撮像装置ユニット
【課題】第1レンズ基板部11とCCD16Sとの間の距離を調整可能な小型の撮像装置4を具備する撮像装置ユニット1を提供する。
【解決手段】レンズ基板部13、15が弾性部材からなる弾性スペーサ基板部14を介して接合された構造の光路可変構造部9を有するレンズユニット部2と、CCD基板部3と、を有する撮像装置4と、弾性スペーサ基板部14を変形する駆動基板部5と、撮像装置4および駆動基板部5が固定されたフレーム部6と、を有し、複数のレンズ基板部13、15を有するレンズ基板13A、15Aが複数の弾性スペーサ基板部14を有する弾性スペーサ基板14Aを介して接合されたレンズユニット基板2Aから、レンズユニット部2が個片化されたことを特徴とする。
【解決手段】レンズ基板部13、15が弾性部材からなる弾性スペーサ基板部14を介して接合された構造の光路可変構造部9を有するレンズユニット部2と、CCD基板部3と、を有する撮像装置4と、弾性スペーサ基板部14を変形する駆動基板部5と、撮像装置4および駆動基板部5が固定されたフレーム部6と、を有し、複数のレンズ基板部13、15を有するレンズ基板13A、15Aが複数の弾性スペーサ基板部14を有する弾性スペーサ基板14Aを介して接合されたレンズユニット基板2Aから、レンズユニット部2が個片化されたことを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウエハレベルチップサイズパッケージ技術を用いて作成された撮像装置ユニットに関する。
【背景技術】
【0002】
CCD等の固体撮像素子を有する撮像装置を具備した電子内視鏡、カメラ付き携帯電話、およびデジタルカメラ等が普及している。撮像装置は、固体撮像素子と、固体撮像素子に被写体の光学像を導光するレンズを有するレンズユニットと、から主要部が構成されている。
【0003】
撮像装置を小型化し大量生産するために、ウエハレベルチップサイズパッケージ(WCSP)法を用いた撮像装置の製造方法が知られている。例えば、特開2003−204053号公報には、CCDを有する半導体ウエハとレンズ等を有する基板とを接合後に切断することで個片化し、撮像装置を製造する方法が開示されている。
【0004】
しかし、WCSP法を用いて製造された撮像装置は、レンズと撮像素子との相対位置関係が固定されているため、フォーカシング動作、ズーミング動作、または、いわゆるブレ補正動作等を行うことができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開2003−204053号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、レンズと撮像素子との相対位置関係を調整可能な小型の撮像装置を有する撮像装置ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成すべく、本発明の実施の形態の撮像装置ユニットは、レンズ部を有するレンズ基板部が光路領域が空洞部であり枠部が弾性部材からなる弾性スペーサ基板部を介して接合された構造の光路可変構造部を有するレンズユニット部と、撮像素子を有する撮像素子基板部と、を有する撮像装置と、前記弾性スペーサ基板部を変形する駆動部と、前記撮像装置および前記駆動部が固定されたフレーム部と、を有し、格子状に配置された複数の前記レンズ基板部を有するレンズ基板が前記格子状に配置された複数の前記弾性スペーサ基板部を有する弾性スペーサ基板を介して接合された接合基板から、前記撮像装置の少なくとも前記レンズユニット部が個片化されたことを特徴とする撮像装置ユニット。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、レンズと撮像素子との相対位置関係を調整可能な小型の撮像装置を有する撮像装置ユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】第1実施形態の撮像装置ユニットの外観図である。
【図2】第1実施形態の撮像装置ユニットの断面構造を説明するための図である。
【図3】第1実施形態の撮像装置ユニットのレンズユニット部の製造方法を説明するための斜視図である。
【図4】第1実施形態の撮像装置ユニットのレンズユニット部の製造方法を説明するための斜視図である。
【図5】第1実施形態の撮像装置ユニットの撮像装置の製造方法を説明するための斜視図である。
【図6】第1実施形態の撮像装置ユニットの製造方法を説明するための図である。
【図7】第1実施形態の撮像装置ユニットの動作を説明するための図である。
【図8】第1実施形態の変形例1、2の撮像装置ユニットの動作を説明するための図である。
【図9】第1実施形態の変形例3の撮像装置ユニットの製造方法を説明するための図である。
【図10】第1実施形態の変形例4の撮像装置ユニットの製造方法を説明するための図である。
【図11】第2実施形態の撮像装置ユニットの断面構造を説明するための図である。
【図12】第2実施形態の変形例の撮像装置ユニットの断面構造を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
<第1の実施形態>
以下、図面を用いて本発明の第1実施形態の撮像装置ユニット1について説明する。最初に本実施形態の撮像装置ユニット1の構造について説明する。なお図はいずれも説明のための模式図であり、厚さ方向の縮尺も構成要素により異なっている。例えば、厚く図示されている基板部が薄く図示されている基板部よりも厚いとは限らない。また、以下、上側とは被写体側を、下側とは被写体と反対側を意味する。
【0011】
図1に示すように、撮像装置ユニット1は、撮像装置4と、駆動部である駆動基板部5と、フレーム部6と、を具備する。撮像装置4はレンズユニット部2と撮像素子基板部であるCCD基板部3とを有する。フレーム部6は撮像装置4、駆動基板部5、に加えて、図示しない回路基板および電池等を固定するための構造部材であり、ボディ部7は例えばカプセル型内視鏡の筐体である。図1では円筒形状のボディ部7の一部がフレーム部6を構成している場合を例示している。駆動基板部5は光軸O方向、すなわち図1におけるZ軸方向に伸縮変形する積層型圧電素子からなる駆動部である。
【0012】
次に、図2に示すように、撮像装置4のレンズユニット部2は、第1レンズ基板部11と、スペーサ基板部12と、第2レンズ基板部13と、弾性スペーサ基板部14と、第3レンズ基板部15と、を有する。ここで基板部が弾性スペーサ基板部14を介して接合されている積層構造部を光路可変構造部9という。後述するように、レンズユニット部2は、WCSP法により複数の基板が接合された接合基板を個片化して製造されるために外形が四角柱状である。なお、接合基板をブレードダイシングにより切断すると四角形状となるが、レーザーダイシングなどを用いると多角形の柱状や円柱状とすることも可能である。
【0013】
第1レンズ基板部11は、撮像装置4の撮像光学系の被写体に最も近い第1レンズ部11Lを有し、第2レンズ基板部13は第2レンズ部13Lを有する。第3レンズ基板部15は第3レンズ部15Lを有するが、本実施形態の第3レンズ部15Lは平板形状である。平板形状の第3レンズ部15Lを有する第3レンズ基板部15は、CCD16Sを保護するCCDカバー部の機能を有している。
【0014】
スペーサ基板部12は、光学系の光路領域が空洞部12Hとなっている枠部12Fからなる。そして、弾性スペーサ基板部14は、光学系の光路領域が空洞部14Hとなっている枠部14Fが弾性変形する弾性部材からなる。
【0015】
撮像素子基板部であるCCD基板部3は、撮像素子であるCCD16Sが形成されたCCDチップ基板部16が、接続用バンプ17を介して、CCD配線基板部18に実装されている。なお撮像素子としてCMOS等を用いてもよいし、CCD基板部3を複数の基板部ではなく、CCD16Sが形成された1枚のシリコン基板部のみで構成してもよい。以下、CCD基板部3は、1枚の基板部として説明する。
【0016】
駆動基板部5はZ軸方向に伸縮変形するアクチュエータであり、図示しないが、例えばPZTまたはBST等の圧電材料からなる圧電体層が電極層を介して積層された構造を有する積層型圧電素子である。図示しない駆動回路により電極層に電圧が印加されると、駆動基板部5はZ軸方向に伸縮変形する。
【0017】
フレーム部6は撮像装置4を固定する部材であり、剛性を有する材料で作成されているが、全てが一体的に作成されている必要はない。すなわち、後述するように撮像装置4のフレーム部6への固定工程のときに、複数の部材を組み合わせながら作成してもよい。
【0018】
図2に示すように、撮像装置4の上端部(第1レンズ基板部11)4Hはフレーム部6に直接、固定されており、撮像装置4の下端部(CCD基板部3)4Lは駆動基板部5を介してフレーム部6に固定されている。すなわち、撮像装置ユニット1は、撮像装置4の上端部4Hがフレーム部6の上部T(トップ)に固定されており、下端部4Lが駆動部である駆動基板部5を介してフレーム部6の下部B(ベース)に固定されている。
【0019】
撮像装置ユニット1では、駆動基板部5がZ軸方向に伸縮変形すると、撮像装置4は上端部4Hが固定されているため、弾性スペーサ基板部14が伸縮変形する。言い換えれば、駆動部である駆動基板部5は弾性スペーサ基板部14を変形する。このため、撮像装置ユニット1は、光路可変構造部9の第2レンズ基板部13と第3レンズ部15Lの相対位置関係である光路長を、調整可能である。ここで第3レンズ部15LはCCD16Sを有するCCD基板部3と相対位置関係が固定されているため、撮像装置ユニット1は、第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13と、CCD基板部3の相対位置関係である光路長を、調整可能である。
