Ｘ線撮像用ラインイメージセンサ及びＸ線撮像装置
【課題】 空間分解能の向上が図れるＸ線撮像用ラインイメージセンサを提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出用ガスが封入された容器５と、容器５内に配置されたプリント基板３と、プリント基板３の一方の主面に並行に配置された複数のストリップ状の第１の信号電極１ａと、プリント基板３の他方の主面に並行に配置された複数のストリップ状の第２の信号電極１ｂと、容器５内に複数の第１の信号電極１ａと対向配置され、所定電圧が第１の信号電極１ａとの間に印加される第１の高電圧電極板２ａと、容器５内に複数の第２の信号電極１ｂと対向配置され、所定電圧が第２の信号電極１ｂとの間に印加される第２の高電圧電極板２ｂとを備え、プリント基板３の主面に垂直な方向から見て隣合う第２の信号電極２ｂの間に第１の信号電極１ａが位置するように、複数の第１の信号電極１ａ及び複数の第２の信号電極１ｂが配置されている。
【解決手段】 Ｘ線検出用ガスが封入された容器５と、容器５内に配置されたプリント基板３と、プリント基板３の一方の主面に並行に配置された複数のストリップ状の第１の信号電極１ａと、プリント基板３の他方の主面に並行に配置された複数のストリップ状の第２の信号電極１ｂと、容器５内に複数の第１の信号電極１ａと対向配置され、所定電圧が第１の信号電極１ａとの間に印加される第１の高電圧電極板２ａと、容器５内に複数の第２の信号電極１ｂと対向配置され、所定電圧が第２の信号電極１ｂとの間に印加される第２の高電圧電極板２ｂとを備え、プリント基板３の主面に垂直な方向から見て隣合う第２の信号電極２ｂの間に第１の信号電極１ａが位置するように、複数の第１の信号電極１ａ及び複数の第２の信号電極１ｂが配置されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、人間や物体等のＸ線（エックス線）透過像等を得るために用いられるＸ線撮像用ラインイメージセンサ及びそれを用いたＸ線撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、食品などの商品の生産ラインにおいて商品への異物混入等の検出に、搬送コンベアによって連続搬送されてくる被検査物に対してＸ線を照射し、そのＸ線の透過状態をＸ線検出器で検出して、被検査物中に異物が混入していないか等を検査するＸ線検査装置が用いられている。
【０００３】
また、空港等において、爆発物、刃物、銃器などの危険物や麻薬などの持ち込みを防ぐために、乗客の全身をＸ線写真撮影するＸ線撮像装置がある。また、医療診断用のために人体をＸ線写真撮影するＸ線撮像装置がある。
【０００４】
以上のようなＸ線検査装置やＸ線撮像装置には、Ｘ線の検出器として、例えば特許文献１に開示されたようなＸ線撮像用ラインイメージセンサを用いることができる。
【０００５】
図３（ａ）は、従来のＸ線撮像用ラインイメージセンサの断面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【０００６】
このＸ線撮像用ラインイメージセンサは、軸方向に長い検出領域を有する円柱状の検出器であって、キセノンガスなどの希ガスが封入された外形が円柱状の金属製容器５内に、プリント基板３上にストリップ状に多数形成された信号電極１と、これらの信号電極１と対向して配置された高電圧電極板２と、それぞれの信号電極１と信号線７によって接続され信号電極１に蓄積された電荷を順次読み出すマルチプレクサ回路４等が設けられている。プリント基板３、高電圧電極板２及びマルチプレクサ回路４は、基礎架台９に固定されるように取り付けられている。
【０００７】
この場合、高電圧電極板２に、マイナス数ｋＶの負の電位が電線８を介して与えられる。金属製容器５はその外壁に溝６が形成され、この溝６部分を通過したＸ線は、信号電極１と高電圧電極板２との間に侵入し、キセノン原子に衝突して電子とイオンに解離させる。解離した電子は近くの信号電極１に集められて蓄積される。
【０００８】
多数の信号電極１に集められた電荷は、マルチプレクサ回路４によってＸ線透過信号として順次読み出されて、外部の画像処理装置に伝送される。外部の画像処理装置では、順次入力されるＸ線透過信号から１次元Ｘ線透過像を生成し、さらに２次元に展開することにより２次元Ｘ線透過像を得ることができる。
【特許文献１】特開２００５−２５７５９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記従来の構成では、図３（ｂ）に示されるように、プリント基板３上に多数の信号電極１が等ピッチで配置されており、この信号電極１のピッチが空間分解能となる。この空間分解能の向上を図るために、信号電極１の幅を狭くして狭ピッチにするとＸ線検出感度が低下するという弊害が生じる。
【００１０】
本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、上記のような弊害を生じることなく、空間分解能の向上を図ることができるＸ線撮像用ラインイメージセンサ及びＸ線撮像装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明のＸ線撮像用ラインイメージセンサは、Ｘ線検出用ガスが封入された容器と、前記容器内に配置された絶縁板と、前記絶縁板の一方の主面に並行に配置された複数のストリップ状の第１の信号電極と、前記絶縁板の他方の主面に、前記第１の信号電極の延在方向に延在しかつ前記第１の信号電極の並び方向と同じ方向に並んで配置された複数のストリップ状の第２の信号電極と、前記容器内に前記複数の第１の信号電極と間隙を有して対向配置され、各々の前記第１の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが電離することにより発生する電荷を前記第１の信号電極に集めるための所定電圧が前記第１の信号電極との間に印加される板状の第１の対向電極と、前記容器内に前記複数の第２の信号電極と間隙を有して対向配置され、各々の前記第２の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが電離することにより発生する電荷を前記第２の信号電極に集めるための所定電圧が前記第２の信号電極との間に印加される板状の第２の対向電極とを備え、前記絶縁板の主面に垂直な方向から見て隣合う前記第２の信号電極の間に前記第１の信号電極が位置するように、前記複数の第１の信号電極及び前記複数の第２の信号電極が配置されている。
【００１２】
