基板収納容器
【課題】簡単な構成にも拘わらず、作業員が容易に持ち上げることのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】搬送手段によって搬送可能な基板収納容器である。基板収納容器は、正面に形成された開口を通して基板を収納できる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の外周面の一部に前記搬送手段に把持される把持部とを備えて構成される。前記把持部には作業員が指を挿入できる指係止部が形成されている。
【解決手段】搬送手段によって搬送可能な基板収納容器である。基板収納容器は、正面に形成された開口を通して基板を収納できる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の外周面の一部に前記搬送手段に把持される把持部とを備えて構成される。前記把持部には作業員が指を挿入できる指係止部が形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板収納容器に係り、特に、半導体ウェーハ、マスクガラス等からなる精密基板を収納し、搬送がなされるとともに、前記精密基板を加工・処理する加工装置に位置決め固定される基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板収納容器は、いわゆるフロントオープンボックスタイプと称され、正面に形成された開口を通して精密基板（以後、基板と称す）を収納できる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、を備えたものが知られている。容器本体の内周面の一部には上下方向に並設された複数の支持溝が対向して設けられ、各基板は支持溝のそれぞれに支持されて容器本体内に同軸上に整列配置されて収納されるようになっている。
【０００３】
また、このような基板収納容器は、半導体デバイスの製造工程において、作業者による搬送方法に代え、様々な自動機によって搬送されるようになっている。これにより、基板収納容器内の各基板の汚染を防止できるとともに、効率的な作業を実現することができる。
【０００４】
たとえば、工場内には、ＯＨＴ（Overhead Hoist
Transportation）と称される方式が採用され、基板収納容器の天面に取り付けられたロボティックフランジを搬送機構によって把持することによって、いわゆる天井搬送ができるようになっている。
【０００５】
また、上記ＯＨＴ方式の他に、基板収納容器の底部に取り付けられた一対のボトムレールや、基板収納容器の左右側面のそれぞれに取り付けられサイドフォークリフトフランジを使用して基板収納容器を持ち上げ、搬送するＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）方式、ＰＧＶ（Person
Guided Vehicle）方式等が採用されている。
【０００６】
このことから、基板収納容器は、その天面においてロボティックフランジが予め固定され、あるいは着脱可能に構成されている。同様に、サイドフォークリフトフランジ等においても、予め固定され、あるいは着脱可能に構成されている。ここで、ロボティックフランジ等が着脱可能に構成されるのは、基板の加工・処理を行う工場の仕様等を考慮したものとなっている。すなわち、工場によっては、たとえばＯＨＴ方式等を採用していない場合があり、この場合には、ロボティックフランジ等を取り外していた方が作業性に優れるようになるからである。
【０００７】
このような構成からなる基板収納基板の構成は、たとえば下記特許文献１に開示がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開2000-306988号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述したように、基板収納容器は、自動機によって搬送されるように構成されたものとなっているが、往々にして、たとえば緊急時において、作業員が基板収納容器を持ち上げなければならない状況になる場合がある。
【００１０】
この場合、基板収納容器の外周面から突起されて形成されるロボティックフランジあるいはサイドフォークリフトフランジ等を持って持ち上げようとするのが通常であるが、持ち上げ難く、バランスをくずして落下させる恐れがあった。
【００１１】
すなわち、従来のロボティックフランジあるいはサイドフォークリフトフランジ等は、搬送機構によって把持できる機能のみを有した構成となっているため、作業員がロボティックフランジあるいはサイドフォークリフトフランジ等を持って基板収納容器を持ち上げるには不適切な形状として構成されていた。換言すれば、ロボティックフランジあるいはサイドフォークリフトフランジ等には引っかかる部分がなく持つのに滑りやすい構造となっていた。
【００１２】
近年では、基板収納容器は、収納する基板の大きさがたとえば直径４５０ｍｍ程度となってきており、大型化され、重量も大きくなっていることから、上述した不都合は、深刻なものとなっている。
【００１３】
ここで、このような不都合を回避するため、基板収納容器の外周面の一部に作業員が把持できるハンドル等を新たに取り付けることも考えられるが、スペース的に取り付け個所がない場合もあり、また、構成が複雑になるという問題も生じる。
【００１４】
本発明は上記問題点に鑑みなされたものであって、簡単な構成にも拘わらず、作業員がたとえば緊急時等において容易に持ち上げることのできる基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明は以下の構成によって把握することができる。
（１）本発明の基板収納容器は、搬送機構によって搬送可能な基板収納容器であって、正面に形成された開口を通して基板を収納できる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の外周面の一部に前記搬送機構に把持される把持部と、把持部に設けられる1又は複数の指係止部とを備えることを特徴とする。
（２）本発明の基板収納容器は、（１）において、前記把持部は、前記容器本体の天面に取り付けられ、前記天面と対向して配置されるフランジ部と、このフランジ部の周辺に設けられ前記容器本体に対して直接あるいは間接的に固定される側壁部とからなるロボティックフランジからなり、前記指係止部は前記側壁部に形成されていることを特徴とする。
（３）本発明の基板収納容器は、（１）において、前記把持部は、前記容器本体の天面に取り付けられ、前記天面と対向して配置されるフランジ部と、このフランジ部の周辺に設けられ前記容器本体に対して直接あるいは間接的に固定される側壁部とからなるロボティックフランジからなり、前記把持部には指係止部が形成され、前記指係止部は、前記フランジ部の前記側壁部に近接する個所に形成されていることを特徴とする。
（４）本発明の基板収納容器は、（１）において、前記把持部は、前記容器本体の左右側面のそれぞれに取り付けられ、前記容器本体の前後方向に延在するフランジ部からなるサイドフォークリフトフランジからなり、前記係止部は、前記フランジ部に形成されていることを特徴とする。
（５）本発明の基板収納容器は、（１）において、前記把持部には指係止部が形成され、前記指係止部は、容器本体に収納される基板の中心位置から前記蓋体の方向にずれた位置に形成されていることを特徴とする。
