パッケージおよび半導体装置
【課題】電気的に接続する際に配置の誤りの有無の確認を容易にして誤接続を防止する。
【解決手段】パッケージ1は、紫外線発光ダイオードの一方の電極に電気的に接続された金属板であるベース基板11と、他方の電極に電気的に接続された金属板であってベース基板11に積層されたカバー基板12とを備える。複数個のパッケージ1がベース基板11の幅方向に沿った中心線を一致させてヘッダ3に取り付けられる。カバー基板12は、ベース基板11に対して非対称に配置される。パッケージ1をヘッダ3に取り付けるときには、カバー基板12の位置が交互に入れ替わるように配置する。さらに、隣接するパッケージ1の一方のベース基板11と他方のカバー基板12とを、ベース基板11とカバー基板12とに接続ねじ6で固定される接続板5を用いて接続する。
【解決手段】パッケージ1は、紫外線発光ダイオードの一方の電極に電気的に接続された金属板であるベース基板11と、他方の電極に電気的に接続された金属板であってベース基板11に積層されたカバー基板12とを備える。複数個のパッケージ1がベース基板11の幅方向に沿った中心線を一致させてヘッダ3に取り付けられる。カバー基板12は、ベース基板11に対して非対称に配置される。パッケージ1をヘッダ3に取り付けるときには、カバー基板12の位置が交互に入れ替わるように配置する。さらに、隣接するパッケージ1の一方のベース基板11と他方のカバー基板12とを、ベース基板11とカバー基板12とに接続ねじ6で固定される接続板5を用いて接続する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体素子を収納する金属製のパッケージと、複数個のパッケージを電気的に接続して構成される半導体装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
一般に、複数個の同種の半導体デバイスを直列あるいは並列に接続するには、半導体デバイスの端子同士を接続するリード線が用いられるか、半導体デバイスを実装する印刷配線基板に形成した接続用の導電パターンが用いられている。
【0003】
また、半導体素子を収納したパッケージに複数個の端子を直線状に配置した連結部を設けておき、ハーネス等を用いて端子同士を連結する技術も提案されている(たとえば、特許文献1参照)。
【特許文献1】特開2007−109879号公報(段落番号0016)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、多数個の半導体デバイスをリード線を用いて接続すると、結線作業に手間がかかる上に誤接続の可能性が高くなるという問題がある。また、印刷配線基板を用いると誤結線の可能性は低減されるが、印刷配線基板の導電パターンを加工する工程が必要になり、工数が増加するという問題を生じる。
【0005】
特許文献1に記載の技術を採用すれば、誤接続の可能性は少ないが、個々のパッケージにハーネスと接続するための端子を備えた連結部を形成する必要があり、製造時の工数が大幅に増加するという問題を生じる。
【0006】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、製造時の工数の増加が少なく、しかも多数個を電気的に接続する際に配置の誤りの有無を容易に確認できるようにして誤接続を防止することができるパッケージおよび半導体装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
請求項1の発明は、半導体素子を収納し複数個が支持基台の取付面に並べて取り付けられるパッケージであって、支持基台に取り付けられ半導体素子の一つの電極が電気的に接続された金属板からなるベース基板と、ベース基板の厚み方向の一面に積層され半導体素子の他の電極が電気的に接続された金属板からなるカバー基板とを有し、前記ベース基板は、隣接するベース基板に積層されている前記カバー基板に電気的に接続された第1の接続用導体の一端部に挿通される第2の接続ねじが螺合するベース側接続孔を有し、カバー基板は、ベース基板が前記支持基台上で並ぶ方向に沿ったベース基板の中心線に対して非対称の形状でありかつ当該中心線を跨ぐ形に配置されており、ベース側接続孔は当該中心線に対して一側に形成されていることを特徴とする。
【0008】
請求項2の発明では、請求項1の発明において、前記カバー基板は、前記中心線を挟んだ各一端縁と中心線との距離が互いに異なるとともに、前記ベース基板においてカバー基板と重複していない部位に前記ベース側接続孔を形成していることを特徴とする。
【0009】
請求項3の発明では、請求項1の発明において、前記カバー基板は、前記ベース側接続孔に重複する部位に前記第2の接続ねじと接触しないサイズに切欠した逃げ部を備えることを特徴とする。
【0010】
請求項4の発明では、請求項1〜3のいずれかの発明において、前記カバー基板は、前記中心線に対して前記ベース用接続孔の反対側に第1の接続用導体に挿通された第1の接続ねじが螺合するカバー側接続孔を有していることを特徴とする。
【0011】
請求項5の発明では、請求項1〜4のいずれかの発明において、前記半導体素子は、発光ダイオードであることを特徴とする。
【0012】
請求項6の発明は、請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、支持基台が導電性の金属材料により形成され、前記ベース基板が支持基台と電気的に接続されていることを特徴とする。
【0013】
請求項7の発明は、請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、支持基台が絶縁材料により形成されていることを特徴とする。
【0014】
請求項8の発明は、請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記中心線を一致させる形で前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、隣接するパッケージは前記中心線に対する前記カバー基板の位置が交互に入れ替わるように配置されていることを特徴とする。
【0015】
請求項9の発明では、請求項8の発明において、前記第1の接続用導体は、前記カバー基板に取り付けられる接続板であり、ベース基板の前面に重複するベース側片と、カバー基板の前面に重複するカバー側片と、ベース側片とカバー側片とを連結する連結片とを備えることを特徴とする。
【0016】
請求項10の発明では、請求項8の発明において、前記第1の接続用導体は、前記カバー基板に連続一体に形成された接続片であり、接続片の先端部がベース基板の前面に重複することを特徴とする。
【発明の効果】
【0017】
請求項1の発明の構成によれば、半導体素子の電極に電気的に接続されたベース基板とカバー基板とを積層してあり、パッケージを構成するベース基板とカバー基板とが半導体素子の2つの電極にそれぞれ接続されているから、別途に端子を設ける構成に比較すると構成が簡単であり、製造時の工数の増加が少なく、しかもパッケージが金属板により形成されるから、放熱性能が高くパワー素子に対応することができる。
【0018】
また、ベース基板が半導体素子の一方の電極に接続され、カバー基板が半導体素子の他方の電極に接続されているから、支持基台に並べたパッケージを直列接続する場合には、隣接する各一対のパッケージの一方のベース基板と他方のカバー基板とを電気的に接続すればよく、また支持基台に並べたパッケージを並列接続する場合には、ベース基板同士とカバー基板同士とをそれぞれ電気的に接続すればよく、いずれの場合も一見して誤接続を発見することができるから、誤接続の防止につながる。
【0019】
さらに、支持基台に取り付けられるベース基板にカバー基板を積層しているから、支持基台の取付面に複数個を並べて取り付けることにより長尺化することが容易であり、しかも、隣接するベース基板の間に隙間を形成することなく支持基台に並べることで、半導体素子を高密度に配置することができる。したがって、半導体素子が発光ダイオードのような発光素子である場合に長尺の発光源を容易に形成することができ、しかも隣接する発光ダイオード間の間隔を小さくすることによって発光源の長手方向における輝度むらを抑制することが可能になる。
【0020】
加えて、半導体素子の電極に電気的に接続されたベース基板とカバー基板とを積層してあり、パッケージを支持基台に並べて配置する際にベース基板が並ぶ方向に沿ったベース基板の中心線に対して非対称になるようにカバー基板が配置された構成を採用しているから、パッケージを支持基台に並設したときにカバー基板の位置によって配置の誤りの有無を一見して知ることができる。しかも、隣接するパッケージの一方のカバー基板に電気的に接続された第1の接続用導体の一端部を接続ねじによりベース基板に結合するから、パッケージの配置に誤りがなければパッケージ間の誤接続も防止される。その上、隣接するパッケージの電気的接続とともに機械的結合がなされる。加えて、パッケージを構成するベース基板とカバー基板とが半導体素子の2つの電極にそれぞれ接続されているから、別途に端子を設ける構成に比較すると構成が簡単であり、製造時の工数の増加が少なく、しかもパッケージが金属板により形成されるから、放熱性能が高くパワー素子に対応することができる。
【0021】
請求項2の発明の構成によれば、カバー基板がベース基板に対して非対称に配置されるから、ベース基板の中心線を挟んだ一端側ではカバー基板と重複する部分が多く、他端側ではカバー基板と重複せずにベース基板が露出している部分が多くなるから、外観によって取付向きを容易に確認することができる。すなわち、ベース基板とカバー基板とを他部材と電気的に接続するに際して、他部材との誤接続を発見しやすくなる。しかも、ベース基板においてカバー基板と重複していない部位にベース側接続孔を形成しているから、ベース基板の露出量が多い端部においてベース側接続孔を形成することで、ベース側接続孔に螺合する第2の接続ねじとカバー基板との距離を大きくとることができ電気的絶縁が容易になる。
【0022】
