のウエハキャリアの情報を実時間で把握できるので、ウエハ管理部のデータベースに対する信頼性を検証でき、半導体工程ライン内の特定区間に存在するバッファ内のウエハキャリアに関する情報を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0027】
【図1】バッファ内に積載されているウエハキャリアに関する情報を収集する従来の方法を簡略に示すブロック図である。
【図2】本発明の一実施形態に係るウエハキャリア情報管理システムのブロック図である。
【図3】RFIDタグとRFIDリーダー機の内部構成を示すブロック図である。
【図4】バッファ制御部を含むウエハキャリア情報管理システムのブロック図である。
【図5】本発明に係るウエハキャリア情報管理システムが用いられている半導体工程ラインの構成図である。
【図6】4個のバッファを一つのモジュールとするウエハキャリア情報管理システムを示す図である。
【図7】ウエハキャリアが積載されているバッファの内部構成図である。
【図8】本発明に係るウエハキャリア情報管理方法を示すフローチャートである。
【図9】ウエハキャリア情報を周期的に収集するウエハキャリア情報管理方法を示すフローチャートである。
【図10】特定区間のバッファに積載されているウエハキャリアに関する情報を管理するウエハキャリア情報管理システムのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0028】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係るウエハキャリア情報管理システム及び方法の好適な実施形態を説明する。
【0029】
本発明の一側面に係るウエハキャリア情報管理システムは、バッファ10に積載されているウエハキャリア20に付着した送受信ユニット21から、当該ウエハキャリア情報を読み込んで保存するリーダーユニット60と、少なくとも一つのリーダーユニットからウエハキャリア情報を収集するリーダーユニット制御部50と、で構成される。
【0030】
バッファ10は、ウエハ搬送車が移動する経路の側面に設けられて、搬送車が後続工程のためにウエハキャリア20を運送する途中にウエハキャリアを一時的に積載して保管できるようにする空間を意味するものとする。
【0031】
本発明で用いるウエハキャリアは、前面開放型運送ボックス(Front Open Shipping Box:FOSB)、前面開放一体式ポッド(Font Open Unified Pod:FOUP)、ウエハカセットなどを含め、ウエハを収容して運搬できる容器であれば、いずれの構成のものも使用可能である。FOUPは、半導体工程の行われるFAB(fabrication facility)の内部で工程間チップ移送に用いられる帯電防止用ウエハキャリアで、FOSBとは違い、FABの内部でのみ使用するため、使用期間が長く、静電気と表面抵抗の防止といった機能があり、最近では半導体工程においてFOUPを主に使用している。そのため、以下では、FOUPをウエハキャリアの一例として本発明の実施形態を説明する。
【0032】
また、最近では、ウエハキャリアに収容されているウエハに関する情報を送受信するために、RFID(Radio Frequency Identified)技術が主に用いられている。このRFIDは、無線周波数を用いて、電子タグの付いた品物がリーダの認識領域に入ると自動で認識して品物に関する情報を読み取る技術である。RFIDは、マイクロチップに記憶されているデータを読むために、マイクロチップに読み取り器を直接当てたり、可視距離で読み取り器でスキャニングしたりする別の過程を必要とせず、大容量のデータを伝送できるという利点を有する。RFIDシステムは、品物に付いて詳細情報が内蔵される電子タグと、電子タグの情報をRF通信を用いて受信するRFIDリーダー、RFIDリーダーから情報を収集してデータベースを構築する情報サーバーと、を含む。
【0033】
本発明で用いられるリーダーユニット及び送受信ユニットは、互いに情報をやり取りできるものであればいずれの構成のものも可能であるが、以下では、本発明の送受信ユニットをRFIDタグ、リーダーユニットはRFIDリーダー機、リーダーユニット制御部はRFIDリーダー機制御部として本発明の一実施形態を説明する。
【0034】
また、本発明で用いられうる搬送車には、無人搬送車(Auto−guided vehicle)、レーザー搬送車(Laser guided vehicle)、天井走行式無人搬送車(Overhead Hoist Transport:OHT)などがあり、以下、本発明の実施形態では天井に付設されているレールに乗って移動するOHTを使用するとして説明する。
【0035】
図2は、本発明の一実施形態に係るウエハキャリア情報管理システムのブロック図である。図2を参照すると、RFIDリーダー機60は、それぞれのバッファ10内に設けられて、該当のバッファ10に積載されているFOUPに付いたRFIDタグからFOUPに関する情報を読み込み、該情報を保存する。RFIDリーダー機制御部50は、少なくとも一つのRFIDリーダー機60に保存されているFOUPに関する情報を収集して保存する。例えば、半導体工程ラインの1ベイ(Bay)当たり一つのRFIDリーダー機制御部50を配設して、1ベイ内の複数個のRFIDリーダー機60から、FOUPに関する情報を収集して保存する。RFIDリーダー機制御部50に保存されたFOUPに関する情報はウエハ管理部40に伝送されてデータベース化され、半導体工程の制御に用いられる。ウエハ管理部40は、ウエハキャリア情報を収集、管理するものであればいずれの名称、構成のものも可能であり、半導体製造工程中に工程全般を制御しながら各種データを送受信し処理するホストコンピューターとネットワークを介して接続されるようにすることで、既存の工程制御通信システムと連係する構成にしてもよい。
【0036】
図3は、本発明の送受信ユニットとリーダーユニットとして用いられるRFIDタグ21とRFIDリーダー機60の内部構成を示すブロック図である。RFIDタグ21は、RFIDタグの付いたウエハキャリアに関する情報、例えば、ウエハキャリアの位置、ウエハキャリアの内部に収容されているウエハの個数、収容されているウエハの工程進行状態、ウエハキャリア内部の温度などを保存するデータ保存部、ウエハキャリアに関する情報を受信するデータ受信部、ウエハキャリアに関する情報を送信するデータ送信部、及びRF信号をやり取りするアンテナなどを含む。RFIDリーダー機60は、RFIDタグからウエハキャリアに関する情報または周波数情報を送受信する無線周波数(RF)送受信モジュール部、受信した情報を保存するデータ保存部、RFIDタグ21から伝送された信号を分析するデータ処理部、及びRFIDタグとRF信号をやり取りするアンテナなどを含む。
【0037】
