保持部材の姿勢判定装置、その方法、基板処理装置及び記憶媒体
【課題】 保持部材の姿勢に異常があるか否かを確実かつ容易に検出すること。
【解決手段】 保持部材であるフォーク３Ａを前進させたときに、当該フォーク３Ａがその前を通過するように、フォーク３Ａの進行方向に対して側方にラインセンサ４を設ける。そして、フォーク３Ａをラインセンサ４に対して進退させたときに、当該フォーク３Ａの上下方向の位置と、フォーク３Ａの進退方向の位置とを対応付けたデータを取得する。この取得されたデータに基づいて前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する。
【解決手段】 保持部材であるフォーク３Ａを前進させたときに、当該フォーク３Ａがその前を通過するように、フォーク３Ａの進行方向に対して側方にラインセンサ４を設ける。そして、フォーク３Ａをラインセンサ４に対して進退させたときに、当該フォーク３Ａの上下方向の位置と、フォーク３Ａの進退方向の位置とを対応付けたデータを取得する。この取得されたデータに基づいて前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を保持して搬送する保持部材が進退自在に搬送基体に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の姿勢に異常があるか否かを判定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスやＬＣＤ基板の製造プロセスにおいては、基板処理装置内に基板に対して処理を行うモジュールを複数個設け、これらモジュールに基板搬送装置により基板である半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）を順次搬送して所定の処理を行うことが実施されている。前記基板搬送装置は、例えば基板の周縁を保持するフォークが搬送基体に沿って進退自在に設けられると共に、前記搬送基体が鉛直軸周りに回転自在、昇降自在に構成されている。
【０００３】
前記基板処理装置内においては、予めモジュール毎に、基板搬送装置が当該モジュールに対してウエハの受け渡しを行う受け渡し位置が設定されており、基板搬送装置が前記受け渡し位置に移動して、当該モジュールとの間でウエハの受け渡しが行われる。しかしながら、例えば前記受け渡し位置の設定ミスにより、フォークがモジュール等の構造物に衝突してしまう場合がある。また、モジュール側におけるウエハの受け渡し位置のずれやウエハの反り、薬液による滑り等が要因となって、フォーク上の適切な位置にウエハを保持できず、ウエハを介して構造物に衝突してしまう場合もある。このような衝突が起こると、フォークに力が加わり、上下方向への曲がりや、左右方向への広がりや狭まり等、フォークの変形が発生するおそれが高くなる。
【０００４】
このようにフォークの変形が発生した場合、そのまま基板搬送装置の動作を続行すると、フォークからウエハが落下して、ウエハや基板搬送装置を破損してしまうおそれがあり、またフォークが再度構造物に衝突してフォークの変形の程度が大きくなる等、さらなる２次災害を引き起こす懸念がある。
【０００５】
このため、従来ではフォークが構造物に衝突してアラームが出力されると、作業者が基板処理装置内に進入し、フォークの変形状態を所定の確認工程に従って目視にて確認し、フォークが変形している場合にはメンテナンスを行うようにしていた。しかしながら、装置内における作業者の処理空間は閉所かつ暗所であるため、フォークの状態を正確に把握するためには厳しい環境であり、しかも確認工程数が多いことから作業者の負担が大きくなってしまうという問題があった。また、目視での確認作業であるため、作業者の個人差があり、フォークの変形程度を定量的に判断することは困難であった。
【０００６】
ところで、特許文献１には、搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段において、保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを判断する構成が記載されている。この文献１では、水平な光軸を形成する光センサを設け、搬送基体を光センサに対して相対的に昇降させることにより取得した前記光センサからの受光ー非受光の検出結果と、前記搬送基体の高さ位置とに基づいて、前記保持アームの姿勢が正常であるか否かを判断している。
【０００７】
このような構成は、上下方向に配列された複数の保持アームについて同時に姿勢が正常であるか否かを判定できる点において有効であるが、保持アームの進退方向の一部の姿勢に変形部位があるときには姿勢の異常を検出することは難しく、この特許文献１の構成を用いても、本発明の課題を解決することは困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−２３５８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、このような事情の下になされたものであり、保持部材の姿勢に異常があるか否かを確実かつ容易に検出することができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する装置において、
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられ、当該保持部材の上下方向の位置及び進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する光検出部と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータ、及び前記左右方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得部と、を備え、
この取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする。
【００１１】
ここで保持部材の姿勢に異常がある否かについては、保持部材の進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する判定部を設けて判定するようにしてもよいし、保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置を対応付けた波形及び保持部材の前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けた波形の少なくとも一方を表示する表示部を備え、作業者が前記波形に基づいて判定するようにしてもよい。
【００１２】
また、本発明の基板処理装置は、基板に対して処理を行う基板処理部と、
進退自在に設けられた保持部材により基板を保持して、前記基板処理部に対して基板の搬送を行う基板搬送装置と、
前記保持部材の姿勢判定装置と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明は、基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する方法において、
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられた光検出部により、当該保持部材の上下方向の位置及び進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する検出工程と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータ、及び前記左右方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得工程と、を含み、
前記取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする。
【００１４】
さらにまた、本発明の記憶媒体は、基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、前記プログラムは、前記保持部材の姿勢判定方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、前記保持部材を光検出部に対して進退させたときに、当該光検出部により当該保持部材の上下方向の位置及び進退方向に対する左右方向の位置の少なくとも一方を検出し、前記上下方向の位置と前記進退方向の位置とを対応付けたデータ及び前記左右方向の位置と前記進退方向の位置とを対応付けたデータの少なくとも一方を取得している。そして、この取得されたデータに基づいて、保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されるので、保持部材における姿勢の異常を確実、かつ容易に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る基板処理装置の一例を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の基板搬送装置及び光検出部を示す斜視図である。
【図３】前記基板搬送装置及び光検出部を示す平面図である。
【図４】光検出部と保持部材との関係を示す正面図である。
【図５】前記基板処理装置に設けられた制御部を示す構成図である。
【図６】姿勢が正常な保持部材の側面図及び、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図７】姿勢が正常な保持部材の側面図及び、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図８】姿勢に異常がある保持部材の側面図及び、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図９】姿勢に異常がある保持部材の側面図及び、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図１０】光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態に係る基板搬送装置と光検出部を示す斜視図である。
【図１２】前記他の実施の形態に係る基板搬送装置と光検出部を示す平面図である。
【図１３】姿勢が正常な保持部材を示す平面図である。
【図１４】図１３の保持部材を検査したときの、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図１５】姿勢に異常がある保持部材を示す平面図である。
【図１６】図１５の保持部材を検査したときの、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図１７】姿勢に異常がある保持部材を示す平面図である。
【図１８】図１７の保持部材を検査したときの、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図１９】本発明のさらに他の実施の形態に係る基板搬送装置と光検出部を示す平面図と側面図である。
【図２０】本発明のさらに他の実施の形態に係る基板搬送装置と光検出部を示す平面図と側面図である。
【図２１】本発明のさらに他の実施の形態に係る保持部材と光検出部を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の保持部材の姿勢判定装置の一実施の形態について説明するが、先ず、この姿勢判定装置を備えた基板処理装置の一例について簡単に説明する。図１は、基板処理装置に設けられた処理ブロックの一例を示すものであり、この処理ブロックには、基板に対して処理を行う基板処理部をなすモジュール１を多数備えた棚ユニットＵ１と、この棚ユニットＵ１に対向するように設けられた基板処理部２と、が設けられている。これら棚ユニットＵ１に設けられたモジュール１及び基板処理部２に対しては、基板搬送装置をなす搬送アーム３により、基板であるウエハＷの受け渡しが行われるように構成されている。
【００１８】
例えば棚ユニットＵ１には、加熱モジュールや冷却モジュール等の複数のモジュールが積層して設けられ、基板処理部２は例えばウエハＷにレジスト液を塗布する基板処理や、ウエハＷに現像液を供給する基板処理等が行われるように構成されている。図１中１１は、各モジュール１と搬送アーム３との間でウエハＷの受け渡しを行うための搬送口である。
【００１９】
前記搬送アーム３は、図１〜図３に示すように、ウエハＷの周囲を囲むように設けられた保持枠をなす複数枚例えば２枚のフォーク３（３Ａ，３Ｂ）が夫々搬送基体３１に沿って進退自在（図１中Ｘ軸方向に移動自在）に構成されると共に、前記搬送基体３１が回転機構３２により鉛直軸まわりに回転自在に構成されている。前記フォーク３Ａ，３Ｂは、その基端側に設けられた進退駆動部３３（３３Ａ，３３Ｂ）により、例えば搬送基体３１内部に設けられたタイミングベルトを用いた駆動機構（図示せず）により搬送基体３１に沿って進退移動するように構成されている。また、この駆動機構のモータＭはエンコーダＥに接続され、このエンコーダＥのパルス値は後述する制御部５に出力されるように構成されている。
