記録ヘッドとその製造方法
【課題】 吐出口を形成する部材が同一材料でないために、材料毎の濡れ性が異なることから、濡れ性の良い材料の方向に引っ張られてしまい、インクが斜めの方向に吐出してしまうという問題があった。また、吐出口エッジ部および吐出口の一部を形成する天板のエッジ部に横ダレ液が付着している状態で吐出を行った場合、吐出時に横ダレ液がインク滴を引き寄せる状態になり、本来吐出する方向に対し斜めの方向に吐出してしまうという問題があった。
【解決手段】 吐出口を形成する部材を同一材料にすることで、濡れ性の違いによる吐出方向へ影響を与えないようにした。また、吐出口部で樹脂が隆起していることから、インク滴吐出時に吐出口周辺部に付着した横ダレ液と吐出インク滴とが接触しないため、吐出インク滴は吐出時に横ダレ液の影響を受けない。
【解決手段】 吐出口を形成する部材を同一材料にすることで、濡れ性の違いによる吐出方向へ影響を与えないようにした。また、吐出口部で樹脂が隆起していることから、インク滴吐出時に吐出口周辺部に付着した横ダレ液と吐出インク滴とが接触しないため、吐出インク滴は吐出時に横ダレ液の影響を受けない。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、液体に熱エネルギを作用させることによって発生する気泡を利用して、所望の液滴を吐出する液体吐出ヘッドを用いた記録ヘッドとその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
プリンタ、複写機、ファクシミリ等の機能を有する記録装置、あるいはコンピュータやワードプロセッサ等を含む、複合型電子機器やワークステーションなどの出力機器として用いられる記録装置では、記録情報に基づき、紙、布、プラスチックシート、OHP用シート等の記録媒体に向けてインクを吐出することで記録を行なうインクジェット記録装置が普及している。
【0003】
中でも、産業用に用いられるインクジェット記録装置では、記録に用いられる記録媒体も多種多様であり、これら記録媒体の材質に対する要求も様々なものがある。近年では、これらの要求に対する開発が進み、通常の記録媒体である紙や樹脂薄板などの他に、布、皮革、不織布、更には金属等を記録媒体として用いる記録装置も使用されるようになっている。そして、このインクジェット記録装置は、低騒音、低ランニングコストで、装置の小型化が容易であり、カラー化も容易であるなどの観点から、現在ではプリンタ、複写機、ファクシミリ等へ広く応用されている。
【0004】
インクジェット記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドは、種々の方式により吐出インク滴を形成するものが知られている。なかでも、インクを吐出するために利用されるエネルギとして、熱を利用するインクジェット記録ヘッドは、高密度のマルチノズル化を比較的容易に実現でき、高解像度、高画質で、また高速な記録を可能とするものである。
【0005】
この方式は、インクジェット記録ヘッドにおける個々のインク吐出口近傍の、インク流路内それぞれに記録素子を設け、これらに記録信号に応じた電気エネルギもしくは電力を選択的に印加することによって生ずる熱エネルギを利用して、熱作用面上のインクを急激に加熱し、膜沸騰を生じさせ、その際に発生する気泡の圧力によってインク吐出口からインクを吐出することができる。
【0006】
図12は、従来のインクジェット記録ヘッドの構成を模式的に示した斜視図である。このような液体吐出ヘッドを製造する方法としては、例えば、ガラスや金属等の板1203を用い、板1203に切削やエッチング等の加工手段によって微細な溝1202を形成した後、溝1202を形成した板1203と天板1201とを接合して液路の形成を行なう方法が知られている。また、その吐出口は、オリフィスプレートと呼ばれる、吐出口が形成されたプレートを付けることで形成される場合もある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
上記のような方法によって製造されたインクジェット記録ヘッドでは、板1203と天板1201は液体流路を形成すると同時に、液体流路と連通した吐出口1204も形成している。
【0008】
そして製造において板1203と天板1201は別部材であるため、材質が異なることも考えられる。その場合、材質毎の濡れ性が異なることから吐出時に濡れ性の良い材料の方が先に濡れるため、インクは濡れ性の良い材料の方向に引っ張られてしまう。その結果、吐出方向は吐出口面に対して垂直に吐出せず、引っ張られた方向である斜めの方向に吐出してしまいインク滴が記録媒体の所望の位置に着弾しないことから、記録品位が低下するという問題があった。
【0009】
また、図12の吐出口1204は板1203と天板1201の、それぞれの端面1206、1207にて平面的に形成されている。また、インクは、吐出する際に端面1206、1207の吐出口エッジ部1205および吐出口の一部を形成する天板1201のエッジ部1208に横ダレ液となって広がることから、吐出後に横ダレ液が吐出口エッジ部1205および吐出口の一部を形成する天板1201のエッジ部1208に残ってしまうことがある。
【0010】
吐出口エッジ部1205および吐出口の一部を形成する天板1201のエッジ部1208に横ダレ液が付着している状態で吐出を行った場合、吐出時に付着している横ダレ液がインク滴を引き寄せる状態になり、引き寄せられたインク滴は本来吐出する方向に対し斜めの方向に吐出してしまうことになる。
【0011】
したがって、インクの吐出方向が安定せず、記録媒体の所望の位置にインク滴が着弾しないことから記録品位が低下するという問題があった。
