薄膜形太陽電池及びその製造方法
【課題】基板上に所定パターンで形成された第1電極;前記第1電極上に形成された第1半導体層;前記第1半導体層上に所定パターンで形成された第2電極;前記第2電極上に形成された第2半導体層;及び前記第2半導体層上に所定パターンで形成された第3電極を含み、前記第1電極と前記第3電極は電気的に連結される薄膜形太陽電池、及びその製造方法に関する。
【解決手段】第1電極、第1半導体層及び第2電極の組み合わせによって構成される第1太陽電池と、第2電極、第2半導体層及び第3電極の組み合わせによって構成される第2太陽電池が並列に連結される構成を持つことで、第1太陽電池及び第2太陽電池の間に電流マッチングのための工程が必要ではないながらも基板に入射された太陽光が第1太陽電池及び第2太陽電池それぞれに吸収されて全体薄膜形太陽電池の効率が増進される。
【解決手段】第1電極、第1半導体層及び第2電極の組み合わせによって構成される第1太陽電池と、第2電極、第2半導体層及び第3電極の組み合わせによって構成される第2太陽電池が並列に連結される構成を持つことで、第1太陽電池及び第2太陽電池の間に電流マッチングのための工程が必要ではないながらも基板に入射された太陽光が第1太陽電池及び第2太陽電池それぞれに吸収されて全体薄膜形太陽電池の効率が増進される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、太陽電池(Solar Cell)に関するもので、より詳細には、薄膜形太陽電池に関する。
【背景技術】
【0002】
太陽電池は半導体の性質を利用して光エネルギーを電気エネルギーに変換する装置である。
【0003】
太陽電池の構造及び原理について簡単に説明すると、太陽電池はP(Positive)形半導体とN(negative)形半導体を接合させたPN接合構造をしている。このような構造の太陽電池に太陽光が入射されると、入射された太陽光が持っているエネルギーによって前記半導体内で正孔(hole)と電子(electron)が発生して、この際、PN接合で発生した電気場によって前記正孔(+)はP形半導体側へ移動して、前記電子(−)はN形半導体側へ移動するようになって、電位が発生することで電力を生産することができる原理である。
【0004】
このような太陽電池は基板形太陽電池と薄膜形太陽電池とに区分できる。
【0005】
基板形太陽電池はシリコンのような半導体物質自体を基板として利用して太陽電池を製造するものであり、薄膜形太陽電池はガラスなどの基板上に薄膜の形態で半導体を形成して太陽電池を製造するものである。
【0006】
基板形太陽電池は薄膜形太陽電池より効率が多少優れるが、工程上、厚さを最小化することに限界があり、高価な半導体基板を利用するから製造費用が上昇する短所がある。
【0007】
薄膜形太陽電池は基板形太陽電池より効率が多少落ちるが、薄い厚さで製造することができ、低価の材料を利用できるから製造費用が減少される長所があって大量生産に適している。
【0008】
以下、添付図面を参照しつつ、従来の薄膜形太陽電池について説明する。
【0009】
図1aは、従来の一実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図である。
【0010】
図1aに示すように、従来の一実施例による薄膜形太陽電池は、基板(10)、前面電極層(20)、半導体層(30)、及び後面電極層(60)で成り立つ。
【0011】
前記前面電極層(20)は太陽光が入射される面であるからZnOのような透明な導電物質を利用して形成される。
【0012】
前記半導体層(30)は、シリコンのような半導体物質を利用して形成され、P形(Positive)半導体層、I形(Intrinsic)半導体層及びN形(Negetive)半導体層が順に積層された、いわゆるPIN構造で形成される。
【0013】
前記後面電極層(60)はAg、Alのような金属を利用して形成される。
【0014】
しかしながら、図1aに示す従来の薄膜形太陽電池は、前記半導体層(30)を構成するシリコンのような半導体物質自体の光吸収係数が低いだけでなく、前記半導体層(30)が数μm以下の薄膜で形成された単一PIN構造で構成され、光吸収効率が落ちるから、高効率の太陽電池を具現することに限界がある。
【0015】
したがって、前記半導体層(30)を単一PIN構造ではない複数のPIN構造で積層した太陽電池が考案された。
【0016】
図1bは、従来の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり、PIN構造の半導体層を2層で積層した、いわゆるタンデム(tandem)構造の薄膜形太陽電池を示している。
【0017】
図1bに示すように、従来の他の実施例による薄膜形太陽電池は、基板(10)、前面電極層(20)、第1半導体層(30)、バッファー層(40)、第2半導体層(50)、及び後面電極層(60)で構成される。
【0018】
前記第1半導体層(30)及び第2半導体層(50)は、いずれも、P形(Positive)半導体層、I形(Intrinsic)半導体層及びN形(Negative)半導体層が順に積層したPIN構造で形成されて、前記第1半導体層(30)及び第2半導体層(50)の間にはトンネル接合を通じて正孔及び電子の移動を円滑にするためにバッファー層が形成される。
【0019】
このように、図1bに示す従来の薄膜形太陽電池は、PIN構造の第1半導体層(30)及びPIN構造の第2半導体層(50)を形成することで、2個の太陽電池が直列に連結されたような構造を持って太陽電池の開放電圧を高めることができるから、図1aによる従来の薄膜形太陽電池に比べてより高効率を達成することができる長所がある。
【0020】
しかしながら、図1bに示す従来の薄膜形太陽電池は、前記第1半導体層(30)及び第2半導体層(50)の間の電流マッチング(Current matching)のための工程が必要となるが、このような電流マッチングのための工程が非常にややこしくて、仮に電流マッチングが正確でない場合には高効率を達成することができない問題がある。
【0021】
より具体的に説明すると、図1bのように2個の太陽電池が直列に連結される構造では、前記第1半導体層(30)で生成された電子が前記第2半導体層(50)へ移動するために前記第1半導体層(30)及び第2半導体層(50)の間でトンネリング過程を経なければならず、このようなトンネリングを最大化することで電流マッチングが実現するようになる。ここで、前記トンネリングを最大化するためには前記バッファー層(40)の厚さ、前記第2半導体層(50)のP層の厚さなどを最適化しなければならない。このような前記バッファー層(40)の厚さ、及び前記第2半導体層(50)のP層の厚さなどの最適化を行うためには作業員が多くの時間を投資して反復的な実験を行わなければならず、仮に前記バッファー層(40)の厚さ及び前記第2半導体層(50)のP層の厚さなどに対して最適化された寸法を得ることができない場合には、電流マッチングが正確に実現できず高効率の太陽電池を具現することができない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0022】
本発明は、前記のような従来の問題点を解決するために考案されるもので、本発明は電流マッチングのための工程を実行せずとも高効率を得ることができる薄膜形太陽電池及びその製造方法を提供することを目的にする。
【課題を解決するための手段】
【0023】
本発明は、前記目的を達成するために、基板上に所定パターンで形成された第1電極;前記第1電極上に形成された第1半導体層;前記第1半導体層に所定パターンで形成された第2電極;前記第2電極上に形成された第2半導体層;及び前記第2半導体層上に所定パターンで形成された第3電極を含み、前記第1電極と前記第3電極は電気的に連結されていることを特徴とする薄膜形太陽電池を提供する。
【0024】
本発明は、または、基板上に所定間隔で離隔形成された複数個の第1電極;前記第1電極上に形成された第1半導体層;前記第1半導体層上に所定間隔で離隔形成された複数個の第2電極;前記第2電極上に形成された第2半導体層;前記第2半導体層上に所定間隔で離隔形成された複数個の第3電極を含み、前記第3電極は前記第1電極及び隣の前記第2電極と電気的に連結されたことを特徴とする薄膜形太陽電池を提供する。
【0025】
本発明は、または、基板上に所定パターンの第1電極を形成する工程;前記第1電極上に第1半導体層を形成する工程;前記第1半導体層上に所定パターンの第2電極を形成する工程;前記第2電極上に第2半導体層を形成する工程;前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域を除去してコンタクト部を形成する工程;及び前記コンタクト部を通じて前記第1電極と電気的に連結される、所定パターンの第3電極を形成する工程を含む薄膜形太陽電池の製造方法を提供する。
【0026】
本発明は、または、基板上に、所定間隔で離隔する複数個の第1電極を形成する工程;前記第1電極上に第1半導体層を形成する工程;前記第1半導体層上に、所定間隔で離隔する複数個の第2電極を形成する工程;前記第2電極上に第2半導体層を形成する工程;前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域を除去してコンタクト部を形成する工程;及び前記コンタクト部を通じて前記第1電極及び隣の前記第2電極と電気的に連結されて、所定間隔で離隔する複数個の第3電極を形成する工程を含む薄膜形太陽電池の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【0027】
上述した本発明によると、次のような効果がある。
【0028】
第1に、第1電極,PIN構造の第1半導体層及び第2電極の組み合わせによって構成される第1太陽電池と、第2電極、NIP構造の第2半導体層及び第3電極の組み合わせによって構成される第2太陽電池が並列に連結される構成を持つことで、第1太陽電池及び第2太陽電池の間に電流マッチング(Current Matching)のための工程が必要なくなる。したがって、電流マッチングのための工程が必要ないながらも、基板に入射された太陽光は第1太陽電池及び第2太陽電池それぞれに吸収されて全体の薄膜形太陽電池の効率が増進される効果を得ることができる。
【0029】
第2に、薄膜形太陽電池を複数個の単位セルに分離して、それぞれの単位セルを直列に連結した構成を持つこととすれば、基板が大面積化されても電極の大きさを減らすことができ、それによって電極抵抗の増加を防止できて、太陽電池の効率が増進される効果を得ることができる。
【0030】
第3に、第3電極下面に透明導電層を形成することとすれば、透明導電層を通過する太陽光が多様な角で散乱して、それによって第3電極で反射されて太陽電池内に再入射される光の比率が増加されることができて、太陽電池の効率が増進される効果を得ることができる。
【0031】
第4に、第1太陽電池及び第2太陽電池で構造された薄膜形太陽電池上部に別途の第3太陽電池を構成したり、または、第1太陽電池及び第2太陽電池の組み合わせを上下二重に形成したりすれば、太陽電池の効率が増進される効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0032】
【図1a】従来の一実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図1b】従来の他の一実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図2a】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図2b】図2aに示す薄膜形太陽電池の概略的な回路構成を示した図面である。
【図3a】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図3b】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図4a】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図4b】図4aに示す薄膜形太陽電池の概略的な回路構成を示した図面である。
【図5】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図6】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図7】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図8a】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図8b】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図8c】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図8d】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図8e】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図8f】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9a】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9b】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9c】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9d】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9e】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9f】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9g】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10a】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10b】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10c】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10d】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10e】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10f】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0033】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の好ましい実施例について詳細に説明する。