請求項3の発明の構成によれば、カバー基板においてベース側接続孔に重複する部位に、第2の接続ねじと接触しないサイズに切欠した逃げ部を形成しているから、第2の接続ねじがカバー基板に接触することがなく、第2の接続ねじに絶縁材料を用いることなくベース基板とカバー基板との短絡を防止することができる。
【0023】
請求項4の発明の構成によれば、ベース基板にベース側接続孔を形成するとともに、カバー基板にカバー側接続孔を形成し、ベース側接続孔とカバー側接続孔とをベースの中心線に対して互いに反対側に形成しているから、支持基台に並べて取り付けた状態で隣接するパッケージのベース基板とカバー基板とを交互に電気的に接続する第1の接続用導体を簡単に取り付けることができる。すなわち、第1の接続用導体の一端部を第2の接続ねじでベース基板に接続し、第1の接続用導体の他端部を第1の接続ねじでカバー基板に接続することによって、隣接するパッケージを直列に接続することができる。また、ベース基板同士とカバー基板同士とをそれぞれ電気的に接続するように第1の接続用導体を設けることによって、隣接するパッケージを並列に接続することも可能である。
【0024】
請求項5の発明の構成によれば、発光ダイオードのパッケージとして金属製のパッケージを用いるから、放熱効率を高めて発光ダイオードの温度上昇を抑制することができ、発光ダイオードを用いた高出力の光源を得ることができる。すなわち、発光ダイオードは温度が上昇すると発光効率が低下するが、放熱効率の高いパッケージを用いているから、大電流を流しても温度上昇を抑制することができ、発光効率を維持して高出力で点灯させることが可能になる。
【0025】
請求項6の発明の構成によれば、導電性の金属材料により形成した支持基台にベース基板を電気的に接続しているから、ベース基板の電気的接続を支持基台によって行うことができる。つまり、パッケージを並列に接続するにあたって隣接するベース基板を電気的に接続するために別途の導体を用いる必要がなく、部品点数の削減につながる。また、この構成は、パッケージを並列に接続する場合にしか利用できないが、ベース側接続孔が不要であるから、ベース基板の小型化にもつながる。また、ベース基板が支持基台に直接接触するから、支持基台による放熱効果も期待できる。
【0026】
請求項7の発明の構成によれば、絶縁材料の支持基台を用いているから、隣接するパッケージ間の電気的な接続関係を自由に選択することができる。
【0027】
請求項8の発明の構成によれば、隣接するパッケージにおけるベース基板の中心線を一致させて配列するとともに、ベース基板の中心線に対するカバー基板の位置が交互に入れ替わるように配置しているから、隣接するパッケージ間においてベース基板とカバー基板とを正面視直線状の第1の接続用導体を用いて接続するだけで、半導体素子を直列に接続することができる。つまり、短い第1の接続用導体を用いて半導体素子の間を接続することができるから、第1の接続用導体による電流損失を抑制することができる上に、誤結線を抑制することができる。しかも、カバー基板の位置を目視するだけでパッケージの配列の正否を確認することができるから、組立時の誤配置を防止することができる。
【0028】
請求項9の発明の構成によれば、第1の接続用導体がパッケージとは別体であるから、パッケージの形状を単純化することができる。
【0029】
請求項10の発明の構成によれば、第1の接続用導体がパッケージと一体であるから、接続ねじ以外の別途の部材が不要である上に、1本の接続ねじを用いるだけで隣接する一対のパッケージ間の電気的接続が可能であるから、接続作業が容易である。
【図面の簡単な説明】
【0030】
【図1】実施形態1の使用例を示す分解斜視図である。
【図2】同上の使用例を示す正面図である。
【図3】同上の使用例を示す断面図である。
【図4】同上を示し、(a)は前面側の斜視図、(b)は背面側の斜視図である。
【図5】同上を示し、(a)は正面図、(b)は背面図、(c)は側面図である。
【図6】実施形態2の使用例を示す斜視図である。
【図7】同上の使用例を示す正面図である。
【図8】(a)(b)は実施形態3を示す斜視図である。
【図9】同上の使用例を示す斜視図である。
【図10】実施形態4の使用例を示す斜視図である。
【図11】同上の他の使用例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0031】
(実施形態1)
以下に説明するパッケージは、半導体素子として紫外線発光ダイオードを収納する場合を例として説明する。ただし、発光波長領域が紫外線領域である発光ダイオードだけではなく、発光波長領域が可視光領域である発光ダイオードに本発明の構成を適用してもよい。
【0032】
図3ないし図5に示すように、パッケージ1は、紫外線発光ダイオード2を載設した金属板からなる矩形板状のベース基板11と、ベース基板11においてベアチップである紫外線発光ダイオード2を載設した部位の周囲を囲む金属板からなる矩形板状のカバー基板12と、ベース基板11とカバー基板12との間に介装されベース基板11とカバー基板12とを絶縁する絶縁材層13とを積層した積層体として構成される。ベース基板11とカバー基板12とには、熱伝導率および電気伝導率の大きい材料を用いるのが望ましいから、銅単体または銅系合金を用いる。絶縁材層13には、絶縁性の高い合成樹脂材料が用いられる。
【0033】
図3に示すように、紫外線発光ダイオード2の一方の電極(アノード)は、ベース基板11にダイボンドにより直接接続され、紫外線発光ダイオード2の他方の電極(カソード)は、カバー基板12に対してワイヤボンドにより接続される。つまり、紫外線発光ダイオード2の一方の電極はベース基板11に電気的に接続され、他方の電極はカバー基板12に電気的に接続される。
【0034】
カバー基板12にはベース基板11に載設された紫外線発光ダイオード2を露出させるように露出孔14が貫設される。露出孔14の内周面はベース基板11からの距離が大きくなるほど露出孔14の内径を広げるように傾斜している。また、露出孔14には外周面が凸曲面(たとえば、球面状)である投光レンズ15が装着される。したがって、紫外線発光ダイオード2は、ベース基板11とカバー基板12と投光レンズ15とにより囲まれた密閉空間内に収納され、湿度などの環境の影響から遮断される。なお、投光レンズ15の位置や特性、あるいは露出孔14の内周面の傾斜角度や反射率を調節することにより、紫外線発光ダイオード2から放射された光の配光を制御することができる。
【0035】
パッケージ1は、ヒートシンクを兼ねており、ベース基板11の背面(カバー基板12を積層した面の反対面)には、それぞれ円形に開口した一対の流通口16が開口し、ベース基板11の内部には両流通口16の間を連通させる流路17が形成される。流路17は、ベース基板11において紫外線発光ダイオード2が載設されている部位の近傍を通るように形成され、流路17の中を通る冷却用流体と紫外線発光ダイオード2との熱的な結合度を高めてある。冷却用流体は、水を用いることができるが、常温で液体であって比熱が1に近い材料であれば水以外の液体を用いることができる。
【0036】
図5に示すように、本例では、投光レンズ15の正面から見て、ベース基板11とカバー基板12とはともに長方形状であって略同幅に形成してある。ただし、ベース基板11とカバー基板12とは長さ寸法が異なっており、ベース基板11のほうがカバー基板12よりも長寸に形成されている。また、ベース基板11の長手方向の中心とカバー基板12の長手方向の中心とは位置が異なっている。言い換えると、カバー基板12の長手方向の一端部は、ベース基板11の長手方向の一方に延長されている。投光レンズ15の中心は、ベース基板11の長手方向の中心と一致している。両流通口16は、ベース基板11の長手方向に離間して形成されている。
【0037】
ベース基板11の長手方向の両端部にはそれぞれ取付孔18が形成される。さらに、ベース基板11にはねじ孔であるベース側接続孔21が形成され、カバー基板12にはねじ孔であるカバー側接続孔22が形成される。ベース側接続孔21とカバー側接続孔22とは、ベース基板11の長手方向における中心と各取付孔18との間に位置しており、ベース基板11の長手方向における中心からベース側接続孔21までの距離とカバー側接続孔22までの距離とは等距離になっている。ベース側接続孔21とカバー側接続孔22とは紫外線発光ダイオード2を他部材に電気的に接続するために設けられている。
【0038】
したがって、投光レンズ15の正面から見て、取付孔18とベース側接続孔21とカバー側接続孔22と投光レンズ15とは、ベース基板11の幅方向に沿った中心線に対して対称に位置する。一方、カバー基板12は、ベース基板11の幅方向に沿った中心線に対して非対称に位置し、当該中心線を跨ぐ形に配置されており、当該中心線からカバー基板12の長手方向のの一方の端部までの距離と他方の端部までの距離とが異なっている。つまり、ベース基板11の長手方向の一端部では取付孔18が露出する部位を除いて大部分がカバー基板12に覆われ、ベース基板11の長手方向の他端部では取付孔18とベース側接続孔21とが露出するようにカバー基板12が重複する。また、カバー基板12はベース基板11に積層されており、ベース側接続孔21はベース基板11に形成され、カバー側接続孔22はカバー基板12に形成されているから、ベース基板11の厚み方向におけるベース側接続孔21とカバー側接続孔22との開口面の高さ位置は異なっている。
【0039】
ところで、各流通口16の周囲には、それぞれ円形に開口した凹所23,24が形成される。つまり、各流通口16は、それぞれ凹所23,24の内底面に開口し、各流通口16は各凹所23,24とそれぞれ同心上に形成される。
【0040】
上述したパッケージ1を使用するにあたっては、図1、図2、図3に示すように、冷却用流体を通すヘッダ3に結合する。ヘッダ3は、パッケージ1を並べて取り付ける支持基台として機能するものであり、金属材料からなる支持台3aと絶縁材料からなるスペーサ3bとを結合ねじ3cにより固着して形成されている。結合ねじ3cは、支持台3aを通してスペーサ3bに螺合する。ただし、ヘッダ3は、この形状に限定されるものではなく、パッケージ1を結合する取付面31が平面であれば、断面形状はとくに制限されない。
