板状物の研削方法
【課題】簡易な構成によって板状物を所望の厚みに調整することができ、さらに生産性を向上させると共にコストを低減すること。
【解決手段】本発明の板状物の研削方法は、外部刺激によって硬化する液状部材によって、貼着テープ（９２）上に複数の板状物（Ｗ）の仕上げ厚みよりも厚くリング部材（９３）を形成するステップと、チャックテーブル（３１）の回転中心にリング部材（９３）の中心を位置付けるように、チャックテーブル（３１）上に複数の板状物（Ｗ）を保持するステップと、ハイトゲージ（５１）によってリング部材（９３）の厚みを測定しながら、研削ユニット（４）によってリング部材（９３）及び複数の板状物（Ｗ）を仕上げ厚みまで研削するステップとを有する構成とした。
【解決手段】本発明の板状物の研削方法は、外部刺激によって硬化する液状部材によって、貼着テープ（９２）上に複数の板状物（Ｗ）の仕上げ厚みよりも厚くリング部材（９３）を形成するステップと、チャックテーブル（３１）の回転中心にリング部材（９３）の中心を位置付けるように、チャックテーブル（３１）上に複数の板状物（Ｗ）を保持するステップと、ハイトゲージ（５１）によってリング部材（９３）の厚みを測定しながら、研削ユニット（４）によってリング部材（９３）及び複数の板状物（Ｗ）を仕上げ厚みまで研削するステップとを有する構成とした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小形の板状物を研削して所定の厚みに薄化する板状物の研削方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
小形の板状物の研削時には、リングフレームの開口を塞ぐように貼着テープが貼着され、この貼着テープに貼り付けられた状態で複数の小形の板状物が研削装置に搬入される。研削装置に搬入された複数の板状物は、貼着テープを介してチャックテーブル上に保持され、鉛直軸回りに回転した研削砥石の研削面に当接される。このように、研削砥石の研削面と複数の板状物の上面（裏面）とを平行状態で回転接触させることで、複数の板状物が同時に研削される。
【０００３】
従来、このような板状物の研削方法として、貼着テープ上に研削対象の板状物とは別に厚み測定用のウェーハを設けたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の板状物の研削方法では、リングフレームに張られた貼着テープの中央に円板状のウェーハが貼着され、このウェーハの周囲に複数の板状物が貼着されている。研削装置ではウェーハと複数の板状物が同時に研削され、測定用のウェーハの厚みを測定しながら研削することで板状物が所望の厚みに調整される。
【０００４】
また、このような板状物の研削方法として、厚み測定用にシリコンでリングフレームを形成したものが知られている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の板状物の研削方法では、切削装置によって薄板のシリコンウェーハをリング状に切断して、リング状のウェーハフレームが形成されている。このウェーハフレームに貼着テープが貼り付けられると共に、貼着テープ上に複数の板状物が貼着される。研削装置ではウェーハフレームと複数の板状物が同時に研削され、測定用のウェーハフレームの厚みを測定しながら研削することで板状物が所望の厚みに調整される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−０８２３１９号公報
【特許文献２】特開２００１−３５１８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の板状物の研削方法は、貼着テープの中央に円板状のウェーハが設けられているため、小形の板状物用の貼着スペースが減少し、生産性が悪化するという問題があった。また、特許文献２の板状物の研削方法では、厚み測定用のウェーハフレームがリングフレームとしての機能を兼ねているため、研削後には薄くなったウェーハフレームにより板状物を適切に保持できないおそれがあった。また、切削装置によってリングフレームが形成され、さらに一度の研削によってリングフレームが廃棄されるため、コストが増加していた。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、簡易な構成によって板状物を所望の厚みに調整することができ、さらに生産性を向上させると共にコストを低減できる板状物の研削方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の板状物の研削方法は、上面に板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対峙して配設された研削ホイールを備えた研削手段と、前記チャックテーブルに保持された板状物の厚みを測定する厚み測定手段と、から少なくとも構成される研削装置を用いて板状物を研削して所定の厚さに仕上げる板状物の研削方法であって、外部刺激により硬化する液状樹脂を前記所定の厚さよりも厚くリング形状に成形しリング形状測定部材を形成するリング形状測定部材形成ステップと、前記リング形状測定部材および複数の板状物を支持部材に貼着して前記リング形状測定部材と前記板状物とを一体にする一体貼着ステップと、前記複数の板状物と一体となった前記リング形状測定部材の中心を前記チャックテーブルの回転中心に位置付けて前記チャックテーブルに保持する保持ステップと、前記チャックテーブルに保持された前記リング形状測定部材及び複数の板状物を前記研削手段によって研削する研削ステップと、から構成され、前記研削ステップでは、前記リング形状測定部材の厚さを測定して研削された板状物の厚さを間接的に検出する、ことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、仕上げ厚さよりも厚くリング形状測定部材を形成し、リング形状測定部材の厚さ測定によって間接的に板状物の厚さを検出しながら仕上げ厚さまで研削される。この場合、リング形状測定部材が細幅のリング状に形成されているため、支持部材上に板状物用に貼着スペースを広く確保することができ、多くの板状物を同時に研削して生産性を向上できる。また、外部刺激により硬化する液状樹脂によってリング形状測定部材が容易に形成されるため、切削装置でシリコンウェーハを切削してリング形状測定部材が形成される構成と比較してコストを低減することができる。
【００１０】
本発明の板状物の他の研削方法は、上面に板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対峙して配設された研削ホイールを備えた研削手段と、前記チャックテーブルに保持された板状物の厚みを測定する厚み測定手段と、から少なくとも構成される研削装置を用いて板状物を研削して所定の厚さに仕上げる板状物の研削方法であって、支持部材の上面に複数の板状物を貼着する前または後に、前記複数の板状物が貼着される領域以外の前記支持部材の上面上に、外部刺激により硬化する液状樹脂を前記所定の厚さよりも厚くリング形状に成形しリング形状測定部材を形成するリング形状測定部材形成ステップと、前記複数の板状物と一体となった前記リング形状測定部材の中心を前記チャックテーブルの回転中心に位置付けて前記チャックテーブルに保持する保持ステップと、前記チャックテーブルに保持された前記リング形状測定部材及び複数の板状物を前記研削手段によって研削する研削ステップと、から構成され、前記研削ステップでは、前記リング形状測定部材の厚さを測定して研削された板状物の厚さを間接的に検出する、ことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、仕上げ厚さよりも厚くリング形状測定部材を形成し、リング形状測定部材の厚さ測定によって間接的に板状物の厚さを検出しながら仕上げ厚さまで研削される。この場合、支持部材の上面において複数の板状物が貼着される領域外でリング形状測定部材がリング状に形成されている。このため、支持部材上に多くの板状物の貼着スペースが確保されて生産性が向上される。また、外部刺激により硬化する液状樹脂によってリング形状測定部材が容易に形成されるため、切削装置でシリコンウェーハを切削してリング形状測定部材が形成される構成と比較してコストを低減することができる。さらに、支持部材の上面に直にリング形状測定部材が形成されるため、作業工数を減らすことができる。
【００１２】
また、本発明の上記板状物の研削方法において、前記リング形状測定部材形成ステップでは、回転する回転テーブル上に回転中心から所定距離離した位置に前記液状樹脂を滴下するとともに外部刺激を加えて硬化させ、所定の厚さよりも厚くリング形状測定部材を形成する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、簡易な構成によって板状物を所望の厚みに調整することができ、さらに生産性を向上させると共にコストを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１の実施の形態に係る複数の板状物の斜視図である。
【図２】第１の実施の形態に係るリング部材形成工程の一例を示す図である。
【図３】第１の実施の形態に係るリング部材形成工程の他の一例を示す図である。
【図４】第１の実施の形態に係る研削装置の一例を示す斜視図である。
【図５】第１の実施の形態に係る研削装置による研削加工の一例を示す図である。
【図６】第２の実施の形態に係る研削装置の一例を示す斜視図である。
