検査装置

【課題】検査対象物の破損を防止しかつ組み立てを容易とすること。
【解決手段】検査対象物４１と基板１１とを接続するコネクタ１５と、該コネクタ１５を保持するインナーフレーム１７と、該インナーフレーム１７にスライド可能に保持されるプッシャー１９と、ベース２１と、該ベース２１に回転自在に保持され前記プッシャー１９を押圧操作する操作部材２３と、前記プッシャー１９を常時付勢する弾性部材３３とを有し、前記操作部材２３はシャフト３１を有し、前記プッシャー１９はシャフト３１を介して前記操作部材２３に揺動自在に保持される。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物を接続するコネクタを備えている検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術１としては、配線基板の電極を受け入れるゲート部を備えたソケット本体部と、ソケット本体部に植設されたソケットカバーの閉動作により押圧されてゲート部を受け入れた配線基板の電極と接触する接触子を有するコンタクトピンとを備えている電気部品用ソケットが知られている。
【０００３】
ゲート部を構成するガイド部材の上下面には、第１ゲート部及び第２ゲート部が形成されており、第１ゲート部または第２ゲート部に挿入された電極に対して上方から接触する第１接触部を設けるとともに、下方から接触する第２接触部を設けている（たとえば、特許文献１を参照）。
【０００４】
従来技術２としては、支軸をはさんだ揺動端の一方における対向位置に弾性部材を配置して相対方向に揺動することで支軸をはさんだ揺動端の他方に挿入されるフレキシブル基板を狭持し、揺動端の他方に位置する端子と、フレキシブルプリント基板上の端子とを導通させる上下のクリップ本体を備えているクリップ式中継コネクタが知られている。
【０００５】
クリップ本体には、フレキシブルプリント基板の端子に接触部するプローブを備えたブロック部材と、スペーサと対向してフレキシブルプリント基板の上面に対向する挿入ガイド部材とが設けられている（たとえば、特許文献２を参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２５９６５号公報
【特許文献２】特許第３２１９２６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１では、金属バネを用いた接触子を用いており、接触子はバネ力を強くすると配線基板を損傷させる恐れがあり、反対にバネ力を弱くすると電気的な接続が不安定になってしまうという問題がある。
【０００８】
特許文献２では、弾性部材（スプリングピン）を用いた端子であり、バネ力を強くするとフレキシブル基板を損傷させる恐れがあるので、反対にバネ力を弱くすると電気的な接続が不安定になってしまうという問題がある。
【０００９】
特に、使用方法を誤って接触させた状態でフレキシブル基板を引き抜くなどした場合には、フレキシブル基板を大きく損傷してしまうという問題がある。
【００１０】
また、フレキシブル基板を挿入する挿入ガイド部材は、クリップ本体から突出しているため、挿入長さを確保できないフレキシブル基板には使用できないという問題がある。
【００１１】
それ故に、本発明の課題は、検査対象物へ損傷を与えることがなく、高さのバラツキを吸収して確実に接触を図ることができる検査装置を提供することにある。
【００１２】
また、本発明の他の課題は、シャフトから荷重を１点で受け、プッシャーから検査対象物へ左右均等に荷重を伝えることができる検査装置を提供することにある。
【００１３】
さらに、本発明の他の課題は、検査対象物の挿入口がわかり易い検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、検査対象物を検査する検査装置において、基板と、該基板を載置する基台と、前記検査対象物と前記基板とを接続するコネクタと、該コネクタを保持するインナーフレームと、該インナーフレームにスライド可能に保持されるプッシャーと、前記基板上に設けたベースと、該ベースに回転自在に保持され前記プッシャーを押圧操作する操作部材と、前記プッシャーを前記プッシャーの押圧方向に常時付勢する弾性部材とを有し、前記操作部材はシャフトを有し、前記プッシャーはシャフトを介して前記操作部材に揺動自在に保持されることを特徴とする検査装置であることを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の検査装置によれば、高さのバラツキを吸収して確実に接触を図ることができる。