【0041】
ヘッダ3の内部には、冷却用流体を通す供給路32と排出路33とが形成され、ヘッダ3における取付面31の適所には、供給路32と排出路33とにそれぞれ連通した供給口34と排出口35とが開口する。なお、図1ではスペーサ3bを省略して簡略に表記している。
【0042】
供給口34および排出口35はそれぞれ円形に開口するとともに、開口径は上述した流通口16の開口径に略一致する。また、供給口34と排出口35との距離は、パッケージ1に設けた両流通口16の間の距離と等しくしてある。供給口34および排出口35の組は、ヘッダ3に複数組(たとえば、10個)形成される。
【0043】
パッケージ1をヘッダ3に結合するには、ベース基板11において一対の流通口16が開口している当接面25をヘッダ3の取付面31に当接させ、取付孔18を通して取付ねじ19をヘッダ3に螺合させる。このとき、ヘッダ3の取付面31に開口する一組の供給口34および排出口35の口軸が1個のパッケージ1の各流通口16の口軸に一致する。各凹所23,24の中に、それぞれゴム弾性を有した円環状のOリング4を装着しておき、凹所23,24の内底面とヘッダ3の取付面31との間でOリング4を圧縮する形で、パッケージ1をヘッダ3に結合することにより、供給口34および排出口35と各流通口16とを隙間なく結合する。
【0044】
パッケージ1における両流通口16とヘッダ3における供給口34および排出口35とを連結する構造は、ヘッダ3において支持台3aとスペーサ3bとの間にも用いられる。すなわち、供給路32および排出路33は、支持台3aとスペーサ3bとの間で連通していなければならないから、支持台3aとスペーサ3bとにおいて、供給路32および排出路33を結合する部位では、図3に示すように、支持台3aに凹所36を形成し、凹所36内に配置した円環状のOリング37を、支持台3aとスペーサ3bとの間に挟むことにより圧縮する。
【0045】
ところで、上述したパッケージ1は、ベース基板11とカバー基板12とがそれぞれ紫外線発光ダイオード2の電極に電気的に接続されているから、ベース基板11とカバー基板12とが半導体デバイスの電極として機能する。発光ダイオードを内蔵したこの種の半導体デバイスを高電力で用いる場合には、複数個の半導体デバイスを直列に接続して用いることが多い。
【0046】
本例の構成では、半導体デバイスを直列に接続する場合には、以下のように配置する。すなわち、図1、図2に示すように、ベース基板11の幅方向に沿った中心線を一致させるようにベース基板11をヘッダ3に結合し、かつベース基板11の幅方向において隣接するパッケージ1を前記中心線に対してカバー基板12の位置が交互に入れ替わるように配置する。また、隣接する一対のパッケージ1の一方のベース基板11と他方のカバー基板12とを第1の接続用導体である接続板5を介して電気的に接続する。ここで、隣接するパッケージ1においてベース基板11同士が互いに接触せず、かつカバー基板12同士が互いに接触することがないように、隣接するパッケージ1の間には電気的絶縁を確保できる程度の隙間を形成するか絶縁材料で形成された絶縁シートを挟装する。
【0047】
接続板5は、ベース基板11の前面に重なるベース側片5aと、カバー基板12の前面に重なるカバー側片5bと、べース基板11とカバー基板12との前面の段差に相当する長さ寸法を有しベース側片5aとカバー側片5bとを互いに連結する連結片5cとを連続一体に備える。接続板5は、銅あるいは銅系合金により短冊状に形成された金属板を折曲することにより形成される。接続板5のベース側片5aとカバー側片5bとには、それぞれ貫通孔5dが形成される。
【0048】
上述した形状の接続板5を用いてベース基板11とカバー基板12とを電気的に接続するには、接続板5のベース側片5aとカバー側片5bとをそれぞれベース基板11とカバー基板12との前面に重ね、各貫通孔5dを通してベース側接続孔21とカバー側接続孔22とにそれぞれ接続ねじ6を螺合させる。
【0049】
接続板5を用いて隣接するパッケージ1を接続することにより、隣接するパッケージ1においてベース基板11とカバー基板12とが互いに接続され、結果的に複数個のパッケージ1において紫外線発光ダイオード2を直列に接続することができる。しかも、パッケージ1を配列している方向に沿ったベース基板11の中心線に対して、カバー基板12の位置が(図1、図2の上下方向において)交互に入れ替わるようにパッケージ1を配置することによって、左右に隣接するベース側接続孔21とカバー側接続孔22との間を接続する程度の簡単な形状の接続板5を用いるだけで、直列に接続することができる。さらに、カバー基板12の位置関係によって一見して誤配置を見極めることができるから、誤接続の可能性が低減される。
【0050】
なお、上述の例ではパッケージ1のベース基板11においてカバー基板12とは反対側の面を当接面25としているが、ベース基板11においてカバー基板12を設けた面に隣接する面を当接面25とすることも可能である。たとえば、ベース基板11における長手方向の一端面を当接面25として、流通口16をこの面に設けてもよい。また、2個の流通口16を1面に並べて設けるのではなく、ベース基板11における長手方向の各端面にそれぞれ流通口16を設け、ヘッダ3を各流通口16に対応付けて2本設けてもよい。さらに、上述の例では凹所23,24をパッケージ1に設けているが、凹所23,24をヘッダ3に設けてもよく、凹所23,24をパッケージ1とヘッダ3との両方に設けることも可能である。
【0051】
なお、上述の例では、パッケージ1に収納された紫外線発光ダイオード2を直列に接続する場合を例として説明したが、並列に接続する場合には、ベース基板11の幅方向に沿った中心線に対して各パッケージ1におけるカバー基板12の位置を揃え、配列したパッケージ1の全体に跨る第1の接続用導体(帯板状の金属板)に接続すればよい。また、この場合は隣接するパッケージ1においてベース基板11同士が接触してよく、またカバー基板12同士も接触してよいから、直列に接続する場合よりもパッケージ1の配列密度を高くすることが可能である。
【0052】
さらに、ヘッダ3として、金属材料からなる支持台3aと絶縁材料からなるスペーサ3bとを用いる代わりに、ヘッダ3の全体を合成樹脂やセラミックスのような絶縁材料により形成することも可能である。
【0053】
上述したように、本実施形態では、半導体素子である紫外線発光ダイオード2の電極が金属板からなるベース基板11とカバー基板12とであって、別途に端子を設ける構成に比較すると構成が簡単であり、製造時の工数の増加が少なくなる。また、パッケージ1が金属板により形成されるから、高輝度の紫外線発光ダイオード2のようなパワー素子に用いる場合でも放熱性を確保し、結果的に温度上昇による輝度低下を抑制することができる。
【0054】
また、ベース基板11とカバー基板12とにより紫外線発光ダイオード2の各電極を形成してあり、ベース基板11とカバー基板12とは矩形板状に形成され、かつヘッダ3に取り付けられるベース基板11の厚み方向にカバー基板12が積層されているから、ヘッダ3の取付面に複数個を並べて取り付けることにより長尺化が容易になり、紫外線や可視光の線光源を任意寸法で形成することが可能になる。また、隣接するパッケージ1の間隔を小さくすることができるから、ヘッダ3の長手方向における輝度むらの小さい線光源を提供することができる。
【0055】
さらにまた、パッケージ1はベース基板11に挿通される取付ねじ19でヘッダ3に固定され、電極の接続に関して半田接続が不要であるから、ベース基板11のヘッダ3に対する固定強度を高くすることができる上にメンテナンスのための着脱が容易になる。
【0056】
(実施形態2)
実施形態1では、パッケージ1とは別体である接続板5を用いてベース基板11とカバー基板12との間の電気的接続を行う例を示したが、本例は接続板5に代えて、図6、図7に示すように、カバー基板12から連続一体に延設した接続片7を第1の接続用導体に用いてカバー基板12とベース基板11とを接続している。すなわち、ベース基板11の長手方向において、ベース基板11の長手方向の中心位置から遠いほうのカバー基板12の一端部の一方の側面から、ベース基板11の幅方向に接続片7を延設している。本例では、カバー基板12にはカバー側接続孔22を形成しておらず、接続片7の先端部に貫通孔7aを形成してある。
【0057】
半導体デバイスを直列に接続するには、ベース基板11の幅方向において複数個のパッケージ1を並設し、カバー基板12から延設した接続片7を隣接するパッケージ1のベース基板11に重ね合わせ、さらに、接続片7の先端部に設けた貫通孔7aを通して接続ねじ8をベース基板11のベース側接続孔21に螺合させる。つまり、隣接するパッケージ1のうちの一方のカバー基板12に設けた接続片7が他方のベース基板11に電気的に接続され、2個のパッケージが直列に接続される。
【0058】
上述の接続を繰り返すことによって、複数個のパッケージ1を直列に接続することが可能になる。ここにおいて、実施形態1と同様に、カバー基板12の位置を交互に入れ替わるように配置することが必要があるが、カバー基板12の位置が異なっていても接続片7が突出する向きを同じにする必要があるから、カバー基板12に対する接続片7の位置の異なる2種類のパッケージ1が必要である。
【0059】
2種類のパッケージ1をベース基板11の幅方向において交互に配置することにより、隣接するパッケージ1を直列に接続することができる。また、カバー基板12に延設した接続片7をベース基板11の前面に重ねるから、絶縁材層13の厚み寸法分だけベース基板11から接続片7が離れることになる。絶縁材層13の厚み寸法は微小であるから、とくに問題にはならないが、接続片7に応力が生じることになる。
【0060】
接続片7に応力が生じるのを防止するには、接続片7とベース基板11との間に絶縁材層13と厚み寸法の等しい導電性材料からなるスペーサを介装するか、接続片7の中間部に段差部を形成すればよい。他の構成および動作は実施形態1と同様である。
【0061】
(実施形態3)