【0012】
よって本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、液体を吐出口面に対し垂直に吐出することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0013】
本発明の記録ヘッドは、1つもしくは複数の吐出口と、前記吐出口に連通する液体流路と、前記液体流路内に設けたヒータとを有し、前記ヒータによって液体を発泡させることで、吐出口から液体を吐出させる液体吐出ヘッドにおいて、前記吐出口と連通する流路内に、吐出時の発泡に伴ない一端が変位可能に設けられた可動弁を有し、前記吐出口の周囲は同一素材で構成され、かつ、吐出口周囲の部材を保持しているプレートの吐出口を有する端面に対して、吐出口周囲の部材が隆起していることを特徴とする。
【0014】
また本発明の記録ヘッドの製造方法は、吐出口を形成する部材よりも弾力性の低い材料によって保持された吐出口と、前記吐出口に連通する液体流路と、前記液体流路内に設けたヒータとを有し、前記ヒータによって液体を発泡させることで、吐出口から液体を吐出させる記録ヘッドの製造方法において、前記吐出口は、端面を研磨することによって形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【0015】
本発明の記録ヘッドによれば、吐出口周囲が同一材料の部材で構成されているため、部材の濡れ性の違いによる吐出時の影響を受けない。さらに吐出口を構成する樹脂部材は、その樹脂部材を保持しているプレートの吐出口を有する端面に対して隆起していることから、横ダレ液が吐出時にインク滴と接触することがなくなり、インク滴は吐出口面に対し垂直方向に吐出する事ができる。
【0016】
また、吐出口周囲の部材は樹脂である為、切断、研磨加工時にクラック等は発生しにくい。
【0017】
さらに、本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、吐出口を形成するオリフィスプレートの役割を、隆起した樹脂部が行なうため、オリフィスプレートが不要となるので、装置のコストダウンにつながる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0018】
以下、図面を参照して本発明の実施形態の詳細を説明する。
図1は、本発明の一実施形態である記録ヘッド110を具えた記録装置111の内部構造を示す平面図である。
【0019】
図1において、記録装置111は、複数の記録ヘッド110、各記録ヘッド110が有する個別の回復ユニット112、インクを収納するカートリッジ113、搬送部114、オペレーションパネル部115、用紙103を記録装置本体に繰り出す給紙部116などから構成される。
【0020】
図2は、記録ヘッド110を分解した状態を示す分解斜視図である。
図に示すように、ヒータボード101はセラミック製のベースプレート100によって支持されている。そのヒータボード101をベースプレート100と挟む形で配線基板102が配されている。そして、ヒータボード101上のヒータと配線基板102とは各配線に対応してワイヤボンディングにより電気的に接続されている。
【0021】
図3は、本発明の一実施形態であるインク吐出装置111における、液体供給系の構成を模式的に示す図である。
装置に着脱可能なカートリッジ113、記録ヘッド110の吐出口に適正なオリフィス面を構成するためのサブタンク118、カートリッジ113からサブタンク118へインクを供給するための供給ポンプ119、サブタンク118から液体吐出ヘッド110へインクを供給するための加圧ポンプ120、液体吐出ヘッド110の加圧時に記録ヘッド110からインクのリターン流路を閉鎖するための回復弁121により構成される。
【0022】
供給ポンプ119は、後述するリサイクル動作にも使用され、その際の経路選択のため供給弁122が配置されている。
【0023】
記録ヘッド110から排出されたインクを再利用するリサイクル動作は、液体吐出ヘッド吐出面下方に設置された回復桶123、回復桶123からサブタンク118へのインクの流路選択のためのリサイクル弁124により行なわれる。
【0024】
図4は、本発明の記録ヘッドの吐出ノズル近傍を示す断面斜視図であり、図5は液体吐出ヘッド110の吐出口周辺の構成を示す断面図である。
図6は、本発明の記録ヘッドにおいて、インクが吐出する過程を時間の経過に沿って表したノズル部側面の断面図である。
【0025】
以下に図4、図5、図6を参照し、液体の吐出メカニズムを説明する。
ヒータボード1には液体を加熱発泡するためのヒータ2が複数配置されている。ヒータ2にはチッ化タンタル等の抵抗体が用いられ、厚さは0.01〜0.5μm、シート抵抗は単位面積あたり10〜300Ωのものが用いられる。
【0026】
なお、ヒータの材料はチッ化タンタル以外のものでもよく、厚さやシート抵抗もこれに限定するものではない。
【0027】
ヒータ2の接続両端部の一方には通電のためのアルミニウム等の電極(不図示)が接続されており、他方はヒータ2に通電を制御するためのスイッチングトランジスタ(不図示)が接続されている。
【0028】
スイッチングトランジスタは制御用のゲート素子等の回路からなるICによって駆動を制御され、ヘッド外部からの信号によって、所定のパターンで駆動するようになっている。
【0029】
複数のヒータ各々に対応して吐出ノズル14が形成されており、吐出ノズル14は複数の各吐出口と連通し、また、吐出ノズル14はヒータボード1とノズル壁5、厚さ5〜10μm程度のノズルの補強壁3、厚さ2μm程度の天板ノズル7とから囲まれた管状をなしている。この時、補強壁3は吐出口から、ヒータ2にできるだけ近接した位置まで存在するよう構成する。