【0020】
なお、図2においては、配線のための配線基板部6P、CCD配線基板部18から配線基板部6Pへのフレキシブル配線19を表示しているが、以下の説明および図では省略することがある。なお後述するように撮像装置ユニット1の動作においては、配線基板部6Pはフレーム部6の一部とみなされる。
【0021】
次に、撮像装置ユニット1の製造方法を説明する。最初に図3および図4を用いて、レンズユニット部2の製造方法を説明する。なお図3等においては、それぞれの基板に、撮像装置4のそれぞれの基板部が、9×9の格子状に配置された例を表示しているが、実際には10×10以上の格子状に配置されており、好ましくは20×20以上の格子状に配置されている。
【0022】
図3に示すように、レンズユニット部2の製造方法では、最初に、第1レンズ基板11Aと、スペーサ基板12Aと、第2レンズ基板13Aと、弾性スペーサ基板14Aと、第2レンズ基板15Aと、が作成される。
【0023】
第1レンズ基板作成工程で作成される第1レンズ基板11Aは格子状に配置されている複数の第1レンズ基板部11を有する。また第2レンズ基板作成工程で作成される第2レンズ基板13Aは前記格子状に配置されている複数の第2レンズ基板部13を有する。また第3レンズ基板作成工程で作成される第3レンズ基板15Aは前記格子状に配置されている複数の第3レンズ基板部15を有する。第1レンズ基板11A、第2レンズ基板13Aおよび第3レンズ基板A15は、例えば2つの金型の間に材料を流し込んだり、平板をプレス成型したりして作成される。
【0024】
第1レンズ基板11A、第2レンズ基板13A、および第3レンズ基板15Aの材料としては、透明材料であれば、ガラス、ポリカーボネート、ポリエステル、アクリル等を用いることができる。また単一の材料に限らず、例えば樹脂とガラスとの複合部材であってもよい。さらに、全てが透明材料から作成されている必要はなく、少なくとも撮像光学系の光路であるレンズ部が透明材料で作成されていればよい。
【0025】
スペーサ基板作成工程で作成されるスペーサ基板12Aは、第1レンズ基板11A等と同様の格子状に配置されている複数のスペーサ基板部12を有する。スペーサ基板12Aは、第1レンズ基板11A等と同様の方法で同様のシリコン、ガラス、または透明樹脂材料から作成してもよいが、透明である必要はなく、ABS樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、金属、セラミック材料等から作成してもよい。
【0026】
そして、弾性スペーサ基板作成工程で作成される弾性スペーサ基板14Aは、第1レンズ基板11A等と同様の格子状に配置されている複数の弾性スペーサ基板部14を有する。弾性スペーサ基板14Aの枠部14Fは、弾性を示す限界の大きい弾性体から作成される。弾性体としては、アクリルゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、ニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム、スチレンブタジエンゴムもしくは天然ゴムから選ばれる一種以上であるゴム、または発泡ウレタン等のスポンジ構造を有する樹脂を用いることが好ましい。
【0027】
なお、レンズ基板11A、13A、15Aのレンズ部以外の部分、スペーサ基板12Aおよび弾性スペーサ基板14Aが遮光材料により作成されている撮像装置ユニットは外乱光の影響を受けにくい。また、スペーサ基板12A等の空洞部を、所定の開口形状および寸法に設定することにより、光学系のFナンバーを定める明るさ絞りの機能を付与してもよいし、別途、明るさ絞り専用の基板を用いてもよい。
【0028】
次に、接合工程において、第1レンズ基板11Aとスペーサ基板12Aと第2レンズ基板13Aと弾性スペーサ基板14Aと第3レンズ基板15Aとが接合され、接合基板であるレンズユニット基板2Aが作成される。接合工程では接合面に接着剤が塗布される。接着剤としては公知の各種接着剤を用いることができる。なお接着剤は接合する接合面の全面に塗布する必要はなく、公知の方法、例えばインクジェット法により所定の領域のみに塗布してもよい。
【0029】
接着剤が塗布された基板は重ね合わせた状態で、加圧しながら接着剤を硬化処理することにより接合される。なお、全ての基板を一度に接合する必要はなく、また接合する順番も下方または上方の基板から接合する必要もない。また接着剤を用いないで、高温状態とした樹脂基板を接合してもよい。さらに必要に応じて、接着剤硬化後に接合基板の全体としての平面度調整等が行われる。
【0030】
接合基板の基板が弾性スペーサ基板14Aを介して接合されている積層構造部が、撮像装置ユニット1の光路可変構造部9となる部分であり、以下、光路可変構造部9Aという。
【0031】
次に、図4に示すように、個片化工程において、接合基板であるレンズユニット基板2Aが切断線Kに沿って切断されることにより、それぞれのレンズユニット部2に個片化される。個片化工程において、レンズユニット基板2Aは固定用フィルム等(不図示)で固定した状態で、切断され個片化される。切断にはワイヤーソー、ブレードダイシング装置、またはレーザーダイシング装置等を用いることができる。
【0032】
なお、レンズユニット基板2Aの切断においては、光路可変構造部9Aの弾性体からなる弾性スペーサ基板14Aの切断を容易にするために、弾性体のガラス転移点以下に冷却しながら切断することが好ましい。そして、切断後に固定用フィルム等から個々のレンズユニット部2が分離される。
【0033】
以上の説明のように、レンズユニット部2はWCSP技術を用いて製造されているため、大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現できる。
【0034】
次に、図5に示すように、実装工程において、レンズユニット部2が、別途製造したCCD基板部3、駆動基板部5、および配線基板部6Pの上に実装される。そしてCCD基板部3のフレキシブル配線19(不図示)が配線基板部6Pの電極パッド6PPと接続される。
【0035】
さらに、図6(A)に示すように、組立工程において、配線基板部6Pがフレーム部の下部Bと側部になるフレーム部6BのベースBに接着剤等により固定される。すなわち撮像装置4の下端部4Lが駆動基板部5を介してフレーム部6に固定される。そしてフレーム部のトップTとなる、撮像装置4の大きさの開口を有するフレーム部6Aが、フレーム部6Bに固定される。同時に、フレーム部6A(T)と撮像装置4の上端部4Hが固定されることにより、図6(B)に示す撮像装置ユニット1が製造される。
【0036】
なお、固定工程と前後して配線基板部6Pの電極パッド6PP等がボディ部7に配設された他のユニットの接続端子と接続される。このとき、撮像装置4から出力される画像信号をモニタしながら、撮像装置4の上端部4Hと下端部4Lとの相対位置関係が所望の状態であることを画像信号にて確認した上で、撮像装置4の上端部4Hをフレーム部6Aに固定することにより、フォーカス動作がより適正に行えるようになる。
【0037】
ここで撮像装置4をフレーム部6Aに固定するときに、第1レンズ基板部11とフレーム部6Bとは、接着剤等により隙間なく固定されることが好ましい。使用時に撮像装置ユニット1の内部に異物等が入り込むのを防止することができるためである。
【0038】
また、図6(A)に示した撮像装置ユニット1はフレーム部6が、フレーム部6Bとフレーム部6Bとから構成されている場合であるが、これに限られるものではない。さらに駆動基板部5が接合された撮像装置4の上端部4Hと下端部4Lとの相対位置関係が変化しないように固定可能なフレーム部であれば、例えば、それぞれがボディ部7の異なる位置と固定されている2つの部材からなるフレーム部であってもよい。また、実装工程および組立工程において、配線基板部6Pが固定されたフレーム部6のベースBに、配線基板部6P付きの撮像装置4を固定してもよい。
【0039】
次に、図7(A)および図7(B)を用いて、撮像装置ユニット1の動作について説明する。図7(A)は初期状態を示し、図7(B)は駆動基板部5が駆動した状態を示している。撮像装置ユニット1は、撮像装置4の上端部4H(光路可変構造部9上部)がフレーム部6のトップTに固定されており、下端部4L(光路可変構造部9下部)が駆動基板部5を介してフレーム部6のベースBに固定されており、駆動基板部5が撮像装置4の光軸O方向(Z方向)に弾性スペーサ基板部14を変形する。言い換えれば、撮像装置4は上端部4Hと下端部4Lとの間の長さが変化しないように固定されているため、駆動基板部5は伸びる(厚さ増加)方向に駆動することにより弾性スペーサ基板部14を縮み(厚さ減少)変形し、駆動基板部5は縮む(厚さ減少)方向に駆動することにより、弾性スペーサ基板部14を伸び(厚さ増加)変形する。
【0040】
すなわち図7(B)に示すように、駆動基板部5がZ軸方向に移動量ΔZだけ伸びるように駆動されると、撮像装置4は上端部4Hがフレーム部6に固定されているため、弾性材料からなる弾性スペーサ基板部14の厚さがZ0からZ1(=Z0−ΔZ)に縮み変形する。このため光路可変構造部9の上部の第2レンズ基板部13と光路可変構造部9の下部の第3レンズ基板部15との間の距離が移動量ΔZだけ短くなる。すなわち第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13とCCD基板部3との間の距離が、移動量ΔZ分だけ短くなる。言い換えれば、撮像装置4のレンズ部11L、13LとCCD16Sとの相対位置関係である光軸O方向の距離が変化する。この光軸O方向の移動量ΔZは、光路長の変化であり、フォーカシング動作に相当する。なおCCD基板部3の移動量ΔZ、すなわちフォーカシング調整は駆動基板部5の圧電素子に印加する電圧により制御することができる。