【００１６】
また、本発明の検査装置によれば、プッシャー及び第１のガイド部材が操作部材とシャフトとによって保持され、操作部材と連動して可動する構造となっており、検査対象物を挿入する時の負荷で第１のガイド部材、プッシャーが下がることがないのでコネクタの破損を防止できる。
【００１７】
また、プッシャーが検査対象物をコネクタへ押し付ける際、第１のガイド部材及びプッシャーを操作部材に連動させる第１のシャフトがプッシャーへ荷重を伝え、第１のシャフトを通すプッシャーの貫通孔が、プッシャーの中心に配置されており、かつ内側が曲面によって構成されていることから第１のシャフトから荷重を１点で受け、プッシャーから検査対象物へ左右均等に荷重を伝えることができる。
【００１８】
また、プッシャーの貫通孔と第１のシャフトとにはクリアランスがあり、プッシャーを前後左右フレキシブルに可動させることができ、検査対象物が傾いても追従させることができる。
【００１９】
また、本発明の検査装置では、検査対象物を挿入する第１の」ガイド部材の第１の挿入口を単一の部材によって構成しているため、第１の挿入口がわかり易くなる。即ち、第１のガイド部材を設けることで、操作部材との接触部の露出をなくすことができるので、第１のガイド部材にのみ第１の挿入口を設けることで、一見して挿入口が判断できるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の検査装置は、検査対象物を検査する検査装置において、基板と、該基板を載置する基台と、前記検査対象物と前記基板とを接続するコネクタと、該コネクタを保持するインナーフレームと、該インナーフレームにスライド可能に保持されるプッシャーと、前記基板上に設けたベースと、該ベースに回転自在に保持され前記プッシャーを押圧操作する操作部材と、前記プッシャーを前記プッシャーの押圧方向に常時付勢する弾性部材とを有し、前記操作部材はシャフトを有し、前記プッシャーはシャフトを介して前記操作部材に揺動自在に保持されることにより実現した。
【実施例１】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明に係る検査装置を説明する。図１は、検査装置の実施例１を示している。図２は、図１に示した検査装置を分解した状態を示している。図３は図１に示した検査装置を分解した状態で裏面から見た図である。
【００２２】
図１乃至図３を参照して、検査装置は、基板１１と、基板１１を載置する基台１３と、検査対象物４１（図４を参照）を基板１１に接続するコネクタ１５と、コネクタ１５を保持するインナーフレーム１７と、インナーフレーム１７にスライド可能に保持されるプッシャー１９と、基板１１に保持されるベース２１と、ベース２１に回転自在に保持されプッシャー１９を押圧操作する操作部材２３とを有している。
【００２３】
さらに、検査装置は、検査対象物４１の挿入をガイドし位置決めする第１のガイド部材２７と、検査対象物４１の挿入をガイドする第２のガイド部材２９と、第１のシャフト３１と、第１のシャフト３１と同じ形状の第２のシャフト３２とを有している。
【００２４】
インナーフレーム１７は、ベース２１に組み込まれる。プッシャー１９は、検査対象物４１をコネクタ１５に向かって押圧するように上下に移動可能にインナーフレーム１７に組み込まれている。
【００２５】
プッシャー１９は、長板形状の押圧部１９ａと、押圧部１９ａの長手方向の中間部分で押圧部１９ａを直交する方向へ延びている係止部１９ｂとを有している。係止部１９ｂには、第１のシャフト３１を貫通させる貫通孔１９ｃが形成されている。
【００２６】
プッシャー１９は、第１のシャフト３１を介して操作部材２３に揺動自在に保持される。
【００２７】