【0030】
可動弁6が自由端9を吐出口方向に向け支点10を共通液室内に位置させるよう設けられており、支点10は弁支持部材11に取り付けられ、弁支持部材11は弁台座12によってヒータボード1に取り付けられる。
【0031】
天板ノズル7は、Si等で構成される天板8に貼り付けられており、天板8は異方性エッチング等で形成されたインク供給開口17を備え、外部からの液体を供給液室16に導入可能としている。
【0032】
共通液室16から吐出ノズル14に供給された液体は、吐出ノズル14内の所定の位置に配置されたヒータ2で加熱され発泡する。
【0033】
吐出ノズル14内の液体の発泡が始まると、それに伴い可動弁6も変位を開始し、液体の流れが吐出口方向へ向かうのを容易にする。その後発泡した気泡内の圧力が減少することによって気泡は収縮し、吐出口から出たインク滴が切り離されて液体が吐出する。このようなメカニズムで液体は吐出口から吐出する。
【0034】
図6(a)は、ヒータ2に電気エネルギ等のエネルギが印加される前の状態であり、ヒータ2に熱が発生する前の状態である。
【0035】
図6(b)は、ヒータ2に電気エネルギが印加されて発熱することによって、気泡を発生させた状態を示した図である。このとき、可動弁6は気泡発生に基づく圧力により気泡圧力の伝搬方向を吐出口方向に導くよう、弁台座12の吐出口側の支点10を支点にして変位する。
【0036】
そして、気泡31が大きくなるにつれ液体は吐出口方向に押し出される形となり、液体は吐出口において吐出液柱20となる。このとき液体はノズル周囲部に広がろうとして、それが横ダレ液21となって、ノズル周囲部に広がる。一方、図13に示すように従来は、ノズル周辺部が別部材によって形成されているため、濡れ性の影響から横ダレ液21は均等に広がらずに図13(b)のように吐出液柱20は曲がってしまう。
【0037】
しかし、本実施形態では吐出口周辺部は同一材料で構成されているため、異なる濡れ性の影響を受けることなく吐出液柱20は成長することができる。
【0038】
図6(c)は気泡31が膜沸騰後、液体が吐出される瞬間の図である。
液体が吐出されるとき、気泡内部圧の減少により気泡31は収縮していく。気泡31が収縮することで吐出液柱20根元部の液面25は共通液室側へと引き込まれ、吐出液柱20は、吐出口エッジ部24によって均等に広がっている横ダレ液21と切り離される。
【0039】
吐出液柱20が切り離される際に、吐出口周辺部が隆起していない場合、横ダレ液21と吐出液柱根本部分が切り離されないので横ダレ液21の影響を受け、図13(c)のように吐出方向が安定しない。
【0040】
ノズル周囲部が隆起している場合でも、可動弁とヒータとの距離が、液体流路の高さ寸法であるヒータから天板までの距離の1/2以上の距離を有している場合は、気泡31の収縮の際の負圧によるエネルギは、可動弁6をヒータ方向へ引き込むためにエネルギを消費してしまう。その結果、吐出液柱根本部の液面25を共通液室側に充分に引き込むことができずに、横ダレ液21と吐出液柱根本部の液面25との切り離れが悪くなり、液滴の吐出方向に影響を与えることになる。
【0041】
図6(d)は、気泡が消滅すると共に吐出液柱20は液体から切り離され、主滴22、副滴23として吐出される状態を示す図である。この時後退したメニスカスは矢印方向に戻り、ノズル内にインクが供給される状態を表す図である。
【0042】
図6(d)にあるように、吐出後には吐出口周辺部に横ダレ液が付着した状態になり、この状態で再び吐出が行なわれることになるが、本実施形態の液体吐出ヘッドにおいては、吐出口部で樹脂が隆起していることから、インク滴吐出時に吐出口周辺部に付着した横ダレ液と吐出インク滴とが接触しないようになっているため、吐出インク滴は吐出時に横ダレ液の影響を受けない。
【0043】
従って、吐出するインク滴を吐出口面に対して垂直方向に吐出することができる。
【0044】
図7から図11は、液体吐出ヘッドの正面図と側面図を用いて、製造方法を工程毎に模式的に示した断面図である。ここで、図7から図11を参照し、液体吐出ヘッドの製造方法を説明する。
【0045】
図7(a−1)、(a−2)のように、本実施形態においては、素子基板(シリコンウエハ)B上に半導体製造工程で用いるものと同様の製造装置を用いて、ハフニュウムボライドやチッ化タンタル等からなるヒータを形成した後、次工程における感光性樹脂フィルムDFとの密着性の向上を目的として素子基板Bの表面に洗浄を施す。
【0046】
さらに密着性の向上を目的として素子基板B表面に紫外線−オゾン等による表面改質を行なう。例えばシランカップリング剤をエチルアルコールで1重量%に希釈した液を上記改質表面上にスピンコートすることで達成される。
【0047】
次に表面洗浄を行い、密着性を向上した素子基板B上に図7(b−1)、(b−2)に示すように紫外線感光樹脂フィルムDFをラミネートした。
【0048】
なお、図中の一点鎖線は最終工程における切断面を示す線であり、後工程で切断することにより切断面に吐出口が現れる。
次に図8(c−1)、(c−2)に示すように、感光性樹脂フィルムDF上にフォトマスクを介して紫外線感光性樹脂フィルムの補強壁3、可動弁6を接着するための弁台座12として残す部分に紫外線を照射した。
【0049】
そして、次の工程では図8(d−1)、(d−2)に示すように、紫外線を照射し残った補強壁3上に紫外線感光性樹脂フィルムDFをラミネートした。
【0050】
このラミネートした紫外線感光性樹脂フィルムDFにフォトマスクを配し、図9(e−1)、(e−2)のようにノズル壁5として残す部分に紫外線を照射する。