【0041】
なお、フォーカシング調整は、図示しない光学式エンコーダ等を用いて移動量を測定しながら、リアルタイムで印加する電圧を調整することが好ましいが、撮像装置ユニット1から出力される画像出力信号のコントラストを検出してフォーカシング調整するTTL(Through The Lens)方式を用いて調整してもよい。また、撮像装置ユニット1は積層型圧電素子を駆動部としているため特に小型化が容易であるだけでなく、高速駆動および高トルク(推力)を実現している。
【0042】
撮像装置ユニット1は、レンズユニット部2がWCSP技術を用いて製造されている小型の撮像装置であるため大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現できる。さらに、撮像装置ユニット1は、駆動基板部5の駆動により、第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13と、CCD基板部3との間の光路長の調整、すなわち、フォーカシング動作を行うことができる。本実施形態の撮像装置ユニット1は小型であるため内視鏡、特にカプセル型内視鏡、またはカメラ付携帯電話に好ましく用いることができる。に好ましく用いることができる。
【0043】
<第1実施形態の変形例1>
次に、本発明の第1実施形態の変形例1の撮像装置ユニット1Aについて説明する。本変形例の撮像装置ユニット1Aは第1実施形態の撮像装置ユニット1と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0044】
撮像装置ユニット1Aの、駆動部である駆動基板部5XYは、面内2方向、すなわち、XY方向に変位する積層型圧電素子からなるアクチュエータである。言い換えれば、駆動基板部5XYは撮像装置4の光軸O直交方向に弾性スペーサ基板部14を変形する。駆動基板部5XYは、X軸方向に変位する伸縮変形する積層型圧電素子と、Y軸方向に変位する伸縮変形する積層型圧電素子と、を有する。
【0045】
例えば、図8(A)に示すように、駆動基板部5XYの移動端が、固定端5SSに対して、移動端5Mが、X軸方向に移動量ΔX移動すると、駆動基板部5XYに接合されているCCD基板部3および第3レンズ基板部15もX軸方向に移動量ΔXだけ移動するが、弾性スペーサ基板部14が変形するため、第2レンズ基板部13および第1レンズ基板部11は移動しない。駆動基板部5XYの移動端がY軸方向に移動しても同様である。すなわち、撮像装置ユニット1Aは、第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13に対して、CCD基板部3が、X軸方向およびY軸方向の相対位置関係が調整可能である。
【0046】
撮像装置4の光軸直交方向(XY方向)の移動により、撮像装置ユニット1Aは、X軸方向およびY軸方向の手ブレ補正動作を行うことができる。ここで、手ブレとは撮影時の振動による撮像装置本体の振動によって、露光時間中に被写体の光学的な像の位置が変化し、撮影した画像において被写体がぶれ、鮮明な画像が得られないという現象である。撮像装置ユニット1Aは、図示しないセンサにより振動を検知し、検出した振動の大きさおよび方向に基づいて、その逆方向に駆動基板部5XYを駆動する手ブレ補正動作を行う。
【0047】
すなわち本変形例の撮像装置ユニット1Aは、撮像装置ユニット1と同様にレンズユニット部2がWCSP技術を用いて製造されている小型の撮像装置であるため大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現でき、さらに、ブレ補正動作を行うことができる。
【0048】
<第1実施形態の変形例2>
次に、本発明の第1実施形態の変形例2の撮像装置ユニット1Bについて説明する。本変形例の撮像装置ユニット1Bは第1実施形態の撮像装置ユニット1と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0049】
図8(B)に示すように、撮像装置ユニット1Bの、駆動部である駆動基板部5XYZは、光軸方向すなわちZ方向および光軸直交方向すなわちXY方向の3方向に変位する積層型圧電素子からなるアクチュエータである。
【0050】
例えば、図8(B)に示すように、駆動基板部5XYZが、X軸方向に移動量ΔX、Z軸方向に移動量ΔZだけ駆動されると、第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13に対して、CCD基板部3は、X軸方向およびZ軸方向に相対位置関係が変化する。駆動基板部5XYZの移動端がY軸方向に移動しても同様である。
【0051】
すなわち、撮像装置ユニット1Bは、駆動部である駆動基板部5XYZが撮像装置4の光軸O方向および光軸直交方向に弾性スペーサ基板部14を変形するため、第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13に対して、CCD基板部3は、X軸方向、Y軸方向およびZ軸方向に相対位置関係が調整可能である。
【0052】
本変形例の撮像装置ユニット1Bは、撮像装置ユニット1と同様にレンズユニット部2がWCSP技術を用いて製造されている小型の撮像装置であるため大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現でき、フォーカシングおよびブレ補正動作を行うことができる。
【0053】
<第1実施形態の変形例3>
次に、本発明の第1実施形態の変形例3の撮像装置ユニット1Cについて説明する。本変形例の撮像装置ユニット1Cは第1実施形態の撮像装置ユニット1と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0054】
第1実施形態の撮像装置ユニット1の製造方法では、図3等に示したように、WCSP法により製造したレンズユニット部2を、実装工程において別途製造したCCD基板部3に実装することで、撮像装置4が製造されていた。これに対して撮像装置ユニット1Cは、WCSP法によりレンズユニット部2とCCD基板部3とからなる撮像装置4が製造される。
【0055】
すなわち、図9に示すように、接合工程の前に、撮像素子基板作成工程において作成される撮像素子基板であるCCD基板3Aは、第1レンズ基板11A等と同様の格子状に配置されている複数のCCD基板部3を有する。CCD基板3Aはシリコン基板からなり、公知の半導体回路作成技術により上面に格子状にCCD16Sが作成されている。なおCCD基板3Aには図示しないが、貫通配線を介して下面に接続用バンプが形成されている。
【0056】
そして、接合工程において、第1レンズ基板11Aとスペーサ基板12Aと第2レンズ基板13Aと弾性スペーサ基板14Aと第3レンズ基板15AとCCD基板3Aとが接合され、接合基板である撮像装置基板4Aが作成される。すなわち撮像装置基板4Aはレンズユニット基板2AにCCD基板3Aが接合された接合基板である。
【0057】
そして、個片化工程において、撮像装置基板4Aは切断されることにより、それぞれの撮像装置4に個片化される。
【0058】
撮像装置4は、実装工程において、別途製造した駆動基板部5、および配線基板部6Pの上に実装され、組立工程においてフレーム部6に固定される。
【0059】
本変形例の撮像装置ユニット1Cは撮像装置ユニット1等が有する効果に加えて、撮像装置4がWCSP技術を用いて製造されているため、大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現できる。
【0060】
<第1実施形態の変形例4>
次に、本発明の第1実施形態の変形例4の撮像装置ユニット1Dについて説明する。本変形例の撮像装置ユニット1Dは第1実施形態の撮像装置ユニット1と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0061】
図10に示すように、撮像装置ユニット1Dは、WCSP法により、撮像装置4および駆動基板部5が、接合基板から一体として個片化される。すなわち、撮像装置ユニット1Dの製造方法では、駆動部基板作成工程で、第1レンズ基板11A等と同様の格子状に配置されている複数の駆動基板部5を有する駆動部基板5Aが作成される。
【0062】
そして、接合工程において、第1レンズ基板11Aとスペーサ基板12Aと第2レンズ基板13Aと弾性スペーサ基板14Aと第2レンズ基板15AとCCD基板3Aと駆動部基板5Aとが接合され、接合基板である駆動部基板付き撮像装置基板4DAが作成される。すなわち駆動部基板付き撮像装置基板4DAは撮像装置基板4Aに駆動部基板5Aが接合された接合基板である。
【0063】
そして、個片化工程において、駆動部基板付き撮像装置基板4DAが切断されることにより、それぞれの撮像装置4および駆動基板部5が、一体の駆動部付き撮像装置4Dとして個片化される。駆動部付き撮像装置4Dは、実装工程において、別途製造した配線基板部6Pの上に実装され、組立工程においてフレーム部6に固定される。
【0064】
本変形例の撮像装置ユニット1Dは撮像装置ユニット1等が有する効果に加えて、駆動部付き撮像装置4DがWCSP技術を用いて製造されているため、大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現できる。
【0065】
<第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態の撮像装置ユニット1Eについて説明する。本実施形態の撮像装置ユニット1Eは第1実施形態の撮像装置ユニット1と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0066】