上述した実施形態では、ベース基板11の幅方向に沿った中心線からカバー基板12の長手方向の各端部までの距離が異なる形状を例示したが、本実施形態では、図8に示すように、ベース基板11の幅方向に沿った中心線とカバー基板12の幅方向に沿った中心線とが略一致しており、ベース基板11の上記中心線からカバー基板12の長手方向の各端部までの距離が略等しくなっている。ただし、この構成ではカバー基板12がベース側接続孔21を覆うことになるから、カバー基板12には、ベース側接続孔12を露出させるための逃げ部26を形成してある。
【0062】
逃げ部26は、図8(a)のように、接続ねじ6と接触しない程度に接続ねじ6の頭部よりも直径の大きい透孔、あるいは、図8(b)のように、接続ねじ6と接触しない程度に接続ねじ6の頭部よりも開口幅の広い切欠の形で形成してある。ここで、透孔は全周が周壁で囲まれている形状を意味し、切欠は周壁の一部が開放されている形状を意味している。図8(b)に切欠として示す逃げ部26は、カバー基板12の長手方向の一端面に開放されているが、幅方向の側面に開放された形状を採用することも可能である。
【0063】
支持基台となるヘッダ3にパッケージ1を取り付ける構造は実施形態1と同様であり、紫外線発光ダイオード2を直列に接続するには、図9に示すように、隣接するパッケージ1のベース基板11とカバー基板12との間を接続板5を介して接続する。ここで、実施形態1において示した配置では、隣接するパッケージ1において接続板5のベース側片5aを配置する部位にカバー基板12が存在していないから、ベース側片5aが接続されるパッケージ1に設けたカバー基板12とベース側片5aとの絶縁についてとくに考慮する必要がないが、本実施形態では、ベース側片5aとカバー基板12の一部とが重複するから、両者間の絶縁を考慮する必要がある。
【0064】
そのため、ベース基板11とカバー基板12との間の隙間の寸法をベース側片5aの厚み寸法よりも大きくするとともに、隣接するパッケージ1の間でカバー基板12の間の隙間の寸法を連結片5cの厚み寸法よりも大きくすることが要求される。ベース基板11とカバー基板12との間の隙間の寸法は、絶縁材層13(図3、図4参照)の厚み寸法により確保する。また、隣り合うカバー基板12の間の隙間の寸法は、ヘッダ3に取り付けた状態において隣接するパッケージ1の間の距離を大きくするか、ベース基板11の幅寸法よりもカバー基板12の幅寸法を小さくすることによって確保する。
【0065】
上述した構成によって、実施形態1と同様に、隣接するパッケージ1のベース基板11とカバー基板12とを接続板5を介して電気的に接続することができる。また、逃げ部26を設けていることにより、金属製の接続ねじ6を用いても同一のパッケージ1においてベース基板11とカバー基板12とが短絡されることがなく、実施形態1と同様に、紫外線発光ダイオード2を直列に接続することができる。他の構成および動作は実施形態1と同様である。
【0066】
(実施形態4)
本実施形態は、紫外線発光ダイオード2を並列に接続する場合の構成例である。上述した実施形態では、ベース基板11にベース側接続孔21を形成しているが、本実施形態では、ベース側接続孔21を形成していない。したがって、ベース基板11の長手方向における寸法を上述した各実施形態よりも短くすることが可能になっている。ただし、カバー基板12にはカバー側接続孔22(図4参照)を設けてある。
【0067】
図10に示すように、支持基台となるヘッダ3にパッケージ1を取り付けるにあたっては、実施形態1と同様に、ベース基板11の長手方向の両端部に設けた取付孔18に取付ねじ19を挿通し、取付ねじ19をヘッダ3に螺合させる。ヘッダ3にパッケージ1を取り付けるにあたっては、カバー側接続孔22がヘッダ3の長手方向の一直線上に並ぶように配置する。
【0068】
本実施形態では、ヘッダ3に取り付けた紫外線発光ダイオード2を並列に接続するから、隣接して配置したパッケージ1のベース基板11を互いに接続するために、第2の接続用導体として帯板状に形成された接続板9をベース基板11の前面に重ね、ベース基板11とともに接続板9にも取付ねじ19を挿通し、ベース基板11をヘッダ3に固定すると同時に接続板9をベース基板11に接続する構成を採用している。
【0069】
この構成により、ベース基板11の固定と接続板9の接続とを一括して行うことができ、実施形態1の構成のように、接続板9をベース基板11に接続するためのベース側接続孔21を形成する必要がなく、ベース基板11の小型化につながるとともに、接続ねじ6が不要になりことで部品点数の削減につながる。
【0070】
隣接して配置されたパッケージ1のカバー基板12は、第1の接続用導体として帯板状に形成された接続板10をカバー基板12の前面に重ね、カバー側接続孔22に螺合する接続ねじ6を接続板10に挿通することによって、互いに電気的に接続される。
【0071】
上述した構成により、ヘッダ3に搭載されたパッケージ1のベース基板11同士が接続板9を介して電気的に接続され、またカバー基板12同士が接続板10を介して電気的に接続されるから、紫外線発光ダイオード2を並列に接続することができる。なお、本実施形態では、紫外線発光ダイオード2を並列に接続するから、ベース基板11同士とカバー基板12同士とは互いに接触してもよい。
【0072】
図10に示した構成は、ヘッダ3が金属材料の場合に限らず合成樹脂やセラミックスのような絶縁材料によりヘッダ3が形成されている場合でも採用可能である。ヘッダ3が導電性の金属材料により形成されている場合には、ベース基板11同士を電気的に接続する接続板9を省略することが可能である。すなわち、図11に示すように、ベース基板11をヘッダ3に直接接触させた状態で取付ねじ18を用いて固定すると、ヘッダ3に配置したパッケージ1のベース基板11同士がヘッダ3を介して電気的に接続されるから、接続板9が不要になり、部品点数の削減につながる。また、ベース基板11が金属材料のヘッダ3に直接接触するから、ヘッダ3による放熱効果が高くなる。
【0073】
本実施形態で用いる接続板9,10は直線状の帯板であればよく、形状が簡単であるとともに、1個のヘッダ3に対して接続板9,10を1枚ずつ用意すればよいから、部品点数が少なくなる。他の構成および動作は実施形態1と同様である。
【符号の説明】
【0074】
1 パッケージ
2 紫外線発光ダイオード(半導体素子)
3 ヘッダ(支持基台)
5 接続板(第1の接続用導体)
5a ベース側片
5b カバー側片
5c 連結片
5d 貫通孔
6 接続ねじ
7 接続片(第1の接続用導体)
7a 貫通孔
8 接続ねじ
9 接続板(第2の接続用導体)
11 ベース基板
12 カバー基板
13 絶縁材層
18 取付孔
19 取付ねじ
21 ベース側接続孔
22 カバー側接続孔
25 当接面
31 取付面
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体素子を収納する金属製のパッケージと、複数個のパッケージを電気的に接続して構成される半導体装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
一般に、複数個の同種の半導体デバイスを直列あるいは並列に接続するには、半導体デバイスの端子同士を接続するリード線が用いられるか、半導体デバイスを実装する印刷配線基板に形成した接続用の導電パターンが用いられている。
【0003】
また、半導体素子を収納したパッケージに複数個の端子を直線状に配置した連結部を設けておき、ハーネス等を用いて端子同士を連結する技術も提案されている(たとえば、特許文献1参照)。
【特許文献1】特開2007−109879号公報(段落番号0016)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、多数個の半導体デバイスをリード線を用いて接続すると、結線作業に手間がかかる上に誤接続の可能性が高くなるという問題がある。また、印刷配線基板を用いると誤結線の可能性は低減されるが、印刷配線基板の導電パターンを加工する工程が必要になり、工数が増加するという問題を生じる。
【0005】
特許文献1に記載の技術を採用すれば、誤接続の可能性は少ないが、個々のパッケージにハーネスと接続するための端子を備えた連結部を形成する必要があり、製造時の工数が大幅に増加するという問題を生じる。
【0006】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、製造時の工数の増加が少なく、しかも多数個を電気的に接続する際に配置の誤りの有無を容易に確認できるようにして誤接続を防止することができるパッケージおよび半導体装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
請求項1の発明は、半導体素子を収納し複数個が支持基台の取付面に並べて取り付けられるパッケージであって、支持基台に取り付けられ半導体素子の一つの電極が電気的に接続された金属板からなるベース基板と、ベース基板の厚み方向の一面に積層され半導体素子の他の電極が電気的に接続された金属板からなるカバー基板とを有し、前記ベース基板は、隣接するベース基板に積層されている前記カバー基板に電気的に接続された第1の接続用導体の一端部に挿通される第2の接続ねじが螺合するベース側接続孔を有し、カバー基板は、ベース基板が前記支持基台上で並ぶ方向に沿ったベース基板の中心線に対して非対称の形状でありかつ当該中心線を跨ぐ形に配置されており、ベース側接続孔は当該中心線に対して一側に形成されていることを特徴とする。
【0008】
請求項2の発明では、請求項1の発明において、前記カバー基板は、前記中心線を挟んだ各一端縁と中心線との距離が互いに異なるとともに、前記ベース基板においてカバー基板と重複していない部位に前記ベース側接続孔を形成していることを特徴とする。
【0009】
請求項3の発明では、請求項1の発明において、前記カバー基板は、前記ベース側接続孔に重複する部位に前記第2の接続ねじと接触しないサイズに切欠した逃げ部を備えることを特徴とする。
【0010】
