動画像生成装置、動画像生成方法及び動画像生成システム
【課題】基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することにより、基板支持具の異常動作に関する原因判定材料を提供可能な動画像生成装置、動画像生成方法及び動画像生成システムを提供する。
【解決手段】動作データ生成部２１ｂは、受け付けた基板支持具に関する動作の履歴情報２Ｄに基づいて、基板支持具の検出動作データ４Ｄを生成する。抽出部２１ａは、基板処理装置に係るＣＡＤデータ１Ｄから基板支持具の形状データ５Ｄと設計動作データ６Ｄとを抽出する。動画像生成装置は、抽出した基板支持具の形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄ並びに生成した基板支持具の検出動作データ４Ｄに基づいて、基板支持具の設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成する動画像生成部２１ｅを備えている。
【解決手段】動作データ生成部２１ｂは、受け付けた基板支持具に関する動作の履歴情報２Ｄに基づいて、基板支持具の検出動作データ４Ｄを生成する。抽出部２１ａは、基板処理装置に係るＣＡＤデータ１Ｄから基板支持具の形状データ５Ｄと設計動作データ６Ｄとを抽出する。動画像生成装置は、抽出した基板支持具の形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄ並びに生成した基板支持具の検出動作データ４Ｄに基づいて、基板支持具の設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成する動画像生成部２１ｅを備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置に係る動画像生成装置、動画像生成方法及び動画像生成システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置に機械的異常が発生した場合、作業従事者は基板処理装置の狭い内部空間に潜り込み、目視により機械系部品の動作確認をする。しかし、目視による動作確認ができない状況があること、作業従事者の経験、スキル等には差があること等から、基板処理装置の機械的異常動作に関する原因解明時間及び解明内容の品質にはバラツキがある。また、基板処理装置に機械的異常が発生した場合、作業従事者は必ず現場に出向かなければならないため、基板処理装置に機械的動作の不具合が発生してから問題解決までに長時間を要している。
【０００３】
そこで、基板処理装置に係る３次元ＣＡＤ（computer aided design）データと、基板処理装置に対する制御コマンド及び当該装置の状態を記録したログファイルとから、基板処理装置における故障時の動作を再生する技術がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１３３１９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、基板処理装置の故障時における動作を再生するだけでは、基板処理装置の機械的異常動作に関する原因を特定することは困難である。特に、故障時における動作と正常時における動作との差異が微妙な部品ほど、故障時における部品の動作を単に再生するだけでは、基板処理装置の機械的異常動作に関する原因を特定することは難しい。
【０００６】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものである。その目的は、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の異常動作に関する原因判定材料を提供可能な動画像生成装置、動画像生成方法及び動画像生成システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願に係る動画像生成装置は、基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出した前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成装置において、前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報を受け付ける受付手段と、該受付手段が受け付けた前記基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、前記ＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
本願に係る動画像生成装置では、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報を受け付ける。動画像生成装置は、受け付けた基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、基板支持具の検出動作データを生成する。動画像生成装置は、基板処理装置に係るＣＡＤデータから基板支持具の形状データと設計動作データとを抽出する。動画像生成装置は、抽出した基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した基板支持具の検出動作データに基づいて、基板支持具の設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段を備えている。
【０００９】
本願に係る動画像生成装置は、前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データに基づいて、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出する算出手段を備え、前記動画像生成手段は、前記算出手段が算出した差分が所定の閾値より大きい場合、前記基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。
【００１０】
本願に係る動画像生成装置では、ＣＡＤデータから抽出した設計動作データと、履歴情報から生成した検出動作データとに基づいて、基板支持具の設計動作と検出動作との差分を算出する。動画像生成装置は、算出した差分が所定の閾値より大きい場合、動画像生成手段により、基板支持具の設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成する。
【００１１】
本願に係る動画像生成装置は、前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データは、夫々前記基板支持具の動作を識別する識別情報を含み、
前記算出手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出するようにしてあることを特徴とする。
【００１２】
本願に係る動画像生成装置では、ＣＡＤデータから抽出した設計動作データと、履歴情報から生成した検出動作データとには、夫々基板支持具の動作を識別する識別情報が含まれている。動画像生成装置は、識別情報により特定される同一動作に関して、基板支持具の設計動作と検出動作との差分を算出する。
【００１３】
本願に係る動画像生成装置は、前記動画像生成手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作に対応する動画像及び検出動作に対応する動画像を重畳又は並列配置した動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。
【００１４】
本願に係る動画像生成装置では、動画像生成手段により、基板支持具の動作を特定する識別情報により、基板支持具の設計動作に対応する動画像と、基板支持具の検出動作に対応する動画像とを重畳又は並列配置した動画像を生成する。
【００１５】
本願に係る動画像生成装置は、前記動画像生成手段は前記検出動作に対応する動画像が示す基板支持具部分を色彩又は輝度の変更により強調表示した動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。
【００１６】
本願に係る動画像生成装置では、動画像生成手段により、検出動作に対応する動画像が示す基板支持具部分を強調表示した動画像を生成する。基板支持具部分を強調表示する手法は、例えば基板支持具部分に対する色彩又は輝度の変更である。
【００１７】
本願に係る動画像生成装置は、前記受付手段が受け付けた複数の動作の履歴情報各々に基づいて、前記生成手段が夫々生成した前記基板支持具の検出動作データ各々を記録する記録手段を備え、前記動画像生成手段は、前記抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び前記記録手段が記録した該基板支持具の検出動作データ各々に基づいて、該検出動作データ各々に対応する複数の動画像を、重畳若しくは配列表示した動画像又は時系列順に再生可能な動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。
【００１８】
本願に係る動画像生成装置では、基板支持具について検出された動作の履歴情報を複数受け付ける。動画像生成装置は、受け付けた複数の履歴情報各々に基づいて、基板支持具の検出動作データ各々を生成する。動画像生成装置は、生成した基板支持具の検出動作データ各々を記録手段に記録する。動画像生成装置は、ＣＡＤデータから抽出した基板支持具の形状データと記録手段が記録した基板支持具の検出動作データ各々とに基づいて、検出動作データ各々に対応する複数の動画像を、重畳若しくは配列表示した動画像又は時系列順に再生可能な動画像を生成する。
【００１９】
本願に係る動画像生成装置は、前記動画像生成手段が生成した動画像を表示する表示部を備えることを特徴とする。
【００２０】
本願に係る動画像生成装置では、動画像生成手段が生成した動画像を表示部に表示する。
【００２１】
本願に係る動画像生成方法は、基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出された前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成方法において、前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成し、前記ＣＡＤデータから抽出された該基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した前記基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することを特徴とする。
【００２２】
本願に係る動画像生成方法では、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報に基づいて、基板支持具の検出動作データを生成する。基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出された搬送機構が有する基板支持具の形状データ及び設計動作データと、生成した基板支持具の検出動作データとに基づいて、基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する。
【００２３】
本願に係る動画像生成システムは、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の動作を検出する検出手段、該検出手段が検出した動作の履歴情報を記録する記録手段、及び該記録手段から取得した前記履歴情報に基づいて、前記基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段とを有する動画像生成装置を備えることを特徴とする。
【００２４】
本願に係る動画像生成システムでは、検出手段、記録手段及び動画像生成装置を備えている。検出手段は、基板の搬送機構が有する基板支持具の動作を検出する。記録手段は、検出した基板支持具に関する動作の履歴情報を記録する。動画像生成装置は、記録手段から取得した基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、基板支持具の検出動作データを生成する。動画像生成装置は、基板処理装置に係るＣＡＤデータから基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する。動画像生成装置は、抽出した基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した基板支持具の検出動作データに基づいて、基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する。
【００２５】
本願に係る動画像生成システムは、前記検出手段及び記録手段は前記基板処理装置に含まれることを特徴とする。
【００２６】
本願に係る動画像生成システムでは、検出手段と記録手段とが含まれた基板処理装置及び動画像生成装置を備えている。
【発明の効果】
【００２７】
基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することにより、基板支持具の異常動作に関する原因判定材料を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】動画像生成システムに含まれる動画像生成装置と基板処理装置との接続構成の一例を示す説明図である。
【図２】動画像生成装置のハードウェア群の一例を示すブロック図である。
【図３】端末装置のハードウェア群の一例を示すブロック図である。
【図４】熱処理装置の一例を示す概略側断面図である。
【図５】熱処理装置の一例を示す概略平断面図である。
【図６】基板保持具の一例を示す概略斜視図である。
【図７】基板保持具及び基板搬送機構の一例を示す概略側面図である。
【図８】基板搬送機構の一例を示す説明図である。
【図９】ログファイルの一例の説明図である。
【図１０】動画像生成装置の機能構成例を示す機能ブロック図である。
【図１１】対応テーブルのレコードレイアウトの一例を示す説明図である。
【図１２】動画像生成装置の機能構成例を示す機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明の実施の形態について、その図面を参照して説明する。
なお、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではない。