【図７】第２の実施の形態に係る研削装置によるリング部材の形成工程の一例を示す図である。
【図８】変形例における板状物の研削方法の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、第１の本実施の形態について説明する。図１は、貼着テープに貼着された複数の板状物の斜視図である。第１の実施の形態に係る板状物の研削方法は、貼着テープ外で形成したリング部材（リング形状測定部材）を貼着テープに貼り付けた後に、研削装置に搬入する方法である。
【００１６】
図１に示すように、金属製のリングフレーム９１の下面に貼着テープ（支持部材）９２が貼り付けられ、この貼着テープ９２に複数の小形の板状物Ｗが貼り付けられている。各板状物Ｗは、難削材によって小径（例えば、１〜３インチ）の円板状に形成されている。複数の板状物Ｗは、貼着テープ９２の中央において二重の円を描くように２列に配置されている。また、貼着テープ９２上には、この内側に並んだ板状物Ｗと外側に並んだ板状物Ｗとを区画するように細幅のリング部材９３が設けられている。
【００１７】
リング部材９３は、ＵＶ照射で硬化する紫外線硬化樹脂によって、貼着テープ９２の上面からリング状に突出するように形成されている。リング部材９３は、板状物Ｗと略同一の厚さを有しており、板状物Ｗの最終的な仕上げ厚さよりも厚く形成されている。このため、研削装置１（図４参照）では複数の板状物Ｗと共にリング部材９３が仕上げ厚さまで研削され、研削加工中のリング部材９３の厚さ測定によって複数の板状物Ｗの厚さが間接的に検出される。
【００１８】
なお、リング部材９３は、板状物Ｗの仕上げ厚さよりも厚ければ、研削前の板状物Ｗよりも厚く形成されてもよいし、研削前の板状物Ｗよりも薄く形成されてもよい。また、リング部材９３は、外部刺激により硬化する液状樹脂で形成される構成であればよく、例えば、熱硬化する熱硬化樹脂で形成されてもよい。ここでいう外部刺激とは、紫外線や熱だけでなく、その他放射線、電子線、電界、化学反応等の少なくともいずれかによる刺激をいう。また、板状物Ｗは、支持部材として貼着テープ９２の代わりにガラス等の剛性板上に接着剤（例えば、ワックス）によって固定されてもよい。
【００１９】
なお、板状物Ｗとしては、セラミック、ガラス、サファイヤ（Al2O3）系の無機材料基板、化合物半導体等の難切削が含まれる。また、板状物Ｗは、シリコンウェーハ、ガリウムヒソ等の半導体ウェーハでもよい。また、板状物Ｗは、小径の円板状に限定されるものではなく、矩形状の小形チップ等でもよい。さらに、板状物Ｗの配置は、貼着テープ９２上でリング部材９３から外れた位置であれば、特に限定されない。
【００２０】
図２を参照して、第１の実施の形態に係るリング部材の形成について説明する。図２は、リング部材形成工程の一例を示す図である。
【００２１】
図２に示すように、リング部材形成工程では、上型１１及び下型１２を用いてリング部材９３が形成される（リング形状測定部材形成ステップ）。下型１２は、ガラス等のように紫外線透過性を有すると共に紫外線硬化樹脂に対して非相溶性の材質で厚板状に形成されている。下型１２の上面には、紫外線硬化樹脂が充填されるリング状の溝部１３が形成されている。上型１１は、下型と同様な材質で薄板状に形成されている。リング状の溝部１３は、下型１２の上面に上型１１が載置されることで液密に封止される。また、上型１１には、外部から溝部１３内に紫外線硬化樹脂を充填するための貫通孔１４が形成されている。
【００２２】
なお、上型１１及び下型１２は、紫外線透過性を有すると共に紫外線硬化樹脂に対して非相溶性の材質であれば、特に材質は限定されない。また、上型１１及び下型１２の片方だけが、紫外性透過性材料で形成されてもよい。この場合、紫外性透過性材料で形成された側から紫外線を照射するようにする。
【００２３】
先ず、図２Ａに示すように、ディスペンサ７１から上型１１の貫通孔１４を介して下型１２の溝部１３に液状の紫外線硬化樹脂が流し込まれる。紫外線硬化樹脂は、下型１２のリング状の溝部１３に沿ってリング状に流れ込む。次に、図２Ｂに示すように、上型１１の上方に位置付けられたＵＶ光源７２から紫外線硬化樹脂に対してＵＶ光が照射される。ＵＶ光は上型１１及び下型１２を透過して紫外線硬化樹脂を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させる。そして、図２Ｃに示すように、硬化した紫外線硬化樹脂が上型１１及び下型１２から取り外されて細幅のリング部材９３が形成される。
【００２４】
なお、リング部材９３の形成方法は、上型１１及び下型１２を用いる方法に限定されない。例えば、図３に示すように、リング部材９３は、回転テーブル７３上で形成される構成でもよい。この場合、図３Ａに示すように、回転テーブル７３を回転させながら、ディスペンサ７１から回転テーブル７３の中心から所定距離離れた位置に紫外線硬化樹脂を滴下する。これにより、紫外線硬化樹脂がリング状に形成される。次に、図３Ｂに示すように、リング状の紫外線硬化樹脂にＵＶ光源７２からＵＶ光を照射してリング部材９３が形成される。
【００２５】
このように形成されたリング部材９３は、図示しないテープマウンタにおいて複数の板状物Ｗと共に貼着テープ９２に貼り付けられる（一体貼着ステップ）。この場合、リング部材９３の中心が貼着テープ９２の中心に位置合わせされている。また、リング部材９３が細幅のリング状に形成されているため、複数の板状物Ｗの貼着スペースが広く確保される。よって、多数の板状物Ｗを貼着テープ９２に貼着可能なため生産性を向上できる。
【００２６】
図４を参照して、第１の実施の形態に係る研削装置について説明する。図４は、研削装置の一例を示す斜視図である。
【００２７】
図４に示すように、研削装置１は、複数の板状物Ｗが保持されたチャックテーブル３１と研削ユニット（研削手段）４の研削ホイール４４とを相対回転させることで、板状物Ｗを研削するように構成されている。研削装置１は、略直方体状の基台２を有している。基台２の上面には、一対のチャックテーブル３１（１つのみ図示）が配置されたターンテーブル３が設けられている。ターンテーブル３の後方には、研削ユニット４を支持する壁部２１が立設されている。また、基台２の内部には、研削装置１の各部を統括制御する制御部５が設けられている。
【００２８】
ターンテーブル３は、大径の円板状に形成されており、上面には回転軸を中心とした点対称位置に一対のチャックテーブル３１が配置されている。また、ターンテーブル３は、図示しない回転駆動機構に接続されており、回転駆動機構によって矢印Ｄ１方向に１８０度間隔で間欠回転される。このため、一対のチャックテーブル３１は、板状物Ｗが搬入搬出される載せ換え位置と研削ユニット４に対峙する研削位置との間で移動される。
【００２９】
チャックテーブル３１は、小径の円板状に形成されており、ターンテーブル３の上面に回転可能に設けられている。チャックテーブル３１の上面中央部分には、ポーラスセラミック材により吸着面３２が形成されている。チャックテーブル３１の周囲には、環状のマグネット３３が設けられている。複数の板状物Ｗの周囲のリングフレーム９１は、磁性体で形成されているため、環状のマグネット３３によって吸着固定される。
【００３０】
基台２の上面において、ターンテーブル３の研削位置の近傍にはハイトゲージ（厚み測定手段）５１が設けられている。ハイトゲージ５１は、１本の接触子５２を有しており、研削加工中に接触子５２をリング部材９３の上面に接触可能に構成されている。ハイトゲージ５１によってリング部材９３の厚さが測定されることで、リング部材９３と同時に研削される複数の板状物Ｗの厚さが間接的に測定される。ハイトゲージ５１による測定値は、伝送路を介して制御部５に入力される。なお、ハイトゲージ５１は、リング部材９３の厚みを測定可能であればよく、例えば、非接触式のハイトゲージでもよい。
【００３１】
壁部２１には、研削ユニット４を上下動させる研削ユニット移動機構６が設けられている。研削ユニット移動機構６は、壁部２１の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６１と、一対のガイドレール６１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル６２とを有している。Ｚ軸テーブル６２の前面には、研削ユニット４が支持されている。Ｚ軸テーブル６２の背面には、壁部２１の開口２２を介して後方に突出したナット部が設けられている。
【００３２】
Ｚ軸テーブル６２のナット部には、壁部２１の裏面に設けられたボールネジが螺合されている。そして、ボールネジの一端部に連結された駆動モータ６４が回転駆動されることで、研削ユニット４がガイドレール６１に沿ってＺ軸方向に移動される。この場合、研削ユニット４のＺ軸方向の移動位置は、図示しないリニアスケールによって測定され、伝送路を介して制御部５に入力される。制御部５は、リニアスケールからの測定値と、ハイトゲージ５１からの測定値に基づき、研削ユニット４の移動量を高精度に制御している。
【００３３】
研削ユニット４は、円筒状のスピンドル４１の下端にマウント４２が設けられている。マウント４２には、複数の研削砥石４３が固定された研削ホイール４４が装着されている。研削砥石４３は、例えば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドやレジンボンド等の結合剤で固めたダイヤモンド砥石で構成されている。研削砥石４３は、スピンドル４１の駆動に伴ってＺ軸回りに高速回転される。そして、研削砥石４３の研削面と複数の板状物Ｗの上面とが平行状態で回転接触させることで、リング部材９３と共に複数の板状物Ｗが研削される。