請求項4の発明では、請求項1〜3のいずれかの発明において、前記カバー基板は、前記中心線に対して前記ベース用接続孔の反対側に第1の接続用導体に挿通された第1の接続ねじが螺合するカバー側接続孔を有していることを特徴とする。
【0011】
請求項5の発明では、請求項1〜4のいずれかの発明において、前記半導体素子は、発光ダイオードであることを特徴とする。
【0012】
請求項6の発明は、請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、支持基台が導電性の金属材料により形成され、前記ベース基板が支持基台と電気的に接続されていることを特徴とする。
【0013】
請求項7の発明は、請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、支持基台が絶縁材料により形成されていることを特徴とする。
【0014】
請求項8の発明は、請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記中心線を一致させる形で前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、隣接するパッケージは前記中心線に対する前記カバー基板の位置が交互に入れ替わるように配置されていることを特徴とする。
【0015】
請求項9の発明では、請求項8の発明において、前記第1の接続用導体は、前記カバー基板に取り付けられる接続板であり、ベース基板の前面に重複するベース側片と、カバー基板の前面に重複するカバー側片と、ベース側片とカバー側片とを連結する連結片とを備えることを特徴とする。
【0016】
請求項10の発明では、請求項8の発明において、前記第1の接続用導体は、前記カバー基板に連続一体に形成された接続片であり、接続片の先端部がベース基板の前面に重複することを特徴とする。
【発明の効果】
【0017】
請求項1の発明の構成によれば、半導体素子の電極に電気的に接続されたベース基板とカバー基板とを積層してあり、パッケージを構成するベース基板とカバー基板とが半導体素子の2つの電極にそれぞれ接続されているから、別途に端子を設ける構成に比較すると構成が簡単であり、製造時の工数の増加が少なく、しかもパッケージが金属板により形成されるから、放熱性能が高くパワー素子に対応することができる。
【0018】
また、ベース基板が半導体素子の一方の電極に接続され、カバー基板が半導体素子の他方の電極に接続されているから、支持基台に並べたパッケージを直列接続する場合には、隣接する各一対のパッケージの一方のベース基板と他方のカバー基板とを電気的に接続すればよく、また支持基台に並べたパッケージを並列接続する場合には、ベース基板同士とカバー基板同士とをそれぞれ電気的に接続すればよく、いずれの場合も一見して誤接続を発見することができるから、誤接続の防止につながる。
【0019】
さらに、支持基台に取り付けられるベース基板にカバー基板を積層しているから、支持基台の取付面に複数個を並べて取り付けることにより長尺化することが容易であり、しかも、隣接するベース基板の間に隙間を形成することなく支持基台に並べることで、半導体素子を高密度に配置することができる。したがって、半導体素子が発光ダイオードのような発光素子である場合に長尺の発光源を容易に形成することができ、しかも隣接する発光ダイオード間の間隔を小さくすることによって発光源の長手方向における輝度むらを抑制することが可能になる。
【0020】
加えて、半導体素子の電極に電気的に接続されたベース基板とカバー基板とを積層してあり、パッケージを支持基台に並べて配置する際にベース基板が並ぶ方向に沿ったベース基板の中心線に対して非対称になるようにカバー基板が配置された構成を採用しているから、パッケージを支持基台に並設したときにカバー基板の位置によって配置の誤りの有無を一見して知ることができる。しかも、隣接するパッケージの一方のカバー基板に電気的に接続された第1の接続用導体の一端部を接続ねじによりベース基板に結合するから、パッケージの配置に誤りがなければパッケージ間の誤接続も防止される。その上、隣接するパッケージの電気的接続とともに機械的結合がなされる。加えて、パッケージを構成するベース基板とカバー基板とが半導体素子の2つの電極にそれぞれ接続されているから、別途に端子を設ける構成に比較すると構成が簡単であり、製造時の工数の増加が少なく、しかもパッケージが金属板により形成されるから、放熱性能が高くパワー素子に対応することができる。
【0021】
請求項2の発明の構成によれば、カバー基板がベース基板に対して非対称に配置されるから、ベース基板の中心線を挟んだ一端側ではカバー基板と重複する部分が多く、他端側ではカバー基板と重複せずにベース基板が露出している部分が多くなるから、外観によって取付向きを容易に確認することができる。すなわち、ベース基板とカバー基板とを他部材と電気的に接続するに際して、他部材との誤接続を発見しやすくなる。しかも、ベース基板においてカバー基板と重複していない部位にベース側接続孔を形成しているから、ベース基板の露出量が多い端部においてベース側接続孔を形成することで、ベース側接続孔に螺合する第2の接続ねじとカバー基板との距離を大きくとることができ電気的絶縁が容易になる。
【0022】
請求項3の発明の構成によれば、カバー基板においてベース側接続孔に重複する部位に、第2の接続ねじと接触しないサイズに切欠した逃げ部を形成しているから、第2の接続ねじがカバー基板に接触することがなく、第2の接続ねじに絶縁材料を用いることなくベース基板とカバー基板との短絡を防止することができる。
【0023】
請求項4の発明の構成によれば、ベース基板にベース側接続孔を形成するとともに、カバー基板にカバー側接続孔を形成し、ベース側接続孔とカバー側接続孔とをベースの中心線に対して互いに反対側に形成しているから、支持基台に並べて取り付けた状態で隣接するパッケージのベース基板とカバー基板とを交互に電気的に接続する第1の接続用導体を簡単に取り付けることができる。すなわち、第1の接続用導体の一端部を第2の接続ねじでベース基板に接続し、第1の接続用導体の他端部を第1の接続ねじでカバー基板に接続することによって、隣接するパッケージを直列に接続することができる。また、ベース基板同士とカバー基板同士とをそれぞれ電気的に接続するように第1の接続用導体を設けることによって、隣接するパッケージを並列に接続することも可能である。
【0024】
請求項5の発明の構成によれば、発光ダイオードのパッケージとして金属製のパッケージを用いるから、放熱効率を高めて発光ダイオードの温度上昇を抑制することができ、発光ダイオードを用いた高出力の光源を得ることができる。すなわち、発光ダイオードは温度が上昇すると発光効率が低下するが、放熱効率の高いパッケージを用いているから、大電流を流しても温度上昇を抑制することができ、発光効率を維持して高出力で点灯させることが可能になる。
【0025】
請求項6の発明の構成によれば、導電性の金属材料により形成した支持基台にベース基板を電気的に接続しているから、ベース基板の電気的接続を支持基台によって行うことができる。つまり、パッケージを並列に接続するにあたって隣接するベース基板を電気的に接続するために別途の導体を用いる必要がなく、部品点数の削減につながる。また、この構成は、パッケージを並列に接続する場合にしか利用できないが、ベース側接続孔が不要であるから、ベース基板の小型化にもつながる。また、ベース基板が支持基台に直接接触するから、支持基台による放熱効果も期待できる。
【0026】
請求項7の発明の構成によれば、絶縁材料の支持基台を用いているから、隣接するパッケージ間の電気的な接続関係を自由に選択することができる。
【0027】
請求項8の発明の構成によれば、隣接するパッケージにおけるベース基板の中心線を一致させて配列するとともに、ベース基板の中心線に対するカバー基板の位置が交互に入れ替わるように配置しているから、隣接するパッケージ間においてベース基板とカバー基板とを正面視直線状の第1の接続用導体を用いて接続するだけで、半導体素子を直列に接続することができる。つまり、短い第1の接続用導体を用いて半導体素子の間を接続することができるから、第1の接続用導体による電流損失を抑制することができる上に、誤結線を抑制することができる。しかも、カバー基板の位置を目視するだけでパッケージの配列の正否を確認することができるから、組立時の誤配置を防止することができる。
【0028】
請求項9の発明の構成によれば、第1の接続用導体がパッケージとは別体であるから、パッケージの形状を単純化することができる。
【0029】
請求項10の発明の構成によれば、第1の接続用導体がパッケージと一体であるから、接続ねじ以外の別途の部材が不要である上に、1本の接続ねじを用いるだけで隣接する一対のパッケージ間の電気的接続が可能であるから、接続作業が容易である。
【図面の簡単な説明】
【0030】
【図1】実施形態1の使用例を示す分解斜視図である。
【図2】同上の使用例を示す正面図である。
【図3】同上の使用例を示す断面図である。
【図4】同上を示し、(a)は前面側の斜視図、(b)は背面側の斜視図である。
【図5】同上を示し、(a)は正面図、(b)は背面図、(c)は側面図である。
【図6】実施形態2の使用例を示す斜視図である。
【図7】同上の使用例を示す正面図である。
【図8】(a)(b)は実施形態3を示す斜視図である。
【図9】同上の使用例を示す斜視図である。
【図10】実施形態4の使用例を示す斜視図である。
【図11】同上の他の使用例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0031】
(実施形態1)
以下に説明するパッケージは、半導体素子として紫外線発光ダイオードを収納する場合を例として説明する。ただし、発光波長領域が紫外線領域である発光ダイオードだけではなく、発光波長領域が可視光領域である発光ダイオードに本発明の構成を適用してもよい。
【0032】