（６）本発明の基板収納容器は、（３）ないし（５）において、前記指係止部は、貫通孔、凹部、リブのいずれかによって形成され、あるいはこれら貫通孔、凹部、リブの組み合わせによって形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
このような構成からなる基板収納容器によれば、簡単な構成にも拘わらず、作業員がたとえば緊急時等において容易に持ち上げることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の基板収納容器の実施形態１を正面から観た斜視図である。
【図２】本発明の基板収納容器を蓋体を外した状態で観た正面図である。
【図３】本発明の基板収納容器を水平面と平行な切断面を上方から観た断面図である。
【図４】図３のIV−IV線における断面図である。
【図５】本発明の基板収納容器のロボティックフランジを上面から示した図である。
【図６】本発明の基板収納容器を左側側面から観た図である。
【図７】本発明の基板収納容器に形成される指係止部の断面を示す図である。
【図８】本発明の基板収納容器の実施形態２を正面から観た斜視図である。
【図９】本発明の基板収納容器の実施形態３を正面から観た斜視図である。
【図１０】本発明の基板収納容器の実施形態４を正面から観た斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態という）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
（実施形態１）
図１は、本発明の基板収納容器を正面側から観た斜視図である。図１に示す基板収納容器１００はいわゆるフロントオープンボックスタイプと称される基板収納容器である。
【００１９】
図１において、基板収納容器１００は、正面側に開口（図示せず）が設けられた容器本体１０と、この容器本体１０の開口を閉鎖して配置される蓋体２０とからなっている。容器本体１０の天面にはロボティックフランジ３０が取り付けられている。このロボティックフランジ３０は、半導体装置の製造がなされる工場内にＯＨＴ（Overhead Hoist Transportation）が設置されている場合、その搬送機構によって把持され、基板収納容器１００を天井搬送できるようになっている。また、容器本体１０の底部には、図示しないが、位置決め機構が配設され、基板を加工等するための加工装置に対する位置決めができるようになっている。
【００２０】
なお、後の説明を便宜ならしめるため、蓋体２０側から観た基板収納容器１００において、奥行き方向に相当する方向を前後方向とし、水平方向に相当する方向を左右方向とし、垂直方向に相当する方向を上下方向と称する場合がある。
【００２１】
図２は、基板収納容器１００において、蓋体２０が取り外された状態の容器本体１０を示す正面図である。容器本体１０内には開口を通してたとえば半導体ウェーハからなる複数の基板Ｗを水平に収納できるようになっている。各基板Ｗは、その周辺において、容器本体１０の左右側の内側面に対向して設けられた一対の支持部１２Ａ、１２Ｂに支持されて配置されている。各支持部１２Ａ、１２Ｂは、上下方向に並設された複数の溝１４を有し、各基板Ｗは、各支持部１２Ａ、１２Ｂの対応する溝１４内に周辺が配置されることよって該支持部１２Ａ、１２Ｂに支持されるようになっている。これにより、基板Ｗのそれぞれは、中心軸がほぼ一致づけられて上下方向に整列配置されるようになる。基板Ｗは、大口径のものが用いられ、たとえば直径が４５０ｍｍとなっている。
【００２２】
蓋体２０は、内部に空間を有する二重壁構造で構成され、図１に示すように、前記内部に図中点線で示すようにラッチ機構２２を配置させた構成となっている。ラッチ機構２２は蓋体２０を容器本体１０に閉鎖させるための係止機構として構成され、たとえば図中左右に２個設けられている。それぞれのラッチ機構は、図示しないキーによって回転される回転プレート２４と、この回転プレート２４に連結されて図中上下方向にスライド可能な一対の動力伝達プレート２５Ａ、２５Ｂと、これら動力伝達プレート２５Ａ、２５Ｂの先端に連結される係止クランプ（図示せず）とからなっている。回転プレート２４の周縁部には、一方の動力伝達プレート２５Ａに形成されたガイドピン２６Ａを嵌合させるガイド溝２７Ａと、他方の動力伝達プレート２５Ｂに形成されたガイドピン２６Ｂを嵌合させるガイド溝２７Ｂが形成されている。ガイド溝２７Ａ、２７Ｂは、蓋体２０の容器本体１０に対する閉鎖の際の回転プレート２４の回転にともない、動力伝達プレート２５Ａ、２５Ｂのガイドピン２６Ａ、２６Ｂを外方に導くように半径が大きくなる弧状をなしている。これにより一対の各動力伝達プレート２５Ａ、２５Ｂは回転プレート２４と反対側の方向（図中矢印方向α）に移動し、該動力伝達プレート２５Ａ、２５Ｂの先端に設けられた係止クランプ（図示せず）が、容器本体１０の開口部の係止孔（図２中、符号２８に示す）に嵌入することにより蓋体２０の容器本体１０に対する閉鎖を行うことができる。
【００２３】
図３は、図１に示した基板収納容器１００を水平面と平行な切断面を上方から観た断面図である。上述したように、容器本体１０内には、基板Ｗが一対の支持部１２Ａ、１２Ｂに支持されて配置されている。図３において、蓋体２０は、図中上側に示され、この蓋体２０の周辺にはエンドレスのガスケット２１が固定されている。このガスケット２１は、蓋体２０の容器本体１０への閉鎖の際には容器本体１０の開口部に当接することにより容器本体１０内の気密性が図れるようになっている。なお、図３において、蓋体２０に内蔵される前記ラッチ機構２２は図示を省略している。また、図３に示すように、蓋体２０の内壁面には、一対のフロントリテーナ２９が取り付けられている。これらフロントリテーナ２９は、図３のIV−IV線の断面図である図４に示すように、各基板Ｗの側の面に各基板Ｗに対向されて形成されたたとえばＶ字形の溝２９Ａが各基板Ｗの整列方向に複数形成されている。蓋体２０を容器本体１０に閉鎖した際に、各溝２９Ａは、その内周面において各基板Ｗの周縁と当接されるようになっている。これにより、支持部１２Ａ、１２Ｂに支持された各基板Ｗは、蓋体２０の容器本体１０への閉鎖の際にフロントリテーナ２９によって奥側へ押し込められるようになっている。図３では図示されていないが、各支持部１２Ａ、１２Ｂの奥側の端部には、基板Ｗが前記フロントリテーナ２９によって押し込められた際に、基板Ｗの周縁に接触する内壁面が形成されており、これにより、基板Ｗは正規の位置に位置決めされるようになっている。
【００２４】
図１に示したロボティックフランジ３０は、たとえば、容器本体１０に着脱自在に取り付けられる構成となっている。このような構成とすることによって、たとえば工場内にＯＨＴ方式を採用していない場合に、ロボティックフランジ３０を取り外して基板収納容器を使用することができるようになっている。
【００２５】
図５（ａ）は、前記ロボティックフランジ３０を上面から観た平面図である。図５（ａ）において、容器本体１０の天面には、前後方向に延在する一対の案内レール１５Ａ、１５Ｂがたとえば容器本体１０に一体に形成されている。一対の案内レール１５Ａ、１５Ｂは、平面的に観て、左右対称に配置され、それらの左右幅方向の距離が背面側から正面側にかけて小さくなるように形成されている。また、一対の案内レール１５Ａ、１５Ｂは、たとえば、図２に示すように、それぞれの頭部が対向する側に屈曲された断面逆Ｌ字状をなしている。
【００２６】