図11に示すように、撮像装置ユニット1Eは、モータM等により上下方向に変位する可動部5EMを有する駆動部である駆動装置5Eを有する。そして撮像装置4の上端部4Hが駆動装置5Eの可動部5EMを介してフレーム部6に固定されており、駆動装置5Eの本体部(固定部)および撮像装置4の下端部4Lがフレーム部6に固定されている。駆動装置5Eは可動部が上下方向に伸縮制御可能であれば、動作原理は2枚の圧電トランスを機械的に結合し、その屈曲運動に伴う移動子の線形運動を利用した超音波モータ等であってもよい。
【0067】
駆動装置5Eの可動部5EMは上下方向に変位することにより、弾性スペーサ基板部14を撮像装置4の光軸O方向に変形する。この弾性スペーサ基板部14の変形により、光路可変構造部9の上部の第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13と光路可変構造部9の下にあるCCD基板部3との間の距離が変化する。言い換えれば、撮像装置4Eのレンズ部11L、13LとCCD16Sとの相対位置関係である光軸O方向の距離が変化する。この光軸O方向の距離変化は、光路長の変化であり、フォーカシング動作に相当する。なおCCD基板部3の移動距離、すなわちフォーカシング量調整は駆動装置5Eにより制御することができる。
【0068】
本実施形態の撮像装置ユニット1Eは撮像装置ユニット1等が有する効果に加えて、駆動装置5Eの変位可能量(ストローク)は駆動基板部5の変位可能量よりも大きくすることが容易であるため、より広範囲のフォーカシング調整を行うことができる。
【0069】
<第2実施形態の変形例1>
次に、本発明の第2実施形態の変形例1の撮像装置ユニット1Fについて説明する。本実施形態の撮像装置ユニット1Fは、第2実施形態の撮像装置ユニット1Eと類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0070】
図12に示すように、撮像装置ユニット1Fは、レンズユニット部2Fのスペーサ基板部12F1も、弾性スペーサ基板部14と同じように枠部12F1Fが弾性部材からなる。すなわち、レンズユニット部2Fは2つの弾性スペーサ基板部14、12F1を有する。言い換えれば、レンズユニット部2Fは2つの光路可変構造部9F1、9F2を有する。なお、レンズ基板部13は2つの光路可変構造部9F1、9F2の双方に属する。また撮像装置ユニット1Fは、第1の駆動装置5F1および第2の駆動装置5F2の2つの駆動部を有する。
【0071】
そして、第1の駆動装置5F1の本体部(固定部)、第2の駆動装置5F2の本体部(固定部)および撮像装置4の下端部4Lはフレーム部6のベースBに固定されている。撮像装置4Fの上端部4H(第1レンズ基板部11)、すなわち光路可変構造部9F1の上端部は第1の駆動装置5F1の可動部5F1Mを介してフレーム部6に固定されており、光路可変構造部9F2の上端部(第2レンズ基板部13)は第2の駆動装置5F2の可動部5F2Mを介してフレーム部6に固定されている。
【0072】
撮像装置ユニット1Fの第1の駆動装置5F1の可動部5F1Mと第2の駆動装置5F2の可動部5F2Mとは独立して上下方向に変位可能である。第1の駆動装置5F1と第2の駆動装置5F2とが同じ変位をした場合には、撮像装置ユニット1Fの動作および効果は第2実施形態の撮像装置ユニット1Eと同じであり、撮像装置4Fのフォーカシング動作に相当する。
【0073】
これに対して、第1の駆動装置5F1の可動部5F1Mを、ある位置に固定した状態で、第2の駆動装置5F2の可動部5F2Mを、上下方向に変位することにより、光路可変構造部9F2の上部の第2レンズ基板部13と光路可変構造部9の下にあるCCD基板部3との間の距離だけでなく、第2レンズ基板部13と第1レンズ基板部11との間の距離を変化することができる。この光軸O方向の距離変化は、例えばズーミング動作に相当する。
【0074】
また、第2の駆動装置5F2の可動部5F2Mを、ある位置に固定した状態で、第1の駆動装置5F1の可動部5F1Mを、上下方向に変位することにより、光路可変構造部9F1の上部の第1レンズ基板部11と第2レンズ基板部13と間の距離を変化することができる。この光軸O方向の距離変化は、例えばズーミング動作に相当する。
【0075】
本変形例の撮像装置ユニット1Fは撮像装置ユニット1E等が有する効果に加えて、ズーミング動作等を行うことができる。
【0076】
なお、図12に示すように撮像装置ユニット1Fの第3レンズ基板部15Fは、平板レンズではなく凹平レンズを有し、CCDカバー部としての機能だけでなくレンズ機能も有する。
【0077】
また、図12に示すように、撮像装置ユニット1Fの内部に異物等が入り込むのを防止するために、撮像装置4Fの上端部4Hとフレーム部6との隙間に弾性変形する膜からなるカバー部6Fが設けられている。カバー部6Fは、撮像装置4Fの変位を妨げることがなければ、蛇腹構造等を有する非弾性体であってもよい。
【0078】
以上の説明では、3枚のレンズ基板部11、13、15と2枚のスペーサ基板部12、14からなるレンズユニット部2を有する撮像装置ユニットを例に説明した。しかし、より高い光学特性が必要な撮像装置ユニットでは、より多くの数のレンズ基板部が、それぞれスペーサ基板部、または弾性スペーサ基板部を介して接合されているレンズユニット部を用いてもよい。
【0079】
また、撮像装置ユニットのフレーム部およびボディ部を撮像装置ユニット専用部材として構成し、撮像装置ユニットのフレーム部およびボディ部を他のユニットに固定して使用してもよい。
【0080】
以上のように本発明は上述した実施形態または変形例に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更および改変等ができる。
【符号の説明】
【0081】
1、1A〜1F…撮像装置ユニット、2…レンズユニット部、2A…レンズユニット基板、2F…レンズユニット部、3…CCD基板部、3A…CCD基板、4…撮像装置、4A…撮像装置基板、4D…撮像装置、4DA…撮像装置基板、4F…撮像装置、4H…上端部、4L…下端部、5…駆動基板部、5A…駆動部基板、5E…駆動装置、5EM…可動部、5F1…第1駆動装置、5F1M…可動部、5F2…第2駆動装置、5F2M…可動部、5M…移動端、5SS…固定端、5XY、5XYZ…駆動基板部、6、6A、6B…フレーム部、6F…カバー部、6P…配線基板部、6PP…電極パッド、7…ボディ部、9、9A…光路可変構造部、9F1、9F2…光路可変構造部、11…第1レンズ基板部、11A…第1レンズ基板、11L…第1レンズ部、12…スペーサ基板部、12A…スペーサ基板、12F…枠部、12F1…スペーサ基板部、12F1F…枠部、12H…空洞部、13…第2レンズ基板部、13A…第2レンズ基板、13L…第2レンズ部、14…弾性スペーサ基板部、14A…弾性スペーサ基板、14F…枠部、14H…空洞部、15…第3レンズ基板部、15A…第3レンズ基板、15F…第3レンズ基板部、15L…第3レンズ部、16…チップ基板部、16S…CCD、17…接続用バンプ、18…配線基板部、19…フレキシブル配線
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウエハレベルチップサイズパッケージ技術を用いて作成された撮像装置ユニットに関する。
【背景技術】
【0002】
CCD等の固体撮像素子を有する撮像装置を具備した電子内視鏡、カメラ付き携帯電話、およびデジタルカメラ等が普及している。撮像装置は、固体撮像素子と、固体撮像素子に被写体の光学像を導光するレンズを有するレンズユニットと、から主要部が構成されている。
【0003】
撮像装置を小型化し大量生産するために、ウエハレベルチップサイズパッケージ(WCSP)法を用いた撮像装置の製造方法が知られている。例えば、特開2003−204053号公報には、CCDを有する半導体ウエハとレンズ等を有する基板とを接合後に切断することで個片化し、撮像装置を製造する方法が開示されている。
【0004】
しかし、WCSP法を用いて製造された撮像装置は、レンズと撮像素子との相対位置関係が固定されているため、フォーカシング動作、ズーミング動作、または、いわゆるブレ補正動作等を行うことができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開2003−204053号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、レンズと撮像素子との相対位置関係を調整可能な小型の撮像装置を有する撮像装置ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成すべく、本発明の実施の形態の撮像装置ユニットは、レンズ部を有するレンズ基板部が光路領域が空洞部であり枠部が弾性部材からなる弾性スペーサ基板部を介して接合された構造の光路可変構造部を有するレンズユニット部と、撮像素子を有する撮像素子基板部と、を有する撮像装置と、前記弾性スペーサ基板部を変形する駆動部と、前記撮像装置および前記駆動部が固定されたフレーム部と、を有し、格子状に配置された複数の前記レンズ基板部を有するレンズ基板が前記格子状に配置された複数の前記弾性スペーサ基板部を有する弾性スペーサ基板を介して接合された接合基板から、前記撮像装置の少なくとも前記レンズユニット部が個片化されたことを特徴とする撮像装置ユニット。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、レンズと撮像素子との相対位置関係を調整可能な小型の撮像装置を有する撮像装置ユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】第1実施形態の撮像装置ユニットの外観図である。