【0034】
[薄膜形太陽電池]
図2aは、本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図である。
【0035】
図2aに示すように、本発明の一実施例による薄膜形太陽電池は、基板(100)、第1電極(200)、第1半導体層(300)、第2電極(400)、第2半導体層(500)、及び第3電極(600)を含んで成り立つ。
【0036】
前記基板(100)はガラスまたは透明なプラスチックを利用して形成する。
【0037】
前記第1電極(200)は前記基板(100)上に所定パターンで形成される。前記第1電極(200)は、太陽光が入射される面に形成されるので、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、または、ITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質を利用して形成できる。
【0038】
前記第1電極(200)は入射される太陽光が太陽電池内部にできるだけ吸収されるようにテクスチャリング(texturing)加工工程などを通じてその上面を凹凸構造で形成することが好ましい。前記テクスチャリング加工工程とは、物質表面をでこぼこな凹凸構造で形成して、まるで織物の表面みたいな形状に加工する工程で、フォトリソグラフィ法(photolithotraphy)を利用した蝕刻工程、化学溶液を利用した異方性蝕刻工程(anisotropic etching)、または機械的スクライビング(mechanical scribing)を利用した溝形成工程などを通じて実現できる。このようなテクスチャリング加工工程を前記第1電極(200)に対して実行すると、入射される太陽光の散乱によって太陽電池内部に太陽光が吸収される比率が増加するようになって、太陽電池の効率が増進される効果がある。
【0039】
前記第1半導体層(300)は前記第1電極(200)上に形成される。前記第1電極(200)と第3電極(600)が電気的に連結されるように前記第1半導体層(300)の所定領域にはコンタクト部(700)が形成される。
【0040】
前記第1半導体層(300)は、P形半導体層、I形半導体層、及びN形半導体層が順に積層されたPIN構造で形成される。このように前記第1半導体層(300)がPIN構造で形成されると、I形半導体層がP形半導体層とN形半導体層によって空乏(depletion)になって内部に電気場が発生するようになり、太陽光によって生成される正孔及び電子が前記電気場によってドリフト(drift)される。そして、正孔はP形半導体層を通じて第1電極(200)で収集され、電子はN形半導体層を通じて第2電極(400)で収集される。
【0041】
前記第2電極(400)は前記第1半導体層(300)上に所定パターンで形成される。前記第2電極(400)は、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質を利用して形成できる。前記第2電極(400)は前記第1電極(200)と第3電極(600)の間に形成されて、上述したように第1半導体層(300)で生成される電子を収集し、また、後述する第2半導体層(500)で生成される電子を収集するようになる。
【0042】
前記第2半導体層(500)は前記第2電極(400)上に形成される。前記第1電極(200)と第3電極(600)が電気的に連結できるように前記第2半導体層(500)の所定領域にはコンタクト部(700)が形成される。
【0043】
前記第2半導体層(500)はN形半導体層、I形半導体層、及びP形半導体層が順に積層されたNIP構造で形成される。このように前記第2半導体層(500)がNIP構造で形成されると、太陽光によって生成される正孔はP形半導体層を通じて第3電極(600)で収集され、電子はN形半導体層を通じて第2電極(400)で収集される。
【0044】
なお、前記第1半導体層(300)はPIN構造の非晶質半導体物質で成り立ち、前記第2半導体層(500)はNIP構造の微細結晶質半導体物質で成り立つこととしてもよい。
【0045】
前記非晶質半導体物質は短波長の光をよく吸収して、前記微細結晶質半導体物質は長波長の光をよく吸収する特性があるから、非晶質半導体物質と微細結晶質半導体物質を組み合わせる場合、光吸収効率を増進することができる。また、非晶質半導体物質は長時間光にさらされる場合に劣化現象が加速される問題があり、非晶質半導体物質を太陽光が入射される面に形成して微細結晶質半導体物質をその反対面に形成する場合に太陽電池の劣化を減らせる効果がある。したがって、太陽光が入射される面に近い第1半導体層(300)を非晶質半導体物質で形成して、太陽光が入射される面から遠い第2半導体層(500)を微細結晶質半導体物質で形成できる。ただ、必ずこれに限定される必要はなく、前記第1半導体層(300)として非晶質半導体/ゲルマニウム、微細結晶質半導体物質など多様に変更利用できるし、前記第2半導体層(500)として非晶質半導体物質、非晶質半導体/ゲルマニウムなど多様に変更利用することができる。
【0046】
または、前記第1半導体層(300)がN形半導体層、I形半導体層、及びP形半導体層が順に積層されたNIP構造で形成されて、前記第2半導体層(500)がP形半導体層、I形半導体層、及びN形半導体層が順に積層されたPIN構造で形成されることで、太陽光によって生成される正孔はP形半導体層を通じて第2電極(400)で収集され、電子はN形半導体層を通じて第1電極(200)及び第3電極(600)で収集されるように構成することもできる。
【0047】
前記第3電極(600)は前記第2半導体層(500)上に所定パターンで形成され、前記第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)に揃っているコンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)と連結される。前記第3電極(600)はAg、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属を利用して形成することができる。
【0048】
上記のような本発明の一実施例による薄膜形太陽電池は、第1電極(200)、第1半導体層(300)及び第2電極(400)の組み合あわせによって第1太陽電池が構成され、第2電極(400)、第2半導体層(500)及び第3電極(600)の組み合わせによって第2太陽電池が構成され、第1電極(200)及び第3電極(600)が連結されることで、図2bのように、前記第1太陽電池と第2太陽電池が並列に連結される構成を持つ。したがって、第1太陽電池及び第2太陽電池の間に電流マッチング(Current Matching)のための工程が要求されない。
【0049】
図3a及び図3bは、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり、これは第3電極(600)の下面に透明導電層(650)が追加に形成されることを除いて上述した図2aによる薄膜形太陽電池と同様である。したがって、同様な構造に対しては同一の図面符号を付けて、同様な構造に対しては具体的な説明は省略する。
【0050】
図3aに示すように、前記透明導電層(650)は前記第2半導体層(500)の上面に形成され、前記第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)に揃っているコンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)と連結される。この場合、前記第3電極(600)は前記透明導電層(650)を通じて第1電極(200)と電気的に連結される。
【0051】
図3bに示すように、前記透明導電層(650)は前記コンタクト部(700)には形成されず、前記第2半導体層(500)の上面だけに形成されてもよい。
【0052】
前記透明導電層(650)は、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium
Tin Oxide)などのような物質で形成されてよい。
【0053】
このように、透明導電層(650)を形成することで、透明導電層(650)を通過する太陽光が多様な角で散乱して,それによって前記第3電極(600)で反射されて太陽電池内に再入射される光の比率を増加させ、太陽電池の効率を向上することができる。
【0054】
図4aは、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり、これは図2aに示される薄膜形太陽電池を単位セルにして複数個の単位セルを直列に連結した薄膜形太陽電池に関する。したがって、同様な構成に対しては同一の図面符号を付けて、同様な構成に対しては具体的な説明は省略する。
【0055】
図4aに示すように、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池は基板(100)、第1電極(200)、第1半導体層(300)、第2電極(400)、第2半導体層(500)、及び第3電極(600)を含んで成り立つ。
【0056】
前記第1電極(200)は前記基板(100)上に所定間隔で複数個が離隔形成される。
【0057】
前記第1半導体層(300)は前記第1電極(200)上に形成される。前記第1電極(200)と第3電極(600)が電気的に連結されるように、前記第1半導体層(300)の所定領域にはコンタクト部(700)が形成される。
【0058】
前記第2電極(400)は前記第1半導体層(300)上に所定間隔で複数個が離隔形成される。
【0059】
前記第2半導体層(500)は前記第2電極(400)上に形成される。前記第1電極(200)と第3電極(600)が電気的に連結されるように、前記第2半導体層(500)の所定領域にはコンタクト部(700)が形成される。
【0060】
前記第1半導体層(300)がP形半導体層、I形半導体層、及びN形半導体層が順に積層されたPIN構造で形成される場合には、前記第2半導体層(500)はN形半導体層、I形半導体層、及びP形半導体層が順に積層されたNIP構造で形成され、前記第1半導体層(300)がN形半導体層、I形半導体層、及びP形半導体層が順に積層されたNIP構造で形成される場合には、前記第2半導体層(500)はP形半導体層、I形半導体層、及びN形半導体層が順に積層されたPIN構造で形成される。
【0061】
前記第3電極(600)は前記第2半導体層(500)上に所定間隔で複数個が離隔形成される。前記第3電極(600)は、前記第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)に揃ったコンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)と連結され、また隣の単位セルの第2電極(400)と連結される。
【0062】
このような本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池は、次に述べるような構成上の特徴を備える。
【0063】
第1に、複数個の単位セルそれぞれは第1電極(200)、第1半導体層(300)及び第2電極(400)の組み合わせによる第1太陽電池、及び第2電極(400)、第2半導体層(500)及び第3電極(600)の組み合わせによる第2太陽電池で成り立っており、前記第1電極(200)及び第3電極(600)が連結されることで、図4bに示されるように、それぞれの単位セル内で第1太陽電池と第2太陽電池が並列に連結される。したがって、第1太陽電池及び第2太陽電池の間に電流マッチング(Current Matching)のための工程が要求されない。
【0064】
第2に、一つの単位セル内の第3電極(600)が隣の単位セルの第2電極(400)と連結されることで、図4bに示されるように、複数個の単位セルの間は直列に連結される。したがって、基板が大面積化されても電極の大きさを減らすことができるし、それによって電極抵抗の増加を防止できる。
【0065】
一方、図示されていないが、図4aの薄膜形太陽電池において、前記第3電極(600)の下面に透明導電層を追加に形成できる。このような透明導電層の構成は図3a及び図3bによる薄膜形太陽電池に形成された透明導電層(650)を参照すれば容易に理解できる。
【0066】
図5は、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり,これは図2aの薄膜形太陽電池の上面に別途の太陽電池が追加に構成されたものである。したがって、同様な構成に対しては同一の図面符号を付けて、同様な構成に対して具体的な説明は省略する。
【0067】