【００３４】
図５を参照して、第１の実施の形態に係る研削装置による研削加工について説明する。図５は、研削装置による研削加工の一例を示す説明図である。
【００３５】
図５Ａに示すように、貼着テープ９２を介して複数の板状物Ｗがチャックテーブル３１に保持されると、チャックテーブル３１周囲の環状のマグネット３３によりリングフレーム９１が固定される（保持ステップ）。このとき、リング部材９３の中心が、チャックテーブル３１の回転中心に位置付けられる。また、リングフレーム９１は、研削加工中に研削砥石４３に干渉しないようにチャックテーブル３１の吸着面３２よりも低い位置で固定される。
【００３６】
次に図５Ｂに示すように、ハイトゲージ５１の接触子５２がリング部材９３の上面９４に接触され、リング部材９３の厚さ測定が開始される。この場合、ハイトゲージ５１で最初にチャックテーブル３１の表面位置を記憶しておき、その表面位置を基準にリング部材９３の厚みを測定する。また、リング部材９３の中心がチャックテーブル３１の回転中心に位置付けられているため、研削加工中のチャックテーブル３１の回転によって、接触子５２がリング部材９３の上面９４から外れることがない。
【００３７】
次に図５Ｃに示すように、研削ユニット４が駆動されると、スピンドル４１及びチャックテーブル３１が回転される。そして、スピンドル４１に伴って回転する研削砥石４３がチャックテーブル３１に近付けられ、研削砥石４３の研削面４５が複数の板状物Ｗ及びリング部材９３の上面９４に押し当てられて研削加工がおこなわれる（研削ステップ）。この場合、研削砥石４３は、リング部材９３の中心に対して偏芯した位置でリング部材９３に接触するため、リング部材９３全体を覆うことがない。このように、リング部材９３の上面９４が研削砥石４３から露出されるため、研削加工中にハイトゲージ５１の接触子５２をリング部材９３の上面９４に接触させることが可能となっている。
【００３８】
そして、ハイトゲージ５１は、接触子５２を介してリング部材９３の厚さをリアルタイムで測定する。このとき、リング部材９３と複数の板状物Ｗとが同時に研削されているため、リング部材９３の厚さ測定によって複数の板状物Ｗの厚さも間接的に測定される。ハイトゲージ５１の測定値は、伝送路を介して制御部５にフィードバックされる。制御部５は、ハイトゲージ５１からフィードバックされた測定値が、目標厚さである板状物Ｗの最終的な仕上げ厚さに近づくように研削ユニット４の加工送り量を制御する。
【００３９】
ハイトゲージ５１からの測定値が板状物Ｗの仕上げ厚さに一致すると、研削ユニット４による研削加工が停止される。このように、リング部材９３の厚みを測定しながら研削加工することで、複数の板状物Ｗが所望の仕上げ厚さに研削される。
【００４０】
ここで、第１の実施の形態に係る板状物の研削方法の流れについて説明する。上記したように、上型１１及び下型１２に液状の紫外線硬化樹脂が流し込まれ、ＵＶ照射によって紫外線硬化樹脂が硬化してリング部材９３が形成される（リング形状測定部材形成ステップ）。リング部材９３は、複数の板状物Ｗと共にテープマウンタに搬入される。テープマウンタでは、複数の板状物Ｗとリング部材９３とが貼着テープ９２に貼り付けられて一体化される（一体貼着ステップ）。貼着テープ９２によって一体化された複数の板状物Ｗとリング部材９３は、研削装置１に搬入される。
【００４１】
研削装置１では、リング部材９３の中心がチャックテーブル３１の回転中心に位置付けられるように、複数の板状物Ｗがチャックテーブル３１に保持される（保持ステップ）。リング部材９３の上面９４には、ハイトゲージ５１の接触子５２が接触されてリング部材９３の厚さ測定が開始される。そして、リング部材９３の厚みを測定しながら研削ユニット４によってリング部材９３と複数の板状物Ｗが同時に研削されることで、板状物Ｗが所望の仕上げ厚さに研削される（研削ステップ）。
【００４２】
以上のように、第１実施の形態に係る研削方法によれば、リング部材９３が細幅のリング状に形成されているため、貼着テープ９２上に板状物Ｗの貼着スペースを広く確保して生産性を向上できる。また、紫外線硬化樹脂によってリング部材９３が容易に形成されるため、図示しない切削装置でシリコンウェーハを切削してリング部材が形成される構成と比較してコストを低減することができる。
【００４３】
次に、第２の実施の形態について説明する。第２の実施の形態に係る板状物の研削方法は、貼着テープ上において直にリング部材を形成する点で第１の実施の形態と相違する。したがって、第２の実施の形態では、主に第１の実施の形態との相違点について説明する。
【００４４】
図６を参照して、第２の実施の形態に係る研削装置について説明する。図６は、研削装置の一例を示す斜視図である。なお、第１の実施の形態に係る研削装置と同一名称については、同一の符号を付して説明する。
【００４５】
図６に示すように、第２の実施の形態に係る研削装置１は、研削ユニット４の他に、チャックテーブル３１上で貼着テープ９２にリング部材９３を形成するリング部材形成ユニット７を備えている。この研削装置１には、複数の板状物Ｗがリング部材９３の形成前の貼着テープ９２に貼り付けられた状態で搬入される。複数の板状物Ｗは、貼着テープ９２上においてリング部材９３の形成領域を残すように配置されている。本実施の形態では、複数の板状物Ｗが、二重の円を描くように２列に配置されている。
【００４６】
この研削装置１のターンテーブル３上には、周方向に等間隔で３つのチャックテーブル３１（２つのみ図示）が配置されている。ターンテーブル３の後方に立設された壁部２１には、研削ユニット４に隣接してリング部材形成ユニット７が支持されている。各チャックテーブル３１は、ターンテーブル３の間欠回転によって、板状物Ｗが搬入搬出される載せ換え位置、リング部材形成ユニット７に対峙するリング部材形成位置、研削ユニット４に対向する研削位置の間で移動される。
【００４７】
リング部材形成ユニット７は、壁部２１に設けられたリング部材形成ユニット移動機構８に支持されている。リング部材形成ユニット移動機構８は、壁部２１の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール８１と、一対のガイドレール８１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル８２とを有している。また、リング部材形成ユニット移動機構８は、Ｚ軸テーブル８２の前面に配置されたＹ軸方向に平行な一対のガイドレール８３と、一対のガイドレール８３にスライド可能に設置されたモータ駆動のＹ軸テーブル８４とを有している。Ｙ軸テーブル８４の前面には、リング部材形成ユニット７が支持されている。
【００４８】
Ｚ軸テーブル８２の背面には、壁部２１の開口２３を介して後方に突出したナット部が設けられている。Ｚ軸テーブル８２のナット部には、壁部２１の裏面に設けられたボールネジが螺合されている。また、Ｙ軸テーブル８４の背面には、ナット部が設けられており、このナット部にＺ軸テーブル８２の前面に設けられたボールネジが螺合されている。そして、ボールネジの一端部に連結された駆動モータ８６、８７が回転駆動されることで、リング部材形成ユニット７がガイドレール８１、８３に沿ってＺ軸方向及びＹ軸方向に移動される。
【００４９】
リング部材形成ユニット７は、液状の紫外線硬化樹脂を滴下するディスペンサ７１と、ＵＶ光を照射するＵＶ光源７２とを有している。チャックテーブル３１上の貼着テープ９２に対して、ディスペンサ７１から液状の紫外線硬化樹脂が滴下され、ＵＶ光源７２から紫外線硬化樹脂に対してＵＶ光が照射されて、貼着テープ９２上にリング部材９３が形成される。この場合、液状の紫外線硬化樹脂は、貼着テープ９２上において周方向に２列に並んだ複数の板状物Ｗの列の間に滴下されることで、複数の板状物Ｗを避けて細長に形成される。
【００５０】
図７を参照して、第２の実施の形態に係る研削装置によるリング部材の形成工程について説明する。図７は、研削装置によるリング部材の形成工程の一例を示す説明図である。なお、第２の実施の形態に係る研削装置による研削加工は、第１の実施の形態に係る研削装置による研削加工と同一なため説明を省略する。
【００５１】
図７Ａに示すように、貼着テープ９２を介して複数の板状物Ｗがチャックテーブル３１に保持されると、チャックテーブル３１周囲の環状のマグネット３３によりリングフレーム９１が固定される（保持ステップ）。このとき、貼着テープ９２の中心が、チャックテーブル３１の回転中心に位置付けられる。また、リングフレーム９１は、後工程の研削加工中において研削砥石４３に干渉しないようにチャックテーブル３１の吸着面３２よりも低い位置で固定される。
【００５２】
そして、リング部材形成ユニット移動機構８によって、ディスペンサ７１のノズル口が貼着テープ９２に対して位置合わせされる。このとき、ディスペンサ７１のノズル口は、二重の円を描くように２列に並んだ板状物Ｗの列の間に位置合わせされる。なお、ディスペンサ７１の高さは、液状の紫外線硬化樹脂の粘度等の各種条件に応じて微調整されている。
【００５３】
次に図７Ｂに示すように、チャックテーブル３１が回転され、ディスペンサ７１から液状の紫外線硬化樹脂が滴下される。これにより、貼着テープ９２の上面に紫外線硬化樹脂がチャックテーブル３１の回転軸を中心としたリング形状に形成される。ディスペンサ７１からは、紫外線硬化樹脂の厚さが板状物Ｗと略同一の厚さとなるまで紫外線硬化樹脂が滴下される。このようにして、紫外線硬化樹脂は、目標厚さである板状物Ｗの仕上げ厚さよりも厚く形成される。