【図2】第1実施形態の撮像装置ユニットの断面構造を説明するための図である。
【図3】第1実施形態の撮像装置ユニットのレンズユニット部の製造方法を説明するための斜視図である。
【図4】第1実施形態の撮像装置ユニットのレンズユニット部の製造方法を説明するための斜視図である。
【図5】第1実施形態の撮像装置ユニットの撮像装置の製造方法を説明するための斜視図である。
【図6】第1実施形態の撮像装置ユニットの製造方法を説明するための図である。
【図7】第1実施形態の撮像装置ユニットの動作を説明するための図である。
【図8】第1実施形態の変形例1、2の撮像装置ユニットの動作を説明するための図である。
【図9】第1実施形態の変形例3の撮像装置ユニットの製造方法を説明するための図である。
【図10】第1実施形態の変形例4の撮像装置ユニットの製造方法を説明するための図である。
【図11】第2実施形態の撮像装置ユニットの断面構造を説明するための図である。
【図12】第2実施形態の変形例の撮像装置ユニットの断面構造を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
<第1の実施形態>
以下、図面を用いて本発明の第1実施形態の撮像装置ユニット1について説明する。最初に本実施形態の撮像装置ユニット1の構造について説明する。なお図はいずれも説明のための模式図であり、厚さ方向の縮尺も構成要素により異なっている。例えば、厚く図示されている基板部が薄く図示されている基板部よりも厚いとは限らない。また、以下、上側とは被写体側を、下側とは被写体と反対側を意味する。
【0011】
図1に示すように、撮像装置ユニット1は、撮像装置4と、駆動部である駆動基板部5と、フレーム部6と、を具備する。撮像装置4はレンズユニット部2と撮像素子基板部であるCCD基板部3とを有する。フレーム部6は撮像装置4、駆動基板部5、に加えて、図示しない回路基板および電池等を固定するための構造部材であり、ボディ部7は例えばカプセル型内視鏡の筐体である。図1では円筒形状のボディ部7の一部がフレーム部6を構成している場合を例示している。駆動基板部5は光軸O方向、すなわち図1におけるZ軸方向に伸縮変形する積層型圧電素子からなる駆動部である。
【0012】
次に、図2に示すように、撮像装置4のレンズユニット部2は、第1レンズ基板部11と、スペーサ基板部12と、第2レンズ基板部13と、弾性スペーサ基板部14と、第3レンズ基板部15と、を有する。ここで基板部が弾性スペーサ基板部14を介して接合されている積層構造部を光路可変構造部9という。後述するように、レンズユニット部2は、WCSP法により複数の基板が接合された接合基板を個片化して製造されるために外形が四角柱状である。なお、接合基板をブレードダイシングにより切断すると四角形状となるが、レーザーダイシングなどを用いると多角形の柱状や円柱状とすることも可能である。
【0013】
第1レンズ基板部11は、撮像装置4の撮像光学系の被写体に最も近い第1レンズ部11Lを有し、第2レンズ基板部13は第2レンズ部13Lを有する。第3レンズ基板部15は第3レンズ部15Lを有するが、本実施形態の第3レンズ部15Lは平板形状である。平板形状の第3レンズ部15Lを有する第3レンズ基板部15は、CCD16Sを保護するCCDカバー部の機能を有している。
【0014】
スペーサ基板部12は、光学系の光路領域が空洞部12Hとなっている枠部12Fからなる。そして、弾性スペーサ基板部14は、光学系の光路領域が空洞部14Hとなっている枠部14Fが弾性変形する弾性部材からなる。
【0015】
撮像素子基板部であるCCD基板部3は、撮像素子であるCCD16Sが形成されたCCDチップ基板部16が、接続用バンプ17を介して、CCD配線基板部18に実装されている。なお撮像素子としてCMOS等を用いてもよいし、CCD基板部3を複数の基板部ではなく、CCD16Sが形成された1枚のシリコン基板部のみで構成してもよい。以下、CCD基板部3は、1枚の基板部として説明する。
【0016】
駆動基板部5はZ軸方向に伸縮変形するアクチュエータであり、図示しないが、例えばPZTまたはBST等の圧電材料からなる圧電体層が電極層を介して積層された構造を有する積層型圧電素子である。図示しない駆動回路により電極層に電圧が印加されると、駆動基板部5はZ軸方向に伸縮変形する。
【0017】
フレーム部6は撮像装置4を固定する部材であり、剛性を有する材料で作成されているが、全てが一体的に作成されている必要はない。すなわち、後述するように撮像装置4のフレーム部6への固定工程のときに、複数の部材を組み合わせながら作成してもよい。
【0018】
図2に示すように、撮像装置4の上端部(第1レンズ基板部11)4Hはフレーム部6に直接、固定されており、撮像装置4の下端部(CCD基板部3)4Lは駆動基板部5を介してフレーム部6に固定されている。すなわち、撮像装置ユニット1は、撮像装置4の上端部4Hがフレーム部6の上部T(トップ)に固定されており、下端部4Lが駆動部である駆動基板部5を介してフレーム部6の下部B(ベース)に固定されている。
【0019】
撮像装置ユニット1では、駆動基板部5がZ軸方向に伸縮変形すると、撮像装置4は上端部4Hが固定されているため、弾性スペーサ基板部14が伸縮変形する。言い換えれば、駆動部である駆動基板部5は弾性スペーサ基板部14を変形する。このため、撮像装置ユニット1は、光路可変構造部9の第2レンズ基板部13と第3レンズ部15Lの相対位置関係である光路長を、調整可能である。ここで第3レンズ部15LはCCD16Sを有するCCD基板部3と相対位置関係が固定されているため、撮像装置ユニット1は、第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13と、CCD基板部3の相対位置関係である光路長を、調整可能である。
【0020】
なお、図2においては、配線のための配線基板部6P、CCD配線基板部18から配線基板部6Pへのフレキシブル配線19を表示しているが、以下の説明および図では省略することがある。なお後述するように撮像装置ユニット1の動作においては、配線基板部6Pはフレーム部6の一部とみなされる。
【0021】
次に、撮像装置ユニット1の製造方法を説明する。最初に図3および図4を用いて、レンズユニット部2の製造方法を説明する。なお図3等においては、それぞれの基板に、撮像装置4のそれぞれの基板部が、9×9の格子状に配置された例を表示しているが、実際には10×10以上の格子状に配置されており、好ましくは20×20以上の格子状に配置されている。
【0022】
図3に示すように、レンズユニット部2の製造方法では、最初に、第1レンズ基板11Aと、スペーサ基板12Aと、第2レンズ基板13Aと、弾性スペーサ基板14Aと、第2レンズ基板15Aと、が作成される。
【0023】
第1レンズ基板作成工程で作成される第1レンズ基板11Aは格子状に配置されている複数の第1レンズ基板部11を有する。また第2レンズ基板作成工程で作成される第2レンズ基板13Aは前記格子状に配置されている複数の第2レンズ基板部13を有する。また第3レンズ基板作成工程で作成される第3レンズ基板15Aは前記格子状に配置されている複数の第3レンズ基板部15を有する。第1レンズ基板11A、第2レンズ基板13Aおよび第3レンズ基板A15は、例えば2つの金型の間に材料を流し込んだり、平板をプレス成型したりして作成される。
【0024】
第1レンズ基板11A、第2レンズ基板13A、および第3レンズ基板15Aの材料としては、透明材料であれば、ガラス、ポリカーボネート、ポリエステル、アクリル等を用いることができる。また単一の材料に限らず、例えば樹脂とガラスとの複合部材であってもよい。さらに、全てが透明材料から作成されている必要はなく、少なくとも撮像光学系の光路であるレンズ部が透明材料で作成されていればよい。
【0025】
スペーサ基板作成工程で作成されるスペーサ基板12Aは、第1レンズ基板11A等と同様の格子状に配置されている複数のスペーサ基板部12を有する。スペーサ基板12Aは、第1レンズ基板11A等と同様の方法で同様のシリコン、ガラス、または透明樹脂材料から作成してもよいが、透明である必要はなく、ABS樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、金属、セラミック材料等から作成してもよい。
【0026】
そして、弾性スペーサ基板作成工程で作成される弾性スペーサ基板14Aは、第1レンズ基板11A等と同様の格子状に配置されている複数の弾性スペーサ基板部14を有する。弾性スペーサ基板14Aの枠部14Fは、弾性を示す限界の大きい弾性体から作成される。弾性体としては、アクリルゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、ニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム、スチレンブタジエンゴムもしくは天然ゴムから選ばれる一種以上であるゴム、または発泡ウレタン等のスポンジ構造を有する樹脂を用いることが好ましい。
【0027】
なお、レンズ基板11A、13A、15Aのレンズ部以外の部分、スペーサ基板12Aおよび弾性スペーサ基板14Aが遮光材料により作成されている撮像装置ユニットは外乱光の影響を受けにくい。また、スペーサ基板12A等の空洞部を、所定の開口形状および寸法に設定することにより、光学系のFナンバーを定める明るさ絞りの機能を付与してもよいし、別途、明るさ絞り専用の基板を用いてもよい。
【0028】