本発明の一実施形態によれば、RFIDタグ21とRFIDリーダー機60はそれぞれ、ンテナを介してFOUP 20に関する情報をやり取りし、RFIDタグ21は、アンテナを用いて所定の周波数帯域の無線周波数(RF)信号を送受信するための処理をし、データ受信部では、アンテナを介して受信されたRF信号をデジタル信号に変換してデータ処理部に伝達し、データ処理部は、データ受信部から伝達されたFOUP 20に関するデータを分析し、その結果をデータ保存部に保存する。そして、データ送信部でデータ保存部のデータをアナログ信号に変換してアンテナから伝達すると、該信号をRFIDリーダー機60のアンテナで無線周波数として受け、RF送受信モジュール部でデジタル信号に変換し、これをデータ処理部で分析し、該分析されたデータはデータ保存部に保存される。そして、別途の通信を通じて、データ保存部内のFOUP 20に関する情報をRFIDリーダー機制御部50に伝送する。
【0038】
本発明の一実施形態に係るウエハキャリア情報管理システムは、RFIDリーダー機60の効率的な動作のために、バッファ10内にFOUP 20が積載されたか否かを検知する在荷検知センサー部11をさらに含むことができる。在荷検知センサー部がバッファ内に設けられると、この在荷検知センサー部がFOUPの積載を検知した場合にのみRFIDリーダー機60が作動し、FOUP 20に付いたRFIDタグ21からFOUP 20情報を読み込んで保存する。
【0039】
上述したように、RFIDリーダー機制御部50で収集、保存したFOUP 20に関する情報は、ウエハ管理部40に直接伝送されてもよいが、より体系的な情報管理のために、半導体工程ライン内の全体バッファに積載されているFOUP情報を収集、管理するバッファ制御部70を経てウエハ管理部40に伝送されてもよい。
【0040】
図4は、バッファ制御部70をさらに含む本発明の一実施形態に係るウエハキャリア情報管理システムのブロック図である。前述したように、半導体生産ライン内の各ベイ当たり一つのRFIDリーダー機制御部50を配設する場合には、ベイの数に相当するRFIDリーダー機制御部50が設けられる。該当のベイ内のRFIDリーダー機60からFOUP情報を収集、保存したRFIDリーダー機制御部50は、バッファ制御部70に各バッファ内のFOUP情報を伝送する。RFIDリーダー機とRFIDリーダー機制御部との通信は、無線または有線で可能である。各RFIDリーダー機制御部50からFOUP情報が伝送されたバッファ制御部70は、該FOUP情報をウエハ管理部40に伝送する。この伝送は、ウエハ管理部40の要請に応じて行われてもよく、ウエハ管理部40の要請にかかわらずに実時間で行われてもよい。RFIDリーダー機制御部50から直接ウエハ管理部40にウエハキャリア情報を伝送する場合は、中間システムが省がれるので、コスト節減の側面では有利であるが、ウエハ管理部40が半導体工程ライン内の全てのRFIDリーダー機制御部と通信するため、負荷がかかることがある。そのため、半導体工程ラインの規模などを考慮してバッファ制御部70を追加するか否かを決定すればよいが、最近の大型化した半導体工程ラインではバッファ制御部を備え、バッファ制御部70とウエハ管理部40とが通信する構成とすることが好ましい。
【0041】
図5には、本発明に係るウエハキャリア情報管理システムが用いられている半導体工程ラインの構成図を示す。前述したように、半導体工程ラインにおいて、OHT 30が移動するレール31の側面には、OHTの効率的な運搬、移積載作業のために、移動中にFOUP 20を積載できるバッファ10が存在する。このような役割を果たすことができるものであれば、バッファに限定されず、いかなる名称を有する構成も使用可能である。OHT 30は、移動中に、必要な場合はFOUP 20をバッファ10に降ろしておくことができ、他の作業を終えてから再びFOUP 20を運搬することもできる。RFIDリーダー機60は、バッファに積載されたFOUP 20についたRFIDタグ21からFOUP情報を読み込んで保存する。このRFIDリーダー機60は、障害物に妨害されることなくFOUP内のRFIDタグと無線周波数信号をやり取りできる位置であれば、バッファの内部、バッファの外部のいずれに設けられてもよい。各RFIDリーダー機60に保存されたFOUP情報は、RFIDリーダー機制御部50に伝送される。この場合、半導体工程ラインの各ベイ当たり一つのRFIDリーダー機60が配設されていると、ベイの数に相当するRFIDリーダー機制御部50が存在し、ベイ内の各RFIDリーダー機60は、該当のベイのRFIDリーダー機制御部50にFOUP情報を伝送する。これは、本発明の一実施形態に過ぎず、RFIDリーダー機制御部50は様々なユニットにしてもよい。そして、RFIDリーダー機制御部50に伝送されたFOUP情報は、ウエハ管理部40に直接伝送されてもよく、バッファ制御部70を経てウエハ管理部40に伝送されてもよい。
【0042】
RFIDリーダー機60は各バッファ当たり一つずつ設けられてもよいが、半導体工程のコスト節減のために、複数個のバッファを一つのモジュールにし、モジュール当たり一つのRFIDリーダー機が設けられてもよい。図6には、本発明の一例として、4個のバッファ10を一つのモジュールにしたウエハキャリア情報管理システムの構成図を示す。各モジュール当たり一つのRFIDリーダー機60が設けられ、各RFIDリーダー機60は、4個のバッファ10内に積載されたFOUP 20についたRFIDタグ21から、該当のFOUPに関する情報を読み込んで保存する。RFID技術は大容量の情報を伝送可能にするから、より多数のバッファを一つのモジュールにすることも可能である。RFIDリーダー機60からウエハ管理部40にFOUP情報が伝送される過程は、バッファ当たり一つのRFIDリーダー機が設けられた場合と同一である。
【0043】
図7には、バッファ当たり一つのRFIDリーダー機60が設けられた場合におけるバッファ10の内部構成図を示す。バッファ内の在荷検知センサー11は、バッファ内にFOUPが積載されたか否かを検知し、在荷検知センサーにFOUPの積載が検知されるとRFIDリーダー機が作動して、FOUPについたRFIDタグ21からFOUPに関する情報を読み込んで保存する。在荷検知センサーは、バッファ内にFOUP 20が存在するか否かを検知できる位置であれば、上部、下部または側部などのいずれの箇所にも設置可能である。FOUPに関する情報は、FOUPに収容されているウエハ22の個数、FOUP内部の温度、FOUPに収容されているウエハ22の工程状態、FOUPの位置などを含め、FOUP 20に関連したいかなる情報も含むことができる。
【0044】
RFIDリーダー機制御部50が、各FOUP 20についたRFIDタグ21から読み込んだFOUP情報を収集して直接ウエハ管理部40に伝送したり、バッファ制御部70を経てウエハ管理部40に伝送すると、ウエハ管理部40に保存されていたFOUPデータベースに誤りが生じた場合は、該伝送されたFOUP情報を用いて新しいデータベースを構築することができる。
【0045】
また、RFIDリーダー機制御部50及びバッファ制御部70は周期的にFOUP情報を収集でき、よって、ウエハ管理部40は、RFIDリーダー機制御部50またはバッファ制御部70から伝送された実時間FOUP情報を用いて、ウエハ管理部40内に保存されているデータベースが信頼できるものか否かを判断することができる。
【0046】
以下、図面を参照して、ウエハキャリア情報管理方法の実施形態について説明する。
【0047】