この構成によれば、それぞれの第１の信号電極と第１の対向電極との間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域（第１のＸ線検出領域）になるとともに、それぞれの第２の信号電極と第２の対向電極との間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域（第２のＸ線検出領域）になり、第１及び第２の信号電極の並び方向に第１のＸ線検出領域と第２のＸ線検出領域とが交互に並んで配置されるとともに、第１のＸ線検出領域が絶縁板の一方の主面側に配置され、第２のＸ線検出領域が絶縁板の他方の主面側に配置されるため、信号電極の幅を狭くすることによるＸ線検出感度の低下という弊害を生じることなく、空間分解能の向上を図ることができる。
【００１３】
また、前記複数の第１の信号電極の数と前記複数の第２の信号電極の数が同じであり、前記絶縁板の主面に垂直な方向から見て隣合う前記第１の信号電極の間に前記第２の信号電極が位置するように、前記複数の第１の信号電極及び前記複数の第２の信号電極が前記第１の信号電極の並び方向に互いにずれて配置されていてもよい。
【００１４】
また、前記第１の対向電極と各々の前記第１の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが外部から侵入するＸ線によって電離され、この電離によって発生し前記第１の信号電極へ集められる電荷と、前記第２の対向電極と各々の前記第２の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが外部から侵入するＸ線によって電離され、この電離によって発生し前記第２の信号電極へ集められる電荷とを、順次、読み出し信号として読み出して外部へ出力する信号読み出し回路が、前記容器内に設けられていてもよい。
【００１５】
このように、容器内に信号読み出し回路を設けているため、例えば外部の画像処理装置と信号読み出し回路とを接続することにより、全ての信号電極に関する読み出し信号を順次、画像処理装置へ入力することができ、外部装置（この場合は画像処理装置）と接続する配線の簡素化が図れる。
【００１６】
また、本発明のＸ線撮像装置は、上記の信号読み出し回路が設けられたＸ線撮像用ラインイメージセンサと、前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサに対してＸ線を照射するＸ線照射器と、前記Ｘ線照射器からＸ線が照射されており、被写体が前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサと前記Ｘ線照射器との間を前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサの絶縁板の主面に垂直な方向へ移動するように、前記被写体と前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサ及び前記Ｘ線照射器との相対的な位置を変化させているときに、前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサの信号読み出し回路から出力される読み出し信号に基づいて前記被写体の２次元Ｘ線透過像を生成する画像処理装置とが備えられている。
【００１７】
この構成によれば、生成される２次元Ｘ線透過像の空間分解能の向上を図ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、以上に説明した構成を有し、空間分解能の向上を図ることができるＸ線撮像用ラインイメージセンサ及びＸ線撮像装置を提供することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１（ａ）は、本発明の実施の形態のＸ線撮像用ラインイメージセンサ（以下、「Ｘ線ラインセンサ」という）の断面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。
【００２１】
このＸ線ラインセンサは、軸方向に長い検出領域を有する円柱状の検出器であって、キセノンガスなどの希ガス（Ｘ線検出用ガス）が数百ｋＰａ〜数ＭＰａにて封入された外形が円柱状の金属製容器５内に、絶縁板であるプリント基板３の両面にストリップ状に多数形成された信号電極１ａ、１ｂと、高電圧電極板（板状の対向電極）２ａ、２ｂと、それぞれの信号電極１ａ、１ｂに蓄積された電荷を順次読み出すマルチプレクサ回路４等が設けられている。
【００２２】
プリント基板３は支持部を介して基礎架台９に取り付けられ、プリント基板３の一主面（図中、上側の表面）には、ストリップ状の電極片からなる複数の信号電極１ａが並行に形成され、他主面（図中、下側の表面）には、ストリップ状の電極片からなる複数の信号電極１ｂが並行に形成されている。信号電極１ａと信号電極１ｂとは、プリント基板３の上下に信号電極１ａ、１ｂの並び方向へ交互に並んで配置されている。すなわち、多数の信号電極１ａ、１ｂは共に金属製容器５の軸方向に並ぶように形成され、かつ軸方向に垂直な方向に延びるように形成されている。これらの信号電極１ａ及び信号電極１ｂはそれぞれ同じピッチＰ１で配置されるとともに、信号電極１ａと信号電極１ｂとはＰ１／２ずれて配置されている。信号電極１ａ及び信号電極１ｂはそれぞれ、例えば、０．２ｍｍ幅、８０ｍｍ長の電極片からなり、ピッチＰ１＝０．４ｍｍで、１０２４個並行に配置されている。この場合の空間分解能は０．２ｍｍである。このような信号電極１ａ、１ｂは、プリント基板製造技術を適用することによって比較的容易に製作することができる。
【００２３】
高電圧電極板２ａは、プリント基板３の一主面側に、複数の信号電極１ａと所定の距離を隔てて対向して配置された金属板からなり、支持部を介して基礎架台９に取り付けられている。また、高電圧電極板２ｂは、プリント基板３の他主面側に、複数の信号電極１ｂと所定の距離を隔てて対向して配置された金属板からなり、支持部を介して基礎架台９に取り付けられている。高電圧電極板２ａと信号電極１ａとの距離と、高電圧電極板２ｂと信号電極１ｂとの距離とは等しい。高電圧電極板２ａは、天井から垂下した電線８に接続されていて、信号電極１ａとの間に高電圧を印加するために、マイナス数ｋＶの負の電位が電線８を介して与えられる。また、図示されていないが、高電圧電極板２ｂも同様に電線８に接続されており、信号電極１ｂとの間に高電圧を印加するために、マイナス数ｋＶの負の電位が与えられる。
【００２４】
また、マルチプレクサ回路４は、集積回路で構成されて基礎架台９上に搭載され、信号電極１ａ、１ｂの蓄積電荷を読み出すために、各信号電極１ａ、１ｂと信号線７によって接続されている。
【００２５】
