説明

撮像装置及び撮像方法

【課題】 複数の測定光を被検査物に照射する撮像装置において、測定光の走査領域を制御性良くすることが好ましい。
【解決手段】 本発明に係る撮像装置は、複数の測定光の走査領域が重複する領域である重複領域の大きさに応じて該走査領域の中心間距離あるいは該走査領域の大きさを変更する変更部(ファイバ端の位置調整器115や複数の測定光を走査する走査部103など)を有する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、撮像装置及び撮像方法に関し、特に、複数の測定光を用いて被検査物を撮像する撮像装置及び撮像方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、低コヒーレンス光による干渉を利用した光干渉断層計(OCT:Optical Coherence Tomography)を用いて被検査物の断層画像(以下、光干渉断層画像とも呼ぶ。)を撮る撮像装置(以下、OCT装置とも呼ぶ。)が、医療分野、特に眼科領域で用いられている。OCT装置は、光の性質を利用するため、光の波長のオーダーであるマイクロメートル程度の高分解能で断層画像を取得することができる。
【0003】
眼底などの被検眼を測定する場合、測定中に被験者の動きや瞬き、あるいはランダムに微動(固視微動)することがある。このため、OCT装置で取得した被検眼の断層画像が歪んでしまうという課題がある。
【0004】
ここで、瞳の3次元構造を高速に取得するために、複数の測定光を瞳(前眼部)に照射するOCT装置が、特許文献1に開示されている。測定光1つあたりの走査領域を狭くすることができるため、3次元構造を高速に撮像することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特表2008−508068号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
このとき、複数の測定光を用いて被検眼を撮像する撮像装置において、使用者の簡便性の観点から、測定光の走査領域の制御性、特に、複数の測定光の走査領域が重複する領域である重複領域の大きさの制御性を良くすることが好ましい。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明に係る撮像装置は、
複数の測定光を被検査物に照射する照射手段と、
前記複数の測定光を走査する走査手段と、
前記被検査物における前記複数の測定光の走査領域の重複領域の大きさを指示する指示手段と、
前記指示手段により指示された前記重複領域の大きさに応じて前記走査領域の中心間距離あるいは該走査領域の大きさを変更する変更手段と、
を有することを特徴とする。
【0008】
また、別の本発明に係る撮像装置は、
複数の測定光を被検査物に照射する照射手段と、
前記複数の測定光を走査する走査手段と、
前記被検査物における前記複数の測定光の走査領域の中心間距離、あるいは該走査領域の大きさを指示する指示手段と、
前記指示手段により指示された前記走査領域の中心間距離に応じて該走査領域の大きさを変更、あるいは該指示手段により指示された該走査領域の大きさに応じて該走査領域の中心間距離を変更する変更手段と、
を有することを特徴とする。
【0009】
また、本発明に係る撮像方法は、
複数の測定光を被検査物に照射する工程と、
前記複数の測定光を走査する走査工程と、
前記被検査物における前記複数の測定光の走査領域の重複領域の大きさを指示する工程と、
前記指示された前記重複領域の大きさに応じて前記走査領域の中心間距離あるいは該走査領域の大きさを変更する工程と、
を含むことを特徴とする。
【0010】
また、別の本発明に係る撮像方法は、
複数の測定光を被検査物に照射する工程と、
前記複数の測定光を走査する工程と、
前記被検査物における前記複数の測定光の走査領域の中心間距離、あるいは該走査領域の大きさを指示する工程と、
前記指示された前記走査領域の中心間距離に応じて該走査領域の大きさを変更、あるいは該指示された該走査領域の大きさに応じて該走査領域の中心間距離を変更する工程と、
を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【0011】
複数の測定光を用いて被検眼を撮像する撮像装置において、走査領域の大きさ、走査領域の中心間距離、走査領域の重複領域の大きさのうち少なくとも1つの値を設定することで、他の値を変更することができる。これにより、測定光の走査領域の大きさの制御性、特に、上記重複領域の大きさの制御性を良くすることができるので、使用者の簡便性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】第1の実施形態のOCT装置について説明するためのブロック図。
【図2】第1の実施形態のファイバ端の位置調整器について説明するための図。
