【課題】基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することにより、基板支持具の異常動作に関する原因判定材料を提供可能な動画像生成装置、動画像生成方法及び動画像生成システムを提供する。
【解決手段】動作データ生成部２１ｂは、受け付けた基板支持具に関する動作の履歴情報２Ｄに基づいて、基板支持具の検出動作データ４Ｄを生成する。抽出部２１ａは、基板処理装置に係るＣＡＤデータ１Ｄから基板支持具の形状データ５Ｄと設計動作データ６Ｄとを抽出する。動画像生成装置は、抽出した基板支持具の形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄ並びに生成した基板支持具の検出動作データ４Ｄに基づいて、基板支持具の設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成する動画像生成部２１ｅを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板面積、或いは基板の厚さ寸法に拘わらず、基板面の平坦性を維持しながら搬送する。
【解決手段】基板保持手段７は、基板Ｇの幅方向両端において、該基板の下面を吸着保持する吸着部材７ａと、前記吸着部材を前記基板の幅方向外側に引張る引張り手段７ｅ、７ｆ、７ｇとを備え、浮上ステージ２上に浮上する前記基板は、その幅方向両端の下面が前記吸着部材により吸着保持され、且つ、前記引張り手段により幅方向両端が幅方向外側に引張られた状態で、基板搬送手段６により搬送される。 （もっと読む）

【課題】 基板の変形によってアライメントマークが検出できない場合に、アライメントマークを探索して加工動作を続行できるようにした基板加工方法を提供する。
【解決手段】 アライメントマークを撮像するために設定した撮像基準位置においてカメラにより撮像されたアライメントマーク画像から基板の位置情報を取得する際に、撮像基準位置での撮像ではアライメントマーク画像が検出されないときに、カメラ若しくはテーブルを移動することで、撮像位置を撮像基準位置の周辺に順次移動させるようにしてアライメントマーク画像を探索し、アライメントマーク画像が検出されたときの撮像位置と撮像基準位置との位置ずれ量を算出して加工用ツールによる加工位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】基板ホルダの劣化等による貼り合せシステムのトラブルを防止する。
【解決手段】基板を保持した状態で搬送される基板ホルダであって、基板を保持面に保持する本体部と、本体部に設けられ、外部から測定可能な指標と、指標の情報、および、外部からの測定により得られるべき結果の情報を、外部から読み出し可能に記憶する情報記憶部とを備える基板ホルダが提供される。指標は、測定によって互いに異なる複数の結果のいずれか一つが測定されるべく設けられており、情報記憶部は、複数の結果のうちの一つを、基板ホルダを識別する識別情報に対応付けて記憶している。 （もっと読む）

【課題】 保持部材の姿勢に異常があるか否かを確実かつ容易に検出すること。
【解決手段】 保持部材であるフォーク３Ａを前進させたときに、当該フォーク３Ａがその前を通過するように、フォーク３Ａの進行方向に対して側方にラインセンサ４を設ける。そして、フォーク３Ａをラインセンサ４に対して進退させたときに、当該フォーク３Ａの上下方向の位置と、フォーク３Ａの進退方向の位置とを対応付けたデータを取得する。この取得されたデータに基づいて前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】流出した液体による被害の拡大を防止し、露光処理及び計測処理を良好に行うことができる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置（ＥＸ）は、移動可能なテーブル（ＰＴ）と、テーブル（ＰＴ）の移動を案内する上面（４１Ａ）を有するベース部材（４１）と、ベース部材（４１）の上面（４１Ａ）に液体（ＬＱ）が有るか否かを検出する検出装置（６０）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基準位置に正確に取り付けられた基準部材を有する位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決めのために基準となる基準部材と、前記基準部材を支持するための支持部と、前記支持部に設けられ、前記基準部材と前記支持部とを固定し、または固定を解除する第1の固定部材と、を有し、前記基準部材は、可動する状態で前記支持部と接続されており、位置決めされた後、前記第１の固定部材により前記支持部に固定されるものであることを特徴とする位置決め装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハのツイスト角度を、イオン注入条件の一つとして与えられる角度に精度良く合わせることができる方法および装置を提供する。
【解決手段】 光源６４からの光７４を導いてウェーハ２の外周部に光照射領域を４箇所形成するライトガイド６６、７０ａ〜７０ｄと、カメラ８４と、画像処理装置とを設けておく。そして、アライナー４０において、ウェーハ２をプラテン１４へ移載したときに上記光照射領域の内の一つ内にノッチ４が位置するようにアライメント角度αを調整し、ウェーハ搬送装置４２ａ、４６によってアライナー４０からプラテン１４へウェーハ２を搬送する。更に上記画像処理装置を用いて、プラテン１４上のウェーハ２のノッチ４の角度を検出して、その角度とアライメント角度αとの第１の差に、アライメント角度αとイオン注入条件の一つとして与えられるツイスト角度との第２の差を加味した角度ぶん、ウェーハ２を回転させる。 （もっと読む）