一対の案内レール１５Ａ、１５Ｂの間には、たとえば板状からなるベース部３２が配置され、その左右の各辺は、対応する側の案内レール１５Ａ、１５Ｂの内側の側壁に当接されるように形成されている。これにより、ベース部３２は、案内レール１５Ａ、１５Ｂの頭部の屈曲部によって係止され、上下方向の移動が規制されるようになっている。
【００２７】
また、ベース部３２の上方にはこのベース部３２に対向してほぼ矩形状をなすフランジ部３４が配置され、フランジ部３４は側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄを介してベース部３２と固定されている。側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄはフランジ部３４の４辺のそれぞれに近接して設けられ、前後方向に延在する一対の左右側壁部３５Ａ、３５Ｂと左右方向に延在する一対の前後側壁部３５Ｃ、３５Ｄとがそれぞれ連結して形成されている。これにより、フランジ部３４は側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄによって、前記ベース部３２、案内レール１５Ａ、１５Ｂを介して、容器本体１０と間接的に固定されるようになっている。フランジ部３４は、その周縁の所定の個所において、Ｖ字状の溝３６が形成されている。この溝３６は、搬送機構のロボットハンドによってフランジ部３４が把持される際に位置決め溝として機能するようになっている。
【００２８】
そして、たとえば、ベース部３２のほぼ中央には容器本体１０に形成される螺子ボス（図示せず）が露出され、この裸子ボスにはフランジ部３４の上方からたとえばボルト３７が螺入されるようになっている。これにより、フランジ部３４はベース部３２とともに前後方向の移動が規制され、容器本体１０へのロボティックフランジ３０の固定がなされるようになっている。なお、ロボティックフランジ３０の容器本体１０への固定手段は、上述した構成に限定されず、他の係止構造であってもよいことはもちろんである。
【００２９】
このように構成されるロボティックフランジ３０は、たとえば前記ボルト３７を外し、図５（ｂ）に示すように、フランジ部３４を案内レール１５Ａ、１５Ｂに沿って容器本体１０の後方（図中矢印方向）に沿って移動させることにより、ロボティックフランジ３０を容器本体１０から容易取り外すことができる。また、逆の操作をすることによって、ロボティックフランジ３０を容器本体１０に容易に装着できるようになる。
【００３０】
さらに、ロボティックフランジ３０は、たとえば、図１に示すように、側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄおよびフランジ部３４において貫通孔３９Ａが形成されている。これら貫通孔３９Ａは作業者が指を挿入できる指係止部として機能できるようになっている。すなわち、フランジ部３４の４辺における各側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄにおいて、それぞれ、そのほぼ中央に、側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄの長手方向に沿ってたとえば２個の貫通孔３９Ａが並設されて形成されている。各側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄに貫通孔３９Ａを２個設けているのは、たとえば、一方の貫通孔３９Ａに人差し指を挿入し他方の貫通孔３９Ａに中指を挿入できるようにしているからである。また、フランジ部３４の周辺においても、各側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄに形成された貫通孔３９Ａのそれぞれに隣接するようにして貫通孔３９Ｂが形成されている。フランジ部３４にこのような貫通孔３９Ｂを設けることで、指を側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄの貫通孔３９Ａに挿入した後、指を曲げながら深く突っ込むことでフランジ部の３４各貫通孔３９Ｂから出すことができ、ロボティックフランジ３０を指によって強固に把持することができるようになる。
【００３１】
また、図６は、基板収納容器１００の左側側面図を示している。図６において、基板収納容器１００の前後方向に延在する側壁部３５Ａ、３５Ｂに形成される貫通孔３９Ａは、その中心部が容器本体１００に収納された基板Ｗの中心（図中一点鎖線で示す）よりも蓋体２０側に距離Ｌだけずらして形成されていることを示している。ここで、側壁部３５Ａ、３５Ｂに形成される貫通孔３９Ａがたとえば２個並列されている場合、貫通孔３９Ａの中心部は、各貫通孔３９Ａの中心を結ぶ線分の中心としている。後述するように、側壁部３５Ａ、３５Ｂに１個の貫通孔３９Ａが形成されている場合には、その貫通孔３９Ａの中心部は当該貫通孔３９Ａの中心となる。
【００３２】
上述した構成からなる基板収納容器１００は、通常、収納された基板Ｗの中心よりも蓋体２０側に偏心した位置に重心がくるようになっている。蓋体２０は、容器本体１０との機密性を充分に図るため、通常、ラッチ機構２２等を内蔵させたりせねばならず、重量が大きくなっているからである。このため、重心の位置に合わせて側壁部３５Ａ、３５Ｂに形成する貫通孔３９Ａも蓋側２０にずらして形成するようにしている。具体的には、貫通孔３９Ａの中心部の位置は、基板Ｗの中心位置から０ｍｍより大きく５０ｍｍ以下の範囲内で蓋体２０側にずらすのが好適である。
【００３３】
このように構成した場合、作業員は、基板収納容器１００のほぼ重心部を把持することができることから、バランスをくずすことなく基板収納容器１００を持ち上げられる効果を奏する。
【００３４】
なお、図６では、左右側側壁部３５Ａ、３５Ｂのうち左側に配置される側壁部３５Ｂについて示したが、右側に配置される側壁部３５Ａについても同様となっている。また、前後側壁部３５Ｃ、３５Ｄにおいては、基板収納容器１００の左右方向に重心の偏心がないことから、それぞれの側壁部３５Ｃ、３５Ｄのほぼ中央に貫通孔を設けることが好ましくなる。
【００３５】
なお、左右側側壁部３５Ａ、３５Ｂに形成する貫通孔３９Ａは、基板Ｗの中心からずらして配置されることが必須となるものではないことはもちろんである。たとえば、容器本体１０の蓋体２０と反対側の奥側において、重心のバランスを図る重り等を配置させる等の他の対策によって、上述した弊害を解消できるからである。
【００３６】
また、上述した実施形態１では、ロボティックフランジ３０に貫通孔３９Ａ、３９Ｂを設けることによってこの貫通孔３９Ａ、３９Ｂを指係止部として構成したものである。たとえば側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄにおいて貫通孔３９Ａが形成された部分の断面図を図７（ａ）に示している。しかし、この指係止部は必ずしも貫通孔３９Ａに限定されるものではなく、他の形態であってもよいことはいうまでもない。たとえば、図７（ａ）に対応させて描いた図７（ｂ）に示すように側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄに凹部４０を設け、この凹部４０を指係止部として機能させることができる。また、図７（ａ）に対応させて描いた図７（ｃ）に示すように側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄにリブ４１を設け、このリブ４１を指係止部として機能させることができる。なお、このような構成からなる指係止部は、以下に説明する実施形態においても同様に適用できるものである。