【００５４】
次に図７Ｃに示すように、紫外線硬化樹脂が板状物Ｗと略同一の厚みに形成されると、ＵＶ光源７２からＵＶ光がリング状に形成された紫外線硬化樹脂に照射される。ＵＶ光の照射によってリング状の紫外線硬化樹脂が硬化されて、貼着テープ９２の上面にリング部材９３が形成される（リング形状測定部形成ステップ）。このようにして一体化されたリング部材９３と複数の板状物Ｗは、ターンテーブル３の回転によって研削位置に移動され、研削ユニット４による研削加工が行われる。
【００５５】
ここで、第２の実施の形態に係る板状物の研削方法の流れについて説明する。テープマウンタにおいて複数の板状物Ｗが貼着テープ９２に貼り付けられて、複数の板状物Ｗが研削装置１に搬入される。研削装置１では、貼着テープ９２の中心がチャックテーブル３１の回転中心に位置付けられるように、複数の板状物Ｗがチャックテーブル３１に保持される（保持ステップ）。チャックテーブル３１に保持された複数の板状物Ｗは、ターンテーブル３の回転によってリング部材形成位置に位置付けられる。
【００５６】
リング部材形成位置では、ディスペンサ７１から液状の紫外線硬化樹脂が滴下されて、貼着テープ９２の上面に紫外線硬化樹脂がリング状に形成される。そして、ＵＶ光源７２からのＵＶ光の照射によって紫外線硬化樹脂が硬化されて、貼着テープ９２の上面にリング部材９３が形成される（リング形状測定部材形成ステップ）。貼着テープ９２にリング部材９３が形成されると、ターンテーブル３の回転によって複数の板状物Ｗが研削位置に位置付けられる。
【００５７】
研削位置では、リング部材９３の上面９４にハイトゲージ５１の接触子５２が接触されてリング部材９３の厚さ測定が開始される。そして、リング部材９３の厚みを測定しながら研削ユニット４によってリング部材９３と複数の板状物Ｗが同時に研削されることで、板状物Ｗが所望の仕上げ厚さに研削される（研削ステップ）。
【００５８】
以上のように、第２実施の形態に係る研削方法によれば、第１の実施の形態と同様に、貼着テープ９２上に複数の板状物Ｗの貼着スペースを避けてリング部材９３が形成されている。このため、貼着テープ９２上に多くの板状物Ｗ用に貼着スペースが確保されて生産性が向上される。また、紫外線硬化樹脂によってリング部材９３が容易に形成されるため、図示しない切削装置でシリコンウェーハを切削してリング部材が形成される構成と比較してコストを低減することができる。さらに、貼着テープ９２上で直にリング部材９３が形成されるため、作業工数を減らすことができる。
【００５９】
なお、第２の実施の形態においては、研削装置１のチャックテーブル３１上において、貼着テープ９２に直にリング部材９３を形成する構成としたが、この構成に限定されない。研削装置１外の回転テーブル７３において、貼着テープ９２に直にリング部材９３を形成する構成としてもよい。この場合、研削装置１にリング部材形成ユニット７が不要となる。以下、図８を参照して、変形例における板状物の研削方法の流れついて簡単に説明する。
【００６０】
図８Ａに示すように、テープマウンタにおいて複数の板状物Ｗが貼着テープ９２に貼り付けられて、回転テーブル７３に搬入される。回転テーブル７３では、貼着テープ９２の中心が回転テーブル７３の回転中心に位置付けられるように保持される。貼着テープ９２の上方では、ディスペンサ７１のノズル口が位置合わせされる。図８Ｂに示すように、回転テーブル７３が回転されると、ディスペンサ７１から周方向に２列に並んだ板状物Ｗの列の間に液状の紫外線硬化樹脂が滴下される。図８Ｃに示すように、紫外線硬化樹脂がリング状に形成されると、リング状の紫外線硬化樹脂にＵＶ光源７２からＵＶ光が照射されてリング部材９３が形成される（リング形状測定部材形成ステップ）。
【００６１】
図８Ｄに示すように、貼着テープ９２を介してリング部材９３と一体となった複数の板状物Ｗが研削装置１に搬入されると、複数の板状物Ｗがチャックテーブル３１が保持される（保持ステップ）。このとき、リング部材９３の中心が、チャックテーブル３１の回転中心に位置付けられる。図８Ｅに示すように、リング部材９３の上面９４には、ハイトゲージ５１の接触子５２が接触されてリング部材９３の厚さ測定が開始される。そして、図８Ｅに示すように、リング部材９３の厚みを測定しながら研削ユニット４によってリング部材９３と複数の板状物Ｗが同時に研削されることで、板状物Ｗが所望の仕上げ厚さに研削される（研削ステップ）。
【００６２】
この変形例における板状物の研削方法においては、貼着テープ９２上に板状物Ｗを貼り付ける前に、回転テーブル７３上で貼着テープ９２にリング部材９３を形成する構成としてもよい。この場合には、貼着テープ９２にリング部材９３を形成した後に、テープマウンタにおいて貼着テープ９２に複数の板状物Ｗを貼り付けるようにする。
【００６３】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００６４】
例えば、上記各実施の形態においては、ＵＶ光の照射によって紫外線硬化樹脂を硬化させてリング部材９３を形成したが、この構成に限定されない。上記したように、リング部材９３は、熱硬化樹脂で形成されてもよく、例えば、チャックテーブル３１に設けたヒーターの熱によって硬化されてもよい。
【００６５】
また、上記各実施の形態においては、貼着テープ９２の中央において、周方向に２列に複数の板状物Ｗを配置して、複数の板状物Ｗの内側の列と外側の列との間にリング部材９３を形成したが、この構成に限定されない。例えば、複数の板状物Ｗを取り囲むように貼着テープ９２の外周側にリング部材９３を形成する構成としてもよい。
【００６６】
また、上記各実施の形態においては、支持部材として貼着テープ９２を例示して説明したが、上記したように貼着テープ９２の代わりにガラス等の剛性板を用いてもよい。この場合、剛性板はリングフレーム９１によって支持されるものではないため、チャックテーブル３１にマグネット３３を設ける必要がない。
【００６７】
また、上記各実施の形態においては、液状樹脂を滴下してリング形状を形成した後に、外部刺激を加える構成としたが、この構成に限定されない。液状樹脂を滴下している最中に、外部刺激を加えてリング部材９３を形成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
以上説明したように、本発明は、簡易な構成によって板状物を所望の厚みに調整することができ、さらに生産性を向上させると共にコストを低減できるという効果を有し、特に、小形の難削材を研削して所定の厚みに薄化する板状物の研削方法に有用である。
【符号の説明】
【００６９】
１ 研削装置
２ 基台
３ ターンテーブル
４ 研削ユニット（研削手段）
５ 制御部
６ 研削ユニット移動機構
７ リング部材形成ユニット
８ リング部材形成ユニット移動機構
１１ 上型
１２ 下型
１３ 溝部
３１ チャックテーブル
４３ 研削砥石
４４ 研削ホイール
５１ ハイトゲージ（厚み測定手段）
７１ ディスペンサ
７２ ＵＶ光源
７３ 回転テーブル
９１ リングフレーム
９２ 貼着テープ（支持部材）
９３ リング部材（リング形状測定部材）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小形の板状物を研削して所定の厚みに薄化する板状物の研削方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
小形の板状物の研削時には、リングフレームの開口を塞ぐように貼着テープが貼着され、この貼着テープに貼り付けられた状態で複数の小形の板状物が研削装置に搬入される。研削装置に搬入された複数の板状物は、貼着テープを介してチャックテーブル上に保持され、鉛直軸回りに回転した研削砥石の研削面に当接される。このように、研削砥石の研削面と複数の板状物の上面（裏面）とを平行状態で回転接触させることで、複数の板状物が同時に研削される。
【０００３】
従来、このような板状物の研削方法として、貼着テープ上に研削対象の板状物とは別に厚み測定用のウェーハを設けたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の板状物の研削方法では、リングフレームに張られた貼着テープの中央に円板状のウェーハが貼着され、このウェーハの周囲に複数の板状物が貼着されている。研削装置ではウェーハと複数の板状物が同時に研削され、測定用のウェーハの厚みを測定しながら研削することで板状物が所望の厚みに調整される。
【０００４】
また、このような板状物の研削方法として、厚み測定用にシリコンでリングフレームを形成したものが知られている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の板状物の研削方法では、切削装置によって薄板のシリコンウェーハをリング状に切断して、リング状のウェーハフレームが形成されている。このウェーハフレームに貼着テープが貼り付けられると共に、貼着テープ上に複数の板状物が貼着される。研削装置ではウェーハフレームと複数の板状物が同時に研削され、測定用のウェーハフレームの厚みを測定しながら研削することで板状物が所望の厚みに調整される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−０８２３１９号公報