次に、接合工程において、第1レンズ基板11Aとスペーサ基板12Aと第2レンズ基板13Aと弾性スペーサ基板14Aと第3レンズ基板15Aとが接合され、接合基板であるレンズユニット基板2Aが作成される。接合工程では接合面に接着剤が塗布される。接着剤としては公知の各種接着剤を用いることができる。なお接着剤は接合する接合面の全面に塗布する必要はなく、公知の方法、例えばインクジェット法により所定の領域のみに塗布してもよい。
【0029】
接着剤が塗布された基板は重ね合わせた状態で、加圧しながら接着剤を硬化処理することにより接合される。なお、全ての基板を一度に接合する必要はなく、また接合する順番も下方または上方の基板から接合する必要もない。また接着剤を用いないで、高温状態とした樹脂基板を接合してもよい。さらに必要に応じて、接着剤硬化後に接合基板の全体としての平面度調整等が行われる。
【0030】
接合基板の基板が弾性スペーサ基板14Aを介して接合されている積層構造部が、撮像装置ユニット1の光路可変構造部9となる部分であり、以下、光路可変構造部9Aという。
【0031】
次に、図4に示すように、個片化工程において、接合基板であるレンズユニット基板2Aが切断線Kに沿って切断されることにより、それぞれのレンズユニット部2に個片化される。個片化工程において、レンズユニット基板2Aは固定用フィルム等(不図示)で固定した状態で、切断され個片化される。切断にはワイヤーソー、ブレードダイシング装置、またはレーザーダイシング装置等を用いることができる。
【0032】
なお、レンズユニット基板2Aの切断においては、光路可変構造部9Aの弾性体からなる弾性スペーサ基板14Aの切断を容易にするために、弾性体のガラス転移点以下に冷却しながら切断することが好ましい。そして、切断後に固定用フィルム等から個々のレンズユニット部2が分離される。
【0033】
以上の説明のように、レンズユニット部2はWCSP技術を用いて製造されているため、大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現できる。
【0034】
次に、図5に示すように、実装工程において、レンズユニット部2が、別途製造したCCD基板部3、駆動基板部5、および配線基板部6Pの上に実装される。そしてCCD基板部3のフレキシブル配線19(不図示)が配線基板部6Pの電極パッド6PPと接続される。
【0035】
さらに、図6(A)に示すように、組立工程において、配線基板部6Pがフレーム部の下部Bと側部になるフレーム部6BのベースBに接着剤等により固定される。すなわち撮像装置4の下端部4Lが駆動基板部5を介してフレーム部6に固定される。そしてフレーム部のトップTとなる、撮像装置4の大きさの開口を有するフレーム部6Aが、フレーム部6Bに固定される。同時に、フレーム部6A(T)と撮像装置4の上端部4Hが固定されることにより、図6(B)に示す撮像装置ユニット1が製造される。
【0036】
なお、固定工程と前後して配線基板部6Pの電極パッド6PP等がボディ部7に配設された他のユニットの接続端子と接続される。このとき、撮像装置4から出力される画像信号をモニタしながら、撮像装置4の上端部4Hと下端部4Lとの相対位置関係が所望の状態であることを画像信号にて確認した上で、撮像装置4の上端部4Hをフレーム部6Aに固定することにより、フォーカス動作がより適正に行えるようになる。
【0037】
ここで撮像装置4をフレーム部6Aに固定するときに、第1レンズ基板部11とフレーム部6Bとは、接着剤等により隙間なく固定されることが好ましい。使用時に撮像装置ユニット1の内部に異物等が入り込むのを防止することができるためである。
【0038】
また、図6(A)に示した撮像装置ユニット1はフレーム部6が、フレーム部6Bとフレーム部6Bとから構成されている場合であるが、これに限られるものではない。さらに駆動基板部5が接合された撮像装置4の上端部4Hと下端部4Lとの相対位置関係が変化しないように固定可能なフレーム部であれば、例えば、それぞれがボディ部7の異なる位置と固定されている2つの部材からなるフレーム部であってもよい。また、実装工程および組立工程において、配線基板部6Pが固定されたフレーム部6のベースBに、配線基板部6P付きの撮像装置4を固定してもよい。
【0039】
次に、図7(A)および図7(B)を用いて、撮像装置ユニット1の動作について説明する。図7(A)は初期状態を示し、図7(B)は駆動基板部5が駆動した状態を示している。撮像装置ユニット1は、撮像装置4の上端部4H(光路可変構造部9上部)がフレーム部6のトップTに固定されており、下端部4L(光路可変構造部9下部)が駆動基板部5を介してフレーム部6のベースBに固定されており、駆動基板部5が撮像装置4の光軸O方向(Z方向)に弾性スペーサ基板部14を変形する。言い換えれば、撮像装置4は上端部4Hと下端部4Lとの間の長さが変化しないように固定されているため、駆動基板部5は伸びる(厚さ増加)方向に駆動することにより弾性スペーサ基板部14を縮み(厚さ減少)変形し、駆動基板部5は縮む(厚さ減少)方向に駆動することにより、弾性スペーサ基板部14を伸び(厚さ増加)変形する。
【0040】
すなわち図7(B)に示すように、駆動基板部5がZ軸方向に移動量ΔZだけ伸びるように駆動されると、撮像装置4は上端部4Hがフレーム部6に固定されているため、弾性材料からなる弾性スペーサ基板部14の厚さがZ0からZ1(=Z0−ΔZ)に縮み変形する。このため光路可変構造部9の上部の第2レンズ基板部13と光路可変構造部9の下部の第3レンズ基板部15との間の距離が移動量ΔZだけ短くなる。すなわち第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13とCCD基板部3との間の距離が、移動量ΔZ分だけ短くなる。言い換えれば、撮像装置4のレンズ部11L、13LとCCD16Sとの相対位置関係である光軸O方向の距離が変化する。この光軸O方向の移動量ΔZは、光路長の変化であり、フォーカシング動作に相当する。なおCCD基板部3の移動量ΔZ、すなわちフォーカシング調整は駆動基板部5の圧電素子に印加する電圧により制御することができる。
【0041】
なお、フォーカシング調整は、図示しない光学式エンコーダ等を用いて移動量を測定しながら、リアルタイムで印加する電圧を調整することが好ましいが、撮像装置ユニット1から出力される画像出力信号のコントラストを検出してフォーカシング調整するTTL(Through The Lens)方式を用いて調整してもよい。また、撮像装置ユニット1は積層型圧電素子を駆動部としているため特に小型化が容易であるだけでなく、高速駆動および高トルク(推力)を実現している。
【0042】
撮像装置ユニット1は、レンズユニット部2がWCSP技術を用いて製造されている小型の撮像装置であるため大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現できる。さらに、撮像装置ユニット1は、駆動基板部5の駆動により、第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13と、CCD基板部3との間の光路長の調整、すなわち、フォーカシング動作を行うことができる。本実施形態の撮像装置ユニット1は小型であるため内視鏡、特にカプセル型内視鏡、またはカメラ付携帯電話に好ましく用いることができる。に好ましく用いることができる。
【0043】
<第1実施形態の変形例1>
次に、本発明の第1実施形態の変形例1の撮像装置ユニット1Aについて説明する。本変形例の撮像装置ユニット1Aは第1実施形態の撮像装置ユニット1と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0044】
撮像装置ユニット1Aの、駆動部である駆動基板部5XYは、面内2方向、すなわち、XY方向に変位する積層型圧電素子からなるアクチュエータである。言い換えれば、駆動基板部5XYは撮像装置4の光軸O直交方向に弾性スペーサ基板部14を変形する。駆動基板部5XYは、X軸方向に変位する伸縮変形する積層型圧電素子と、Y軸方向に変位する伸縮変形する積層型圧電素子と、を有する。
【0045】
例えば、図8(A)に示すように、駆動基板部5XYの移動端が、固定端5SSに対して、移動端5Mが、X軸方向に移動量ΔX移動すると、駆動基板部5XYに接合されているCCD基板部3および第3レンズ基板部15もX軸方向に移動量ΔXだけ移動するが、弾性スペーサ基板部14が変形するため、第2レンズ基板部13および第1レンズ基板部11は移動しない。駆動基板部5XYの移動端がY軸方向に移動しても同様である。すなわち、撮像装置ユニット1Aは、第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13に対して、CCD基板部3が、X軸方向およびY軸方向の相対位置関係が調整可能である。
【0046】
撮像装置4の光軸直交方向(XY方向)の移動により、撮像装置ユニット1Aは、X軸方向およびY軸方向の手ブレ補正動作を行うことができる。ここで、手ブレとは撮影時の振動による撮像装置本体の振動によって、露光時間中に被写体の光学的な像の位置が変化し、撮影した画像において被写体がぶれ、鮮明な画像が得られないという現象である。撮像装置ユニット1Aは、図示しないセンサにより振動を検知し、検出した振動の大きさおよび方向に基づいて、その逆方向に駆動基板部5XYを駆動する手ブレ補正動作を行う。
【0047】
すなわち本変形例の撮像装置ユニット1Aは、撮像装置ユニット1と同様にレンズユニット部2がWCSP技術を用いて製造されている小型の撮像装置であるため大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現でき、さらに、ブレ補正動作を行うことができる。
【0048】
<第1実施形態の変形例2>