本発明に係るウエハキャリア情報管理方法は、リーダーユニットを用いて、バッファ内のウエハキャリアについた送受信ユニットからウエハキャリア情報を読み込んで保存するステップ、及びリーダーユニットに保存されているウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部40に伝送するステップで構成される。
【0048】
上述したバッファのウエハキャリア情報管理システムと同様に、送受信ユニットはRFIDタグ、リーダーユニットはRFIDリーダー機、ウエハキャリアはFOUP、ウエハ搬送車はOHTとして本発明の実施形態を説明する。
【0049】
図8は、本発明の一実施形態に係るバッファのウエハキャリア情報管理方法を概略的に示すフローチャートである。まず、各バッファについた在荷検知センサーが、バッファにFOUPが積載されたか否かを検知し、FOUPが積載された場合(ステップ100の‘はい’)は、RFIDリーダー機が、各バッファ内に積載されているFOUPについたRFIDタグからFOUPに関する情報を読み込んで保存する(ステップ110)。ここで、FOUPに関する情報は、FOUPに収容されているウエハの個数、FOUP内部の温度、FOUPに収容されているウエハの工程状態、FOUPの位置など、FOUPに関連したいかなる情報も含むことができる。RFIDリーダー機は、各バッファ当たり一つずつ設けられてもよいが、半導体工程のコスト節減のために、複数のバッファを一つのモジュールとし、各モジュール当たり一つのRFIDリーダー機を設けてもよい。前述したように、RFID技術は大容量の情報を伝送可能にするから、より多数のバッファを一つのモジュールにすることも可能であり、情報伝送容量を考慮してモジュールの大きさを決定すればよい。各RFIDリーダー機に保存されている情報は、RFIDリーダー機制御部に伝送されて収集される(ステップ120)。一例として、RFIDリーダー機制御部は、半導体工程ラインの1ベイ当たり一つずつ設けられてもよく、RFIDリーダー機制御部は、該当のベイ内の複数のRFIDリーダー機から、保存されているFOUP情報を受信して保存する。RFIDリーダー機制御部が制御するRFIDリーダー機の数は、使用者が管理の効率性を考慮して決定すればよい。
【0050】
RFIDリーダー機制御部は、ウエハ管理部にFOUP情報を直接伝送してもよいが、情報の効率的な管理の側面では、全体バッファ内のFOUP情報を収集するバッファ制御部を介してウエハ管理部に伝送することが好ましい。各モジュール、例えば、半導体工程ラインのベイを担当するRFIDリーダー機制御部は、該当のベイ内のRFIDリーダー機から収集したFOUP情報をバッファ制御部に伝送し(ステップ130)、バッファ制御部は、少なくとも一つのRFIDリーダー機制御部から伝送されたFOUP情報をウエハ管理部に伝送する(ステップ140)。
【0051】
RFIDリーダー機制御部及びバッファ制御部は、周期的にFOUP情報を収集する。図9は、周期的にFOUP情報を収集するウエハキャリア情報管理方法を示すフローチャートである。まず、バッファ内の在荷検知センサーがFOUPの積載を検知した場合(ステップ200の‘はい’)に、RFIDリーダー機は、FOUPについたRFIDタグからFOUPに関する情報を読み込んで保存する(ステップ210)。あらかじめ定められた所定の周期1に該当する時間が経過すると(ステップ220の‘はい’)、RFIDリーダー機制御部は、該当のモジュールに属するRFIDリーダー機からFOUP情報を収集して保存する(ステップ230)。そして、あらかじめ定められた所定の周期2に該当する時間が経過すると(ステップ240の‘はい’)、バッファ制御部は、全てのRFIDリーダー機制御部からFOUP情報を収集して保存する(ステップ250)。周期1と周期2とは、同じ時間間隔であってもよく、異なる時間間隔であってもよい。続いて、バッファ制御部に保存されたFOUP情報はウエハ管理部に伝送されて(ステップ260)、半導体工程の制御に用いられる。FOUP情報収集周期を短くすると、ウエハ管理部は、RFIDリーダー機制御部またはバッファ制御部から伝送されたFOUP情報を用いて実時間でバッファ内のFOUPの状態を把握することができ、ウエハ管理部内に保存されているFOUP情報のデータベースに誤りが生じた場合に、この実時間FOUP情報を用いて速やかにデータベースを復旧することができる。
【0052】
また、この実時間FOUP情報とウエハ管理部のデータベース情報とを比較して、ウエハ管理部のデータベースの情報が正確か、または誤りの生じたか否かを把握し、信頼性を検証することができる。
【0053】
上記FOUP情報を収集する周期は、情報管理の効率性を考慮して使用者が任意に指定することができる。
【0054】
また、本発明に係るウエハキャリア情報管理システム及び方法によれば、特定バッファ内に存在するウエハキャリア情報を実時間で収集して管理することが可能になる。図10に、特定バッファ内のウエハキャリアの情報管理に関する制御ブロック図が示されている。半導体工程進行中に、使用者は特定区間のバッファ内にいずれのウエハキャリアが積載されているかを把握する必要がある場合がある。この場合に、本発明を用いると、各バッファ内のウエハキャリアに関する情報が実時間で伝送されるので、把握しようとする区間のウエハキャリア情報を実時間で管理することが可能になる。
【符号の説明】
【0055】
10 バッファ
20 ウエハキャリア
40 ウエハキャリア管理部
50 RFIDリーダー機制御部
60 RFIDリーダー機
70 バッファ制御部
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体工程ラインにおいてウエハキャリア(wafer carrier)に関する情報を収集して上位システムに報告するウエハキャリア情報管理システム及び方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
近年、半導体工程に自動物流管理システムが導入され、無人搬送車(Auto−guided vehicle)、レーザー搬送車(Laser guided vehicle)、天井走行式無人搬送車(Overhead Hoist Transport:OHT)などを用いてウエハを運搬、積載している。
【0003】
ウエハ搬送車が移動する移動経路の側面には、ウエハ搬送車がウエハキャリアを搬送する途中にウエハキャリアを一時的に保管するバッファ(Buffer)が存在するが、どの位置のバッファにどのウエハキャリアが存在するかを把握すると、搬送車が新しいウエハキャリアをバッファに積載しようとしたり、バッファに積載されているウエハキャリアを搬送しようとしたりする際に、ウエハ搬送車の移動を効率的に管理することができる。さらに、バッファに積載されているウエハキャリアに関する情報は、半導体工程を管理する上で重要な役割を果たすものである。
【0004】