【特許文献２】特開２００１−３５１８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の板状物の研削方法は、貼着テープの中央に円板状のウェーハが設けられているため、小形の板状物用の貼着スペースが減少し、生産性が悪化するという問題があった。また、特許文献２の板状物の研削方法では、厚み測定用のウェーハフレームがリングフレームとしての機能を兼ねているため、研削後には薄くなったウェーハフレームにより板状物を適切に保持できないおそれがあった。また、切削装置によってリングフレームが形成され、さらに一度の研削によってリングフレームが廃棄されるため、コストが増加していた。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、簡易な構成によって板状物を所望の厚みに調整することができ、さらに生産性を向上させると共にコストを低減できる板状物の研削方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の板状物の研削方法は、上面に板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対峙して配設された研削ホイールを備えた研削手段と、前記チャックテーブルに保持された板状物の厚みを測定する厚み測定手段と、から少なくとも構成される研削装置を用いて板状物を研削して所定の厚さに仕上げる板状物の研削方法であって、外部刺激により硬化する液状樹脂を前記所定の厚さよりも厚くリング形状に成形しリング形状測定部材を形成するリング形状測定部材形成ステップと、前記リング形状測定部材および複数の板状物を支持部材に貼着して前記リング形状測定部材と前記板状物とを一体にする一体貼着ステップと、前記複数の板状物と一体となった前記リング形状測定部材の中心を前記チャックテーブルの回転中心に位置付けて前記チャックテーブルに保持する保持ステップと、前記チャックテーブルに保持された前記リング形状測定部材及び複数の板状物を前記研削手段によって研削する研削ステップと、から構成され、前記研削ステップでは、前記リング形状測定部材の厚さを測定して研削された板状物の厚さを間接的に検出する、ことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、仕上げ厚さよりも厚くリング形状測定部材を形成し、リング形状測定部材の厚さ測定によって間接的に板状物の厚さを検出しながら仕上げ厚さまで研削される。この場合、リング形状測定部材が細幅のリング状に形成されているため、支持部材上に板状物用に貼着スペースを広く確保することができ、多くの板状物を同時に研削して生産性を向上できる。また、外部刺激により硬化する液状樹脂によってリング形状測定部材が容易に形成されるため、切削装置でシリコンウェーハを切削してリング形状測定部材が形成される構成と比較してコストを低減することができる。
【００１０】
本発明の板状物の他の研削方法は、上面に板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対峙して配設された研削ホイールを備えた研削手段と、前記チャックテーブルに保持された板状物の厚みを測定する厚み測定手段と、から少なくとも構成される研削装置を用いて板状物を研削して所定の厚さに仕上げる板状物の研削方法であって、支持部材の上面に複数の板状物を貼着する前または後に、前記複数の板状物が貼着される領域以外の前記支持部材の上面上に、外部刺激により硬化する液状樹脂を前記所定の厚さよりも厚くリング形状に成形しリング形状測定部材を形成するリング形状測定部材形成ステップと、前記複数の板状物と一体となった前記リング形状測定部材の中心を前記チャックテーブルの回転中心に位置付けて前記チャックテーブルに保持する保持ステップと、前記チャックテーブルに保持された前記リング形状測定部材及び複数の板状物を前記研削手段によって研削する研削ステップと、から構成され、前記研削ステップでは、前記リング形状測定部材の厚さを測定して研削された板状物の厚さを間接的に検出する、ことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、仕上げ厚さよりも厚くリング形状測定部材を形成し、リング形状測定部材の厚さ測定によって間接的に板状物の厚さを検出しながら仕上げ厚さまで研削される。この場合、支持部材の上面において複数の板状物が貼着される領域外でリング形状測定部材がリング状に形成されている。このため、支持部材上に多くの板状物の貼着スペースが確保されて生産性が向上される。また、外部刺激により硬化する液状樹脂によってリング形状測定部材が容易に形成されるため、切削装置でシリコンウェーハを切削してリング形状測定部材が形成される構成と比較してコストを低減することができる。さらに、支持部材の上面に直にリング形状測定部材が形成されるため、作業工数を減らすことができる。
【００１２】
また、本発明の上記板状物の研削方法において、前記リング形状測定部材形成ステップでは、回転する回転テーブル上に回転中心から所定距離離した位置に前記液状樹脂を滴下するとともに外部刺激を加えて硬化させ、所定の厚さよりも厚くリング形状測定部材を形成する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、簡易な構成によって板状物を所望の厚みに調整することができ、さらに生産性を向上させると共にコストを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１の実施の形態に係る複数の板状物の斜視図である。
【図２】第１の実施の形態に係るリング部材形成工程の一例を示す図である。
【図３】第１の実施の形態に係るリング部材形成工程の他の一例を示す図である。
【図４】第１の実施の形態に係る研削装置の一例を示す斜視図である。
【図５】第１の実施の形態に係る研削装置による研削加工の一例を示す図である。
【図６】第２の実施の形態に係る研削装置の一例を示す斜視図である。
【図７】第２の実施の形態に係る研削装置によるリング部材の形成工程の一例を示す図である。
【図８】変形例における板状物の研削方法の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、第１の本実施の形態について説明する。図１は、貼着テープに貼着された複数の板状物の斜視図である。第１の実施の形態に係る板状物の研削方法は、貼着テープ外で形成したリング部材（リング形状測定部材）を貼着テープに貼り付けた後に、研削装置に搬入する方法である。
【００１６】
図１に示すように、金属製のリングフレーム９１の下面に貼着テープ（支持部材）９２が貼り付けられ、この貼着テープ９２に複数の小形の板状物Ｗが貼り付けられている。各板状物Ｗは、難削材によって小径（例えば、１〜３インチ）の円板状に形成されている。複数の板状物Ｗは、貼着テープ９２の中央において二重の円を描くように２列に配置されている。また、貼着テープ９２上には、この内側に並んだ板状物Ｗと外側に並んだ板状物Ｗとを区画するように細幅のリング部材９３が設けられている。
【００１７】
リング部材９３は、ＵＶ照射で硬化する紫外線硬化樹脂によって、貼着テープ９２の上面からリング状に突出するように形成されている。リング部材９３は、板状物Ｗと略同一の厚さを有しており、板状物Ｗの最終的な仕上げ厚さよりも厚く形成されている。このため、研削装置１（図４参照）では複数の板状物Ｗと共にリング部材９３が仕上げ厚さまで研削され、研削加工中のリング部材９３の厚さ測定によって複数の板状物Ｗの厚さが間接的に検出される。
【００１８】
なお、リング部材９３は、板状物Ｗの仕上げ厚さよりも厚ければ、研削前の板状物Ｗよりも厚く形成されてもよいし、研削前の板状物Ｗよりも薄く形成されてもよい。また、リング部材９３は、外部刺激により硬化する液状樹脂で形成される構成であればよく、例えば、熱硬化する熱硬化樹脂で形成されてもよい。ここでいう外部刺激とは、紫外線や熱だけでなく、その他放射線、電子線、電界、化学反応等の少なくともいずれかによる刺激をいう。また、板状物Ｗは、支持部材として貼着テープ９２の代わりにガラス等の剛性板上に接着剤（例えば、ワックス）によって固定されてもよい。
【００１９】
なお、板状物Ｗとしては、セラミック、ガラス、サファイヤ（Al2O3）系の無機材料基板、化合物半導体等の難切削が含まれる。また、板状物Ｗは、シリコンウェーハ、ガリウムヒソ等の半導体ウェーハでもよい。また、板状物Ｗは、小径の円板状に限定されるものではなく、矩形状の小形チップ等でもよい。さらに、板状物Ｗの配置は、貼着テープ９２上でリング部材９３から外れた位置であれば、特に限定されない。
【００２０】
図２を参照して、第１の実施の形態に係るリング部材の形成について説明する。図２は、リング部材形成工程の一例を示す図である。
【００２１】
図２に示すように、リング部材形成工程では、上型１１及び下型１２を用いてリング部材９３が形成される（リング形状測定部材形成ステップ）。下型１２は、ガラス等のように紫外線透過性を有すると共に紫外線硬化樹脂に対して非相溶性の材質で厚板状に形成されている。下型１２の上面には、紫外線硬化樹脂が充填されるリング状の溝部１３が形成されている。上型１１は、下型と同様な材質で薄板状に形成されている。リング状の溝部１３は、下型１２の上面に上型１１が載置されることで液密に封止される。また、上型１１には、外部から溝部１３内に紫外線硬化樹脂を充填するための貫通孔１４が形成されている。
【００２２】
なお、上型１１及び下型１２は、紫外線透過性を有すると共に紫外線硬化樹脂に対して非相溶性の材質であれば、特に材質は限定されない。また、上型１１及び下型１２の片方だけが、紫外性透過性材料で形成されてもよい。この場合、紫外性透過性材料で形成された側から紫外線を照射するようにする。