操作部材２３は、ベース２１上に位置している。操作部材２３の前面２３ａには、長手方向の両側に一対の第１のアーム部２３ｂが突出するように延びている。一対の第１のアーム部２３ｂには、第１のシャフト３１の両端部の近傍を挿通して第１のシャフト３１の軸方向の両端部のそれぞれを支持するアーム孔２３ｄが形成されている。
【００２８】
第１のガイド部材２７は、第１のシャフト３１によって支持されている。第１のガイド部材２７は、長手方向の両端部に形成されている切り欠き部２７ａと、切り欠き部２７ａの外側に位置している一対の第１のガイド支持部２７ｂと、一対の切り欠き部２７ａ間に形成されている第１のガイド中間支持部２７ｃと、第１のガイド支持部２７ｂ及び第１のガイド中間支持部２７ｃの下側に形成されている第１の挿入口２７ｆとを有している。
【００２９】
第１のガイド支持部２７ｂには、第１のシャフト３１の軸方向の両端部を挿通する第１のガイド孔２７ｇが形成されている。第１のガイド中間支持部２７ｃには、第１のシャフト３１の軸方向の中間部分を挿通する第１のガイド中間孔２７ｈが形成されている。なお、第１のガイド中間支持部２７ｃの内側には、プッシャー１９の係止部１９ｂが入り込む空間部分が形成されている。
【００３０】
第１のガイド孔２７ｇ及び第１のガイド中間孔２７ｈは、長手方向を直交する方向へ長い寸法の孔であり、側面から見るとほぼ楕円形状の孔となっている。第１及び第２の切り欠き部２７ａのそれぞれには、操作部材２３のアーム部２３ａが一対一に挿入されている。
【００３１】
したがって、第１のシャフト３１は、アーム孔２３ｄ、貫通孔１９ｃ，第１のガイド孔２７ｇ、第１のガイド中間孔２７ｈを挿通している。第１の挿入口２７ｆは、長手方向の寸法が検査対象物４１の幅寸法よりも大きい寸法となっている。
【００３２】
インナーフレーム１７は、プッシャー１９の押圧部１９ａを受け入れるフレーム孔１７ａと、検査対象物４１を受け入れて位置決めするための位置決め部１７ｂが形成されている。
【００３３】
ベース２１には、第２のシャフト３２を挿通する一対のベース孔２１ａが形成されている。また、操作部材２３の裏面には、ベース孔２１ａに挿通される第２のシャフト３２の中間部分を挿通する操作孔（図示せず）が形成されている。
【００３４】
第２のシャフト３２は、ベース孔２１ａ及び操作孔を挿通して操作部材２３をベース２１に対して回転可能に支持している。
【００３５】
第２のガイド部材２９は、長手方向に形成されている第２の挿入部２９ａと、第２の挿入部２９ａの両端部から相対向するように並行に延びている一対の第２のアーム部２９ｂとを有している。
【００３６】
第２の挿入部２９ａには、一面２９ｃから切り欠けられて形成されている第２の挿入口２９ｆが形成されている。第２の挿入口２９ｆの長手方向の寸法は、検査対象物４１の幅寸法よりも少し大きい寸法となっている。検査対象物４１は、第２の挿入口２９ｆから第２の挿入口２７ｆへ挿入される。
【００３７】
一対の第２のアーム部２９ｂは、弾性を有し、第１のガイド部材２７の長手方向を直交する両端面に係止されている係合凹部２７ｐに係合させることによって、第１のガイド部材２７に着脱可能に取り付けられる。
【００３８】
基板１１、基台１３及びベース２１のそれぞれには、互いに対向する位置に複数のネジ孔１１ｅ、１３ｅ、２１ｅが形成されている。基台１３及びベース２１は、図示しないネジをネジ孔１１ｅ、１３ｅ、２１ｅに螺合することによって基板１１を介して一体に固定されている。
【００３９】
図４は、接続装置内におけるコネクタ１５と、コネクタ１５の近傍を断面し、拡大して示している。図５（Ａ）、図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）は、コネクタ１５を示している。
【００４０】
図４及び図５（Ａ）、図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）を参照して、コネクタ１５は、インナーフレーム１７に収納され、また、基板１１上に搭載されている。コネクタ１５の上に検査対象物４１が配置され、検査対象物４１はプッシャー１９によりコネクタ１５に押し付けられている。
【００４１】