（実施形態２）
図８は、本発明の基板収納容器の実施形態２を示す構成図で、図１と対応させて描いた図となっている。
【００３７】
図８において、図１と比較した場合に異なる構成は、フランジ部３４には貫通孔３９Ｂを設けていない構成となっている。これにより、作業者は側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄに形成された貫通孔３９Ａに指を挿入するだけとなるが、基板収納容器１００を持ち上げることにおいて、何ら不便を感じることはないことから、このような構成であってもよい。
（実施形態３）
図９は、本発明の基板収納容器の実施形態３を示す構成図で、図８と対応させて描いた図となっている。図９において、図８と比較した場合に異なる構成は、各側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄに形成する貫通孔３９Ａは複数ではなく１個となっている。そして、この場合、該貫通孔３９Ａには、たとえば人差し指と中指が同時に挿入できるように、基板収納容器１００の前後方向に延在する長孔として形成されたものとなっている。
【００３８】
なお、この場合において、フランジ部３４の周辺に各側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄの貫通孔３９Ａに隣接するようにして該貫通孔３９Ａとほぼ同大の長孔からなる貫通孔を設けるようにしてもよいことはもちろんである。
（実施形態４）
上述した実施形態では、ロボティックフランジ３０に指係止部を設けた構成としたものである。しかし、これに限定されることはなく、たとえば、サイドフォークリフトフランジ等において指係止部を設ける構成としてもよい。図１０は、基板収納容器１００にサイドフォークリフトフランジ５０が取り付けられている実施例を示した図である。サイドフォークリフトフランジ５０は、容器本体１０の左右側面の外周面においてたとえば底部に近い位置に着脱自在に取り付けられている。
【００３９】
サイドフォークリフトフランジ５０は、たとえば、容器本体１０の前後方向に延在し側面とほぼ平行に配置される平板５２と、この平板５２から水平方向に一体に延在するフランジ部５４とから構成されている。このフランジ部５４の周辺に、搬送機構のロボットハンドによってフランジ部５４が把持される際の位置決めのための溝５６が形成されていることは、ロボティックフランジ３０の場合と同様となっている。なお、サイドフォークリフトフランジ５０の前記平板５２の前方端部および後方端部には、前記平板５２を容器本体１０に取り付けるためのたとえば螺子５８が螺合されている。
【００４０】
このような構成からなるサイドフォークリフトフランジ５０のフランジ部５４には、貫通孔５９が設けられ、この貫通孔５９は指係止部として機能するようになっている。このように構成することによって、作業員がたとえば緊急時等においてサイドフォークリフトフランジ５０を持って基板収納容器１００を持ち上げる際に、容易に持ち上げることができるようになる。
【００４１】
なお、サイドフォークリフトフランジ１０にたとえば凹部、あるいはリブからなる指係止部を設ける場合、これらの凹部、あるいはリブはフランジ部５４の裏側の面（基板収納容器１００の底部側の面）に設けるのが好適となる。
（実施態様５）
上述したロボティックフランジ３０、あるいはサイドフォークリフトフランジ５０は、いずれも容器本体１０に着脱ができるように構成したものである。しかし、これに限定されることはなく、容器本体１０に常時固定される構成としてもよい。たとえばロボティックフランジ３０を容器本体１０に常時固定させる構成としては、フランジ部３４の周辺に設けられた側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄを、ベース部３２、案内レール１５Ａ、１５Ｂ等を介することなく、容器本体１０に対して直接に固定させるようにしたものが考えられる。このような構成であっても本発明を適用できるからである。
（実施態様６）
上述した実施態様では、基板収納容器に収納する基板は、たとえば半導体ウェーハを例に挙げて説明したものである。しかし、半導体ウェーハに限定されることはなく、たとえば、マスクガラス、液晶セル、記録媒体等であってもよいことはいうまでもない。
【００４２】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００４３】
１００……基板収納容器、１０……容器本体、２０……蓋体、３０……ロボティックフランジ、１２Ａ、１２Ｂ……支持部、１４……溝、１５Ａ、１５Ｂ……案内レール、２１……ガスケット、２２……ラッチ機構、２４……回転プレート、２５Ａ、２５Ｂ……動力伝達プレート、２６Ａ、２６Ｂ……ガイドピン、２７Ａ、２７Ｂ……ガイド溝、２８……係止孔、２９……フロントリテーナ、２９Ａ……溝、３２……ベース部、３４……フランジ部、３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄ……側壁部、３６……溝、３７……ポルト、３９Ａ、３９Ｂ……貫通孔、４０……凹部、４１……リブ、５０……サイドフォークリフトフランジ、５２……平板、５４……フランジ部、５６……溝、５８……螺子、５９……貫通孔、Ｗ……基板。
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板収納容器に係り、特に、半導体ウェーハ、マスクガラス等からなる精密基板を収納し、搬送がなされるとともに、前記精密基板を加工・処理する加工装置に位置決め固定される基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板収納容器は、いわゆるフロントオープンボックスタイプと称され、正面に形成された開口を通して精密基板（以後、基板と称す）を収納できる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、を備えたものが知られている。容器本体の内周面の一部には上下方向に並設された複数の支持溝が対向して設けられ、各基板は支持溝のそれぞれに支持されて容器本体内に同軸上に整列配置されて収納されるようになっている。
【０００３】
また、このような基板収納容器は、半導体デバイスの製造工程において、作業者による搬送方法に代え、様々な自動機によって搬送されるようになっている。これにより、基板収納容器内の各基板の汚染を防止できるとともに、効率的な作業を実現することができる。
【０００４】
たとえば、工場内には、ＯＨＴ（Overhead Hoist
Transportation）と称される方式が採用され、基板収納容器の天面に取り付けられたロボティックフランジを搬送機構によって把持することによって、いわゆる天井搬送ができるようになっている。
【０００５】
また、上記ＯＨＴ方式の他に、基板収納容器の底部に取り付けられた一対のボトムレールや、基板収納容器の左右側面のそれぞれに取り付けられサイドフォークリフトフランジを使用して基板収納容器を持ち上げ、搬送するＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）方式、ＰＧＶ（Person
Guided Vehicle）方式等が採用されている。
【０００６】