【0051】
次に図9(f−1)、(f−2)に示すように、紫外線感光樹脂フィルムDFをキシレンとブチルセルソルブアセテートとの混合液からなる現像液で現像し、未露光部分を融解させ、露光して硬化した部分をノズル壁5として形成した。上記ノズル壁5を形成した後、図10(g−1)、(g−2)のように弁台座12に可動弁6を接着剤等で固定する。
【0052】
その後、図10(h−1)、(h−2)のように予め、感光性樹脂フィルムを材料とした天板ノズル7をラミネートした天板8をノズル壁5に溶着する。
【0053】
このように製造されたものは、次の工程で吐出口の突き合わせ面で切断することによって、吐出口が現れる。以下にこの 切断する工程を説明する。
【0054】
図11(i−1)、(i−2)は、切断面において切断した状態を模式的に示す断面図である。
図10(h−1)、(h−2)の状態のものを、厚さ0.05mmのダイヤモンドブレードを取り付けたダイシングマシンで図11(i−1)、(i−2)に示すような状態に切り離す。次に、切断面の平滑化と、吐出口周囲の樹脂材料部を隆起させるため、分離した際にできた切断面に一定の圧力をかけながら研磨を行なう。この際、切断時における基準部材である素子基板Bと比べて、吐出口周囲を形成している樹脂材料は弾力性が高いため、研磨加工後に加工時の圧力を解除することで、その吐出口周囲の誦す材料は、図11(j−2)に示すように、切断面より隆起する。本実施形態では0.2μm〜2μm程度吐出口周囲を隆起させた。
【0055】
なお、本実施形態では吐出口を形成する際に、吐出口を突き合わせた状態のものを切断し、その後研磨することによって形成しているが、この方法に限定するものではなく、上記にある切断した状態のものを単体で製造し、その後に吐出口を有する面を研磨する製造方法でもよい。
【0056】
また、本実施形態において流路壁の形成には紫外線感光性樹脂フィルムを使用したが、これに限定するものではなく弾力性の高い材質であれば、他の材質の物で形成してもよい。
【0057】
また、本実施形態において補強壁の形成に、紫外線感光性樹脂フィルムを使用したが、これに限定するものではなく弾力性の高い材質であれば、他の材質の物で形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【0058】
【図1】本発明の一実施形態である、液体吐出ヘッド110を具えたインク吐出装置111の内部構造を示す正面図である。
【図2】液体吐出ヘッド110を分解した状態を示す分解斜視図である。
【図3】本発明の一実施例であるインク吐出装置111における、液体供給系の構成を示す図である。
【図4】本発明のヘッド吐出ノズル近傍を示す断面斜視図である。
【図5】液体吐出ヘッド110の吐出口周辺の構成を示す断面図である。
【図6】(a)〜(d)は、インクが吐出する過程を時間の経過に沿って表したノズル部側面の断面図である。
【図7】液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図8】液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図9】液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図10】液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図11】液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図12】従来のインクジェット記録ヘッドの構成を模式的に示した斜視図である。
【図13】(a)から(d)は、従来例にてインクの弾道が曲げられる過程を示すノズル部側面の断面図である。
【符号の説明】
【0059】
2 ヒータ
3 補強壁
6 可動弁
8 天板
13 吐出口
14 吐出ノズル
19 メニスカス
20 吐出液柱
21横ダレ液
31気泡
【技術分野】
【0001】
本発明は、液体に熱エネルギを作用させることによって発生する気泡を利用して、所望の液滴を吐出する液体吐出ヘッドを用いた記録ヘッドとその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
プリンタ、複写機、ファクシミリ等の機能を有する記録装置、あるいはコンピュータやワードプロセッサ等を含む、複合型電子機器やワークステーションなどの出力機器として用いられる記録装置では、記録情報に基づき、紙、布、プラスチックシート、OHP用シート等の記録媒体に向けてインクを吐出することで記録を行なうインクジェット記録装置が普及している。
【0003】
中でも、産業用に用いられるインクジェット記録装置では、記録に用いられる記録媒体も多種多様であり、これら記録媒体の材質に対する要求も様々なものがある。近年では、これらの要求に対する開発が進み、通常の記録媒体である紙や樹脂薄板などの他に、布、皮革、不織布、更には金属等を記録媒体として用いる記録装置も使用されるようになっている。そして、このインクジェット記録装置は、低騒音、低ランニングコストで、装置の小型化が容易であり、カラー化も容易であるなどの観点から、現在ではプリンタ、複写機、ファクシミリ等へ広く応用されている。
【0004】
インクジェット記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドは、種々の方式により吐出インク滴を形成するものが知られている。なかでも、インクを吐出するために利用されるエネルギとして、熱を利用するインクジェット記録ヘッドは、高密度のマルチノズル化を比較的容易に実現でき、高解像度、高画質で、また高速な記録を可能とするものである。
