基板ＩＤ読み取り機構及びそれを用いた基板搬送装置、並びに基板ＩＤ読み取り方法
【課題】基板位置や基板表面の状態によらず、基板ＩＤを迅速かつ正確に読み取ることができるアライナ装置を提供する。
【解決手段】基板の表面に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置と、基板搬送時における基板の偏心量を計測し基板のアライメントを行うアライナとを備え、基板の偏心量を計測しアライメントを行う際に、基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り機構において、基板ＩＤ読み取り装置は、基板の偏心量に基づいて基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定された複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて基板ＩＤを読み取る構成とした。
【解決手段】基板の表面に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置と、基板搬送時における基板の偏心量を計測し基板のアライメントを行うアライナとを備え、基板の偏心量を計測しアライメントを行う際に、基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り機構において、基板ＩＤ読み取り装置は、基板の偏心量に基づいて基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定された複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて基板ＩＤを読み取る構成とした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体プロセスの基板搬送時に、基板に形成されている識別情報（基板ＩＤ）を読み取る読み取り機構及びそれを備えた基板搬送装置、並びに基板ＩＤ読み取り方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程の製造対象である基板の表面または裏面には、基板を特定するための基板識別情報（以下、「基板ＩＤ」と称する）が書き込まれている。基板ＩＤは、ＳＥＭＩ（国際半導体装置材料協会）規格によって、英数文字や２次元データマトリクスコードなどのＩＤマークの種類、ＩＤマークの種類ごとの基板上でのＩＤの位置、ＩＤマークの大きさが定められており、半導体製造工程における各種処理の内容などを識別するために使用されている。半導体製造装置に基板を搬入する際、基板搬送装置が具備する基板搬送ロボットやアライメント装置上で、基板ＩＤの読み取りが行われる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
基板ＩＤは、基板の製造過程によって表面状態などが異なるため、基板ＩＤ読み取り装置での基板ＩＤ読み取り条件も常に一定ではない。このため、基板読み取り装置に基板ＩＤの読み取り条件を複数設定し、複数の読み取り条件を順次適用することで、様々な基板ＩＤの読み取りを可能としている。
【０００４】
複数の読み取り条件を順次適用する基板ＩＤ読み取り方法では、複数の読み取り条件をどの順番で適用するかによって、基板ＩＤの読み取り時間が変わってくる。このため、複数の読み取り条件に予め優先順位を付けて設定しておくか、もしくは、直前に適用した読み取り条件を優先的に使用することによって、基板ＩＤの読み取り時間を短縮する基板ＩＤの読み取り方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−３００６０９号公報
【特許文献２】特開２００４−２１４２５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、予め設定された優先順位の条件もしくは直前の条件を用いた基板ＩＤ読み取り方法では、現在の基板の位置や基板表面の状態によっては、必ずしも優先順位の高い読み取り条件が当てはまるとは限らず、最も優先順位の低いものであった場合、基板ＩＤの読み取り時間が長くなり、装置全体としてのスループットの低下が危惧される。
【０００７】
本発明の目的は、上記課題を解決すべく、基板の位置や基板表面の状態によらず、基板ＩＤを迅速にかつ正確に読み取ることができる基板ＩＤ読み取り機構及びそれを用いた基板搬送装置並びに基板ＩＤ読み取り方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく本発明に係る基板ＩＤの読み取り機構は、基板の表面に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置と、基板搬送時における前記基板の偏心量を計測し、基板の位置や向きを補正するアライナとを備え、基板の偏心量を計測、補正する際に、前記基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り機構において、前記基板ＩＤ読み取り装置は、前記基板の偏心量に基づいて前記基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定された複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて前記基板ＩＤを読み取る構成としたことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る基板搬送装置は、基板の搬送先或いは搬送元に取り付けられる筐体と、その筐体に設けられ基板を収納する容器と、前記容器内の基板を搬送先に供給するまたは前記搬送元の基板を前記容器に回収する基板搬送ロボットと、搬送される基板の位置及び向きを補正するアライナを備えた基板搬送装置において、アライナには、基板に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置が取り付けられ、アライナ及び基板ＩＤ読み取り装置は、上記の基板ＩＤ読み取り機構を構成することを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る基板ＩＤの読み取り方法は、基板搬送時における基板の偏心量を計測し、基板の位置や向きを補正する際に、前記基板の表面に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り方法において、前記基板の偏心量に基づいて前記基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定した複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて前記基板ＩＤを読み取ることを特徴とする。
【００１１】
特に、抽出した読み取り可能条件に優先順位を付し、優先順位の高い順番の条件でＩＤ読み取りを行う手法とする。また、複数の読み取り条件を一つの読み取り条件群として、レシピ情報ごとに読み取り条件を予め登録しておき、レシピ情報によって読み取り条件を切り替えてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、基板位置や基板表面の状態によらず、基板ＩＤを迅速かつ正確に読み取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１Ａ】アライナの構成を示す概略側面図である。
【図１Ｂ】図１Ａの１Ｂ−１Ｂ線矢視図である。
【図２】基板搬送装置の構成を示す概略平面図である。
【図３】制御コントローラのハードウェア構成及び他の装置との接続関係を示すブロック図である。
【図４】基板ＩＤ読み取り装置の画面を示す図である。
【図５】基板ＩＤ読み取り装置の読み取り条件設定のフローチャートである。
【図６】第１の実施形態の基板ＩＤ読み取り装置を用いた基板ＩＤの読み取り方法を説明するためのフローチャートである。
【図７】図６のフローチャートにおける基板ＩＤの読み取り条件取得のステップを説明するためのフローチャートである。
【図８】基板の位置合わせ後の基板ＩＤ読み取り装置の画面の一例を示す図である。
【図９】基板の位置合わせ後の基板ＩＤ読み取り装置の画面の他の例を示す図である。
【図１０】図６のフローチャートにおける基板ＩＤの読み取り条件検索のステップを説明するためのフローチャートである。
【図１１】図１０のフローチャートにおける基板ＩＤ読み取り条件の優先順位付けのステップを説明するためのフローチャートである。
【図１２】基板ＩＤ読み取り条件の優先順位付けを説明するための模式図である。
【図１３】図６のフローチャートにおける基板ＩＤの読み取り実施ステップの詳細を説明するためのフローチャートである。
【図１４】上位装置の基板ＩＤ読み取り結果表示画面を示す図である。
【図１５】レシピ情報毎にグループ化された複数の基板ＩＤ読み取り条件の概念図である。
【図１６】第２の実施形態の基板ＩＤ読み取り方法を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
［第１の実施形態］