このことから、基板収納容器は、その天面においてロボティックフランジが予め固定され、あるいは着脱可能に構成されている。同様に、サイドフォークリフトフランジ等においても、予め固定され、あるいは着脱可能に構成されている。ここで、ロボティックフランジ等が着脱可能に構成されるのは、基板の加工・処理を行う工場の仕様等を考慮したものとなっている。すなわち、工場によっては、たとえばＯＨＴ方式等を採用していない場合があり、この場合には、ロボティックフランジ等を取り外していた方が作業性に優れるようになるからである。
【０００７】
このような構成からなる基板収納基板の構成は、たとえば下記特許文献１に開示がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開2000-306988号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述したように、基板収納容器は、自動機によって搬送されるように構成されたものとなっているが、往々にして、たとえば緊急時において、作業員が基板収納容器を持ち上げなければならない状況になる場合がある。
【００１０】
この場合、基板収納容器の外周面から突起されて形成されるロボティックフランジあるいはサイドフォークリフトフランジ等を持って持ち上げようとするのが通常であるが、持ち上げ難く、バランスをくずして落下させる恐れがあった。
【００１１】
すなわち、従来のロボティックフランジあるいはサイドフォークリフトフランジ等は、搬送機構によって把持できる機能のみを有した構成となっているため、作業員がロボティックフランジあるいはサイドフォークリフトフランジ等を持って基板収納容器を持ち上げるには不適切な形状として構成されていた。換言すれば、ロボティックフランジあるいはサイドフォークリフトフランジ等には引っかかる部分がなく持つのに滑りやすい構造となっていた。
【００１２】
近年では、基板収納容器は、収納する基板の大きさがたとえば直径４５０ｍｍ程度となってきており、大型化され、重量も大きくなっていることから、上述した不都合は、深刻なものとなっている。
【００１３】
ここで、このような不都合を回避するため、基板収納容器の外周面の一部に作業員が把持できるハンドル等を新たに取り付けることも考えられるが、スペース的に取り付け個所がない場合もあり、また、構成が複雑になるという問題も生じる。
【００１４】
本発明は上記問題点に鑑みなされたものであって、簡単な構成にも拘わらず、作業員がたとえば緊急時等において容易に持ち上げることのできる基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明は以下の構成によって把握することができる。
（１）本発明の基板収納容器は、搬送機構によって搬送可能な基板収納容器であって、正面に形成された開口を通して基板を収納できる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の外周面の一部に前記搬送機構に把持される把持部と、把持部に設けられる1又は複数の指係止部とを備えることを特徴とする。
（２）本発明の基板収納容器は、（１）において、前記把持部は、前記容器本体の天面に取り付けられ、前記天面と対向して配置されるフランジ部と、このフランジ部の周辺に設けられ前記容器本体に対して直接あるいは間接的に固定される側壁部とからなるロボティックフランジからなり、前記指係止部は前記側壁部に形成されていることを特徴とする。
（３）本発明の基板収納容器は、（１）において、前記把持部は、前記容器本体の天面に取り付けられ、前記天面と対向して配置されるフランジ部と、このフランジ部の周辺に設けられ前記容器本体に対して直接あるいは間接的に固定される側壁部とからなるロボティックフランジからなり、前記把持部には指係止部が形成され、前記指係止部は、前記フランジ部の前記側壁部に近接する個所に形成されていることを特徴とする。
（４）本発明の基板収納容器は、（１）において、前記把持部は、前記容器本体の左右側面のそれぞれに取り付けられ、前記容器本体の前後方向に延在するフランジ部からなるサイドフォークリフトフランジからなり、前記係止部は、前記フランジ部に形成されていることを特徴とする。
（５）本発明の基板収納容器は、（１）において、前記把持部には指係止部が形成され、前記指係止部は、容器本体に収納される基板の中心位置から前記蓋体の方向にずれた位置に形成されていることを特徴とする。
（６）本発明の基板収納容器は、（３）ないし（５）において、前記指係止部は、貫通孔、凹部、リブのいずれかによって形成され、あるいはこれら貫通孔、凹部、リブの組み合わせによって形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
このような構成からなる基板収納容器によれば、簡単な構成にも拘わらず、作業員がたとえば緊急時等において容易に持ち上げることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の基板収納容器の実施形態１を正面から観た斜視図である。
【図２】本発明の基板収納容器を蓋体を外した状態で観た正面図である。
【図３】本発明の基板収納容器を水平面と平行な切断面を上方から観た断面図である。
【図４】図３のIV−IV線における断面図である。
【図５】本発明の基板収納容器のロボティックフランジを上面から示した図である。
【図６】本発明の基板収納容器を左側側面から観た図である。
【図７】本発明の基板収納容器に形成される指係止部の断面を示す図である。
【図８】本発明の基板収納容器の実施形態２を正面から観た斜視図である。
【図９】本発明の基板収納容器の実施形態３を正面から観た斜視図である。
【図１０】本発明の基板収納容器の実施形態４を正面から観た斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態という）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
（実施形態１）
図１は、本発明の基板収納容器を正面側から観た斜視図である。図１に示す基板収納容器１００はいわゆるフロントオープンボックスタイプと称される基板収納容器である。
【００１９】
図１において、基板収納容器１００は、正面側に開口（図示せず）が設けられた容器本体１０と、この容器本体１０の開口を閉鎖して配置される蓋体２０とからなっている。容器本体１０の天面にはロボティックフランジ３０が取り付けられている。このロボティックフランジ３０は、半導体装置の製造がなされる工場内にＯＨＴ（Overhead Hoist Transportation）が設置されている場合、その搬送機構によって把持され、基板収納容器１００を天井搬送できるようになっている。また、容器本体１０の底部には、図示しないが、位置決め機構が配設され、基板を加工等するための加工装置に対する位置決めができるようになっている。
【００２０】
なお、後の説明を便宜ならしめるため、蓋体２０側から観た基板収納容器１００において、奥行き方向に相当する方向を前後方向とし、水平方向に相当する方向を左右方向とし、垂直方向に相当する方向を上下方向と称する場合がある。
【００２１】
図２は、基板収納容器１００において、蓋体２０が取り外された状態の容器本体１０を示す正面図である。容器本体１０内には開口を通してたとえば半導体ウェーハからなる複数の基板Ｗを水平に収納できるようになっている。各基板Ｗは、その周辺において、容器本体１０の左右側の内側面に対向して設けられた一対の支持部１２Ａ、１２Ｂに支持されて配置されている。各支持部１２Ａ、１２Ｂは、上下方向に並設された複数の溝１４を有し、各基板Ｗは、各支持部１２Ａ、１２Ｂの対応する溝１４内に周辺が配置されることよって該支持部１２Ａ、１２Ｂに支持されるようになっている。これにより、基板Ｗのそれぞれは、中心軸がほぼ一致づけられて上下方向に整列配置されるようになる。基板Ｗは、大口径のものが用いられ、たとえば直径が４５０ｍｍとなっている。