【００２０】
前記回転機構３２の下方側には昇降台３４が設けられており、この昇降台３４は上下方向（図１中Ｚ軸方向）に直線状に伸びる図示しないＺ軸ガイドレールに沿って昇降自在に設けられている。この例ではＺ軸ガイドレール及び昇降機構は夫々カバー体３５により覆われており、このカバー体３５はＹ軸方向に直線状に伸びるＹ軸ガイドレール３６に沿って摺動移動するように構成されている。
【００２１】
前記フォーク３Ａ，３Ｂは例えば円弧状に形成され、図２及び図３に示すように、このフォーク３Ａ，３Ｂの内縁から各々内側に突出すると共に、当該内縁に沿って互いに間隔を開けて設けられ、前記ウエハＷの裏面側周縁部を載置するための３個以上の保持爪３０が設けられている。この例では、フォーク３Ａ，３Ｂと保持爪３０とにより保持部材が構成されている。
【００２２】
さらに、前記基板処理装置には、フォーク３Ａ，３Ｂの変形を検出するための光検出部が設けられている。この光検出部としては、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置を光学的に検出するセンサが用いられ、この例では、水平かつ上下方向に幅を持つ光軸を形成するラインセンサ４により構成されている。このラインセンサは、例えばＬＥＤ等からなる発光部４１と受光部４２とにより透過型センサとして構成されている。
【００２３】
これら発光部４１と受光部４２は、搬送基体３１を検査位置に配置して検査対象のフォーク３Ａ（３Ｂ）を前方に伸び出させたときに、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）がその前を通過するように、フォーク３Ａ（３Ｂ）の進行方向に対して側方に設けられ、フォーク３Ａ（３Ｂ）を挟んで左右に対向するように配置されている。この例では、前記発光部４１及び受光部４２は、前記棚ユニットＵ１に組み込まれたモジュールの内、例えば一つのモジュール１２の搬送口１１の左右方向の両側近傍に夫々設けられている。
【００２４】
また、ラインセンサ４は、発光部４１及び受光部４２が上下方向（図２中Ｚ方向）に配列され、例えば図４に示すように、光軸４０の上下方向の幅がフォーク３Ａ（３Ｂ）の厚さと同じか大きくなるように構成されている。図４では、図示の便宜上光軸４０の上下方向の幅がフォーク３Ａ（３Ｂ）の厚さと同じである場合を描いている。前記発光部４１からの光は、フォーク３Ａ（３Ｂ）が光軸４０の手前側（搬送基体３１側）にあるときには、図４（ａ）に示すように受光部４２に全て入射するが、フォーク３Ａ（３Ｂ）がラインセンサ４の前を通過したときには、光軸４０の全部又は一部がフォーク３Ａ（３Ｂ）により遮断される。ここで、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢が正常である場合とは、フォーク３Ａ（３Ｂ）がその進退方向において略水平に伸びる状態であり、このように正常である場合には、フォーク３Ａ（３Ｂ）がラインセンサ４を通過する間中、図４（ｂ）に示すように光軸４０の全部が遮断される。
【００２５】
また、この例におけるフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢が異常である場合とは、フォーク３Ａ（３Ｂ）がその進退方向において水平面から上下方向に曲がるように変形している状態をいう。この場合、図４（ｃ）に示すように、フォーク３Ａ（３Ｂ）の変形箇所がラインセンサ４を通過するときには、光軸４０の一部が遮断される状態になる。このようにフォーク３Ａ（３Ｂ）の変形の有無によって、フォーク３Ａ（３Ｂ）が光軸４０を遮断する程度が異なり、受光部４２に入射する光量が変化するため、フォーク３Ａ（３Ｂ）の上下方向の位置が検出できるように構成されている。
【００２６】
前記受光部４２は、具体的には受光素子が既述のように上下方向に例えば１００個並んでおり、受光した受光素子の数に対応する大きさだけ電圧降下が起こり、その電圧降下分の電圧値が図５に示すＡ／Ｄ（アナログ／ディジタル変換部）４３を介して制御部５に送られることになる。
【００２７】
続いて、前記制御部５について図５を参照して説明する。この制御部５は、例えばコンピュータからなり、プログラム５１、メモリ５２、ＣＰＵ５３からなるデータ処理部を備えていて、前記プログラムには制御部５から基板処理装置の各部に制御信号を送り、所定の基板処理例えばレジストパターンの形成処理や、後述のフォーク３Ａ，３Ｂの姿勢の検査処理を進行させるように命令（各ステップ）が組み込まれている。このプログラムは、コンピュータ記憶媒体例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）等の記憶部に格納されて制御部５にインストールされる。
【００２８】
前記プログラムには、フォーク３Ａ，３Ｂの姿勢を検査するモードである検査モードを実行するためのプログラムや、所定の基板処理を行うモードである処理モードを実行するためのプログラム等が含まれている。また、バス５０には、アラーム出力部５４や、Ａ／Ｄ変換部４３を介してラインセンサ４が接続されると共に、搬送アーム３の駆動機構、表示部５５が接続されている。前記表示部５５は例えばコンピュータの画面よりなり、この表示部５５上において作業者が検査モードや処理モードを選択できるようになっている。また、この表示部５５には、後述する検査結果や波形等が表示されるようになっている。
【００２９】
さらに、前記検査モードを実行するプログラムには、データ取得プログラムや検査プログラム、判定プログラム等が含まれている。前記データ取得プログラムは、検査対象のフォーク３Ａ（３Ｂ）をラインセンサ４に対して進退させたときに、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得するデータ取得部をなすものである。
【００３０】
具体的には、このデータ取得プログラムは、搬送基体３１を検査位置に配置し、対象となるフォーク３Ａ（３Ｂ）をラインセンサ４の光軸４０に向って前進させ、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）を駆動したときから、所定間隔でラインセンサ４からＡ／Ｄ変換部４３を介して取り込んだ電圧値である受光出力を読み取り、上下方向の位置（光軸の遮断量）と進退方向の位置（時間）とを対応付けた関係データを作成してメモリ５２に記憶するステップ群を有している。
【００３１】
前記判定プログラムは、前記データ取得部により取得されたデータに基づいて、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢に異常があるか否かを判定するステップ群を備えた判定部をなすものである。具体的には、前記フォーク３Ａ（３Ｂ）の進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいてフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢が異常であるか否かを判定するように構成されている。
【００３２】
前記アラーム出力部５４は、判定プログラムにおいて、フォークの姿勢に異常があると判定されたときに、所定のアラーム出力を行うステップ群を備えている。前記アラーム出力は、表示部５５への出力や、アラームランプの点灯、アラーム音の発生等である。
【００３３】
前記取得データの一例について図６〜図９に示す。この例では、前記進退方向の位置を時間により取得している。検査対象のフォーク３Ａをラインセンサ４に向けて前進移動させる開始時から等速でフォーク３Ａを前進させているため、時間の測定により前記進退方向の位置が取得できるためである。また、前記上下方向の位置は、既述のように光軸４０の遮断量により取得している。そして、図６〜図９に示す波形では、横軸が時間、縦軸が遮断量を示し、図６及び図７に示すデータは、フォークの姿勢に異常がない正常時のデータ、図８及び図９に示すデータは、フォークの姿勢に異常がある異常時のデータを夫々示している。また、図６（ａ）及び図８（ａ）は、搬送基体３１を検査位置に配置し、検査対象のフォーク３Ａをラインセンサ４に向けて前進移動の開始時の状態、図６（ｂ）、図７（ａ）、図８（ｂ）、図９（ａ）は夫々フォーク３Ａを前進させている途中の状態、図７（ｂ）、図９（ｂ）はフォーク３Ａの前進移動の終了時の状態を夫々示している。
【００３４】
先ず、正常時のデータについて説明する。フォーク３Ａの姿勢が正常である場合には、図６（ａ）に示すように、フォーク３Ａの先端がラインセンサ４の手前側にあるときには、光軸４０が遮断されないので遮断量がゼロとなり、フォーク３Ａの先端が光軸４０に差し掛かると、フォーク３Ａの側面により、光軸４０の上下方向の幅においてフォーク３Ａの厚さに相当する幅の光軸が遮られる。このため、遮断量と時間とを対応付けたデータを取得して、これら遮断量と時間とを対応付けた波形（図６、図７）を作成すると、遮断量は当初はゼロであり、フォーク３Ａの先端がラインセンサの光軸４０に差し掛かかるタイミングで遮断量が最大量Ｐａまで階段状に大きくなる（図６（ｂ）参照）。それ以降は、当該光軸４０がフォーク３Ａの側面により遮られる状態が続くため、遮断量は最大量Ｐａのままになる（図７（ａ）、（ｂ）参照）。以降、遮断量がゼロのときを「ＯＦＦ」といい、遮断量がゼロより大きい状態を「ＯＮ」という。
【００３５】
一方、フォーク３Ａの姿勢が異常である場合、例えば図８に示すように、フォーク３Ａの先端側が上に向けて曲がっている場合には、フォーク３Ａの先端が光軸４０に差し掛かると、当該上下方向に幅のある光軸４０の上部側から徐々にフォーク３Ａにより遮られる。このため、遮断量と時間とを対応付けた波形（図８及び図９）を作成すると、遮断量はフォーク３Ａの先端が光軸４０に差し掛かかるタイミングでＯＮ状態となり、曲線を描いて大きくなる（図８（ｂ）参照）。それ以降、フォーク３Ａが略水平になっている部分については、当該光軸４０はフォーク３Ａの厚さに相当する分だけ遮られるため、遮断量は最大量Ｐａになる（図９（ａ）、（ｂ）参照）。
【００３６】
また、フォーク３Ａの先端側が下に向けて曲がっている場合には、フォーク３Ａの先端が光軸４０に差し掛かると、当該光軸４０の下部側から徐々にフォーク３Ａにより遮られる。このため、遮断量と時間とを対応付けた波形を作成すると、遮断量はフォーク３Ａの先端が光軸４０に差し掛かかるタイミングでＯＮ状態になり、曲線を描いて大きくなる。
【００３７】
さらに、フォーク３Ａの中央部に水平面から上下方向に曲がっている部位が存在する場合には、フォーク３Ａの変形部位が光軸４０に差し掛かると、光軸４０の一部にフォーク３Ａにより遮られない部分が発生する。従って、遮断量と時間とを対応付けた波形を作成すると、遮断量はフォーク３Ａの変形部位が光軸４０に差し掛かかるタイミングから、曲線状に変化する区間が存在する。
【００３８】
つまり、フォーク３Ａが水平面から上下方向に曲がるという姿勢の異常があるときには、既述の遮断量と時間とを対応付けたデータを取得して、これらを対応させた波形を作成すると、遮断量が曲線状に変化する区間が発生することになる。ここで、遮断量が曲線状に変化する区間は、時間（フォーク３Ａ（３Ｂ）の進退方向の位置）に対して遮断量（フォーク３Ａ（３Ｂ）の上下方向の位置）を二次微分した値が正となる。一方、図１０（ａ）、（ｃ）に示す波形のように遮断量が階段状に変化する場合には、時間（前記進退方向の位置）に対して遮断量（上下方向の位置）を一次微分した値は０になり、図１０（ｂ）に示す波形のように遮断量が時間に比例して変化する場合には前記一次微分した値は一定値となる。
【００３９】
なお、図１０（ｂ）のような波形が得られる場合は、フォーク３Ａのレベルが要因であり、このレベルとは部品寸法公差の積み上げによるものであるので、このような場合はフォーク３Ａの姿勢が異常であるとは判定しない。また、図１０（ｃ）のように遮断量の最大量Ｐａを越える波形が得られる場合は、フォーク３Ａの移動時の揺れ等によるノイズが要因であるので、これらの場合には、フォーク３Ａの姿勢の異常とは判定しない。従って、判定プログラムでは、図１０（ａ）〜（ｃ）の波形が得られる場合にはフォーク３Ａの姿勢が正常であると判定し、図１０（ｄ）の波形が得られる場合にはフォーク３Ａの姿勢が異常であると判定する。
【００４０】
前記判定プログラムでは、具体的には、例えば０．１秒間隔でサンプリングを行い、前記遮断量がオン状態になった段階で、ｎ番目のサンプリング時の遮断量Ｐｎと、（ｎ−１）番目のサンプリング時の遮断量Ｐ（ｎ−１）とから、時間（前記進退方向の位置）に対して遮断量（前記上下方向の位置）を一次微分して得られる一次微分値ｄを（１）式により演算し、さらに二次微分して得られる二次微分値Ｄを（２）式により演算する。