【課題】振動を軽減するためのモードと、加速、減速するためのモードとを備えたステージ装置を提供する。
【解決手段】天板６２、第１固定子５８、第１可動子５９を有し、前記天板を所定の方向に走行させる第１リニアモータと、第２固定子５８、前記第１可動子を両側から挟むように配置された一対の第２可動子６４，６４とを有し、前記天板を前記所定の方向に走行させる第２リニアモータと、前記第２可動子の前記第１可動子と対向する面のそれぞれに配置され、前記第２リニアモータの駆動力を前記第１可動子に伝達するための一対の伝達部材６８，６８と、前記第１リニアモータ、前記第２リニアモータ及び前記一対の伝達部材を制御する制御部とを備え、制御部は、前記第２リニアモータを駆動し前記伝達部材の一方を介して前記天板を移動させる第１モードと、前記第１リニアモータ及び第２リニアモータの双方を駆動し前記天板を移動させる第２モードとを含む。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのプロセスモジュールを備える、平坦な基板の流体直列式処理のための装置及び方法に関する。特に、本発明は、基板の緩やかで且つ制御された搬送中のこのような処理に関し、処理は、基板の搬送にも関することができる。本発明によれば、処理平面５に実質的に水平に配置されており且つ下側流体クッション６Ａを形成するように設計された少なくとも１つの処理面７Ａを有する処理チャンバ２を含むプロセスモジュール１が設けられており、同じ平面における基板２２の線形送りのための入口３及び出口４の形式の２つの開口が、処理面７Ａに割り当てられており、処理チャンバ２内の基板２２の制御された送り９のための少なくとも１つのキャッチ１０を備えた少なくとも１つの送り装置が設けられている。さらに、本発明は、本発明による装置を使用する方法を提供する。
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【課題】紫外線硬化型の保護テープの粘着剤を均一に硬化させ、保護テープを精度よく半導体ウエハの表面から剥離できるとともに、紫外線照射装置を小型化する。
【解決手段】保持テーブル８に載置保持された保護テープ付きのウエハＷの表面に紫外線を照射する前に、複数個の紫外線発光ダイオード１１がアレー状に配備された紫外線照射ユニット１２と対向する測定位置に照度センサ１４を移動させ、保護テープ表面に相当する位置の照度を測定し、当該測定結果と保持テーブル８の回転速度から求まる各ダイオード１１の紫外線照射位置における積算光量が一定となるように各ダイオード１１の出力を調節する。 （もっと読む）

【課題】ウエーハ、カセット及び搬送手段の破損を防止するウエーハ加工装置を提供。
【解決手段】ウエーハカセット５０と、カセット載置台７４と、カセットにウエーハを搬入・搬出する搬送手段５４とを備え、搬送手段は、載置台に載置されたカセットに進退可能に配設され、カセットに対してウエーハを搬入・搬出するウエーハ加工装置であって、搬送手段とカセット又はウエーハとの衝突を検出する衝突検出機構９０と、搬送手段を制御する制御手段とを具備し、載置台は、ウエーハ加工装置の架台上に微少動可能に組みつけられ、衝突検出機構は、載置台又は架台の何れか一方に固定された作用板と、載置台又は架台の他方に作用板と対向して配設された接触スイッチとを含み、搬送手段と、カセット又はウエーハとの衝突時に発生する載置台の微小動によって接触スイッチが作用板に接触することで衝突を検出し、衝突を検出した際、搬送手段の動作を停止させる。 （もっと読む）

【課題】Ｙ軸移動体のヨーイング角度を所望に制御し、且つＸ軸移動体の走り精度を高める。
【解決手段】ＸＹステージ装置１は、定盤２上でＸ軸方向移動するＸ軸移動体３、定盤上でＹ軸方向移動すると共にＸ軸移動体３のＸ軸方向移動をガイドするＹ軸移動体４、Ｙ軸移動体４をＹ軸方向駆動するシャフトモータ１４Ａ，１４Ｂ、Ｙ軸移動体４のヨーイング角度を検出するリニアスケール１６Ａ，１６Ｂ、を備えている。ＸＹステージ装置１では、シャフトモータ１４Ａ，１４Ｂの駆動がヨーイング角度に基づきコントローラ１７によって制御されるため、ヨーイング角度に応じてシャフトモータ１４Ａ，１４Ｂのそれぞれを適宜制御できる。また、転がりガイド１１でＹ軸移動体４のＸ軸方向一端部が支持され、リフトエアパッド１２でＹ軸移動体４のＸ軸方向他端部が支持されるため、Ｙ軸移動体４がＸ軸方向に完全拘束されない。 （もっと読む）