【００３０】
実施の形態１
図１は、動画像生成システム１に含まれる動画像生成装置２と基板処理装置３との接続構成の一例を示す説明図である。基板処理装置３は、端末装置４を含む。端末装置４は、ユーザと基板処理装置３との間のインタフェースをなすコンピュータであり、基板処理装置３の各構成部を制御する。端末装置４は、ユーザが入力した命令を受け付け、基板処理装置３に当該命令を送信する。端末装置４は、基板処理装置３の状態を表示する。端末装置４は、基板処理装置３に対する制御の履歴並びに基板処理装置３の動作及び状態の履歴をログファイル（履歴情報）として記録する。ログファイルの内容は、例えば基板処理装置３に対する制御コマンド、基板処理装置３の状態、基板処理装置３が実行した動作結果を含む。
【００３１】
なお、端末装置４と基板処理装置３との間に、基板処理装置３の制御のみを実行するコントローラを設置してもよい。かかる場合、端末装置４は当該コントローラと情報の送受信を行うことにより、間接的に基板処理装置３を制御する。
また、端末装置４は、基板処理装置３に含まれなくてもよい。かかる場合、端末装置４は、基板処理装置３の外部に設置され、基板処理装置３と有線又は無線により接続される。
【００３２】
動画像生成装置２は、端末装置４とネットワークＮにより接続されている。ネットワークＮは、例えばＬＡＮ（Local Area Network）、ＷＡＮ（Wide Area Network）、インターネット、電話回線等である。動画像生成装置２は、ネットワークを介して、端末装置４が記録したログファイルを受け付ける。動画像生成装置２は、受け付けたログファイル及び基板処理装置３に係る３次元ＣＡＤデータに基づいて、基板処理装置３に含まれる基板の搬送機構に関する設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成し、これらの動作が対比可能な形態で表示する。
【００３３】
図２は、動画像生成装置２のハードウェア群の一例を示すブロック図である。動画像生成装置２は、ＣＰＵ（CentralProcessing Unit）２１、ＲＡＭ（Random Access Memory）２２、ハードディスク２３、ディスクドライブ２４、通信部（受付手段）２５、タイマ２６、表示部２７及び操作部２８を含む。動画像生成装置２の各構成部は、バス２ｂを介して接続されている。
【００３４】
ＣＰＵ（生成手段、抽出手段、動画像生成手段、算出手段）２１は、動画像生成装置２の各構成部を制御する。ＣＰＵ２１は、ハードディスク２３に記録されたプログラム１Ｐを読み込み、当該プログラム１Ｐを実行する。
ＲＡＭ２２は、ＣＰＵ２１による処理の過程で必要な作業変数、データ等を一時的に記録する。なお、ＲＡＭ２２は主記憶装置の一例であり、ＲＡＭ２２の代わりにフラッシュメモリ、メモリカード等が用いられてもよい。
【００３５】
ハードディスク２３は、ＣＰＵ２１が実行するプログラム１Ｐを記録している。ハードディスク２３は、動画像生成装置２内部に取り付けられるものであっても、動画像生成装置２外部に置かれるものであってもよい。なお、ハードディスク２３は補助記憶装置の一例であり、大容量の情報の記録が可能なフラッシュメモリ、ＣＤ（Compact Disc）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）、ＢＤ（Blu-ray Disc、登録商標）等の光ディスク１ａにより代替されてもよい。
【００３６】
ディスクドライブ２４は、外部の記録媒体である光ディスク１ａから情報を読み込み、光ディスク１ａに情報を記録する。
通信部２５は、モデム又はＬＡＮカード等であり、ネットワークＮに接続されている。
【００３７】
タイマ２６は、計時を信号としてＣＰＵ２１に送信する。
表示部２７は、例えば液晶ディスプレイ、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ等の画面を有し、ＣＰＵ２１からの指示に従って、プログラム１Ｐに係る様々な画面を表示する。
【００３８】
操作部２８は、ユーザが各種の入力を行うキーボード、マウス、タッチパネル等の入力デバイスを含む。操作部２８は、ユーザによる操作に基づいて入力信号を生成する。生成された入力信号は、バス２ｂを介してＣＰＵ２１に送信される。
【００３９】
ハードディスク２３には、基板処理装置３の設計データである３次元ＣＡＤデータ（ＣＡＤデータ）１Ｄが記録されている。３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、基板処理装置３を構成する各部品の形状データ及び設計動作データを含む。ハードディスク２３には、基板処理装置３に対する命令及び設計動作を部品毎に対応付けた対応テーブル１Ｔが記録されている。
ハードディスク２３には、３次元アニメーションビューワ２Ｐがインストールされている。３次元アニメーションビューワ２Ｐは、入力された部品の形状データ及び動作データに基づいて、部品の動作をシミュレートし、その結果を動画像として出力する。
なお、ハードディスク２３には、３次元ＣＡＤソフトがインストールされていてもよい。
【００４０】
図３は、端末装置４のハードウェア群の一例を示すブロック図である。端末装置４は、ＣＰＵ（検出手段）４１、ＲＡＭ４２、ハードディスク（記録手段）４３、ディスクドライブ４４、通信部４５、タイマ４６、表示部４７及び操作部４８を含む。端末装置４の各構成部は、バス４ｂを介して接続されている。端末装置４の各構成部の機能は、動画像再生装置２の各構成部の機能とほぼ同じである。
【００４１】
端末装置４のハードディスク４３は、ＣＰＵ４１が実行するプログラム３Ｐを記録している。プログラム３Ｐは、基板処理装置３を制御するプログラムである。プログラム３Ｐは、基板処理装置３に対する命令並びにその結果である動作及び状態を履歴として記録する処理を含む。ＣＰＵ４１は、当該処理による履歴をログファイル（履歴情報）２Ｄとしてハードディスク４３に記録する。また、ハードディスク４３には、基板処理装置３が実行する各種処理のレシピ３Ｄが記録されている。
【００４２】
基板処理装置３は、例えば半導体基板又は有機素子基板を熱処理する熱処理装置である。以下では、基板処理装置３の一例として、半導体基板について、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）による成膜処理、アニール処理、酸化処理、拡散処理等の熱処理を行う熱処理装置について説明する。
【００４３】
図４は、熱処理装置５の一例を示す概略側断面図である。図５は、熱処理装置５の一例を示す概略平断面図である。熱処理装置５の正面は、図４の右側及び図５の右側である。熱処理装置５の背面は、図４の左側及び図５の左側である。熱処理装置５の上方及び下方は、夫々図４の上方及び下方である。熱処理装置５の側方は、図５の上方及び下方である。以下、熱処理装置５の側方について、正面から熱処理装置５を見た右側の側方を右側方、正面から熱処理装置５を見た左側の側方を左側方と呼ぶ。
【００４４】
熱処理装置５の筐体６内は、側方向に延設された隔壁６１で仕切られた搬入搬出領域Ｓ１及び作業領域（ローディングエリア）Ｓ２を含む。搬入搬出領域Ｓ１は正面側に位置し、作業領域Ｓ２は背面側に位置する。搬入搬出領域Ｓ１は、基板Ｗ（例えば、シリコンウエハ）を収納した収納容器であるキャリアＣを搬入、搬出するための領域である。キャリアＣは、例えば直径３００ｍｍの基板Ｗ２５枚程度を上下方向に所定間隔で収納し、基板Ｗの取り出し口（図示せず）を塞ぐ蓋体Ｃ１及び搬送される場合に保持されるフランジ部Ｃ２を有する。蓋体Ｃ１は着脱可能である。搬入搬出領域Ｓ１は、大気雰囲気で満たされている。
【００４５】
作業領域Ｓ２は、基板ＷをキャリアＣから熱処理炉に搬送し、搬送した基板Ｗを熱処理するための領域である。作業領域Ｓ２は、不活性ガス雰囲気（例えば窒素ガス雰囲気）又は清浄乾燥気体雰囲気（パーティクル及び有機成分が少なく、露点−６０℃以下の空気雰囲気）で満たされている。
【００４６】
搬入搬出領域Ｓ１は、正面側に位置する第一領域６２及び背面側に位置する第二領域６３を含む。第一領域６２及び第二領域６３には、夫々キャリアＣを各２個ずつ載置可能な第一載置台６４及び第二載置台６５が設けられている。また、第二領域６３には、キャリア保管部６６及びキャリア搬送機構６７が設けられている。
キャリア保管部６６は、第二領域６３の上部に配置されており、キャリアＣを載置し、かつ保管する棚を有する。
【００４７】
キャリア搬送機構６７は、キャリアＣを第一載置台６４、第二載置台６５及びキャリア保管部６６の間で搬送する構成部である。キャリア搬送機構６７は、昇降部６７ａ、水平移動部６７ｂ、アーム６７ｃ及び保持部６７ｄを含む。昇降部６７ａは、昇降自在であり、側方向に伸びるガイドレールを備えている。水平移動部６７ｂは、昇降部６７ａが備えるガイドレールに滑合しており、当該ガイドレールにガイドされて側方向に移動する。アーム６７ｃは、互いに端で水平方向に回転自在に軸着された２本のアームからなる。アーム６７ｃの基部は略水平方向に回転自在に水平移動部６７ｂと軸着されている。アーム６７ｃの先端には、キャリアＣ上面のフランジ部Ｃ２を保持する保持部６７ｄが設けられている。保持部６７ｄがキャリアＣを保持し、アーム６７ｃが略水平方向に回転し、かつ水平移動部６７ｂが側方向に移動することにより、キャリアＣは略水平方向に搬送される。
【００４８】
隔壁６１の下部には、第二載置台６５に載置されたキャリアＣが隔壁６１に当接した場合、キャリアＣ内と作業領域Ｓ２とを連通する開口部６０が形成されている。また、作業領域Ｓ２側の隔壁６１には、扉６８及び蓋開閉機構６９が設けられている。扉６８は、開口部６０を開閉する。蓋開閉機構６９は、扉６８が閉じた状態で、キャリアＣの蓋体Ｃ１を開閉する。蓋開閉機構６９がキャリアＣの蓋体Ｃ１を開けた場合、蓋開閉機構６９とキャリアＣの蓋体Ｃ１とは、図示しない機構により例えば上方又は下方に退避される。
【００４９】
開口部６０の側方端側には不活性ガス供給管（図示せず）が、開口部６０の下端側には排気路（図示せず）が夫々設けられている。キャリアＣの蓋体Ｃ１が開かれた場合、キャリアＣ内の空気は不活性ガス供給管及び排気路により不活性ガス（例えば、窒素ガス）と置換される。
【００５０】
作業領域Ｓ２には、熱処理炉７、基板保持具（ウエハボート）８及び基板搬送機構９が設けられている。基板搬送機構９は、第二載置台６５上のキャリアＣ内に載置された基板Ｗを基板保持具８に搬送する。
【００５１】
熱処理炉７は、図示しない縦型の処理容器、キャップ７１、昇降機構７２及び図示しないヒータを含む。処理容器は、例えば石英製の反応管であり、下部に開口された炉口を有する。キャップ７１は、昇降機構７２により支持されている。キャップ７１は、昇降機構７２により昇降することにより、処理容器の炉口を開閉する。ヒータは処理容器の外側周囲を覆うように設けられており、処理容器内の温度を所定の温度に加熱制御する。
【００５２】
基板保持具８はキャップ７１の上に配置されることにより、昇降可能に構成されている。基板Ｗが載置された基板保持具８は、炉口から上方の熱処理炉７内に搬入される。熱処理炉７は、搬入された基板Ｗに対して熱処理を施す。熱処理が施された基板Ｗを載置する基板保持具８は、炉口から下方に搬出される。基板搬送機構９は、基板保持具８に載置された熱処理済みの基板Ｗを第二載置台６５上のキャリアＣに搬送する。
【００５３】
次に、基板保持具８及び基板搬送機構９について詳述する。
図６は、基板保持具８の一例を示す概略斜視図である。図７は、基板保持具８及び基板搬送機構９の一例を示す概略側面図である。基板保持具８は、例えば直径３００ｍｍの基板Ｗを７５枚程度略水平状態で多段に保持することができる。
【００５４】
基板保持具８は、支柱８１、天板８２、底板８３及びリング部材８４を含む。支柱８１、天板８２及び底板８３は、例えば石英製又はセラミック製である。支柱８１は、略同一の長さのものが複数本あり、全てが上下方向と略同一方向に配列している。複数の支柱８１の上端及び下端の高さは略同一である。天板８２及び底板８３は、共に円盤状の部材であり、支柱８１の夫々上端及び下端に接合されている。天板８２及び底板８３の面内方向は、水平方向と略同一である。
複数の支柱８１には、保持爪８１ａが上下方向に所定間隔（例えば、１０ｍｍピッチ）で設けられている。基板Ｗは、その周縁部が略同一の高さに位置する複数の保持爪８１ａに載置されることにより、基板保持具８に保持される。
【００５５】
リング部材８４は、上下方向に設けられた隣接する保持爪８１ａの間の支柱８１に設けられている。リング部材８４の厚さは２〜３ｍｍ程度に、外径Ｌ１は基板Ｗの外径よりも若干大きい大きさに、内径Ｌ２は基板Ｗの外径よりも若干小さい大きさに形成されている。上下方向に隣接するリング部材８４の配列間隔は、例えば１０ｍｍである。リング部材８４の材質は、例えばＳｉ、ＳｉＣ、Ｃ（ガラス状炭素）、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 等である。リング部材８４は、基板Ｗ上に形成される薄膜の面内均一性を向上させるために設けられた部材である。
【００５６】
図８は、基板搬送機構９の一例を示す説明図である。図８Ａは、基板搬送機構９の一例を示す概略斜視図である。図８Ｂは、基板搬送機構９の一例を示す概略平面図である。図８Ｃは、基板搬送機構９の一例を示す概略側面図である。基板搬送機構９は、フォーク（基板支持具）９１、搬送基台９２、回転機構９３、昇降機構９４及び水平移動機構９５（図５・７参照）を含む。フォーク９１は、例えば５つの保持アームを含んで構成される。保持アームの形状は平面視略Ｕ字形である。搬送基台９２は、正面−背面方向を長手方向とする直方体状をなす。搬送基台９２の上面及び底面は、略水平である。フォーク９１は、搬送基台９２の上面に設置されている。
【００５７】
回転機構９３は、モータ９３ａ、エンコーダ９３ｂ及びカウンタ（検出手段）９３ｃを含む。モータ９３ａは略上下方向の回転軸を有し、搬送基台９２の底面は当該回転軸に軸着されている。そのため、搬送基台９２はモータ９３ａの回転により略水平方向に回転可能である。モータ９３ａは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。エンコーダ９３ｂは、モータ９３ａの回転に伴うパルス列をカウンタ９３ｃに出力する。カウンタ９３ｃは、エンコーダ９３ｂから受け付けたパルス列を微小時間である制御周期毎にカウントし、カウントした数をパルス数として、端末装置４に出力する。
【００５８】