【0005】
この方式は、インクジェット記録ヘッドにおける個々のインク吐出口近傍の、インク流路内それぞれに記録素子を設け、これらに記録信号に応じた電気エネルギもしくは電力を選択的に印加することによって生ずる熱エネルギを利用して、熱作用面上のインクを急激に加熱し、膜沸騰を生じさせ、その際に発生する気泡の圧力によってインク吐出口からインクを吐出することができる。
【0006】
図12は、従来のインクジェット記録ヘッドの構成を模式的に示した斜視図である。このような液体吐出ヘッドを製造する方法としては、例えば、ガラスや金属等の板1203を用い、板1203に切削やエッチング等の加工手段によって微細な溝1202を形成した後、溝1202を形成した板1203と天板1201とを接合して液路の形成を行なう方法が知られている。また、その吐出口は、オリフィスプレートと呼ばれる、吐出口が形成されたプレートを付けることで形成される場合もある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
上記のような方法によって製造されたインクジェット記録ヘッドでは、板1203と天板1201は液体流路を形成すると同時に、液体流路と連通した吐出口1204も形成している。
【0008】
そして製造において板1203と天板1201は別部材であるため、材質が異なることも考えられる。その場合、材質毎の濡れ性が異なることから吐出時に濡れ性の良い材料の方が先に濡れるため、インクは濡れ性の良い材料の方向に引っ張られてしまう。その結果、吐出方向は吐出口面に対して垂直に吐出せず、引っ張られた方向である斜めの方向に吐出してしまいインク滴が記録媒体の所望の位置に着弾しないことから、記録品位が低下するという問題があった。
【0009】
また、図12の吐出口1204は板1203と天板1201の、それぞれの端面1206、1207にて平面的に形成されている。また、インクは、吐出する際に端面1206、1207の吐出口エッジ部1205および吐出口の一部を形成する天板1201のエッジ部1208に横ダレ液となって広がることから、吐出後に横ダレ液が吐出口エッジ部1205および吐出口の一部を形成する天板1201のエッジ部1208に残ってしまうことがある。
【0010】
吐出口エッジ部1205および吐出口の一部を形成する天板1201のエッジ部1208に横ダレ液が付着している状態で吐出を行った場合、吐出時に付着している横ダレ液がインク滴を引き寄せる状態になり、引き寄せられたインク滴は本来吐出する方向に対し斜めの方向に吐出してしまうことになる。
【0011】
したがって、インクの吐出方向が安定せず、記録媒体の所望の位置にインク滴が着弾しないことから記録品位が低下するという問題があった。
【0012】
よって本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、液体を吐出口面に対し垂直に吐出することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0013】
本発明の記録ヘッドは、1つもしくは複数の吐出口と、前記吐出口に連通する液体流路と、前記液体流路内に設けたヒータとを有し、前記ヒータによって液体を発泡させることで、吐出口から液体を吐出させる液体吐出ヘッドにおいて、前記吐出口と連通する流路内に、吐出時の発泡に伴ない一端が変位可能に設けられた可動弁を有し、前記吐出口の周囲は同一素材で構成され、かつ、吐出口周囲の部材を保持しているプレートの吐出口を有する端面に対して、吐出口周囲の部材が隆起していることを特徴とする。
【0014】
また本発明の記録ヘッドの製造方法は、吐出口を形成する部材よりも弾力性の低い材料によって保持された吐出口と、前記吐出口に連通する液体流路と、前記液体流路内に設けたヒータとを有し、前記ヒータによって液体を発泡させることで、吐出口から液体を吐出させる記録ヘッドの製造方法において、前記吐出口は、端面を研磨することによって形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【0015】
本発明の記録ヘッドによれば、吐出口周囲が同一材料の部材で構成されているため、部材の濡れ性の違いによる吐出時の影響を受けない。さらに吐出口を構成する樹脂部材は、その樹脂部材を保持しているプレートの吐出口を有する端面に対して隆起していることから、横ダレ液が吐出時にインク滴と接触することがなくなり、インク滴は吐出口面に対し垂直方向に吐出する事ができる。
【0016】
また、吐出口周囲の部材は樹脂である為、切断、研磨加工時にクラック等は発生しにくい。
【0017】
さらに、本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、吐出口を形成するオリフィスプレートの役割を、隆起した樹脂部が行なうため、オリフィスプレートが不要となるので、装置のコストダウンにつながる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0018】
以下、図面を参照して本発明の実施形態の詳細を説明する。
図1は、本発明の一実施形態である記録ヘッド110を具えた記録装置111の内部構造を示す平面図である。
【0019】
図1において、記録装置111は、複数の記録ヘッド110、各記録ヘッド110が有する個別の回復ユニット112、インクを収納するカートリッジ113、搬送部114、オペレーションパネル部115、用紙103を記録装置本体に繰り出す給紙部116などから構成される。
【0020】