今までは、バッファ上にウエハキャリア情報を収集、管理できるシステムがなく、ウエハ搬送車がウエハキャリアをバッファに移積載する間に、ウエハキャリアに付着している送受信ユニットからウエハキャリア情報を認識する方式でバッファのウエハキャリア情報を収集、管理してきた。図1に、ウエハ搬送車をOHTにした既存のウエハキャリア情報管理システムの構成図を示す。OHT 30は、レール31に乗って移動しながらバッファ10にウエハキャリアを積載したり、積載されているウエハキャリアを移送する作業を行う。OHTは、この上記作業を行う間に、当該バッファ10中のウエハキャリア20の情報を読み込み、これをOHTの上位システムであるOHT制御部32に伝送し、OHT制御部32は、該ウエハキャリア情報を半導体工程ラインのウエハ管理部40に伝送して、ウエハ管理部40でバッファ中のウエハキャリア20に関する情報を収集し、データベース化して管理するようにした。
【0005】
上述したように、半導体ラインのウエハ管理部40でウエハキャリア情報をデータベース化して管理する場合に、システムの電源が遮断されたり、システムに誤りが生じる等の問題からデータベースに誤りが生じると、データ復旧のために作業者が手作業でデータを再び入力したり、ウエハキャリアをバッファ上から除去するなどの作業を行わなければならない。
また、上述の方法でウエハキャリア情報を管理すると、半導体工程ライン内の特定区間に対するバッファのウエハキャリア情報がわからず、ウエハキャリアの効率的な管理が困難になる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、上述した問題点を解決するために、バッファに積載されているウエハキャリアに関する情報を、バッファ自体で収集して半導体工程ラインのウエハ管理部に直接伝送することによって、ウエハ管理部のデータベースに誤りが生じてもバッファのウエハキャリア情報を容易に復旧できるようにするウエハキャリア情報管理システム及び方法を提供する。
【0007】
また、本発明は、実時間でバッファのウエハキャリア情報を収集、伝送することによって、既存のウエハ管理部のデータベースで管理するウエハキャリア情報に対する信頼性検証を可能にしたウエハキャリア情報管理システム及び方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0008】
このために、本発明に係るウエハキャリア情報管理システムは、ウエハキャリアに関する情報が保存され、前記ウエハキャリアに付着した送受信ユニットと、バッファ内に保管されているウエハキャリアに付着した送受信ユニットから、前記ウエハキャリアに関する情報を読み込むリーダーユニットと、少なくとも一つの前記リーダーユニットにより読み込まれたウエハキャリアに関する情報を受信して保存するリーダーユニット制御部と、を含む。
【0009】
前記ウエハキャリア情報管理システムは、前記バッファ内にウエハキャリアが存在するか否かを検知する在荷検知センサー部をさらに含むことができる。
【0010】
前記在荷検知センサー部が、前記バッファにウエハキャリアが積載されたと検知した場合に、前記リーダーユニットが、前記積載されているウエハキャリアに付着した送受信ユニットからウエハキャリア情報を読み込むことができる。
【0011】
前記リーダーユニット制御部は、少なくとも一つの前記リーダーユニットから、該リーダーユニットに保存されているウエハキャリアに関する情報を受信して収集することができる。
【0012】
本発明は、少なくとも一つの前記リーダーユニット制御部から、前記リーダーユニット制御部に保存されているウエハキャリア情報を受信して収集するバッファ制御部をさらに含むことができる。
【0013】
本発明は、少なくとも一つの前記リーダーユニット制御部からウエハキャリア情報を受信し、該ウエハキャリア情報をデータベース化して管理するウエハ管理部をさらに含むことができる。
【0014】
本発明は、前記バッファ制御部からウエハキャリア情報を収集し、該ウエハキャリア情報をデータベース化して管理するウエハ管理部をさらに含むことができる。
【0015】
前記リーダーユニット制御部は、各リーダーユニットに保存されているウエハキャリア情報を周期的に収集することができる。
【0016】
前記バッファ制御部は、各リーダーユニット制御部に保存されているウエハキャリア情報を周期的に収集することができる。
【0017】
本発明において、前記ウエハキャリアは、前面開放一体式ポッド(Front Open Unified Pod:FOUP)でよい。
【0018】
本発明において、前記ウエハキャリアに付着した送受信ユニットは、無線周波数(Radio Frequency:RF)を用いるRFIDタグとし、前記リーダーユニットは、前記RFIDタグからの情報を無線周波数通信で受信するRFIDリーダー機とすることができる。
【0019】
本発明に係るウエハキャリア情報管理方法は、リーダーユニットを用いて、バッファに積載されているウエハキャリアに付着した送信ユニットからウエハキャリアに関する情報を読み込むこと、及び前記リーダーユニットにより読み込まれたウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送すること、を含む。
【0020】
前記ウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送することは、前記リーダーユニットを制御するリーダーユニット制御部が少なくても一つのリーダーユニットからウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送することでよい。
【0021】
前記ウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送することは、前記リーダーユニットを制御するリーダーユニット制御部が、少なくても一つのリーダーユニットからウエハキャリア情報を収集し、前記リーダーユニット制御部を制御するバッファ制御部が、少なくても一つのリーダーユニット制御部からウエハキャリア情報を収集し、前記バッファ制御部に収集されたウエハキャリア情報をウエハ管理部に伝送することでよい。
【0022】
前記リーダーユニット制御部または前記バッファ制御部は、各リーダーユニットに保存されたウエハキャリア情報を周期的に収集することができる。
【0023】
本発明は、前記ウエハ管理部で、伝送されたウエハキャリア情報をデータベース化することをさらに含むことができる。
【0024】
本発明は、前記周期的に収集されたウエハキャリアに関する情報を用いて、前記ウエハ管理部のデータベースに対する信頼性を検証することをさらに含むことができる。
【発明の効果】
【0025】
本発明を用いてバッファ内のウエハキャリアの情報を管理すると、半導体工程ライン内のバッファに積載されたウエハキャリアに関する情報を、バッファ自体で直接収集して、上位システムであるウエハ管理部に報告するので、ウエハ管理部のデータベースに誤りが生じても、バッファから報告したウエハキャリアに関する情報を用いて速かにデータベースを復旧することができる。
【0026】
また、本発明によれば、各バッファ内のウエハキャリアの情報を実時間で把握できるので、ウエハ管理部のデータベースに対する信頼性を検証でき、半導体工程ライン内の特定区間に存在するバッファ内のウエハキャリアに関する情報を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0027】