昇降機構９４は、ガイドレール９４ａ、モータ９４ｂ、エンコーダ９４ｃ及びカウンタ（検出手段）９４ｄを含む。ガイドレール９４ａは略上下方向に延びており、搬送基台９２はガイドレール９４ａに滑合している（図７参照）。ガイドレール９４ａの内部には、図示しない昇降軸が設けられている。モータ９４ｂは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。エンコーダ９４ｃは、モータ９４ｂの回転に伴うパルス列をカウンタ９４ｄに出力する。カウンタ９４ｄは、エンコーダ９４ｃから受け付けたパルス列を微小時間である制御周期毎にカウントし、カウントした数をパルス数として、端末装置４に出力する。
昇降機構９４は、モータ９４ｂがガイドレール９４ａの内部に設けられた昇降軸を回転させることにより、搬送基台９２をガイドレール９４ａに沿って昇降させる。
【００５９】
水平移動機構９５は、図５に示すガイドレール、図示しないモータ、エンコーダ及びカウンタを含む。ガイドレールは略側方向に伸びており、搬送基台９２はガイドレールに滑合している。ガイドレールの下部には、図示しないプーリ及び当該プーリに巻き掛けられたベルトが設けられている。モータは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。エンコーダ及びカウンタの機能は、夫々エンコーダ９３ｂ、９４ｃ及びカウンタ９３ｃ、９４ｄの機能と同じである。
水平移動機構９５は、モータがガイドレールの下部に設けられたプーリを回転させることにより、ベルトを介して搬送基台９２をガイドレールに沿って側方向に水平移動させる。
【００６０】
基板搬送機構９のフォーク９１は、図８Ｂ及び図８Ｃに示すように、夫々基板Ｗを保持し得る第一フォーク９１ａ、第二フォーク９１ｂ、第三フォーク９１ｃ、第四フォーク９１ｄ及び第五フォーク９１ｅを含む。これら５つのフォーク９１ａ〜９１ｅは、上下方向に略等間隔で配置され、５段階構成の保持アーム群をなす。
【００６１】
５つのフォーク９１ａ〜９１ｅは、夫々腕部９６ａ、９６ｂ及び段部９７ａ、９７ｂ、９７ｃ、９７ｄを含む。腕部９６ａ、９６ｂは、所定の距離を隔てて進退方向に延出した２本の板状腕である。ここで、進退方向とは各フォーク９１ａ〜９１ｅがキャリアＣ又は基板保持具８に対して基板Ｗを搬入、搬出する場合の略水平面内における移動方向を意味する。キャリアＣ又は基板保持具８に近づくフォーク９１の移動を前進、キャリアＣ又は基板保持具８から遠ざかるフォーク９１の移動を後退と呼ぶ。
【００６２】
腕部９６ａ、９６ｂ及び基部を含めた保持アームである各フォーク９１ａ〜９１ｅの形状は平面視略Ｕ字形をなす。段部９７ａ、９７ｂ、９７ｃ、９７ｄは、基板Ｗの周縁部を載置する階段状の構成部であり、各フォーク９１ａ〜９１ｅについて、夫々４つずつ設けられている。２つの段部９７ａ、９７ｂは、夫々腕部９６ａ、９６ｂの外側先端部に設けられている。残りの２つの段部９７ｃ、９７ｄは、夫々腕部９６ａ、９６ｂ又はフォーク９１の外側基端部に設けられている。４つの段部９７ａ、９７ｂ、９７ｃ、９７ｄを仮に線分で結んだ場合、その形状は平面視、進退方向を長手方向とする略矩形状である。
【００６３】
フォーク９１は、保持部材９８及び進退機構９９を含む。保持部材９８は、５つのフォーク９１ａ〜９１ｅを進退機構９９に対して固定する部材である。保持部材９８は、進退機構９９に接合されている。各フォーク９１ａ〜９１ｅの基端部中央から後退方向側に、平面視における腕部９６ａ、９６ｂの幅よりも狭い幅の延出部が夫々設けられている。当該延出部は略水平な板状をなす。保持部材９８は、当該延出部各々を上下から挟み込み、ネジ９８ａ、９８ｂ、９８ｃ、９８ｄで各フォーク９１ａ〜９１ｅを進退機構９９に固定するように構成されている。
【００６４】
進退機構９９は、各フォーク９１ａ〜９１ｅを進退方向に移動させる構成部である。進退機構９９は、第一進退機構９９ａ及び第二進退機構９９ｂを含む。まず、第一進退機構９９ａ及び第二進退機構９９ｂに共通する構成及び機能について説明する。
図７及び図８には、進退機構９９の一部である移動体が描かれている。保持部材９８は当該移動体に接合されている。移動体以外の進退機構９９は、図示しないモータ、プーリ、ベルト、ガイドロッド及び摺動体を含み、これらは搬送基台９２内部に設けられている。モータはプーリを回転させ、プーリは巻き掛けられたベルトを駆動する。ガイドロッドは搬送基台９２の長手方向に対して略平行に設置されており、ガイドロッドには摺動体が摺動可能に支持されている。移動体及び摺動体は、ベルトを挟むように、当該ベルトに取り付けられている。そのため、各フォーク９１ａ〜９１ｅは、図示しない搬送基台９２内部のモータにより、前進又は後退をすることができる。
【００６５】
進退機構９９のモータは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。進退機構９９は、回転機構９３、昇降機構９４及び水平移動機構９５と同様のエンコーダ及びカウンタを含む。進退機構９９のカウンタは、カウントしたモータの回転に伴うパルス列の数をパルス数として、端末装置４に出力する。
【００６６】
第一進退機構９９ａは、第三フォーク９１ｃを前進又は後退させる機構である。一方、第二進退機構９９ｂは、第三フォーク９１ｃ以外のフォーク９１、すなわち第一フォーク９１ａ、第二フォーク９１ｂ、第四フォーク９１ｄ、第五フォーク９１ｅを同時に進退又は後退させる機構である。基板搬送機構９では、第一進退機構９９ａの単独動により１枚の基板Ｗを搬送する枚葉搬送と、第一及び第二進退機構９９ａ、９９ｂの協働により５枚の基板Ｗを同時に搬送する一括搬送との両方を行うことができるように構成されている。
【００６７】
端末装置４は、回転機構９３、昇降機構９４、水平移動機構９５及び第一進退機構９９ａ及び第二進退機構９９ｂが有するカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて、搬送基台９２及びフォーク９１の水平面内の方向、高さ、側方向及び正面−背面方向の位置を検出する。
なお、フォーク９１の先端には図示しない光センサ等のセンサが設置されており、基板Ｗの搬送時に生じた異常を検出する。当該異常は、例えばフォーク９１と基板Ｗの成膜面又はリング部材８４との接触、フォーク９１と支柱８１、天板８２又は底板８３との接触を含む。当該異常は、例えばフォーク９１と隔壁６１、キャリアＣ又は熱処理炉７との接触を含む。センサは、当該異常を検出した場合、異常を特定可能なエラー信号を端末装置４に送信する。
【００６８】
次に、動画像生成システム１の動作について説明する。
ユーザは、端末装置４の操作部４８を操作し、熱処理装置５を稼働させる。基板搬送機構９のフォーク９１は、キャリアＣから基板保持具８に５枚の基板Ｗを同時に搬送する。基板搬送機構９が所定枚数の基板Ｗを基板保持具８に載置し終えた場合、熱処理装置５は昇降機構７２により基板保持具８を上昇させて熱処理炉７に搬入し、かつキャップ７１で処理容器の炉口を密閉する。熱処理装置５は、熱処理炉７の温度をレシピ３Ｄに従って上昇させ、基板Ｗに熱処理を施す。熱処理が終了した場合、熱処理装置５は昇降機構７２により基板保持具８を下方へ搬出する。基板処理機構９のフォーク９は、基板保持具８からキャリアＣに基板Ｗを５枚ずつ同時に搬送する。
【００６９】
端末装置４のＣＰＵ４１は、ハードディスク４３に上述の熱処理の経過及び結果をログファイル２Ｄとして記録する。
図９は、ログファイル２Ｄの一例の説明図である。ログファイル２Ｄには、熱処理のプロセス履歴を時系列で記録したもの、エラー履歴を時系列で記録したもの等がある。図９のログファイル２Ｄは、熱処理装置５における基板Ｗの搬送履歴を時系列に記録している。
【００７０】
ログファイル２Ｄは、年月日、時間、コマンドＩＤ、部品ＩＤ、搬送状態、検出速度、検出位置及び検出方向を含む。年月日及び時間は、タイマ４６の計時に基づくタイムスタンプである。コマンドＩＤは、基板Ｗの搬送処理の内容を特定することができる制御命令の識別記号である。例えば、基板保持具８に載置された基板Ｗをフォーク９１が搬出する場合、コマンドＩＤは各フォーク９１ａ〜９１ｅを保持爪８１ａの下に前進させるＩＤ、各フォーク９１ａ〜９１ｅを上昇させて基板Ｗを持ち上げるＩＤを含む。また、コマンドＩＤは、基板Ｗを支持した各フォーク９１ａ〜９１ｅを後退させるＩＤを含む。このような部品の各動作は、コマンドＩＤと対応付けられている。
【００７１】
部品ＩＤは、基板搬送機構９を構成する各部品を特定することができる部品の識別記号である。搬送状態は、命令された基板Ｗの搬送動作の状態であり、例えば開始、搬送中及び終了を含む。検出速度は、基板搬送機構９のカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて検出された部品の移動速度である。検出位置は、基板搬送機構９のカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて検出された部品の高さ、側方向及び正面−背面方向の位置である。検出方向は、基板搬送機構９のカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて検出された、所定の方向に対する部品の水平面内における方向である。ここでの所定の方向は、正面から背面に向かう方向であってもよいし、左側方から右側方に向かう方向であってもよいし、その他の方向であってもよい。
【００７２】
図１０は、動画像生成装置２の機能構成例を示す機能ブロック図である。図１０の各機能部は、ＣＰＵ２１がハードディスク２３に記録されたプログラム１Ｐに基づいて動作することにより実行される。なお、動作データ生成部（生成手段）２１ｂは、ＣＰＵ２１が通信部２５と協働して実現する機能である。
【００７３】
動画像生成装置２のハードディスク２３には、３次元ＣＡＤソフトにより制作された熱処理装置５の設計データすなわち３次元ＣＡＤデータ１Ｄが記録されている。当該３次元ＣＡＤソフトは、設計した部品オブジェクトを並進移動、回転、拡縮及び変形するアニメーションを作成し、再生することができる。このアニメーションには、部品の設計動作が含まれている。
３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、アセンブリを構成する部品の各時刻における位置、姿勢、形状等である。各部品は、部品の識別記号である部品ＩＤにより管理される。３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、データベースにより管理された各種のファイルである。
【００７４】
具体的には、３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、基板搬送機構９を構成する部品の形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄを含む。
３次元ＣＡＤデータ１Ｄに含まれる形状の表現形式は、例えばワイヤフレーム、ポリゴン、サーフェイス、ソリッド等である。形状の表現形式がソリッドである場合、形状データ５Ｄは部品ＩＤに関連付けられた幾何情報及び位相情報を含む。位相情報は、点、線、面の隣接関係を表す。ここでの形状は基板搬送機構９を構成する部品の形状の他に、当該部品が組み合わさったアセンブリの形状も含まれる。部品の形状データ５Ｄは、部品の位置、姿勢、形状を特定するが、部品の材質、色彩、部品間の拘束関係等の属性も含む。
【００７５】
部品の設計動作データ６Ｄは、時間的要素が加わった、部品の回転及び並進移動に関するデータを含む。設計動作データ６Ｄは、部品ＩＤ及び設計動作ＩＤに関連付けられた部品毎の各動作を示すベクトルである。設計動作ＩＤは、設計時における部品毎の設計動作を識別する識別記号である。設計動作データ６Ｄは、使用された３次元ＣＡＤソフトにおける操作及び設定値（例えば、コマンドの文字列、部品オブジェクトに対するドラッグ操作の方向及び移動量、移動速度等）であってもよい。
なお、設計動作データ６Ｄは、物体表面の色、テクスチャ、影等の時間的変化、光源の位置及び明るさの時間的変化、視点の位置及び向きの時間的変化を含んでもよい。
【００７６】
抽出部（抽出手段）２１ａは、３次元ＣＡＤデータ１Ｄから形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄを抽出し、抽出した形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄをハードディスク２３に記録する。
【００７７】
動作データ生成部２１ｂは、端末装置４からネットワークＮを経由してログファイル２Ｄを取得する。動作データ生成部２１ｂは、取得したログファイル２Ｄを解析する。動作データ生成部２１ｂは、解析結果に基づいて、検出動作データ４Ｄを生成し、ハードディスク２３に記録する。検出動作データ４Ｄは、基板搬送機構９を構成する部品の回転及び並進移動に関する検出データを含む。動作データ生成部２１ｂは、検出動作データ４Ｄのデータ形式を設計動作データ６Ｄのデータ形式にフォーマットして生成する。例えば、動作データ生成部２１ｂは、検出位置、検出方向、検出速度等に基づいて、部品の各動作をベクトルに変換し、変換したベクトルを各部品ＩＤ及び設計動作ＩＤ毎に並べ替えて検出動作データ４Ｄを生成する。
【００７８】
上述の処理のために、動作データ生成部２１ｂは、対応テーブル１Ｔを利用する。対応テーブル１Ｔは、部品ＩＤ、コマンドＩＤ及び設計動作ＩＤとの対応関係を示すテーブルである。
図１１は、対応テーブル１Ｔのレコードレイアウトの一例を示す説明図である。対応テーブル１Ｔは、部品ＩＤ、コマンドＩＤ及び設計動作ＩＤの各列を含む。部品ＩＤ及びコマンドＩＤは、夫々ログファイル２Ｄに含まれる部品ＩＤ及びコマンドＩＤと同じである。設計動作ＩＤは、設計動作データ６Ｄに含まれる設計動作ＩＤと同じである。動作データ生成部２１ｂは、対応テーブル１Ｔを参照し、ログファイル２Ｄに含まれるコマンドＩＤを設計動作ＩＤに置換する。
【００７９】
なお、対応テーブル１Ｔは、端末装置４のハードディスク４３に記録されていてもよい。かかる場合、動作データ生成部２１ｂは、通信部２５を介して対応テーブル１Ｔを端末装置４から取得する。
あるいは、設計動作ＩＤは基板Ｗの搬送処理の開始から終了まで動作順序に関する連番とし、動作データ生成部２１ｂは、ログファイル２Ｄの先頭からＥＯＦまでのシーケンスに従って、コマンドＩＤと設計動作ＩＤとの対応関係を生成してもよい。
【００８０】
差分算出部（算出手段）２１ｃは、ハードディスク２３に記録された検出動作データ４Ｄ及び設計動作データ６ＤをＲＡＭ２２に読み込み、基板搬送機構９を構成する各部品の前進、後退、昇降、側方向の移動若しくは回転に係る動作の大きさ、速さ又は方向の差分を算出する。その際、差分算出部２１ｃは、部品ＩＤ及び設計動作ＩＤ毎に部品の動作を対比する。