金属製容器５は、例えばアルミニウム等で作製され、その外壁にその軸方向に延びるように溝６ａ、６ｂを形成することにより薄肉化されたＸ線入射部５ａ、５ｂが設けられている。Ｘ線入射部５ａ、５ｂは、プリント基板３の主面に垂直な方向において、信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間の空間、及び信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間の空間にそれぞれ対応する位置に形成されている。
【００２６】
外部から金属製容器５のＸ線入射部５ａを通過したＸ線は、信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間に侵入してキセノン原子に衝突して電子とイオンに解離させる。同様にＸ線入射部５ｂを通過したＸ線は、信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間に侵入してキセノン原子に衝突して電子とイオンに解離させる。解離した電子は、信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間及び信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間に印加されている高電圧の作用により近くの信号電極１ａ、１ｂに集められて蓄積される。例えば、各１０２４個（合計２０４８個）の信号電極１ａ、１ｂの蓄積電荷は、マルチプレクサ回路４によってＸ線透過信号（読み出し信号）として順次読み出されて、外部の画像処理装置へ出力される。
【００２７】
ここで、それぞれの信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域になるとともに、それぞれの信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域になる。したがって、それぞれの信号電極１ａ、１ｂから読み出されるＸ線透過信号が１つの画素の信号になり、それぞれの信号電極１ａ、１ｂが各画素に対応して設けられている。それぞれの信号電極１ａ、１ｂと高電圧電極板２ａ、２ｂとの間に侵入するＸ線の侵入深さがそれぞれの画素の階調に対応する。
【００２８】
マルチプレクサ回路４は、例えば、図１（ｂ）のように配置された信号電極１ａ、１ｂのうち、左端の信号電極から、右方向に配置された信号電極の順に右端の信号電極までのＸ線透過信号を読み出し出力するように構成されている。この場合、上側の信号電極１ａのＸ線透過信号と下側の信号電極１ｂのＸ線透過信号とが交互に読み出され、外部の画像処理装置において、全ての信号電極１ａ、１ｂから１回ずつ読み出されたＸ線透過信号に基づいて１次元透過像のデータが生成される。この場合、上側の信号電極１ａに対応する画素と下側の信号電極１ｂに対応する画素とは、距離ｙの分、上下にずれて配置されているため、１次元透過像においては画素がジグザグ状に並んだ状態である。しかしながら、後述の図２でも示されるように、本実施の形態のＸ線ラインセンサ２２を例えば上から下へ移動（走行）させ、その移動中に全ての信号電極１ａ、１ｂから繰り返し読み出されるＸ線透過信号に基づいて２次元透過像を生成するように構成されるため、２次元透過像においては上側の信号電極１ａに対応する画素の間に下側の信号電極１ｂに対応する画素が形成され、水平方向の画素のピッチは、Ｐ１／２になる。
【００２９】
なお、水平方向の画素のピッチ（Ｐ１／２）に対して、信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間の中心位置（レベルｈ１）と、信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間の中心位置（レベルｈ２）との上下方向の距離ｙが非常に短く、上側の信号電極１ａに対応する画素と下側の信号電極１ｂに対応する画素との上下の位置ずれが無視できる場合には、画像処理装置において、１次元透過像における画素の配置が直線状に並んでいるものとみなして２次元透過像を生成するようにしてもよい。
【００３０】
例えば、信号電極１ａ、１ｂの各々の幅及びピッチＰ１が、図３に示された信号電極１の幅及びピッチと同じであるとすれば、図３の場合の空間分解能がＰ１であるのに対し、本実施の形態の場合の空間分解能はＰ１／２となる。
【００３１】
このように本実施の形態では、上側のそれぞれの信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域（第１のＸ線検出領域）になるとともに、下側のそれぞれの信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域（第２のＸ線検出領域）になり、信号電極１ａ、１ｂの並び方向に第１のＸ線検出領域と第２のＸ線検出領域とが交互に並んで配置されるとともに、第１のＸ線検出領域がプリント基板３の一主面側に配置され、第２のＸ線検出領域がプリント基板３の他主面側に配置されるため、信号電極の幅を狭くすることによるＸ線検出感度の低下という弊害を生じることなく、空間分解能の向上を図ることができる。
【００３２】
なお、図１（ｂ）の例では、上側の信号電極１ａと下側の信号電極１ｂとが、信号電極１ａ、１ｂの並び方向に対して間隔をあけずに交互に配置されているが、交互に配置されていれば、間隔をあけてあってもよいし、互いに一部が重なっていてもよい。
【００３３】
また、高電圧電極板２ａ、２ｂは、それぞれの信号電極１ａ、１ｂと対向して電圧を印加できれば、網目状に形成された電極からなるものであってもよいし、あるいは櫛状に形成された電極であってもよい。
【００３４】
また、上側の信号電極１ａと下側の信号電極１ｂとを配設するための絶縁板として、穴等が空いていない完全な板であるプリント基板３を用いたが、この絶縁板は、完全な板ではなくても、両面に信号電極１ａ、１ｂを保持し、かつ上側の信号電極１ａと下側の信号電極１ｂとの電気的な絶縁を維持できるもの、例えば、スポンジのように無数の穴があいていても、スポンジのようには変形しない板状の絶縁性隔壁部材であってもよい。
【００３５】
図２は、図１に示されたＸ線ラインセンサを用いた一例のＸ線撮像装置の概略構成を示す斜視図である。
【００３６】
このＸ線撮像装置は、Ｘ線照射器２１と、図１に示されたＸ線ラインセンサ２２と、画像処理装置としても機能するコンピュータ２３と、ディスプレイ２４と、キーボード２５とを備えている。さらに、Ｘ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２とを同期させて例えば上下（図中の矢印方向：正確にはプリント基板３の主面に垂直な方向）に走行させる機構部（図示せず）が備えられ、例えば、Ｘ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２との間に人間（被写体）を立たせて、Ｘ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２とを同期して上下に走行させて全身のＸ線像を撮影し、ディスプレイ２４に表示させることができる。このＸ線撮像装置は、キーボード２５から動作の開始及び停止等を操作でき、コンピュータ２３によって全体の動作が制御される。