【図3】第1の実施形態のセンサに結像される複数の光について説明するための図。
【図4】第1の実施形態のラスタースキャンについて説明するための図。
【図5】第1の実施形態の撮像方法について説明するためのフロー図。
【図6】第1の実施形態の光源の周波数特性とセンサの出力信号を説明するための図。
【図7】第2の実施形態のファイバ端の位置調整器について説明するための図。
【図8】第2の実施形態のラスタースキャンについて説明するための図。
【図9】第1の実施形態の画像合成を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【0013】
本発明に係る撮像装置は、複数の測定光の走査領域が重複する領域である重複領域の大きさに応じて該走査領域の中心間距離あるいは該走査領域の大きさを変更することができる。なお、上記走査領域の中心間距離は、被検眼などの被検査物における複数の測定光の照射位置間隔とも換言できる。上記走査領域の中心間距離の変更は、例えば、後述するファイバ端を移動させる移動部(ファイバ端の位置調整器115など)により実現することができる。また、上記走査領域の大きさの変更は、例えば、後述する複数の測定走を走査する走査部(走査角度を変更する走査ミラー103など)により実現することができる。また、本発明に係る撮像装置は、上記走査領域の中心間距離に応じて該走査領域の大きさを変更することができる。また、本発明に係る撮像装置は、上記走査領域の大きさに応じて該走査領域の中心間距離を変更することができる。
【0014】
以上により、複数の測定光を用いて被検査物を撮像する撮像装置において、測定光の走査領域を制御性良くすることができる。このとき、被検査物における全測定光の走査領域(全撮像範囲)を略一定にして、上記重複領域の大きさを変更するといった制御が可能となる。これは、例えば、被検眼の黄斑や視神経乳頭などの注目領域の大きさに応じて上記重複領域の大きさを変更できる。上記重複領域が上記注目領域になるように複数の測定光を走査すれば、該重複領域から取得した断層画像同士を平均化することで、該注目領域の高画質な断層画像を取得することができる。このとき、全撮像範囲を狭くしてしまうと、眼底全体における注目領域の位置などが分からなくなってしまう。また、全撮像範囲を広くしてしまうと、撮像時間が長くなり、被検眼の固視微動などにより撮像された画像が歪んでいる可能性が大きい。
【0015】
なお、本発明の撮像装置は、使用者の簡便性の観点から、上記重複領域の大きさ、上記走査領域の中心間距離、上記走査領域の大きさのうち少なくとも1つを指示する指示部を有することが好ましい。このとき、本発明に係る撮像装置は、指示部の機能を有する画像(アイコンやスライダなど。表示部に表示されているカーソルによりクリックやドラッグされると、予め設定されている機能を動作させることが可能な形態であれば何でも良い。)をモニタなどの表示部に表示する表示制御部を有することが好ましい。なお、表示部は、装置と一体の形態でも良いし、装置と着脱可能な形態でも良いし、装置と有線や無線で通信可能な形態でも良い。
【0016】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を用いて説明する。
【0017】
(第1の実施形態)
本実施形態の撮像装置について図1を用いて説明する。図1は、本実施形態のOCT装置について説明するためのブロック図である。ここでは、被検眼などの被検査物に照射する複数の測定光として、4つの測定光を用いるOCT装置について説明する。なお、図を簡略化するため、4つの測定光はまとめて1本の光線として描いている。また、本実施形態は、複数の測定光を伝送する際に、光ファイバを用いているが、本発明はこれに限らない。また、本実施形態は、SD−OCTであるが、本発明は他の種類のOCT(TD−OCTやSS−OCT)やSLOなども適用することができる。
【0018】
まず、光源101から出射した4本の光は、ビームスプリッタ102によって参照光112と測定光111とにそれぞれ分割される。ファイバ端(測定光を被検査物に照射する照射部とも呼ぶ。)の位置調整器115(ファイバ端の移動部とも呼ぶ。)により4本の測定光111を射出するファイバ端の位置が調整される。この後、測定光111はレンズ116を介してXYミラー103(走査部とも呼ぶ。)に照射される。XYミラー103は、本装置全体の制御を司るCPUの命令に応じて測定光111を観察対象である眼の眼底をラスタースキャンするように往復回転する。XYミラー103で反射された4本の測定光111は、観察対象である眼105にそれぞれ照射される。眼105に照射された測定光111は、眼底での反射や散乱により戻り光113となって戻された後、レンズ116を介してビームスプリッタ102に照射され、ビームスプリッタ102によって、参照光112と合波されて4本の干渉光114(あるいは合成光とも呼ぶ。)