【００８１】
比較部（動画像生成手段）２１ｄは、差分算出部２１ｃが算出した差分を所定の閾値と比較する。比較部２１ｄは、差分算出部２１ｃが算出した差分が所定の閾値より大きい場合、動画像生成部（動画像生成手段）２１ｅに処理を開始するように指示する。
比較部２１ｄは、差分算出部２１ｃが算出した差分を数段階の閾値と比較してもよい。比較部２１ｄは、閾値によって区分される複数の領域のうち、差分がどの領域に属するか判定し、その判定結果を動画像生成部２１ｅに出力してもよい。
【００８２】
動画像生成部２１ｅは、比較部２１ｄにより差分が所定の閾値より大きいと判定された場合、形状データ５Ｄ、検出動作データ４Ｄ及び設計動作データ６Ｄをハードディスク２３からＲＡＭ２２に読み出す。動画像生成部２１ｅは、形状データ５Ｄが示す部品を検出動作データ４Ｄにより動かすアニメーション画像と、形状データ５Ｄが示す部品を設計動作データ６Ｄにより動かすアニメーション画像とを生成する。動画像生成部２１ｅは、生成した２つのアニメーション画像を比較認識しやすい動画像を生成する。
【００８３】
ここで、上記比較認識しやすい動画像は、例えば２つのアニメーション画像を縦又は横に並列配置し、２つのアニメーション画像が同期して動く動画像である。比較認識しやすい動画像は、例えば２つのアニメーション画像を重畳した動画像である。比較認識しやすい動画像は、検出動作データ４Ｄに基づく部品部分の色彩、輝度、濃淡、形状又は大きさを変更し、当該部品部分を強調表示した動画像である。この強調表示した動画像は、検出動作データ４Ｄに基づく部品部分に対して、搬送動作の大きさよりも小さな大きさの揺らぎ動作を加えた動画像であってもよい。
【００８４】
なお、動画像生成部２１ｅは、比較部２１ｄによる判定結果と無関係に、検出動作データ４Ｄ及び設計動作データ６Ｄに対応するアニメーション画像を生成してもよい。また、動画像生成部２１ｅは、比較部２１ｄから差分が複数の閾値によって区分される領域のどの領域に属するかという判定結果を受け付けた場合、領域の違いによって上述の強調表示の程度又は形態を変更した動画像を生成してもよい。
【００８５】
動画像生成部２１ｅは、アニメーション画像の生成に際し、レンダリング、キーフレーム法、キネマティクス、モーションブラー等の３次元ＣＧアニメーション技術を利用してもよい。なお、動画像生成部２１ｅの処理機能は、既存のＣＧアプリケーション（３次元アニメーションビューワ２Ｐ）で代替されてもよい。
【００８６】
動画像表示部２１ｆは、動画像生成部２１ｅが生成した動画像を表示部２７に表示する。
【００８７】
動画像生成システム１によれば、基板処理装置２を構成する基板搬送機構９が有するフォーク９１の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することにより、フォーク９１の異常動作に関する原因判定材料を提供することができる。
フォーク９１は、販売品である基板Ｗに直接接触する重要な部品であり、その動作はたいへん精密に設計されている。従って、フォーク９１の動作の正確性は担保されている必要がある。しかしながら、ティーチングの不備、ギアへのグリスの塗り忘れ、ベルトの緩み、ネジの緩み等からフォーク９１に機械的な不具合が発生した場合、単にフォーク９１の動作をシミュレートした動画像を見ても、正常時の動作に比較してどのような違いがあるのか認識しづらい。そのため、基板搬送機構９における機械的不具合の原因を特定することは困難である。しかしながら、フォーク９１について、設計時の動作と実際の稼働時の動作とをシミュレートした動画像を対比可能な形態で表示することにより、機械的不具合の原因を特定することがより容易になる。これにより、基板処理装置３の調整、修理等に費やされる時間は短縮され、基板処理装置３の歩留り及び生産性を向上させることができる。
【００８８】
基板搬送装置３又は熱処理装置５には、機械的異常が発生した場合、その発生を通知するアラーム機能を備えている。フォーク９１に係るアラームの原因には、フォーク９１の側の調整不備又は劣化と、基板保持具８の側の劣化とがある。基板保持具８の劣化とは、たび重なる熱処理に伴う形状変化である。動画像生成システム１によれば、動像画におけるフォーク９１の動作が正常と判定されるにもかかわらず、アラームが発生している場合、アラームの原因としてフォーク９１の機械的不具合を消去することができる。その結果、基板保持具８の調査に作業を移行する判断が可能となり、アラームの原因探求作業時間の短縮を図ることができる。
【００８９】
実施の形態２
実施の形態２は、動作データ生成部２１ｂにより検出動作データ４Ｄを逐次ハードディスク２３に記録、蓄積する形態に関する。
図１２は、動画像生成装置２の機能構成例を示す機能ブロック図である。図１２の機能ブロック図は、差分算出部２１ｃ及び比較部２１ｄを欠く点において、図１０の機能ブロック図と異なる。
【００９０】
抽出部２１ａは、予め３次元ＣＡＤデータ１Ｄから形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄを抽出し、ハードディスク２３に記録しておく。動作データ生成部２１ｂは、納品された熱処理装置５が稼働を始めた時から、記録されたログファイル２Ｄに基づいて生成した検出動作データ４Ｄをハードディスク２３に記録及び蓄積する。動作データ生成部２１ｂは、異なる時期に取得した異なるログデータ２Ｄに基づいて、検出動作データ４Ｄの生成、記録及び蓄積を繰り返す。
【００９１】
アラームが発生した場合、動画像生成部２１ｅは、動作データ生成部２１ｂが生成、記録及び蓄積した複数の検出動作データ４Ｄ並びに抽出部２１ａが抽出した形状データ５Ｄをハードディスク２３からＲＡＭ２２に読み出す。動画像生成部２１ｅは、形状データ５Ｄが示す部品を複数の検出動作データ４Ｄにより夫々動かす複数のアニメーション画像を生成する。動画像生成部２１ｅは、生成した複数のアニメーション画像を比較認識しやすい動画像を生成する。
【００９２】
上記比較認識しやすい動画像は、例えば生成した複数のアニメーション画像が４つである場合、左右上下の縦横に４分割した画面に各アニメーション画像を表示する動画像である。
比較認識しやすい動画像は、例えば複数のアニメーション画像を時系列の順に、連続して又は不連続に再生可能な動画像である。
比較認識しやすい動画像は、例えば複数のアニメーション画像各々が設計動作データ６Ｄにより部品を動かすアニメーション画像と重畳された動画像である。
なお、複数のアニメーション画像各々の一部に、元となるログファイル２Ｄのデータの年月日及び時間を示す文字列が含まれてもよい。
【００９３】
動画像表示部２１ｆは、動画像生成部２１ｅが生成した動画像を表示部２７に表示する。
【００９４】
実施の形態２に係る動画像生成システム１によれば、フォーク９１の動作に関する時間的変遷を比較観察することができる。これにより、フォーク９１の異常動作に関する原因を探ることがより容易になる。
【００９５】
動画像生成装置２は、異なる複数の熱処理装置５に含まれる各端末装置４から、ログファイル２Ｄを取得してもよい。動画像生成装置２は、異なる熱処理装置５の基板搬送機構９が有するフォーク９１の設計動作及び検出動作を対比可能な動画像を生成してもよい。あるいは、動画像生成装置２は、異なる熱処理装置５の基板搬送機構９が有する各フォーク９１について、動作の時間的変遷を比較観察することができる動画像を生成してもよい。これにより、例えば同一の工場に同時に設置された複数の熱処理装置５がある場合、熱処理装置５間におけるフォーク９１の動作を比較することにより、機械的不具合が発生した熱処理装置５の原因特定材料を増大させることができる。
【００９６】
なお、ＣＰＵ２１は、プログラム１Ｐを、ディスクドライブ２４を介して光ディスク１ａ、磁気テープ、磁気ディスク、光磁気ディスク等から読み込んでもよい。また、プログラム１Ｐを記録したフラッシュメモリ等の半導体メモリ１ｃ、磁気テープ、磁気ディスク、光磁気ディスク等が動画像生成装置２内に実装されてもよい。さらに、ＣＰＵ２１は、プログラム１Ｐを、通信部２５を介して図示しない外部の情報処理装置又は記録装置からダウンロードすることも可能である。
また、動画像生成装置２は、端末装置４からネットワークＮを介してログファイル２Ｄを取得するのではなく、ログファイル２Ｄを記録したフラッシュメモリ等の半導体メモリ１ｃ、磁気テープ、磁気ディスク、光磁気ディスク等を介して、ログファイル２Ｄを取得してもよい。
端末装置４は、ログファイル２Ｄをハードディスク４３に記録するのではなく、ログファイル２Ｄを記録保存する前のログデータを、ネットワークＮを介して動画像生成装置２に送信してもよい。動画像生成装置２は、当該ログデータを端末装置４から受信し、ログファイル２Ｄとしてハードディスク２３に記録してもよい。
【００９７】
実施の形態２は以上の如きであり、その他は実施の形態１と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。
【符号の説明】
【００９８】
１ 動画像生成システム
２ 動画像生成装置
２１ ＣＰＵ（生成手段、抽出手段、動画像生成手段、算出手段）
２１ａ 抽出部（抽出手段）
２１ｂ 動作データ生成部（生成手段）
２１ｃ 差分算出部（算出手段）
２１ｄ 比較部（動画像生成手段）
２１ｅ 動画像生成部（動画像生成手段）
２６ 通信部（受付手段）
３ 基板処理装置
４ 端末装置
４１ ＣＰＵ（検出手段）
４３ ハードディスク（記録手段）
８ 基板保持具（ウエハボート）
９ 基板搬送機構
９１ フォーク（基板支持具）
９３ｃ カウンタ（検出手段）
９４ｄ カウンタ（検出手段）
Ｗ 基板
１Ｄ ３次元ＣＡＤデータ（ＣＡＤデータ）
２Ｄ ログファイル（履歴情報）
４Ｄ 検出動作データ
５Ｄ 形状データ
６Ｄ 設計動作データ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置に係る動画像生成装置、動画像生成方法及び動画像生成システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置に機械的異常が発生した場合、作業従事者は基板処理装置の狭い内部空間に潜り込み、目視により機械系部品の動作確認をする。しかし、目視による動作確認ができない状況があること、作業従事者の経験、スキル等には差があること等から、基板処理装置の機械的異常動作に関する原因解明時間及び解明内容の品質にはバラツキがある。また、基板処理装置に機械的異常が発生した場合、作業従事者は必ず現場に出向かなければならないため、基板処理装置に機械的動作の不具合が発生してから問題解決までに長時間を要している。
【０００３】
そこで、基板処理装置に係る３次元ＣＡＤ（computer aided design）データと、基板処理装置に対する制御コマンド及び当該装置の状態を記録したログファイルとから、基板処理装置における故障時の動作を再生する技術がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１３３１９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、基板処理装置の故障時における動作を再生するだけでは、基板処理装置の機械的異常動作に関する原因を特定することは困難である。特に、故障時における動作と正常時における動作との差異が微妙な部品ほど、故障時における部品の動作を単に再生するだけでは、基板処理装置の機械的異常動作に関する原因を特定することは難しい。
【０００６】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものである。その目的は、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の異常動作に関する原因判定材料を提供可能な動画像生成装置、動画像生成方法及び動画像生成システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願に係る動画像生成装置は、基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出した前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成装置において、前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報を受け付ける受付手段と、該受付手段が受け付けた前記基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、前記ＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
本願に係る動画像生成装置では、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報を受け付ける。動画像生成装置は、受け付けた基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、基板支持具の検出動作データを生成する。動画像生成装置は、基板処理装置に係るＣＡＤデータから基板支持具の形状データと設計動作データとを抽出する。動画像生成装置は、抽出した基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した基板支持具の検出動作データに基づいて、基板支持具の設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段を備えている。
【０００９】
本願に係る動画像生成装置は、前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データに基づいて、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出する算出手段を備え、前記動画像生成手段は、前記算出手段が算出した差分が所定の閾値より大きい場合、前記基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。
【００１０】
本願に係る動画像生成装置では、ＣＡＤデータから抽出した設計動作データと、履歴情報から生成した検出動作データとに基づいて、基板支持具の設計動作と検出動作との差分を算出する。動画像生成装置は、算出した差分が所定の閾値より大きい場合、動画像生成手段により、基板支持具の設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成する。