【図1】バッファ内に積載されているウエハキャリアに関する情報を収集する従来の方法を簡略に示すブロック図である。
【図2】本発明の一実施形態に係るウエハキャリア情報管理システムのブロック図である。
【図3】RFIDタグとRFIDリーダー機の内部構成を示すブロック図である。
【図4】バッファ制御部を含むウエハキャリア情報管理システムのブロック図である。
【図5】本発明に係るウエハキャリア情報管理システムが用いられている半導体工程ラインの構成図である。
【図6】4個のバッファを一つのモジュールとするウエハキャリア情報管理システムを示す図である。
【図7】ウエハキャリアが積載されているバッファの内部構成図である。
【図8】本発明に係るウエハキャリア情報管理方法を示すフローチャートである。
【図9】ウエハキャリア情報を周期的に収集するウエハキャリア情報管理方法を示すフローチャートである。
【図10】特定区間のバッファに積載されているウエハキャリアに関する情報を管理するウエハキャリア情報管理システムのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0028】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係るウエハキャリア情報管理システム及び方法の好適な実施形態を説明する。
【0029】
本発明の一側面に係るウエハキャリア情報管理システムは、バッファ10に積載されているウエハキャリア20に付着した送受信ユニット21から、当該ウエハキャリア情報を読み込んで保存するリーダーユニット60と、少なくとも一つのリーダーユニットからウエハキャリア情報を収集するリーダーユニット制御部50と、で構成される。
【0030】
バッファ10は、ウエハ搬送車が移動する経路の側面に設けられて、搬送車が後続工程のためにウエハキャリア20を運送する途中にウエハキャリアを一時的に積載して保管できるようにする空間を意味するものとする。
【0031】
本発明で用いるウエハキャリアは、前面開放型運送ボックス(Front Open Shipping Box:FOSB)、前面開放一体式ポッド(Font Open Unified Pod:FOUP)、ウエハカセットなどを含め、ウエハを収容して運搬できる容器であれば、いずれの構成のものも使用可能である。FOUPは、半導体工程の行われるFAB(fabrication facility)の内部で工程間チップ移送に用いられる帯電防止用ウエハキャリアで、FOSBとは違い、FABの内部でのみ使用するため、使用期間が長く、静電気と表面抵抗の防止といった機能があり、最近では半導体工程においてFOUPを主に使用している。そのため、以下では、FOUPをウエハキャリアの一例として本発明の実施形態を説明する。
【0032】
また、最近では、ウエハキャリアに収容されているウエハに関する情報を送受信するために、RFID(Radio Frequency Identified)技術が主に用いられている。このRFIDは、無線周波数を用いて、電子タグの付いた品物がリーダの認識領域に入ると自動で認識して品物に関する情報を読み取る技術である。RFIDは、マイクロチップに記憶されているデータを読むために、マイクロチップに読み取り器を直接当てたり、可視距離で読み取り器でスキャニングしたりする別の過程を必要とせず、大容量のデータを伝送できるという利点を有する。RFIDシステムは、品物に付いて詳細情報が内蔵される電子タグと、電子タグの情報をRF通信を用いて受信するRFIDリーダー、RFIDリーダーから情報を収集してデータベースを構築する情報サーバーと、を含む。
【0033】
本発明で用いられるリーダーユニット及び送受信ユニットは、互いに情報をやり取りできるものであればいずれの構成のものも可能であるが、以下では、本発明の送受信ユニットをRFIDタグ、リーダーユニットはRFIDリーダー機、リーダーユニット制御部はRFIDリーダー機制御部として本発明の一実施形態を説明する。
【0034】
また、本発明で用いられうる搬送車には、無人搬送車(Auto−guided vehicle)、レーザー搬送車(Laser guided vehicle)、天井走行式無人搬送車(Overhead Hoist Transport:OHT)などがあり、以下、本発明の実施形態では天井に付設されているレールに乗って移動するOHTを使用するとして説明する。
【0035】
図2は、本発明の一実施形態に係るウエハキャリア情報管理システムのブロック図である。図2を参照すると、RFIDリーダー機60は、それぞれのバッファ10内に設けられて、該当のバッファ10に積載されているFOUPに付いたRFIDタグからFOUPに関する情報を読み込み、該情報を保存する。RFIDリーダー機制御部50は、少なくとも一つのRFIDリーダー機60に保存されているFOUPに関する情報を収集して保存する。例えば、半導体工程ラインの1ベイ(Bay)当たり一つのRFIDリーダー機制御部50を配設して、1ベイ内の複数個のRFIDリーダー機60から、FOUPに関する情報を収集して保存する。RFIDリーダー機制御部50に保存されたFOUPに関する情報はウエハ管理部40に伝送されてデータベース化され、半導体工程の制御に用いられる。ウエハ管理部40は、ウエハキャリア情報を収集、管理するものであればいずれの名称、構成のものも可能であり、半導体製造工程中に工程全般を制御しながら各種データを送受信し処理するホストコンピューターとネットワークを介して接続されるようにすることで、既存の工程制御通信システムと連係する構成にしてもよい。
【0036】
図3は、本発明の送受信ユニットとリーダーユニットとして用いられるRFIDタグ21とRFIDリーダー機60の内部構成を示すブロック図である。RFIDタグ21は、RFIDタグの付いたウエハキャリアに関する情報、例えば、ウエハキャリアの位置、ウエハキャリアの内部に収容されているウエハの個数、収容されているウエハの工程進行状態、ウエハキャリア内部の温度などを保存するデータ保存部、ウエハキャリアに関する情報を受信するデータ受信部、ウエハキャリアに関する情報を送信するデータ送信部、及びRF信号をやり取りするアンテナなどを含む。RFIDリーダー機60は、RFIDタグからウエハキャリアに関する情報または周波数情報を送受信する無線周波数(RF)送受信モジュール部、受信した情報を保存するデータ保存部、RFIDタグ21から伝送された信号を分析するデータ処理部、及びRFIDタグとRF信号をやり取りするアンテナなどを含む。
【0037】
本発明の一実施形態によれば、RFIDタグ21とRFIDリーダー機60はそれぞれ、ンテナを介してFOUP 20に関する情報をやり取りし、RFIDタグ21は、アンテナを用いて所定の周波数帯域の無線周波数(RF)信号を送受信するための処理をし、データ受信部では、アンテナを介して受信されたRF信号をデジタル信号に変換してデータ処理部に伝達し、データ処理部は、データ受信部から伝達されたFOUP 20に関するデータを分析し、その結果をデータ保存部に保存する。そして、データ送信部でデータ保存部のデータをアナログ信号に変換してアンテナから伝達すると、該信号をRFIDリーダー機60のアンテナで無線周波数として受け、RF送受信モジュール部でデジタル信号に変換し、これをデータ処理部で分析し、該分析されたデータはデータ保存部に保存される。そして、別途の通信を通じて、データ保存部内のFOUP 20に関する情報をRFIDリーダー機制御部50に伝送する。