となる。4本の干渉光114は、レンズ118を介して回折格子107に入射され、回折格子107によりそれぞれ分光され、レンズ108によりラインセンサ109上にそれぞれ結像される。ここでは、4本の光電変換素子列を有する4ラインセンサを用いるが、エリアセンサでも代用できる。ラインセンサ109で光電変換された4本の干渉光に対する4つの画像情報は、画像情報処理部110において、それぞれA/D変換された後、フーリエ変換される。更には、4つの画像情報を合成することにより、眼105の眼底の断層画像(光干渉断層画像とも呼ぶ。)を取得する。本実施形態では、眼底の10mm四方の領域を上下左右に4分割し、それぞれの領域に測定光111を1本づつ照射することにより、10mm四方の眼底を撮像する。
【0019】
次に、光源101の周辺について説明する。光源101は代表的な低コヒーレント光源であるSLD(Super Luminescent Diode)である。波長は840nm、バンド幅50nmである。ここで、バンド幅は、得られる断層画像の光軸方向の分解能に影響するため、重要なパラメータである。また、光源の種類は、ここではSLDを選択したが、低コヒーレント光が出射できればよく、ASE(Amplified Spontaneous Emission)等も用いることができる。また、光源の波長は眼を測定することを鑑みると、近赤外光が適している。更には、得られる断層像の横方向の分解能に影響するため、なるべく短波長であることが望ましい。そこで、ここでは、840nmの波長を有する光源を使用する。観察対象の測定部位によっては、他の波長を選んでももちろん構わない。
【0020】
また、ビームスプリッタ102によって分割された参照光112は、ミラー106により反射され、ビームスプリッタ102に戻る。この光路長を測定光111と同じ長さにすることにより、参照光と測定光を干渉させることができる。
【0021】
ここで、測定光111の光路について説明する。図2はファイバ端の位置調整器115を説明するための図である。図2(a)は、ファイバ端の位置調整器115を光ファイバ端側から見た断面図である。202は4本の光である。4本の光ファイバ202は、それぞれファイバ固定部材203で固定されている。4本の光ファイバは2本ずつ、2組のファイバユニット201にまとめられた構成となっている。図2(b)は、2本の光ファイバをまとめたファイバユニット201の断面図である。また、図2(c)は、ファイバ端の位置調整器115を一点破線209を通り、光ファイバ202に対して平行に切りとった断面図である。図2(c)に示すように、光ファイバ202を介してファイバ端の位置調整器115に入射された測定光111は、ファイバ端208からレンズ116に向かって照射される。また、ファイバ固定ユニット201は中央の壁204により2つの空間に分かれている。各空間にはファイバ固定部材203が収まっている。ファイバ固定部材203は、ファイバユニット201内の空間を左右方向に自由に移動できるような構成となっているが、ネジ206とバネ205の圧力により、空間内で固定されている。ネジ206には不示図のモータが接続されており、本装置を制御するCPUからの命令により回転する。
【0022】
また、図2(a)に示すように、ファイバ端の位置調整器115内は壁207により2つの空間に分かれており、2つのファイバユニット201は、ファイバ端の位置調整器115内の2つの空間にそれぞれ収まっている。ファイバユニット201は、ファイバ端の位置調整器115内の空間を上下方向に自由に移動できるような構成となっているが、ネジ206とバネ205の圧力により、空間内で固定されている。ネジ206には不示図のモータが接続されており、本装置を制御するCPUからの命令により回転する。通常、4本の光ファイバ202は、ファイバ端の位置調整器115の中心208に対して、上下左右等間隔に配置されている。4本の光ファイバ202の間隔dは、CPUの命令により、ネジ206に接続されたモータを回転し、変更することが可能である。即ち、ファイバ端の位置調整器115により眼底上に照射される4つの測定光111の間隔を変更することが可能となっている。
【0023】
ビームスプリッタ102によって分割された測定光111は、XYミラー103のミラーに入射される。ここでは、図を簡略化するため、XYミラー103は一つのミラーとして記したが、実際にはXスキャン用ミラーとYスキャン用ミラーとの2枚のミラーが近接して配置され、レンズ104を介して眼105の網膜上を光軸に垂直な方向にラスタースキャンするものでもよい。レンズ104は網膜上に測定光111を集光するものである。これらの光学系により、測定光111は眼105に入射すると、眼105の網膜からの反射や散乱により戻り光113となる。
【0024】