本実施形態の基板ＩＤ読み取り機構は、半導体製造装置や半導体検査装置等の上位装置へ基板を搬送する基板搬送装置内に搭載される。まず、基板搬送装置について説明する。
【００１６】
図２は、基板搬送装置の構成を示す概略平面図である。図２に示すように、基板搬送装置は、上位装置１０６に接続される筐体１０８と、筐体１０８内へ供給される基板Ｗをクリーンな状態で収納する基板収納容器（ＦＯＵＰ）１０５と、筐体１０８内に設けられ基板Ｗのプリアライメントを行うプリアライナ１０２と、筐体内１０８に移動可能に設けられ基板収納容器１０５、プリアライナ１０２及び上位装置１０６間で基板Ｗの搬送を行う基板搬送ロボット１０３とを備える。プリアライナ１０２には、基板Ｗに形成された基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置１０１が取り付けられる。プリアライナ１０２と基板ＩＤ読み取り装置１０１とで基板ＩＤ読み取り機構１００を構成する。基板搬送装置は、基板搬送ロボット１０３、プリアライナ１０２、基板ＩＤ読み取り装置１０１の制御、及び上位装置１０６との通信を行う制御コントローラ１０４を備える。
【００１７】
図１Ａは、基板ＩＤ読み取り装置が取り付けられたプリアライナの構成を示す側面図であり、図１Ｂは、図１Ａの１Ｂ−１Ｂ線矢視図（一部透明）である。
【００１８】
図１Ａ及び図１Ｂに示すように、プリアライナ１０２は、プリアライナ本体１０９と、基板Ｗを保持し回転させるチャック１０７と、回転する基板Ｗの端部に光を照射し、その光の検出結果から基板Ｗのノッチ位置（基板Ｗの向き）及び偏心量（基板Ｗの位置）を計測するラインセンサ１０８とを備える。プリアライナ本体１０９は、チャック１０７を回転させる回転機構や、回転機構やラインセンサ１０８の駆動回路等が設けられている。なお、本実施形態では、基板搬送装置内で、基板の向きや偏心量を計測し、位置や向きの補正を行うアライナを、上位装置１０６が備えるアライナ（図示せず）と区別するために、プリアライナと称している。
【００１９】
プリアライナ本体１０９の側面には、基板ＩＤ読み取り装置１０１が設けられる。基板ＩＤ読み取り装置１０１は、基板Ｗの基板ＩＤを撮像する撮像手段、撮像範囲を照射する照明、基板ＩＤを識別する識別手段とを備える（いずれも図示せず）。本実施形態では、基板ＩＤは基板の裏面（図１Ａ下側）かつ基板Ｗの縁の近くに形成されており、基板ＩＤ読み取り装置１０１は、撮像手段が基板Ｗの裏面かつ縁近傍の基板ＩＤを撮像できる位置に配置される。
【００２０】
図３は、基板搬送装置の制御コントローラ１０４のハードウェア構成を示すブロック図である。図３に示すように、制御コントローラ１０４は、プロセッサ２０１、メモリ２０２、Ｉ／Ｏ２０３を搭載している。制御コントローラ１０４のＩ／Ｏ２０３は、上位装置１０６、ＩＤ読み取り装置１０１、プリアライナ１０２、搬送ロボット１０３と信号線を介してそれぞれ接続されている。プロセッサ２０１は、上位装置１０６からの動作指令を受け、搬送ロボット１０３、プリアライナ１０２、ＩＤ読み取り装置１０１を制御する。
【００２１】
基板ＩＤ読み取り機構を用いた読み取り方法は、基板Ｗのプリアライメント時に、基板Ｗの偏心量に基づいて基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定した複数の基板ＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて基板ＩＤを読み取る。
【００２２】
以下、本実施形態の基板ＩＤの読み取り機構を用いた基板ＩＤ読み取り方法を図４〜図１４に基づいて詳細に説明する。
【００２３】
図４は、基板ＩＤの位置と基板ＩＤ読み取り条件を示す基板ＩＤ読み取り装置の画面図である。ただし、基板ＩＤ読み取り装置１０１自体は、撮像手段の出力や操作案内等を表示する表示手段を具備しておらず、基板ＩＤ読み取り装置１０１をＰＣ２０４に接続することで、ＰＣ２０４のディスプレイ上にＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１が表示される。
【００２４】
まず、基板ＩＤ読み取り条件について説明する。基板ＩＤ読み取り条件は、ＩＤ種別、読み取り範囲、読み取り位置、基板ＩＤ読み取り装置１０１の照明の光量で構成される。ＩＤ種別とは、読み取る基板ＩＤ（以下、「ＩＤマーク」と称する）３０１の種類であり、英数文字、２次元データマトリクスコード、バーコード等がある。読み取り範囲とは、基板ＩＤ読み取り装置１０１がＩＤマーク３０１を読み取る範囲であり、１つの読み取り条件Ａ１の場合、図では１つの方形枠（フレーム）４０４で示した範囲である。読み取り条件の位置とは、読み取り範囲の基準となる位置であり、読み取り条件Ａ１の場合、図では方形枠４０４の左上の座標４０２である。照明の光量とは、基板ＩＤ読み取り装置１０１が備える照明の明るさの度合いである。基板ＩＤ読み取り装置１０１には、予め、ＩＤ種別、位置、範囲及び光量で構成された読み取り条件が複数保存される（図ではＡ１〜Ａ５の５つ）。
【００２５】
図４及び図５に基づいて、基板ＩＤ読み取り装置１０１のＩＤ読み取り条件設定フローを説明する。図５は、基板ＩＤ読み取り装置１０１の読み取り条件設定フローチャートである。
【００２６】
基板ＩＤ読み取り条件の設定（Ｓ５０１）は、基板ＩＤ読み取り処理を行う前に人手で実施される。作業者は、基板ＩＤ読み取り装置１０１にＰＣ２０４を接続し、ＰＣ２０４のディスプレイ上に基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１を表示させる（ステップＳ５０２）。画面４０１の表示後、基板Ｗを、偏芯無くかつＩＤマーク３０１の位置がＩＤ読み取り装置１０１の撮像可能な位置となるように、プリアライナ１０２のチャック１０７上に載置する（ステップＳ５０３）。基板Ｗの載置後、画面４０１でＩＤマーク３０１の種別を確認し、読み取り条件Ａ１のＩＤ種別としてＩＤマーク３０１の種別を設定する（ステップＳ５０４）。ＩＤマーク３０１の種別設定後、読み取り条件Ａ１の読み取り範囲及び読み取り位置として、ＩＤマーク３０１の中心位置４０３からＸ方向、Ｙ方向がそれぞれ均等になるように、ＩＤマーク３０１を読み取らせる位置と範囲を設定する（ステップＳ５０５）。読み取り条件Ａ１の方形枠４０４の中心位置とＩＤマーク３０１の中心位置４０３とは同じになる。図４では、読み取り条件Ａ１の読み取り範囲は、ＩＤマーク３０１の中心位置４０３からＸ方向にそれぞれＡＸ／２（ピクセル）、Ｙ方向にそれぞれＡＹ／２（ピクセル）の条件を読み取り範囲としている。読み取り範囲及び位置の設定後、基板ＩＤ読み取り装置１０１の光量を調整し、ＩＤマーク３０１を読み取れる光量を読み取り条件Ａ１に設定（ステップＳ５０６）し、ＩＤマーク３０１の種別、範囲、位置、光量を設定した読み取り条件Ａ１を基板ＩＤ読み取り装置へ保存する（ステップＳ５０７）。保存した読み取り条件Ａ１を基準の読み取り条件として、ＩＤ種別、範囲及び光量を基準の読み取り条件Ａ１と同じとし、読み取り位置のみ異なる読み取り条件を複数保存する（ステップＳ５０８）。本実施形態では、ＩＤ種別、範囲及び光量を基準の読み取り条件Ａ１と同じく設定し、読み取り位置については、読み取り条件Ａ１のＹ方向に隣接する読み取り条件Ａ２と、読み取り条件Ａ２のＹ方向に隣接する読み取り条件Ａ３と、読み取り条件Ａ１をＸ方向及びＹ方向にずらして読み取り条件Ａ１及びＡ２に掛かる位置に配置した読み取り条件Ａ５と、読み取り条件Ａ５のＹ方向に隣接し読み取り条件Ａ２及びＡ３に掛かる位置に配置した読み取り条件Ａ４とを登録している。以上で、読み取り条件の設定は終了となる（ステップＳ５０９）。
【００２７】
基板ＩＤ読み取り処理フローについて図６に基づいて説明する。図６は、基板搬送装置でのＩＤ読み取り処理フローチャートである。図６に示すように、制御コントローラ１０４は、まず、基板ＩＤ読み取り条件の取得を実施する（ステップＳ６０２）。
【００２８】
読み取り条件の取得のステップＳ６０２について、図７のフローチャートに基づいて説明する。図７は、読み取り条件の取得フローチャートである。図７に示すように、制御コントローラ１０４は、１つ以上の読み取り条件Ａ１〜Ａ５を基板ＩＤ読み取り装置１０１から取得し（ステップＳ７０１）、制御コントローラ１０４のメモリ２０２に取得した読み取り条件を読み取り条件テーブルとして保存する（ステップＳ７０２）。読み取り条件を保存して、読み取り条件の取得は終了する（ステップＳ７０３）。
【００２９】
図６に戻り、読み取り条件の取得後（ステップＳ６０２）、制御コントローラ１０４は、基板搬送ロボット１０３にて基板Ｗをプリアライナ１０２に置き（ステップＳ６０３）、基板Ｗのプリアライメントを実行させる（ステップＳ６０４）。
【００３０】