図5に示すように、上述した図2aの薄膜形太陽電池の上部、すなわち、第3電極(600)の上部に絶縁層(800)が形成され、前記絶縁層(800)上に第4電極(820)が形成され、前記第4電極(820)上に第3半導体層(840)が形成され、前記第3半導体層(840)上に第5電極(860)が形成されている。したがって、前記第4電極(820)、第3半導体層(840)及び第5電極(860)の組み合わせによって第3太陽電池が構成される。
【0068】
下部に入射される太陽光が前記第3太陽電池まで円滑に入射されるように、前記第3電極(600)は透明な導電物質で成り立つことが好ましく、前記絶縁層(800)も、SiO2、TiO2、SiNx、またはSiONなどの透明な絶縁物質で成り立つことが好ましい。また、前記第4電極(820)も透明な導電物質で成り立つことが好ましい。
【0069】
前記第3半導体層(840)はPIN構造またはNIP構造で成り立ってよく、前記第5電極(860)は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属で成り立ってよい。
【0070】
図6は、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり、これは図4aの薄膜形太陽電池の上部に別の太陽電池が追加に構成されたものである。したがって、同様な構成に対しては同一の図面符号を付けて、同様な構成に対して具体的な説明は省略する。
【0071】
図6に示すように、上述した図4aの薄膜形太陽電池の上部、すなわち、第3電極(600)の上部に絶縁層(800)が形成され、前記絶縁層(800)上に第4電極(820)が形成され、前記第4電極(820)上に第3半導体層(840)が形成され、前記第3半導体層(840)上に第5電極(860)が形成される。したがって、前記第4電極(820)、第3半導体層(840)及び第5電極(860)の組み合わせのよって第3太陽電池が構成される。
【0072】
下部に入射される太陽光が前記第3太陽電池まで円滑に入射されるように、前記第3電極(600)は透明な導電物質で成り立つことが好ましい。前記絶縁層(800)も、SiO2、TiO2、SiNx、またはSiONなどの透明な絶縁物質で成り立つことが好ましい。
【0073】
前記第4電極(820)は透明導電物質で成り立ってよく、複数個が所定の間隔で離隔形成される。
【0074】
前記第3半導体層(840)はPIN構造、またはNIP構造で成り立ってよく、所定の領域にコンタクト部(845)が揃って形成される。
【0075】
前記第5電極(860)は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属で成り立ってよく、複数個が所定の間隔で離隔形成される。また、前記第5電極(860)は前記コンタクト部(845)を通じて隣の第4電極(820)と電気的に連結される。
【0076】
したがって、図6によると、前記第4電極(820)、第3半導体層(840)及び第5電極(860)の組み合わせによって構成される第3太陽電池が、直列に連結されている複数個の単位セルで成り立つ。
【0077】
図7は本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり、これは図4aの薄膜形太陽電池が上下二重に形成される構造である。したがって、同様な構成に対しては同一の図面符号を付けて、同様な構成に対して具体的な説明は省略する。
【0078】
図7に示すように、第3電極(600)の上部に第3半導体層(810)が形成され、前記第3半導体層(810)上に第4電極(830)が形成され、前記第4電極(830)上に第4半導体層(850)が形成され、前記第4半導体層(850)上に第5電極(870)が形成される。
【0079】
下部に入射される太陽光が上部まで円滑に入射されるように、前記第3電極(600)は透明な導電物質で成り立つことが好ましい。
【0080】
前記第3電極(600)と第5電極(870)が電気的に連結されるように、前記第3半導体層(810)及び第4半導体層(850)の所定領域にはコンタクト部(700)が形成される。
【0081】
前記第4電極(830)は、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質で成り立ってよく、前記第3半導体層(810)及び第4半導体層(850)で生成された電子または正孔を収集することになる。前記第4電極(830)は隣の単位セル内の第5電極(870)と連結され、これにより複数個の単位セルが直列に連結されている。
【0082】
前記第5電極(870)は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属で成り立ってよく、前記第3半導体層(810)及び第4半導体層(850)に揃ったコンタクト部(700)を通じて前記第3電極(600)と連結される。
【0083】
図7の薄膜形太陽電池においては、第1電極(200)、第1半導体層(300)、及び第2電極(400)の組み合わせによって第1太陽電池が構成され、第2電極(400)、第2半導体層(500)及び第3電極(600)の組み合わせによって第2太陽電池が構成され、第3電極(600)、第3半導体層(810)及び第4電極(830)の組み合わせによって第3太陽電池が構成され、第4電極(830)、第4半導体層(850)及び第5電極(870)の組み合わせによって第4太陽電池が構成される。
【0084】
図7の薄膜形太陽電池において、前記第1半導体層(300)がPIN構造で形成される場合、前記第2半導体層(500)はNIP構造で形成されて、前記第3半導体層(810)はPIN構造で形成されて、前記第4半導体層(850)はNIP構造で形成される。そして、太陽光によって生成された電子は第2電極(400)及び第4電極(830)で収集されて、太陽光によって生成された正孔は第1電極(200)、第3電極(600)、及び第5電極(870)で収集される。または、前記第1半導体層(300)がNIP構造で形成される場合、前記第2半導体層(500)はPIN構造で形成されて、前記第3半導体層(810)はNIP構造で形成されて、前記第4半導体層(850)はPIN構造で形成される。この場合、太陽光によって生成された正孔は第2電極(400)及び第4電極(830)で収集されて、太陽光によって生成された電子は第1電極(200)、第3電極(600)、及び第5電極(870)で収集される。以上のように、図7の薄膜形太陽電池は上述した図4aの薄膜形太陽電池が上下二重に形成された構造であるが、本発明はこれに限定されるわけではなく、図4aの薄膜形太陽電池が上下三重以上に形成されることもできる。
【0085】
[薄膜形太陽電池の製造方法]
図8a乃至図8fは、本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図であり、これは上述した図2aに示す薄膜形太陽電池の製造工程に関する。
【0086】
まず、図8aに示すように、基板(100)上に所定パターンの第1電極(200)を形成する。
【0087】
前記第1電極(200)を形成する工程は、基板(100)全面に、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質をスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定パターンの第1電極(200)を形成する工程で成り立ってよい。
【0088】
前記第1電極(200)を形成する工程は、前記第1電極(200)の表面を凹凸構造で形成するために、フォトリソグラフィ法(photolithotraphy)を利用する蝕刻工程、化学溶液を利用する異方性蝕刻工程(anisotropic etching)、または機械的スクライビング(mechanical scribing)を利用する溝形成工程などを利用するテクスチャリング(texturring)加工工程を含むことができる。
【0089】
次は、図8bに示すように、前記第1電極(200)上に第1半導体層(300)を形成する。
【0090】
前記第1半導体層(300)を形成する工程は、シリコン系の非晶質半導体物質を、プラズマCVD法などを利用して、P形半導体層、I形半導体層、及びN形半導体層を順に積層したPIN構造に形成する工程で成り立ってよい。
【0091】
次は、図8cに示すように、前記第1半導体層(300)上に所定パターンの第2電極(400)を形成する。
【0092】
前記第2電極(400)を形成する工程は、前記第1半導体層(300)全面に、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質をスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定パターンの第2電極(400)を形成する工程で成り立ってよい。
【0093】
次は、図8dに示すように、前記第2電極(400)上に第2半導体層(500)を形成する。
【0094】
前記第2半導体層(500)を形成する工程は、シリコン系の非晶質半導体物質、微細結晶質半導体物質、または非晶質半導体/ゲルマニウムなどを、プラズマCVD法などを利用して、N形半導体層、I形半導体層、及びP形半導体層を順に積層したNIP構造に形成する工程で成り立ってよい。
【0095】
次は、図8eに示すように、前記第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)の所定領域を除去してコンタクト部(700)を形成する。
【0096】
前記コンタクト部(700)を形成する工程では、レーザースクライビング工程を利用できる。この時、前記第1電極(200)が露出されるように前記コンタクト部(700)を形成する。
【0097】
次は、図8fに示すように、前記コンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)と電気的に連結される所定パターンの第3電極(600)を形成する。
【0098】
前記第3電極(600)を形成する工程は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属をスパッタリング(Sputtering)法などを利用して積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定パターンの第3電極(600)を形成する工程で成り立ってよい。
【0099】
前記第3電極(600)を形成する工程は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属をペースト(paste)で準備した後、スクリーン印刷法(screen printing)、インクジェット印刷法(inkjet printing)、グラビア印刷法(gravure printing)、または微細接触印刷法(microcontact printing)のような印刷法を利用して所定のパターンの第3電極(600)を直接に形成する工程で成り立ってもよい。
【0100】
一方、前記第3電極(600)を形成する前に透明導電層を積層することで、図3aに示す薄膜形太陽電池を製造することもできる。すなわち、前記図8eのようにコンタクト部(700)を形成した後、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質をスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して積層して、続いて、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属をスパッタリング(Sputtering)法などを利用して積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定パターンの透明導電層(650)及び第3電極(600)を同時に形成することで、図3aに示す薄膜形太陽電池を製造することができる。
【0101】
または、前記第3電極(600)を形成する工程以後に、前記第3電極(600)の上部に絶縁層(800)を形成して、前記絶縁層(800)上に第4電極(820)を形成して、前記第4電極(820)上に第3半導体層(840)を形成して、前記第3半導体層(840)上に第5電極(860)を形成することで、図5に示す薄膜形太陽電池を製造することができる。
【0102】
図9a乃至図9gは本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図であり、これは上述した図3bの薄膜形太陽電池の製造工程に関するものである。上述した実施例と同様な構成に対しては具体的な説明は省略する。
【0103】
まず、図9aに示すように、基板(100)上に所定パターンの第1電極(200)を形成する。
【0104】
次に、図9bに示すように、前記第1電極(200)上に第1半導体層(300)を形成する。
【0105】
次に、図9cに示すように、前記第1半導体層(300)上に所定パターンの第2電極(400)を形成する。
【0106】
次に、図9dに示すように、前記第2電極(400)上に第2半導体層(500)を形成する。
【0107】
次に、図9eに示すように、前記第2半導体層(500)上に透明導電層(650)を積層する。
【0108】
前記透明導電層(650)を積層する工程は、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質に対してスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して行われる。
【0109】
次に、図9fに示すように、前記透明導電層(650)、第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)の所定領域を除去してコンタクト部(700)を形成する。
【0110】
次に、図9gに示すように、前記コンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)と電気的に連結される所定パターンの第3電極(600)を形成する。
【0111】