図4は、眼底を4本の測定光111を用いてラスタースキャンする方法を説明する図である。図4(a)は、眼底の10mm四方を上下左右に4つに分割し、4本の測定光111をそれぞれ眼底上で5mm幅でラスタースキャンする様子を示している。図中の4つの黒丸401は、各測定光がそれぞれの走査領域をラスタースキャンする上での中心を示している。つまり、XYミラー103が基準位置、即ち回転の中心位置にいるときの測定光111の照射位置を示している。
【0025】
ラスタースキャンする幅、即ち眼底上の走査領域は、XYミラー103を回転する角度を本装置の制御を司るCPUを介して変更することにより、容易に変更することが可能である。
【0026】
図4(b)は、ラスタースキャンの幅を7.5mmに広げた場合の眼底上の走査領域を表わす図である。図中402で表わされる中心の領域は、4本の測定光が全て走査した領域を表わしており、面積は6.25mmとなっている。また、403は2本づつの測定光が走査した領域を表わしており、面積は50mm。最終的には、4本の測定光で撮影した眼底像は、画像処理部110で合成されることになるが、402で表わされた領域は、走査領域を広げずにラスタースキャンしたときの画像情報の4倍の情報量を持つことになり、SN比が向上することになる。同様に、403で表わされた領域は、走査領域を広げずにラスタースキャンしたときの画像情報の2倍の情報量を持つことになる。
【0027】
また、干渉光114は、回折格子107により分光される。この分光された光は、光源の中心波長やバンド幅と同じ波長条件で分光を行う。すなわち、図6(a)に示すように、周波数特性の光を、回折格子107、レンズ108を介してラインセンサ109の光電変換素子列109−1〜4(後述)に照射することになる。すると、図6(b)に示すように、図6(a)の横軸である光の波長がラインセンサ109の光電変換素子列109−1〜4の0〜1023の画素位置(図6(b)の横軸)となる。なお、117は、4本の干渉光114を回折格子107に入射する位置を固定するためのファイバ端の固定部である。
【0028】
また、図3(a)は、ラインセンサ109に結像される4本の干渉光114の様子を説明する図である。ファイバ端固定部117には、4本の干渉光114をそれぞれ伝送するための4本の光ファイバが固定されている。ラインセンサ109は、4本の光電変換素子列109−1〜4を有している。ファイバ端固定部117に固定された光ファイバ117−1〜4から照射される干渉光114は、レンズ118、回折格子107、レンズ108を介し、それぞれ光電変換素子列109−1〜4上に結像される。
なお、上記各ユニット等の動作は図1に不図示のCPUで制御されている。
【0029】
測定光111のラスタースキャンの幅を広げることにより、中心領域の画質を向上させることが可能であることは既に説明した。更に、ファイバ端の位置調整器115により、測定光111の眼底上の照射位置間隔の変更を組み合わせることにより、撮像時間をあまり伸ばさずに画質向上を実現することも可能である。
【0030】
図4(c)は、ラスタースキャンの幅を5mmから7.5mmに広げたうえ、ファイバ端の位置調整器115により4つのファイバ端の位置を中心方向に縦横1.25 mm移動した場合の眼底上の走査領域を表わす図である。図4(b)と同様に、402で表わされた領域は、4本の測定光が全て走査した領域を表わし、面積は25mmとなっている。また、403で表わされた領域は2本づつの測定光が走査した領域を表わし、面積は50mmとなっている。
【0031】
ラスタースキャンの幅は5mmから7.5mmに1.5倍に広げることにより、走査時間、即ち撮像時間は二乗である2.25倍と長くなるが、4倍の情報量を持つ領域が全領域の1/4となり、高画質を求められる撮像には大変有効な撮像方法となる。
【0032】
以上のような構成のOCT装置において本発明の動作を図5のフローチャートに従い説明する。ここでは、被測定者の眼底に対して検診用の撮像を行い、検診用の画像から疾患の可能性があると判断された場合に、より高画質な撮像を行う場合について説明する。
【0033】
最初に、検診用の第一の撮像モードの設定を行う(ステップ501、以下S501)。即ち、図4(a)に示すように、眼底の10mm四方を上下左右に4等分し、それぞれの領域を測定光111が重なり無く5mm四方をラスタースキャンするように、ファイバ端の位置調整器115、及びXYミラー103を設定・制御する。次に、S201で設定された第一の撮像モードにおいて、被測定者の眼底像を測定光111でラスタースキャンすることにより、眼底像を撮像する(S502)。続いて、画像処理部110において、4本のラインセンサ109出力をフーリエ変換、画像合成を行い、眼底の断層像を生成する(S503)。
【0034】