【００３７】
Ｘ線照射器２１には、Ｘ線の上下方向の広がりを制限するスリット等が備えられて、図２中の破線で示されるようにＸ線が扇状に照射される。このＸ線は人体などを通過してＸ線ラインセンサ２２にて検出される。Ｘ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２とを同期させて例えば上から下へ走行させ、その走行中に、Ｘ線ラインセンサ２２の全ての信号電極１ａ、１ｂ（図１）から繰り返し読み出されるＸ線透過信号がマルチプレクサ回路４（図１）からコンピュータ２３へ出力される。コンピュータ２３では、マルチプレクサ回路４から順次出力される各Ｘ線透過信号と、それらの各Ｘ線透過信号が信号電極１ａ、１ｂから読み出されるときのＸ線ラインセンサ２２の走行位置の情報とを対応させて内部メモリに記憶する。
【００３８】
さらに、コンピュータ２３では、内部メモリに記憶されるマルチプレクサ回路４から出力されたＸ線透過信号とＸ線ラインセンサ２２の走行位置の情報とを基に２次元Ｘ線透過像を生成し、そのデータを内部メモリに記憶する（画像処理装置としての機能）。キーボード２５を操作することにより、内部メモリに記憶された２次元Ｘ線透過像をディスプレイ２４に表示させることができる。
【００３９】
なお、図２は、図１に示されたＸ線ラインセンサを用いたＸ線撮像装置の一例であり、本実施の形態のＸ線ラインセンサを用いたＸ線撮像装置は図２の構成に限られるものではない。例えば、Ｘ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２とを走行させる代わりに、固定されたＸ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２との間を横切るように被写体を移送させるように構成されていてもよい。また、被写体は、人間に限られるものではなく、他の生物や物体であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、空間分解能の向上を図ることができるＸ線撮像用ラインイメージセンサ及びＸ線撮像装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】（ａ）は、本発明の実施の形態のＸ線撮像用ラインイメージセンサの断面図であり、（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図２】図１に示されたＸ線撮像用ラインイメージセンサを用いた一例のＸ線撮像装置の概略構成を示す斜視図である。
【図３】（ａ）は、従来のＸ線撮像用ラインイメージセンサの断面図であり、（ｂ）は、図３（ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１ａ、１ｂ 信号電極
２ａ、２ｂ 高電圧電極板
３ プリント基板
４ マルチプレクサ回路
５ 容器
５ａ、５ｂ Ｘ線入射部
６ａ、６ｂ 溝
【技術分野】
【０００１】
本発明は、人間や物体等のＸ線（エックス線）透過像等を得るために用いられるＸ線撮像用ラインイメージセンサ及びそれを用いたＸ線撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、食品などの商品の生産ラインにおいて商品への異物混入等の検出に、搬送コンベアによって連続搬送されてくる被検査物に対してＸ線を照射し、そのＸ線の透過状態をＸ線検出器で検出して、被検査物中に異物が混入していないか等を検査するＸ線検査装置が用いられている。
【０００３】
また、空港等において、爆発物、刃物、銃器などの危険物や麻薬などの持ち込みを防ぐために、乗客の全身をＸ線写真撮影するＸ線撮像装置がある。また、医療診断用のために人体をＸ線写真撮影するＸ線撮像装置がある。
【０００４】
以上のようなＸ線検査装置やＸ線撮像装置には、Ｘ線の検出器として、例えば特許文献１に開示されたようなＸ線撮像用ラインイメージセンサを用いることができる。
【０００５】
図３（ａ）は、従来のＸ線撮像用ラインイメージセンサの断面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【０００６】
このＸ線撮像用ラインイメージセンサは、軸方向に長い検出領域を有する円柱状の検出器であって、キセノンガスなどの希ガスが封入された外形が円柱状の金属製容器５内に、プリント基板３上にストリップ状に多数形成された信号電極１と、これらの信号電極１と対向して配置された高電圧電極板２と、それぞれの信号電極１と信号線７によって接続され信号電極１に蓄積された電荷を順次読み出すマルチプレクサ回路４等が設けられている。プリント基板３、高電圧電極板２及びマルチプレクサ回路４は、基礎架台９に固定されるように取り付けられている。
【０００７】
この場合、高電圧電極板２に、マイナス数ｋＶの負の電位が電線８を介して与えられる。金属製容器５はその外壁に溝６が形成され、この溝６部分を通過したＸ線は、信号電極１と高電圧電極板２との間に侵入し、キセノン原子に衝突して電子とイオンに解離させる。解離した電子は近くの信号電極１に集められて蓄積される。
【０００８】
多数の信号電極１に集められた電荷は、マルチプレクサ回路４によってＸ線透過信号として順次読み出されて、外部の画像処理装置に伝送される。外部の画像処理装置では、順次入力されるＸ線透過信号から１次元Ｘ線透過像を生成し、さらに２次元に展開することにより２次元Ｘ線透過像を得ることができる。
【特許文献１】特開２００５−２５７５９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記従来の構成では、図３（ｂ）に示されるように、プリント基板３上に多数の信号電極１が等ピッチで配置されており、この信号電極１のピッチが空間分解能となる。この空間分解能の向上を図るために、信号電極１の幅を狭くして狭ピッチにするとＸ線検出感度が低下するという弊害が生じる。
【００１０】