図2は、記録ヘッド110を分解した状態を示す分解斜視図である。
図に示すように、ヒータボード101はセラミック製のベースプレート100によって支持されている。そのヒータボード101をベースプレート100と挟む形で配線基板102が配されている。そして、ヒータボード101上のヒータと配線基板102とは各配線に対応してワイヤボンディングにより電気的に接続されている。
【0021】
図3は、本発明の一実施形態であるインク吐出装置111における、液体供給系の構成を模式的に示す図である。
装置に着脱可能なカートリッジ113、記録ヘッド110の吐出口に適正なオリフィス面を構成するためのサブタンク118、カートリッジ113からサブタンク118へインクを供給するための供給ポンプ119、サブタンク118から液体吐出ヘッド110へインクを供給するための加圧ポンプ120、液体吐出ヘッド110の加圧時に記録ヘッド110からインクのリターン流路を閉鎖するための回復弁121により構成される。
【0022】
供給ポンプ119は、後述するリサイクル動作にも使用され、その際の経路選択のため供給弁122が配置されている。
【0023】
記録ヘッド110から排出されたインクを再利用するリサイクル動作は、液体吐出ヘッド吐出面下方に設置された回復桶123、回復桶123からサブタンク118へのインクの流路選択のためのリサイクル弁124により行なわれる。
【0024】
図4は、本発明の記録ヘッドの吐出ノズル近傍を示す断面斜視図であり、図5は液体吐出ヘッド110の吐出口周辺の構成を示す断面図である。
図6は、本発明の記録ヘッドにおいて、インクが吐出する過程を時間の経過に沿って表したノズル部側面の断面図である。
【0025】
以下に図4、図5、図6を参照し、液体の吐出メカニズムを説明する。
ヒータボード1には液体を加熱発泡するためのヒータ2が複数配置されている。ヒータ2にはチッ化タンタル等の抵抗体が用いられ、厚さは0.01〜0.5μm、シート抵抗は単位面積あたり10〜300Ωのものが用いられる。
【0026】
なお、ヒータの材料はチッ化タンタル以外のものでもよく、厚さやシート抵抗もこれに限定するものではない。
【0027】
ヒータ2の接続両端部の一方には通電のためのアルミニウム等の電極(不図示)が接続されており、他方はヒータ2に通電を制御するためのスイッチングトランジスタ(不図示)が接続されている。
【0028】
スイッチングトランジスタは制御用のゲート素子等の回路からなるICによって駆動を制御され、ヘッド外部からの信号によって、所定のパターンで駆動するようになっている。
【0029】
複数のヒータ各々に対応して吐出ノズル14が形成されており、吐出ノズル14は複数の各吐出口と連通し、また、吐出ノズル14はヒータボード1とノズル壁5、厚さ5〜10μm程度のノズルの補強壁3、厚さ2μm程度の天板ノズル7とから囲まれた管状をなしている。この時、補強壁3は吐出口から、ヒータ2にできるだけ近接した位置まで存在するよう構成する。
【0030】
可動弁6が自由端9を吐出口方向に向け支点10を共通液室内に位置させるよう設けられており、支点10は弁支持部材11に取り付けられ、弁支持部材11は弁台座12によってヒータボード1に取り付けられる。
【0031】
天板ノズル7は、Si等で構成される天板8に貼り付けられており、天板8は異方性エッチング等で形成されたインク供給開口17を備え、外部からの液体を供給液室16に導入可能としている。
【0032】
共通液室16から吐出ノズル14に供給された液体は、吐出ノズル14内の所定の位置に配置されたヒータ2で加熱され発泡する。
【0033】
吐出ノズル14内の液体の発泡が始まると、それに伴い可動弁6も変位を開始し、液体の流れが吐出口方向へ向かうのを容易にする。その後発泡した気泡内の圧力が減少することによって気泡は収縮し、吐出口から出たインク滴が切り離されて液体が吐出する。このようなメカニズムで液体は吐出口から吐出する。
【0034】
図6(a)は、ヒータ2に電気エネルギ等のエネルギが印加される前の状態であり、ヒータ2に熱が発生する前の状態である。
【0035】
図6(b)は、ヒータ2に電気エネルギが印加されて発熱することによって、気泡を発生させた状態を示した図である。このとき、可動弁6は気泡発生に基づく圧力により気泡圧力の伝搬方向を吐出口方向に導くよう、弁台座12の吐出口側の支点10を支点にして変位する。
【0036】
そして、気泡31が大きくなるにつれ液体は吐出口方向に押し出される形となり、液体は吐出口において吐出液柱20となる。このとき液体はノズル周囲部に広がろうとして、それが横ダレ液21となって、ノズル周囲部に広がる。一方、図13に示すように従来は、ノズル周辺部が別部材によって形成されているため、濡れ性の影響から横ダレ液21は均等に広がらずに図13(b)のように吐出液柱20は曲がってしまう。
【0037】
しかし、本実施形態では吐出口周辺部は同一材料で構成されているため、異なる濡れ性の影響を受けることなく吐出液柱20は成長することができる。
【0038】
図6(c)は気泡31が膜沸騰後、液体が吐出される瞬間の図である。
液体が吐出されるとき、気泡内部圧の減少により気泡31は収縮していく。気泡31が収縮することで吐出液柱20根元部の液面25は共通液室側へと引き込まれ、吐出液柱20は、吐出口エッジ部24によって均等に広がっている横ダレ液21と切り離される。
【0039】
吐出液柱20が切り離される際に、吐出口周辺部が隆起していない場合、横ダレ液21と吐出液柱根本部分が切り離されないので横ダレ液21の影響を受け、図13(c)のように吐出方向が安定しない。
【0040】