図８は、プリアライメント後の基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面図の一例であり、図９は、プリアライメント後のＩＤ読み取り装置１０１の画面図の他の例である。図８の例と図９の例とでは、ＩＤマークの位置が異なっており、図８の例では、ＩＤマーク３０８が読み取り条件Ａ４にのみ収まっているのに対し、図９の例では、ＩＤマーク３０９が読み取り条件Ａ３及びＡ４の両方に収まっている。図８及び図９に示すように、プリアライメントでは、プリアライナ１０２が基板Ｗのノッチ３０２位置と偏芯量ΔＸ１（ｍｍ）とΔＹ１（ｍｍ）を検出する。制御コントローラ１０４は、基板ＷのＩＤマーク３０１の位置がＩＤ読み取り装置１０１の位置にくるように（図１Ｂ参照）、プリアライナ１０２のチャック１０７を回転させる（ステップＳ６０５）。基板ＷのＩＤマーク３０８の位置合わせにより、基板ＷのＩＤマーク３０１ｂが基板ＩＤ読み取り装置１０１の視野（画面４０１）に収まる。
【００３１】
制御コントローラ１０４は、プリアライナ１０２から基板Ｗの偏芯量ΔＸ１（ｍｍ）とΔＹ１（ｍｍ）を取得（ステップＳ６０６）し、基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１上での偏芯量ΔＸ２（ピクセル）、ΔＹ２（ピクセル）を算出する（ステップＳ６０７）。図８および図９は、基板Ｗの偏芯が無い場合のＩＤマーク３０１が、基板ＷがΔＸ１（ｍｍ）、ΔＹ１（ｍｍ）だけ偏芯したことで、ＩＤマーク３０８の位置となったことを示し、基板Ｗの偏芯量ΔＸ１（ｍｍ）、ΔＹ１（ｍｍ）は、基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１上では、ΔＸ２（ピクセル）、ΔＹ２（ピクセル）に等しいことを示している。
【００３２】
基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１上でのＩＤマーク３０８の位置が明らかとなったので、制御コンロトーラ１０４は、ＩＤマーク３０１ｂの位置に一致する読み取り条件の検索を実施する（ステップＳ６０８）。
【００３３】
読み取り条件の検索の詳細について、図１０のフローチャートに基づいて説明する。
【００３４】
図１０は、読み取り条件の検索フローチャートである。図１０に示すように、制御コンロトーラ１０４は、読み取り条件の取得（ステップＳ６０２）の処理で制御コントローラ１０４のメモリ２０２に保存した読み取り条件テーブル（ステップＳ７０２）上の基準の読み取り条件Ａ１のＩＤ種別からＩＤマーク３０１の大きさを特定する（ステップＳ１００１）。ＳＥＭＩ（国際半導体装置材料協会）規格によって、ＩＤ種別ごとのＩＤマークの大きさは規定されている。基準のＩＤマーク３０１の大きさを特定した後、基準の読み取り条件Ａ１の位置と範囲から基準のＩＤマーク３０１の中心位置４０３を算出する（ステップＳ１００２）。ステップＳ５０５の処理によって、読み取り条件Ａ１の中心位置とＩＤマーク３０１の中心位置４０３は同じ位置に設定したので、読み取り条件Ａ１の中心位置を読み取り条件Ａ１の位置と範囲から算出すれば、ＩＤマーク３０８の中心位置４０８が求められる。基準のＩＤマーク３０１の中心位置４０３から偏芯量ΔＸ２（ピクセル）、ΔＹ２（ピクセル）分オフセットしたＩＤマーク３０８の中心位置４０８を算出する（ステップＳ１００３）。読み取り条件の取得（ステップＳ６０２）の処理で制御コントローラ１０４のメモリ２０２に保存した読み取り条件テーブル（ステップＳ７０２）から、読み取り条件の範囲条件に、ＩＤマーク３０８の中心位置４０８が含まれる読み取り条件を全て抽出する（ステップＳ１００４）。図８および図９の例では、両方とも、ＩＤマーク３０８，３０９の中心位置４０８，４０９が読み取り条件のＡ３及びＡ４内に位置するので、読み取り条件Ａ３およびＡ４が抽出される。
【００３５】
ステップＳ１００４で抽出した読み取り条件が無い場合（ステップＳ１００５）は、処理終了（ステップＳ１００９）する。ステップＳ１００４で抽出した読み取り条件が有る場合（ステップＳ１００５）は、抽出した読み取り条件のうち、ＩＤマーク３０８の大きさが読み取り範囲内に含まれる条件を全て、基板ＩＤ読み取り可能条件（以下、単に「読み取り可能条件」）として抽出する（ステップＳ１００６）。図８の例では、読み取り条件Ａ４のみが読み取り可能条件として抽出され、図９に示す例では、読み取り条件Ａ３およびＡ４が読み取り可能条件として抽出される。ステップＳ１００６で抽出できる読み取り条件が無い場合（ステップＳ１００７）は、処理終了（ステップＳ１００９）する。抽出できる読み取り条件が無い場合のフローについては後述する。
【００３６】
ステップＳ１００６で抽出した読み取り可能条件が有る場合（ステップＳ１００７）、読み取り可能条件に、優先順位を付けて（ステップＳ１００８）終了（ステップＳ１００９）する。
【００３７】
優先順位付け（ステップＳ１００８）について、図１１及び図１２に基づいて説明する。図１１は、読み取り可能条件の優先順位付けフローチャートである。図１２は、図９の２つの読み取り可能条件Ａ３，Ａ４を抽出した場合の優先順位付けを説明する図である。
【００３８】
図１１に示すように、まず、ＩＤマーク３０９の中心位置４０９を算出する（ステップＳ１１０１）。算出方法は、図１０で説明したステップＳ１００１〜Ｓ１００３と同じである。ＩＤマーク３０８の中心位置を算出後、図１０のステップＳ１００６で抽出した全ての読み取り条件の中心位置を算出する（ステップＳ１１０２）。読み取り可能条件Ａ３の中心位置Ａ３Ｃと読み取り可能条件Ａ４の中心位置Ａ４Ｃを算出する。ＩＤマーク３０９の中心位置４０９と抽出した全ての読み取り可能条件Ａ３，Ａ４の中心位置Ａ３Ｃ，Ａ４Ｃとの距離を算出する（ステップＳ１１０３）。図１２ではＩＤマーク３０９の中心位置４０９と読み取り可能条件Ａ３の中心位置Ａ３Ｃの距離は、ΔＤ２（ピクセル）となり、ＩＤマーク３０９の中心位置４０９と読み取り可能条件Ａ４の中心位置Ａ４Ｃの距離は、ΔＤ１（ピクセル）となる。ＩＤマーク３０９の中心位置４０９と読み取り可能条件Ａ３ＣおよびＡ４Ｃとの距離が近い順番に読み取り可能条件の優先順位を高く設定する。図１２では、ΔＤ２（ピクセル）＞ΔＤ１（ピクセル）であるため、読み取り可能条件Ａ４の中心位置Ａ４Ｃの方が読み取り可能条件Ａ３の中心位置Ａ３Ｃより、ＩＤマーク３０９の中心位置４０９の位置に近いことになり、読み取り可能条件Ａ４が第１優先条件、読み取り可能条件Ａ３が第２優先条件となる。以上で、優先順位付け（ステップＳ１００７）は終了（ステップＳ１１０５）となる。
【００３９】
図６に戻り、制御コンロトーラ１０４は、読み取り条件の検索（ステップＳ６０８）結果について判定を行い（ステップＳ６０９）、一致する読み取り条件が有る場合は、一致する読み取り条件で基板ＩＤの読み取りを実施する（ステップＳ６１０）。
【００４０】
基板ＩＤの読み取りの実施について、図１３に基づいて説明する。図１３は、基板ＩＤ読み取りフローチャートである。図１３に示すように、制御コントローラ１０４は、まず、優先順位の最も高い第１優先の読み取り可能条件Ａ４を取得し（ステップＳ１３０１）、その読み取り可能条件Ａ４を用いて基板ＩＤ読み取り装置１０１に基板ＩＤの読み取りを実行させる（ステップＳ１３０２）。基板ＩＤの読み取りが成功した場合（ステップＳ１３０３→ＹＥＳ）、読み取ったＩＤを制御コントローラ１０４のメモリ２０２に保存し（ステップＳ１３０６）、終了となる（ステップＳ１３０８）。他方、基板ＩＤの読み取りが失敗した場合（ステップＳ１３０３→ＮＯ）、次に優先順位の高い第２優先の読み取り条件を取得する（ステップＳ１３０４）。読み取り条件の有無判定（ステップＳ１３０５）を行い、図９の例ように、第２優先条件として読み取り可能条件Ａ３が有る場合は、読み取り条件Ａ３を指定して基板ＩＤの読み取りを実施する（ステップＳ１３０２）。図８の例ように、次の読み取り可能条件が無い場合は、基板ＩＤの読み取り異常と判定し（ステップＳ１３０７）、処理は終了となる（ステップＳ１３０８）。
【００４１】
図６に戻り、制御コントローラ１０４は、基板ＩＤの読み取り実施（ステップＳ６１０）による読み取り結果を上位装置へ通知（ステップＳ６１１）する。基板ＩＤの読み取りが成功した場合は、ステップＳ１３０６で制御コントローラ１０４のメモリ２０２に保存したＩＤを上位装置１０６へ通知し、基板ＩＤの読み取りが失敗した場合は、ＩＤ読み取り異常を上位装置１０６へ通知する。
【００４２】
図１４は、上位装置のメッセージ表示画面図である。図１４に示すように、ステップＳ６１１の基板ＩＤ読み取り結果の通知を受け取った上位装置１０６では、例として、画面１４０１のメッセージ１４０２へ基板ＩＤ読み取り結果の通知内容を表示する。
【００４３】
図６で説明した基板ＩＤ読み取り処理フローにおいて、読み取り可能条件がなかった場合について、Ｓ６０９以降の処理フローを引用して説明する。まず、制御コントローラ１０４は、上位装置１０６へ一致する読み取り条件が無いことを通知する（ステップＳ６１３）。次に、ステップＳ６０６で基板Ｗの偏芯量が分かっているため、基板搬送ロボット１０３は、基板Ｗの偏芯量分だけプリアライナ１０２からの基板Ｗの取り出し位置をオフセットさせて（ステップＳ６１４）、プリアライナ１０２上の基板Ｗを取り出す（ステップＳ６１５）。ステップＳ６１４及びステップＳ６１５によって、基板搬送ロボット１０３は基板Ｗを偏芯無く把持できているため、再度、ステップＳ６０３の基板搬送ロボット１０３にて基板Ｗをプリアライナ１０２へ置く処理以降を実行することで、基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１は、図４に示した基板Ｗの偏芯が無い場合と同じになるので、読み取り条件Ａ１で確実にＩＤマーク３０１を読み取ることができる。