本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、上記のような弊害を生じることなく、空間分解能の向上を図ることができるＸ線撮像用ラインイメージセンサ及びＸ線撮像装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明のＸ線撮像用ラインイメージセンサは、Ｘ線検出用ガスが封入された容器と、前記容器内に配置された絶縁板と、前記絶縁板の一方の主面に並行に配置された複数のストリップ状の第１の信号電極と、前記絶縁板の他方の主面に、前記第１の信号電極の延在方向に延在しかつ前記第１の信号電極の並び方向と同じ方向に並んで配置された複数のストリップ状の第２の信号電極と、前記容器内に前記複数の第１の信号電極と間隙を有して対向配置され、各々の前記第１の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが電離することにより発生する電荷を前記第１の信号電極に集めるための所定電圧が前記第１の信号電極との間に印加される板状の第１の対向電極と、前記容器内に前記複数の第２の信号電極と間隙を有して対向配置され、各々の前記第２の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが電離することにより発生する電荷を前記第２の信号電極に集めるための所定電圧が前記第２の信号電極との間に印加される板状の第２の対向電極とを備え、前記絶縁板の主面に垂直な方向から見て隣合う前記第２の信号電極の間に前記第１の信号電極が位置するように、前記複数の第１の信号電極及び前記複数の第２の信号電極が配置されている。
【００１２】
この構成によれば、それぞれの第１の信号電極と第１の対向電極との間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域（第１のＸ線検出領域）になるとともに、それぞれの第２の信号電極と第２の対向電極との間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域（第２のＸ線検出領域）になり、第１及び第２の信号電極の並び方向に第１のＸ線検出領域と第２のＸ線検出領域とが交互に並んで配置されるとともに、第１のＸ線検出領域が絶縁板の一方の主面側に配置され、第２のＸ線検出領域が絶縁板の他方の主面側に配置されるため、信号電極の幅を狭くすることによるＸ線検出感度の低下という弊害を生じることなく、空間分解能の向上を図ることができる。
【００１３】
また、前記複数の第１の信号電極の数と前記複数の第２の信号電極の数が同じであり、前記絶縁板の主面に垂直な方向から見て隣合う前記第１の信号電極の間に前記第２の信号電極が位置するように、前記複数の第１の信号電極及び前記複数の第２の信号電極が前記第１の信号電極の並び方向に互いにずれて配置されていてもよい。
【００１４】
また、前記第１の対向電極と各々の前記第１の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが外部から侵入するＸ線によって電離され、この電離によって発生し前記第１の信号電極へ集められる電荷と、前記第２の対向電極と各々の前記第２の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが外部から侵入するＸ線によって電離され、この電離によって発生し前記第２の信号電極へ集められる電荷とを、順次、読み出し信号として読み出して外部へ出力する信号読み出し回路が、前記容器内に設けられていてもよい。
【００１５】
このように、容器内に信号読み出し回路を設けているため、例えば外部の画像処理装置と信号読み出し回路とを接続することにより、全ての信号電極に関する読み出し信号を順次、画像処理装置へ入力することができ、外部装置（この場合は画像処理装置）と接続する配線の簡素化が図れる。
【００１６】
また、本発明のＸ線撮像装置は、上記の信号読み出し回路が設けられたＸ線撮像用ラインイメージセンサと、前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサに対してＸ線を照射するＸ線照射器と、前記Ｘ線照射器からＸ線が照射されており、被写体が前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサと前記Ｘ線照射器との間を前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサの絶縁板の主面に垂直な方向へ移動するように、前記被写体と前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサ及び前記Ｘ線照射器との相対的な位置を変化させているときに、前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサの信号読み出し回路から出力される読み出し信号に基づいて前記被写体の２次元Ｘ線透過像を生成する画像処理装置とが備えられている。
【００１７】
この構成によれば、生成される２次元Ｘ線透過像の空間分解能の向上を図ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、以上に説明した構成を有し、空間分解能の向上を図ることができるＸ線撮像用ラインイメージセンサ及びＸ線撮像装置を提供することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１（ａ）は、本発明の実施の形態のＸ線撮像用ラインイメージセンサ（以下、「Ｘ線ラインセンサ」という）の断面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。
【００２１】
このＸ線ラインセンサは、軸方向に長い検出領域を有する円柱状の検出器であって、キセノンガスなどの希ガス（Ｘ線検出用ガス）が数百ｋＰａ〜数ＭＰａにて封入された外形が円柱状の金属製容器５内に、絶縁板であるプリント基板３の両面にストリップ状に多数形成された信号電極１ａ、１ｂと、高電圧電極板（板状の対向電極）２ａ、２ｂと、それぞれの信号電極１ａ、１ｂに蓄積された電荷を順次読み出すマルチプレクサ回路４等が設けられている。
【００２２】
プリント基板３は支持部を介して基礎架台９に取り付けられ、プリント基板３の一主面（図中、上側の表面）には、ストリップ状の電極片からなる複数の信号電極１ａが並行に形成され、他主面（図中、下側の表面）には、ストリップ状の電極片からなる複数の信号電極１ｂが並行に形成されている。信号電極１ａと信号電極１ｂとは、プリント基板３の上下に信号電極１ａ、１ｂの並び方向へ交互に並んで配置されている。すなわち、多数の信号電極１ａ、１ｂは共に金属製容器５の軸方向に並ぶように形成され、かつ軸方向に垂直な方向に延びるように形成されている。これらの信号電極１ａ及び信号電極１ｂはそれぞれ同じピッチＰ１で配置されるとともに、信号電極１ａと信号電極１ｂとはＰ１／２ずれて配置されている。信号電極１ａ及び信号電極１ｂはそれぞれ、例えば、０．２ｍｍ幅、８０ｍｍ長の電極片からなり、ピッチＰ１＝０．４ｍｍで、１０２４個並行に配置されている。この場合の空間分解能は０．２ｍｍである。このような信号電極１ａ、１ｂは、プリント基板製造技術を適用することによって比較的容易に製作することができる。