前記第3電極(600)を形成する工程は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属をスパッタリング(Sputtering)法などを利用して積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定パターンの透明導電層(650)及び第3電極(600)を同時に形成する工程で成り立ってよい。
【0112】
図10a乃至図10fは、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図であり、これは上述した図4aの薄膜形太陽電池の製造工程に関するものである。上述した実施例と同様な構成に対しては具体的な説明は省略する。
【0113】
まず、図10aに示すように、基板(100)上に、所定間隔で離隔する複数個の第1電極(200)を形成する。
【0114】
前記第1電極(200)を形成する工程は、基板(100)全面にスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して第1電極層を積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定領域の第1電極層を除去する工程で成り立ってよい。
【0115】
次に、図10bに示すように、前記第1電極(200)上に第1半導体層(300)を形成する。
【0116】
次に、図10cに示すように、前記第1半導体層(300)上に、所定間隔で離隔する複数個の第2電極(400)を形成する。
【0117】
前記第2電極(400)を形成する工程は、前記第1半導体層(300)上にスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して第2電極層を積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定領域の第2電極を除去する工程で成り立ってよい。
【0118】
次に、図10dに示すように、前記第2電極(400)上に第2半導体層(500)を形成する。
【0119】
次に、図10eに示すように、前記第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)の所定領域を除去してコンタクト部(700)を形成する。
【0120】
次に、図10fに示すように、前記コンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)及び隣の単位セルの第2電極(400)と電気的に連結されて、所定間隔で離隔する複数個の第3電極(600)を形成する。
【0121】
前記第3電極(600)を形成する工程は、スパッタリング(Sputtering)法などを利用して前記コンタクト部(700)を含んだ基板全面に第3電極層を積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定領域の第3電極層を除去する工程で成り立ってよい。
【0122】
ここで、レーザースクライビング法を利用して所定領域の第3電極層を除去する際に、その下面の第2半導体層(500)の所定領域も一緒に除去することで、第3電極(600)を単位セル別により明確に分離することができる。
【0123】
一方、図示しなかったが、前記第3電極(600)を形成する前に透明導電層を積層することで、第3電極(600)下面に透明導電層が形成された薄膜形太陽電池を製造することもできる。この際、前記第3電極(600)下面に透明導電層が形成された薄膜形太陽電池を製造するために、前記コンタクト部(700)形成前に、前記第2半導体層(500)上に透明導電層を積層して、その後、コンタクト部(700)を形成することで、前記コンタクト部(700)には透明導電層が形成されない構造の薄膜形太陽電池を得ることもできる。このような構造の薄膜形太陽電池の製造方法は、上述した図9a乃至図9gによる薄膜形太陽電池の製造工程を参照すると容易に理解できる。
【0124】
また、前記第3電極(600)を形成する工程以後に、前記第3電極(600)の上部に絶縁層(800)を形成して、前記絶縁層(800)上に所定間隔で離隔する第4電極(820)を形成して、前記第4電極(820)上に所定のコンタクト部(845)を備える第3半導体層(840)を形成して、前記第3半導体層(840)上に前記コンタクト部(845)を通じて隣の第4電極(820)と電気的に連結される第5電極(860)を形成することで、図6に示す薄膜形太陽電池を製造することができる。
【0125】
また、前記第3電極(600)を形成する工程以後に、前記第3電極(600)の上部に第3半導体層(810)を形成して、前記第3半導体層(810)上に所定間隔で離隔する第4電極(830)を形成して、第4電極(830)上に第4半導体層(850)を形成して、前記第3半導体層(810)及び第4半導体層(850)の所定領域を除去してコンタクト部(700)を形成して、そして前記コンタクト部(700)を通じて前記第3電極(600)及び隣の単位セルの第4電極(830)と電気的に連結される第5電極(870)を形成することで、図7による薄膜形太陽電池を製造することができる。
【符号の説明】
【0126】
100 基板、200 第1電極、300 第1半導体層、400 第2電極、500 第2半導体層、600 第3電極、700,845 コンタクト部、800 絶縁層、810,840 第3半導体層、820,830 第4電極、850 第4半導体層、860,870 第5電極。
【技術分野】
【0001】
本発明は、太陽電池(Solar Cell)に関するもので、より詳細には、薄膜形太陽電池に関する。
【背景技術】
【0002】
太陽電池は半導体の性質を利用して光エネルギーを電気エネルギーに変換する装置である。
【0003】
太陽電池の構造及び原理について簡単に説明すると、太陽電池はP(Positive)形半導体とN(negative)形半導体を接合させたPN接合構造をしている。このような構造の太陽電池に太陽光が入射されると、入射された太陽光が持っているエネルギーによって前記半導体内で正孔(hole)と電子(electron)が発生して、この際、PN接合で発生した電気場によって前記正孔(+)はP形半導体側へ移動して、前記電子(−)はN形半導体側へ移動するようになって、電位が発生することで電力を生産することができる原理である。
【0004】
このような太陽電池は基板形太陽電池と薄膜形太陽電池とに区分できる。
【0005】
基板形太陽電池はシリコンのような半導体物質自体を基板として利用して太陽電池を製造するものであり、薄膜形太陽電池はガラスなどの基板上に薄膜の形態で半導体を形成して太陽電池を製造するものである。
【0006】
基板形太陽電池は薄膜形太陽電池より効率が多少優れるが、工程上、厚さを最小化することに限界があり、高価な半導体基板を利用するから製造費用が上昇する短所がある。
【0007】
薄膜形太陽電池は基板形太陽電池より効率が多少落ちるが、薄い厚さで製造することができ、低価の材料を利用できるから製造費用が減少される長所があって大量生産に適している。
【0008】
以下、添付図面を参照しつつ、従来の薄膜形太陽電池について説明する。
【0009】
図1aは、従来の一実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図である。
【0010】
図1aに示すように、従来の一実施例による薄膜形太陽電池は、基板(10)、前面電極層(20)、半導体層(30)、及び後面電極層(60)で成り立つ。
【0011】
前記前面電極層(20)は太陽光が入射される面であるからZnOのような透明な導電物質を利用して形成される。
【0012】
前記半導体層(30)は、シリコンのような半導体物質を利用して形成され、P形(Positive)半導体層、I形(Intrinsic)半導体層及びN形(Negetive)半導体層が順に積層された、いわゆるPIN構造で形成される。
【0013】
前記後面電極層(60)はAg、Alのような金属を利用して形成される。
【0014】
しかしながら、図1aに示す従来の薄膜形太陽電池は、前記半導体層(30)を構成するシリコンのような半導体物質自体の光吸収係数が低いだけでなく、前記半導体層(30)が数μm以下の薄膜で形成された単一PIN構造で構成され、光吸収効率が落ちるから、高効率の太陽電池を具現することに限界がある。
【0015】
したがって、前記半導体層(30)を単一PIN構造ではない複数のPIN構造で積層した太陽電池が考案された。
【0016】
図1bは、従来の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり、PIN構造の半導体層を2層で積層した、いわゆるタンデム(tandem)構造の薄膜形太陽電池を示している。
【0017】
図1bに示すように、従来の他の実施例による薄膜形太陽電池は、基板(10)、前面電極層(20)、第1半導体層(30)、バッファー層(40)、第2半導体層(50)、及び後面電極層(60)で構成される。
【0018】
前記第1半導体層(30)及び第2半導体層(50)は、いずれも、P形(Positive)半導体層、I形(Intrinsic)半導体層及びN形(Negative)半導体層が順に積層したPIN構造で形成されて、前記第1半導体層(30)及び第2半導体層(50)の間にはトンネル接合を通じて正孔及び電子の移動を円滑にするためにバッファー層が形成される。
【0019】
このように、図1bに示す従来の薄膜形太陽電池は、PIN構造の第1半導体層(30)及びPIN構造の第2半導体層(50)を形成することで、2個の太陽電池が直列に連結されたような構造を持って太陽電池の開放電圧を高めることができるから、図1aによる従来の薄膜形太陽電池に比べてより高効率を達成することができる長所がある。
【0020】
しかしながら、図1bに示す従来の薄膜形太陽電池は、前記第1半導体層(30)及び第2半導体層(50)の間の電流マッチング(Current matching)のための工程が必要となるが、このような電流マッチングのための工程が非常にややこしくて、仮に電流マッチングが正確でない場合には高効率を達成することができない問題がある。
【0021】
より具体的に説明すると、図1bのように2個の太陽電池が直列に連結される構造では、前記第1半導体層(30)で生成された電子が前記第2半導体層(50)へ移動するために前記第1半導体層(30)及び第2半導体層(50)の間でトンネリング過程を経なければならず、このようなトンネリングを最大化することで電流マッチングが実現するようになる。ここで、前記トンネリングを最大化するためには前記バッファー層(40)の厚さ、前記第2半導体層(50)のP層の厚さなどを最適化しなければならない。このような前記バッファー層(40)の厚さ、及び前記第2半導体層(50)のP層の厚さなどの最適化を行うためには作業員が多くの時間を投資して反復的な実験を行わなければならず、仮に前記バッファー層(40)の厚さ及び前記第2半導体層(50)のP層の厚さなどに対して最適化された寸法を得ることができない場合には、電流マッチングが正確に実現できず高効率の太陽電池を具現することができない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0022】
本発明は、前記のような従来の問題点を解決するために考案されるもので、本発明は電流マッチングのための工程を実行せずとも高効率を得ることができる薄膜形太陽電池及びその製造方法を提供することを目的にする。
【課題を解決するための手段】
【0023】
本発明は、前記目的を達成するために、基板上に所定パターンで形成された第1電極;前記第1電極上に形成された第1半導体層;前記第1半導体層に所定パターンで形成された第2電極;前記第2電極上に形成された第2半導体層;及び前記第2半導体層上に所定パターンで形成された第3電極を含み、前記第1電極と前記第3電極は電気的に連結されていることを特徴とする薄膜形太陽電池を提供する。
【0024】
本発明は、または、基板上に所定間隔で離隔形成された複数個の第1電極;前記第1電極上に形成された第1半導体層;前記第1半導体層上に所定間隔で離隔形成された複数個の第2電極;前記第2電極上に形成された第2半導体層;前記第2半導体層上に所定間隔で離隔形成された複数個の第3電極を含み、前記第3電極は前記第1電極及び隣の前記第2電極と電気的に連結されたことを特徴とする薄膜形太陽電池を提供する。
【0025】
本発明は、または、基板上に所定パターンの第1電極を形成する工程;前記第1電極上に第1半導体層を形成する工程;前記第1半導体層上に所定パターンの第2電極を形成する工程;前記第2電極上に第2半導体層を形成する工程;前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域を除去してコンタクト部を形成する工程;及び前記コンタクト部を通じて前記第1電極と電気的に連結される、所定パターンの第3電極を形成する工程を含む薄膜形太陽電池の製造方法を提供する。
【0026】
本発明は、または、基板上に、所定間隔で離隔する複数個の第1電極を形成する工程;前記第1電極上に第1半導体層を形成する工程;前記第1半導体層上に、所定間隔で離隔する複数個の第2電極を形成する工程;前記第2電極上に第2半導体層を形成する工程;前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域を除去してコンタクト部を形成する工程;及び前記コンタクト部を通じて前記第1電極及び隣の前記第2電極と電気的に連結されて、所定間隔で離隔する複数個の第3電極を形成する工程を含む薄膜形太陽電池の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【0027】
上述した本発明によると、次のような効果がある。
【0028】