【課題】吸着面に静電吸着される被吸着物の平面度を高くできる静電吸着保持装置、露光装置、露光方法及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】第２静電吸着保持装置３４は、可撓性を有する誘電性材料で形成され、且つウエハＷを吸着する吸着面３４ａが形成された一方の面４２ｂを有する基体４２と、該基体４２の内部に設けられる第１電極部４５及び第２電極部４６と、基体４２の一方の面４２ｂとは反対側の他方の面４２ａに駆動力を付与し、基体４２の吸着面３４ａの形状を変形させる駆動装置４１と、を備えている。この駆動装置４１の駆動によって、吸着面３４ａの形状が変形すると、該吸着面３４ａに静電吸着されるウエハＷの被照射面Ｗａの平面度は高くなる。 （もっと読む）

【課題】基板が搭載される複数の搭載部間のピッチの変更動作を行う場合であっても、構成の簡素化が可能でかつハンドに搭載される基板を適切に把持することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、所定のピッチで上下方向に重なるように配置される基板の搭載部を有する複数のハンドと、搭載部間のピッチを変えるピッチ変更機構と、ハンドに搭載される基板を把持するための把持機構２４とを備えている。把持機構２４は、複数の基板の把持部８０と、基板の把持方向へ把持部８０を付勢する複数の付勢部材と、把持部８０に当接して基板からの退避方向へ複数の把持部８０を移動させる移動部材８２とを備えている。複数の把持部８０および複数の付勢部材のそれぞれは、複数のハンドのそれぞれに保持され、移動部材８２は、把持部８０が基板を把持しているときに把持部８０から離れている。 （もっと読む）

【課題】 パターニングデバイスとパターニングデバイス支持体との間のずれが考慮されるリソグラフィ装置のパターニングデバイスに位置測定システムを提供する。
【解決手段】 本発明は、放射ビームを調整するように構成された照明システムと、放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構成されたパターニングデバイス支持体と、基板を保持するように構成された基板支持体と、パターン付放射ビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、少なくとも基板のターゲット部分へのパターン付放射ビームの投影の間、パターニングデバイス上に提供されたグリッド又は格子を用いてパターニングデバイス支持体上に支持されたパターニングデバイスの位置量を連続して決定するように構成されたエンコーダタイプの測定システムとを含むリソグラフィ装置に関する。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムにおいてポッド開口を蓋によって閉鎖する動作時に当該蓋が適切にポッドに固定されていることを検知する方法を提供する。
【解決手段】ポッドに対して蓋を取り付ける際にドアが所定の位置に存在するか否か及びポッドが蓋開閉位置からの変位の有無を判定し、更に蓋をポッドに係止させた後に再度ドアが所定の位置に存在するか否か及びポッドが蓋開閉位置からの変位の有無を判定し、何れの判定においてもドアが所定位置に存在し且つポッドが変位しないことが確認された場合に、蓋の固定が適切であると判定する。 （もっと読む）

【課題】移送装置を提供する。
【解決手段】垂直軸線を形成するプロファイルと、プロファイルに隣接して設けられて被移送物を支持し、プロファイルの垂直軸線に沿ってプロファイルに対して相対的にアップ／ダウン移動するカーアセンブリーと、プロファイルとカーアセンブリーとのうち少なくとも何れか一つに設けられてカーアセンブリーのアップ／ダウン移動時、プロファイルに対するカーアセンブリーの移動経路を非接触式で案内する非接触式アップ／ダウン案内ユニットと、を含むことを特徴とする移送装置。本発明によれば、被移送物に対する高速移送が可能でありながらも、移送速度を安定的に維持及び制御し、かつ被移送物の移送過程中にパーティクルの発生を防止できるということはもとより、従来よりさらにノイズを減らせて、耐久性を向上させうる。 （もっと読む）

【課題】ウエーハの表面に貼着された保護テープをウエーハを破損させることなく剥離することができる保護テープ剥離装置を提供する。
【解決手段】。ウエーハの表面に貼着された保護テープを剥離する保護テープ剥離装置であって、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに裏面側が保持されたウエーハの表面に貼着されている保護テープの一端部を保持するテープ保持手段と、チャックテーブルと該テープ保持手段とを相対的に移動せしめる移動手段と、テープ保持手段に配設され保護テープを剥離する際の荷重を検出する荷重検出手段と、荷重検出手段からの荷重信号に基いて荷重信号が一定になるように移動手段の移動速度を制御する制御手段とを具備している。 （もっと読む）