【００２３】
高電圧電極板２ａは、プリント基板３の一主面側に、複数の信号電極１ａと所定の距離を隔てて対向して配置された金属板からなり、支持部を介して基礎架台９に取り付けられている。また、高電圧電極板２ｂは、プリント基板３の他主面側に、複数の信号電極１ｂと所定の距離を隔てて対向して配置された金属板からなり、支持部を介して基礎架台９に取り付けられている。高電圧電極板２ａと信号電極１ａとの距離と、高電圧電極板２ｂと信号電極１ｂとの距離とは等しい。高電圧電極板２ａは、天井から垂下した電線８に接続されていて、信号電極１ａとの間に高電圧を印加するために、マイナス数ｋＶの負の電位が電線８を介して与えられる。また、図示されていないが、高電圧電極板２ｂも同様に電線８に接続されており、信号電極１ｂとの間に高電圧を印加するために、マイナス数ｋＶの負の電位が与えられる。
【００２４】
また、マルチプレクサ回路４は、集積回路で構成されて基礎架台９上に搭載され、信号電極１ａ、１ｂの蓄積電荷を読み出すために、各信号電極１ａ、１ｂと信号線７によって接続されている。
【００２５】
金属製容器５は、例えばアルミニウム等で作製され、その外壁にその軸方向に延びるように溝６ａ、６ｂを形成することにより薄肉化されたＸ線入射部５ａ、５ｂが設けられている。Ｘ線入射部５ａ、５ｂは、プリント基板３の主面に垂直な方向において、信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間の空間、及び信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間の空間にそれぞれ対応する位置に形成されている。
【００２６】
外部から金属製容器５のＸ線入射部５ａを通過したＸ線は、信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間に侵入してキセノン原子に衝突して電子とイオンに解離させる。同様にＸ線入射部５ｂを通過したＸ線は、信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間に侵入してキセノン原子に衝突して電子とイオンに解離させる。解離した電子は、信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間及び信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間に印加されている高電圧の作用により近くの信号電極１ａ、１ｂに集められて蓄積される。例えば、各１０２４個（合計２０４８個）の信号電極１ａ、１ｂの蓄積電荷は、マルチプレクサ回路４によってＸ線透過信号（読み出し信号）として順次読み出されて、外部の画像処理装置へ出力される。
【００２７】
ここで、それぞれの信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域になるとともに、それぞれの信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域になる。したがって、それぞれの信号電極１ａ、１ｂから読み出されるＸ線透過信号が１つの画素の信号になり、それぞれの信号電極１ａ、１ｂが各画素に対応して設けられている。それぞれの信号電極１ａ、１ｂと高電圧電極板２ａ、２ｂとの間に侵入するＸ線の侵入深さがそれぞれの画素の階調に対応する。
【００２８】
マルチプレクサ回路４は、例えば、図１（ｂ）のように配置された信号電極１ａ、１ｂのうち、左端の信号電極から、右方向に配置された信号電極の順に右端の信号電極までのＸ線透過信号を読み出し出力するように構成されている。この場合、上側の信号電極１ａのＸ線透過信号と下側の信号電極１ｂのＸ線透過信号とが交互に読み出され、外部の画像処理装置において、全ての信号電極１ａ、１ｂから１回ずつ読み出されたＸ線透過信号に基づいて１次元透過像のデータが生成される。この場合、上側の信号電極１ａに対応する画素と下側の信号電極１ｂに対応する画素とは、距離ｙの分、上下にずれて配置されているため、１次元透過像においては画素がジグザグ状に並んだ状態である。しかしながら、後述の図２でも示されるように、本実施の形態のＸ線ラインセンサ２２を例えば上から下へ移動（走行）させ、その移動中に全ての信号電極１ａ、１ｂから繰り返し読み出されるＸ線透過信号に基づいて２次元透過像を生成するように構成されるため、２次元透過像においては上側の信号電極１ａに対応する画素の間に下側の信号電極１ｂに対応する画素が形成され、水平方向の画素のピッチは、Ｐ１／２になる。
【００２９】
なお、水平方向の画素のピッチ（Ｐ１／２）に対して、信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間の中心位置（レベルｈ１）と、信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間の中心位置（レベルｈ２）との上下方向の距離ｙが非常に短く、上側の信号電極１ａに対応する画素と下側の信号電極１ｂに対応する画素との上下の位置ずれが無視できる場合には、画像処理装置において、１次元透過像における画素の配置が直線状に並んでいるものとみなして２次元透過像を生成するようにしてもよい。
【００３０】
例えば、信号電極１ａ、１ｂの各々の幅及びピッチＰ１が、図３に示された信号電極１の幅及びピッチと同じであるとすれば、図３の場合の空間分解能がＰ１であるのに対し、本実施の形態の場合の空間分解能はＰ１／２となる。
【００３１】
このように本実施の形態では、上側のそれぞれの信号電極１ａと高電圧電極板２ａとの間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域（第１のＸ線検出領域）になるとともに、下側のそれぞれの信号電極１ｂと高電圧電極板２ｂとの間隙が１つの画素に対応する１つのＸ線検出領域（第２のＸ線検出領域）になり、信号電極１ａ、１ｂの並び方向に第１のＸ線検出領域と第２のＸ線検出領域とが交互に並んで配置されるとともに、第１のＸ線検出領域がプリント基板３の一主面側に配置され、第２のＸ線検出領域がプリント基板３の他主面側に配置されるため、信号電極の幅を狭くすることによるＸ線検出感度の低下という弊害を生じることなく、空間分解能の向上を図ることができる。
【００３２】