次に、本発明の第1実施形態の変形例2の撮像装置ユニット1Bについて説明する。本変形例の撮像装置ユニット1Bは第1実施形態の撮像装置ユニット1と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0049】
図8(B)に示すように、撮像装置ユニット1Bの、駆動部である駆動基板部5XYZは、光軸方向すなわちZ方向および光軸直交方向すなわちXY方向の3方向に変位する積層型圧電素子からなるアクチュエータである。
【0050】
例えば、図8(B)に示すように、駆動基板部5XYZが、X軸方向に移動量ΔX、Z軸方向に移動量ΔZだけ駆動されると、第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13に対して、CCD基板部3は、X軸方向およびZ軸方向に相対位置関係が変化する。駆動基板部5XYZの移動端がY軸方向に移動しても同様である。
【0051】
すなわち、撮像装置ユニット1Bは、駆動部である駆動基板部5XYZが撮像装置4の光軸O方向および光軸直交方向に弾性スペーサ基板部14を変形するため、第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13に対して、CCD基板部3は、X軸方向、Y軸方向およびZ軸方向に相対位置関係が調整可能である。
【0052】
本変形例の撮像装置ユニット1Bは、撮像装置ユニット1と同様にレンズユニット部2がWCSP技術を用いて製造されている小型の撮像装置であるため大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現でき、フォーカシングおよびブレ補正動作を行うことができる。
【0053】
<第1実施形態の変形例3>
次に、本発明の第1実施形態の変形例3の撮像装置ユニット1Cについて説明する。本変形例の撮像装置ユニット1Cは第1実施形態の撮像装置ユニット1と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0054】
第1実施形態の撮像装置ユニット1の製造方法では、図3等に示したように、WCSP法により製造したレンズユニット部2を、実装工程において別途製造したCCD基板部3に実装することで、撮像装置4が製造されていた。これに対して撮像装置ユニット1Cは、WCSP法によりレンズユニット部2とCCD基板部3とからなる撮像装置4が製造される。
【0055】
すなわち、図9に示すように、接合工程の前に、撮像素子基板作成工程において作成される撮像素子基板であるCCD基板3Aは、第1レンズ基板11A等と同様の格子状に配置されている複数のCCD基板部3を有する。CCD基板3Aはシリコン基板からなり、公知の半導体回路作成技術により上面に格子状にCCD16Sが作成されている。なおCCD基板3Aには図示しないが、貫通配線を介して下面に接続用バンプが形成されている。
【0056】
そして、接合工程において、第1レンズ基板11Aとスペーサ基板12Aと第2レンズ基板13Aと弾性スペーサ基板14Aと第3レンズ基板15AとCCD基板3Aとが接合され、接合基板である撮像装置基板4Aが作成される。すなわち撮像装置基板4Aはレンズユニット基板2AにCCD基板3Aが接合された接合基板である。
【0057】
そして、個片化工程において、撮像装置基板4Aは切断されることにより、それぞれの撮像装置4に個片化される。
【0058】
撮像装置4は、実装工程において、別途製造した駆動基板部5、および配線基板部6Pの上に実装され、組立工程においてフレーム部6に固定される。
【0059】
本変形例の撮像装置ユニット1Cは撮像装置ユニット1等が有する効果に加えて、撮像装置4がWCSP技術を用いて製造されているため、大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現できる。
【0060】
<第1実施形態の変形例4>
次に、本発明の第1実施形態の変形例4の撮像装置ユニット1Dについて説明する。本変形例の撮像装置ユニット1Dは第1実施形態の撮像装置ユニット1と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0061】
図10に示すように、撮像装置ユニット1Dは、WCSP法により、撮像装置4および駆動基板部5が、接合基板から一体として個片化される。すなわち、撮像装置ユニット1Dの製造方法では、駆動部基板作成工程で、第1レンズ基板11A等と同様の格子状に配置されている複数の駆動基板部5を有する駆動部基板5Aが作成される。
【0062】
そして、接合工程において、第1レンズ基板11Aとスペーサ基板12Aと第2レンズ基板13Aと弾性スペーサ基板14Aと第2レンズ基板15AとCCD基板3Aと駆動部基板5Aとが接合され、接合基板である駆動部基板付き撮像装置基板4DAが作成される。すなわち駆動部基板付き撮像装置基板4DAは撮像装置基板4Aに駆動部基板5Aが接合された接合基板である。
【0063】
そして、個片化工程において、駆動部基板付き撮像装置基板4DAが切断されることにより、それぞれの撮像装置4および駆動基板部5が、一体の駆動部付き撮像装置4Dとして個片化される。駆動部付き撮像装置4Dは、実装工程において、別途製造した配線基板部6Pの上に実装され、組立工程においてフレーム部6に固定される。
【0064】
本変形例の撮像装置ユニット1Dは撮像装置ユニット1等が有する効果に加えて、駆動部付き撮像装置4DがWCSP技術を用いて製造されているため、大量に一括生産可能であり、高歩留まり、低コストが実現できる。
【0065】
<第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態の撮像装置ユニット1Eについて説明する。本実施形態の撮像装置ユニット1Eは第1実施形態の撮像装置ユニット1と類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0066】
図11に示すように、撮像装置ユニット1Eは、モータM等により上下方向に変位する可動部5EMを有する駆動部である駆動装置5Eを有する。そして撮像装置4の上端部4Hが駆動装置5Eの可動部5EMを介してフレーム部6に固定されており、駆動装置5Eの本体部(固定部)および撮像装置4の下端部4Lがフレーム部6に固定されている。駆動装置5Eは可動部が上下方向に伸縮制御可能であれば、動作原理は2枚の圧電トランスを機械的に結合し、その屈曲運動に伴う移動子の線形運動を利用した超音波モータ等であってもよい。
【0067】
駆動装置5Eの可動部5EMは上下方向に変位することにより、弾性スペーサ基板部14を撮像装置4の光軸O方向に変形する。この弾性スペーサ基板部14の変形により、光路可変構造部9の上部の第1レンズ基板部11および第2レンズ基板部13と光路可変構造部9の下にあるCCD基板部3との間の距離が変化する。言い換えれば、撮像装置4Eのレンズ部11L、13LとCCD16Sとの相対位置関係である光軸O方向の距離が変化する。この光軸O方向の距離変化は、光路長の変化であり、フォーカシング動作に相当する。なおCCD基板部3の移動距離、すなわちフォーカシング量調整は駆動装置5Eにより制御することができる。
【0068】
本実施形態の撮像装置ユニット1Eは撮像装置ユニット1等が有する効果に加えて、駆動装置5Eの変位可能量(ストローク)は駆動基板部5の変位可能量よりも大きくすることが容易であるため、より広範囲のフォーカシング調整を行うことができる。
【0069】
<第2実施形態の変形例1>
次に、本発明の第2実施形態の変形例1の撮像装置ユニット1Fについて説明する。本実施形態の撮像装置ユニット1Fは、第2実施形態の撮像装置ユニット1Eと類似しているため同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
【0070】
図12に示すように、撮像装置ユニット1Fは、レンズユニット部2Fのスペーサ基板部12F1も、弾性スペーサ基板部14と同じように枠部12F1Fが弾性部材からなる。すなわち、レンズユニット部2Fは2つの弾性スペーサ基板部14、12F1を有する。言い換えれば、レンズユニット部2Fは2つの光路可変構造部9F1、9F2を有する。なお、レンズ基板部13は2つの光路可変構造部9F1、9F2の双方に属する。また撮像装置ユニット1Fは、第1の駆動装置5F1および第2の駆動装置5F2の2つの駆動部を有する。
【0071】
そして、第1の駆動装置5F1の本体部(固定部)、第2の駆動装置5F2の本体部(固定部)および撮像装置4の下端部4Lはフレーム部6のベースBに固定されている。撮像装置4Fの上端部4H(第1レンズ基板部11)、すなわち光路可変構造部9F1の上端部は第1の駆動装置5F1の可動部5F1Mを介してフレーム部6に固定されており、光路可変構造部9F2の上端部(第2レンズ基板部13)は第2の駆動装置5F2の可動部5F2Mを介してフレーム部6に固定されている。
【0072】
撮像装置ユニット1Fの第1の駆動装置5F1の可動部5F1Mと第2の駆動装置5F2の可動部5F2Mとは独立して上下方向に変位可能である。第1の駆動装置5F1と第2の駆動装置5F2とが同じ変位をした場合には、撮像装置ユニット1Fの動作および効果は第2実施形態の撮像装置ユニット1Eと同じであり、撮像装置4Fのフォーカシング動作に相当する。
【0073】
これに対して、第1の駆動装置5F1の可動部5F1Mを、ある位置に固定した状態で、第2の駆動装置5F2の可動部5F2Mを、上下方向に変位することにより、光路可変構造部9F2の上部の第2レンズ基板部13と光路可変構造部9の下にあるCCD基板部3との間の距離だけでなく、第2レンズ基板部13と第1レンズ基板部11との間の距離を変化することができる。この光軸O方向の距離変化は、例えばズーミング動作に相当する。
【0074】