第1に、第1電極,PIN構造の第1半導体層及び第2電極の組み合わせによって構成される第1太陽電池と、第2電極、NIP構造の第2半導体層及び第3電極の組み合わせによって構成される第2太陽電池が並列に連結される構成を持つことで、第1太陽電池及び第2太陽電池の間に電流マッチング(Current Matching)のための工程が必要なくなる。したがって、電流マッチングのための工程が必要ないながらも、基板に入射された太陽光は第1太陽電池及び第2太陽電池それぞれに吸収されて全体の薄膜形太陽電池の効率が増進される効果を得ることができる。
【0029】
第2に、薄膜形太陽電池を複数個の単位セルに分離して、それぞれの単位セルを直列に連結した構成を持つこととすれば、基板が大面積化されても電極の大きさを減らすことができ、それによって電極抵抗の増加を防止できて、太陽電池の効率が増進される効果を得ることができる。
【0030】
第3に、第3電極下面に透明導電層を形成することとすれば、透明導電層を通過する太陽光が多様な角で散乱して、それによって第3電極で反射されて太陽電池内に再入射される光の比率が増加されることができて、太陽電池の効率が増進される効果を得ることができる。
【0031】
第4に、第1太陽電池及び第2太陽電池で構造された薄膜形太陽電池上部に別途の第3太陽電池を構成したり、または、第1太陽電池及び第2太陽電池の組み合わせを上下二重に形成したりすれば、太陽電池の効率が増進される効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0032】
【図1a】従来の一実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図1b】従来の他の一実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図2a】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図2b】図2aに示す薄膜形太陽電池の概略的な回路構成を示した図面である。
【図3a】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図3b】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図4a】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図4b】図4aに示す薄膜形太陽電池の概略的な回路構成を示した図面である。
【図5】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図6】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図7】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池を概略的に示した断面図である。
【図8a】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図8b】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図8c】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図8d】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図8e】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図8f】本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9a】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9b】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9c】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9d】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9e】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9f】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図9g】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10a】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10b】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10c】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10d】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10e】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【図10f】本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0033】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の好ましい実施例について詳細に説明する。
【0034】
[薄膜形太陽電池]
図2aは、本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図である。
【0035】
図2aに示すように、本発明の一実施例による薄膜形太陽電池は、基板(100)、第1電極(200)、第1半導体層(300)、第2電極(400)、第2半導体層(500)、及び第3電極(600)を含んで成り立つ。
【0036】
前記基板(100)はガラスまたは透明なプラスチックを利用して形成する。
【0037】
前記第1電極(200)は前記基板(100)上に所定パターンで形成される。前記第1電極(200)は、太陽光が入射される面に形成されるので、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、または、ITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質を利用して形成できる。
【0038】
前記第1電極(200)は入射される太陽光が太陽電池内部にできるだけ吸収されるようにテクスチャリング(texturing)加工工程などを通じてその上面を凹凸構造で形成することが好ましい。前記テクスチャリング加工工程とは、物質表面をでこぼこな凹凸構造で形成して、まるで織物の表面みたいな形状に加工する工程で、フォトリソグラフィ法(photolithotraphy)を利用した蝕刻工程、化学溶液を利用した異方性蝕刻工程(anisotropic etching)、または機械的スクライビング(mechanical scribing)を利用した溝形成工程などを通じて実現できる。このようなテクスチャリング加工工程を前記第1電極(200)に対して実行すると、入射される太陽光の散乱によって太陽電池内部に太陽光が吸収される比率が増加するようになって、太陽電池の効率が増進される効果がある。
【0039】
前記第1半導体層(300)は前記第1電極(200)上に形成される。前記第1電極(200)と第3電極(600)が電気的に連結されるように前記第1半導体層(300)の所定領域にはコンタクト部(700)が形成される。
【0040】
前記第1半導体層(300)は、P形半導体層、I形半導体層、及びN形半導体層が順に積層されたPIN構造で形成される。このように前記第1半導体層(300)がPIN構造で形成されると、I形半導体層がP形半導体層とN形半導体層によって空乏(depletion)になって内部に電気場が発生するようになり、太陽光によって生成される正孔及び電子が前記電気場によってドリフト(drift)される。そして、正孔はP形半導体層を通じて第1電極(200)で収集され、電子はN形半導体層を通じて第2電極(400)で収集される。
【0041】
前記第2電極(400)は前記第1半導体層(300)上に所定パターンで形成される。前記第2電極(400)は、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質を利用して形成できる。前記第2電極(400)は前記第1電極(200)と第3電極(600)の間に形成されて、上述したように第1半導体層(300)で生成される電子を収集し、また、後述する第2半導体層(500)で生成される電子を収集するようになる。
【0042】
前記第2半導体層(500)は前記第2電極(400)上に形成される。前記第1電極(200)と第3電極(600)が電気的に連結できるように前記第2半導体層(500)の所定領域にはコンタクト部(700)が形成される。
【0043】
前記第2半導体層(500)はN形半導体層、I形半導体層、及びP形半導体層が順に積層されたNIP構造で形成される。このように前記第2半導体層(500)がNIP構造で形成されると、太陽光によって生成される正孔はP形半導体層を通じて第3電極(600)で収集され、電子はN形半導体層を通じて第2電極(400)で収集される。
【0044】
なお、前記第1半導体層(300)はPIN構造の非晶質半導体物質で成り立ち、前記第2半導体層(500)はNIP構造の微細結晶質半導体物質で成り立つこととしてもよい。
【0045】
前記非晶質半導体物質は短波長の光をよく吸収して、前記微細結晶質半導体物質は長波長の光をよく吸収する特性があるから、非晶質半導体物質と微細結晶質半導体物質を組み合わせる場合、光吸収効率を増進することができる。また、非晶質半導体物質は長時間光にさらされる場合に劣化現象が加速される問題があり、非晶質半導体物質を太陽光が入射される面に形成して微細結晶質半導体物質をその反対面に形成する場合に太陽電池の劣化を減らせる効果がある。したがって、太陽光が入射される面に近い第1半導体層(300)を非晶質半導体物質で形成して、太陽光が入射される面から遠い第2半導体層(500)を微細結晶質半導体物質で形成できる。ただ、必ずこれに限定される必要はなく、前記第1半導体層(300)として非晶質半導体/ゲルマニウム、微細結晶質半導体物質など多様に変更利用できるし、前記第2半導体層(500)として非晶質半導体物質、非晶質半導体/ゲルマニウムなど多様に変更利用することができる。
【0046】
または、前記第1半導体層(300)がN形半導体層、I形半導体層、及びP形半導体層が順に積層されたNIP構造で形成されて、前記第2半導体層(500)がP形半導体層、I形半導体層、及びN形半導体層が順に積層されたPIN構造で形成されることで、太陽光によって生成される正孔はP形半導体層を通じて第2電極(400)で収集され、電子はN形半導体層を通じて第1電極(200)及び第3電極(600)で収集されるように構成することもできる。
【0047】
前記第3電極(600)は前記第2半導体層(500)上に所定パターンで形成され、前記第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)に揃っているコンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)と連結される。前記第3電極(600)はAg、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属を利用して形成することができる。
【0048】
上記のような本発明の一実施例による薄膜形太陽電池は、第1電極(200)、第1半導体層(300)及び第2電極(400)の組み合あわせによって第1太陽電池が構成され、第2電極(400)、第2半導体層(500)及び第3電極(600)の組み合わせによって第2太陽電池が構成され、第1電極(200)及び第3電極(600)が連結されることで、図2bのように、前記第1太陽電池と第2太陽電池が並列に連結される構成を持つ。したがって、第1太陽電池及び第2太陽電池の間に電流マッチング(Current Matching)のための工程が要求されない。
【0049】
図3a及び図3bは、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり、これは第3電極(600)の下面に透明導電層(650)が追加に形成されることを除いて上述した図2aによる薄膜形太陽電池と同様である。したがって、同様な構造に対しては同一の図面符号を付けて、同様な構造に対しては具体的な説明は省略する。
【0050】
図3aに示すように、前記透明導電層(650)は前記第2半導体層(500)の上面に形成され、前記第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)に揃っているコンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)と連結される。この場合、前記第3電極(600)は前記透明導電層(650)を通じて第1電極(200)と電気的に連結される。
【0051】
図3bに示すように、前記透明導電層(650)は前記コンタクト部(700)には形成されず、前記第2半導体層(500)の上面だけに形成されてもよい。
【0052】
前記透明導電層(650)は、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium
Tin Oxide)などのような物質で形成されてよい。
【0053】
このように、透明導電層(650)を形成することで、透明導電層(650)を通過する太陽光が多様な角で散乱して,それによって前記第3電極(600)で反射されて太陽電池内に再入射される光の比率を増加させ、太陽電池の効率を向上することができる。
【0054】
図4aは、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり、これは図2aに示される薄膜形太陽電池を単位セルにして複数個の単位セルを直列に連結した薄膜形太陽電池に関する。したがって、同様な構成に対しては同一の図面符号を付けて、同様な構成に対しては具体的な説明は省略する。