【００４１】
ｄｎ＝Ｐｎ−Ｐ（ｎ−１） ・・・（１）
Ｄｎ＝ｄｎ−ｄ（ｎ−１） ・・・（２）
そして、二次微分値Ｄｎが正となるサンプリング数をカウントし、このサンプリング数が設定値以上であればフォーク３Ａの姿勢に異常があると判定する。また、サンプリング間隔を大きく設定しておき、二次微分値Ｄｎが正となったときには、フォーク３Ａの姿勢に異常があると判定するようにしてもよい。このようにすることにより、フォーク３Ａの移動時の揺れやラインセンサ４のノイズにより、前記データにフォーク３Ａの姿勢以外に起因する乱れが生じたとしても、この乱れは判定対象から除外されるため、フォーク３Ａの姿勢異常を精度良く判定することができる。
【００４２】
続いて、本発明において検査モードを実行する場合の作用を説明する。この検査モードは、例えば予め設定されたタイミングでモジュールとの間でウエハの搬送ができない場合等に基板処理装置から搬送エラーのアラームが出力されるが、この場合に選択される。このように検査モードが選択されると、検査プログラムが実行される。
【００４３】
先ず、搬送アーム３の搬送基体３１を検査位置まで移動する。この検査位置とは、搬送基体３１が棚ユニットＵ１のモジュール１２に臨み、フォーク３Ａを前進させたときに、フォーク３Ａが正常な姿勢であればラインセンサ４の光軸４０を遮る位置である。そして、フォーク３Ａを前進させると共に、このタイミングでデータのサンプリングを開始し、既述のように、フォーク３Ａの上下方向の位置（光軸４０の遮断量）と進退方向の位置（時間）とを対応付けたデータを取得し、このデータに基づいて、判定プログラムにより、フォーク３Ａの姿勢に異常があるか否かを判定し、その評価を表示部５５により出力する。
【００４４】
そして、フォーク３Ａの姿勢が正常であれば、フォーク３Ａを後退させ、搬送基体３１をフォーク３Ｂを検査する検査位置まで上昇させて、同様にフォーク３Ｂの姿勢について検査を行う。一方、フォーク３Ａの姿勢に異常があれば、アラーム出力部５４により所定のアラームを出力し、例えば装置を停止してフォーク３Ａのメンテナンスを行う。また、フォーク３Ｂの姿勢について検査を行ってから、フォーク３Ａのメンテナンスを行うようにしてもよい。
【００４５】
フォーク３Ｂの検査についても同様に、姿勢の評価を表示部５５により出力し、異常があればアラーム出力部５４により所定のアラームを出力し、例えば装置を停止してメンテナンスを行う。フォーク３Ａ，３Ｂ共に正常な場合や、メンテナンスにより姿勢が正常な状態に回復したときには、例えば表示部５５により処理モードを選択して、既述の基板処理を再開する。
【００４６】
以上において、上述の実施の形態では、フォーク３Ａ（３Ｂ）をラインセンサ４に向けて前進させ、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）の上下方向の位置（光軸４０の遮断量）と進退方向の位置（時間）とを対応付けたデータを取得して、このデータに基づいてフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢に異常があるか否かを判定している。このため、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢について定量的な判定を行うことができ、確実に姿勢検査を行うことができる。
【００４７】
さらに、フォーク３Ａ（３Ｂ）をラインセンサ４に向けて前進させ、前記データを取得しているため、フォーク３Ａ（３Ｂ）の先端側から基端側まで進退方向全体に亘って変形の有無を検出することができる。このため、フォーク３Ａ（３Ｂ）の進退方向の一部に変形部位があったとしても、変形部位の検出を確実に行うことができる。
【００４８】
さらにまた、作業者が検査モードを選択することにより、自動的にフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢に異常があるか否かを検査することができるため、作業者が基板処理装置内の狭い暗所で検査工程の多い作業を行なう必要がなく、作業者の負担が軽減し、容易にフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢検査を行うことができる。また、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢検査に要する時間が短縮されることから、平均修復時間の削減を図ることができる。さらにまた、フォーク３Ａ（３Ｂ）の上下方向の位置を検出しているため、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢検査と同時に、フォーク３Ａ（３Ｂ）の高さ位置の確認を行うことができる。
【００４９】
続いて、本発明の他の実施の形態について図１１〜図１８を参照して説明する。この実施の形態は、フォーク３Ａ，３Ｂの進退方向における左右方向の位置（図１１中Ｙ方向）を光学的に検出する光検出部を用い、フォーク３Ａ，３Ｂの前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得し、このデータに基づいて、フォーク３Ａ，３Ｂの姿勢に異常があるか否かを判定するものである。なお、図示の便宜上、図１１ではフォーク３Ｂの図示を省略している。
【００５０】
前記光検出部としては例えばラインセンサ６が用いられ、このラインセンサ６はフォーク３Ａ，３Ｂの進退方向の左右両側に夫々設けられている。これらラインセンサ６Ａ，６Ｂは、夫々ＬＥＤ等からなる発光部６１Ａ，６１Ｂと受光部６２Ａ，６２Ｂとを備え、鉛直かつ前記左右方向に幅を持つ光軸６０Ａ，６０Ｂを形成する透過型センサとして構成されている。
【００５１】
これら発光部６１（６１Ａ，６１Ｂ）と受光部６２（６２Ａ，６２Ｂ）は、搬送基体３１を検査位置に配置して検査対象のフォーク３Ａ（３Ｂ）を前方に伸び出させたときに、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）がその前を通過するように、フォーク３Ａ（３Ｂ）の進行方向に対して側方に設けられ、フォーク３Ａ（３Ｂ）を挟んで上下に対向するように配置されている。この例では、前記発光部６１Ａ，６１Ｂ及び受光部６２Ａ，６２Ｂは、棚ユニットＵ１に組み込まれたモジュール１の内、例えば一つのモジュール１２の搬送口１１近傍に夫々設けられている。
【００５２】
ここで、前記フォーク３Ａ，３Ｂは、図１２に示すように、その外縁がフォーク３Ａ，３Ｂの進退方向と略平行に伸びる部位３４Ａ,３４Ｂを備えている。そして、フォーク３Ａ，３Ｂの前記部位３４Ａ，３４Ｂがラインセンサ６Ａ，６Ｂの下方側を通過するときには、前記光軸６０Ａ，６０Ｂの左右方向の幅の一部が前記部位３４Ａ．３４Ｂにより夫々遮られるように構成されている。
【００５３】
また、この例における制御部は、前記フォーク３Ａ（３Ｂ）を前記ラインセンサ６に対して前進させたときに、当該フォーク３Ａ，３Ｂの前記左右方向の位置と進退方向とを対応付けたデータを取得するデータ取得部と、姿勢が正常であるフォーク３Ａ（３Ｂ）を前記ラインセンサ６に対して前進させたときに、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）の前記左右方向の位置と進退方向の位置を対応付けたデータを基準データとして記憶するデータ記憶部と、前記取得されたデータと前記基準データとを比較して、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢に異常があるか否かを判定する判定部と、を備えている。
【００５４】
ここで、姿勢が正常であるフォーク３Ａを前記ラインセンサ６に対して前進させた場合について、図１３及び図１４を用いて説明する。図１４は、当該フォーク３Ａの前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けた基準データに基づく波形であり、図１４（ａ）はラインセンサ６Ａにより検出されたデータに基づく波形、図１４（ｂ）はラインセンサ６Ｂにより検出されたデータに基づく波形を夫々示す。この例においても、前記左右方向の位置は光軸６０Ａ，６０Ｂの遮断量により、前記進退方向の位置は時間により夫々取得している。図中時刻Ｔ１から時刻Ｔ２までの時間は、フォーク３Ａの前記部位３４Ａ，３４Ｂがラインセンサ６Ａ，６Ｂの下方側を通過する時間に相当する。このように、フォーク３Ａの姿勢が正常である場合、前記部位３４Ａ，３４Ｂがラインセンサ６Ａ，６Ｂの下方側を通過するときには、光軸６０Ａ，６０Ｂを遮断量Ｐｂで遮断する。
【００５５】
一方、姿勢に異常があるフォーク３Ａを前記ラインセンサ６に対して前進させた場合について、図１５〜図１８を用いて説明する。この例における姿勢の異常とはフォーク３Ａの開度の異常をいい、図１５及び図１６はフォーク３Ａが左右方向に開くように変形した状態、図１７及び図１８はフォーク３Ａが左右方向に閉じるように変形した状態を夫々示す。
【００５６】
図１５の例では、フォーク３Ａの基端側から見て右側が開くように変形しているため、図１６に示す当該フォーク３Ａの前記左右方向の位置（遮断量）と前記進退方向の位置（時間）とを対応付けたデータを示す波形では、ラインセンサ６Ａにより検出されたデータに基づく波形（図１６（ａ））は正常時の波形と同様であるが、ラインセンサ６Ｂにより検出されたデータに基づく波形（図１６（ｂ））は正常時の波形とは大きく異なり、時刻Ｔ１〜時刻Ｔ２において、遮断量が前記遮断量Ｐｂよりも大きくなる区間が存在する。
【００５７】
また、図１７の例では、フォーク３Ａの基端側から見て左側が閉じるように変形しているため、図１８に示す当該フォーク３Ａの前記左右方向の位置と時間とを対応付けたデータを示す波形では、ラインセンサ６Ｂにより検出されたデータに基づく波形（図１８（ｂ））は正常時の波形と同様であるが、ラインセンサ６Ａにより検出されたデータに基づく波形（図１８（ａ））は正常時の波形とは大きく異なり、時刻Ｔ１〜時刻Ｔ２においては、遮断量が前記遮断量Ｐｂよりも小さくなっている。
【００５８】
従って、判定部にて、取得されたデータと基準データとを比較することによって、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢に異常があるか否かが判定できる。具体的には、例えば時刻Ｔ１と時刻Ｔ２との間の遮断量に基づいて、これらの間における遮断量がしきい値の範囲内であればフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢が正常であると判定し、前記の間においてしきい値を超える区間があればフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢が異常であると判定する。前記しきい値は基準データに基づいて決定され、例えば遮断量Ｐｂを基準としてＰｂの±５％以内に設定される。
【００５９】
この例においても、フォーク３Ａの姿勢を検査した後、フォーク３Ａを後退させ、フォーク３Ｂを検査するときの検査位置に搬送基体３１を移動して、フォーク３Ｂの姿勢の検査が行われる。当該実施の形態によれば、上述の実施の形態と同様に、フォーク３Ａ，３Ｂの左右方向の姿勢の異常について、定量的に確実かつ容易に検出することができる。
【００６０】
以上において、本発明では、図１９に示すように、搬送基体３１にラインセンサ４，６を取り付けるようにしてもよい。この例は、搬送基体３１にフォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置を検出するラインセンサ４を設ける構成であるが、例えばラインセンサ４は、フォーク３Ａ，３Ｂの進行方向の前方側におけるフォーク３Ａ，３Ｂの通過領域の側方に支持部材４４、４５により夫々設けられている。また、光軸４０の上下方向の幅は、例えば搬送基体３１からフォーク３Ａ，３Ｂを夫々前進させたときに、夫々のフォーク３Ａ，３Ｂが光軸４０を遮ることができるように設定され、例えばフォーク３Ａ，３Ｂを同時に進退させて、これらフォーク３Ａ，３Ｂの姿勢の異常を検査できるようになっている。
【００６１】
さらに、搬送基体３１にフォーク３Ａ，３Ｂの前記左右方向の位置を検出するラインセンサ６を設ける場合には、例えばラインセンサ６を、図示しない支持部材により、フォーク３Ａ，３Ｂの進行方向の前方側におけるフォーク３Ａ，３Ｂの通過領域の側方に、ラインセンサ６が搬送基体３１に近付く位置と離れる位置との間で移動自在に設ける。そして、基板処理を行う場合には、ラインセンサ６をウエハの受け渡し動作を阻害しない位置に設定し、フォーク３Ａ，３Ｂの姿勢検査を行うときには、ラインセンサ６をフォーク３Ａ，３Ｂの通過領域に移動させる。
【００６２】