【００２２】
蓋体２０は、内部に空間を有する二重壁構造で構成され、図１に示すように、前記内部に図中点線で示すようにラッチ機構２２を配置させた構成となっている。ラッチ機構２２は蓋体２０を容器本体１０に閉鎖させるための係止機構として構成され、たとえば図中左右に２個設けられている。それぞれのラッチ機構は、図示しないキーによって回転される回転プレート２４と、この回転プレート２４に連結されて図中上下方向にスライド可能な一対の動力伝達プレート２５Ａ、２５Ｂと、これら動力伝達プレート２５Ａ、２５Ｂの先端に連結される係止クランプ（図示せず）とからなっている。回転プレート２４の周縁部には、一方の動力伝達プレート２５Ａに形成されたガイドピン２６Ａを嵌合させるガイド溝２７Ａと、他方の動力伝達プレート２５Ｂに形成されたガイドピン２６Ｂを嵌合させるガイド溝２７Ｂが形成されている。ガイド溝２７Ａ、２７Ｂは、蓋体２０の容器本体１０に対する閉鎖の際の回転プレート２４の回転にともない、動力伝達プレート２５Ａ、２５Ｂのガイドピン２６Ａ、２６Ｂを外方に導くように半径が大きくなる弧状をなしている。これにより一対の各動力伝達プレート２５Ａ、２５Ｂは回転プレート２４と反対側の方向（図中矢印方向α）に移動し、該動力伝達プレート２５Ａ、２５Ｂの先端に設けられた係止クランプ（図示せず）が、容器本体１０の開口部の係止孔（図２中、符号２８に示す）に嵌入することにより蓋体２０の容器本体１０に対する閉鎖を行うことができる。
【００２３】
図３は、図１に示した基板収納容器１００を水平面と平行な切断面を上方から観た断面図である。上述したように、容器本体１０内には、基板Ｗが一対の支持部１２Ａ、１２Ｂに支持されて配置されている。図３において、蓋体２０は、図中上側に示され、この蓋体２０の周辺にはエンドレスのガスケット２１が固定されている。このガスケット２１は、蓋体２０の容器本体１０への閉鎖の際には容器本体１０の開口部に当接することにより容器本体１０内の気密性が図れるようになっている。なお、図３において、蓋体２０に内蔵される前記ラッチ機構２２は図示を省略している。また、図３に示すように、蓋体２０の内壁面には、一対のフロントリテーナ２９が取り付けられている。これらフロントリテーナ２９は、図３のIV−IV線の断面図である図４に示すように、各基板Ｗの側の面に各基板Ｗに対向されて形成されたたとえばＶ字形の溝２９Ａが各基板Ｗの整列方向に複数形成されている。蓋体２０を容器本体１０に閉鎖した際に、各溝２９Ａは、その内周面において各基板Ｗの周縁と当接されるようになっている。これにより、支持部１２Ａ、１２Ｂに支持された各基板Ｗは、蓋体２０の容器本体１０への閉鎖の際にフロントリテーナ２９によって奥側へ押し込められるようになっている。図３では図示されていないが、各支持部１２Ａ、１２Ｂの奥側の端部には、基板Ｗが前記フロントリテーナ２９によって押し込められた際に、基板Ｗの周縁に接触する内壁面が形成されており、これにより、基板Ｗは正規の位置に位置決めされるようになっている。
【００２４】
図１に示したロボティックフランジ３０は、たとえば、容器本体１０に着脱自在に取り付けられる構成となっている。このような構成とすることによって、たとえば工場内にＯＨＴ方式を採用していない場合に、ロボティックフランジ３０を取り外して基板収納容器を使用することができるようになっている。
【００２５】
図５（ａ）は、前記ロボティックフランジ３０を上面から観た平面図である。図５（ａ）において、容器本体１０の天面には、前後方向に延在する一対の案内レール１５Ａ、１５Ｂがたとえば容器本体１０に一体に形成されている。一対の案内レール１５Ａ、１５Ｂは、平面的に観て、左右対称に配置され、それらの左右幅方向の距離が背面側から正面側にかけて小さくなるように形成されている。また、一対の案内レール１５Ａ、１５Ｂは、たとえば、図２に示すように、それぞれの頭部が対向する側に屈曲された断面逆Ｌ字状をなしている。
【００２６】
一対の案内レール１５Ａ、１５Ｂの間には、たとえば板状からなるベース部３２が配置され、その左右の各辺は、対応する側の案内レール１５Ａ、１５Ｂの内側の側壁に当接されるように形成されている。これにより、ベース部３２は、案内レール１５Ａ、１５Ｂの頭部の屈曲部によって係止され、上下方向の移動が規制されるようになっている。
【００２７】
また、ベース部３２の上方にはこのベース部３２に対向してほぼ矩形状をなすフランジ部３４が配置され、フランジ部３４は側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄを介してベース部３２と固定されている。側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄはフランジ部３４の４辺のそれぞれに近接して設けられ、前後方向に延在する一対の左右側壁部３５Ａ、３５Ｂと左右方向に延在する一対の前後側壁部３５Ｃ、３５Ｄとがそれぞれ連結して形成されている。これにより、フランジ部３４は側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄによって、前記ベース部３２、案内レール１５Ａ、１５Ｂを介して、容器本体１０と間接的に固定されるようになっている。フランジ部３４は、その周縁の所定の個所において、Ｖ字状の溝３６が形成されている。この溝３６は、搬送機構のロボットハンドによってフランジ部３４が把持される際に位置決め溝として機能するようになっている。
【００２８】
そして、たとえば、ベース部３２のほぼ中央には容器本体１０に形成される螺子ボス（図示せず）が露出され、この裸子ボスにはフランジ部３４の上方からたとえばボルト３７が螺入されるようになっている。これにより、フランジ部３４はベース部３２とともに前後方向の移動が規制され、容器本体１０へのロボティックフランジ３０の固定がなされるようになっている。なお、ロボティックフランジ３０の容器本体１０への固定手段は、上述した構成に限定されず、他の係止構造であってもよいことはもちろんである。
【００２９】
このように構成されるロボティックフランジ３０は、たとえば前記ボルト３７を外し、図５（ｂ）に示すように、フランジ部３４を案内レール１５Ａ、１５Ｂに沿って容器本体１０の後方（図中矢印方向）に沿って移動させることにより、ロボティックフランジ３０を容器本体１０から容易取り外すことができる。また、逆の操作をすることによって、ロボティックフランジ３０を容器本体１０に容易に装着できるようになる。
【００３０】