【0055】
図4aに示すように、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池は基板(100)、第1電極(200)、第1半導体層(300)、第2電極(400)、第2半導体層(500)、及び第3電極(600)を含んで成り立つ。
【0056】
前記第1電極(200)は前記基板(100)上に所定間隔で複数個が離隔形成される。
【0057】
前記第1半導体層(300)は前記第1電極(200)上に形成される。前記第1電極(200)と第3電極(600)が電気的に連結されるように、前記第1半導体層(300)の所定領域にはコンタクト部(700)が形成される。
【0058】
前記第2電極(400)は前記第1半導体層(300)上に所定間隔で複数個が離隔形成される。
【0059】
前記第2半導体層(500)は前記第2電極(400)上に形成される。前記第1電極(200)と第3電極(600)が電気的に連結されるように、前記第2半導体層(500)の所定領域にはコンタクト部(700)が形成される。
【0060】
前記第1半導体層(300)がP形半導体層、I形半導体層、及びN形半導体層が順に積層されたPIN構造で形成される場合には、前記第2半導体層(500)はN形半導体層、I形半導体層、及びP形半導体層が順に積層されたNIP構造で形成され、前記第1半導体層(300)がN形半導体層、I形半導体層、及びP形半導体層が順に積層されたNIP構造で形成される場合には、前記第2半導体層(500)はP形半導体層、I形半導体層、及びN形半導体層が順に積層されたPIN構造で形成される。
【0061】
前記第3電極(600)は前記第2半導体層(500)上に所定間隔で複数個が離隔形成される。前記第3電極(600)は、前記第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)に揃ったコンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)と連結され、また隣の単位セルの第2電極(400)と連結される。
【0062】
このような本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池は、次に述べるような構成上の特徴を備える。
【0063】
第1に、複数個の単位セルそれぞれは第1電極(200)、第1半導体層(300)及び第2電極(400)の組み合わせによる第1太陽電池、及び第2電極(400)、第2半導体層(500)及び第3電極(600)の組み合わせによる第2太陽電池で成り立っており、前記第1電極(200)及び第3電極(600)が連結されることで、図4bに示されるように、それぞれの単位セル内で第1太陽電池と第2太陽電池が並列に連結される。したがって、第1太陽電池及び第2太陽電池の間に電流マッチング(Current Matching)のための工程が要求されない。
【0064】
第2に、一つの単位セル内の第3電極(600)が隣の単位セルの第2電極(400)と連結されることで、図4bに示されるように、複数個の単位セルの間は直列に連結される。したがって、基板が大面積化されても電極の大きさを減らすことができるし、それによって電極抵抗の増加を防止できる。
【0065】
一方、図示されていないが、図4aの薄膜形太陽電池において、前記第3電極(600)の下面に透明導電層を追加に形成できる。このような透明導電層の構成は図3a及び図3bによる薄膜形太陽電池に形成された透明導電層(650)を参照すれば容易に理解できる。
【0066】
図5は、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり,これは図2aの薄膜形太陽電池の上面に別途の太陽電池が追加に構成されたものである。したがって、同様な構成に対しては同一の図面符号を付けて、同様な構成に対して具体的な説明は省略する。
【0067】
図5に示すように、上述した図2aの薄膜形太陽電池の上部、すなわち、第3電極(600)の上部に絶縁層(800)が形成され、前記絶縁層(800)上に第4電極(820)が形成され、前記第4電極(820)上に第3半導体層(840)が形成され、前記第3半導体層(840)上に第5電極(860)が形成されている。したがって、前記第4電極(820)、第3半導体層(840)及び第5電極(860)の組み合わせによって第3太陽電池が構成される。
【0068】
下部に入射される太陽光が前記第3太陽電池まで円滑に入射されるように、前記第3電極(600)は透明な導電物質で成り立つことが好ましく、前記絶縁層(800)も、SiO2、TiO2、SiNx、またはSiONなどの透明な絶縁物質で成り立つことが好ましい。また、前記第4電極(820)も透明な導電物質で成り立つことが好ましい。
【0069】
前記第3半導体層(840)はPIN構造またはNIP構造で成り立ってよく、前記第5電極(860)は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属で成り立ってよい。
【0070】
図6は、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり、これは図4aの薄膜形太陽電池の上部に別の太陽電池が追加に構成されたものである。したがって、同様な構成に対しては同一の図面符号を付けて、同様な構成に対して具体的な説明は省略する。
【0071】
図6に示すように、上述した図4aの薄膜形太陽電池の上部、すなわち、第3電極(600)の上部に絶縁層(800)が形成され、前記絶縁層(800)上に第4電極(820)が形成され、前記第4電極(820)上に第3半導体層(840)が形成され、前記第3半導体層(840)上に第5電極(860)が形成される。したがって、前記第4電極(820)、第3半導体層(840)及び第5電極(860)の組み合わせのよって第3太陽電池が構成される。
【0072】
下部に入射される太陽光が前記第3太陽電池まで円滑に入射されるように、前記第3電極(600)は透明な導電物質で成り立つことが好ましい。前記絶縁層(800)も、SiO2、TiO2、SiNx、またはSiONなどの透明な絶縁物質で成り立つことが好ましい。
【0073】
前記第4電極(820)は透明導電物質で成り立ってよく、複数個が所定の間隔で離隔形成される。
【0074】
前記第3半導体層(840)はPIN構造、またはNIP構造で成り立ってよく、所定の領域にコンタクト部(845)が揃って形成される。
【0075】
前記第5電極(860)は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属で成り立ってよく、複数個が所定の間隔で離隔形成される。また、前記第5電極(860)は前記コンタクト部(845)を通じて隣の第4電極(820)と電気的に連結される。
【0076】
したがって、図6によると、前記第4電極(820)、第3半導体層(840)及び第5電極(860)の組み合わせによって構成される第3太陽電池が、直列に連結されている複数個の単位セルで成り立つ。
【0077】
図7は本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の概略的な断面図であり、これは図4aの薄膜形太陽電池が上下二重に形成される構造である。したがって、同様な構成に対しては同一の図面符号を付けて、同様な構成に対して具体的な説明は省略する。
【0078】
図7に示すように、第3電極(600)の上部に第3半導体層(810)が形成され、前記第3半導体層(810)上に第4電極(830)が形成され、前記第4電極(830)上に第4半導体層(850)が形成され、前記第4半導体層(850)上に第5電極(870)が形成される。
【0079】
下部に入射される太陽光が上部まで円滑に入射されるように、前記第3電極(600)は透明な導電物質で成り立つことが好ましい。
【0080】
前記第3電極(600)と第5電極(870)が電気的に連結されるように、前記第3半導体層(810)及び第4半導体層(850)の所定領域にはコンタクト部(700)が形成される。
【0081】
前記第4電極(830)は、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質で成り立ってよく、前記第3半導体層(810)及び第4半導体層(850)で生成された電子または正孔を収集することになる。前記第4電極(830)は隣の単位セル内の第5電極(870)と連結され、これにより複数個の単位セルが直列に連結されている。
【0082】
前記第5電極(870)は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属で成り立ってよく、前記第3半導体層(810)及び第4半導体層(850)に揃ったコンタクト部(700)を通じて前記第3電極(600)と連結される。
【0083】
図7の薄膜形太陽電池においては、第1電極(200)、第1半導体層(300)、及び第2電極(400)の組み合わせによって第1太陽電池が構成され、第2電極(400)、第2半導体層(500)及び第3電極(600)の組み合わせによって第2太陽電池が構成され、第3電極(600)、第3半導体層(810)及び第4電極(830)の組み合わせによって第3太陽電池が構成され、第4電極(830)、第4半導体層(850)及び第5電極(870)の組み合わせによって第4太陽電池が構成される。
【0084】
図7の薄膜形太陽電池において、前記第1半導体層(300)がPIN構造で形成される場合、前記第2半導体層(500)はNIP構造で形成されて、前記第3半導体層(810)はPIN構造で形成されて、前記第4半導体層(850)はNIP構造で形成される。そして、太陽光によって生成された電子は第2電極(400)及び第4電極(830)で収集されて、太陽光によって生成された正孔は第1電極(200)、第3電極(600)、及び第5電極(870)で収集される。または、前記第1半導体層(300)がNIP構造で形成される場合、前記第2半導体層(500)はPIN構造で形成されて、前記第3半導体層(810)はNIP構造で形成されて、前記第4半導体層(850)はPIN構造で形成される。この場合、太陽光によって生成された正孔は第2電極(400)及び第4電極(830)で収集されて、太陽光によって生成された電子は第1電極(200)、第3電極(600)、及び第5電極(870)で収集される。以上のように、図7の薄膜形太陽電池は上述した図4aの薄膜形太陽電池が上下二重に形成された構造であるが、本発明はこれに限定されるわけではなく、図4aの薄膜形太陽電池が上下三重以上に形成されることもできる。
【0085】
[薄膜形太陽電池の製造方法]
図8a乃至図8fは、本発明の一実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図であり、これは上述した図2aに示す薄膜形太陽電池の製造工程に関する。
【0086】
まず、図8aに示すように、基板(100)上に所定パターンの第1電極(200)を形成する。
【0087】
前記第1電極(200)を形成する工程は、基板(100)全面に、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質をスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定パターンの第1電極(200)を形成する工程で成り立ってよい。
【0088】
前記第1電極(200)を形成する工程は、前記第1電極(200)の表面を凹凸構造で形成するために、フォトリソグラフィ法(photolithotraphy)を利用する蝕刻工程、化学溶液を利用する異方性蝕刻工程(anisotropic etching)、または機械的スクライビング(mechanical scribing)を利用する溝形成工程などを利用するテクスチャリング(texturring)加工工程を含むことができる。
【0089】
次は、図8bに示すように、前記第1電極(200)上に第1半導体層(300)を形成する。
【0090】
前記第1半導体層(300)を形成する工程は、シリコン系の非晶質半導体物質を、プラズマCVD法などを利用して、P形半導体層、I形半導体層、及びN形半導体層を順に積層したPIN構造に形成する工程で成り立ってよい。
【0091】
次は、図8cに示すように、前記第1半導体層(300)上に所定パターンの第2電極(400)を形成する。
【0092】
前記第2電極(400)を形成する工程は、前記第1半導体層(300)全面に、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質をスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定パターンの第2電極(400)を形成する工程で成り立ってよい。
【0093】
次は、図8dに示すように、前記第2電極(400)上に第2半導体層(500)を形成する。
【0094】
前記第2半導体層(500)を形成する工程は、シリコン系の非晶質半導体物質、微細結晶質半導体物質、または非晶質半導体/ゲルマニウムなどを、プラズマCVD法などを利用して、N形半導体層、I形半導体層、及びP形半導体層を順に積層したNIP構造に形成する工程で成り立ってよい。
【0095】
次は、図8eに示すように、前記第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)の所定領域を除去してコンタクト部(700)を形成する。
【0096】
前記コンタクト部(700)を形成する工程では、レーザースクライビング工程を利用できる。この時、前記第1電極(200)が露出されるように前記コンタクト部(700)を形成する。
【0097】
次は、図8fに示すように、前記コンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)と電気的に連結される所定パターンの第3電極(600)を形成する。