【００１１】
本願に係る動画像生成装置は、前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データは、夫々前記基板支持具の動作を識別する識別情報を含み、
前記算出手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出するようにしてあることを特徴とする。
【００１２】
本願に係る動画像生成装置では、ＣＡＤデータから抽出した設計動作データと、履歴情報から生成した検出動作データとには、夫々基板支持具の動作を識別する識別情報が含まれている。動画像生成装置は、識別情報により特定される同一動作に関して、基板支持具の設計動作と検出動作との差分を算出する。
【００１３】
本願に係る動画像生成装置は、前記動画像生成手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作に対応する動画像及び検出動作に対応する動画像を重畳又は並列配置した動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。
【００１４】
本願に係る動画像生成装置では、動画像生成手段により、基板支持具の動作を特定する識別情報により、基板支持具の設計動作に対応する動画像と、基板支持具の検出動作に対応する動画像とを重畳又は並列配置した動画像を生成する。
【００１５】
本願に係る動画像生成装置は、前記動画像生成手段は前記検出動作に対応する動画像が示す基板支持具部分を色彩又は輝度の変更により強調表示した動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。
【００１６】
本願に係る動画像生成装置では、動画像生成手段により、検出動作に対応する動画像が示す基板支持具部分を強調表示した動画像を生成する。基板支持具部分を強調表示する手法は、例えば基板支持具部分に対する色彩又は輝度の変更である。
【００１７】
本願に係る動画像生成装置は、前記受付手段が受け付けた複数の動作の履歴情報各々に基づいて、前記生成手段が夫々生成した前記基板支持具の検出動作データ各々を記録する記録手段を備え、前記動画像生成手段は、前記抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び前記記録手段が記録した該基板支持具の検出動作データ各々に基づいて、該検出動作データ各々に対応する複数の動画像を、重畳若しくは配列表示した動画像又は時系列順に再生可能な動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。
【００１８】
本願に係る動画像生成装置では、基板支持具について検出された動作の履歴情報を複数受け付ける。動画像生成装置は、受け付けた複数の履歴情報各々に基づいて、基板支持具の検出動作データ各々を生成する。動画像生成装置は、生成した基板支持具の検出動作データ各々を記録手段に記録する。動画像生成装置は、ＣＡＤデータから抽出した基板支持具の形状データと記録手段が記録した基板支持具の検出動作データ各々とに基づいて、検出動作データ各々に対応する複数の動画像を、重畳若しくは配列表示した動画像又は時系列順に再生可能な動画像を生成する。
【００１９】
本願に係る動画像生成装置は、前記動画像生成手段が生成した動画像を表示する表示部を備えることを特徴とする。
【００２０】
本願に係る動画像生成装置では、動画像生成手段が生成した動画像を表示部に表示する。
【００２１】
本願に係る動画像生成方法は、基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出された前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成方法において、前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成し、前記ＣＡＤデータから抽出された該基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した前記基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することを特徴とする。
【００２２】
本願に係る動画像生成方法では、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報に基づいて、基板支持具の検出動作データを生成する。基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出された搬送機構が有する基板支持具の形状データ及び設計動作データと、生成した基板支持具の検出動作データとに基づいて、基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する。
【００２３】
本願に係る動画像生成システムは、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の動作を検出する検出手段、該検出手段が検出した動作の履歴情報を記録する記録手段、及び該記録手段から取得した前記履歴情報に基づいて、前記基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段とを有する動画像生成装置を備えることを特徴とする。
【００２４】
本願に係る動画像生成システムでは、検出手段、記録手段及び動画像生成装置を備えている。検出手段は、基板の搬送機構が有する基板支持具の動作を検出する。記録手段は、検出した基板支持具に関する動作の履歴情報を記録する。動画像生成装置は、記録手段から取得した基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、基板支持具の検出動作データを生成する。動画像生成装置は、基板処理装置に係るＣＡＤデータから基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する。動画像生成装置は、抽出した基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した基板支持具の検出動作データに基づいて、基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する。
【００２５】
本願に係る動画像生成システムは、前記検出手段及び記録手段は前記基板処理装置に含まれることを特徴とする。
【００２６】
本願に係る動画像生成システムでは、検出手段と記録手段とが含まれた基板処理装置及び動画像生成装置を備えている。
【発明の効果】
【００２７】
基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することにより、基板支持具の異常動作に関する原因判定材料を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】動画像生成システムに含まれる動画像生成装置と基板処理装置との接続構成の一例を示す説明図である。
【図２】動画像生成装置のハードウェア群の一例を示すブロック図である。
【図３】端末装置のハードウェア群の一例を示すブロック図である。
【図４】熱処理装置の一例を示す概略側断面図である。
【図５】熱処理装置の一例を示す概略平断面図である。
【図６】基板保持具の一例を示す概略斜視図である。
【図７】基板保持具及び基板搬送機構の一例を示す概略側面図である。
【図８】基板搬送機構の一例を示す説明図である。
【図９】ログファイルの一例の説明図である。
【図１０】動画像生成装置の機能構成例を示す機能ブロック図である。
【図１１】対応テーブルのレコードレイアウトの一例を示す説明図である。
【図１２】動画像生成装置の機能構成例を示す機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明の実施の形態について、その図面を参照して説明する。
なお、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではない。
【００３０】
実施の形態１
図１は、動画像生成システム１に含まれる動画像生成装置２と基板処理装置３との接続構成の一例を示す説明図である。基板処理装置３は、端末装置４を含む。端末装置４は、ユーザと基板処理装置３との間のインタフェースをなすコンピュータであり、基板処理装置３の各構成部を制御する。端末装置４は、ユーザが入力した命令を受け付け、基板処理装置３に当該命令を送信する。端末装置４は、基板処理装置３の状態を表示する。端末装置４は、基板処理装置３に対する制御の履歴並びに基板処理装置３の動作及び状態の履歴をログファイル（履歴情報）として記録する。ログファイルの内容は、例えば基板処理装置３に対する制御コマンド、基板処理装置３の状態、基板処理装置３が実行した動作結果を含む。
【００３１】
なお、端末装置４と基板処理装置３との間に、基板処理装置３の制御のみを実行するコントローラを設置してもよい。かかる場合、端末装置４は当該コントローラと情報の送受信を行うことにより、間接的に基板処理装置３を制御する。
また、端末装置４は、基板処理装置３に含まれなくてもよい。かかる場合、端末装置４は、基板処理装置３の外部に設置され、基板処理装置３と有線又は無線により接続される。
【００３２】
動画像生成装置２は、端末装置４とネットワークＮにより接続されている。ネットワークＮは、例えばＬＡＮ（Local Area Network）、ＷＡＮ（Wide Area Network）、インターネット、電話回線等である。動画像生成装置２は、ネットワークを介して、端末装置４が記録したログファイルを受け付ける。動画像生成装置２は、受け付けたログファイル及び基板処理装置３に係る３次元ＣＡＤデータに基づいて、基板処理装置３に含まれる基板の搬送機構に関する設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成し、これらの動作が対比可能な形態で表示する。
【００３３】
図２は、動画像生成装置２のハードウェア群の一例を示すブロック図である。動画像生成装置２は、ＣＰＵ（CentralProcessing Unit）２１、ＲＡＭ（Random Access Memory）２２、ハードディスク２３、ディスクドライブ２４、通信部（受付手段）２５、タイマ２６、表示部２７及び操作部２８を含む。動画像生成装置２の各構成部は、バス２ｂを介して接続されている。
【００３４】
ＣＰＵ（生成手段、抽出手段、動画像生成手段、算出手段）２１は、動画像生成装置２の各構成部を制御する。ＣＰＵ２１は、ハードディスク２３に記録されたプログラム１Ｐを読み込み、当該プログラム１Ｐを実行する。
ＲＡＭ２２は、ＣＰＵ２１による処理の過程で必要な作業変数、データ等を一時的に記録する。なお、ＲＡＭ２２は主記憶装置の一例であり、ＲＡＭ２２の代わりにフラッシュメモリ、メモリカード等が用いられてもよい。
【００３５】
ハードディスク２３は、ＣＰＵ２１が実行するプログラム１Ｐを記録している。ハードディスク２３は、動画像生成装置２内部に取り付けられるものであっても、動画像生成装置２外部に置かれるものであってもよい。なお、ハードディスク２３は補助記憶装置の一例であり、大容量の情報の記録が可能なフラッシュメモリ、ＣＤ（Compact Disc）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）、ＢＤ（Blu-ray Disc、登録商標）等の光ディスク１ａにより代替されてもよい。
【００３６】
ディスクドライブ２４は、外部の記録媒体である光ディスク１ａから情報を読み込み、光ディスク１ａに情報を記録する。
通信部２５は、モデム又はＬＡＮカード等であり、ネットワークＮに接続されている。
【００３７】
タイマ２６は、計時を信号としてＣＰＵ２１に送信する。
表示部２７は、例えば液晶ディスプレイ、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ等の画面を有し、ＣＰＵ２１からの指示に従って、プログラム１Ｐに係る様々な画面を表示する。
【００３８】
操作部２８は、ユーザが各種の入力を行うキーボード、マウス、タッチパネル等の入力デバイスを含む。操作部２８は、ユーザによる操作に基づいて入力信号を生成する。生成された入力信号は、バス２ｂを介してＣＰＵ２１に送信される。
【００３９】
ハードディスク２３には、基板処理装置３の設計データである３次元ＣＡＤデータ（ＣＡＤデータ）１Ｄが記録されている。３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、基板処理装置３を構成する各部品の形状データ及び設計動作データを含む。ハードディスク２３には、基板処理装置３に対する命令及び設計動作を部品毎に対応付けた対応テーブル１Ｔが記録されている。
ハードディスク２３には、３次元アニメーションビューワ２Ｐがインストールされている。３次元アニメーションビューワ２Ｐは、入力された部品の形状データ及び動作データに基づいて、部品の動作をシミュレートし、その結果を動画像として出力する。
なお、ハードディスク２３には、３次元ＣＡＤソフトがインストールされていてもよい。
【００４０】
図３は、端末装置４のハードウェア群の一例を示すブロック図である。端末装置４は、ＣＰＵ（検出手段）４１、ＲＡＭ４２、ハードディスク（記録手段）４３、ディスクドライブ４４、通信部４５、タイマ４６、表示部４７及び操作部４８を含む。端末装置４の各構成部は、バス４ｂを介して接続されている。端末装置４の各構成部の機能は、動画像再生装置２の各構成部の機能とほぼ同じである。
【００４１】
端末装置４のハードディスク４３は、ＣＰＵ４１が実行するプログラム３Ｐを記録している。プログラム３Ｐは、基板処理装置３を制御するプログラムである。プログラム３Ｐは、基板処理装置３に対する命令並びにその結果である動作及び状態を履歴として記録する処理を含む。ＣＰＵ４１は、当該処理による履歴をログファイル（履歴情報）２Ｄとしてハードディスク４３に記録する。また、ハードディスク４３には、基板処理装置３が実行する各種処理のレシピ３Ｄが記録されている。
【００４２】
基板処理装置３は、例えば半導体基板又は有機素子基板を熱処理する熱処理装置である。以下では、基板処理装置３の一例として、半導体基板について、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）による成膜処理、アニール処理、酸化処理、拡散処理等の熱処理を行う熱処理装置について説明する。