【００４４】
本実施形態の基板ＩＤ読み取り方法によれば、ノッチ等の位置合わせの後、基板ＩＤの位置に基づいて予め設定された複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて基板ＩＤを読み取ることにより、基板位置や基板表面の状態によらず、基板ＩＤを迅速かつ正確に読み取ることができる。
【００４５】
特に、基板ＩＤ読み取り処理によって、読み取り条件Ａ１〜Ａ５を常に同じ優先順位として基板ＩＤ読み取りを行う場合に比べ、最初の第１優先の読み取り可能条件Ａ４を用いることで、基板ＩＤの読み取りがほぼ可能であるため、基板ＩＤ読み取り時間を最短にすることができる。
【００４６】
また、第１優先条件でＩＤマーク３０９の読み取りに失敗しても、第２優先条件、さらに次の優先順位の条件で読み取りを行うようにすることで、より確実なＩＤ読み取りを行うことができ、高い信頼性を得ることができる。
【００４７】
一般に、図２に示した基板搬送装置を用いた半導体製品の製造や検査では、製造対象或いは検査対象である基板は、複数枚ごと（ＦＯＵＰごと）に管理されている。それに対して、本実施形態の装置或いは基板ＩＤ読み取り方法は、一枚の基板ごとに製造或いは検査の管理をする方法に適用すると効果が顕著である。
【００４８】
［第２の実施形態］
次に、本発明の好適な第２の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００４９】
本実施形態の基板ＩＤ読み取り機構の基本的な構成部分は、上述した図１の基板ＩＤ読み取り機構とほぼ同様であるが、複数の読み取り条件からなる読み取り条件群を複数群予め設定し、基板の種類や状態に応じて読み取り条件ＩＤ群を決定し、その決定した読み取り条件群の中から読み取り可能条件を抽出するよう設定した点において異なる。以下、具体的に説明する。
【００５０】
ＩＤマークの種別および表面状態は、基板の製造過程によって異なる場合があり、読み取り条件における基板ＩＤの種別や光量は常に一定ではない。そこで、本実施形態では、読み取り条件群として、基板の製造情報を含むレシピ情報ごとに読み取り条件を登録しておく。基板読み取り条件の登録は、図５のＩＤ読み取り装置の読み取り条件設定（ステップＳ５０１）のフローに沿って行い、ステップＳ５０７およびＳ５０８で基板ＩＤ読み取り装置に読み取り条件を保存する際に、レシピ情報ごとにグループ分けしておく。
【００５１】
図１５は、レシピ情報ごとの読み取り条件分けの説明図である。基板ＩＤ読み取り装置１０１に保存された読み取り条件は、レシピＡでの読み取り条件Ａ１〜Ａ５と、レシピＢでの読み取り条件Ｂ１〜Ｂ１０というように、レシピ情報ごとに読み取り条件をグループ１５０１、１５０２のように分けることができる。レシピＡ、レシピＢ以外の新しいレシピＣができた場合は、レシピＣ用の読み取り条件グループを作成し、そのグループ内に読み取り条件Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３・・・のように追加登録して行くことができる。
【００５２】
本実施形態では、図６で説明した基板ＩＤ読み取り処理フローの読み取り条件取得（ステップ６０２）において、レシピ情報ごとに分けられた読み取り条件グループの特定し、その条件クループ内から読み取り条件の取得を行う。レシピ情報による読み取り条件の取得について、図１５のレシピＢ用の読み取り条件グループ１５０２を特定した場合を例として、図１６に基づいて説明する。
【００５３】
図１６は、レシピ情報による読み取り条件の取得フローチャートである。制御コントローラ１０４は、上位装置１０６からレシピＢ情報を取得する（ステップＳ１６０１）。レシピＢ情報をキーに読み取り条件グループとして、レシピＢ用の読み取り条件グループ１５０２を特定する（ステップＳ１６０２）。特定した読み取り条件グループ１５０２の読み取り条件Ｂ１〜Ｂ１０を基板ＩＤ読み取り装置１０１から取得する（ステップＳ１６０３）。取得した読み取り条件Ｂ１〜Ｂ１０を制御コンロトーラ１０４のメモリ２０２に読み取り条件テーブルとして保存（ステップＳ１６０４）し、レシピ情報による読み取り条件の取得処理を終了（ステップＳ１６０５）する。図６のステップＳ６０３以降の処理は第１の実施形態と同じである。
【００５４】
本実施形態の基板ＩＤ読み取り方法によれば、基板の製造過程によってＩＤマークの種別および表面状態が異なった場合でも、ＩＤ読み取り条件を特定できるためＩＤ読み取りが可能である。
【００５５】
以上、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、他にも種々のものが想定される。
【符号の説明】
【００５６】
１０１ ＩＤ読み取り装置
１０２ プリアライナ
１０３ 搬送ロボット
１０４ 制御コントローラ
１０５ 基板収納容器
１０６ 上位装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体プロセスの基板搬送時に、基板に形成されている識別情報（基板ＩＤ）を読み取る読み取り機構及びそれを備えた基板搬送装置、並びに基板ＩＤ読み取り方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程の製造対象である基板の表面または裏面には、基板を特定するための基板識別情報（以下、「基板ＩＤ」と称する）が書き込まれている。基板ＩＤは、ＳＥＭＩ（国際半導体装置材料協会）規格によって、英数文字や２次元データマトリクスコードなどのＩＤマークの種類、ＩＤマークの種類ごとの基板上でのＩＤの位置、ＩＤマークの大きさが定められており、半導体製造工程における各種処理の内容などを識別するために使用されている。半導体製造装置に基板を搬入する際、基板搬送装置が具備する基板搬送ロボットやアライメント装置上で、基板ＩＤの読み取りが行われる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
基板ＩＤは、基板の製造過程によって表面状態などが異なるため、基板ＩＤ読み取り装置での基板ＩＤ読み取り条件も常に一定ではない。このため、基板読み取り装置に基板ＩＤの読み取り条件を複数設定し、複数の読み取り条件を順次適用することで、様々な基板ＩＤの読み取りを可能としている。
【０００４】
複数の読み取り条件を順次適用する基板ＩＤ読み取り方法では、複数の読み取り条件をどの順番で適用するかによって、基板ＩＤの読み取り時間が変わってくる。このため、複数の読み取り条件に予め優先順位を付けて設定しておくか、もしくは、直前に適用した読み取り条件を優先的に使用することによって、基板ＩＤの読み取り時間を短縮する基板ＩＤの読み取り方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−３００６０９号公報
【特許文献２】特開２００４−２１４２５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、予め設定された優先順位の条件もしくは直前の条件を用いた基板ＩＤ読み取り方法では、現在の基板の位置や基板表面の状態によっては、必ずしも優先順位の高い読み取り条件が当てはまるとは限らず、最も優先順位の低いものであった場合、基板ＩＤの読み取り時間が長くなり、装置全体としてのスループットの低下が危惧される。
【０００７】
本発明の目的は、上記課題を解決すべく、基板の位置や基板表面の状態によらず、基板ＩＤを迅速にかつ正確に読み取ることができる基板ＩＤ読み取り機構及びそれを用いた基板搬送装置並びに基板ＩＤ読み取り方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく本発明に係る基板ＩＤの読み取り機構は、基板の表面に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置と、基板搬送時における前記基板の偏心量を計測し、基板の位置や向きを補正するアライナとを備え、基板の偏心量を計測、補正する際に、前記基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り機構において、前記基板ＩＤ読み取り装置は、前記基板の偏心量に基づいて前記基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定された複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて前記基板ＩＤを読み取る構成としたことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る基板搬送装置は、基板の搬送先或いは搬送元に取り付けられる筐体と、その筐体に設けられ基板を収納する容器と、前記容器内の基板を搬送先に供給するまたは前記搬送元の基板を前記容器に回収する基板搬送ロボットと、搬送される基板の位置及び向きを補正するアライナを備えた基板搬送装置において、アライナには、基板に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置が取り付けられ、アライナ及び基板ＩＤ読み取り装置は、上記の基板ＩＤ読み取り機構を構成することを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る基板ＩＤの読み取り方法は、基板搬送時における基板の偏心量を計測し、基板の位置や向きを補正する際に、前記基板の表面に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り方法において、前記基板の偏心量に基づいて前記基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定した複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて前記基板ＩＤを読み取ることを特徴とする。