この実施の形態によれば、上述の実施の形態と同様に、フォーク３Ａ，３Ｂの姿勢の異常について、定量的に確実かつ容易に検出することができる。また、ラインセンサ４，６が搬送基体３１に取り付けられているので、搬送基体３１を検査位置に移動させずにフォーク３Ａ，３Ｂの姿勢検査を行うことができ、より姿勢検査に要する時間を短縮することができる。
【００６３】
さらに、本発明では、光検出部として反射型の光センサ７１を用いるようにしてもよい。この場合、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置を検出するときには、例えば図２０（ａ）に示すように、フォーク３Ａ，３Ｂの進行方向の前方側の側方に光センサ７１を設ける。この光センサ７１は、発光部７２と受光部７３がフォーク３Ａ，３Ｂの進行方向に沿って並ぶように設けられており、発光部７２からは水平かつ上下方向に幅のある光軸が発光され、フォーク３Ａ，３Ｂが光センサ７１の前を通過するときには、フォーク３Ａ，３Ｂの側面により反射された光が受光部７３に入射するように構成される。例えばフォーク３Ａ，３Ｂが水平面から上向きに曲がっているときや下向きに曲がっているときには、受光量が少なくなるので、この受光部７３における受光量により、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置を検出することができる。
【００６４】
また、フォーク３Ａ，３Ｂの前記左右方向の位置を検出する光検出部として反射型の光センサ７４を用いた場合には、例えば図２０（ｂ）に示すように、鉛直かつ進退方向に対して左右方向に幅のある光軸を形成する発光部７５及び受光部７６を、フォーク３Ａ，３Ｂの上方側又は下方側に、フォーク３Ａ，３Ｂの進退方向に並ぶように設ける。このようにすると、フォーク３Ａ，３Ｂが光センサ７４の前を通過するときには、フォーク３Ａ，３Ｂにより反射された光が受光部７６に入射する。例えばフォーク３Ａ，３Ｂの開度に異常があるときには受光量が変化するので、フォーク３Ａ，３Ｂの左右方向の位置を検出することができる。
【００６５】
さらにまた、本発明では、光検出部として、例えばレーザ光を利用する距離センサ８１を用いるようにしてもよい。この場合、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置を検出するときには、例えば図２１（ａ）に示すように、フォーク３Ａ，３Ｂの進行方向の前方側の側方に距離センサ８を設ける。この距離センサ８１は上下方向に多段に複数の距離センサが配置され、多数のレーザ光が出力されるように構成されている。この場合、フォーク３Ａ，３Ｂが距離センサ８１の前を通過するときには、フォーク３Ａ，３Ｂの側面によりレーザ光が反射され、フォーク３Ａ，３Ｂの側面までの距離が測定される。従って、図２１（ａ）に示すように、フォーク３Ａ，３Ｂの姿勢が正常である場合には、上下方向に配置された多数の距離センサ８１の内、所定の距離センサ８１による測定距離がほぼ同じとなる。一方、フォーク３Ａ，３Ｂが水平面から上下方向に曲がっているときには、前記所定の距離センサ８１による測定距離が異なって来るので、この上下方向の距離の違いにより、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置が検出できる。
【００６６】
また、フォーク３Ａ，３Ｂの前記左右方向の位置を検出するときには、例えば図２１（ｂ）に示すように、鉛直なレーザ光を出力する距離センサ８２をフォーク３Ａ，３Ｂの上下方向のいずれか一方に、フォーク３Ａ，３Ｂの進行方向に対して左右方向に多数配列し、前記左右方向に多数のレーザ光を出力する。このようにすると、フォーク３Ａ，３Ｂが距離センサ８２の前を通過するときには、フォーク３Ａ，３Ｂにより反射されたレーザ光によりフォーク３Ａ，３Ｂまでの距離が測定される。フォーク３Ａ，３Ｂが存在する箇所と存在しない箇所とでは測定距離が異なってくるので、この距離の違いにより、フォーク３Ａ，３Ｂの左右方向の位置を検出することができる。
【００６７】
さらに、光検出部としてＣＣＤカメラを用いて、フォーク３Ａ，３Ｂを光検出部に対して前進させたときに、当該フォーク３Ａ，３Ｂを光学的に撮像して、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置又は進退方向に対して左右方向の位置を光学的に検出するようにしてもよい。
【００６８】
また本発明では、保持部材を光検出部に対して後退させて、保持部材の上下方向の位置又は進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を取得するようにしてもよい。ここで、保持部材を光検出部に対して進退させるときの速度は、必ずしも一定である必要はなく、途中で変化させるようにしてもよい。例えば保持部材の速度を変化させる場合には、保持部材の進退方向の位置は、エンコーダのパルス値により取得することができる。
【００６９】
さらに本発明では、データ取得部により取得された保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータに基づいて、前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を一次微分した値を演算し、この値がしきい値を超えている場合には、保持部材の姿勢に異常と判定する判定部を設けて、この判定部により、保持部材の姿勢に異常があるか否かについて判定してもよい。
【００７０】
さらに、データ取得部により取得されたデータに基づいて、保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けた波形又は、保持部材の前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けた波形の少なくとも一方を表示する表示部を備えるようにしてもよい。この場合には、表示部に表示された波形を作業者が確認することにより、保持部材の姿勢に異常があるか否かを判定するようにしてもよい。このように波形により姿勢に異常があるか否かを判定する場合には、変形部位が保持部材の進退方向のどこにあるかを判断しやすく、仮に保持部材に変形部位があっとしても、メンテナンスが容易となる。
【００７１】
また、本発明では、保持部材の上下方向の位置を検出する上下方向位置光検出部と、保持部材の進行方向に対する左右方向の位置を検出する左右方向位置光検出部の少なくとも一方を設ければよく、これら上下方向位置光検出部と左右方向位置光検出部を両方設けるようにしてもよい。
【００７２】
さらに、保持部材の進行方向に対する左右方向の位置を検出する場合であっても、前記左右方向位置と進退方向位置とを対応付けたデータを取得し、この取得されたデータに基づいて、前記進退方向位置に対して前記左右方向の位置を微分した値に基づいて保持部材の姿勢に異常があると判定する判定部を設けて、保持部材の姿勢の検査を行うようにしてもよい。
【００７３】
さらにまた、保持部材の姿勢の検査は、定期的に行うようにしてもよいし、メンテナンス終了後に、保持部材の姿勢の確認目的で行うようにしてもよい。さらに、保持部材の高さ位置の確認のために当該姿勢検査を行うようにしてもよい。
【００７４】
さらに本発明は、基板を処理する基板処理部と、この基板処理部に対して基板の受け渡しを行う基板搬送装置を備えた全ての基板処理装置に適用できる。
【符号の説明】
【００７５】
Ｗ 半導体ウエハ
１ モジュール
３ 基板搬送装置
３Ａ，３Ｂ フォーク
４、６ ラインセンサ
５ 制御部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を保持して搬送する保持部材が進退自在に搬送基体に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の姿勢に異常があるか否かを判定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスやＬＣＤ基板の製造プロセスにおいては、基板処理装置内に基板に対して処理を行うモジュールを複数個設け、これらモジュールに基板搬送装置により基板である半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）を順次搬送して所定の処理を行うことが実施されている。前記基板搬送装置は、例えば基板の周縁を保持するフォークが搬送基体に沿って進退自在に設けられると共に、前記搬送基体が鉛直軸周りに回転自在、昇降自在に構成されている。
【０００３】
前記基板処理装置内においては、予めモジュール毎に、基板搬送装置が当該モジュールに対してウエハの受け渡しを行う受け渡し位置が設定されており、基板搬送装置が前記受け渡し位置に移動して、当該モジュールとの間でウエハの受け渡しが行われる。しかしながら、例えば前記受け渡し位置の設定ミスにより、フォークがモジュール等の構造物に衝突してしまう場合がある。また、モジュール側におけるウエハの受け渡し位置のずれやウエハの反り、薬液による滑り等が要因となって、フォーク上の適切な位置にウエハを保持できず、ウエハを介して構造物に衝突してしまう場合もある。このような衝突が起こると、フォークに力が加わり、上下方向への曲がりや、左右方向への広がりや狭まり等、フォークの変形が発生するおそれが高くなる。
【０００４】
このようにフォークの変形が発生した場合、そのまま基板搬送装置の動作を続行すると、フォークからウエハが落下して、ウエハや基板搬送装置を破損してしまうおそれがあり、またフォークが再度構造物に衝突してフォークの変形の程度が大きくなる等、さらなる２次災害を引き起こす懸念がある。
【０００５】
このため、従来ではフォークが構造物に衝突してアラームが出力されると、作業者が基板処理装置内に進入し、フォークの変形状態を所定の確認工程に従って目視にて確認し、フォークが変形している場合にはメンテナンスを行うようにしていた。しかしながら、装置内における作業者の処理空間は閉所かつ暗所であるため、フォークの状態を正確に把握するためには厳しい環境であり、しかも確認工程数が多いことから作業者の負担が大きくなってしまうという問題があった。また、目視での確認作業であるため、作業者の個人差があり、フォークの変形程度を定量的に判断することは困難であった。
【０００６】
ところで、特許文献１には、搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段において、保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを判断する構成が記載されている。この文献１では、水平な光軸を形成する光センサを設け、搬送基体を光センサに対して相対的に昇降させることにより取得した前記光センサからの受光ー非受光の検出結果と、前記搬送基体の高さ位置とに基づいて、前記保持アームの姿勢が正常であるか否かを判断している。
【０００７】
このような構成は、上下方向に配列された複数の保持アームについて同時に姿勢が正常であるか否かを判定できる点において有効であるが、保持アームの進退方向の一部の姿勢に変形部位があるときには姿勢の異常を検出することは難しく、この特許文献１の構成を用いても、本発明の課題を解決することは困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−２３５８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、このような事情の下になされたものであり、保持部材の姿勢に異常があるか否かを確実かつ容易に検出することができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する装置において、
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられ、当該保持部材の上下方向の位置及び進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する光検出部と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータ、及び前記左右方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得部と、を備え、
この取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする。
【００１１】
ここで保持部材の姿勢に異常がある否かについては、保持部材の進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する判定部を設けて判定するようにしてもよいし、保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置を対応付けた波形及び保持部材の前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けた波形の少なくとも一方を表示する表示部を備え、作業者が前記波形に基づいて判定するようにしてもよい。