図3ないし図5に示すように、パッケージ1は、紫外線発光ダイオード2を載設した金属板からなる矩形板状のベース基板11と、ベース基板11においてベアチップである紫外線発光ダイオード2を載設した部位の周囲を囲む金属板からなる矩形板状のカバー基板12と、ベース基板11とカバー基板12との間に介装されベース基板11とカバー基板12とを絶縁する絶縁材層13とを積層した積層体として構成される。ベース基板11とカバー基板12とには、熱伝導率および電気伝導率の大きい材料を用いるのが望ましいから、銅単体または銅系合金を用いる。絶縁材層13には、絶縁性の高い合成樹脂材料が用いられる。
【0033】
図3に示すように、紫外線発光ダイオード2の一方の電極(アノード)は、ベース基板11にダイボンドにより直接接続され、紫外線発光ダイオード2の他方の電極(カソード)は、カバー基板12に対してワイヤボンドにより接続される。つまり、紫外線発光ダイオード2の一方の電極はベース基板11に電気的に接続され、他方の電極はカバー基板12に電気的に接続される。
【0034】
カバー基板12にはベース基板11に載設された紫外線発光ダイオード2を露出させるように露出孔14が貫設される。露出孔14の内周面はベース基板11からの距離が大きくなるほど露出孔14の内径を広げるように傾斜している。また、露出孔14には外周面が凸曲面(たとえば、球面状)である投光レンズ15が装着される。したがって、紫外線発光ダイオード2は、ベース基板11とカバー基板12と投光レンズ15とにより囲まれた密閉空間内に収納され、湿度などの環境の影響から遮断される。なお、投光レンズ15の位置や特性、あるいは露出孔14の内周面の傾斜角度や反射率を調節することにより、紫外線発光ダイオード2から放射された光の配光を制御することができる。
【0035】
パッケージ1は、ヒートシンクを兼ねており、ベース基板11の背面(カバー基板12を積層した面の反対面)には、それぞれ円形に開口した一対の流通口16が開口し、ベース基板11の内部には両流通口16の間を連通させる流路17が形成される。流路17は、ベース基板11において紫外線発光ダイオード2が載設されている部位の近傍を通るように形成され、流路17の中を通る冷却用流体と紫外線発光ダイオード2との熱的な結合度を高めてある。冷却用流体は、水を用いることができるが、常温で液体であって比熱が1に近い材料であれば水以外の液体を用いることができる。
【0036】
図5に示すように、本例では、投光レンズ15の正面から見て、ベース基板11とカバー基板12とはともに長方形状であって略同幅に形成してある。ただし、ベース基板11とカバー基板12とは長さ寸法が異なっており、ベース基板11のほうがカバー基板12よりも長寸に形成されている。また、ベース基板11の長手方向の中心とカバー基板12の長手方向の中心とは位置が異なっている。言い換えると、カバー基板12の長手方向の一端部は、ベース基板11の長手方向の一方に延長されている。投光レンズ15の中心は、ベース基板11の長手方向の中心と一致している。両流通口16は、ベース基板11の長手方向に離間して形成されている。
【0037】
ベース基板11の長手方向の両端部にはそれぞれ取付孔18が形成される。さらに、ベース基板11にはねじ孔であるベース側接続孔21が形成され、カバー基板12にはねじ孔であるカバー側接続孔22が形成される。ベース側接続孔21とカバー側接続孔22とは、ベース基板11の長手方向における中心と各取付孔18との間に位置しており、ベース基板11の長手方向における中心からベース側接続孔21までの距離とカバー側接続孔22までの距離とは等距離になっている。ベース側接続孔21とカバー側接続孔22とは紫外線発光ダイオード2を他部材に電気的に接続するために設けられている。
【0038】
したがって、投光レンズ15の正面から見て、取付孔18とベース側接続孔21とカバー側接続孔22と投光レンズ15とは、ベース基板11の幅方向に沿った中心線に対して対称に位置する。一方、カバー基板12は、ベース基板11の幅方向に沿った中心線に対して非対称に位置し、当該中心線を跨ぐ形に配置されており、当該中心線からカバー基板12の長手方向のの一方の端部までの距離と他方の端部までの距離とが異なっている。つまり、ベース基板11の長手方向の一端部では取付孔18が露出する部位を除いて大部分がカバー基板12に覆われ、ベース基板11の長手方向の他端部では取付孔18とベース側接続孔21とが露出するようにカバー基板12が重複する。また、カバー基板12はベース基板11に積層されており、ベース側接続孔21はベース基板11に形成され、カバー側接続孔22はカバー基板12に形成されているから、ベース基板11の厚み方向におけるベース側接続孔21とカバー側接続孔22との開口面の高さ位置は異なっている。
【0039】
ところで、各流通口16の周囲には、それぞれ円形に開口した凹所23,24が形成される。つまり、各流通口16は、それぞれ凹所23,24の内底面に開口し、各流通口16は各凹所23,24とそれぞれ同心上に形成される。
【0040】
上述したパッケージ1を使用するにあたっては、図1、図2、図3に示すように、冷却用流体を通すヘッダ3に結合する。ヘッダ3は、パッケージ1を並べて取り付ける支持基台として機能するものであり、金属材料からなる支持台3aと絶縁材料からなるスペーサ3bとを結合ねじ3cにより固着して形成されている。結合ねじ3cは、支持台3aを通してスペーサ3bに螺合する。ただし、ヘッダ3は、この形状に限定されるものではなく、パッケージ1を結合する取付面31が平面であれば、断面形状はとくに制限されない。
【0041】
ヘッダ3の内部には、冷却用流体を通す供給路32と排出路33とが形成され、ヘッダ3における取付面31の適所には、供給路32と排出路33とにそれぞれ連通した供給口34と排出口35とが開口する。なお、図1ではスペーサ3bを省略して簡略に表記している。
【0042】
供給口34および排出口35はそれぞれ円形に開口するとともに、開口径は上述した流通口16の開口径に略一致する。また、供給口34と排出口35との距離は、パッケージ1に設けた両流通口16の間の距離と等しくしてある。供給口34および排出口35の組は、ヘッダ3に複数組(たとえば、10個)形成される。
【0043】
パッケージ1をヘッダ3に結合するには、ベース基板11において一対の流通口16が開口している当接面25をヘッダ3の取付面31に当接させ、取付孔18を通して取付ねじ19をヘッダ3に螺合させる。このとき、ヘッダ3の取付面31に開口する一組の供給口34および排出口35の口軸が1個のパッケージ1の各流通口16の口軸に一致する。各凹所23,24の中に、それぞれゴム弾性を有した円環状のOリング4を装着しておき、凹所23,24の内底面とヘッダ3の取付面31との間でOリング4を圧縮する形で、パッケージ1をヘッダ3に結合することにより、供給口34および排出口35と各流通口16とを隙間なく結合する。
【0044】
パッケージ1における両流通口16とヘッダ3における供給口34および排出口35とを連結する構造は、ヘッダ3において支持台3aとスペーサ3bとの間にも用いられる。すなわち、供給路32および排出路33は、支持台3aとスペーサ3bとの間で連通していなければならないから、支持台3aとスペーサ3bとにおいて、供給路32および排出路33を結合する部位では、図3に示すように、支持台3aに凹所36を形成し、凹所36内に配置した円環状のOリング37を、支持台3aとスペーサ3bとの間に挟むことにより圧縮する。
【0045】
ところで、上述したパッケージ1は、ベース基板11とカバー基板12とがそれぞれ紫外線発光ダイオード2の電極に電気的に接続されているから、ベース基板11とカバー基板12とが半導体デバイスの電極として機能する。発光ダイオードを内蔵したこの種の半導体デバイスを高電力で用いる場合には、複数個の半導体デバイスを直列に接続して用いることが多い。
【0046】
本例の構成では、半導体デバイスを直列に接続する場合には、以下のように配置する。すなわち、図1、図2に示すように、ベース基板11の幅方向に沿った中心線を一致させるようにベース基板11をヘッダ3に結合し、かつベース基板11の幅方向において隣接するパッケージ1を前記中心線に対してカバー基板12の位置が交互に入れ替わるように配置する。また、隣接する一対のパッケージ1の一方のベース基板11と他方のカバー基板12とを第1の接続用導体である接続板5を介して電気的に接続する。ここで、隣接するパッケージ1においてベース基板11同士が互いに接触せず、かつカバー基板12同士が互いに接触することがないように、隣接するパッケージ1の間には電気的絶縁を確保できる程度の隙間を形成するか絶縁材料で形成された絶縁シートを挟装する。
【0047】
接続板5は、ベース基板11の前面に重なるベース側片5aと、カバー基板12の前面に重なるカバー側片5bと、べース基板11とカバー基板12との前面の段差に相当する長さ寸法を有しベース側片5aとカバー側片5bとを互いに連結する連結片5cとを連続一体に備える。接続板5は、銅あるいは銅系合金により短冊状に形成された金属板を折曲することにより形成される。接続板5のベース側片5aとカバー側片5bとには、それぞれ貫通孔5dが形成される。
【0048】
上述した形状の接続板5を用いてベース基板11とカバー基板12とを電気的に接続するには、接続板5のベース側片5aとカバー側片5bとをそれぞれベース基板11とカバー基板12との前面に重ね、各貫通孔5dを通してベース側接続孔21とカバー側接続孔22とにそれぞれ接続ねじ6を螺合させる。
【0049】
接続板5を用いて隣接するパッケージ1を接続することにより、隣接するパッケージ1においてベース基板11とカバー基板12とが互いに接続され、結果的に複数個のパッケージ1において紫外線発光ダイオード2を直列に接続することができる。しかも、パッケージ1を配列している方向に沿ったベース基板11の中心線に対して、カバー基板12の位置が(図1、図2の上下方向において)交互に入れ替わるようにパッケージ1を配置することによって、左右に隣接するベース側接続孔21とカバー側接続孔22との間を接続する程度の簡単な形状の接続板5を用いるだけで、直列に接続することができる。さらに、カバー基板12の位置関係によって一見して誤配置を見極めることができるから、誤接続の可能性が低減される。
【0050】