【0098】
前記第3電極(600)を形成する工程は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属をスパッタリング(Sputtering)法などを利用して積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定パターンの第3電極(600)を形成する工程で成り立ってよい。
【0099】
前記第3電極(600)を形成する工程は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属をペースト(paste)で準備した後、スクリーン印刷法(screen printing)、インクジェット印刷法(inkjet printing)、グラビア印刷法(gravure printing)、または微細接触印刷法(microcontact printing)のような印刷法を利用して所定のパターンの第3電極(600)を直接に形成する工程で成り立ってもよい。
【0100】
一方、前記第3電極(600)を形成する前に透明導電層を積層することで、図3aに示す薄膜形太陽電池を製造することもできる。すなわち、前記図8eのようにコンタクト部(700)を形成した後、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質をスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して積層して、続いて、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属をスパッタリング(Sputtering)法などを利用して積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定パターンの透明導電層(650)及び第3電極(600)を同時に形成することで、図3aに示す薄膜形太陽電池を製造することができる。
【0101】
または、前記第3電極(600)を形成する工程以後に、前記第3電極(600)の上部に絶縁層(800)を形成して、前記絶縁層(800)上に第4電極(820)を形成して、前記第4電極(820)上に第3半導体層(840)を形成して、前記第3半導体層(840)上に第5電極(860)を形成することで、図5に示す薄膜形太陽電池を製造することができる。
【0102】
図9a乃至図9gは本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図であり、これは上述した図3bの薄膜形太陽電池の製造工程に関するものである。上述した実施例と同様な構成に対しては具体的な説明は省略する。
【0103】
まず、図9aに示すように、基板(100)上に所定パターンの第1電極(200)を形成する。
【0104】
次に、図9bに示すように、前記第1電極(200)上に第1半導体層(300)を形成する。
【0105】
次に、図9cに示すように、前記第1半導体層(300)上に所定パターンの第2電極(400)を形成する。
【0106】
次に、図9dに示すように、前記第2電極(400)上に第2半導体層(500)を形成する。
【0107】
次に、図9eに示すように、前記第2半導体層(500)上に透明導電層(650)を積層する。
【0108】
前記透明導電層(650)を積層する工程は、ZnO、ZnO:B、ZnO:Al、SnO2、SnO2:F、またはITO(Indium Tin Oxide)などのような透明な導電物質に対してスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して行われる。
【0109】
次に、図9fに示すように、前記透明導電層(650)、第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)の所定領域を除去してコンタクト部(700)を形成する。
【0110】
次に、図9gに示すように、前記コンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)と電気的に連結される所定パターンの第3電極(600)を形成する。
【0111】
前記第3電極(600)を形成する工程は、Ag、Al、Ag+Mo、Ag+Ni、Ag+Cuのような金属をスパッタリング(Sputtering)法などを利用して積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定パターンの透明導電層(650)及び第3電極(600)を同時に形成する工程で成り立ってよい。
【0112】
図10a乃至図10fは、本発明の他の実施例による薄膜形太陽電池の製造工程を示した断面図であり、これは上述した図4aの薄膜形太陽電池の製造工程に関するものである。上述した実施例と同様な構成に対しては具体的な説明は省略する。
【0113】
まず、図10aに示すように、基板(100)上に、所定間隔で離隔する複数個の第1電極(200)を形成する。
【0114】
前記第1電極(200)を形成する工程は、基板(100)全面にスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して第1電極層を積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定領域の第1電極層を除去する工程で成り立ってよい。
【0115】
次に、図10bに示すように、前記第1電極(200)上に第1半導体層(300)を形成する。
【0116】
次に、図10cに示すように、前記第1半導体層(300)上に、所定間隔で離隔する複数個の第2電極(400)を形成する。
【0117】
前記第2電極(400)を形成する工程は、前記第1半導体層(300)上にスパッタリング(Sputtering)法、またはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Depositioin)法などを利用して第2電極層を積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定領域の第2電極を除去する工程で成り立ってよい。
【0118】
次に、図10dに示すように、前記第2電極(400)上に第2半導体層(500)を形成する。
【0119】
次に、図10eに示すように、前記第1半導体層(300)及び第2半導体層(500)の所定領域を除去してコンタクト部(700)を形成する。
【0120】
次に、図10fに示すように、前記コンタクト部(700)を通じて前記第1電極(200)及び隣の単位セルの第2電極(400)と電気的に連結されて、所定間隔で離隔する複数個の第3電極(600)を形成する。
【0121】
前記第3電極(600)を形成する工程は、スパッタリング(Sputtering)法などを利用して前記コンタクト部(700)を含んだ基板全面に第3電極層を積層した後、レーザースクライビング法を利用して所定領域の第3電極層を除去する工程で成り立ってよい。
【0122】
ここで、レーザースクライビング法を利用して所定領域の第3電極層を除去する際に、その下面の第2半導体層(500)の所定領域も一緒に除去することで、第3電極(600)を単位セル別により明確に分離することができる。
【0123】
一方、図示しなかったが、前記第3電極(600)を形成する前に透明導電層を積層することで、第3電極(600)下面に透明導電層が形成された薄膜形太陽電池を製造することもできる。この際、前記第3電極(600)下面に透明導電層が形成された薄膜形太陽電池を製造するために、前記コンタクト部(700)形成前に、前記第2半導体層(500)上に透明導電層を積層して、その後、コンタクト部(700)を形成することで、前記コンタクト部(700)には透明導電層が形成されない構造の薄膜形太陽電池を得ることもできる。このような構造の薄膜形太陽電池の製造方法は、上述した図9a乃至図9gによる薄膜形太陽電池の製造工程を参照すると容易に理解できる。
【0124】
また、前記第3電極(600)を形成する工程以後に、前記第3電極(600)の上部に絶縁層(800)を形成して、前記絶縁層(800)上に所定間隔で離隔する第4電極(820)を形成して、前記第4電極(820)上に所定のコンタクト部(845)を備える第3半導体層(840)を形成して、前記第3半導体層(840)上に前記コンタクト部(845)を通じて隣の第4電極(820)と電気的に連結される第5電極(860)を形成することで、図6に示す薄膜形太陽電池を製造することができる。
【0125】
また、前記第3電極(600)を形成する工程以後に、前記第3電極(600)の上部に第3半導体層(810)を形成して、前記第3半導体層(810)上に所定間隔で離隔する第4電極(830)を形成して、第4電極(830)上に第4半導体層(850)を形成して、前記第3半導体層(810)及び第4半導体層(850)の所定領域を除去してコンタクト部(700)を形成して、そして前記コンタクト部(700)を通じて前記第3電極(600)及び隣の単位セルの第4電極(830)と電気的に連結される第5電極(870)を形成することで、図7による薄膜形太陽電池を製造することができる。
【符号の説明】
【0126】
100 基板、200 第1電極、300 第1半導体層、400 第2電極、500 第2半導体層、600 第3電極、700,845 コンタクト部、800 絶縁層、810,840 第3半導体層、820,830 第4電極、850 第4半導体層、860,870 第5電極。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板上に所定パターンで形成された第1電極;
前記第1電極上に形成された第1半導体層;
前記第1半導体層上に所定パターンで形成された第2電極;
前記第2電極上に形成された第2半導体層;及び
前記第2半導体層上に所定パターンで形成された第3電極を含み、
前記第1電極と前記第3電極は電気的に連結されることを特徴とする、薄膜形太陽電池。
【請求項2】
前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域にはコンタクト部が形成されていて、前記第3電極は前記コンタクト部を通じて前記第1電極と連結することを特徴とする、請求項1に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項3】
前記第3電極の上部に形成された絶縁層;
前記絶縁層上に形成された第4電極;
前記第4電極上に形成された第3半導体層;及び
前記第3半導体層上に形成された第5電極をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項4】
基板上に所定間隔で離隔形成された複数個の第1電極;
前記第1電極上に形成された第1半導体層;
前記第1半導体層上に所定間隔で離隔形成された複数個の第2電極;
前記第2電極上に形成された第2半導体層;
前記第2半導体層上に所定間隔で離隔形成された複数個の第3電極を含み、
前記第3電極は前記第1電極及び隣の前記第2電極と電気的に連結することを特徴とする、薄膜形太陽電池。
【請求項5】
前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域にはコンタクト部が形成されていて、前記第3電極は前記コンタクト部を通じて前記第1電極及び隣の前記第2電極と連結されることを特徴とする、請求項4に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項6】
前記第3電極の上部に形成された絶縁層;
前記絶縁層上に所定間隔で離隔形成された第4電極;
前記第4電極上に形成されて、所定のコンタクト部を備える第3半導体層;及び
前記コンタクト部を通じて前記第4電極と連結されて、所定間隔で離隔形成された第5電極をさらに含むことを特徴とする、請求項4に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項7】
前記第3電極の上部に形成された第3半導体層;
前記第3半導体層上に所定間隔で離隔形成された複数個の第4電極;
前記第4電極上に形成された第4半導体層;及び
前記第4半導体層上に所定間隔で離隔形成された第5電極をさらに含み、
前記第3半導体層及び第4半導体層の所定領域にはコンタクト部が形成されていて、前記第5電極は前記第3半導体層及び第4半導体層の所定領域に形成されたコンタクト部を通じて前記第3電極及び隣の前記第4電極と連結されることを特徴とする、請求項4に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項8】
前記第3電極下面に透明導電層がさらに形成されたことを特徴とする、請求項1または請求項4に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項9】
前記透明導電層が前記コンタクト部内に形成されたことを特徴とする、請求項8に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項10】
前記第1半導体層がPIN構造で形成されて前記第2半導体層がNIP構造で形成されている、または、前記第1半導体層がNIP構造で形成されて前記第2半導体層がPIN構造で形成されていることを特徴とする、請求項1または請求項4に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項11】
基板上に所定パターンの第1電極を形成する工程;
前記第1電極上に第1半導体層を形成する工程;
前記第1半導体層上に所定パターンの第2電極を形成する工程;
前記第2電極上に第2半導体層を形成する工程;
前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域を除去してコンタクト部を形成する工程;及び
前記コンタクト部を通じて前記第1電極と電気的に連結される、所定パターンの第3電極を形成する工程を含む薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項12】