【００１２】
また、本発明の基板処理装置は、基板に対して処理を行う基板処理部と、
進退自在に設けられた保持部材により基板を保持して、前記基板処理部に対して基板の搬送を行う基板搬送装置と、
前記保持部材の姿勢判定装置と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明は、基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する方法において、
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられた光検出部により、当該保持部材の上下方向の位置及び進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する検出工程と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータ、及び前記左右方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得工程と、を含み、
前記取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする。
【００１４】
さらにまた、本発明の記憶媒体は、基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、前記プログラムは、前記保持部材の姿勢判定方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、前記保持部材を光検出部に対して進退させたときに、当該光検出部により当該保持部材の上下方向の位置及び進退方向に対する左右方向の位置の少なくとも一方を検出し、前記上下方向の位置と前記進退方向の位置とを対応付けたデータ及び前記左右方向の位置と前記進退方向の位置とを対応付けたデータの少なくとも一方を取得している。そして、この取得されたデータに基づいて、保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されるので、保持部材における姿勢の異常を確実、かつ容易に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る基板処理装置の一例を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の基板搬送装置及び光検出部を示す斜視図である。
【図３】前記基板搬送装置及び光検出部を示す平面図である。
【図４】光検出部と保持部材との関係を示す正面図である。
【図５】前記基板処理装置に設けられた制御部を示す構成図である。
【図６】姿勢が正常な保持部材の側面図及び、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図７】姿勢が正常な保持部材の側面図及び、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図８】姿勢に異常がある保持部材の側面図及び、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図９】姿勢に異常がある保持部材の側面図及び、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図１０】光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態に係る基板搬送装置と光検出部を示す斜視図である。
【図１２】前記他の実施の形態に係る基板搬送装置と光検出部を示す平面図である。
【図１３】姿勢が正常な保持部材を示す平面図である。
【図１４】図１３の保持部材を検査したときの、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図１５】姿勢に異常がある保持部材を示す平面図である。
【図１６】図１５の保持部材を検査したときの、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図１７】姿勢に異常がある保持部材を示す平面図である。
【図１８】図１７の保持部材を検査したときの、光検出部の遮断量と時間とを対応付けた波形を示す特性図である。
【図１９】本発明のさらに他の実施の形態に係る基板搬送装置と光検出部を示す平面図と側面図である。
【図２０】本発明のさらに他の実施の形態に係る基板搬送装置と光検出部を示す平面図と側面図である。
【図２１】本発明のさらに他の実施の形態に係る保持部材と光検出部を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の保持部材の姿勢判定装置の一実施の形態について説明するが、先ず、この姿勢判定装置を備えた基板処理装置の一例について簡単に説明する。図１は、基板処理装置に設けられた処理ブロックの一例を示すものであり、この処理ブロックには、基板に対して処理を行う基板処理部をなすモジュール１を多数備えた棚ユニットＵ１と、この棚ユニットＵ１に対向するように設けられた基板処理部２と、が設けられている。これら棚ユニットＵ１に設けられたモジュール１及び基板処理部２に対しては、基板搬送装置をなす搬送アーム３により、基板であるウエハＷの受け渡しが行われるように構成されている。
【００１８】
例えば棚ユニットＵ１には、加熱モジュールや冷却モジュール等の複数のモジュールが積層して設けられ、基板処理部２は例えばウエハＷにレジスト液を塗布する基板処理や、ウエハＷに現像液を供給する基板処理等が行われるように構成されている。図１中１１は、各モジュール１と搬送アーム３との間でウエハＷの受け渡しを行うための搬送口である。
【００１９】
前記搬送アーム３は、図１〜図３に示すように、ウエハＷの周囲を囲むように設けられた保持枠をなす複数枚例えば２枚のフォーク３（３Ａ，３Ｂ）が夫々搬送基体３１に沿って進退自在（図１中Ｘ軸方向に移動自在）に構成されると共に、前記搬送基体３１が回転機構３２により鉛直軸まわりに回転自在に構成されている。前記フォーク３Ａ，３Ｂは、その基端側に設けられた進退駆動部３３（３３Ａ，３３Ｂ）により、例えば搬送基体３１内部に設けられたタイミングベルトを用いた駆動機構（図示せず）により搬送基体３１に沿って進退移動するように構成されている。また、この駆動機構のモータＭはエンコーダＥに接続され、このエンコーダＥのパルス値は後述する制御部５に出力されるように構成されている。
【００２０】
前記回転機構３２の下方側には昇降台３４が設けられており、この昇降台３４は上下方向（図１中Ｚ軸方向）に直線状に伸びる図示しないＺ軸ガイドレールに沿って昇降自在に設けられている。この例ではＺ軸ガイドレール及び昇降機構は夫々カバー体３５により覆われており、このカバー体３５はＹ軸方向に直線状に伸びるＹ軸ガイドレール３６に沿って摺動移動するように構成されている。
【００２１】
前記フォーク３Ａ，３Ｂは例えば円弧状に形成され、図２及び図３に示すように、このフォーク３Ａ，３Ｂの内縁から各々内側に突出すると共に、当該内縁に沿って互いに間隔を開けて設けられ、前記ウエハＷの裏面側周縁部を載置するための３個以上の保持爪３０が設けられている。この例では、フォーク３Ａ，３Ｂと保持爪３０とにより保持部材が構成されている。
【００２２】
さらに、前記基板処理装置には、フォーク３Ａ，３Ｂの変形を検出するための光検出部が設けられている。この光検出部としては、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置を光学的に検出するセンサが用いられ、この例では、水平かつ上下方向に幅を持つ光軸を形成するラインセンサ４により構成されている。このラインセンサは、例えばＬＥＤ等からなる発光部４１と受光部４２とにより透過型センサとして構成されている。
【００２３】
これら発光部４１と受光部４２は、搬送基体３１を検査位置に配置して検査対象のフォーク３Ａ（３Ｂ）を前方に伸び出させたときに、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）がその前を通過するように、フォーク３Ａ（３Ｂ）の進行方向に対して側方に設けられ、フォーク３Ａ（３Ｂ）を挟んで左右に対向するように配置されている。この例では、前記発光部４１及び受光部４２は、前記棚ユニットＵ１に組み込まれたモジュールの内、例えば一つのモジュール１２の搬送口１１の左右方向の両側近傍に夫々設けられている。
【００２４】
また、ラインセンサ４は、発光部４１及び受光部４２が上下方向（図２中Ｚ方向）に配列され、例えば図４に示すように、光軸４０の上下方向の幅がフォーク３Ａ（３Ｂ）の厚さと同じか大きくなるように構成されている。図４では、図示の便宜上光軸４０の上下方向の幅がフォーク３Ａ（３Ｂ）の厚さと同じである場合を描いている。前記発光部４１からの光は、フォーク３Ａ（３Ｂ）が光軸４０の手前側（搬送基体３１側）にあるときには、図４（ａ）に示すように受光部４２に全て入射するが、フォーク３Ａ（３Ｂ）がラインセンサ４の前を通過したときには、光軸４０の全部又は一部がフォーク３Ａ（３Ｂ）により遮断される。ここで、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢が正常である場合とは、フォーク３Ａ（３Ｂ）がその進退方向において略水平に伸びる状態であり、このように正常である場合には、フォーク３Ａ（３Ｂ）がラインセンサ４を通過する間中、図４（ｂ）に示すように光軸４０の全部が遮断される。
【００２５】
また、この例におけるフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢が異常である場合とは、フォーク３Ａ（３Ｂ）がその進退方向において水平面から上下方向に曲がるように変形している状態をいう。この場合、図４（ｃ）に示すように、フォーク３Ａ（３Ｂ）の変形箇所がラインセンサ４を通過するときには、光軸４０の一部が遮断される状態になる。このようにフォーク３Ａ（３Ｂ）の変形の有無によって、フォーク３Ａ（３Ｂ）が光軸４０を遮断する程度が異なり、受光部４２に入射する光量が変化するため、フォーク３Ａ（３Ｂ）の上下方向の位置が検出できるように構成されている。
【００２６】
前記受光部４２は、具体的には受光素子が既述のように上下方向に例えば１００個並んでおり、受光した受光素子の数に対応する大きさだけ電圧降下が起こり、その電圧降下分の電圧値が図５に示すＡ／Ｄ（アナログ／ディジタル変換部）４３を介して制御部５に送られることになる。
【００２７】
続いて、前記制御部５について図５を参照して説明する。この制御部５は、例えばコンピュータからなり、プログラム５１、メモリ５２、ＣＰＵ５３からなるデータ処理部を備えていて、前記プログラムには制御部５から基板処理装置の各部に制御信号を送り、所定の基板処理例えばレジストパターンの形成処理や、後述のフォーク３Ａ，３Ｂの姿勢の検査処理を進行させるように命令（各ステップ）が組み込まれている。このプログラムは、コンピュータ記憶媒体例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）等の記憶部に格納されて制御部５にインストールされる。
【００２８】
前記プログラムには、フォーク３Ａ，３Ｂの姿勢を検査するモードである検査モードを実行するためのプログラムや、所定の基板処理を行うモードである処理モードを実行するためのプログラム等が含まれている。また、バス５０には、アラーム出力部５４や、Ａ／Ｄ変換部４３を介してラインセンサ４が接続されると共に、搬送アーム３の駆動機構、表示部５５が接続されている。前記表示部５５は例えばコンピュータの画面よりなり、この表示部５５上において作業者が検査モードや処理モードを選択できるようになっている。また、この表示部５５には、後述する検査結果や波形等が表示されるようになっている。
【００２９】
さらに、前記検査モードを実行するプログラムには、データ取得プログラムや検査プログラム、判定プログラム等が含まれている。前記データ取得プログラムは、検査対象のフォーク３Ａ（３Ｂ）をラインセンサ４に対して進退させたときに、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得するデータ取得部をなすものである。
【００３０】