コネクタ１５は、平坦な基材フィルム１５ａと、基材フィルム１５ａの両面に千鳥状に形成されている複数の弾性体１５ｂと、基材フィルム１５ａを両側から挟持する一対の絶縁板１５ｃと、基材フィルム１５ａ、各弾性体１５ｂ及び各絶縁板１５ｃに全体的に巻き付く導体フィルム１５ｄとから構成される。
【００４２】
導体フィルム１５ｄは、２つに折り曲げられている。導体フィルム１５ｄの表面には、多数の導体パターン１５ｆが一定のピッチで巻き付くように形成されている。
【００４３】
図４において、プッシャー１９が検査対象物４１の上面を押すと、検査対象物４１の下面に形成されている導体パターンの接点部４１ａはコネクタ１５の上面の導体パターン１５ｆの接点部に接触し、コネクタ１５の下面の導体パターン１５ｆの接点部はプリント回路基板１１の上面に形成されているパッド１１ｃに接触する。なお、このようなコネクタ１５はフィルムコネクタと呼ばれている。
【００４４】
実施例１における基板１１はプリント回路基板であり、図６に示すように、洗濯鋏を摘む要領で検査対象物４１を鋏み、検査装置の後方のバネの力で検査対象物４１をコネクタ１５へ押し付けるのみで基板１１と電気的に接続する。なお、基板１１の後方部分には、インターフェース用コネクタ５０，５１が接続されている。
【００４５】
図６では、コネクタ５０とコネクタ５１との両方を用いた場合の例であるが、コネクタ５０又はコネクタ５１の一方のみを用いてもよい。また、コネクタ５１を用いない場合には、基盤１１の形状も異なってくる。
【００４６】
実施例１における検査装置では、コネクタ１５に接続する検査対象物４１としてＦＰＣ（フレキシブル・プリントサーキット）を採用している。また、その他の検査対象物としては、ＦＦＣ（フレキシブル・フラット・ケーブル）を接続して検査するものがある。
【００４７】
図７は、コネクタ１５と検査対象物４１とが接続している状態の検査装置を示している。図８は、図７に示した検査装置から検査対象物４１を除いた状態を示している。図７は、検査装置に検査対象物４１を接続した状態を下接点方向による使用状態を示している。図８は、検査装置に検査対象物４１を接続した状態を下接点方向による使用状態で示している。
【００４８】
図９は、コネクタ１５と検査対象物４１とが接続する前状態の検査装置を示している。図１０は、図９に示した検査装置から検査対象物４１を除いた状態を示している。
【００４９】
検査装置は、図２に示したプッシャー１９をプッシャー１９の押圧方向Ｉ（図１１に示した矢印Ｉを参照）に常時付勢する弾性部材（コイルバネ）３３を有している。
【００５０】
弾性部材３３が操作部材２３を押し上げている嵌合状態では、第２のシャフト３２を支点としてプッシャー１９の押圧部１９ａが検査対象物４１とコネクタ１５とを押圧している。
【００５１】
図９及び図１０に示したように、検査対象物４１がコネクタ１５に接続する前の状態を示している。操作部材２３の上面の右側が、手指（図示せず）により下方へ押圧されている。このとき、弾性部材３３は圧縮される。プッシャー１９は第１のシャフト３１により押し上げられ、プッシャー１９の上端は操作部材２３の内面に当接している。
【００５２】
第２のガイド部材２９に沿わせて検査対象物４１を挿入口へ挿入する。検査対象物４１を接続装置に挿入してコネクタ１５上に配置した後、手指を操作部材２３の上面から離す。すると、操作部材２３は、一対の弾性部材３３の拡張力により第２のシャフト３２を支点として回転する。
【００５３】
したがって、プッシャー１９は、図７及び図８に示したように操作部材２３により押し下げられて、検査対象物４１をコネクタ１５に押し付ける。このように、プッシャー１９の上下動は、バネを使用せずに第１及び第２のシャフト３１，３２により操作部材２３と連動して可動している。
【００５４】
検査対象物４１を挿入する時には、第１及び第２のガイド部材２７，２９が持ち上がり、検査対象物４１とコネクタ１５とが接触しないことでコネクタ１５に損傷を与えない。
【００５５】
また、第１のガイド部材２７が第１及び第２のシャフト３１，３２により、操作部材２３と連動して持ち上がることで、検査対象物４１を挿入する時の負荷によって第１のガイド部材２７の第１の挿入口２７ｆが変位しない。
【００５６】