S503で生成された眼底の断層像を、ディスプレイ等の表示装置に表示し、被測定者に目の疾患がある可能性があるか否かを判断する(S504)。ここでは、ディスプレイに表示された眼底の断層像を、医師が目視で確認することにより、疾患の可能性の有無を判断しても良いし、眼底の断層像をコンピュータで解析することにより疾患の可能性の有無を判断しても良い。S504で被測定者に眼底の疾患が無いと判断された場合には、測定は終了となる。また、S504で被測定者に眼底の疾患が有ると判断された場合には、詳細な撮像用の第2の撮像モードを設定する(S505)。即ち、ファイバ端の位置調整器115に接続された不図示のモータをCPUを用いて制御し、XYミラー103が基準位置、即ち回転の中心位置にいるときの測定光111の照射位置を変更する。具体的には、図4(b)に示したように、4本の測定光111をそれぞれ上下左右方向ともに0.625mm中央方向に移動させる。
【0035】
次に、ラスタースキャン幅を変更するために、XYミラー103の回転角度を変更する。具体的には、各測定光111が眼底上でラスタースキャンする幅が6.25mmとなるようにXYミラー103を制御する設定を施す。ここでは、患者の眼底の疾患の疑いがある箇所が眼底像の中央にある場合を想定して説明したが、疾患の疑いがある箇所が眼底の中央に無い場合には、被測定者の目の向きを変更するときに用いる固視灯の位置を変更することにより対応すれば良い。次に、S505で設定されたモードにおいて、被測定者の眼底像を測定光111でラスタースキャンすることにより、眼底像を撮像する(S506)。続いて、画像処理部110において、4本のラインセンサ109出力をフーリエ変換、画像合成を行い、眼底の断層像を生成し(S507)、被測定者の眼底の撮像を終了する。
【0036】
図9は、本実施形態における画像合成を説明するための図である。1102〜1105はで示した図4(c)で示した走査領域1101を、各測定光111で走査する領域をそれぞれ下方向から見た状態を表わしている。ここで画像合成とは、各測定光111で撮像した領域を各画素ごとに加算平均することを意味している。1106は、1101の(A)で表わされた領域の加算平均後の状態を示しており、1107は、1101の(B)で表わされた領域の加算平均後の状態を示している。つまり、S506での撮像は、S502での検診モードでの撮像に対して、図4(c)に示すように中央部402の画像情報は4倍、403で示した領域は2倍の情報量となり、S507で生成される眼底の断層画像は、高画質な画像となる。
【0037】
(第2の実施形態)
第1の実施形態では、2×2=4本の測定光を用いて眼底の断層画像を撮る撮像方法であった。一方、本実施形態では、3×3=9本の測定光により眼底の断層画像を撮る撮像方法である。図8は、眼底を9本の測定光111を用いたラスタースキャンを説明する図である。図8(a)は、眼底の10mm四方を上下左右に9つに分割し、9本の測定光111をそれぞれ眼底上で3.3mm幅でラスタースキャンする様子を示している。図中の9つの黒丸801は、各測定光がそれぞれの走査領域をラスタースキャンする上での中心を示している。つまり、XYミラー103が基準位置、即ち回転の中心位置にいるときの測定光111の照射位置を示している。
【0038】
図8(b)は、ラスタースキャンの幅を5mmに広げた場合の眼底上の走査領域を表わす図である。図中802で表わされる中心の領域は、9本の測定光の内、4本の測定光が走査した領域を表わし、面積は25mmとなっている。また、803は2本の測定光が走査した領域を表わし、面積は50mmとなっている。最終的には、9本の測定光で撮影した眼底像は、画像処理部110で合成されることになるが、802で表わされた領域は、走査領域を広げずにラスタースキャンしたときの画像情報の4倍の情報量を持つことになり、SN比が向上することになる。同様に、803で表わされた領域は、走査領域を広げずにラスタースキャンしたときの画像情報の2倍の情報量を持つことになる。
【0039】
ラスタースキャンの幅は3.3mmから5mmに1.5倍に広げることにより、走査時間、即ち撮像時間は二乗である2.25倍と長くなるが、4倍の情報量を持つ領域が全領域の1/4となり、高画質を求められる撮像には大変有効な撮像方法となる。
【0040】
なお、上記実施形態では、ファイバ端の位置調整器115を、図7に示すように、9本のファイバ端を調整できる機構としている。また、センサの構成も、図3(b)に示すように、3ラインセンサーの3つの光電変換素子列にそれぞれ3つの分光された干渉光を並べて照射する構成としている。なお、ブロック図や動作シーケンスなどについては、測定光の本数によって何ら変更する必要がないため、ここでは説明を省略する。
【0041】
(その他の実施形態)
また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。即ち、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェア(プログラム)を、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ(またはCPUやMPU等)がプログラムを読み出して実行する処理である。