【００２３】
先ず、図２Ａに示すように、ディスペンサ７１から上型１１の貫通孔１４を介して下型１２の溝部１３に液状の紫外線硬化樹脂が流し込まれる。紫外線硬化樹脂は、下型１２のリング状の溝部１３に沿ってリング状に流れ込む。次に、図２Ｂに示すように、上型１１の上方に位置付けられたＵＶ光源７２から紫外線硬化樹脂に対してＵＶ光が照射される。ＵＶ光は上型１１及び下型１２を透過して紫外線硬化樹脂を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させる。そして、図２Ｃに示すように、硬化した紫外線硬化樹脂が上型１１及び下型１２から取り外されて細幅のリング部材９３が形成される。
【００２４】
なお、リング部材９３の形成方法は、上型１１及び下型１２を用いる方法に限定されない。例えば、図３に示すように、リング部材９３は、回転テーブル７３上で形成される構成でもよい。この場合、図３Ａに示すように、回転テーブル７３を回転させながら、ディスペンサ７１から回転テーブル７３の中心から所定距離離れた位置に紫外線硬化樹脂を滴下する。これにより、紫外線硬化樹脂がリング状に形成される。次に、図３Ｂに示すように、リング状の紫外線硬化樹脂にＵＶ光源７２からＵＶ光を照射してリング部材９３が形成される。
【００２５】
このように形成されたリング部材９３は、図示しないテープマウンタにおいて複数の板状物Ｗと共に貼着テープ９２に貼り付けられる（一体貼着ステップ）。この場合、リング部材９３の中心が貼着テープ９２の中心に位置合わせされている。また、リング部材９３が細幅のリング状に形成されているため、複数の板状物Ｗの貼着スペースが広く確保される。よって、多数の板状物Ｗを貼着テープ９２に貼着可能なため生産性を向上できる。
【００２６】
図４を参照して、第１の実施の形態に係る研削装置について説明する。図４は、研削装置の一例を示す斜視図である。
【００２７】
図４に示すように、研削装置１は、複数の板状物Ｗが保持されたチャックテーブル３１と研削ユニット（研削手段）４の研削ホイール４４とを相対回転させることで、板状物Ｗを研削するように構成されている。研削装置１は、略直方体状の基台２を有している。基台２の上面には、一対のチャックテーブル３１（１つのみ図示）が配置されたターンテーブル３が設けられている。ターンテーブル３の後方には、研削ユニット４を支持する壁部２１が立設されている。また、基台２の内部には、研削装置１の各部を統括制御する制御部５が設けられている。
【００２８】
ターンテーブル３は、大径の円板状に形成されており、上面には回転軸を中心とした点対称位置に一対のチャックテーブル３１が配置されている。また、ターンテーブル３は、図示しない回転駆動機構に接続されており、回転駆動機構によって矢印Ｄ１方向に１８０度間隔で間欠回転される。このため、一対のチャックテーブル３１は、板状物Ｗが搬入搬出される載せ換え位置と研削ユニット４に対峙する研削位置との間で移動される。
【００２９】
チャックテーブル３１は、小径の円板状に形成されており、ターンテーブル３の上面に回転可能に設けられている。チャックテーブル３１の上面中央部分には、ポーラスセラミック材により吸着面３２が形成されている。チャックテーブル３１の周囲には、環状のマグネット３３が設けられている。複数の板状物Ｗの周囲のリングフレーム９１は、磁性体で形成されているため、環状のマグネット３３によって吸着固定される。
【００３０】
基台２の上面において、ターンテーブル３の研削位置の近傍にはハイトゲージ（厚み測定手段）５１が設けられている。ハイトゲージ５１は、１本の接触子５２を有しており、研削加工中に接触子５２をリング部材９３の上面に接触可能に構成されている。ハイトゲージ５１によってリング部材９３の厚さが測定されることで、リング部材９３と同時に研削される複数の板状物Ｗの厚さが間接的に測定される。ハイトゲージ５１による測定値は、伝送路を介して制御部５に入力される。なお、ハイトゲージ５１は、リング部材９３の厚みを測定可能であればよく、例えば、非接触式のハイトゲージでもよい。
【００３１】
壁部２１には、研削ユニット４を上下動させる研削ユニット移動機構６が設けられている。研削ユニット移動機構６は、壁部２１の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６１と、一対のガイドレール６１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル６２とを有している。Ｚ軸テーブル６２の前面には、研削ユニット４が支持されている。Ｚ軸テーブル６２の背面には、壁部２１の開口２２を介して後方に突出したナット部が設けられている。
【００３２】
Ｚ軸テーブル６２のナット部には、壁部２１の裏面に設けられたボールネジが螺合されている。そして、ボールネジの一端部に連結された駆動モータ６４が回転駆動されることで、研削ユニット４がガイドレール６１に沿ってＺ軸方向に移動される。この場合、研削ユニット４のＺ軸方向の移動位置は、図示しないリニアスケールによって測定され、伝送路を介して制御部５に入力される。制御部５は、リニアスケールからの測定値と、ハイトゲージ５１からの測定値に基づき、研削ユニット４の移動量を高精度に制御している。
【００３３】
研削ユニット４は、円筒状のスピンドル４１の下端にマウント４２が設けられている。マウント４２には、複数の研削砥石４３が固定された研削ホイール４４が装着されている。研削砥石４３は、例えば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドやレジンボンド等の結合剤で固めたダイヤモンド砥石で構成されている。研削砥石４３は、スピンドル４１の駆動に伴ってＺ軸回りに高速回転される。そして、研削砥石４３の研削面と複数の板状物Ｗの上面とが平行状態で回転接触させることで、リング部材９３と共に複数の板状物Ｗが研削される。
【００３４】
図５を参照して、第１の実施の形態に係る研削装置による研削加工について説明する。図５は、研削装置による研削加工の一例を示す説明図である。
【００３５】
図５Ａに示すように、貼着テープ９２を介して複数の板状物Ｗがチャックテーブル３１に保持されると、チャックテーブル３１周囲の環状のマグネット３３によりリングフレーム９１が固定される（保持ステップ）。このとき、リング部材９３の中心が、チャックテーブル３１の回転中心に位置付けられる。また、リングフレーム９１は、研削加工中に研削砥石４３に干渉しないようにチャックテーブル３１の吸着面３２よりも低い位置で固定される。
【００３６】
次に図５Ｂに示すように、ハイトゲージ５１の接触子５２がリング部材９３の上面９４に接触され、リング部材９３の厚さ測定が開始される。この場合、ハイトゲージ５１で最初にチャックテーブル３１の表面位置を記憶しておき、その表面位置を基準にリング部材９３の厚みを測定する。また、リング部材９３の中心がチャックテーブル３１の回転中心に位置付けられているため、研削加工中のチャックテーブル３１の回転によって、接触子５２がリング部材９３の上面９４から外れることがない。
【００３７】
次に図５Ｃに示すように、研削ユニット４が駆動されると、スピンドル４１及びチャックテーブル３１が回転される。そして、スピンドル４１に伴って回転する研削砥石４３がチャックテーブル３１に近付けられ、研削砥石４３の研削面４５が複数の板状物Ｗ及びリング部材９３の上面９４に押し当てられて研削加工がおこなわれる（研削ステップ）。この場合、研削砥石４３は、リング部材９３の中心に対して偏芯した位置でリング部材９３に接触するため、リング部材９３全体を覆うことがない。このように、リング部材９３の上面９４が研削砥石４３から露出されるため、研削加工中にハイトゲージ５１の接触子５２をリング部材９３の上面９４に接触させることが可能となっている。
【００３８】
そして、ハイトゲージ５１は、接触子５２を介してリング部材９３の厚さをリアルタイムで測定する。このとき、リング部材９３と複数の板状物Ｗとが同時に研削されているため、リング部材９３の厚さ測定によって複数の板状物Ｗの厚さも間接的に測定される。ハイトゲージ５１の測定値は、伝送路を介して制御部５にフィードバックされる。制御部５は、ハイトゲージ５１からフィードバックされた測定値が、目標厚さである板状物Ｗの最終的な仕上げ厚さに近づくように研削ユニット４の加工送り量を制御する。
【００３９】
ハイトゲージ５１からの測定値が板状物Ｗの仕上げ厚さに一致すると、研削ユニット４による研削加工が停止される。このように、リング部材９３の厚みを測定しながら研削加工することで、複数の板状物Ｗが所望の仕上げ厚さに研削される。
【００４０】
ここで、第１の実施の形態に係る板状物の研削方法の流れについて説明する。上記したように、上型１１及び下型１２に液状の紫外線硬化樹脂が流し込まれ、ＵＶ照射によって紫外線硬化樹脂が硬化してリング部材９３が形成される（リング形状測定部材形成ステップ）。リング部材９３は、複数の板状物Ｗと共にテープマウンタに搬入される。テープマウンタでは、複数の板状物Ｗとリング部材９３とが貼着テープ９２に貼り付けられて一体化される（一体貼着ステップ）。貼着テープ９２によって一体化された複数の板状物Ｗとリング部材９３は、研削装置１に搬入される。
【００４１】
研削装置１では、リング部材９３の中心がチャックテーブル３１の回転中心に位置付けられるように、複数の板状物Ｗがチャックテーブル３１に保持される（保持ステップ）。リング部材９３の上面９４には、ハイトゲージ５１の接触子５２が接触されてリング部材９３の厚さ測定が開始される。そして、リング部材９３の厚みを測定しながら研削ユニット４によってリング部材９３と複数の板状物Ｗが同時に研削されることで、板状物Ｗが所望の仕上げ厚さに研削される（研削ステップ）。