【００１１】
特に、抽出した読み取り可能条件に優先順位を付し、優先順位の高い順番の条件でＩＤ読み取りを行う手法とする。また、複数の読み取り条件を一つの読み取り条件群として、レシピ情報ごとに読み取り条件を予め登録しておき、レシピ情報によって読み取り条件を切り替えてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、基板位置や基板表面の状態によらず、基板ＩＤを迅速かつ正確に読み取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１Ａ】アライナの構成を示す概略側面図である。
【図１Ｂ】図１Ａの１Ｂ−１Ｂ線矢視図である。
【図２】基板搬送装置の構成を示す概略平面図である。
【図３】制御コントローラのハードウェア構成及び他の装置との接続関係を示すブロック図である。
【図４】基板ＩＤ読み取り装置の画面を示す図である。
【図５】基板ＩＤ読み取り装置の読み取り条件設定のフローチャートである。
【図６】第１の実施形態の基板ＩＤ読み取り装置を用いた基板ＩＤの読み取り方法を説明するためのフローチャートである。
【図７】図６のフローチャートにおける基板ＩＤの読み取り条件取得のステップを説明するためのフローチャートである。
【図８】基板の位置合わせ後の基板ＩＤ読み取り装置の画面の一例を示す図である。
【図９】基板の位置合わせ後の基板ＩＤ読み取り装置の画面の他の例を示す図である。
【図１０】図６のフローチャートにおける基板ＩＤの読み取り条件検索のステップを説明するためのフローチャートである。
【図１１】図１０のフローチャートにおける基板ＩＤ読み取り条件の優先順位付けのステップを説明するためのフローチャートである。
【図１２】基板ＩＤ読み取り条件の優先順位付けを説明するための模式図である。
【図１３】図６のフローチャートにおける基板ＩＤの読み取り実施ステップの詳細を説明するためのフローチャートである。
【図１４】上位装置の基板ＩＤ読み取り結果表示画面を示す図である。
【図１５】レシピ情報毎にグループ化された複数の基板ＩＤ読み取り条件の概念図である。
【図１６】第２の実施形態の基板ＩＤ読み取り方法を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
［第１の実施形態］
本実施形態の基板ＩＤ読み取り機構は、半導体製造装置や半導体検査装置等の上位装置へ基板を搬送する基板搬送装置内に搭載される。まず、基板搬送装置について説明する。
【００１６】
図２は、基板搬送装置の構成を示す概略平面図である。図２に示すように、基板搬送装置は、上位装置１０６に接続される筐体１０８と、筐体１０８内へ供給される基板Ｗをクリーンな状態で収納する基板収納容器（ＦＯＵＰ）１０５と、筐体１０８内に設けられ基板Ｗのプリアライメントを行うプリアライナ１０２と、筐体内１０８に移動可能に設けられ基板収納容器１０５、プリアライナ１０２及び上位装置１０６間で基板Ｗの搬送を行う基板搬送ロボット１０３とを備える。プリアライナ１０２には、基板Ｗに形成された基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置１０１が取り付けられる。プリアライナ１０２と基板ＩＤ読み取り装置１０１とで基板ＩＤ読み取り機構１００を構成する。基板搬送装置は、基板搬送ロボット１０３、プリアライナ１０２、基板ＩＤ読み取り装置１０１の制御、及び上位装置１０６との通信を行う制御コントローラ１０４を備える。
【００１７】
図１Ａは、基板ＩＤ読み取り装置が取り付けられたプリアライナの構成を示す側面図であり、図１Ｂは、図１Ａの１Ｂ−１Ｂ線矢視図（一部透明）である。
【００１８】
図１Ａ及び図１Ｂに示すように、プリアライナ１０２は、プリアライナ本体１０９と、基板Ｗを保持し回転させるチャック１０７と、回転する基板Ｗの端部に光を照射し、その光の検出結果から基板Ｗのノッチ位置（基板Ｗの向き）及び偏心量（基板Ｗの位置）を計測するラインセンサ１０８とを備える。プリアライナ本体１０９は、チャック１０７を回転させる回転機構や、回転機構やラインセンサ１０８の駆動回路等が設けられている。なお、本実施形態では、基板搬送装置内で、基板の向きや偏心量を計測し、位置や向きの補正を行うアライナを、上位装置１０６が備えるアライナ（図示せず）と区別するために、プリアライナと称している。
【００１９】
プリアライナ本体１０９の側面には、基板ＩＤ読み取り装置１０１が設けられる。基板ＩＤ読み取り装置１０１は、基板Ｗの基板ＩＤを撮像する撮像手段、撮像範囲を照射する照明、基板ＩＤを識別する識別手段とを備える（いずれも図示せず）。本実施形態では、基板ＩＤは基板の裏面（図１Ａ下側）かつ基板Ｗの縁の近くに形成されており、基板ＩＤ読み取り装置１０１は、撮像手段が基板Ｗの裏面かつ縁近傍の基板ＩＤを撮像できる位置に配置される。
【００２０】
図３は、基板搬送装置の制御コントローラ１０４のハードウェア構成を示すブロック図である。図３に示すように、制御コントローラ１０４は、プロセッサ２０１、メモリ２０２、Ｉ／Ｏ２０３を搭載している。制御コントローラ１０４のＩ／Ｏ２０３は、上位装置１０６、ＩＤ読み取り装置１０１、プリアライナ１０２、搬送ロボット１０３と信号線を介してそれぞれ接続されている。プロセッサ２０１は、上位装置１０６からの動作指令を受け、搬送ロボット１０３、プリアライナ１０２、ＩＤ読み取り装置１０１を制御する。
【００２１】
基板ＩＤ読み取り機構を用いた読み取り方法は、基板Ｗのプリアライメント時に、基板Ｗの偏心量に基づいて基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定した複数の基板ＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて基板ＩＤを読み取る。
【００２２】
以下、本実施形態の基板ＩＤの読み取り機構を用いた基板ＩＤ読み取り方法を図４〜図１４に基づいて詳細に説明する。
【００２３】
図４は、基板ＩＤの位置と基板ＩＤ読み取り条件を示す基板ＩＤ読み取り装置の画面図である。ただし、基板ＩＤ読み取り装置１０１自体は、撮像手段の出力や操作案内等を表示する表示手段を具備しておらず、基板ＩＤ読み取り装置１０１をＰＣ２０４に接続することで、ＰＣ２０４のディスプレイ上にＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１が表示される。
【００２４】
まず、基板ＩＤ読み取り条件について説明する。基板ＩＤ読み取り条件は、ＩＤ種別、読み取り範囲、読み取り位置、基板ＩＤ読み取り装置１０１の照明の光量で構成される。ＩＤ種別とは、読み取る基板ＩＤ（以下、「ＩＤマーク」と称する）３０１の種類であり、英数文字、２次元データマトリクスコード、バーコード等がある。読み取り範囲とは、基板ＩＤ読み取り装置１０１がＩＤマーク３０１を読み取る範囲であり、１つの読み取り条件Ａ１の場合、図では１つの方形枠（フレーム）４０４で示した範囲である。読み取り条件の位置とは、読み取り範囲の基準となる位置であり、読み取り条件Ａ１の場合、図では方形枠４０４の左上の座標４０２である。照明の光量とは、基板ＩＤ読み取り装置１０１が備える照明の明るさの度合いである。基板ＩＤ読み取り装置１０１には、予め、ＩＤ種別、位置、範囲及び光量で構成された読み取り条件が複数保存される（図ではＡ１〜Ａ５の５つ）。
【００２５】
図４及び図５に基づいて、基板ＩＤ読み取り装置１０１のＩＤ読み取り条件設定フローを説明する。図５は、基板ＩＤ読み取り装置１０１の読み取り条件設定フローチャートである。
【００２６】