なお、上述の例ではパッケージ1のベース基板11においてカバー基板12とは反対側の面を当接面25としているが、ベース基板11においてカバー基板12を設けた面に隣接する面を当接面25とすることも可能である。たとえば、ベース基板11における長手方向の一端面を当接面25として、流通口16をこの面に設けてもよい。また、2個の流通口16を1面に並べて設けるのではなく、ベース基板11における長手方向の各端面にそれぞれ流通口16を設け、ヘッダ3を各流通口16に対応付けて2本設けてもよい。さらに、上述の例では凹所23,24をパッケージ1に設けているが、凹所23,24をヘッダ3に設けてもよく、凹所23,24をパッケージ1とヘッダ3との両方に設けることも可能である。
【0051】
なお、上述の例では、パッケージ1に収納された紫外線発光ダイオード2を直列に接続する場合を例として説明したが、並列に接続する場合には、ベース基板11の幅方向に沿った中心線に対して各パッケージ1におけるカバー基板12の位置を揃え、配列したパッケージ1の全体に跨る第1の接続用導体(帯板状の金属板)に接続すればよい。また、この場合は隣接するパッケージ1においてベース基板11同士が接触してよく、またカバー基板12同士も接触してよいから、直列に接続する場合よりもパッケージ1の配列密度を高くすることが可能である。
【0052】
さらに、ヘッダ3として、金属材料からなる支持台3aと絶縁材料からなるスペーサ3bとを用いる代わりに、ヘッダ3の全体を合成樹脂やセラミックスのような絶縁材料により形成することも可能である。
【0053】
上述したように、本実施形態では、半導体素子である紫外線発光ダイオード2の電極が金属板からなるベース基板11とカバー基板12とであって、別途に端子を設ける構成に比較すると構成が簡単であり、製造時の工数の増加が少なくなる。また、パッケージ1が金属板により形成されるから、高輝度の紫外線発光ダイオード2のようなパワー素子に用いる場合でも放熱性を確保し、結果的に温度上昇による輝度低下を抑制することができる。
【0054】
また、ベース基板11とカバー基板12とにより紫外線発光ダイオード2の各電極を形成してあり、ベース基板11とカバー基板12とは矩形板状に形成され、かつヘッダ3に取り付けられるベース基板11の厚み方向にカバー基板12が積層されているから、ヘッダ3の取付面に複数個を並べて取り付けることにより長尺化が容易になり、紫外線や可視光の線光源を任意寸法で形成することが可能になる。また、隣接するパッケージ1の間隔を小さくすることができるから、ヘッダ3の長手方向における輝度むらの小さい線光源を提供することができる。
【0055】
さらにまた、パッケージ1はベース基板11に挿通される取付ねじ19でヘッダ3に固定され、電極の接続に関して半田接続が不要であるから、ベース基板11のヘッダ3に対する固定強度を高くすることができる上にメンテナンスのための着脱が容易になる。
【0056】
(実施形態2)
実施形態1では、パッケージ1とは別体である接続板5を用いてベース基板11とカバー基板12との間の電気的接続を行う例を示したが、本例は接続板5に代えて、図6、図7に示すように、カバー基板12から連続一体に延設した接続片7を第1の接続用導体に用いてカバー基板12とベース基板11とを接続している。すなわち、ベース基板11の長手方向において、ベース基板11の長手方向の中心位置から遠いほうのカバー基板12の一端部の一方の側面から、ベース基板11の幅方向に接続片7を延設している。本例では、カバー基板12にはカバー側接続孔22を形成しておらず、接続片7の先端部に貫通孔7aを形成してある。
【0057】
半導体デバイスを直列に接続するには、ベース基板11の幅方向において複数個のパッケージ1を並設し、カバー基板12から延設した接続片7を隣接するパッケージ1のベース基板11に重ね合わせ、さらに、接続片7の先端部に設けた貫通孔7aを通して接続ねじ8をベース基板11のベース側接続孔21に螺合させる。つまり、隣接するパッケージ1のうちの一方のカバー基板12に設けた接続片7が他方のベース基板11に電気的に接続され、2個のパッケージが直列に接続される。
【0058】
上述の接続を繰り返すことによって、複数個のパッケージ1を直列に接続することが可能になる。ここにおいて、実施形態1と同様に、カバー基板12の位置を交互に入れ替わるように配置することが必要があるが、カバー基板12の位置が異なっていても接続片7が突出する向きを同じにする必要があるから、カバー基板12に対する接続片7の位置の異なる2種類のパッケージ1が必要である。
【0059】
2種類のパッケージ1をベース基板11の幅方向において交互に配置することにより、隣接するパッケージ1を直列に接続することができる。また、カバー基板12に延設した接続片7をベース基板11の前面に重ねるから、絶縁材層13の厚み寸法分だけベース基板11から接続片7が離れることになる。絶縁材層13の厚み寸法は微小であるから、とくに問題にはならないが、接続片7に応力が生じることになる。
【0060】
接続片7に応力が生じるのを防止するには、接続片7とベース基板11との間に絶縁材層13と厚み寸法の等しい導電性材料からなるスペーサを介装するか、接続片7の中間部に段差部を形成すればよい。他の構成および動作は実施形態1と同様である。
【0061】
(実施形態3)
上述した実施形態では、ベース基板11の幅方向に沿った中心線からカバー基板12の長手方向の各端部までの距離が異なる形状を例示したが、本実施形態では、図8に示すように、ベース基板11の幅方向に沿った中心線とカバー基板12の幅方向に沿った中心線とが略一致しており、ベース基板11の上記中心線からカバー基板12の長手方向の各端部までの距離が略等しくなっている。ただし、この構成ではカバー基板12がベース側接続孔21を覆うことになるから、カバー基板12には、ベース側接続孔12を露出させるための逃げ部26を形成してある。
【0062】
逃げ部26は、図8(a)のように、接続ねじ6と接触しない程度に接続ねじ6の頭部よりも直径の大きい透孔、あるいは、図8(b)のように、接続ねじ6と接触しない程度に接続ねじ6の頭部よりも開口幅の広い切欠の形で形成してある。ここで、透孔は全周が周壁で囲まれている形状を意味し、切欠は周壁の一部が開放されている形状を意味している。図8(b)に切欠として示す逃げ部26は、カバー基板12の長手方向の一端面に開放されているが、幅方向の側面に開放された形状を採用することも可能である。
【0063】
支持基台となるヘッダ3にパッケージ1を取り付ける構造は実施形態1と同様であり、紫外線発光ダイオード2を直列に接続するには、図9に示すように、隣接するパッケージ1のベース基板11とカバー基板12との間を接続板5を介して接続する。ここで、実施形態1において示した配置では、隣接するパッケージ1において接続板5のベース側片5aを配置する部位にカバー基板12が存在していないから、ベース側片5aが接続されるパッケージ1に設けたカバー基板12とベース側片5aとの絶縁についてとくに考慮する必要がないが、本実施形態では、ベース側片5aとカバー基板12の一部とが重複するから、両者間の絶縁を考慮する必要がある。
【0064】
そのため、ベース基板11とカバー基板12との間の隙間の寸法をベース側片5aの厚み寸法よりも大きくするとともに、隣接するパッケージ1の間でカバー基板12の間の隙間の寸法を連結片5cの厚み寸法よりも大きくすることが要求される。ベース基板11とカバー基板12との間の隙間の寸法は、絶縁材層13(図3、図4参照)の厚み寸法により確保する。また、隣り合うカバー基板12の間の隙間の寸法は、ヘッダ3に取り付けた状態において隣接するパッケージ1の間の距離を大きくするか、ベース基板11の幅寸法よりもカバー基板12の幅寸法を小さくすることによって確保する。
【0065】
上述した構成によって、実施形態1と同様に、隣接するパッケージ1のベース基板11とカバー基板12とを接続板5を介して電気的に接続することができる。また、逃げ部26を設けていることにより、金属製の接続ねじ6を用いても同一のパッケージ1においてベース基板11とカバー基板12とが短絡されることがなく、実施形態1と同様に、紫外線発光ダイオード2を直列に接続することができる。他の構成および動作は実施形態1と同様である。
【0066】
(実施形態4)
本実施形態は、紫外線発光ダイオード2を並列に接続する場合の構成例である。上述した実施形態では、ベース基板11にベース側接続孔21を形成しているが、本実施形態では、ベース側接続孔21を形成していない。したがって、ベース基板11の長手方向における寸法を上述した各実施形態よりも短くすることが可能になっている。ただし、カバー基板12にはカバー側接続孔22(図4参照)を設けてある。
【0067】
図10に示すように、支持基台となるヘッダ3にパッケージ1を取り付けるにあたっては、実施形態1と同様に、ベース基板11の長手方向の両端部に設けた取付孔18に取付ねじ19を挿通し、取付ねじ19をヘッダ3に螺合させる。ヘッダ3にパッケージ1を取り付けるにあたっては、カバー側接続孔22がヘッダ3の長手方向の一直線上に並ぶように配置する。
【0068】
本実施形態では、ヘッダ3に取り付けた紫外線発光ダイオード2を並列に接続するから、隣接して配置したパッケージ1のベース基板11を互いに接続するために、第2の接続用導体として帯板状に形成された接続板9をベース基板11の前面に重ね、ベース基板11とともに接続板9にも取付ねじ19を挿通し、ベース基板11をヘッダ3に固定すると同時に接続板9をベース基板11に接続する構成を採用している。
【0069】
この構成により、ベース基板11の固定と接続板9の接続とを一括して行うことができ、実施形態1の構成のように、接続板9をベース基板11に接続するためのベース側接続孔21を形成する必要がなく、ベース基板11の小型化につながるとともに、接続ねじ6が不要になりことで部品点数の削減につながる。
【0070】
隣接して配置されたパッケージ1のカバー基板12は、第1の接続用導体として帯板状に形成された接続板10をカバー基板12の前面に重ね、カバー側接続孔22に螺合する接続ねじ6を接続板10に挿通することによって、互いに電気的に接続される。
【0071】