なお、図１（ｂ）の例では、上側の信号電極１ａと下側の信号電極１ｂとが、信号電極１ａ、１ｂの並び方向に対して間隔をあけずに交互に配置されているが、交互に配置されていれば、間隔をあけてあってもよいし、互いに一部が重なっていてもよい。
【００３３】
また、高電圧電極板２ａ、２ｂは、それぞれの信号電極１ａ、１ｂと対向して電圧を印加できれば、網目状に形成された電極からなるものであってもよいし、あるいは櫛状に形成された電極であってもよい。
【００３４】
また、上側の信号電極１ａと下側の信号電極１ｂとを配設するための絶縁板として、穴等が空いていない完全な板であるプリント基板３を用いたが、この絶縁板は、完全な板ではなくても、両面に信号電極１ａ、１ｂを保持し、かつ上側の信号電極１ａと下側の信号電極１ｂとの電気的な絶縁を維持できるもの、例えば、スポンジのように無数の穴があいていても、スポンジのようには変形しない板状の絶縁性隔壁部材であってもよい。
【００３５】
図２は、図１に示されたＸ線ラインセンサを用いた一例のＸ線撮像装置の概略構成を示す斜視図である。
【００３６】
このＸ線撮像装置は、Ｘ線照射器２１と、図１に示されたＸ線ラインセンサ２２と、画像処理装置としても機能するコンピュータ２３と、ディスプレイ２４と、キーボード２５とを備えている。さらに、Ｘ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２とを同期させて例えば上下（図中の矢印方向：正確にはプリント基板３の主面に垂直な方向）に走行させる機構部（図示せず）が備えられ、例えば、Ｘ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２との間に人間（被写体）を立たせて、Ｘ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２とを同期して上下に走行させて全身のＸ線像を撮影し、ディスプレイ２４に表示させることができる。このＸ線撮像装置は、キーボード２５から動作の開始及び停止等を操作でき、コンピュータ２３によって全体の動作が制御される。
【００３７】
Ｘ線照射器２１には、Ｘ線の上下方向の広がりを制限するスリット等が備えられて、図２中の破線で示されるようにＸ線が扇状に照射される。このＸ線は人体などを通過してＸ線ラインセンサ２２にて検出される。Ｘ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２とを同期させて例えば上から下へ走行させ、その走行中に、Ｘ線ラインセンサ２２の全ての信号電極１ａ、１ｂ（図１）から繰り返し読み出されるＸ線透過信号がマルチプレクサ回路４（図１）からコンピュータ２３へ出力される。コンピュータ２３では、マルチプレクサ回路４から順次出力される各Ｘ線透過信号と、それらの各Ｘ線透過信号が信号電極１ａ、１ｂから読み出されるときのＸ線ラインセンサ２２の走行位置の情報とを対応させて内部メモリに記憶する。
【００３８】
さらに、コンピュータ２３では、内部メモリに記憶されるマルチプレクサ回路４から出力されたＸ線透過信号とＸ線ラインセンサ２２の走行位置の情報とを基に２次元Ｘ線透過像を生成し、そのデータを内部メモリに記憶する（画像処理装置としての機能）。キーボード２５を操作することにより、内部メモリに記憶された２次元Ｘ線透過像をディスプレイ２４に表示させることができる。
【００３９】
なお、図２は、図１に示されたＸ線ラインセンサを用いたＸ線撮像装置の一例であり、本実施の形態のＸ線ラインセンサを用いたＸ線撮像装置は図２の構成に限られるものではない。例えば、Ｘ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２とを走行させる代わりに、固定されたＸ線照射器２１とＸ線ラインセンサ２２との間を横切るように被写体を移送させるように構成されていてもよい。また、被写体は、人間に限られるものではなく、他の生物や物体であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、空間分解能の向上を図ることができるＸ線撮像用ラインイメージセンサ及びＸ線撮像装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】（ａ）は、本発明の実施の形態のＸ線撮像用ラインイメージセンサの断面図であり、（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図２】図１に示されたＸ線撮像用ラインイメージセンサを用いた一例のＸ線撮像装置の概略構成を示す斜視図である。
【図３】（ａ）は、従来のＸ線撮像用ラインイメージセンサの断面図であり、（ｂ）は、図３（ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１ａ、１ｂ 信号電極
２ａ、２ｂ 高電圧電極板
３ プリント基板
４ マルチプレクサ回路
５ 容器
５ａ、５ｂ Ｘ線入射部
６ａ、６ｂ 溝
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線検出用ガスが封入された容器と、
前記容器内に配置された絶縁板と、
前記絶縁板の一方の主面に並行に配置された複数のストリップ状の第１の信号電極と、
前記絶縁板の他方の主面に、前記第１の信号電極の延在方向に延在しかつ前記第１の信号電極の並び方向と同じ方向に並んで配置された複数のストリップ状の第２の信号電極と、
前記容器内に前記複数の第１の信号電極と間隙を有して対向配置され、各々の前記第１の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが電離することにより発生する電荷を前記第１の信号電極に集めるための所定電圧が前記第１の信号電極との間に印加される板状の第１の対向電極と、
前記容器内に前記複数の第２の信号電極と間隙を有して対向配置され、各々の前記第２の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが電離することにより発生する電荷を前記第２の信号電極に集めるための所定電圧が前記第２の信号電極との間に印加される板状の第２の対向電極とを備え、
前記絶縁板の主面に垂直な方向から見て隣合う前記第２の信号電極の間に前記第１の信号電極が位置するように、前記複数の第１の信号電極及び前記複数の第２の信号電極が配置されているＸ線撮像用ラインイメージセンサ。
【請求項２】
前記複数の第１の信号電極の数と前記複数の第２の信号電極の数が同じであり、
前記絶縁板の主面に垂直な方向から見て隣合う前記第１の信号電極の間に前記第２の信号電極が位置するように、前記複数の第１の信号電極及び前記複数の第２の信号電極が前記第１の信号電極の並び方向に互いにずれて配置されている請求項１に記載のＸ線撮像用ラインイメージセンサ。