【００４３】
図４は、熱処理装置５の一例を示す概略側断面図である。図５は、熱処理装置５の一例を示す概略平断面図である。熱処理装置５の正面は、図４の右側及び図５の右側である。熱処理装置５の背面は、図４の左側及び図５の左側である。熱処理装置５の上方及び下方は、夫々図４の上方及び下方である。熱処理装置５の側方は、図５の上方及び下方である。以下、熱処理装置５の側方について、正面から熱処理装置５を見た右側の側方を右側方、正面から熱処理装置５を見た左側の側方を左側方と呼ぶ。
【００４４】
熱処理装置５の筐体６内は、側方向に延設された隔壁６１で仕切られた搬入搬出領域Ｓ１及び作業領域（ローディングエリア）Ｓ２を含む。搬入搬出領域Ｓ１は正面側に位置し、作業領域Ｓ２は背面側に位置する。搬入搬出領域Ｓ１は、基板Ｗ（例えば、シリコンウエハ）を収納した収納容器であるキャリアＣを搬入、搬出するための領域である。キャリアＣは、例えば直径３００ｍｍの基板Ｗ２５枚程度を上下方向に所定間隔で収納し、基板Ｗの取り出し口（図示せず）を塞ぐ蓋体Ｃ１及び搬送される場合に保持されるフランジ部Ｃ２を有する。蓋体Ｃ１は着脱可能である。搬入搬出領域Ｓ１は、大気雰囲気で満たされている。
【００４５】
作業領域Ｓ２は、基板ＷをキャリアＣから熱処理炉に搬送し、搬送した基板Ｗを熱処理するための領域である。作業領域Ｓ２は、不活性ガス雰囲気（例えば窒素ガス雰囲気）又は清浄乾燥気体雰囲気（パーティクル及び有機成分が少なく、露点−６０℃以下の空気雰囲気）で満たされている。
【００４６】
搬入搬出領域Ｓ１は、正面側に位置する第一領域６２及び背面側に位置する第二領域６３を含む。第一領域６２及び第二領域６３には、夫々キャリアＣを各２個ずつ載置可能な第一載置台６４及び第二載置台６５が設けられている。また、第二領域６３には、キャリア保管部６６及びキャリア搬送機構６７が設けられている。
キャリア保管部６６は、第二領域６３の上部に配置されており、キャリアＣを載置し、かつ保管する棚を有する。
【００４７】
キャリア搬送機構６７は、キャリアＣを第一載置台６４、第二載置台６５及びキャリア保管部６６の間で搬送する構成部である。キャリア搬送機構６７は、昇降部６７ａ、水平移動部６７ｂ、アーム６７ｃ及び保持部６７ｄを含む。昇降部６７ａは、昇降自在であり、側方向に伸びるガイドレールを備えている。水平移動部６７ｂは、昇降部６７ａが備えるガイドレールに滑合しており、当該ガイドレールにガイドされて側方向に移動する。アーム６７ｃは、互いに端で水平方向に回転自在に軸着された２本のアームからなる。アーム６７ｃの基部は略水平方向に回転自在に水平移動部６７ｂと軸着されている。アーム６７ｃの先端には、キャリアＣ上面のフランジ部Ｃ２を保持する保持部６７ｄが設けられている。保持部６７ｄがキャリアＣを保持し、アーム６７ｃが略水平方向に回転し、かつ水平移動部６７ｂが側方向に移動することにより、キャリアＣは略水平方向に搬送される。
【００４８】
隔壁６１の下部には、第二載置台６５に載置されたキャリアＣが隔壁６１に当接した場合、キャリアＣ内と作業領域Ｓ２とを連通する開口部６０が形成されている。また、作業領域Ｓ２側の隔壁６１には、扉６８及び蓋開閉機構６９が設けられている。扉６８は、開口部６０を開閉する。蓋開閉機構６９は、扉６８が閉じた状態で、キャリアＣの蓋体Ｃ１を開閉する。蓋開閉機構６９がキャリアＣの蓋体Ｃ１を開けた場合、蓋開閉機構６９とキャリアＣの蓋体Ｃ１とは、図示しない機構により例えば上方又は下方に退避される。
【００４９】
開口部６０の側方端側には不活性ガス供給管（図示せず）が、開口部６０の下端側には排気路（図示せず）が夫々設けられている。キャリアＣの蓋体Ｃ１が開かれた場合、キャリアＣ内の空気は不活性ガス供給管及び排気路により不活性ガス（例えば、窒素ガス）と置換される。
【００５０】
作業領域Ｓ２には、熱処理炉７、基板保持具（ウエハボート）８及び基板搬送機構９が設けられている。基板搬送機構９は、第二載置台６５上のキャリアＣ内に載置された基板Ｗを基板保持具８に搬送する。
【００５１】
熱処理炉７は、図示しない縦型の処理容器、キャップ７１、昇降機構７２及び図示しないヒータを含む。処理容器は、例えば石英製の反応管であり、下部に開口された炉口を有する。キャップ７１は、昇降機構７２により支持されている。キャップ７１は、昇降機構７２により昇降することにより、処理容器の炉口を開閉する。ヒータは処理容器の外側周囲を覆うように設けられており、処理容器内の温度を所定の温度に加熱制御する。
【００５２】
基板保持具８はキャップ７１の上に配置されることにより、昇降可能に構成されている。基板Ｗが載置された基板保持具８は、炉口から上方の熱処理炉７内に搬入される。熱処理炉７は、搬入された基板Ｗに対して熱処理を施す。熱処理が施された基板Ｗを載置する基板保持具８は、炉口から下方に搬出される。基板搬送機構９は、基板保持具８に載置された熱処理済みの基板Ｗを第二載置台６５上のキャリアＣに搬送する。
【００５３】
次に、基板保持具８及び基板搬送機構９について詳述する。
図６は、基板保持具８の一例を示す概略斜視図である。図７は、基板保持具８及び基板搬送機構９の一例を示す概略側面図である。基板保持具８は、例えば直径３００ｍｍの基板Ｗを７５枚程度略水平状態で多段に保持することができる。
【００５４】
基板保持具８は、支柱８１、天板８２、底板８３及びリング部材８４を含む。支柱８１、天板８２及び底板８３は、例えば石英製又はセラミック製である。支柱８１は、略同一の長さのものが複数本あり、全てが上下方向と略同一方向に配列している。複数の支柱８１の上端及び下端の高さは略同一である。天板８２及び底板８３は、共に円盤状の部材であり、支柱８１の夫々上端及び下端に接合されている。天板８２及び底板８３の面内方向は、水平方向と略同一である。
複数の支柱８１には、保持爪８１ａが上下方向に所定間隔（例えば、１０ｍｍピッチ）で設けられている。基板Ｗは、その周縁部が略同一の高さに位置する複数の保持爪８１ａに載置されることにより、基板保持具８に保持される。
【００５５】
リング部材８４は、上下方向に設けられた隣接する保持爪８１ａの間の支柱８１に設けられている。リング部材８４の厚さは２〜３ｍｍ程度に、外径Ｌ１は基板Ｗの外径よりも若干大きい大きさに、内径Ｌ２は基板Ｗの外径よりも若干小さい大きさに形成されている。上下方向に隣接するリング部材８４の配列間隔は、例えば１０ｍｍである。リング部材８４の材質は、例えばＳｉ、ＳｉＣ、Ｃ（ガラス状炭素）、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 等である。リング部材８４は、基板Ｗ上に形成される薄膜の面内均一性を向上させるために設けられた部材である。
【００５６】
図８は、基板搬送機構９の一例を示す説明図である。図８Ａは、基板搬送機構９の一例を示す概略斜視図である。図８Ｂは、基板搬送機構９の一例を示す概略平面図である。図８Ｃは、基板搬送機構９の一例を示す概略側面図である。基板搬送機構９は、フォーク（基板支持具）９１、搬送基台９２、回転機構９３、昇降機構９４及び水平移動機構９５（図５・７参照）を含む。フォーク９１は、例えば５つの保持アームを含んで構成される。保持アームの形状は平面視略Ｕ字形である。搬送基台９２は、正面−背面方向を長手方向とする直方体状をなす。搬送基台９２の上面及び底面は、略水平である。フォーク９１は、搬送基台９２の上面に設置されている。
【００５７】
回転機構９３は、モータ９３ａ、エンコーダ９３ｂ及びカウンタ（検出手段）９３ｃを含む。モータ９３ａは略上下方向の回転軸を有し、搬送基台９２の底面は当該回転軸に軸着されている。そのため、搬送基台９２はモータ９３ａの回転により略水平方向に回転可能である。モータ９３ａは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。エンコーダ９３ｂは、モータ９３ａの回転に伴うパルス列をカウンタ９３ｃに出力する。カウンタ９３ｃは、エンコーダ９３ｂから受け付けたパルス列を微小時間である制御周期毎にカウントし、カウントした数をパルス数として、端末装置４に出力する。
【００５８】
昇降機構９４は、ガイドレール９４ａ、モータ９４ｂ、エンコーダ９４ｃ及びカウンタ（検出手段）９４ｄを含む。ガイドレール９４ａは略上下方向に延びており、搬送基台９２はガイドレール９４ａに滑合している（図７参照）。ガイドレール９４ａの内部には、図示しない昇降軸が設けられている。モータ９４ｂは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。エンコーダ９４ｃは、モータ９４ｂの回転に伴うパルス列をカウンタ９４ｄに出力する。カウンタ９４ｄは、エンコーダ９４ｃから受け付けたパルス列を微小時間である制御周期毎にカウントし、カウントした数をパルス数として、端末装置４に出力する。
昇降機構９４は、モータ９４ｂがガイドレール９４ａの内部に設けられた昇降軸を回転させることにより、搬送基台９２をガイドレール９４ａに沿って昇降させる。
【００５９】
水平移動機構９５は、図５に示すガイドレール、図示しないモータ、エンコーダ及びカウンタを含む。ガイドレールは略側方向に伸びており、搬送基台９２はガイドレールに滑合している。ガイドレールの下部には、図示しないプーリ及び当該プーリに巻き掛けられたベルトが設けられている。モータは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。エンコーダ及びカウンタの機能は、夫々エンコーダ９３ｂ、９４ｃ及びカウンタ９３ｃ、９４ｄの機能と同じである。
水平移動機構９５は、モータがガイドレールの下部に設けられたプーリを回転させることにより、ベルトを介して搬送基台９２をガイドレールに沿って側方向に水平移動させる。
【００６０】
基板搬送機構９のフォーク９１は、図８Ｂ及び図８Ｃに示すように、夫々基板Ｗを保持し得る第一フォーク９１ａ、第二フォーク９１ｂ、第三フォーク９１ｃ、第四フォーク９１ｄ及び第五フォーク９１ｅを含む。これら５つのフォーク９１ａ〜９１ｅは、上下方向に略等間隔で配置され、５段階構成の保持アーム群をなす。
【００６１】
５つのフォーク９１ａ〜９１ｅは、夫々腕部９６ａ、９６ｂ及び段部９７ａ、９７ｂ、９７ｃ、９７ｄを含む。腕部９６ａ、９６ｂは、所定の距離を隔てて進退方向に延出した２本の板状腕である。ここで、進退方向とは各フォーク９１ａ〜９１ｅがキャリアＣ又は基板保持具８に対して基板Ｗを搬入、搬出する場合の略水平面内における移動方向を意味する。キャリアＣ又は基板保持具８に近づくフォーク９１の移動を前進、キャリアＣ又は基板保持具８から遠ざかるフォーク９１の移動を後退と呼ぶ。
【００６２】
腕部９６ａ、９６ｂ及び基部を含めた保持アームである各フォーク９１ａ〜９１ｅの形状は平面視略Ｕ字形をなす。段部９７ａ、９７ｂ、９７ｃ、９７ｄは、基板Ｗの周縁部を載置する階段状の構成部であり、各フォーク９１ａ〜９１ｅについて、夫々４つずつ設けられている。２つの段部９７ａ、９７ｂは、夫々腕部９６ａ、９６ｂの外側先端部に設けられている。残りの２つの段部９７ｃ、９７ｄは、夫々腕部９６ａ、９６ｂ又はフォーク９１の外側基端部に設けられている。４つの段部９７ａ、９７ｂ、９７ｃ、９７ｄを仮に線分で結んだ場合、その形状は平面視、進退方向を長手方向とする略矩形状である。
【００６３】
フォーク９１は、保持部材９８及び進退機構９９を含む。保持部材９８は、５つのフォーク９１ａ〜９１ｅを進退機構９９に対して固定する部材である。保持部材９８は、進退機構９９に接合されている。各フォーク９１ａ〜９１ｅの基端部中央から後退方向側に、平面視における腕部９６ａ、９６ｂの幅よりも狭い幅の延出部が夫々設けられている。当該延出部は略水平な板状をなす。保持部材９８は、当該延出部各々を上下から挟み込み、ネジ９８ａ、９８ｂ、９８ｃ、９８ｄで各フォーク９１ａ〜９１ｅを進退機構９９に固定するように構成されている。
【００６４】
進退機構９９は、各フォーク９１ａ〜９１ｅを進退方向に移動させる構成部である。進退機構９９は、第一進退機構９９ａ及び第二進退機構９９ｂを含む。まず、第一進退機構９９ａ及び第二進退機構９９ｂに共通する構成及び機能について説明する。
図７及び図８には、進退機構９９の一部である移動体が描かれている。保持部材９８は当該移動体に接合されている。移動体以外の進退機構９９は、図示しないモータ、プーリ、ベルト、ガイドロッド及び摺動体を含み、これらは搬送基台９２内部に設けられている。モータはプーリを回転させ、プーリは巻き掛けられたベルトを駆動する。ガイドロッドは搬送基台９２の長手方向に対して略平行に設置されており、ガイドロッドには摺動体が摺動可能に支持されている。移動体及び摺動体は、ベルトを挟むように、当該ベルトに取り付けられている。そのため、各フォーク９１ａ〜９１ｅは、図示しない搬送基台９２内部のモータにより、前進又は後退をすることができる。
【００６５】
進退機構９９のモータは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。進退機構９９は、回転機構９３、昇降機構９４及び水平移動機構９５と同様のエンコーダ及びカウンタを含む。進退機構９９のカウンタは、カウントしたモータの回転に伴うパルス列の数をパルス数として、端末装置４に出力する。
【００６６】
第一進退機構９９ａは、第三フォーク９１ｃを前進又は後退させる機構である。一方、第二進退機構９９ｂは、第三フォーク９１ｃ以外のフォーク９１、すなわち第一フォーク９１ａ、第二フォーク９１ｂ、第四フォーク９１ｄ、第五フォーク９１ｅを同時に進退又は後退させる機構である。基板搬送機構９では、第一進退機構９９ａの単独動により１枚の基板Ｗを搬送する枚葉搬送と、第一及び第二進退機構９９ａ、９９ｂの協働により５枚の基板Ｗを同時に搬送する一括搬送との両方を行うことができるように構成されている。
【００６７】
端末装置４は、回転機構９３、昇降機構９４、水平移動機構９５及び第一進退機構９９ａ及び第二進退機構９９ｂが有するカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて、搬送基台９２及びフォーク９１の水平面内の方向、高さ、側方向及び正面−背面方向の位置を検出する。
なお、フォーク９１の先端には図示しない光センサ等のセンサが設置されており、基板Ｗの搬送時に生じた異常を検出する。当該異常は、例えばフォーク９１と基板Ｗの成膜面又はリング部材８４との接触、フォーク９１と支柱８１、天板８２又は底板８３との接触を含む。当該異常は、例えばフォーク９１と隔壁６１、キャリアＣ又は熱処理炉７との接触を含む。センサは、当該異常を検出した場合、異常を特定可能なエラー信号を端末装置４に送信する。
【００６８】