基板ＩＤ読み取り条件の設定（Ｓ５０１）は、基板ＩＤ読み取り処理を行う前に人手で実施される。作業者は、基板ＩＤ読み取り装置１０１にＰＣ２０４を接続し、ＰＣ２０４のディスプレイ上に基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１を表示させる（ステップＳ５０２）。画面４０１の表示後、基板Ｗを、偏芯無くかつＩＤマーク３０１の位置がＩＤ読み取り装置１０１の撮像可能な位置となるように、プリアライナ１０２のチャック１０７上に載置する（ステップＳ５０３）。基板Ｗの載置後、画面４０１でＩＤマーク３０１の種別を確認し、読み取り条件Ａ１のＩＤ種別としてＩＤマーク３０１の種別を設定する（ステップＳ５０４）。ＩＤマーク３０１の種別設定後、読み取り条件Ａ１の読み取り範囲及び読み取り位置として、ＩＤマーク３０１の中心位置４０３からＸ方向、Ｙ方向がそれぞれ均等になるように、ＩＤマーク３０１を読み取らせる位置と範囲を設定する（ステップＳ５０５）。読み取り条件Ａ１の方形枠４０４の中心位置とＩＤマーク３０１の中心位置４０３とは同じになる。図４では、読み取り条件Ａ１の読み取り範囲は、ＩＤマーク３０１の中心位置４０３からＸ方向にそれぞれＡＸ／２（ピクセル）、Ｙ方向にそれぞれＡＹ／２（ピクセル）の条件を読み取り範囲としている。読み取り範囲及び位置の設定後、基板ＩＤ読み取り装置１０１の光量を調整し、ＩＤマーク３０１を読み取れる光量を読み取り条件Ａ１に設定（ステップＳ５０６）し、ＩＤマーク３０１の種別、範囲、位置、光量を設定した読み取り条件Ａ１を基板ＩＤ読み取り装置へ保存する（ステップＳ５０７）。保存した読み取り条件Ａ１を基準の読み取り条件として、ＩＤ種別、範囲及び光量を基準の読み取り条件Ａ１と同じとし、読み取り位置のみ異なる読み取り条件を複数保存する（ステップＳ５０８）。本実施形態では、ＩＤ種別、範囲及び光量を基準の読み取り条件Ａ１と同じく設定し、読み取り位置については、読み取り条件Ａ１のＹ方向に隣接する読み取り条件Ａ２と、読み取り条件Ａ２のＹ方向に隣接する読み取り条件Ａ３と、読み取り条件Ａ１をＸ方向及びＹ方向にずらして読み取り条件Ａ１及びＡ２に掛かる位置に配置した読み取り条件Ａ５と、読み取り条件Ａ５のＹ方向に隣接し読み取り条件Ａ２及びＡ３に掛かる位置に配置した読み取り条件Ａ４とを登録している。以上で、読み取り条件の設定は終了となる（ステップＳ５０９）。
【００２７】
基板ＩＤ読み取り処理フローについて図６に基づいて説明する。図６は、基板搬送装置でのＩＤ読み取り処理フローチャートである。図６に示すように、制御コントローラ１０４は、まず、基板ＩＤ読み取り条件の取得を実施する（ステップＳ６０２）。
【００２８】
読み取り条件の取得のステップＳ６０２について、図７のフローチャートに基づいて説明する。図７は、読み取り条件の取得フローチャートである。図７に示すように、制御コントローラ１０４は、１つ以上の読み取り条件Ａ１〜Ａ５を基板ＩＤ読み取り装置１０１から取得し（ステップＳ７０１）、制御コントローラ１０４のメモリ２０２に取得した読み取り条件を読み取り条件テーブルとして保存する（ステップＳ７０２）。読み取り条件を保存して、読み取り条件の取得は終了する（ステップＳ７０３）。
【００２９】
図６に戻り、読み取り条件の取得後（ステップＳ６０２）、制御コントローラ１０４は、基板搬送ロボット１０３にて基板Ｗをプリアライナ１０２に置き（ステップＳ６０３）、基板Ｗのプリアライメントを実行させる（ステップＳ６０４）。
【００３０】
図８は、プリアライメント後の基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面図の一例であり、図９は、プリアライメント後のＩＤ読み取り装置１０１の画面図の他の例である。図８の例と図９の例とでは、ＩＤマークの位置が異なっており、図８の例では、ＩＤマーク３０８が読み取り条件Ａ４にのみ収まっているのに対し、図９の例では、ＩＤマーク３０９が読み取り条件Ａ３及びＡ４の両方に収まっている。図８及び図９に示すように、プリアライメントでは、プリアライナ１０２が基板Ｗのノッチ３０２位置と偏芯量ΔＸ１（ｍｍ）とΔＹ１（ｍｍ）を検出する。制御コントローラ１０４は、基板ＷのＩＤマーク３０１の位置がＩＤ読み取り装置１０１の位置にくるように（図１Ｂ参照）、プリアライナ１０２のチャック１０７を回転させる（ステップＳ６０５）。基板ＷのＩＤマーク３０８の位置合わせにより、基板ＷのＩＤマーク３０１ｂが基板ＩＤ読み取り装置１０１の視野（画面４０１）に収まる。
【００３１】
制御コントローラ１０４は、プリアライナ１０２から基板Ｗの偏芯量ΔＸ１（ｍｍ）とΔＹ１（ｍｍ）を取得（ステップＳ６０６）し、基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１上での偏芯量ΔＸ２（ピクセル）、ΔＹ２（ピクセル）を算出する（ステップＳ６０７）。図８および図９は、基板Ｗの偏芯が無い場合のＩＤマーク３０１が、基板ＷがΔＸ１（ｍｍ）、ΔＹ１（ｍｍ）だけ偏芯したことで、ＩＤマーク３０８の位置となったことを示し、基板Ｗの偏芯量ΔＸ１（ｍｍ）、ΔＹ１（ｍｍ）は、基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１上では、ΔＸ２（ピクセル）、ΔＹ２（ピクセル）に等しいことを示している。
【００３２】
基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１上でのＩＤマーク３０８の位置が明らかとなったので、制御コンロトーラ１０４は、ＩＤマーク３０１ｂの位置に一致する読み取り条件の検索を実施する（ステップＳ６０８）。
【００３３】
読み取り条件の検索の詳細について、図１０のフローチャートに基づいて説明する。
【００３４】
図１０は、読み取り条件の検索フローチャートである。図１０に示すように、制御コンロトーラ１０４は、読み取り条件の取得（ステップＳ６０２）の処理で制御コントローラ１０４のメモリ２０２に保存した読み取り条件テーブル（ステップＳ７０２）上の基準の読み取り条件Ａ１のＩＤ種別からＩＤマーク３０１の大きさを特定する（ステップＳ１００１）。ＳＥＭＩ（国際半導体装置材料協会）規格によって、ＩＤ種別ごとのＩＤマークの大きさは規定されている。基準のＩＤマーク３０１の大きさを特定した後、基準の読み取り条件Ａ１の位置と範囲から基準のＩＤマーク３０１の中心位置４０３を算出する（ステップＳ１００２）。ステップＳ５０５の処理によって、読み取り条件Ａ１の中心位置とＩＤマーク３０１の中心位置４０３は同じ位置に設定したので、読み取り条件Ａ１の中心位置を読み取り条件Ａ１の位置と範囲から算出すれば、ＩＤマーク３０８の中心位置４０８が求められる。基準のＩＤマーク３０１の中心位置４０３から偏芯量ΔＸ２（ピクセル）、ΔＹ２（ピクセル）分オフセットしたＩＤマーク３０８の中心位置４０８を算出する（ステップＳ１００３）。読み取り条件の取得（ステップＳ６０２）の処理で制御コントローラ１０４のメモリ２０２に保存した読み取り条件テーブル（ステップＳ７０２）から、読み取り条件の範囲条件に、ＩＤマーク３０８の中心位置４０８が含まれる読み取り条件を全て抽出する（ステップＳ１００４）。図８および図９の例では、両方とも、ＩＤマーク３０８，３０９の中心位置４０８，４０９が読み取り条件のＡ３及びＡ４内に位置するので、読み取り条件Ａ３およびＡ４が抽出される。
【００３５】
ステップＳ１００４で抽出した読み取り条件が無い場合（ステップＳ１００５）は、処理終了（ステップＳ１００９）する。ステップＳ１００４で抽出した読み取り条件が有る場合（ステップＳ１００５）は、抽出した読み取り条件のうち、ＩＤマーク３０８の大きさが読み取り範囲内に含まれる条件を全て、基板ＩＤ読み取り可能条件（以下、単に「読み取り可能条件」）として抽出する（ステップＳ１００６）。図８の例では、読み取り条件Ａ４のみが読み取り可能条件として抽出され、図９に示す例では、読み取り条件Ａ３およびＡ４が読み取り可能条件として抽出される。ステップＳ１００６で抽出できる読み取り条件が無い場合（ステップＳ１００７）は、処理終了（ステップＳ１００９）する。抽出できる読み取り条件が無い場合のフローについては後述する。
【００３６】
ステップＳ１００６で抽出した読み取り可能条件が有る場合（ステップＳ１００７）、読み取り可能条件に、優先順位を付けて（ステップＳ１００８）終了（ステップＳ１００９）する。
【００３７】
優先順位付け（ステップＳ１００８）について、図１１及び図１２に基づいて説明する。図１１は、読み取り可能条件の優先順位付けフローチャートである。図１２は、図９の２つの読み取り可能条件Ａ３，Ａ４を抽出した場合の優先順位付けを説明する図である。
【００３８】
図１１に示すように、まず、ＩＤマーク３０９の中心位置４０９を算出する（ステップＳ１１０１）。算出方法は、図１０で説明したステップＳ１００１〜Ｓ１００３と同じである。ＩＤマーク３０８の中心位置を算出後、図１０のステップＳ１００６で抽出した全ての読み取り条件の中心位置を算出する（ステップＳ１１０２）。読み取り可能条件Ａ３の中心位置Ａ３Ｃと読み取り可能条件Ａ４の中心位置Ａ４Ｃを算出する。ＩＤマーク３０９の中心位置４０９と抽出した全ての読み取り可能条件Ａ３，Ａ４の中心位置Ａ３Ｃ，Ａ４Ｃとの距離を算出する（ステップＳ１１０３）。図１２ではＩＤマーク３０９の中心位置４０９と読み取り可能条件Ａ３の中心位置Ａ３Ｃの距離は、ΔＤ２（ピクセル）となり、ＩＤマーク３０９の中心位置４０９と読み取り可能条件Ａ４の中心位置Ａ４Ｃの距離は、ΔＤ１（ピクセル）となる。ＩＤマーク３０９の中心位置４０９と読み取り可能条件Ａ３ＣおよびＡ４Ｃとの距離が近い順番に読み取り可能条件の優先順位を高く設定する。図１２では、ΔＤ２（ピクセル）＞ΔＤ１（ピクセル）であるため、読み取り可能条件Ａ４の中心位置Ａ４Ｃの方が読み取り可能条件Ａ３の中心位置Ａ３Ｃより、ＩＤマーク３０９の中心位置４０９の位置に近いことになり、読み取り可能条件Ａ４が第１優先条件、読み取り可能条件Ａ３が第２優先条件となる。以上で、優先順位付け（ステップＳ１００７）は終了（ステップＳ１１０５）となる。