【請求項３】
前記第１の対向電極と各々の前記第１の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが外部から侵入するＸ線によって電離され、この電離によって発生し前記第１の信号電極へ集められる電荷と、前記第２の対向電極と各々の前記第２の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが外部から侵入するＸ線によって電離され、この電離によって発生し前記第２の信号電極へ集められる電荷とを、順次、読み出し信号として読み出して外部へ出力する信号読み出し回路が、前記容器内に設けられた請求項１に記載のＸ線撮像用ラインイメージセンサ。
【請求項４】
請求項３に記載のＸ線撮像用ラインイメージセンサと、
前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサに対してＸ線を照射するＸ線照射器と、
前記Ｘ線照射器からＸ線が照射されており、被写体が前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサと前記Ｘ線照射器との間を前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサの絶縁板の主面に垂直な方向へ移動するように、前記被写体と前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサ及び前記Ｘ線照射器との相対的な位置を変化させているときに、前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサの信号読み出し回路から出力される読み出し信号に基づいて前記被写体の２次元Ｘ線透過像を生成する画像処理装置とが備えられたＸ線撮像装置。
【請求項１】
Ｘ線検出用ガスが封入された容器と、
前記容器内に配置された絶縁板と、
前記絶縁板の一方の主面に並行に配置された複数のストリップ状の第１の信号電極と、
前記絶縁板の他方の主面に、前記第１の信号電極の延在方向に延在しかつ前記第１の信号電極の並び方向と同じ方向に並んで配置された複数のストリップ状の第２の信号電極と、
前記容器内に前記複数の第１の信号電極と間隙を有して対向配置され、各々の前記第１の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが電離することにより発生する電荷を前記第１の信号電極に集めるための所定電圧が前記第１の信号電極との間に印加される板状の第１の対向電極と、
前記容器内に前記複数の第２の信号電極と間隙を有して対向配置され、各々の前記第２の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが電離することにより発生する電荷を前記第２の信号電極に集めるための所定電圧が前記第２の信号電極との間に印加される板状の第２の対向電極とを備え、
前記絶縁板の主面に垂直な方向から見て隣合う前記第２の信号電極の間に前記第１の信号電極が位置するように、前記複数の第１の信号電極及び前記複数の第２の信号電極が配置されているＸ線撮像用ラインイメージセンサ。
【請求項２】
前記複数の第１の信号電極の数と前記複数の第２の信号電極の数が同じであり、
前記絶縁板の主面に垂直な方向から見て隣合う前記第１の信号電極の間に前記第２の信号電極が位置するように、前記複数の第１の信号電極及び前記複数の第２の信号電極が前記第１の信号電極の並び方向に互いにずれて配置されている請求項１に記載のＸ線撮像用ラインイメージセンサ。
【請求項３】
前記第１の対向電極と各々の前記第１の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが外部から侵入するＸ線によって電離され、この電離によって発生し前記第１の信号電極へ集められる電荷と、前記第２の対向電極と各々の前記第２の信号電極との間隙に存在する前記Ｘ線検出用ガスが外部から侵入するＸ線によって電離され、この電離によって発生し前記第２の信号電極へ集められる電荷とを、順次、読み出し信号として読み出して外部へ出力する信号読み出し回路が、前記容器内に設けられた請求項１に記載のＸ線撮像用ラインイメージセンサ。
【請求項４】
請求項３に記載のＸ線撮像用ラインイメージセンサと、
前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサに対してＸ線を照射するＸ線照射器と、
前記Ｘ線照射器からＸ線が照射されており、被写体が前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサと前記Ｘ線照射器との間を前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサの絶縁板の主面に垂直な方向へ移動するように、前記被写体と前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサ及び前記Ｘ線照射器との相対的な位置を変化させているときに、前記Ｘ線撮像用ラインイメージセンサの信号読み出し回路から出力される読み出し信号に基づいて前記被写体の２次元Ｘ線透過像を生成する画像処理装置とが備えられたＸ線撮像装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２００８−２１０６８３（Ｐ２００８−２１０６８３Ａ）
【公開日】平成２０年９月１１日（２００８．９．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−４７１８０（Ｐ２００７−４７１８０）
【出願日】平成１９年２月２７日（２００７．２．２７）
【出願人】（８００００００５７）財団法人新産業創造研究機構 (99)
【出願人】（３０３０２６２３５）株式会社湊川金属テストピース製作所 (7)
【出願人】（５９２２１６３８４）兵庫県 (258)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年９月１１日（２００８．９．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年２月２７日（２００７．２．２７）
【出願人】（８００００００５７）財団法人新産業創造研究機構 (99)
【出願人】（３０３０２６２３５）株式会社湊川金属テストピース製作所 (7)
【出願人】（５９２２１６３８４）兵庫県 (258)
【Ｆターム（参考）】
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