【００４２】
以上のように、第１実施の形態に係る研削方法によれば、リング部材９３が細幅のリング状に形成されているため、貼着テープ９２上に板状物Ｗの貼着スペースを広く確保して生産性を向上できる。また、紫外線硬化樹脂によってリング部材９３が容易に形成されるため、図示しない切削装置でシリコンウェーハを切削してリング部材が形成される構成と比較してコストを低減することができる。
【００４３】
次に、第２の実施の形態について説明する。第２の実施の形態に係る板状物の研削方法は、貼着テープ上において直にリング部材を形成する点で第１の実施の形態と相違する。したがって、第２の実施の形態では、主に第１の実施の形態との相違点について説明する。
【００４４】
図６を参照して、第２の実施の形態に係る研削装置について説明する。図６は、研削装置の一例を示す斜視図である。なお、第１の実施の形態に係る研削装置と同一名称については、同一の符号を付して説明する。
【００４５】
図６に示すように、第２の実施の形態に係る研削装置１は、研削ユニット４の他に、チャックテーブル３１上で貼着テープ９２にリング部材９３を形成するリング部材形成ユニット７を備えている。この研削装置１には、複数の板状物Ｗがリング部材９３の形成前の貼着テープ９２に貼り付けられた状態で搬入される。複数の板状物Ｗは、貼着テープ９２上においてリング部材９３の形成領域を残すように配置されている。本実施の形態では、複数の板状物Ｗが、二重の円を描くように２列に配置されている。
【００４６】
この研削装置１のターンテーブル３上には、周方向に等間隔で３つのチャックテーブル３１（２つのみ図示）が配置されている。ターンテーブル３の後方に立設された壁部２１には、研削ユニット４に隣接してリング部材形成ユニット７が支持されている。各チャックテーブル３１は、ターンテーブル３の間欠回転によって、板状物Ｗが搬入搬出される載せ換え位置、リング部材形成ユニット７に対峙するリング部材形成位置、研削ユニット４に対向する研削位置の間で移動される。
【００４７】
リング部材形成ユニット７は、壁部２１に設けられたリング部材形成ユニット移動機構８に支持されている。リング部材形成ユニット移動機構８は、壁部２１の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール８１と、一対のガイドレール８１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル８２とを有している。また、リング部材形成ユニット移動機構８は、Ｚ軸テーブル８２の前面に配置されたＹ軸方向に平行な一対のガイドレール８３と、一対のガイドレール８３にスライド可能に設置されたモータ駆動のＹ軸テーブル８４とを有している。Ｙ軸テーブル８４の前面には、リング部材形成ユニット７が支持されている。
【００４８】
Ｚ軸テーブル８２の背面には、壁部２１の開口２３を介して後方に突出したナット部が設けられている。Ｚ軸テーブル８２のナット部には、壁部２１の裏面に設けられたボールネジが螺合されている。また、Ｙ軸テーブル８４の背面には、ナット部が設けられており、このナット部にＺ軸テーブル８２の前面に設けられたボールネジが螺合されている。そして、ボールネジの一端部に連結された駆動モータ８６、８７が回転駆動されることで、リング部材形成ユニット７がガイドレール８１、８３に沿ってＺ軸方向及びＹ軸方向に移動される。
【００４９】
リング部材形成ユニット７は、液状の紫外線硬化樹脂を滴下するディスペンサ７１と、ＵＶ光を照射するＵＶ光源７２とを有している。チャックテーブル３１上の貼着テープ９２に対して、ディスペンサ７１から液状の紫外線硬化樹脂が滴下され、ＵＶ光源７２から紫外線硬化樹脂に対してＵＶ光が照射されて、貼着テープ９２上にリング部材９３が形成される。この場合、液状の紫外線硬化樹脂は、貼着テープ９２上において周方向に２列に並んだ複数の板状物Ｗの列の間に滴下されることで、複数の板状物Ｗを避けて細長に形成される。
【００５０】
図７を参照して、第２の実施の形態に係る研削装置によるリング部材の形成工程について説明する。図７は、研削装置によるリング部材の形成工程の一例を示す説明図である。なお、第２の実施の形態に係る研削装置による研削加工は、第１の実施の形態に係る研削装置による研削加工と同一なため説明を省略する。
【００５１】
図７Ａに示すように、貼着テープ９２を介して複数の板状物Ｗがチャックテーブル３１に保持されると、チャックテーブル３１周囲の環状のマグネット３３によりリングフレーム９１が固定される（保持ステップ）。このとき、貼着テープ９２の中心が、チャックテーブル３１の回転中心に位置付けられる。また、リングフレーム９１は、後工程の研削加工中において研削砥石４３に干渉しないようにチャックテーブル３１の吸着面３２よりも低い位置で固定される。
【００５２】
そして、リング部材形成ユニット移動機構８によって、ディスペンサ７１のノズル口が貼着テープ９２に対して位置合わせされる。このとき、ディスペンサ７１のノズル口は、二重の円を描くように２列に並んだ板状物Ｗの列の間に位置合わせされる。なお、ディスペンサ７１の高さは、液状の紫外線硬化樹脂の粘度等の各種条件に応じて微調整されている。
【００５３】
次に図７Ｂに示すように、チャックテーブル３１が回転され、ディスペンサ７１から液状の紫外線硬化樹脂が滴下される。これにより、貼着テープ９２の上面に紫外線硬化樹脂がチャックテーブル３１の回転軸を中心としたリング形状に形成される。ディスペンサ７１からは、紫外線硬化樹脂の厚さが板状物Ｗと略同一の厚さとなるまで紫外線硬化樹脂が滴下される。このようにして、紫外線硬化樹脂は、目標厚さである板状物Ｗの仕上げ厚さよりも厚く形成される。
【００５４】
次に図７Ｃに示すように、紫外線硬化樹脂が板状物Ｗと略同一の厚みに形成されると、ＵＶ光源７２からＵＶ光がリング状に形成された紫外線硬化樹脂に照射される。ＵＶ光の照射によってリング状の紫外線硬化樹脂が硬化されて、貼着テープ９２の上面にリング部材９３が形成される（リング形状測定部形成ステップ）。このようにして一体化されたリング部材９３と複数の板状物Ｗは、ターンテーブル３の回転によって研削位置に移動され、研削ユニット４による研削加工が行われる。
【００５５】
ここで、第２の実施の形態に係る板状物の研削方法の流れについて説明する。テープマウンタにおいて複数の板状物Ｗが貼着テープ９２に貼り付けられて、複数の板状物Ｗが研削装置１に搬入される。研削装置１では、貼着テープ９２の中心がチャックテーブル３１の回転中心に位置付けられるように、複数の板状物Ｗがチャックテーブル３１に保持される（保持ステップ）。チャックテーブル３１に保持された複数の板状物Ｗは、ターンテーブル３の回転によってリング部材形成位置に位置付けられる。
【００５６】
リング部材形成位置では、ディスペンサ７１から液状の紫外線硬化樹脂が滴下されて、貼着テープ９２の上面に紫外線硬化樹脂がリング状に形成される。そして、ＵＶ光源７２からのＵＶ光の照射によって紫外線硬化樹脂が硬化されて、貼着テープ９２の上面にリング部材９３が形成される（リング形状測定部材形成ステップ）。貼着テープ９２にリング部材９３が形成されると、ターンテーブル３の回転によって複数の板状物Ｗが研削位置に位置付けられる。
【００５７】
研削位置では、リング部材９３の上面９４にハイトゲージ５１の接触子５２が接触されてリング部材９３の厚さ測定が開始される。そして、リング部材９３の厚みを測定しながら研削ユニット４によってリング部材９３と複数の板状物Ｗが同時に研削されることで、板状物Ｗが所望の仕上げ厚さに研削される（研削ステップ）。
【００５８】
以上のように、第２実施の形態に係る研削方法によれば、第１の実施の形態と同様に、貼着テープ９２上に複数の板状物Ｗの貼着スペースを避けてリング部材９３が形成されている。このため、貼着テープ９２上に多くの板状物Ｗ用に貼着スペースが確保されて生産性が向上される。また、紫外線硬化樹脂によってリング部材９３が容易に形成されるため、図示しない切削装置でシリコンウェーハを切削してリング部材が形成される構成と比較してコストを低減することができる。さらに、貼着テープ９２上で直にリング部材９３が形成されるため、作業工数を減らすことができる。
【００５９】
なお、第２の実施の形態においては、研削装置１のチャックテーブル３１上において、貼着テープ９２に直にリング部材９３を形成する構成としたが、この構成に限定されない。研削装置１外の回転テーブル７３において、貼着テープ９２に直にリング部材９３を形成する構成としてもよい。この場合、研削装置１にリング部材形成ユニット７が不要となる。以下、図８を参照して、変形例における板状物の研削方法の流れついて簡単に説明する。
【００６０】
図８Ａに示すように、テープマウンタにおいて複数の板状物Ｗが貼着テープ９２に貼り付けられて、回転テーブル７３に搬入される。回転テーブル７３では、貼着テープ９２の中心が回転テーブル７３の回転中心に位置付けられるように保持される。貼着テープ９２の上方では、ディスペンサ７１のノズル口が位置合わせされる。図８Ｂに示すように、回転テーブル７３が回転されると、ディスペンサ７１から周方向に２列に並んだ板状物Ｗの列の間に液状の紫外線硬化樹脂が滴下される。図８Ｃに示すように、紫外線硬化樹脂がリング状に形成されると、リング状の紫外線硬化樹脂にＵＶ光源７２からＵＶ光が照射されてリング部材９３が形成される（リング形状測定部材形成ステップ）。