具体的には、このデータ取得プログラムは、搬送基体３１を検査位置に配置し、対象となるフォーク３Ａ（３Ｂ）をラインセンサ４の光軸４０に向って前進させ、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）を駆動したときから、所定間隔でラインセンサ４からＡ／Ｄ変換部４３を介して取り込んだ電圧値である受光出力を読み取り、上下方向の位置（光軸の遮断量）と進退方向の位置（時間）とを対応付けた関係データを作成してメモリ５２に記憶するステップ群を有している。
【００３１】
前記判定プログラムは、前記データ取得部により取得されたデータに基づいて、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢に異常があるか否かを判定するステップ群を備えた判定部をなすものである。具体的には、前記フォーク３Ａ（３Ｂ）の進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいてフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢が異常であるか否かを判定するように構成されている。
【００３２】
前記アラーム出力部５４は、判定プログラムにおいて、フォークの姿勢に異常があると判定されたときに、所定のアラーム出力を行うステップ群を備えている。前記アラーム出力は、表示部５５への出力や、アラームランプの点灯、アラーム音の発生等である。
【００３３】
前記取得データの一例について図６〜図９に示す。この例では、前記進退方向の位置を時間により取得している。検査対象のフォーク３Ａをラインセンサ４に向けて前進移動させる開始時から等速でフォーク３Ａを前進させているため、時間の測定により前記進退方向の位置が取得できるためである。また、前記上下方向の位置は、既述のように光軸４０の遮断量により取得している。そして、図６〜図９に示す波形では、横軸が時間、縦軸が遮断量を示し、図６及び図７に示すデータは、フォークの姿勢に異常がない正常時のデータ、図８及び図９に示すデータは、フォークの姿勢に異常がある異常時のデータを夫々示している。また、図６（ａ）及び図８（ａ）は、搬送基体３１を検査位置に配置し、検査対象のフォーク３Ａをラインセンサ４に向けて前進移動の開始時の状態、図６（ｂ）、図７（ａ）、図８（ｂ）、図９（ａ）は夫々フォーク３Ａを前進させている途中の状態、図７（ｂ）、図９（ｂ）はフォーク３Ａの前進移動の終了時の状態を夫々示している。
【００３４】
先ず、正常時のデータについて説明する。フォーク３Ａの姿勢が正常である場合には、図６（ａ）に示すように、フォーク３Ａの先端がラインセンサ４の手前側にあるときには、光軸４０が遮断されないので遮断量がゼロとなり、フォーク３Ａの先端が光軸４０に差し掛かると、フォーク３Ａの側面により、光軸４０の上下方向の幅においてフォーク３Ａの厚さに相当する幅の光軸が遮られる。このため、遮断量と時間とを対応付けたデータを取得して、これら遮断量と時間とを対応付けた波形（図６、図７）を作成すると、遮断量は当初はゼロであり、フォーク３Ａの先端がラインセンサの光軸４０に差し掛かかるタイミングで遮断量が最大量Ｐａまで階段状に大きくなる（図６（ｂ）参照）。それ以降は、当該光軸４０がフォーク３Ａの側面により遮られる状態が続くため、遮断量は最大量Ｐａのままになる（図７（ａ）、（ｂ）参照）。以降、遮断量がゼロのときを「ＯＦＦ」といい、遮断量がゼロより大きい状態を「ＯＮ」という。
【００３５】
一方、フォーク３Ａの姿勢が異常である場合、例えば図８に示すように、フォーク３Ａの先端側が上に向けて曲がっている場合には、フォーク３Ａの先端が光軸４０に差し掛かると、当該上下方向に幅のある光軸４０の上部側から徐々にフォーク３Ａにより遮られる。このため、遮断量と時間とを対応付けた波形（図８及び図９）を作成すると、遮断量はフォーク３Ａの先端が光軸４０に差し掛かかるタイミングでＯＮ状態となり、曲線を描いて大きくなる（図８（ｂ）参照）。それ以降、フォーク３Ａが略水平になっている部分については、当該光軸４０はフォーク３Ａの厚さに相当する分だけ遮られるため、遮断量は最大量Ｐａになる（図９（ａ）、（ｂ）参照）。
【００３６】
また、フォーク３Ａの先端側が下に向けて曲がっている場合には、フォーク３Ａの先端が光軸４０に差し掛かると、当該光軸４０の下部側から徐々にフォーク３Ａにより遮られる。このため、遮断量と時間とを対応付けた波形を作成すると、遮断量はフォーク３Ａの先端が光軸４０に差し掛かかるタイミングでＯＮ状態になり、曲線を描いて大きくなる。
【００３７】
さらに、フォーク３Ａの中央部に水平面から上下方向に曲がっている部位が存在する場合には、フォーク３Ａの変形部位が光軸４０に差し掛かると、光軸４０の一部にフォーク３Ａにより遮られない部分が発生する。従って、遮断量と時間とを対応付けた波形を作成すると、遮断量はフォーク３Ａの変形部位が光軸４０に差し掛かかるタイミングから、曲線状に変化する区間が存在する。
【００３８】
つまり、フォーク３Ａが水平面から上下方向に曲がるという姿勢の異常があるときには、既述の遮断量と時間とを対応付けたデータを取得して、これらを対応させた波形を作成すると、遮断量が曲線状に変化する区間が発生することになる。ここで、遮断量が曲線状に変化する区間は、時間（フォーク３Ａ（３Ｂ）の進退方向の位置）に対して遮断量（フォーク３Ａ（３Ｂ）の上下方向の位置）を二次微分した値が正となる。一方、図１０（ａ）、（ｃ）に示す波形のように遮断量が階段状に変化する場合には、時間（前記進退方向の位置）に対して遮断量（上下方向の位置）を一次微分した値は０になり、図１０（ｂ）に示す波形のように遮断量が時間に比例して変化する場合には前記一次微分した値は一定値となる。
【００３９】
なお、図１０（ｂ）のような波形が得られる場合は、フォーク３Ａのレベルが要因であり、このレベルとは部品寸法公差の積み上げによるものであるので、このような場合はフォーク３Ａの姿勢が異常であるとは判定しない。また、図１０（ｃ）のように遮断量の最大量Ｐａを越える波形が得られる場合は、フォーク３Ａの移動時の揺れ等によるノイズが要因であるので、これらの場合には、フォーク３Ａの姿勢の異常とは判定しない。従って、判定プログラムでは、図１０（ａ）〜（ｃ）の波形が得られる場合にはフォーク３Ａの姿勢が正常であると判定し、図１０（ｄ）の波形が得られる場合にはフォーク３Ａの姿勢が異常であると判定する。
【００４０】
前記判定プログラムでは、具体的には、例えば０．１秒間隔でサンプリングを行い、前記遮断量がオン状態になった段階で、ｎ番目のサンプリング時の遮断量Ｐｎと、（ｎ−１）番目のサンプリング時の遮断量Ｐ（ｎ−１）とから、時間（前記進退方向の位置）に対して遮断量（前記上下方向の位置）を一次微分して得られる一次微分値ｄを（１）式により演算し、さらに二次微分して得られる二次微分値Ｄを（２）式により演算する。
【００４１】
ｄｎ＝Ｐｎ−Ｐ（ｎ−１） ・・・（１）
Ｄｎ＝ｄｎ−ｄ（ｎ−１） ・・・（２）
そして、二次微分値Ｄｎが正となるサンプリング数をカウントし、このサンプリング数が設定値以上であればフォーク３Ａの姿勢に異常があると判定する。また、サンプリング間隔を大きく設定しておき、二次微分値Ｄｎが正となったときには、フォーク３Ａの姿勢に異常があると判定するようにしてもよい。このようにすることにより、フォーク３Ａの移動時の揺れやラインセンサ４のノイズにより、前記データにフォーク３Ａの姿勢以外に起因する乱れが生じたとしても、この乱れは判定対象から除外されるため、フォーク３Ａの姿勢異常を精度良く判定することができる。
【００４２】
続いて、本発明において検査モードを実行する場合の作用を説明する。この検査モードは、例えば予め設定されたタイミングでモジュールとの間でウエハの搬送ができない場合等に基板処理装置から搬送エラーのアラームが出力されるが、この場合に選択される。このように検査モードが選択されると、検査プログラムが実行される。
【００４３】
先ず、搬送アーム３の搬送基体３１を検査位置まで移動する。この検査位置とは、搬送基体３１が棚ユニットＵ１のモジュール１２に臨み、フォーク３Ａを前進させたときに、フォーク３Ａが正常な姿勢であればラインセンサ４の光軸４０を遮る位置である。そして、フォーク３Ａを前進させると共に、このタイミングでデータのサンプリングを開始し、既述のように、フォーク３Ａの上下方向の位置（光軸４０の遮断量）と進退方向の位置（時間）とを対応付けたデータを取得し、このデータに基づいて、判定プログラムにより、フォーク３Ａの姿勢に異常があるか否かを判定し、その評価を表示部５５により出力する。
【００４４】
そして、フォーク３Ａの姿勢が正常であれば、フォーク３Ａを後退させ、搬送基体３１をフォーク３Ｂを検査する検査位置まで上昇させて、同様にフォーク３Ｂの姿勢について検査を行う。一方、フォーク３Ａの姿勢に異常があれば、アラーム出力部５４により所定のアラームを出力し、例えば装置を停止してフォーク３Ａのメンテナンスを行う。また、フォーク３Ｂの姿勢について検査を行ってから、フォーク３Ａのメンテナンスを行うようにしてもよい。
【００４５】
フォーク３Ｂの検査についても同様に、姿勢の評価を表示部５５により出力し、異常があればアラーム出力部５４により所定のアラームを出力し、例えば装置を停止してメンテナンスを行う。フォーク３Ａ，３Ｂ共に正常な場合や、メンテナンスにより姿勢が正常な状態に回復したときには、例えば表示部５５により処理モードを選択して、既述の基板処理を再開する。
【００４６】
以上において、上述の実施の形態では、フォーク３Ａ（３Ｂ）をラインセンサ４に向けて前進させ、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）の上下方向の位置（光軸４０の遮断量）と進退方向の位置（時間）とを対応付けたデータを取得して、このデータに基づいてフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢に異常があるか否かを判定している。このため、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢について定量的な判定を行うことができ、確実に姿勢検査を行うことができる。
【００４７】
さらに、フォーク３Ａ（３Ｂ）をラインセンサ４に向けて前進させ、前記データを取得しているため、フォーク３Ａ（３Ｂ）の先端側から基端側まで進退方向全体に亘って変形の有無を検出することができる。このため、フォーク３Ａ（３Ｂ）の進退方向の一部に変形部位があったとしても、変形部位の検出を確実に行うことができる。
【００４８】
さらにまた、作業者が検査モードを選択することにより、自動的にフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢に異常があるか否かを検査することができるため、作業者が基板処理装置内の狭い暗所で検査工程の多い作業を行なう必要がなく、作業者の負担が軽減し、容易にフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢検査を行うことができる。また、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢検査に要する時間が短縮されることから、平均修復時間の削減を図ることができる。さらにまた、フォーク３Ａ（３Ｂ）の上下方向の位置を検出しているため、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢検査と同時に、フォーク３Ａ（３Ｂ）の高さ位置の確認を行うことができる。
【００４９】
続いて、本発明の他の実施の形態について図１１〜図１８を参照して説明する。この実施の形態は、フォーク３Ａ，３Ｂの進退方向における左右方向の位置（図１１中Ｙ方向）を光学的に検出する光検出部を用い、フォーク３Ａ，３Ｂの前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得し、このデータに基づいて、フォーク３Ａ，３Ｂの姿勢に異常があるか否かを判定するものである。なお、図示の便宜上、図１１ではフォーク３Ｂの図示を省略している。
【００５０】
前記光検出部としては例えばラインセンサ６が用いられ、このラインセンサ６はフォーク３Ａ，３Ｂの進退方向の左右両側に夫々設けられている。これらラインセンサ６Ａ，６Ｂは、夫々ＬＥＤ等からなる発光部６１Ａ，６１Ｂと受光部６２Ａ，６２Ｂとを備え、鉛直かつ前記左右方向に幅を持つ光軸６０Ａ，６０Ｂを形成する透過型センサとして構成されている。
【００５１】
これら発光部６１（６１Ａ，６１Ｂ）と受光部６２（６２Ａ，６２Ｂ）は、搬送基体３１を検査位置に配置して検査対象のフォーク３Ａ（３Ｂ）を前方に伸び出させたときに、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）がその前を通過するように、フォーク３Ａ（３Ｂ）の進行方向に対して側方に設けられ、フォーク３Ａ（３Ｂ）を挟んで上下に対向するように配置されている。この例では、前記発光部６１Ａ，６１Ｂ及び受光部６２Ａ，６２Ｂは、棚ユニットＵ１に組み込まれたモジュール１の内、例えば一つのモジュール１２の搬送口１１近傍に夫々設けられている。