【0038】
本発明の一実施形態に係るウエハキャリア情報管理システムは、RFIDリーダー機60の効率的な動作のために、バッファ10内にFOUP 20が積載されたか否かを検知する在荷検知センサー部11をさらに含むことができる。在荷検知センサー部がバッファ内に設けられると、この在荷検知センサー部がFOUPの積載を検知した場合にのみRFIDリーダー機60が作動し、FOUP 20に付いたRFIDタグ21からFOUP 20情報を読み込んで保存する。
【0039】
上述したように、RFIDリーダー機制御部50で収集、保存したFOUP 20に関する情報は、ウエハ管理部40に直接伝送されてもよいが、より体系的な情報管理のために、半導体工程ライン内の全体バッファに積載されているFOUP情報を収集、管理するバッファ制御部70を経てウエハ管理部40に伝送されてもよい。
【0040】
図4は、バッファ制御部70をさらに含む本発明の一実施形態に係るウエハキャリア情報管理システムのブロック図である。前述したように、半導体生産ライン内の各ベイ当たり一つのRFIDリーダー機制御部50を配設する場合には、ベイの数に相当するRFIDリーダー機制御部50が設けられる。該当のベイ内のRFIDリーダー機60からFOUP情報を収集、保存したRFIDリーダー機制御部50は、バッファ制御部70に各バッファ内のFOUP情報を伝送する。RFIDリーダー機とRFIDリーダー機制御部との通信は、無線または有線で可能である。各RFIDリーダー機制御部50からFOUP情報が伝送されたバッファ制御部70は、該FOUP情報をウエハ管理部40に伝送する。この伝送は、ウエハ管理部40の要請に応じて行われてもよく、ウエハ管理部40の要請にかかわらずに実時間で行われてもよい。RFIDリーダー機制御部50から直接ウエハ管理部40にウエハキャリア情報を伝送する場合は、中間システムが省がれるので、コスト節減の側面では有利であるが、ウエハ管理部40が半導体工程ライン内の全てのRFIDリーダー機制御部と通信するため、負荷がかかることがある。そのため、半導体工程ラインの規模などを考慮してバッファ制御部70を追加するか否かを決定すればよいが、最近の大型化した半導体工程ラインではバッファ制御部を備え、バッファ制御部70とウエハ管理部40とが通信する構成とすることが好ましい。
【0041】
図5には、本発明に係るウエハキャリア情報管理システムが用いられている半導体工程ラインの構成図を示す。前述したように、半導体工程ラインにおいて、OHT 30が移動するレール31の側面には、OHTの効率的な運搬、移積載作業のために、移動中にFOUP 20を積載できるバッファ10が存在する。このような役割を果たすことができるものであれば、バッファに限定されず、いかなる名称を有する構成も使用可能である。OHT 30は、移動中に、必要な場合はFOUP 20をバッファ10に降ろしておくことができ、他の作業を終えてから再びFOUP 20を運搬することもできる。RFIDリーダー機60は、バッファに積載されたFOUP 20についたRFIDタグ21からFOUP情報を読み込んで保存する。このRFIDリーダー機60は、障害物に妨害されることなくFOUP内のRFIDタグと無線周波数信号をやり取りできる位置であれば、バッファの内部、バッファの外部のいずれに設けられてもよい。各RFIDリーダー機60に保存されたFOUP情報は、RFIDリーダー機制御部50に伝送される。この場合、半導体工程ラインの各ベイ当たり一つのRFIDリーダー機60が配設されていると、ベイの数に相当するRFIDリーダー機制御部50が存在し、ベイ内の各RFIDリーダー機60は、該当のベイのRFIDリーダー機制御部50にFOUP情報を伝送する。これは、本発明の一実施形態に過ぎず、RFIDリーダー機制御部50は様々なユニットにしてもよい。そして、RFIDリーダー機制御部50に伝送されたFOUP情報は、ウエハ管理部40に直接伝送されてもよく、バッファ制御部70を経てウエハ管理部40に伝送されてもよい。
【0042】
RFIDリーダー機60は各バッファ当たり一つずつ設けられてもよいが、半導体工程のコスト節減のために、複数個のバッファを一つのモジュールにし、モジュール当たり一つのRFIDリーダー機が設けられてもよい。図6には、本発明の一例として、4個のバッファ10を一つのモジュールにしたウエハキャリア情報管理システムの構成図を示す。各モジュール当たり一つのRFIDリーダー機60が設けられ、各RFIDリーダー機60は、4個のバッファ10内に積載されたFOUP 20についたRFIDタグ21から、該当のFOUPに関する情報を読み込んで保存する。RFID技術は大容量の情報を伝送可能にするから、より多数のバッファを一つのモジュールにすることも可能である。RFIDリーダー機60からウエハ管理部40にFOUP情報が伝送される過程は、バッファ当たり一つのRFIDリーダー機が設けられた場合と同一である。
【0043】
図7には、バッファ当たり一つのRFIDリーダー機60が設けられた場合におけるバッファ10の内部構成図を示す。バッファ内の在荷検知センサー11は、バッファ内にFOUPが積載されたか否かを検知し、在荷検知センサーにFOUPの積載が検知されるとRFIDリーダー機が作動して、FOUPについたRFIDタグ21からFOUPに関する情報を読み込んで保存する。在荷検知センサーは、バッファ内にFOUP 20が存在するか否かを検知できる位置であれば、上部、下部または側部などのいずれの箇所にも設置可能である。FOUPに関する情報は、FOUPに収容されているウエハ22の個数、FOUP内部の温度、FOUPに収容されているウエハ22の工程状態、FOUPの位置などを含め、FOUP 20に関連したいかなる情報も含むことができる。
【0044】
RFIDリーダー機制御部50が、各FOUP 20についたRFIDタグ21から読み込んだFOUP情報を収集して直接ウエハ管理部40に伝送したり、バッファ制御部70を経てウエハ管理部40に伝送すると、ウエハ管理部40に保存されていたFOUPデータベースに誤りが生じた場合は、該伝送されたFOUP情報を用いて新しいデータベースを構築することができる。
【0045】
また、RFIDリーダー機制御部50及びバッファ制御部70は周期的にFOUP情報を収集でき、よって、ウエハ管理部40は、RFIDリーダー機制御部50またはバッファ制御部70から伝送された実時間FOUP情報を用いて、ウエハ管理部40内に保存されているデータベースが信頼できるものか否かを判断することができる。
【0046】
以下、図面を参照して、ウエハキャリア情報管理方法の実施形態について説明する。
【0047】
本発明に係るウエハキャリア情報管理方法は、リーダーユニットを用いて、バッファ内のウエハキャリアについた送受信ユニットからウエハキャリア情報を読み込んで保存するステップ、及びリーダーユニットに保存されているウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部40に伝送するステップで構成される。