前記第3電極の上部に絶縁層を形成する工程;
前記絶縁層上に第4電極を形成する工程;
前記第4電極上に第3半導体層を形成する工程;及び
前記第3半導体層上に第5電極を形成する工程をさらに含むことを特徴とする、請求項11に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項13】
基板上に、所定間隔で離隔する複数個の第1電極を形成する工程;
前記第1電極上に第1半導体層を形成する工程;
前記第1半導体層上に、所定間隔で離隔する複数個の第2電極を形成する工程;
前記第2電極上に第2半導体層を形成する工程;
前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域を除去してコンタクト部を形成する工程;及び
前記コンタクト部を通じて前記第1電極及び隣の前記第2電極と電気的に連結されて、所定間隔で離隔する複数個の第3電極を形成する工程を含む薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項14】
前記第3電極の上部に絶縁層を形成する工程;
前記絶縁層上に所定間隔で離隔する第4電極を形成する工程;
前記第4電極上に所定のコンタクト部を備える第3半導体層を形成する工程;及び
前記第3半導体層に形成されたコンタクト部を通じて前記第4電極と連結され、所定間隔で離隔する第5電極を形成する工程をさらに含むことを特徴とする、請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項15】
前記第3電極上に第3半導体層を形成する工程;
前記第3半導体層上に、所定間隔で離隔する複数個の第4電極を形成する工程;
前記第4電極上に第4半導体を形成する工程;
前記第3半導体層及び第4半導体層の所定領域を除去してコンタクト部を形成する工程;及び
前記第3半導体層及び第4半導体層の所定領域を除去して形成されたコンタクト部を通じて前記第3電極及び隣の前記第4電極と電気的に連結され、所定間隔で離隔する複数個の第5電極を形成する工程を含む、請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項16】
前記コンタクト部を形成する工程以前に前記第2半導体層上に透明導電層を積層する工程をさらに含むことを特徴とする、請求項11または請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項17】
前記コンタクト部を形成する工程以後に、前記第3電極下面に透明導電層を形成する工程をさらに含むことを特徴とする、請求項11または請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項18】
前記複数個の第3電極を形成する工程は、前記コンタクト部を含む基板全面に第3電極層を形成する工程、及び前記第3電極層の所定領域を除去する工程を含むことを特徴とする、請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項19】
前記第3電極層の所定領域を除去する工程では、前記第3電極層下部の第2半導体層の所定領域を一緒に除去することを特徴とする、請求項18に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項20】
前記第1半導体層を形成する工程はPIN構造で形成する工程であって前記第2半導体層を形成する工程はNIP構造で形成する工程である、または、前記第1半導体層を形成する工程はNIP構造で形成する工程であって前記第2半導体層を形成する工程はPIN構造で形成する工程であることを特徴とする、請求項11または請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項1】
基板上に所定パターンで形成された第1電極;
前記第1電極上に形成された第1半導体層;
前記第1半導体層上に所定パターンで形成された第2電極;
前記第2電極上に形成された第2半導体層;及び
前記第2半導体層上に所定パターンで形成された第3電極を含み、
前記第1電極と前記第3電極は電気的に連結されることを特徴とする、薄膜形太陽電池。
【請求項2】
前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域にはコンタクト部が形成されていて、前記第3電極は前記コンタクト部を通じて前記第1電極と連結することを特徴とする、請求項1に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項3】
前記第3電極の上部に形成された絶縁層;
前記絶縁層上に形成された第4電極;
前記第4電極上に形成された第3半導体層;及び
前記第3半導体層上に形成された第5電極をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項4】
基板上に所定間隔で離隔形成された複数個の第1電極;
前記第1電極上に形成された第1半導体層;
前記第1半導体層上に所定間隔で離隔形成された複数個の第2電極;
前記第2電極上に形成された第2半導体層;
前記第2半導体層上に所定間隔で離隔形成された複数個の第3電極を含み、
前記第3電極は前記第1電極及び隣の前記第2電極と電気的に連結することを特徴とする、薄膜形太陽電池。
【請求項5】
前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域にはコンタクト部が形成されていて、前記第3電極は前記コンタクト部を通じて前記第1電極及び隣の前記第2電極と連結されることを特徴とする、請求項4に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項6】
前記第3電極の上部に形成された絶縁層;
前記絶縁層上に所定間隔で離隔形成された第4電極;
前記第4電極上に形成されて、所定のコンタクト部を備える第3半導体層;及び
前記コンタクト部を通じて前記第4電極と連結されて、所定間隔で離隔形成された第5電極をさらに含むことを特徴とする、請求項4に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項7】
前記第3電極の上部に形成された第3半導体層;
前記第3半導体層上に所定間隔で離隔形成された複数個の第4電極;
前記第4電極上に形成された第4半導体層;及び
前記第4半導体層上に所定間隔で離隔形成された第5電極をさらに含み、
前記第3半導体層及び第4半導体層の所定領域にはコンタクト部が形成されていて、前記第5電極は前記第3半導体層及び第4半導体層の所定領域に形成されたコンタクト部を通じて前記第3電極及び隣の前記第4電極と連結されることを特徴とする、請求項4に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項8】
前記第3電極下面に透明導電層がさらに形成されたことを特徴とする、請求項1または請求項4に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項9】
前記透明導電層が前記コンタクト部内に形成されたことを特徴とする、請求項8に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項10】
前記第1半導体層がPIN構造で形成されて前記第2半導体層がNIP構造で形成されている、または、前記第1半導体層がNIP構造で形成されて前記第2半導体層がPIN構造で形成されていることを特徴とする、請求項1または請求項4に記載の薄膜形太陽電池。
【請求項11】
基板上に所定パターンの第1電極を形成する工程;
前記第1電極上に第1半導体層を形成する工程;
前記第1半導体層上に所定パターンの第2電極を形成する工程;
前記第2電極上に第2半導体層を形成する工程;
前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域を除去してコンタクト部を形成する工程;及び
前記コンタクト部を通じて前記第1電極と電気的に連結される、所定パターンの第3電極を形成する工程を含む薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項12】
前記第3電極の上部に絶縁層を形成する工程;
前記絶縁層上に第4電極を形成する工程;
前記第4電極上に第3半導体層を形成する工程;及び
前記第3半導体層上に第5電極を形成する工程をさらに含むことを特徴とする、請求項11に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項13】
基板上に、所定間隔で離隔する複数個の第1電極を形成する工程;
前記第1電極上に第1半導体層を形成する工程;
前記第1半導体層上に、所定間隔で離隔する複数個の第2電極を形成する工程;
前記第2電極上に第2半導体層を形成する工程;
前記第1半導体層及び第2半導体層の所定領域を除去してコンタクト部を形成する工程;及び
前記コンタクト部を通じて前記第1電極及び隣の前記第2電極と電気的に連結されて、所定間隔で離隔する複数個の第3電極を形成する工程を含む薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項14】
前記第3電極の上部に絶縁層を形成する工程;
前記絶縁層上に所定間隔で離隔する第4電極を形成する工程;
前記第4電極上に所定のコンタクト部を備える第3半導体層を形成する工程;及び
前記第3半導体層に形成されたコンタクト部を通じて前記第4電極と連結され、所定間隔で離隔する第5電極を形成する工程をさらに含むことを特徴とする、請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項15】
前記第3電極上に第3半導体層を形成する工程;
前記第3半導体層上に、所定間隔で離隔する複数個の第4電極を形成する工程;
前記第4電極上に第4半導体を形成する工程;
前記第3半導体層及び第4半導体層の所定領域を除去してコンタクト部を形成する工程;及び
前記第3半導体層及び第4半導体層の所定領域を除去して形成されたコンタクト部を通じて前記第3電極及び隣の前記第4電極と電気的に連結され、所定間隔で離隔する複数個の第5電極を形成する工程を含む、請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項16】
前記コンタクト部を形成する工程以前に前記第2半導体層上に透明導電層を積層する工程をさらに含むことを特徴とする、請求項11または請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項17】
前記コンタクト部を形成する工程以後に、前記第3電極下面に透明導電層を形成する工程をさらに含むことを特徴とする、請求項11または請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項18】
前記複数個の第3電極を形成する工程は、前記コンタクト部を含む基板全面に第3電極層を形成する工程、及び前記第3電極層の所定領域を除去する工程を含むことを特徴とする、請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項19】
前記第3電極層の所定領域を除去する工程では、前記第3電極層下部の第2半導体層の所定領域を一緒に除去することを特徴とする、請求項18に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【請求項20】
前記第1半導体層を形成する工程はPIN構造で形成する工程であって前記第2半導体層を形成する工程はNIP構造で形成する工程である、または、前記第1半導体層を形成する工程はNIP構造で形成する工程であって前記第2半導体層を形成する工程はPIN構造で形成する工程であることを特徴とする、請求項11または請求項13に記載の薄膜形太陽電池の製造方法。
【図1a】
【図1b】
【図2a】
【図2b】
【図3a】
【図3b】
【図4a】
【図4b】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8a】
【図8b】
【図8c】
【図8d】
【図8e】
【図8f】
【図9a】
【図9b】
【図9c】
【図9d】
【図9e】
【図9f】
【図9g】
【図10a】
【図10b】
【図10c】
【図10d】
【図10e】
【図10f】
【図1b】
【図2a】
【図2b】
【図3a】
【図3b】
【図4a】
【図4b】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8a】
【図8b】
【図8c】
【図8d】
【図8e】
【図8f】
【図9a】
【図9b】
【図9c】
【図9d】
【図9e】
【図9f】
【図9g】
【図10a】
【図10b】
【図10c】
【図10d】
【図10e】
【図10f】
【公開番号】特開2010−45332(P2010−45332A)
【公開日】平成22年2月25日(2010.2.25)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−145058(P2009−145058)
【出願日】平成21年6月18日(2009.6.18)
【出願人】(504210651)チュサン エンジニアリング コー リミテッド (7)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年2月25日(2010.2.25)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年6月18日(2009.6.18)
【出願人】(504210651)チュサン エンジニアリング コー リミテッド (7)
【Fターム(参考)】
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