上述した構成により、ヘッダ3に搭載されたパッケージ1のベース基板11同士が接続板9を介して電気的に接続され、またカバー基板12同士が接続板10を介して電気的に接続されるから、紫外線発光ダイオード2を並列に接続することができる。なお、本実施形態では、紫外線発光ダイオード2を並列に接続するから、ベース基板11同士とカバー基板12同士とは互いに接触してもよい。
【0072】
図10に示した構成は、ヘッダ3が金属材料の場合に限らず合成樹脂やセラミックスのような絶縁材料によりヘッダ3が形成されている場合でも採用可能である。ヘッダ3が導電性の金属材料により形成されている場合には、ベース基板11同士を電気的に接続する接続板9を省略することが可能である。すなわち、図11に示すように、ベース基板11をヘッダ3に直接接触させた状態で取付ねじ18を用いて固定すると、ヘッダ3に配置したパッケージ1のベース基板11同士がヘッダ3を介して電気的に接続されるから、接続板9が不要になり、部品点数の削減につながる。また、ベース基板11が金属材料のヘッダ3に直接接触するから、ヘッダ3による放熱効果が高くなる。
【0073】
本実施形態で用いる接続板9,10は直線状の帯板であればよく、形状が簡単であるとともに、1個のヘッダ3に対して接続板9,10を1枚ずつ用意すればよいから、部品点数が少なくなる。他の構成および動作は実施形態1と同様である。
【符号の説明】
【0074】
1 パッケージ
2 紫外線発光ダイオード(半導体素子)
3 ヘッダ(支持基台)
5 接続板(第1の接続用導体)
5a ベース側片
5b カバー側片
5c 連結片
5d 貫通孔
6 接続ねじ
7 接続片(第1の接続用導体)
7a 貫通孔
8 接続ねじ
9 接続板(第2の接続用導体)
11 ベース基板
12 カバー基板
13 絶縁材層
18 取付孔
19 取付ねじ
21 ベース側接続孔
22 カバー側接続孔
25 当接面
31 取付面
【特許請求の範囲】
【請求項1】
半導体素子を収納し複数個が支持基台の取付面に並べて取り付けられるパッケージであって、支持基台に取り付けられ半導体素子の一つの電極が電気的に接続された金属板からなるベース基板と、ベース基板の厚み方向の一面に積層され半導体素子の他の電極が電気的に接続された金属板からなるカバー基板とを有し、前記ベース基板は、隣接するベース基板に積層されている前記カバー基板に電気的に接続された第1の接続用導体の一端部に挿通される第2の接続ねじが螺合するベース側接続孔を有し、カバー基板は、ベース基板が前記支持基台上で並ぶ方向に沿ったベース基板の中心線に対して非対称の形状でありかつ当該中心線を跨ぐ形に配置されており、ベース側接続孔は当該中心線に対して一側に形成されていることを特徴とするパッケージ。
【請求項2】
前記カバー基板は、前記中心線を挟んだ各一端縁と中心線との距離が互いに異なるとともに、前記ベース基板においてカバー基板と重複していない部位に前記ベース側接続孔を形成していることを特徴とする請求項1記載のパッケージ。
【請求項3】
前記カバー基板は、前記ベース側接続孔に重複する部位に前記第2の接続ねじと接触しないサイズに切欠した逃げ部を備えることを特徴とする請求項1記載のパッケージ。
【請求項4】
前記カバー基板は、前記中心線に対して前記ベース用接続孔の反対側に第1の接続用導体に挿通された第1の接続ねじが螺合するカバー側接続孔を有していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のパッケージ。
【請求項5】
前記半導体素子は、発光ダイオードであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のパッケージ。
【請求項6】
請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、支持基台が導電性の金属材料により形成され、前記ベース基板が支持基台と電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項7】
請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、支持基台が絶縁材料により形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項8】
請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記中心線を一致させる形で前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、隣接するパッケージは前記中心線に対する前記カバー基板の位置が交互に入れ替わるように配置されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項9】
前記第1の接続用導体は、前記カバー基板に取り付けられる接続板であり、ベース基板の前面に重複するベース側片と、カバー基板の前面に重複するカバー側片と、ベース側片とカバー側片とを連結する連結片とを備えることを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
【請求項10】
前記第1の接続用導体は、前記カバー基板に連続一体に形成された接続片であり、接続片の先端部がベース基板の前面に重複することを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
【請求項1】
半導体素子を収納し複数個が支持基台の取付面に並べて取り付けられるパッケージであって、支持基台に取り付けられ半導体素子の一つの電極が電気的に接続された金属板からなるベース基板と、ベース基板の厚み方向の一面に積層され半導体素子の他の電極が電気的に接続された金属板からなるカバー基板とを有し、前記ベース基板は、隣接するベース基板に積層されている前記カバー基板に電気的に接続された第1の接続用導体の一端部に挿通される第2の接続ねじが螺合するベース側接続孔を有し、カバー基板は、ベース基板が前記支持基台上で並ぶ方向に沿ったベース基板の中心線に対して非対称の形状でありかつ当該中心線を跨ぐ形に配置されており、ベース側接続孔は当該中心線に対して一側に形成されていることを特徴とするパッケージ。
【請求項2】
前記カバー基板は、前記中心線を挟んだ各一端縁と中心線との距離が互いに異なるとともに、前記ベース基板においてカバー基板と重複していない部位に前記ベース側接続孔を形成していることを特徴とする請求項1記載のパッケージ。
【請求項3】
前記カバー基板は、前記ベース側接続孔に重複する部位に前記第2の接続ねじと接触しないサイズに切欠した逃げ部を備えることを特徴とする請求項1記載のパッケージ。
【請求項4】
前記カバー基板は、前記中心線に対して前記ベース用接続孔の反対側に第1の接続用導体に挿通された第1の接続ねじが螺合するカバー側接続孔を有していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のパッケージ。
【請求項5】
前記半導体素子は、発光ダイオードであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のパッケージ。
【請求項6】
請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、支持基台が導電性の金属材料により形成され、前記ベース基板が支持基台と電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項7】
請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、支持基台が絶縁材料により形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項8】
請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージが前記中心線を一致させる形で前記支持基台に取り付けられた半導体装置であって、隣接するパッケージは前記中心線に対する前記カバー基板の位置が交互に入れ替わるように配置されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項9】
前記第1の接続用導体は、前記カバー基板に取り付けられる接続板であり、ベース基板の前面に重複するベース側片と、カバー基板の前面に重複するカバー側片と、ベース側片とカバー側片とを連結する連結片とを備えることを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
【請求項10】
前記第1の接続用導体は、前記カバー基板に連続一体に形成された接続片であり、接続片の先端部がベース基板の前面に重複することを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公開番号】特開2009−296021(P2009−296021A)
【公開日】平成21年12月17日(2009.12.17)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−219205(P2009−219205)
【出願日】平成21年9月24日(2009.9.24)
【分割の表示】特願2008−185349(P2008−185349)の分割
【原出願日】平成20年7月16日(2008.7.16)
【出願人】(000005832)パナソニック電工株式会社 (17,916)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成21年12月17日(2009.12.17)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年9月24日(2009.9.24)
【分割の表示】特願2008−185349(P2008−185349)の分割
【原出願日】平成20年7月16日(2008.7.16)
【出願人】(000005832)パナソニック電工株式会社 (17,916)
【Fターム(参考)】
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