さらに、ロボティックフランジ３０は、たとえば、図１に示すように、側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄおよびフランジ部３４において貫通孔３９Ａが形成されている。これら貫通孔３９Ａは作業者が指を挿入できる指係止部として機能できるようになっている。すなわち、フランジ部３４の４辺における各側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄにおいて、それぞれ、そのほぼ中央に、側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄの長手方向に沿ってたとえば２個の貫通孔３９Ａが並設されて形成されている。各側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄに貫通孔３９Ａを２個設けているのは、たとえば、一方の貫通孔３９Ａに人差し指を挿入し他方の貫通孔３９Ａに中指を挿入できるようにしているからである。また、フランジ部３４の周辺においても、各側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄに形成された貫通孔３９Ａのそれぞれに隣接するようにして貫通孔３９Ｂが形成されている。フランジ部３４にこのような貫通孔３９Ｂを設けることで、指を側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄの貫通孔３９Ａに挿入した後、指を曲げながら深く突っ込むことでフランジ部の３４各貫通孔３９Ｂから出すことができ、ロボティックフランジ３０を指によって強固に把持することができるようになる。
【００３１】
また、図６は、基板収納容器１００の左側側面図を示している。図６において、基板収納容器１００の前後方向に延在する側壁部３５Ａ、３５Ｂに形成される貫通孔３９Ａは、その中心部が容器本体１００に収納された基板Ｗの中心（図中一点鎖線で示す）よりも蓋体２０側に距離Ｌだけずらして形成されていることを示している。ここで、側壁部３５Ａ、３５Ｂに形成される貫通孔３９Ａがたとえば２個並列されている場合、貫通孔３９Ａの中心部は、各貫通孔３９Ａの中心を結ぶ線分の中心としている。後述するように、側壁部３５Ａ、３５Ｂに１個の貫通孔３９Ａが形成されている場合には、その貫通孔３９Ａの中心部は当該貫通孔３９Ａの中心となる。
【００３２】
上述した構成からなる基板収納容器１００は、通常、収納された基板Ｗの中心よりも蓋体２０側に偏心した位置に重心がくるようになっている。蓋体２０は、容器本体１０との機密性を充分に図るため、通常、ラッチ機構２２等を内蔵させたりせねばならず、重量が大きくなっているからである。このため、重心の位置に合わせて側壁部３５Ａ、３５Ｂに形成する貫通孔３９Ａも蓋側２０にずらして形成するようにしている。具体的には、貫通孔３９Ａの中心部の位置は、基板Ｗの中心位置から０ｍｍより大きく５０ｍｍ以下の範囲内で蓋体２０側にずらすのが好適である。
【００３３】
このように構成した場合、作業員は、基板収納容器１００のほぼ重心部を把持することができることから、バランスをくずすことなく基板収納容器１００を持ち上げられる効果を奏する。
【００３４】
なお、図６では、左右側側壁部３５Ａ、３５Ｂのうち左側に配置される側壁部３５Ｂについて示したが、右側に配置される側壁部３５Ａについても同様となっている。また、前後側壁部３５Ｃ、３５Ｄにおいては、基板収納容器１００の左右方向に重心の偏心がないことから、それぞれの側壁部３５Ｃ、３５Ｄのほぼ中央に貫通孔を設けることが好ましくなる。
【００３５】
なお、左右側側壁部３５Ａ、３５Ｂに形成する貫通孔３９Ａは、基板Ｗの中心からずらして配置されることが必須となるものではないことはもちろんである。たとえば、容器本体１０の蓋体２０と反対側の奥側において、重心のバランスを図る重り等を配置させる等の他の対策によって、上述した弊害を解消できるからである。
【００３６】
また、上述した実施形態１では、ロボティックフランジ３０に貫通孔３９Ａ、３９Ｂを設けることによってこの貫通孔３９Ａ、３９Ｂを指係止部として構成したものである。たとえば側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄにおいて貫通孔３９Ａが形成された部分の断面図を図７（ａ）に示している。しかし、この指係止部は必ずしも貫通孔３９Ａに限定されるものではなく、他の形態であってもよいことはいうまでもない。たとえば、図７（ａ）に対応させて描いた図７（ｂ）に示すように側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄに凹部４０を設け、この凹部４０を指係止部として機能させることができる。また、図７（ａ）に対応させて描いた図７（ｃ）に示すように側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄにリブ４１を設け、このリブ４１を指係止部として機能させることができる。なお、このような構成からなる指係止部は、以下に説明する実施形態においても同様に適用できるものである。
（実施形態２）
図８は、本発明の基板収納容器の実施形態２を示す構成図で、図１と対応させて描いた図となっている。
【００３７】
図８において、図１と比較した場合に異なる構成は、フランジ部３４には貫通孔３９Ｂを設けていない構成となっている。これにより、作業者は側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄに形成された貫通孔３９Ａに指を挿入するだけとなるが、基板収納容器１００を持ち上げることにおいて、何ら不便を感じることはないことから、このような構成であってもよい。
（実施形態３）
図９は、本発明の基板収納容器の実施形態３を示す構成図で、図８と対応させて描いた図となっている。図９において、図８と比較した場合に異なる構成は、各側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄに形成する貫通孔３９Ａは複数ではなく１個となっている。そして、この場合、該貫通孔３９Ａには、たとえば人差し指と中指が同時に挿入できるように、基板収納容器１００の前後方向に延在する長孔として形成されたものとなっている。
【００３８】
なお、この場合において、フランジ部３４の周辺に各側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄの貫通孔３９Ａに隣接するようにして該貫通孔３９Ａとほぼ同大の長孔からなる貫通孔を設けるようにしてもよいことはもちろんである。
（実施形態４）
上述した実施形態では、ロボティックフランジ３０に指係止部を設けた構成としたものである。しかし、これに限定されることはなく、たとえば、サイドフォークリフトフランジ等において指係止部を設ける構成としてもよい。図１０は、基板収納容器１００にサイドフォークリフトフランジ５０が取り付けられている実施例を示した図である。サイドフォークリフトフランジ５０は、容器本体１０の左右側面の外周面においてたとえば底部に近い位置に着脱自在に取り付けられている。
【００３９】
サイドフォークリフトフランジ５０は、たとえば、容器本体１０の前後方向に延在し側面とほぼ平行に配置される平板５２と、この平板５２から水平方向に一体に延在するフランジ部５４とから構成されている。このフランジ部５４の周辺に、搬送機構のロボットハンドによってフランジ部５４が把持される際の位置決めのための溝５６が形成されていることは、ロボティックフランジ３０の場合と同様となっている。なお、サイドフォークリフトフランジ５０の前記平板５２の前方端部および後方端部には、前記平板５２を容器本体１０に取り付けるためのたとえば螺子５８が螺合されている。
【００４０】
このような構成からなるサイドフォークリフトフランジ５０のフランジ部５４には、貫通孔５９が設けられ、この貫通孔５９は指係止部として機能するようになっている。このように構成することによって、作業員がたとえば緊急時等においてサイドフォークリフトフランジ５０を持って基板収納容器１００を持ち上げる際に、容易に持ち上げることができるようになる。
【００４１】
なお、サイドフォークリフトフランジ１０にたとえば凹部、あるいはリブからなる指係止部を設ける場合、これらの凹部、あるいはリブはフランジ部５４の裏側の面（基板収納容器１００の底部側の面）に設けるのが好適となる。