【００５２】
ここで、前記フォーク３Ａ，３Ｂは、図１２に示すように、その外縁がフォーク３Ａ，３Ｂの進退方向と略平行に伸びる部位３４Ａ,３４Ｂを備えている。そして、フォーク３Ａ，３Ｂの前記部位３４Ａ，３４Ｂがラインセンサ６Ａ，６Ｂの下方側を通過するときには、前記光軸６０Ａ，６０Ｂの左右方向の幅の一部が前記部位３４Ａ．３４Ｂにより夫々遮られるように構成されている。
【００５３】
また、この例における制御部は、前記フォーク３Ａ（３Ｂ）を前記ラインセンサ６に対して前進させたときに、当該フォーク３Ａ，３Ｂの前記左右方向の位置と進退方向とを対応付けたデータを取得するデータ取得部と、姿勢が正常であるフォーク３Ａ（３Ｂ）を前記ラインセンサ６に対して前進させたときに、当該フォーク３Ａ（３Ｂ）の前記左右方向の位置と進退方向の位置を対応付けたデータを基準データとして記憶するデータ記憶部と、前記取得されたデータと前記基準データとを比較して、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢に異常があるか否かを判定する判定部と、を備えている。
【００５４】
ここで、姿勢が正常であるフォーク３Ａを前記ラインセンサ６に対して前進させた場合について、図１３及び図１４を用いて説明する。図１４は、当該フォーク３Ａの前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けた基準データに基づく波形であり、図１４（ａ）はラインセンサ６Ａにより検出されたデータに基づく波形、図１４（ｂ）はラインセンサ６Ｂにより検出されたデータに基づく波形を夫々示す。この例においても、前記左右方向の位置は光軸６０Ａ，６０Ｂの遮断量により、前記進退方向の位置は時間により夫々取得している。図中時刻Ｔ１から時刻Ｔ２までの時間は、フォーク３Ａの前記部位３４Ａ，３４Ｂがラインセンサ６Ａ，６Ｂの下方側を通過する時間に相当する。このように、フォーク３Ａの姿勢が正常である場合、前記部位３４Ａ，３４Ｂがラインセンサ６Ａ，６Ｂの下方側を通過するときには、光軸６０Ａ，６０Ｂを遮断量Ｐｂで遮断する。
【００５５】
一方、姿勢に異常があるフォーク３Ａを前記ラインセンサ６に対して前進させた場合について、図１５〜図１８を用いて説明する。この例における姿勢の異常とはフォーク３Ａの開度の異常をいい、図１５及び図１６はフォーク３Ａが左右方向に開くように変形した状態、図１７及び図１８はフォーク３Ａが左右方向に閉じるように変形した状態を夫々示す。
【００５６】
図１５の例では、フォーク３Ａの基端側から見て右側が開くように変形しているため、図１６に示す当該フォーク３Ａの前記左右方向の位置（遮断量）と前記進退方向の位置（時間）とを対応付けたデータを示す波形では、ラインセンサ６Ａにより検出されたデータに基づく波形（図１６（ａ））は正常時の波形と同様であるが、ラインセンサ６Ｂにより検出されたデータに基づく波形（図１６（ｂ））は正常時の波形とは大きく異なり、時刻Ｔ１〜時刻Ｔ２において、遮断量が前記遮断量Ｐｂよりも大きくなる区間が存在する。
【００５７】
また、図１７の例では、フォーク３Ａの基端側から見て左側が閉じるように変形しているため、図１８に示す当該フォーク３Ａの前記左右方向の位置と時間とを対応付けたデータを示す波形では、ラインセンサ６Ｂにより検出されたデータに基づく波形（図１８（ｂ））は正常時の波形と同様であるが、ラインセンサ６Ａにより検出されたデータに基づく波形（図１８（ａ））は正常時の波形とは大きく異なり、時刻Ｔ１〜時刻Ｔ２においては、遮断量が前記遮断量Ｐｂよりも小さくなっている。
【００５８】
従って、判定部にて、取得されたデータと基準データとを比較することによって、フォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢に異常があるか否かが判定できる。具体的には、例えば時刻Ｔ１と時刻Ｔ２との間の遮断量に基づいて、これらの間における遮断量がしきい値の範囲内であればフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢が正常であると判定し、前記の間においてしきい値を超える区間があればフォーク３Ａ（３Ｂ）の姿勢が異常であると判定する。前記しきい値は基準データに基づいて決定され、例えば遮断量Ｐｂを基準としてＰｂの±５％以内に設定される。
【００５９】
この例においても、フォーク３Ａの姿勢を検査した後、フォーク３Ａを後退させ、フォーク３Ｂを検査するときの検査位置に搬送基体３１を移動して、フォーク３Ｂの姿勢の検査が行われる。当該実施の形態によれば、上述の実施の形態と同様に、フォーク３Ａ，３Ｂの左右方向の姿勢の異常について、定量的に確実かつ容易に検出することができる。
【００６０】
以上において、本発明では、図１９に示すように、搬送基体３１にラインセンサ４，６を取り付けるようにしてもよい。この例は、搬送基体３１にフォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置を検出するラインセンサ４を設ける構成であるが、例えばラインセンサ４は、フォーク３Ａ，３Ｂの進行方向の前方側におけるフォーク３Ａ，３Ｂの通過領域の側方に支持部材４４、４５により夫々設けられている。また、光軸４０の上下方向の幅は、例えば搬送基体３１からフォーク３Ａ，３Ｂを夫々前進させたときに、夫々のフォーク３Ａ，３Ｂが光軸４０を遮ることができるように設定され、例えばフォーク３Ａ，３Ｂを同時に進退させて、これらフォーク３Ａ，３Ｂの姿勢の異常を検査できるようになっている。
【００６１】
さらに、搬送基体３１にフォーク３Ａ，３Ｂの前記左右方向の位置を検出するラインセンサ６を設ける場合には、例えばラインセンサ６を、図示しない支持部材により、フォーク３Ａ，３Ｂの進行方向の前方側におけるフォーク３Ａ，３Ｂの通過領域の側方に、ラインセンサ６が搬送基体３１に近付く位置と離れる位置との間で移動自在に設ける。そして、基板処理を行う場合には、ラインセンサ６をウエハの受け渡し動作を阻害しない位置に設定し、フォーク３Ａ，３Ｂの姿勢検査を行うときには、ラインセンサ６をフォーク３Ａ，３Ｂの通過領域に移動させる。
【００６２】
この実施の形態によれば、上述の実施の形態と同様に、フォーク３Ａ，３Ｂの姿勢の異常について、定量的に確実かつ容易に検出することができる。また、ラインセンサ４，６が搬送基体３１に取り付けられているので、搬送基体３１を検査位置に移動させずにフォーク３Ａ，３Ｂの姿勢検査を行うことができ、より姿勢検査に要する時間を短縮することができる。
【００６３】
さらに、本発明では、光検出部として反射型の光センサ７１を用いるようにしてもよい。この場合、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置を検出するときには、例えば図２０（ａ）に示すように、フォーク３Ａ，３Ｂの進行方向の前方側の側方に光センサ７１を設ける。この光センサ７１は、発光部７２と受光部７３がフォーク３Ａ，３Ｂの進行方向に沿って並ぶように設けられており、発光部７２からは水平かつ上下方向に幅のある光軸が発光され、フォーク３Ａ，３Ｂが光センサ７１の前を通過するときには、フォーク３Ａ，３Ｂの側面により反射された光が受光部７３に入射するように構成される。例えばフォーク３Ａ，３Ｂが水平面から上向きに曲がっているときや下向きに曲がっているときには、受光量が少なくなるので、この受光部７３における受光量により、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置を検出することができる。
【００６４】
また、フォーク３Ａ，３Ｂの前記左右方向の位置を検出する光検出部として反射型の光センサ７４を用いた場合には、例えば図２０（ｂ）に示すように、鉛直かつ進退方向に対して左右方向に幅のある光軸を形成する発光部７５及び受光部７６を、フォーク３Ａ，３Ｂの上方側又は下方側に、フォーク３Ａ，３Ｂの進退方向に並ぶように設ける。このようにすると、フォーク３Ａ，３Ｂが光センサ７４の前を通過するときには、フォーク３Ａ，３Ｂにより反射された光が受光部７６に入射する。例えばフォーク３Ａ，３Ｂの開度に異常があるときには受光量が変化するので、フォーク３Ａ，３Ｂの左右方向の位置を検出することができる。
【００６５】
さらにまた、本発明では、光検出部として、例えばレーザ光を利用する距離センサ８１を用いるようにしてもよい。この場合、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置を検出するときには、例えば図２１（ａ）に示すように、フォーク３Ａ，３Ｂの進行方向の前方側の側方に距離センサ８を設ける。この距離センサ８１は上下方向に多段に複数の距離センサが配置され、多数のレーザ光が出力されるように構成されている。この場合、フォーク３Ａ，３Ｂが距離センサ８１の前を通過するときには、フォーク３Ａ，３Ｂの側面によりレーザ光が反射され、フォーク３Ａ，３Ｂの側面までの距離が測定される。従って、図２１（ａ）に示すように、フォーク３Ａ，３Ｂの姿勢が正常である場合には、上下方向に配置された多数の距離センサ８１の内、所定の距離センサ８１による測定距離がほぼ同じとなる。一方、フォーク３Ａ，３Ｂが水平面から上下方向に曲がっているときには、前記所定の距離センサ８１による測定距離が異なって来るので、この上下方向の距離の違いにより、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置が検出できる。
【００６６】
また、フォーク３Ａ，３Ｂの前記左右方向の位置を検出するときには、例えば図２１（ｂ）に示すように、鉛直なレーザ光を出力する距離センサ８２をフォーク３Ａ，３Ｂの上下方向のいずれか一方に、フォーク３Ａ，３Ｂの進行方向に対して左右方向に多数配列し、前記左右方向に多数のレーザ光を出力する。このようにすると、フォーク３Ａ，３Ｂが距離センサ８２の前を通過するときには、フォーク３Ａ，３Ｂにより反射されたレーザ光によりフォーク３Ａ，３Ｂまでの距離が測定される。フォーク３Ａ，３Ｂが存在する箇所と存在しない箇所とでは測定距離が異なってくるので、この距離の違いにより、フォーク３Ａ，３Ｂの左右方向の位置を検出することができる。
【００６７】
さらに、光検出部としてＣＣＤカメラを用いて、フォーク３Ａ，３Ｂを光検出部に対して前進させたときに、当該フォーク３Ａ，３Ｂを光学的に撮像して、フォーク３Ａ，３Ｂの上下方向の位置又は進退方向に対して左右方向の位置を光学的に検出するようにしてもよい。
【００６８】
また本発明では、保持部材を光検出部に対して後退させて、保持部材の上下方向の位置又は進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を取得するようにしてもよい。ここで、保持部材を光検出部に対して進退させるときの速度は、必ずしも一定である必要はなく、途中で変化させるようにしてもよい。例えば保持部材の速度を変化させる場合には、保持部材の進退方向の位置は、エンコーダのパルス値により取得することができる。
【００６９】
さらに本発明では、データ取得部により取得された保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータに基づいて、前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を一次微分した値を演算し、この値がしきい値を超えている場合には、保持部材の姿勢に異常と判定する判定部を設けて、この判定部により、保持部材の姿勢に異常があるか否かについて判定してもよい。
【００７０】
さらに、データ取得部により取得されたデータに基づいて、保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けた波形又は、保持部材の前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けた波形の少なくとも一方を表示する表示部を備えるようにしてもよい。この場合には、表示部に表示された波形を作業者が確認することにより、保持部材の姿勢に異常があるか否かを判定するようにしてもよい。このように波形により姿勢に異常があるか否かを判定する場合には、変形部位が保持部材の進退方向のどこにあるかを判断しやすく、仮に保持部材に変形部位があっとしても、メンテナンスが容易となる。
【００７１】
また、本発明では、保持部材の上下方向の位置を検出する上下方向位置光検出部と、保持部材の進行方向に対する左右方向の位置を検出する左右方向位置光検出部の少なくとも一方を設ければよく、これら上下方向位置光検出部と左右方向位置光検出部を両方設けるようにしてもよい。
【００７２】