ノズル周囲部が隆起している場合でも、可動弁とヒータとの距離が、液体流路の高さ寸法であるヒータから天板までの距離の1/2以上の距離を有している場合は、気泡31の収縮の際の負圧によるエネルギは、可動弁6をヒータ方向へ引き込むためにエネルギを消費してしまう。その結果、吐出液柱根本部の液面25を共通液室側に充分に引き込むことができずに、横ダレ液21と吐出液柱根本部の液面25との切り離れが悪くなり、液滴の吐出方向に影響を与えることになる。
【0041】
図6(d)は、気泡が消滅すると共に吐出液柱20は液体から切り離され、主滴22、副滴23として吐出される状態を示す図である。この時後退したメニスカスは矢印方向に戻り、ノズル内にインクが供給される状態を表す図である。
【0042】
図6(d)にあるように、吐出後には吐出口周辺部に横ダレ液が付着した状態になり、この状態で再び吐出が行なわれることになるが、本実施形態の液体吐出ヘッドにおいては、吐出口部で樹脂が隆起していることから、インク滴吐出時に吐出口周辺部に付着した横ダレ液と吐出インク滴とが接触しないようになっているため、吐出インク滴は吐出時に横ダレ液の影響を受けない。
【0043】
従って、吐出するインク滴を吐出口面に対して垂直方向に吐出することができる。
【0044】
図7から図11は、液体吐出ヘッドの正面図と側面図を用いて、製造方法を工程毎に模式的に示した断面図である。ここで、図7から図11を参照し、液体吐出ヘッドの製造方法を説明する。
【0045】
図7(a−1)、(a−2)のように、本実施形態においては、素子基板(シリコンウエハ)B上に半導体製造工程で用いるものと同様の製造装置を用いて、ハフニュウムボライドやチッ化タンタル等からなるヒータを形成した後、次工程における感光性樹脂フィルムDFとの密着性の向上を目的として素子基板Bの表面に洗浄を施す。
【0046】
さらに密着性の向上を目的として素子基板B表面に紫外線−オゾン等による表面改質を行なう。例えばシランカップリング剤をエチルアルコールで1重量%に希釈した液を上記改質表面上にスピンコートすることで達成される。
【0047】
次に表面洗浄を行い、密着性を向上した素子基板B上に図7(b−1)、(b−2)に示すように紫外線感光樹脂フィルムDFをラミネートした。
【0048】
なお、図中の一点鎖線は最終工程における切断面を示す線であり、後工程で切断することにより切断面に吐出口が現れる。
次に図8(c−1)、(c−2)に示すように、感光性樹脂フィルムDF上にフォトマスクを介して紫外線感光性樹脂フィルムの補強壁3、可動弁6を接着するための弁台座12として残す部分に紫外線を照射した。
【0049】
そして、次の工程では図8(d−1)、(d−2)に示すように、紫外線を照射し残った補強壁3上に紫外線感光性樹脂フィルムDFをラミネートした。
【0050】
このラミネートした紫外線感光性樹脂フィルムDFにフォトマスクを配し、図9(e−1)、(e−2)のようにノズル壁5として残す部分に紫外線を照射する。
【0051】
次に図9(f−1)、(f−2)に示すように、紫外線感光樹脂フィルムDFをキシレンとブチルセルソルブアセテートとの混合液からなる現像液で現像し、未露光部分を融解させ、露光して硬化した部分をノズル壁5として形成した。上記ノズル壁5を形成した後、図10(g−1)、(g−2)のように弁台座12に可動弁6を接着剤等で固定する。
【0052】
その後、図10(h−1)、(h−2)のように予め、感光性樹脂フィルムを材料とした天板ノズル7をラミネートした天板8をノズル壁5に溶着する。
【0053】
このように製造されたものは、次の工程で吐出口の突き合わせ面で切断することによって、吐出口が現れる。以下にこの 切断する工程を説明する。
【0054】
図11(i−1)、(i−2)は、切断面において切断した状態を模式的に示す断面図である。
図10(h−1)、(h−2)の状態のものを、厚さ0.05mmのダイヤモンドブレードを取り付けたダイシングマシンで図11(i−1)、(i−2)に示すような状態に切り離す。次に、切断面の平滑化と、吐出口周囲の樹脂材料部を隆起させるため、分離した際にできた切断面に一定の圧力をかけながら研磨を行なう。この際、切断時における基準部材である素子基板Bと比べて、吐出口周囲を形成している樹脂材料は弾力性が高いため、研磨加工後に加工時の圧力を解除することで、その吐出口周囲の誦す材料は、図11(j−2)に示すように、切断面より隆起する。本実施形態では0.2μm〜2μm程度吐出口周囲を隆起させた。
【0055】
なお、本実施形態では吐出口を形成する際に、吐出口を突き合わせた状態のものを切断し、その後研磨することによって形成しているが、この方法に限定するものではなく、上記にある切断した状態のものを単体で製造し、その後に吐出口を有する面を研磨する製造方法でもよい。
【0056】
また、本実施形態において流路壁の形成には紫外線感光性樹脂フィルムを使用したが、これに限定するものではなく弾力性の高い材質であれば、他の材質の物で形成してもよい。
【0057】
また、本実施形態において補強壁の形成に、紫外線感光性樹脂フィルムを使用したが、これに限定するものではなく弾力性の高い材質であれば、他の材質の物で形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【0058】
【図1】本発明の一実施形態である、液体吐出ヘッド110を具えたインク吐出装置111の内部構造を示す正面図である。
【図2】液体吐出ヘッド110を分解した状態を示す分解斜視図である。
【図3】本発明の一実施例であるインク吐出装置111における、液体供給系の構成を示す図である。
【図4】本発明のヘッド吐出ノズル近傍を示す断面斜視図である。
【図5】液体吐出ヘッド110の吐出口周辺の構成を示す断面図である。