【0048】
上述したバッファのウエハキャリア情報管理システムと同様に、送受信ユニットはRFIDタグ、リーダーユニットはRFIDリーダー機、ウエハキャリアはFOUP、ウエハ搬送車はOHTとして本発明の実施形態を説明する。
【0049】
図8は、本発明の一実施形態に係るバッファのウエハキャリア情報管理方法を概略的に示すフローチャートである。まず、各バッファについた在荷検知センサーが、バッファにFOUPが積載されたか否かを検知し、FOUPが積載された場合(ステップ100の‘はい’)は、RFIDリーダー機が、各バッファ内に積載されているFOUPについたRFIDタグからFOUPに関する情報を読み込んで保存する(ステップ110)。ここで、FOUPに関する情報は、FOUPに収容されているウエハの個数、FOUP内部の温度、FOUPに収容されているウエハの工程状態、FOUPの位置など、FOUPに関連したいかなる情報も含むことができる。RFIDリーダー機は、各バッファ当たり一つずつ設けられてもよいが、半導体工程のコスト節減のために、複数のバッファを一つのモジュールとし、各モジュール当たり一つのRFIDリーダー機を設けてもよい。前述したように、RFID技術は大容量の情報を伝送可能にするから、より多数のバッファを一つのモジュールにすることも可能であり、情報伝送容量を考慮してモジュールの大きさを決定すればよい。各RFIDリーダー機に保存されている情報は、RFIDリーダー機制御部に伝送されて収集される(ステップ120)。一例として、RFIDリーダー機制御部は、半導体工程ラインの1ベイ当たり一つずつ設けられてもよく、RFIDリーダー機制御部は、該当のベイ内の複数のRFIDリーダー機から、保存されているFOUP情報を受信して保存する。RFIDリーダー機制御部が制御するRFIDリーダー機の数は、使用者が管理の効率性を考慮して決定すればよい。
【0050】
RFIDリーダー機制御部は、ウエハ管理部にFOUP情報を直接伝送してもよいが、情報の効率的な管理の側面では、全体バッファ内のFOUP情報を収集するバッファ制御部を介してウエハ管理部に伝送することが好ましい。各モジュール、例えば、半導体工程ラインのベイを担当するRFIDリーダー機制御部は、該当のベイ内のRFIDリーダー機から収集したFOUP情報をバッファ制御部に伝送し(ステップ130)、バッファ制御部は、少なくとも一つのRFIDリーダー機制御部から伝送されたFOUP情報をウエハ管理部に伝送する(ステップ140)。
【0051】
RFIDリーダー機制御部及びバッファ制御部は、周期的にFOUP情報を収集する。図9は、周期的にFOUP情報を収集するウエハキャリア情報管理方法を示すフローチャートである。まず、バッファ内の在荷検知センサーがFOUPの積載を検知した場合(ステップ200の‘はい’)に、RFIDリーダー機は、FOUPについたRFIDタグからFOUPに関する情報を読み込んで保存する(ステップ210)。あらかじめ定められた所定の周期1に該当する時間が経過すると(ステップ220の‘はい’)、RFIDリーダー機制御部は、該当のモジュールに属するRFIDリーダー機からFOUP情報を収集して保存する(ステップ230)。そして、あらかじめ定められた所定の周期2に該当する時間が経過すると(ステップ240の‘はい’)、バッファ制御部は、全てのRFIDリーダー機制御部からFOUP情報を収集して保存する(ステップ250)。周期1と周期2とは、同じ時間間隔であってもよく、異なる時間間隔であってもよい。続いて、バッファ制御部に保存されたFOUP情報はウエハ管理部に伝送されて(ステップ260)、半導体工程の制御に用いられる。FOUP情報収集周期を短くすると、ウエハ管理部は、RFIDリーダー機制御部またはバッファ制御部から伝送されたFOUP情報を用いて実時間でバッファ内のFOUPの状態を把握することができ、ウエハ管理部内に保存されているFOUP情報のデータベースに誤りが生じた場合に、この実時間FOUP情報を用いて速やかにデータベースを復旧することができる。
【0052】
また、この実時間FOUP情報とウエハ管理部のデータベース情報とを比較して、ウエハ管理部のデータベースの情報が正確か、または誤りの生じたか否かを把握し、信頼性を検証することができる。
【0053】
上記FOUP情報を収集する周期は、情報管理の効率性を考慮して使用者が任意に指定することができる。
【0054】
また、本発明に係るウエハキャリア情報管理システム及び方法によれば、特定バッファ内に存在するウエハキャリア情報を実時間で収集して管理することが可能になる。図10に、特定バッファ内のウエハキャリアの情報管理に関する制御ブロック図が示されている。半導体工程進行中に、使用者は特定区間のバッファ内にいずれのウエハキャリアが積載されているかを把握する必要がある場合がある。この場合に、本発明を用いると、各バッファ内のウエハキャリアに関する情報が実時間で伝送されるので、把握しようとする区間のウエハキャリア情報を実時間で管理することが可能になる。
【符号の説明】
【0055】
10 バッファ
20 ウエハキャリア
40 ウエハキャリア管理部
50 RFIDリーダー機制御部
60 RFIDリーダー機
70 バッファ制御部
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ウエハキャリアに関する情報が保存され、前記ウエハキャリアに付着した送受信ユニットと、
バッファ内に保管されているウエハキャリアに付着した送受信ユニットから、前記ウエハキャリアに関する情報を読み込むリーダーユニットと、
少なくとも一つの前記リーダーユニットにより読み込まれたウエハキャリアに関する情報を受信して保存するリーダーユニット制御部と、
を含む、ウエハキャリア情報管理システム。
【請求項2】
前記バッファ内にウエハキャリアが存在するか否かを検知する在荷検知センサー部をさらに含む、請求項1に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項3】
前記在荷検知センサー部が、前記バッファにウエハキャリアが積載されたと検知した場合に、前記リーダーユニットが、前記積載されているウエハキャリアに付着した送受信ユニットからウエハキャリア情報を読み込む、請求項2に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項4】
少なくとも一つの前記リーダーユニット制御部から、前記リーダーユニット制御部に保存されているウエハキャリア情報を受信して保存するバッファ制御部をさらに含む、請求項1に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項5】
少なくとも一つの前記リーダーユニット制御部から、前記リーダーユニット制御部に保存されているウエハキャリア情報を受信し、該ウエハキャリア情報をデータベース化して管理するウエハ管理部をさらに含む、請求項1に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項6】