また、第2の駆動装置5F2の可動部5F2Mを、ある位置に固定した状態で、第1の駆動装置5F1の可動部5F1Mを、上下方向に変位することにより、光路可変構造部9F1の上部の第1レンズ基板部11と第2レンズ基板部13と間の距離を変化することができる。この光軸O方向の距離変化は、例えばズーミング動作に相当する。
【0075】
本変形例の撮像装置ユニット1Fは撮像装置ユニット1E等が有する効果に加えて、ズーミング動作等を行うことができる。
【0076】
なお、図12に示すように撮像装置ユニット1Fの第3レンズ基板部15Fは、平板レンズではなく凹平レンズを有し、CCDカバー部としての機能だけでなくレンズ機能も有する。
【0077】
また、図12に示すように、撮像装置ユニット1Fの内部に異物等が入り込むのを防止するために、撮像装置4Fの上端部4Hとフレーム部6との隙間に弾性変形する膜からなるカバー部6Fが設けられている。カバー部6Fは、撮像装置4Fの変位を妨げることがなければ、蛇腹構造等を有する非弾性体であってもよい。
【0078】
以上の説明では、3枚のレンズ基板部11、13、15と2枚のスペーサ基板部12、14からなるレンズユニット部2を有する撮像装置ユニットを例に説明した。しかし、より高い光学特性が必要な撮像装置ユニットでは、より多くの数のレンズ基板部が、それぞれスペーサ基板部、または弾性スペーサ基板部を介して接合されているレンズユニット部を用いてもよい。
【0079】
また、撮像装置ユニットのフレーム部およびボディ部を撮像装置ユニット専用部材として構成し、撮像装置ユニットのフレーム部およびボディ部を他のユニットに固定して使用してもよい。
【0080】
以上のように本発明は上述した実施形態または変形例に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更および改変等ができる。
【符号の説明】
【0081】
1、1A〜1F…撮像装置ユニット、2…レンズユニット部、2A…レンズユニット基板、2F…レンズユニット部、3…CCD基板部、3A…CCD基板、4…撮像装置、4A…撮像装置基板、4D…撮像装置、4DA…撮像装置基板、4F…撮像装置、4H…上端部、4L…下端部、5…駆動基板部、5A…駆動部基板、5E…駆動装置、5EM…可動部、5F1…第1駆動装置、5F1M…可動部、5F2…第2駆動装置、5F2M…可動部、5M…移動端、5SS…固定端、5XY、5XYZ…駆動基板部、6、6A、6B…フレーム部、6F…カバー部、6P…配線基板部、6PP…電極パッド、7…ボディ部、9、9A…光路可変構造部、9F1、9F2…光路可変構造部、11…第1レンズ基板部、11A…第1レンズ基板、11L…第1レンズ部、12…スペーサ基板部、12A…スペーサ基板、12F…枠部、12F1…スペーサ基板部、12F1F…枠部、12H…空洞部、13…第2レンズ基板部、13A…第2レンズ基板、13L…第2レンズ部、14…弾性スペーサ基板部、14A…弾性スペーサ基板、14F…枠部、14H…空洞部、15…第3レンズ基板部、15A…第3レンズ基板、15F…第3レンズ基板部、15L…第3レンズ部、16…チップ基板部、16S…CCD、17…接続用バンプ、18…配線基板部、19…フレキシブル配線
【特許請求の範囲】
【請求項1】
レンズ部を有するレンズ基板部が、光路領域が空洞部であり枠部が弾性部材からなる弾性スペーサ基板部を介して接合された構造の、光路可変構造部を有するレンズユニット部と、撮像素子を有する撮像素子基板部と、を有する撮像装置と、
前記弾性スペーサ基板部を変形する駆動部と、
前記撮像装置および前記駆動部が固定されたフレーム部と、を有し、
格子状に配置された複数の前記レンズ基板部を有するレンズ基板が前記格子状に配置された複数の前記弾性スペーサ基板部を有する弾性スペーサ基板を介して接合された接合基板から、前記撮像装置の少なくとも前記レンズユニット部が個片化されたことを特徴とする撮像装置ユニット。
【請求項2】
前記撮像装置の上端部が前記フレーム部に固定されており、下端部が前記駆動部を介して前記フレーム部に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置ユニット。
【請求項3】
前記接合基板の下面に、前記格子状に配置された複数の前記撮像素子基板部を有する撮像素子基板が、さらに接合されており、前記撮像装置が、前記接合基板から一体として個片化されたことを特徴とすることを特徴とする請求項2に記載の撮像装置ユニット。
【請求項4】
前記接合基板の下面に、前記格子状に配置された複数の前記駆動部を有する駆動部基板がさらに接合されており、前記撮像装置および前記駆動部が、前記接合基板から一体として個片化されたことを特徴とする請求項3に記載の撮像装置ユニット。
【請求項5】
前記撮像装置の前記光路可変構造部の上端部が前記駆動部を介して前記フレーム部に固定されており、前記撮像装置の下端部が前記フレーム部に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置ユニット。
【請求項6】
前記駆動部が前記撮像装置の光軸方向に前記弾性スペーサ基板部を変形することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の撮像装置ユニット。
【請求項7】
前記駆動部が前記撮像装置の光軸直交方向に前記弾性スペーサ基板部を変形することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の撮像装置ユニット。
【請求項8】
前記弾性部材が、ゴムであることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の撮像装置ユニット。
【請求項9】
前記駆動部が、積層型圧電素子からなるアクチュエータであることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の撮像装置ユニット。
【請求項1】
レンズ部を有するレンズ基板部が、光路領域が空洞部であり枠部が弾性部材からなる弾性スペーサ基板部を介して接合された構造の、光路可変構造部を有するレンズユニット部と、撮像素子を有する撮像素子基板部と、を有する撮像装置と、
前記弾性スペーサ基板部を変形する駆動部と、
前記撮像装置および前記駆動部が固定されたフレーム部と、を有し、
格子状に配置された複数の前記レンズ基板部を有するレンズ基板が前記格子状に配置された複数の前記弾性スペーサ基板部を有する弾性スペーサ基板を介して接合された接合基板から、前記撮像装置の少なくとも前記レンズユニット部が個片化されたことを特徴とする撮像装置ユニット。
【請求項2】
前記撮像装置の上端部が前記フレーム部に固定されており、下端部が前記駆動部を介して前記フレーム部に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置ユニット。
【請求項3】
前記接合基板の下面に、前記格子状に配置された複数の前記撮像素子基板部を有する撮像素子基板が、さらに接合されており、前記撮像装置が、前記接合基板から一体として個片化されたことを特徴とすることを特徴とする請求項2に記載の撮像装置ユニット。
【請求項4】
前記接合基板の下面に、前記格子状に配置された複数の前記駆動部を有する駆動部基板がさらに接合されており、前記撮像装置および前記駆動部が、前記接合基板から一体として個片化されたことを特徴とする請求項3に記載の撮像装置ユニット。
【請求項5】
前記撮像装置の前記光路可変構造部の上端部が前記駆動部を介して前記フレーム部に固定されており、前記撮像装置の下端部が前記フレーム部に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置ユニット。
【請求項6】
前記駆動部が前記撮像装置の光軸方向に前記弾性スペーサ基板部を変形することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の撮像装置ユニット。
【請求項7】
前記駆動部が前記撮像装置の光軸直交方向に前記弾性スペーサ基板部を変形することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の撮像装置ユニット。
【請求項8】
前記弾性部材が、ゴムであることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の撮像装置ユニット。
【請求項9】
前記駆動部が、積層型圧電素子からなるアクチュエータであることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の撮像装置ユニット。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【公開番号】特開2011−134792(P2011−134792A)
【公開日】平成23年7月7日(2011.7.7)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−291127(P2009−291127)
【出願日】平成21年12月22日(2009.12.22)
【出願人】(000000376)オリンパス株式会社 (11,466)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成23年7月7日(2011.7.7)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年12月22日(2009.12.22)
【出願人】(000000376)オリンパス株式会社 (11,466)
【Fターム(参考)】
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