さらに、保持部材の進行方向に対する左右方向の位置を検出する場合であっても、前記左右方向位置と進退方向位置とを対応付けたデータを取得し、この取得されたデータに基づいて、前記進退方向位置に対して前記左右方向の位置を微分した値に基づいて保持部材の姿勢に異常があると判定する判定部を設けて、保持部材の姿勢の検査を行うようにしてもよい。
【００７３】
さらにまた、保持部材の姿勢の検査は、定期的に行うようにしてもよいし、メンテナンス終了後に、保持部材の姿勢の確認目的で行うようにしてもよい。さらに、保持部材の高さ位置の確認のために当該姿勢検査を行うようにしてもよい。
【００７４】
さらに本発明は、基板を処理する基板処理部と、この基板処理部に対して基板の受け渡しを行う基板搬送装置を備えた全ての基板処理装置に適用できる。
【符号の説明】
【００７５】
Ｗ 半導体ウエハ
１ モジュール
３ 基板搬送装置
３Ａ，３Ｂ フォーク
４、６ ラインセンサ
５ 制御部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する装置において、
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられ、当該保持部材の上下方向の位置及び前記進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する光検出部と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータ、及び保持部材の左右方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得部と、を備え、
前記取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする保持部材の姿勢判定装置。
【請求項２】
前記光検出部は保持部材の上下方向の位置を光学的に検出し、
前記データ取得部は保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得するものであり、
前記取得されたデータに基づいて前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する判定部を備えたことを特徴とする請求項１記載の保持部材の姿勢判定装置。
【請求項３】
保持部材の上下方向の位置を光学的に検出する光検出部は、水平かつ上下方向に幅のある光軸を形成する光センサであり、前記光軸を保持部材により遮断するときの遮断量により、保持部材の上下方向の位置を検出することを特徴とする請求項１又は２記載の保持部材の姿勢判定装置。
【請求項４】
前記保持部材は基板の周囲を囲むように設けられた保持枠を備え、
前記光検出部は保持部材の前記左右方向の位置を光学的に検出し、
前記データ取得部は保持部材の前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得するものであり、
この取得されたデータに基づいて、前記保持枠の開度に異常があるか否かが判断されることを特徴とする請求項１記載の保持部材の姿勢判定装置。
【請求項５】
前記保持部材の前記左右方向の位置を検出する光検出部は鉛直かつ前記左右方向に幅のある光軸を形成する光センサであり、光軸を保持部材により遮断するときの遮断量により、保持部材の前記左右方向の位置を検出することを特徴とする請求項１又は４記載の保持部材の姿勢判定装置。
【請求項６】
前記データ取得部により取得されたデータに基づいて、保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置を対応付けた波形及び保持部材の前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けた波形の少なくとも一方を表示する表示部を備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の保持部材の姿勢判定装置。
【請求項７】
基板に対して処理を行う基板処理部と、
進退自在に設けられた保持部材により基板を保持して、前記基板処理部に対して基板の搬送を行う基板搬送装置と、
請求項１ないし６のいずれか一つに記載の保持部材の姿勢判定装置と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項８】
基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する方法において、
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられた光検出部により、当該保持部材の上下方向の位置及び前記進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する検出工程と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータ、及び保持部材の前記左右方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得工程と、を含み、
前記取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする保持部材の姿勢判定方法。
【請求項９】
前記検出工程は保持部材の上下方向の位置を光学的に検出するものであり、
前記データ取得工程は保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得するものであり、
前記取得されたデータに基づいて進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する判定工程を含むことを特徴とする請求項８記載の保持部材の姿勢判定方法。
【請求項１０】
保持部材の上下方向の位置を光学的に検出する光検出部は水平かつ上下方向に幅のある光軸を形成する光センサであり、前記光軸を保持部材により遮断するときの遮断量により、保持部材の上下方向の位置を検出することを特徴とする請求項８又は９記載の保持部材の姿勢判定方法。
【請求項１１】
基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、前記プログラムは、請求項９又は１０記載の保持部材の姿勢判定方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【請求項１】
基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する装置において、
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられ、当該保持部材の上下方向の位置及び前記進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する光検出部と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータ、及び保持部材の左右方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得部と、を備え、
前記取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする保持部材の姿勢判定装置。
【請求項２】
前記光検出部は保持部材の上下方向の位置を光学的に検出し、
前記データ取得部は保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得するものであり、
前記取得されたデータに基づいて前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する判定部を備えたことを特徴とする請求項１記載の保持部材の姿勢判定装置。
【請求項３】
保持部材の上下方向の位置を光学的に検出する光検出部は、水平かつ上下方向に幅のある光軸を形成する光センサであり、前記光軸を保持部材により遮断するときの遮断量により、保持部材の上下方向の位置を検出することを特徴とする請求項１又は２記載の保持部材の姿勢判定装置。
【請求項４】
前記保持部材は基板の周囲を囲むように設けられた保持枠を備え、
前記光検出部は保持部材の前記左右方向の位置を光学的に検出し、
前記データ取得部は保持部材の前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得するものであり、
この取得されたデータに基づいて、前記保持枠の開度に異常があるか否かが判断されることを特徴とする請求項１記載の保持部材の姿勢判定装置。
【請求項５】
前記保持部材の前記左右方向の位置を検出する光検出部は鉛直かつ前記左右方向に幅のある光軸を形成する光センサであり、光軸を保持部材により遮断するときの遮断量により、保持部材の前記左右方向の位置を検出することを特徴とする請求項１又は４記載の保持部材の姿勢判定装置。
【請求項６】
前記データ取得部により取得されたデータに基づいて、保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置を対応付けた波形及び保持部材の前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けた波形の少なくとも一方を表示する表示部を備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の保持部材の姿勢判定装置。
【請求項７】
基板に対して処理を行う基板処理部と、
進退自在に設けられた保持部材により基板を保持して、前記基板処理部に対して基板の搬送を行う基板搬送装置と、
請求項１ないし６のいずれか一つに記載の保持部材の姿勢判定装置と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項８】
基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する方法において、
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられた光検出部により、当該保持部材の上下方向の位置及び前記進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する検出工程と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータ、及び保持部材の前記左右方向の位置と保持部材の進退方向の位置とを対応付けたデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得工程と、を含み、
前記取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする保持部材の姿勢判定方法。
【請求項９】
前記検出工程は保持部材の上下方向の位置を光学的に検出するものであり、
前記データ取得工程は保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得するものであり、
前記取得されたデータに基づいて進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する判定工程を含むことを特徴とする請求項８記載の保持部材の姿勢判定方法。
【請求項１０】
保持部材の上下方向の位置を光学的に検出する光検出部は水平かつ上下方向に幅のある光軸を形成する光センサであり、前記光軸を保持部材により遮断するときの遮断量により、保持部材の上下方向の位置を検出することを特徴とする請求項８又は９記載の保持部材の姿勢判定方法。
【請求項１１】
基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、前記プログラムは、請求項９又は１０記載の保持部材の姿勢判定方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【公開番号】特開２０１２−８９８０９（Ｐ２０１２−８９８０９Ａ）
【公開日】平成２４年５月１０日（２０１２．５．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２３７８４３（Ｐ２０１０−２３７８４３）
【出願日】平成２２年１０月２２日（２０１０．１０．２２）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月１０日（２０１２．５．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１０月２２日（２０１０．１０．２２）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
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