【符号の説明】
【0042】
101 光源
103 XYミラー
105 眼
106 ミラー
107 回折格子
109 ラインセンサ
110 画像情報処理部
111 測定光
112 参照光
113 戻り光
114 干渉光
115 ファイバ端の位置調整器

【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の測定光を被検査物に照射する照射手段と、
前記複数の測定光を走査する走査手段と、
前記被検査物における前記複数の測定光の走査領域の重複領域の大きさを指示する指示手段と、
前記指示手段により指示された前記重複領域の大きさに応じて前記走査領域の中心間距離あるいは該走査領域の大きさを変更する変更手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項2】
複数の測定光を被検査物に照射する照射手段と、
前記複数の測定光を走査する走査手段と、
前記被検査物における前記複数の測定光の走査領域の中心間距離、あるいは該走査領域の大きさを指示する指示手段と、
前記指示手段により指示された前記走査領域の中心間距離に応じて該走査領域の大きさを変更、あるいは該指示手段により指示された該走査領域の大きさに応じて該走査領域の中心間距離を変更する変更手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項3】
前記走査領域の中心間距離の変更が、前記被検査物における前記複数の測定光の照射位置間隔の変更であることを特徴とする請求項1あるいは2に記載の撮像装置。
【請求項4】
前記照射手段が、前記複数の測定光を前記被検査物に射出する複数のファイバ端を有し、
前記変更手段が、前記複数のファイバ端を移動させる移動手段を有することを特徴とする請求項3に記載の撮像装置。
【請求項5】
前記走査手段が、走査ミラーを有し、
前記走査領域の大きさの変更が、前記走査手段の走査角度を変更することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像装置。
【請求項6】
前記指示手段の機能を有する画像を表示手段に表示する表示制御手段を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の撮像装置。
【請求項7】
複数の測定光を照射した前記被検査物からの複数の戻り光と、該複数の測定光にそれぞれ対応する複数の参照光と、をそれぞれ合成した複数の合成光に基づく該被検査物の光干渉断層画像を取得する取得手段を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の撮像装置。
【請求項8】
複数の測定光を被検査物に照射する工程と、
前記複数の測定光を走査する走査工程と、
前記被検査物における前記複数の測定光の走査領域の重複領域の大きさを指示する工程と、
前記指示された前記重複領域の大きさに応じて前記走査領域の中心間距離あるいは該走査領域の大きさを変更する工程と、
を含むことを特徴とする撮像方法。
【請求項9】
複数の測定光を被検査物に照射する工程と、
前記複数の測定光を走査する工程と、
前記被検査物における前記複数の測定光の走査領域の中心間距離、あるいは該走査領域の大きさを指示する工程と、
前記指示された前記走査領域の中心間距離に応じて該走査領域の大きさを変更、あるいは該指示された該走査領域の大きさに応じて該走査領域の中心間距離を変更する工程と、
を含むことを特徴とする撮像方法。
【請求項10】
複数の測定光を照射した前記被検査物からの複数の戻り光と、該複数の測定光にそれぞれ対応する複数の参照光と、をそれぞれ合成した複数の合成光に基づく該被検査物の光干渉断層画像を取得する工程を含むことを特徴とする請求項8あるいは9に記載の撮像方法。
【請求項11】
請求項8乃至10のいずれか1項に記載の撮像方法をコンピュータで実行するプログラム。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【図8】
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【図9】
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【公開番号】特開2011−212206(P2011−212206A)
【公開日】平成23年10月27日(2011.10.27)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−82815(P2010−82815)
【出願日】平成22年3月31日(2010.3.31)
【出願人】(000001007)キヤノン株式会社 (59,756)
【Fターム(参考)】