【００３９】
図６に戻り、制御コンロトーラ１０４は、読み取り条件の検索（ステップＳ６０８）結果について判定を行い（ステップＳ６０９）、一致する読み取り条件が有る場合は、一致する読み取り条件で基板ＩＤの読み取りを実施する（ステップＳ６１０）。
【００４０】
基板ＩＤの読み取りの実施について、図１３に基づいて説明する。図１３は、基板ＩＤ読み取りフローチャートである。図１３に示すように、制御コントローラ１０４は、まず、優先順位の最も高い第１優先の読み取り可能条件Ａ４を取得し（ステップＳ１３０１）、その読み取り可能条件Ａ４を用いて基板ＩＤ読み取り装置１０１に基板ＩＤの読み取りを実行させる（ステップＳ１３０２）。基板ＩＤの読み取りが成功した場合（ステップＳ１３０３→ＹＥＳ）、読み取ったＩＤを制御コントローラ１０４のメモリ２０２に保存し（ステップＳ１３０６）、終了となる（ステップＳ１３０８）。他方、基板ＩＤの読み取りが失敗した場合（ステップＳ１３０３→ＮＯ）、次に優先順位の高い第２優先の読み取り条件を取得する（ステップＳ１３０４）。読み取り条件の有無判定（ステップＳ１３０５）を行い、図９の例ように、第２優先条件として読み取り可能条件Ａ３が有る場合は、読み取り条件Ａ３を指定して基板ＩＤの読み取りを実施する（ステップＳ１３０２）。図８の例ように、次の読み取り可能条件が無い場合は、基板ＩＤの読み取り異常と判定し（ステップＳ１３０７）、処理は終了となる（ステップＳ１３０８）。
【００４１】
図６に戻り、制御コントローラ１０４は、基板ＩＤの読み取り実施（ステップＳ６１０）による読み取り結果を上位装置へ通知（ステップＳ６１１）する。基板ＩＤの読み取りが成功した場合は、ステップＳ１３０６で制御コントローラ１０４のメモリ２０２に保存したＩＤを上位装置１０６へ通知し、基板ＩＤの読み取りが失敗した場合は、ＩＤ読み取り異常を上位装置１０６へ通知する。
【００４２】
図１４は、上位装置のメッセージ表示画面図である。図１４に示すように、ステップＳ６１１の基板ＩＤ読み取り結果の通知を受け取った上位装置１０６では、例として、画面１４０１のメッセージ１４０２へ基板ＩＤ読み取り結果の通知内容を表示する。
【００４３】
図６で説明した基板ＩＤ読み取り処理フローにおいて、読み取り可能条件がなかった場合について、Ｓ６０９以降の処理フローを引用して説明する。まず、制御コントローラ１０４は、上位装置１０６へ一致する読み取り条件が無いことを通知する（ステップＳ６１３）。次に、ステップＳ６０６で基板Ｗの偏芯量が分かっているため、基板搬送ロボット１０３は、基板Ｗの偏芯量分だけプリアライナ１０２からの基板Ｗの取り出し位置をオフセットさせて（ステップＳ６１４）、プリアライナ１０２上の基板Ｗを取り出す（ステップＳ６１５）。ステップＳ６１４及びステップＳ６１５によって、基板搬送ロボット１０３は基板Ｗを偏芯無く把持できているため、再度、ステップＳ６０３の基板搬送ロボット１０３にて基板Ｗをプリアライナ１０２へ置く処理以降を実行することで、基板ＩＤ読み取り装置１０１の画面４０１は、図４に示した基板Ｗの偏芯が無い場合と同じになるので、読み取り条件Ａ１で確実にＩＤマーク３０１を読み取ることができる。
【００４４】
本実施形態の基板ＩＤ読み取り方法によれば、ノッチ等の位置合わせの後、基板ＩＤの位置に基づいて予め設定された複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて基板ＩＤを読み取ることにより、基板位置や基板表面の状態によらず、基板ＩＤを迅速かつ正確に読み取ることができる。
【００４５】
特に、基板ＩＤ読み取り処理によって、読み取り条件Ａ１〜Ａ５を常に同じ優先順位として基板ＩＤ読み取りを行う場合に比べ、最初の第１優先の読み取り可能条件Ａ４を用いることで、基板ＩＤの読み取りがほぼ可能であるため、基板ＩＤ読み取り時間を最短にすることができる。
【００４６】
また、第１優先条件でＩＤマーク３０９の読み取りに失敗しても、第２優先条件、さらに次の優先順位の条件で読み取りを行うようにすることで、より確実なＩＤ読み取りを行うことができ、高い信頼性を得ることができる。
【００４７】
一般に、図２に示した基板搬送装置を用いた半導体製品の製造や検査では、製造対象或いは検査対象である基板は、複数枚ごと（ＦＯＵＰごと）に管理されている。それに対して、本実施形態の装置或いは基板ＩＤ読み取り方法は、一枚の基板ごとに製造或いは検査の管理をする方法に適用すると効果が顕著である。
【００４８】
［第２の実施形態］
次に、本発明の好適な第２の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００４９】
本実施形態の基板ＩＤ読み取り機構の基本的な構成部分は、上述した図１の基板ＩＤ読み取り機構とほぼ同様であるが、複数の読み取り条件からなる読み取り条件群を複数群予め設定し、基板の種類や状態に応じて読み取り条件ＩＤ群を決定し、その決定した読み取り条件群の中から読み取り可能条件を抽出するよう設定した点において異なる。以下、具体的に説明する。
【００５０】
ＩＤマークの種別および表面状態は、基板の製造過程によって異なる場合があり、読み取り条件における基板ＩＤの種別や光量は常に一定ではない。そこで、本実施形態では、読み取り条件群として、基板の製造情報を含むレシピ情報ごとに読み取り条件を登録しておく。基板読み取り条件の登録は、図５のＩＤ読み取り装置の読み取り条件設定（ステップＳ５０１）のフローに沿って行い、ステップＳ５０７およびＳ５０８で基板ＩＤ読み取り装置に読み取り条件を保存する際に、レシピ情報ごとにグループ分けしておく。
【００５１】
図１５は、レシピ情報ごとの読み取り条件分けの説明図である。基板ＩＤ読み取り装置１０１に保存された読み取り条件は、レシピＡでの読み取り条件Ａ１〜Ａ５と、レシピＢでの読み取り条件Ｂ１〜Ｂ１０というように、レシピ情報ごとに読み取り条件をグループ１５０１、１５０２のように分けることができる。レシピＡ、レシピＢ以外の新しいレシピＣができた場合は、レシピＣ用の読み取り条件グループを作成し、そのグループ内に読み取り条件Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３・・・のように追加登録して行くことができる。
【００５２】
本実施形態では、図６で説明した基板ＩＤ読み取り処理フローの読み取り条件取得（ステップ６０２）において、レシピ情報ごとに分けられた読み取り条件グループの特定し、その条件クループ内から読み取り条件の取得を行う。レシピ情報による読み取り条件の取得について、図１５のレシピＢ用の読み取り条件グループ１５０２を特定した場合を例として、図１６に基づいて説明する。
【００５３】
図１６は、レシピ情報による読み取り条件の取得フローチャートである。制御コントローラ１０４は、上位装置１０６からレシピＢ情報を取得する（ステップＳ１６０１）。レシピＢ情報をキーに読み取り条件グループとして、レシピＢ用の読み取り条件グループ１５０２を特定する（ステップＳ１６０２）。特定した読み取り条件グループ１５０２の読み取り条件Ｂ１〜Ｂ１０を基板ＩＤ読み取り装置１０１から取得する（ステップＳ１６０３）。取得した読み取り条件Ｂ１〜Ｂ１０を制御コンロトーラ１０４のメモリ２０２に読み取り条件テーブルとして保存（ステップＳ１６０４）し、レシピ情報による読み取り条件の取得処理を終了（ステップＳ１６０５）する。図６のステップＳ６０３以降の処理は第１の実施形態と同じである。
【００５４】
本実施形態の基板ＩＤ読み取り方法によれば、基板の製造過程によってＩＤマークの種別および表面状態が異なった場合でも、ＩＤ読み取り条件を特定できるためＩＤ読み取りが可能である。
【００５５】
以上、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、他にも種々のものが想定される。
【符号の説明】
【００５６】
１０１ ＩＤ読み取り装置
１０２ プリアライナ
１０３ 搬送ロボット
１０４ 制御コントローラ
１０５ 基板収納容器
１０６ 上位装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置と、基板搬送時における前記基板の偏心量を計測し前記基板のアライメントを行うアライナとを備え、基板の偏心量を計測しアライメントを行う際に、前記基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り機構において、
前記基板ＩＤ読み取り装置は、前記基板の偏心量に基づいて前記基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定された複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて前記基板ＩＤを読み取る構成としたことを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項２】