（実施態様５）
上述したロボティックフランジ３０、あるいはサイドフォークリフトフランジ５０は、いずれも容器本体１０に着脱ができるように構成したものである。しかし、これに限定されることはなく、容器本体１０に常時固定される構成としてもよい。たとえばロボティックフランジ３０を容器本体１０に常時固定させる構成としては、フランジ部３４の周辺に設けられた側壁部３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄを、ベース部３２、案内レール１５Ａ、１５Ｂ等を介することなく、容器本体１０に対して直接に固定させるようにしたものが考えられる。このような構成であっても本発明を適用できるからである。
（実施態様６）
上述した実施態様では、基板収納容器に収納する基板は、たとえば半導体ウェーハを例に挙げて説明したものである。しかし、半導体ウェーハに限定されることはなく、たとえば、マスクガラス、液晶セル、記録媒体等であってもよいことはいうまでもない。
【００４２】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００４３】
１００……基板収納容器、１０……容器本体、２０……蓋体、３０……ロボティックフランジ、１２Ａ、１２Ｂ……支持部、１４……溝、１５Ａ、１５Ｂ……案内レール、２１……ガスケット、２２……ラッチ機構、２４……回転プレート、２５Ａ、２５Ｂ……動力伝達プレート、２６Ａ、２６Ｂ……ガイドピン、２７Ａ、２７Ｂ……ガイド溝、２８……係止孔、２９……フロントリテーナ、２９Ａ……溝、３２……ベース部、３４……フランジ部、３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄ……側壁部、３６……溝、３７……ポルト、３９Ａ、３９Ｂ……貫通孔、４０……凹部、４１……リブ、５０……サイドフォークリフトフランジ、５２……平板、５４……フランジ部、５６……溝、５８……螺子、５９……貫通孔、Ｗ……基板。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送機構によって搬送可能な基板収納容器であって、
正面に形成された開口を通して基板を収納できる容器本体と、
この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、
前記容器本体の外周面の一部に前記搬送機構に把持される把持部と
前記把持部に設けられる1又は複数の指係止部と
を備えることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記把持部は、前記容器本体の天面に取り付けられ、前記天面と対向して配置されるフランジ部と、このフランジ部の周辺に設けられ前記容器本体に対して直接あるいは間接的に固定される側壁部とからなるロボティックフランジからなり、前記指係止部は前記側壁部に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記把持部は、前記容器本体の天面に取り付けられ、前記天面と対向して配置されるフランジ部と、このフランジ部の周辺に設けられ前記容器本体に対して直接あるいは間接的に固定される側壁部とからなるロボティックフランジからなり、前記把持部には指係止部が形成され、前記指係止部は、前記フランジ部の前記側壁部に近接する個所に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記把持部は、前記容器本体の左右側面のそれぞれに取り付けられ、前記容器本体の前後方向に延在するフランジ部からなるサイドフォークリフトフランジからなり、前記係止部は、前記フランジ部に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記把持部には指係止部が形成され、指係止部は、容器本体に収納される基板の中心位置から前記蓋体の方向にずれた位置に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記指係止部は、貫通孔、凹部、リブのいずれかによって形成され、あるいはこれら貫通孔、凹部、リブの組み合わせによって形成されていることを特徴とする請求項３又は５に記載の基板収納容器。
【請求項１】
搬送機構によって搬送可能な基板収納容器であって、
正面に形成された開口を通して基板を収納できる容器本体と、
この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、
前記容器本体の外周面の一部に前記搬送機構に把持される把持部と
前記把持部に設けられる1又は複数の指係止部と
を備えることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記把持部は、前記容器本体の天面に取り付けられ、前記天面と対向して配置されるフランジ部と、このフランジ部の周辺に設けられ前記容器本体に対して直接あるいは間接的に固定される側壁部とからなるロボティックフランジからなり、前記指係止部は前記側壁部に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記把持部は、前記容器本体の天面に取り付けられ、前記天面と対向して配置されるフランジ部と、このフランジ部の周辺に設けられ前記容器本体に対して直接あるいは間接的に固定される側壁部とからなるロボティックフランジからなり、前記把持部には指係止部が形成され、前記指係止部は、前記フランジ部の前記側壁部に近接する個所に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記把持部は、前記容器本体の左右側面のそれぞれに取り付けられ、前記容器本体の前後方向に延在するフランジ部からなるサイドフォークリフトフランジからなり、前記係止部は、前記フランジ部に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記把持部には指係止部が形成され、指係止部は、容器本体に収納される基板の中心位置から前記蓋体の方向にずれた位置に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記指係止部は、貫通孔、凹部、リブのいずれかによって形成され、あるいはこれら貫通孔、凹部、リブの組み合わせによって形成されていることを特徴とする請求項３又は５に記載の基板収納容器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１１−２４９３７２（Ｐ２０１１−２４９３７２Ａ）
【公開日】平成２３年１２月８日（２０１１．１２．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１１７８８８（Ｐ２０１０−１１７８８８）
【出願日】平成２２年５月２４日（２０１０．５．２４）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月８日（２０１１．１２．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年５月２４日（２０１０．５．２４）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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