次に、動画像生成システム１の動作について説明する。
ユーザは、端末装置４の操作部４８を操作し、熱処理装置５を稼働させる。基板搬送機構９のフォーク９１は、キャリアＣから基板保持具８に５枚の基板Ｗを同時に搬送する。基板搬送機構９が所定枚数の基板Ｗを基板保持具８に載置し終えた場合、熱処理装置５は昇降機構７２により基板保持具８を上昇させて熱処理炉７に搬入し、かつキャップ７１で処理容器の炉口を密閉する。熱処理装置５は、熱処理炉７の温度をレシピ３Ｄに従って上昇させ、基板Ｗに熱処理を施す。熱処理が終了した場合、熱処理装置５は昇降機構７２により基板保持具８を下方へ搬出する。基板処理機構９のフォーク９は、基板保持具８からキャリアＣに基板Ｗを５枚ずつ同時に搬送する。
【００６９】
端末装置４のＣＰＵ４１は、ハードディスク４３に上述の熱処理の経過及び結果をログファイル２Ｄとして記録する。
図９は、ログファイル２Ｄの一例の説明図である。ログファイル２Ｄには、熱処理のプロセス履歴を時系列で記録したもの、エラー履歴を時系列で記録したもの等がある。図９のログファイル２Ｄは、熱処理装置５における基板Ｗの搬送履歴を時系列に記録している。
【００７０】
ログファイル２Ｄは、年月日、時間、コマンドＩＤ、部品ＩＤ、搬送状態、検出速度、検出位置及び検出方向を含む。年月日及び時間は、タイマ４６の計時に基づくタイムスタンプである。コマンドＩＤは、基板Ｗの搬送処理の内容を特定することができる制御命令の識別記号である。例えば、基板保持具８に載置された基板Ｗをフォーク９１が搬出する場合、コマンドＩＤは各フォーク９１ａ〜９１ｅを保持爪８１ａの下に前進させるＩＤ、各フォーク９１ａ〜９１ｅを上昇させて基板Ｗを持ち上げるＩＤを含む。また、コマンドＩＤは、基板Ｗを支持した各フォーク９１ａ〜９１ｅを後退させるＩＤを含む。このような部品の各動作は、コマンドＩＤと対応付けられている。
【００７１】
部品ＩＤは、基板搬送機構９を構成する各部品を特定することができる部品の識別記号である。搬送状態は、命令された基板Ｗの搬送動作の状態であり、例えば開始、搬送中及び終了を含む。検出速度は、基板搬送機構９のカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて検出された部品の移動速度である。検出位置は、基板搬送機構９のカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて検出された部品の高さ、側方向及び正面−背面方向の位置である。検出方向は、基板搬送機構９のカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて検出された、所定の方向に対する部品の水平面内における方向である。ここでの所定の方向は、正面から背面に向かう方向であってもよいし、左側方から右側方に向かう方向であってもよいし、その他の方向であってもよい。
【００７２】
図１０は、動画像生成装置２の機能構成例を示す機能ブロック図である。図１０の各機能部は、ＣＰＵ２１がハードディスク２３に記録されたプログラム１Ｐに基づいて動作することにより実行される。なお、動作データ生成部（生成手段）２１ｂは、ＣＰＵ２１が通信部２５と協働して実現する機能である。
【００７３】
動画像生成装置２のハードディスク２３には、３次元ＣＡＤソフトにより制作された熱処理装置５の設計データすなわち３次元ＣＡＤデータ１Ｄが記録されている。当該３次元ＣＡＤソフトは、設計した部品オブジェクトを並進移動、回転、拡縮及び変形するアニメーションを作成し、再生することができる。このアニメーションには、部品の設計動作が含まれている。
３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、アセンブリを構成する部品の各時刻における位置、姿勢、形状等である。各部品は、部品の識別記号である部品ＩＤにより管理される。３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、データベースにより管理された各種のファイルである。
【００７４】
具体的には、３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、基板搬送機構９を構成する部品の形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄを含む。
３次元ＣＡＤデータ１Ｄに含まれる形状の表現形式は、例えばワイヤフレーム、ポリゴン、サーフェイス、ソリッド等である。形状の表現形式がソリッドである場合、形状データ５Ｄは部品ＩＤに関連付けられた幾何情報及び位相情報を含む。位相情報は、点、線、面の隣接関係を表す。ここでの形状は基板搬送機構９を構成する部品の形状の他に、当該部品が組み合わさったアセンブリの形状も含まれる。部品の形状データ５Ｄは、部品の位置、姿勢、形状を特定するが、部品の材質、色彩、部品間の拘束関係等の属性も含む。
【００７５】
部品の設計動作データ６Ｄは、時間的要素が加わった、部品の回転及び並進移動に関するデータを含む。設計動作データ６Ｄは、部品ＩＤ及び設計動作ＩＤに関連付けられた部品毎の各動作を示すベクトルである。設計動作ＩＤは、設計時における部品毎の設計動作を識別する識別記号である。設計動作データ６Ｄは、使用された３次元ＣＡＤソフトにおける操作及び設定値（例えば、コマンドの文字列、部品オブジェクトに対するドラッグ操作の方向及び移動量、移動速度等）であってもよい。
なお、設計動作データ６Ｄは、物体表面の色、テクスチャ、影等の時間的変化、光源の位置及び明るさの時間的変化、視点の位置及び向きの時間的変化を含んでもよい。
【００７６】
抽出部（抽出手段）２１ａは、３次元ＣＡＤデータ１Ｄから形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄを抽出し、抽出した形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄをハードディスク２３に記録する。
【００７７】
動作データ生成部２１ｂは、端末装置４からネットワークＮを経由してログファイル２Ｄを取得する。動作データ生成部２１ｂは、取得したログファイル２Ｄを解析する。動作データ生成部２１ｂは、解析結果に基づいて、検出動作データ４Ｄを生成し、ハードディスク２３に記録する。検出動作データ４Ｄは、基板搬送機構９を構成する部品の回転及び並進移動に関する検出データを含む。動作データ生成部２１ｂは、検出動作データ４Ｄのデータ形式を設計動作データ６Ｄのデータ形式にフォーマットして生成する。例えば、動作データ生成部２１ｂは、検出位置、検出方向、検出速度等に基づいて、部品の各動作をベクトルに変換し、変換したベクトルを各部品ＩＤ及び設計動作ＩＤ毎に並べ替えて検出動作データ４Ｄを生成する。
【００７８】
上述の処理のために、動作データ生成部２１ｂは、対応テーブル１Ｔを利用する。対応テーブル１Ｔは、部品ＩＤ、コマンドＩＤ及び設計動作ＩＤとの対応関係を示すテーブルである。
図１１は、対応テーブル１Ｔのレコードレイアウトの一例を示す説明図である。対応テーブル１Ｔは、部品ＩＤ、コマンドＩＤ及び設計動作ＩＤの各列を含む。部品ＩＤ及びコマンドＩＤは、夫々ログファイル２Ｄに含まれる部品ＩＤ及びコマンドＩＤと同じである。設計動作ＩＤは、設計動作データ６Ｄに含まれる設計動作ＩＤと同じである。動作データ生成部２１ｂは、対応テーブル１Ｔを参照し、ログファイル２Ｄに含まれるコマンドＩＤを設計動作ＩＤに置換する。
【００７９】
なお、対応テーブル１Ｔは、端末装置４のハードディスク４３に記録されていてもよい。かかる場合、動作データ生成部２１ｂは、通信部２５を介して対応テーブル１Ｔを端末装置４から取得する。
あるいは、設計動作ＩＤは基板Ｗの搬送処理の開始から終了まで動作順序に関する連番とし、動作データ生成部２１ｂは、ログファイル２Ｄの先頭からＥＯＦまでのシーケンスに従って、コマンドＩＤと設計動作ＩＤとの対応関係を生成してもよい。
【００８０】
差分算出部（算出手段）２１ｃは、ハードディスク２３に記録された検出動作データ４Ｄ及び設計動作データ６ＤをＲＡＭ２２に読み込み、基板搬送機構９を構成する各部品の前進、後退、昇降、側方向の移動若しくは回転に係る動作の大きさ、速さ又は方向の差分を算出する。その際、差分算出部２１ｃは、部品ＩＤ及び設計動作ＩＤ毎に部品の動作を対比する。
【００８１】
比較部（動画像生成手段）２１ｄは、差分算出部２１ｃが算出した差分を所定の閾値と比較する。比較部２１ｄは、差分算出部２１ｃが算出した差分が所定の閾値より大きい場合、動画像生成部（動画像生成手段）２１ｅに処理を開始するように指示する。
比較部２１ｄは、差分算出部２１ｃが算出した差分を数段階の閾値と比較してもよい。比較部２１ｄは、閾値によって区分される複数の領域のうち、差分がどの領域に属するか判定し、その判定結果を動画像生成部２１ｅに出力してもよい。
【００８２】
動画像生成部２１ｅは、比較部２１ｄにより差分が所定の閾値より大きいと判定された場合、形状データ５Ｄ、検出動作データ４Ｄ及び設計動作データ６Ｄをハードディスク２３からＲＡＭ２２に読み出す。動画像生成部２１ｅは、形状データ５Ｄが示す部品を検出動作データ４Ｄにより動かすアニメーション画像と、形状データ５Ｄが示す部品を設計動作データ６Ｄにより動かすアニメーション画像とを生成する。動画像生成部２１ｅは、生成した２つのアニメーション画像を比較認識しやすい動画像を生成する。
【００８３】
ここで、上記比較認識しやすい動画像は、例えば２つのアニメーション画像を縦又は横に並列配置し、２つのアニメーション画像が同期して動く動画像である。比較認識しやすい動画像は、例えば２つのアニメーション画像を重畳した動画像である。比較認識しやすい動画像は、検出動作データ４Ｄに基づく部品部分の色彩、輝度、濃淡、形状又は大きさを変更し、当該部品部分を強調表示した動画像である。この強調表示した動画像は、検出動作データ４Ｄに基づく部品部分に対して、搬送動作の大きさよりも小さな大きさの揺らぎ動作を加えた動画像であってもよい。
【００８４】
なお、動画像生成部２１ｅは、比較部２１ｄによる判定結果と無関係に、検出動作データ４Ｄ及び設計動作データ６Ｄに対応するアニメーション画像を生成してもよい。また、動画像生成部２１ｅは、比較部２１ｄから差分が複数の閾値によって区分される領域のどの領域に属するかという判定結果を受け付けた場合、領域の違いによって上述の強調表示の程度又は形態を変更した動画像を生成してもよい。
【００８５】
動画像生成部２１ｅは、アニメーション画像の生成に際し、レンダリング、キーフレーム法、キネマティクス、モーションブラー等の３次元ＣＧアニメーション技術を利用してもよい。なお、動画像生成部２１ｅの処理機能は、既存のＣＧアプリケーション（３次元アニメーションビューワ２Ｐ）で代替されてもよい。
【００８６】
動画像表示部２１ｆは、動画像生成部２１ｅが生成した動画像を表示部２７に表示する。
【００８７】
動画像生成システム１によれば、基板処理装置２を構成する基板搬送機構９が有するフォーク９１の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することにより、フォーク９１の異常動作に関する原因判定材料を提供することができる。
フォーク９１は、販売品である基板Ｗに直接接触する重要な部品であり、その動作はたいへん精密に設計されている。従って、フォーク９１の動作の正確性は担保されている必要がある。しかしながら、ティーチングの不備、ギアへのグリスの塗り忘れ、ベルトの緩み、ネジの緩み等からフォーク９１に機械的な不具合が発生した場合、単にフォーク９１の動作をシミュレートした動画像を見ても、正常時の動作に比較してどのような違いがあるのか認識しづらい。そのため、基板搬送機構９における機械的不具合の原因を特定することは困難である。しかしながら、フォーク９１について、設計時の動作と実際の稼働時の動作とをシミュレートした動画像を対比可能な形態で表示することにより、機械的不具合の原因を特定することがより容易になる。これにより、基板処理装置３の調整、修理等に費やされる時間は短縮され、基板処理装置３の歩留り及び生産性を向上させることができる。
【００８８】
基板搬送装置３又は熱処理装置５には、機械的異常が発生した場合、その発生を通知するアラーム機能を備えている。フォーク９１に係るアラームの原因には、フォーク９１の側の調整不備又は劣化と、基板保持具８の側の劣化とがある。基板保持具８の劣化とは、たび重なる熱処理に伴う形状変化である。動画像生成システム１によれば、動像画におけるフォーク９１の動作が正常と判定されるにもかかわらず、アラームが発生している場合、アラームの原因としてフォーク９１の機械的不具合を消去することができる。その結果、基板保持具８の調査に作業を移行する判断が可能となり、アラームの原因探求作業時間の短縮を図ることができる。
【００８９】
実施の形態２
実施の形態２は、動作データ生成部２１ｂにより検出動作データ４Ｄを逐次ハードディスク２３に記録、蓄積する形態に関する。
図１２は、動画像生成装置２の機能構成例を示す機能ブロック図である。図１２の機能ブロック図は、差分算出部２１ｃ及び比較部２１ｄを欠く点において、図１０の機能ブロック図と異なる。
【００９０】
抽出部２１ａは、予め３次元ＣＡＤデータ１Ｄから形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄを抽出し、ハードディスク２３に記録しておく。動作データ生成部２１ｂは、納品された熱処理装置５が稼働を始めた時から、記録されたログファイル２Ｄに基づいて生成した検出動作データ４Ｄをハードディスク２３に記録及び蓄積する。動作データ生成部２１ｂは、異なる時期に取得した異なるログデータ２Ｄに基づいて、検出動作データ４Ｄの生成、記録及び蓄積を繰り返す。
【００９１】
アラームが発生した場合、動画像生成部２１ｅは、動作データ生成部２１ｂが生成、記録及び蓄積した複数の検出動作データ４Ｄ並びに抽出部２１ａが抽出した形状データ５Ｄをハードディスク２３からＲＡＭ２２に読み出す。動画像生成部２１ｅは、形状データ５Ｄが示す部品を複数の検出動作データ４Ｄにより夫々動かす複数のアニメーション画像を生成する。動画像生成部２１ｅは、生成した複数のアニメーション画像を比較認識しやすい動画像を生成する。
【００９２】
上記比較認識しやすい動画像は、例えば生成した複数のアニメーション画像が４つである場合、左右上下の縦横に４分割した画面に各アニメーション画像を表示する動画像である。
比較認識しやすい動画像は、例えば複数のアニメーション画像を時系列の順に、連続して又は不連続に再生可能な動画像である。