前記バッファ制御部から、前記バッファ制御部に保存されているウエハキャリア情報を受信し、該ウエハキャリア情報をデータベース化して管理するウエハ管理部をさらに含む、請求項4に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項7】
前記リーダーユニット制御部は、各リーダーユニットに保存されているウエハキャリア情報を周期的に受信して保存し、
前記バッファ制御部は、各リーダーユニット制御部に保存されているウエハキャリア情報を周期的に受信して保存し、
前記ウエハキャリアは、前面開放一体式ポッド(Front Open Unified Pod:FOUP)である、請求項6に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項8】
リーダーユニットを用いて、バッファに積載されているウエハキャリアに付着した送信ユニットからウエハキャリアに関する情報を読み込むこと、
前記リーダーユニットにより読み込まれたウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送すること、
を含む、ウエハキャリア情報管理方法。
【請求項9】
前記ウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送することは、
前記リーダーユニットを制御するリーダーユニット制御部が、少なくても一つのリーダーユニットからウエハキャリア情報を収集し、
前記リーダーユニット制御部を制御するバッファ制御部が、少なくても一つのリーダーユニット制御部からウエハキャリア情報を収集し、
前記バッファ制御部に収集されたウエハキャリア情報を、ウエハ管理部に伝送することである、請求項8に記載のウエハキャリア情報管理方法。
【請求項10】
前記バッファ制御部から伝送されたウエハキャリア情報を、前記ウエハ管理部でデータベース化すること、
前記収集されたウエハキャリア情報を用いて、前記ウエハ管理部のデータベースに対する信頼性を検証すること
をさらに含む、請求項9に記載のウエハキャリア情報管理方法。
【請求項1】
ウエハキャリアに関する情報が保存され、前記ウエハキャリアに付着した送受信ユニットと、
バッファ内に保管されているウエハキャリアに付着した送受信ユニットから、前記ウエハキャリアに関する情報を読み込むリーダーユニットと、
少なくとも一つの前記リーダーユニットにより読み込まれたウエハキャリアに関する情報を受信して保存するリーダーユニット制御部と、
を含む、ウエハキャリア情報管理システム。
【請求項2】
前記バッファ内にウエハキャリアが存在するか否かを検知する在荷検知センサー部をさらに含む、請求項1に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項3】
前記在荷検知センサー部が、前記バッファにウエハキャリアが積載されたと検知した場合に、前記リーダーユニットが、前記積載されているウエハキャリアに付着した送受信ユニットからウエハキャリア情報を読み込む、請求項2に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項4】
少なくとも一つの前記リーダーユニット制御部から、前記リーダーユニット制御部に保存されているウエハキャリア情報を受信して保存するバッファ制御部をさらに含む、請求項1に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項5】
少なくとも一つの前記リーダーユニット制御部から、前記リーダーユニット制御部に保存されているウエハキャリア情報を受信し、該ウエハキャリア情報をデータベース化して管理するウエハ管理部をさらに含む、請求項1に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項6】
前記バッファ制御部から、前記バッファ制御部に保存されているウエハキャリア情報を受信し、該ウエハキャリア情報をデータベース化して管理するウエハ管理部をさらに含む、請求項4に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項7】
前記リーダーユニット制御部は、各リーダーユニットに保存されているウエハキャリア情報を周期的に受信して保存し、
前記バッファ制御部は、各リーダーユニット制御部に保存されているウエハキャリア情報を周期的に受信して保存し、
前記ウエハキャリアは、前面開放一体式ポッド(Front Open Unified Pod:FOUP)である、請求項6に記載のウエハキャリア情報管理システム。
【請求項8】
リーダーユニットを用いて、バッファに積載されているウエハキャリアに付着した送信ユニットからウエハキャリアに関する情報を読み込むこと、
前記リーダーユニットにより読み込まれたウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送すること、
を含む、ウエハキャリア情報管理方法。
【請求項9】
前記ウエハキャリア情報を収集してウエハ管理部に伝送することは、
前記リーダーユニットを制御するリーダーユニット制御部が、少なくても一つのリーダーユニットからウエハキャリア情報を収集し、
前記リーダーユニット制御部を制御するバッファ制御部が、少なくても一つのリーダーユニット制御部からウエハキャリア情報を収集し、
前記バッファ制御部に収集されたウエハキャリア情報を、ウエハ管理部に伝送することである、請求項8に記載のウエハキャリア情報管理方法。
【請求項10】
前記バッファ制御部から伝送されたウエハキャリア情報を、前記ウエハ管理部でデータベース化すること、
前記収集されたウエハキャリア情報を用いて、前記ウエハ管理部のデータベースに対する信頼性を検証すること
をさらに含む、請求項9に記載のウエハキャリア情報管理方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【公開番号】特開2012−195588(P2012−195588A)
【公開日】平成24年10月11日(2012.10.11)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−58496(P2012−58496)
【出願日】平成24年3月15日(2012.3.15)
【出願人】(390019839)三星電子株式会社 (8,520)
【氏名又は名称原語表記】Samsung Electronics Co.,Ltd.
【住所又は居所原語表記】129,Samsung−ro,Yeongtong−gu,Suwon−si,Gyeonggi−do,Republic of Korea
【Fターム(参考)】
【公開日】平成24年10月11日(2012.10.11)
【国際特許分類】
【出願日】平成24年3月15日(2012.3.15)
【出願人】(390019839)三星電子株式会社 (8,520)
【氏名又は名称原語表記】Samsung Electronics Co.,Ltd.
【住所又は居所原語表記】129,Samsung−ro,Yeongtong−gu,Suwon−si,Gyeonggi−do,Republic of Korea
【Fターム(参考)】
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