【図6】(a)〜(d)は、インクが吐出する過程を時間の経過に沿って表したノズル部側面の断面図である。
【図7】液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図8】液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図9】液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図10】液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図11】液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図12】従来のインクジェット記録ヘッドの構成を模式的に示した斜視図である。
【図13】(a)から(d)は、従来例にてインクの弾道が曲げられる過程を示すノズル部側面の断面図である。
【符号の説明】
【0059】
2 ヒータ
3 補強壁
6 可動弁
8 天板
13 吐出口
14 吐出ノズル
19 メニスカス
20 吐出液柱
21横ダレ液
31気泡
【特許請求の範囲】
【請求項1】
1つもしくは複数の吐出口と、前記吐出口に連通する液体流路と、前記液体流路内に設けたヒータとを有し、前記ヒータによって液体を発泡させることで、吐出口から液体を吐出させる記録ヘッドにおいて、
前記吐出口と連通する流路内に、吐出時の発泡に伴ない一端が変位可能に設けられた可動弁を有し、前記吐出口の周囲は同一素材で構成され、かつ、吐出口周囲の部材を保持している基板の吐出口を有する端面に対して、吐出口周囲の部材が隆起していることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項2】
前記吐出口の周囲を構成する部材は感光性エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド。
【請求項3】
前記可動弁と前記ヒータとの距離は、前記液体流路内のヒータと前記液体流路の一部を構成しているヒータと対面する面との距離の1/2以下であることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド。
【請求項4】
吐出口を形成する部材よりも弾力性の低い材料によって保持された吐出口と、前記吐出口に連通する液体流路と、前記液体流路内に設けたヒータとを有し、前記ヒータによって液体を発泡させることで、吐出口から液体を吐出させる記録ヘッドの製造方法において、前記吐出口は、端面を研磨することによって形成されていることを特徴とする記録ヘッドの製造方法。
【請求項5】
前記吐出口は、一対の記録ヘッドの吐出口を突き合わせた状態に形成されたものを前記吐出口の突き合わせ面で切断し、その後切断面を研磨することで周囲の部材を隆起させていることを特徴とする請求項4に記載の記録ヘッドの製造方法。
【請求項1】
1つもしくは複数の吐出口と、前記吐出口に連通する液体流路と、前記液体流路内に設けたヒータとを有し、前記ヒータによって液体を発泡させることで、吐出口から液体を吐出させる記録ヘッドにおいて、
前記吐出口と連通する流路内に、吐出時の発泡に伴ない一端が変位可能に設けられた可動弁を有し、前記吐出口の周囲は同一素材で構成され、かつ、吐出口周囲の部材を保持している基板の吐出口を有する端面に対して、吐出口周囲の部材が隆起していることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項2】
前記吐出口の周囲を構成する部材は感光性エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド。
【請求項3】
前記可動弁と前記ヒータとの距離は、前記液体流路内のヒータと前記液体流路の一部を構成しているヒータと対面する面との距離の1/2以下であることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド。
【請求項4】
吐出口を形成する部材よりも弾力性の低い材料によって保持された吐出口と、前記吐出口に連通する液体流路と、前記液体流路内に設けたヒータとを有し、前記ヒータによって液体を発泡させることで、吐出口から液体を吐出させる記録ヘッドの製造方法において、前記吐出口は、端面を研磨することによって形成されていることを特徴とする記録ヘッドの製造方法。
【請求項5】
前記吐出口は、一対の記録ヘッドの吐出口を突き合わせた状態に形成されたものを前記吐出口の突き合わせ面で切断し、その後切断面を研磨することで周囲の部材を隆起させていることを特徴とする請求項4に記載の記録ヘッドの製造方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【公開番号】特開2007−69491(P2007−69491A)
【公開日】平成19年3月22日(2007.3.22)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2005−259717(P2005−259717)
【出願日】平成17年9月7日(2005.9.7)
【出願人】(000208743)キヤノンファインテック株式会社 (1,218)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成19年3月22日(2007.3.22)
【国際特許分類】
【出願日】平成17年9月7日(2005.9.7)
【出願人】(000208743)キヤノンファインテック株式会社 (1,218)
【Fターム(参考)】
[ Back to top ]