請求項１記載の基板ＩＤ読み取り機構において、前記基板ＩＤ読み取り条件は、基板ＩＤの種類、基板ＩＤの読み取り範囲、前記基板ＩＤの読み取り範囲の基準位置、読み取り時の光量の少なくとも１つ以上であることを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項３】
請求項２記載の基板ＩＤ読み取り機構において、前記基板ＩＤ読み取り可能条件の抽出は、前記基板ＩＤの種類に基づいて前記基板ＩＤの大きさを特定し、その基板ＩＤが前記基板ＩＤを読み取る範囲内に収まるものを基板ＩＤ読み取り可能条件とすることを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項４】
請求項３記載の基板ＩＤ読み取り機構において、基板ＩＤ読み取り可能条件の中心位置が基板ＩＤの中心位置に近い順に優先順位を付し、その優先順位に基づいて基板ＩＤを読み取ることを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項記載の基板ＩＤ読み取り機構において、前記予め設定された複数の基板ＩＤ読み取り条件の中に前記基板ＩＤ読み取り可能条件がなかった場合、前記アライナで基板の偏心を補正し、再度、基板のＩＤ位置を算出し、前記複数のＩＤ読み取り条件の中から算出した位置で前記基板ＩＤ読み取り可能条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて前記基板ＩＤを読み取ることを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項記載の基板ＩＤ読み取り機構において、複数の基板ＩＤ読み取り条件からなる基板ＩＤ読み取り条件群が複数群予め設定され、使用する前記基板ＩＤ読み取り条件ＩＤ群を基板の種類或いは状態に応じて決定し、その決定した基板ＩＤ読み取り条件群の中から前記読み取り可能条件を抽出するよう設定したことを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項７】
基板の搬送先或いは搬送元に取り付けられる筐体と、その筐体に設けられ基板を収納する容器と、前記容器内の基板を搬送先に供給するまたは前記搬送元の基板を前記容器に回収する基板搬送ロボットと、搬送される基板の位置及び向きを補正するアライナを備えた基板搬送装置において、
前記アライナには、基板に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置が取り付けられ、前記アライナ及び前記基板ＩＤ読み取り装置は、請求項１乃至６のいずれか１項記載の基板ＩＤ読み取り機構を構成することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項８】
基板搬送時における基板の偏心量を計測し基板のアライメントを行う際に前記基板の表面に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り方法において、
前記基板の偏心量に基づいて前記基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定した複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて前記基板ＩＤを読み取ることを特徴とする基板ＩＤ読み取り方法。
【請求項１】
基板の表面に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置と、基板搬送時における前記基板の偏心量を計測し前記基板のアライメントを行うアライナとを備え、基板の偏心量を計測しアライメントを行う際に、前記基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り機構において、
前記基板ＩＤ読み取り装置は、前記基板の偏心量に基づいて前記基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定された複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて前記基板ＩＤを読み取る構成としたことを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項２】
請求項１記載の基板ＩＤ読み取り機構において、前記基板ＩＤ読み取り条件は、基板ＩＤの種類、基板ＩＤの読み取り範囲、前記基板ＩＤの読み取り範囲の基準位置、読み取り時の光量の少なくとも１つ以上であることを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項３】
請求項２記載の基板ＩＤ読み取り機構において、前記基板ＩＤ読み取り可能条件の抽出は、前記基板ＩＤの種類に基づいて前記基板ＩＤの大きさを特定し、その基板ＩＤが前記基板ＩＤを読み取る範囲内に収まるものを基板ＩＤ読み取り可能条件とすることを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項４】
請求項３記載の基板ＩＤ読み取り機構において、基板ＩＤ読み取り可能条件の中心位置が基板ＩＤの中心位置に近い順に優先順位を付し、その優先順位に基づいて基板ＩＤを読み取ることを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項記載の基板ＩＤ読み取り機構において、前記予め設定された複数の基板ＩＤ読み取り条件の中に前記基板ＩＤ読み取り可能条件がなかった場合、前記アライナで基板の偏心を補正し、再度、基板のＩＤ位置を算出し、前記複数のＩＤ読み取り条件の中から算出した位置で前記基板ＩＤ読み取り可能条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて前記基板ＩＤを読み取ることを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項記載の基板ＩＤ読み取り機構において、複数の基板ＩＤ読み取り条件からなる基板ＩＤ読み取り条件群が複数群予め設定され、使用する前記基板ＩＤ読み取り条件ＩＤ群を基板の種類或いは状態に応じて決定し、その決定した基板ＩＤ読み取り条件群の中から前記読み取り可能条件を抽出するよう設定したことを特徴とする基板ＩＤ読み取り機構。
【請求項７】
基板の搬送先或いは搬送元に取り付けられる筐体と、その筐体に設けられ基板を収納する容器と、前記容器内の基板を搬送先に供給するまたは前記搬送元の基板を前記容器に回収する基板搬送ロボットと、搬送される基板の位置及び向きを補正するアライナを備えた基板搬送装置において、
前記アライナには、基板に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り装置が取り付けられ、前記アライナ及び前記基板ＩＤ読み取り装置は、請求項１乃至６のいずれか１項記載の基板ＩＤ読み取り機構を構成することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項８】
基板搬送時における基板の偏心量を計測し基板のアライメントを行う際に前記基板の表面に設けられた基板ＩＤを読み取る基板ＩＤ読み取り方法において、
前記基板の偏心量に基づいて前記基板ＩＤの位置を算出し、その算出した基板ＩＤの位置に基づいて予め設定した複数のＩＤ読み取り条件の中から基板ＩＤを読み取り可能な条件を抽出し、その抽出した基板ＩＤ読み取り可能条件を用いて前記基板ＩＤを読み取ることを特徴とする基板ＩＤ読み取り方法。
【図１Ａ】
【図１Ｂ】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１Ｂ】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２０１１−２３５６２（Ｐ２０１１−２３５６２Ａ）
【公開日】平成２３年２月３日（２０１１．２．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１６７５１５（Ｐ２００９−１６７５１５）
【出願日】平成２１年７月１６日（２００９．７．１６）
【出願人】（０００２３３５４９）株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ (130)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年２月３日（２０１１．２．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年７月１６日（２００９．７．１６）
【出願人】（０００２３３５４９）株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ (130)
【Ｆターム（参考）】
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