さらに、操作部材２３を手指により下方へ押圧した状態を解除すると、第１のシャフト３１がプッシャー１９を加圧する。検査終了後、再度、操作部材２３の後端部を押して第１ガイド部材２７、プッシャー１９を持ち上げ検査対象物４１を抜く。
【００５７】
図１２は、プッシャー１９が第１のシャフト３１の係止部１９ｂの挿通孔１９ｃに挿通されている状態を示している。係止部１９ｂは、図１３に示すように、第１のシャフト３１と当接する部分が断面略半円状の凸状の曲面１９ｍ，１９ｎに形成されている。
【００５８】
プッシャー１９は、第１のシャフト３１を通す係止部１９ｂをプッシャー１９の中心に配置し、貫通孔１９ｃの内側を曲面１９ｍ，１９ｎにて構成することで、第１のシャフト３１による加圧を１点にて受けるので、検査対象物４１への負荷が幅方向で均等に伝わる。
【００５９】
また、貫通孔１９ｃの内側を曲面１９ｍ，１９ｎにて構成することで、検査対象物４１との接触部（底面）を曲がり面で構成することにより、プッシャー１９が傾いた状態で検査対象物４１と接触しても垂直に近い方向で加圧できる。
【００６０】
プッシャー１９のシャフト３１，３２を通す貫通孔１９ｃと第１のシャフト３１との間にクリアランスを取ることで、図１４及び図１５に示すように、プッシャー１９が前後方向II，方向IIIにフレキシブルに可動でき、検査対象物４１の傾きに対して追従して加圧できる。
【００６１】
また、検査装置は、図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）に示すように、検査対象物４１の接点方向により、検査装置を上下反転させるのみで構造に変更を加えることなく対応が可能である。
【００６２】
図１６（Ａ）は、検査装置に検査対象物４１を接続した状態を上接点方向による使用状態で示している。図１６（Ｂ）は、検査装置に検査対象物４１を接続した状態を上接点方向による使用状態で示している。
【００６３】
第２のガイド部材２９については、接点方向により検査装置を上下反転させても第２のガイド部材２９は、部品を変えることなく常に、同じ向きで第１のガイド部材２７へセットされる。
【００６４】
なお、検査対象物４１の形状により挿入深さを確保できない場合は、図１７に示すように、第２のガイド部材２９を外して使用する。この場合には、図１８及び図１９に示すように、インナーフレーム１７には、位置決め部１７ｂが形成されているのでインナーフレームの１部品のみで検査対象物４１を位置決するための幅方向や挿入方向を精度よく位置決めできる。
【００６５】
インナーフレーム１７の検査対象物４１の位置決めを行う部位をあらかじめ小さく製作し、検査対象物４１の幅寸法Ｌに応じて切削などの除去加工を施すことでフレキシブルに各寸法の検査対象物４１に対応する。
【００６６】
検査対象物４１の幅により除去加工の必要なインナーフレーム１７については、基板１１、基台１３、第１ガイド部材２７、プッシャー１９、第１及び第２のシャフト３１，３２の共通部品はあらかじめ組み立てておく。各要求に応じて基板の形状、コネクタ１５を変更することが可能となる。
【００６７】
なお、検査装置の開閉に、洗濯鋏をつまむ要領で操作部材２３を押し下げる方法を採用しているが、操作部材２３を押し下げるのにレバーを使用する方法が考えられる。
【００６８】
これにより、検査対象物４１を挿入する、レバーを下ろすと、操作部材２３が下がるという区切りを付けられるため、確実に第１及び第２のガイド部材２７，２９を持ち上げた状態での挿入が可能となる。
【００６９】
本実施例では、コネクタ１５の弾性体及び接点部の配列は千鳥で２列配置の場合にて説明したが、２列の平行配列あるいは一列の配置でも適用可能である。
【００７０】
また、本発明の検査装置は、第２のガイド部材は取り外し可能であり、挿入深さを確保できない検査対象物でも対応可能となる。
【００７１】
また、検査対象物を加圧するプッシャーの上下動を第１のシャフトによって操作部材と連動して行っているため、検査対象物を挿入する時に掛る負荷に対して第１の挿入口が変位することがない。
【００７２】