比較認識しやすい動画像は、例えば複数のアニメーション画像各々が設計動作データ６Ｄにより部品を動かすアニメーション画像と重畳された動画像である。
なお、複数のアニメーション画像各々の一部に、元となるログファイル２Ｄのデータの年月日及び時間を示す文字列が含まれてもよい。
【００９３】
動画像表示部２１ｆは、動画像生成部２１ｅが生成した動画像を表示部２７に表示する。
【００９４】
実施の形態２に係る動画像生成システム１によれば、フォーク９１の動作に関する時間的変遷を比較観察することができる。これにより、フォーク９１の異常動作に関する原因を探ることがより容易になる。
【００９５】
動画像生成装置２は、異なる複数の熱処理装置５に含まれる各端末装置４から、ログファイル２Ｄを取得してもよい。動画像生成装置２は、異なる熱処理装置５の基板搬送機構９が有するフォーク９１の設計動作及び検出動作を対比可能な動画像を生成してもよい。あるいは、動画像生成装置２は、異なる熱処理装置５の基板搬送機構９が有する各フォーク９１について、動作の時間的変遷を比較観察することができる動画像を生成してもよい。これにより、例えば同一の工場に同時に設置された複数の熱処理装置５がある場合、熱処理装置５間におけるフォーク９１の動作を比較することにより、機械的不具合が発生した熱処理装置５の原因特定材料を増大させることができる。
【００９６】
なお、ＣＰＵ２１は、プログラム１Ｐを、ディスクドライブ２４を介して光ディスク１ａ、磁気テープ、磁気ディスク、光磁気ディスク等から読み込んでもよい。また、プログラム１Ｐを記録したフラッシュメモリ等の半導体メモリ１ｃ、磁気テープ、磁気ディスク、光磁気ディスク等が動画像生成装置２内に実装されてもよい。さらに、ＣＰＵ２１は、プログラム１Ｐを、通信部２５を介して図示しない外部の情報処理装置又は記録装置からダウンロードすることも可能である。
また、動画像生成装置２は、端末装置４からネットワークＮを介してログファイル２Ｄを取得するのではなく、ログファイル２Ｄを記録したフラッシュメモリ等の半導体メモリ１ｃ、磁気テープ、磁気ディスク、光磁気ディスク等を介して、ログファイル２Ｄを取得してもよい。
端末装置４は、ログファイル２Ｄをハードディスク４３に記録するのではなく、ログファイル２Ｄを記録保存する前のログデータを、ネットワークＮを介して動画像生成装置２に送信してもよい。動画像生成装置２は、当該ログデータを端末装置４から受信し、ログファイル２Ｄとしてハードディスク２３に記録してもよい。
【００９７】
実施の形態２は以上の如きであり、その他は実施の形態１と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。
【符号の説明】
【００９８】
１ 動画像生成システム
２ 動画像生成装置
２１ ＣＰＵ（生成手段、抽出手段、動画像生成手段、算出手段）
２１ａ 抽出部（抽出手段）
２１ｂ 動作データ生成部（生成手段）
２１ｃ 差分算出部（算出手段）
２１ｄ 比較部（動画像生成手段）
２１ｅ 動画像生成部（動画像生成手段）
２６ 通信部（受付手段）
３ 基板処理装置
４ 端末装置
４１ ＣＰＵ（検出手段）
４３ ハードディスク（記録手段）
８ 基板保持具（ウエハボート）
９ 基板搬送機構
９１ フォーク（基板支持具）
９３ｃ カウンタ（検出手段）
９４ｄ カウンタ（検出手段）
Ｗ 基板
１Ｄ ３次元ＣＡＤデータ（ＣＡＤデータ）
２Ｄ ログファイル（履歴情報）
４Ｄ 検出動作データ
５Ｄ 形状データ
６Ｄ 設計動作データ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出した前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成装置において、
前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報を受け付ける受付手段と、
該受付手段が受け付けた前記基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、
前記ＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、
該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段と
を備えることを特徴とする動画像生成装置。
【請求項２】
前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データに基づいて、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出する算出手段を備え、
前記動画像生成手段は、前記算出手段が算出した差分が所定の閾値より大きい場合、前記基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項１に記載の動画像生成装置。
【請求項３】
前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データは、夫々前記基板支持具の動作を識別する識別情報を含み、
前記算出手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出するようにしてある
ことを特徴とする請求項２に記載の動画像生成装置。
【請求項４】
前記動画像生成手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作に対応する動画像及び検出動作に対応する動画像を重畳又は並列配置した動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項３に記載の動画像生成装置。
【請求項５】
前記動画像生成手段は前記検出動作に対応する動画像が示す基板支持具部分を色彩又は輝度の変更により強調表示した動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の動画像生成装置。
【請求項６】
前記受付手段が受け付けた複数の動作の履歴情報各々に基づいて、前記生成手段が夫々生成した前記基板支持具の検出動作データ各々を記録する記録手段を備え、
前記動画像生成手段は、前記抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び前記記録手段が記録した該基板支持具の検出動作データ各々に基づいて、該検出動作データ各々に対応する複数の動画像を、重畳若しくは配列表示した動画像又は時系列順に再生可能な動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の動画像生成装置。
【請求項７】
前記動画像生成手段が生成した動画像を表示する表示部を備える
ことを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の動画像生成装置。
【請求項８】
基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出された前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成方法において、
前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成し、
前記ＣＡＤデータから抽出された該基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した前記基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する
ことを特徴とする動画像生成方法。
【請求項９】
基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の動作を検出する検出手段、
該検出手段が検出した動作の履歴情報を記録する記録手段、及び
該記録手段から取得した前記履歴情報に基づいて、前記基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、
前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、
該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段と
を有する動画像生成装置
を備える
ことを特徴とする動画像生成システム。
【請求項１０】
前記検出手段及び記録手段は前記基板処理装置に含まれる
ことを特徴とする請求項９に記載の動画像生成システム。
【請求項１】
基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出した前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成装置において、
前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報を受け付ける受付手段と、
該受付手段が受け付けた前記基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、
前記ＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、
該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段と
を備えることを特徴とする動画像生成装置。
【請求項２】
前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データに基づいて、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出する算出手段を備え、
前記動画像生成手段は、前記算出手段が算出した差分が所定の閾値より大きい場合、前記基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項１に記載の動画像生成装置。
【請求項３】
前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データは、夫々前記基板支持具の動作を識別する識別情報を含み、
前記算出手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出するようにしてある
ことを特徴とする請求項２に記載の動画像生成装置。
【請求項４】
前記動画像生成手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作に対応する動画像及び検出動作に対応する動画像を重畳又は並列配置した動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項３に記載の動画像生成装置。
【請求項５】
前記動画像生成手段は前記検出動作に対応する動画像が示す基板支持具部分を色彩又は輝度の変更により強調表示した動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の動画像生成装置。
【請求項６】
前記受付手段が受け付けた複数の動作の履歴情報各々に基づいて、前記生成手段が夫々生成した前記基板支持具の検出動作データ各々を記録する記録手段を備え、
前記動画像生成手段は、前記抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び前記記録手段が記録した該基板支持具の検出動作データ各々に基づいて、該検出動作データ各々に対応する複数の動画像を、重畳若しくは配列表示した動画像又は時系列順に再生可能な動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の動画像生成装置。
【請求項７】
前記動画像生成手段が生成した動画像を表示する表示部を備える
ことを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の動画像生成装置。
【請求項８】
基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出された前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成方法において、
前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成し、
前記ＣＡＤデータから抽出された該基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した前記基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する
ことを特徴とする動画像生成方法。
【請求項９】
基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の動作を検出する検出手段、
該検出手段が検出した動作の履歴情報を記録する記録手段、及び
該記録手段から取得した前記履歴情報に基づいて、前記基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、
前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、
該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段と
を有する動画像生成装置
を備える
ことを特徴とする動画像生成システム。
【請求項１０】
前記検出手段及び記録手段は前記基板処理装置に含まれる
ことを特徴とする請求項９に記載の動画像生成システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１３−５１２８２（Ｐ２０１３−５１２８２Ａ）
【公開日】平成２５年３月１４日（２０１３．３．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１８７６４５（Ｐ２０１１−１８７６４５）
【出願日】平成２３年８月３０日（２０１１．８．３０）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月１４日（２０１３．３．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年８月３０日（２０１１．８．３０）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
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