【００６１】
図８Ｄに示すように、貼着テープ９２を介してリング部材９３と一体となった複数の板状物Ｗが研削装置１に搬入されると、複数の板状物Ｗがチャックテーブル３１が保持される（保持ステップ）。このとき、リング部材９３の中心が、チャックテーブル３１の回転中心に位置付けられる。図８Ｅに示すように、リング部材９３の上面９４には、ハイトゲージ５１の接触子５２が接触されてリング部材９３の厚さ測定が開始される。そして、図８Ｅに示すように、リング部材９３の厚みを測定しながら研削ユニット４によってリング部材９３と複数の板状物Ｗが同時に研削されることで、板状物Ｗが所望の仕上げ厚さに研削される（研削ステップ）。
【００６２】
この変形例における板状物の研削方法においては、貼着テープ９２上に板状物Ｗを貼り付ける前に、回転テーブル７３上で貼着テープ９２にリング部材９３を形成する構成としてもよい。この場合には、貼着テープ９２にリング部材９３を形成した後に、テープマウンタにおいて貼着テープ９２に複数の板状物Ｗを貼り付けるようにする。
【００６３】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００６４】
例えば、上記各実施の形態においては、ＵＶ光の照射によって紫外線硬化樹脂を硬化させてリング部材９３を形成したが、この構成に限定されない。上記したように、リング部材９３は、熱硬化樹脂で形成されてもよく、例えば、チャックテーブル３１に設けたヒーターの熱によって硬化されてもよい。
【００６５】
また、上記各実施の形態においては、貼着テープ９２の中央において、周方向に２列に複数の板状物Ｗを配置して、複数の板状物Ｗの内側の列と外側の列との間にリング部材９３を形成したが、この構成に限定されない。例えば、複数の板状物Ｗを取り囲むように貼着テープ９２の外周側にリング部材９３を形成する構成としてもよい。
【００６６】
また、上記各実施の形態においては、支持部材として貼着テープ９２を例示して説明したが、上記したように貼着テープ９２の代わりにガラス等の剛性板を用いてもよい。この場合、剛性板はリングフレーム９１によって支持されるものではないため、チャックテーブル３１にマグネット３３を設ける必要がない。
【００６７】
また、上記各実施の形態においては、液状樹脂を滴下してリング形状を形成した後に、外部刺激を加える構成としたが、この構成に限定されない。液状樹脂を滴下している最中に、外部刺激を加えてリング部材９３を形成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
以上説明したように、本発明は、簡易な構成によって板状物を所望の厚みに調整することができ、さらに生産性を向上させると共にコストを低減できるという効果を有し、特に、小形の難削材を研削して所定の厚みに薄化する板状物の研削方法に有用である。
【符号の説明】
【００６９】
１ 研削装置
２ 基台
３ ターンテーブル
４ 研削ユニット（研削手段）
５ 制御部
６ 研削ユニット移動機構
７ リング部材形成ユニット
８ リング部材形成ユニット移動機構
１１ 上型
１２ 下型
１３ 溝部
３１ チャックテーブル
４３ 研削砥石
４４ 研削ホイール
５１ ハイトゲージ（厚み測定手段）
７１ ディスペンサ
７２ ＵＶ光源
７３ 回転テーブル
９１ リングフレーム
９２ 貼着テープ（支持部材）
９３ リング部材（リング形状測定部材）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対峙して配設された研削ホイールを備えた研削手段と、前記チャックテーブルに保持された板状物の厚みを測定する厚み測定手段と、から少なくとも構成される研削装置を用いて板状物を研削して所定の厚さに仕上げる板状物の研削方法であって、
外部刺激により硬化する液状樹脂を前記所定の厚さよりも厚くリング形状に成形しリング形状測定部材を形成するリング形状測定部材形成ステップと、
前記リング形状測定部材および複数の板状物を支持部材に貼着して前記リング形状測定部材と前記板状物とを一体にする一体貼着ステップと、
前記複数の板状物と一体となった前記リング形状測定部材の中心を前記チャックテーブルの回転中心に位置付けて前記チャックテーブルに保持する保持ステップと、
前記チャックテーブルに保持された前記リング形状測定部材及び複数の板状物を前記研削手段によって研削する研削ステップと、から構成され、
前記研削ステップでは、前記リング形状測定部材の厚さを測定して研削された板状物の厚さを間接的に検出する、
ことを特徴とする板状物の研削方法。
【請求項２】
上面に板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対峙して配設された研削ホイールを備えた研削手段と、前記チャックテーブルに保持された板状物の厚みを測定する厚み測定手段と、から少なくとも構成される研削装置を用いて板状物を研削して所定の厚さに仕上げる板状物の研削方法であって、
支持部材の上面に複数の板状物を貼着する前または後に、前記複数の板状物が貼着される領域以外の前記支持部材の上面上に、外部刺激により硬化する液状樹脂を前記所定の厚さよりも厚くリング形状に成形しリング形状測定部材を形成するリング形状測定部材形成ステップと、
前記複数の板状物と一体となった前記リング形状測定部材の中心を前記チャックテーブルの回転中心に位置付けて前記チャックテーブルに保持する保持ステップと、
前記チャックテーブルに保持された前記リング形状測定部材及び複数の板状物を前記研削手段によって研削する研削ステップと、から構成され、
前記研削ステップでは、前記リング形状測定部材の厚さを測定して研削された板状物の厚さを間接的に検出する、
ことを特徴とする板状物の研削方法。
【請求項３】
前記リング形状測定部材形成ステップでは、回転する回転テーブル上に回転中心から所定距離離した位置に前記液状樹脂を滴下するとともに外部刺激を加えて硬化させ、前記所定の厚さよりも厚くリング形状測定部材を形成する、ことを特徴とする請求項１または２に記載の板状物の研削方法。
【請求項１】
上面に板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対峙して配設された研削ホイールを備えた研削手段と、前記チャックテーブルに保持された板状物の厚みを測定する厚み測定手段と、から少なくとも構成される研削装置を用いて板状物を研削して所定の厚さに仕上げる板状物の研削方法であって、
外部刺激により硬化する液状樹脂を前記所定の厚さよりも厚くリング形状に成形しリング形状測定部材を形成するリング形状測定部材形成ステップと、
前記リング形状測定部材および複数の板状物を支持部材に貼着して前記リング形状測定部材と前記板状物とを一体にする一体貼着ステップと、
前記複数の板状物と一体となった前記リング形状測定部材の中心を前記チャックテーブルの回転中心に位置付けて前記チャックテーブルに保持する保持ステップと、
前記チャックテーブルに保持された前記リング形状測定部材及び複数の板状物を前記研削手段によって研削する研削ステップと、から構成され、
前記研削ステップでは、前記リング形状測定部材の厚さを測定して研削された板状物の厚さを間接的に検出する、
ことを特徴とする板状物の研削方法。
【請求項２】
上面に板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対峙して配設された研削ホイールを備えた研削手段と、前記チャックテーブルに保持された板状物の厚みを測定する厚み測定手段と、から少なくとも構成される研削装置を用いて板状物を研削して所定の厚さに仕上げる板状物の研削方法であって、
支持部材の上面に複数の板状物を貼着する前または後に、前記複数の板状物が貼着される領域以外の前記支持部材の上面上に、外部刺激により硬化する液状樹脂を前記所定の厚さよりも厚くリング形状に成形しリング形状測定部材を形成するリング形状測定部材形成ステップと、
前記複数の板状物と一体となった前記リング形状測定部材の中心を前記チャックテーブルの回転中心に位置付けて前記チャックテーブルに保持する保持ステップと、
前記チャックテーブルに保持された前記リング形状測定部材及び複数の板状物を前記研削手段によって研削する研削ステップと、から構成され、
前記研削ステップでは、前記リング形状測定部材の厚さを測定して研削された板状物の厚さを間接的に検出する、
ことを特徴とする板状物の研削方法。
【請求項３】
前記リング形状測定部材形成ステップでは、回転する回転テーブル上に回転中心から所定距離離した位置に前記液状樹脂を滴下するとともに外部刺激を加えて硬化させ、前記所定の厚さよりも厚くリング形状測定部材を形成する、ことを特徴とする請求項１または２に記載の板状物の研削方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１３−９４９１０（Ｐ２０１３−９４９１０Ａ）
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２４１１０３（Ｐ２０１１−２４１１０３）
【出願日】平成２３年１１月２日（２０１１．１１．２）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月２日（２０１１．１１．２）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
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