さらに、プッシャーの可動には、バネを使用していないので部材の損失を防ぎかつ組み立てが容易となる。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明の検査装置は、ＬＣＤ，ＣＣＤなどの点灯検査に用い、ＬＣＤ，ＣＣＤなどに接続されたフレキシブル基板もしくは剛性のプリント回路基板へ接続して検査を行う検査機器として使用する用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明に係る検査装置の実施例１を示す斜視図である。
【図２】図１に示した検査装置を分解して示した斜視図である。
【図３】図１に示した検査装置を裏側から見た状態で分解して示した斜視図である。
【図４】図１に示したコネクタと、コネクタの近傍箇所を拡大して示した断面図である。
【図５】図４に示したコネクタの諸図であり、（Ａ）は全体の斜視図、（Ｂ）は要部の拡大斜視図、（Ｃ）は拡大断面図をそれぞれ示す。
【図６】図１に示した検査装置に検査対象物を接続した状態を示す斜視図である。
【図７】図１に示した検査装置に検査対象物を接続した状態を一部断面して示した側面図である。
【図８】図１に示した検査対象物を除いた状態の検査装置を示した断面図である。
【図９】図１に示した検査装置に検査対象物を挿入する途中の状態を一部断面して示した側面図である。
【図１０】図９に示した検査対象物を除いた状態の検査装置を示した断面図である。
【図１１】図７に示した検査装置の要部を拡大して示した断面図である。
【図１２】図１１に示したプッシャーとシャフトとの関係を拡大して示した斜視図である。
【図１３】図１２に示したプッシャーとシャフトとの荷重の関係を示した斜視図である。
【図１４】図１２に示したプッシャーとシャフトとの可動状態を示した斜視図である。
【図１５】図１４に示したプッシャーとシャフトとの可動状態を示した正面図である。
【図１６】（Ａ）は図７に示した検査装置に検査対象物を接続した状態を上接点方向による使用状態で一部を断面して図示した側面図、（Ｂ）は図８に示した検査装置に検査対象物を接続した状態を上接点方向による使用状態を一部を断面して図示した側面図である。
【図１７】図１に示した検査装置から第２ガイド部材を取り外した状態を示した斜視図である。
【図１８】図１７に示した検査装置のインナーフレームを示した斜視図である。
【図１９】図１７に示した検査対象物とインナーフレームの側面図である。
【符号の説明】
【００７５】
１１基板
１３基台
１５コネクタ
１７インナーフレーム
１７ａフレーム孔
１７ｂ位置決め部
１９プッシャー
１９ａ押圧部
１９ｂ係止部
１９ｃ貫通孔
１９ｍ，１９ｎ曲面
２１ベース
２１ａベース孔
２３操作部材
２３ｂ第１のアーム部
２３ｄアーム孔
２７第１のガイド部材
２７ａ切り欠き部
２７ｂ第１のガイド支持部
２７ｃ第１のガイド中間支持部
２７ｆ第１の挿入口
２７ｇ第１のガイド孔
２７ｈ第１のガイド中間孔
２７ｐ係合凹部
２９第２のガイド部材
２９ａ第２の挿入部
２９ｂ第２のアーム部
２９ｆ第２の挿入口
３１第１のシャフト
３２第２のシャフト
３３弾性部材
４１検査対象物

【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を検査する検査装置において、
基板と、該基板を載置する基台と、前記検査対象物と前記基板とを接続するコネクタと、該コネクタを保持するインナーフレームと、該インナーフレームにスライド可能に保持されるプッシャーと、前記基板上に設けたベースと、該ベースに回転自在に保持され前記プッシャーを押圧操作する操作部材と、前記プッシャーを前記プッシャーの押圧方向に常時付勢する弾性部材とを有し、
前記操作部材はシャフトを有し、
前記プッシャーは前記シャフトを介して前記操作部材に揺動自在に保持されることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の検査装置において、前記プッシャーは前記シャフトと係合する係止部を有し、該係止部は前記シャフトと当接する部分が断面略半円状に形成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１記載の検査装置において、前記検査対象物の挿入をガイドし位置決めするよう前記操作部材に支持されたガイド部材を有することを特徴とする検査装置。

【図１】