【課題】コストを削減しつつ正確に基板を位置決めすることができる基板処理装置等の技術を提供すること。
【解決手段】本技術の一形態に係る基板処理装置は、テーブルと、偏心カム機構と、基準マークと、撮像部と、制御部とを具備する。前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】マスク本体と基板との間の密着固定度が不十分なままスクリーン印刷が行われることを防止して印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】マスク１３の下方に基板２を設置した状態でマスク本体１３ｃを上方から押圧して基板２の上面にマスク本体１３ｃの下面を接触させる。そして、この状態で、マスク本体１３ｃ上でスキージ３３ｂを摺動させることによりマスク本体１３ｃ上に供給されたペーストＰｔを基板２に転写させる。 （もっと読む）

【課題】安定した印刷状態を確保しつつ、印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板２を搬入した後（ステップＳＴ１）、マスク１３に基板２の上面を接触させ（ステップＳＴ４）、基板２に接触させたマスク１３上でスキージ３３ｂを摺動させるスキージング動作を一往復行ってマスク１３上のペーストＰｔを基板２に転写させたら（ステップＳＴ７及びステップＳＴ８）、基板２をマスク１３から離間させて版離れを行い（ステップＳＴ９）、基板２を搬出させるとともに（ステップＳＴ１１）、マスク１３の下面に付着したペーストＰｔを除去するマスククリーニングを行う（ステップＳＴ１２）工程から成る１枚の基板２に対する印刷作業を繰り返し実行する。 （もっと読む）

【課題】スキージの交換作業とペースト供給シリンジ内へのペーストの補充作業の双方を容易に行うことができるようにしたスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【解決手段】ペースト供給シリンジ１４が、スキージベース３０からスキージベース３０の往復移動方向と平行な垂直面内を水平線ＨＬに対して下方に傾いて延びる軸線４１回りに揺動自在に取り付けられ、下端のノズル部１４ａがスキージ１５の直下に位置するように上記垂直面内を垂直線ＶＬに対して斜め方向に延びるペースト供給姿勢とこのペースト供給姿勢から上記軸線４１回りにほぼ９０度揺動した格納姿勢との間での姿勢変換が可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】スキージの交換作業とペースト供給シリンジ内へのペーストの補充作業の双方を容易に行うことができるようにしたスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【解決手段】ペースト供給シリンジ１４が、スキージベース３０からスキージベース３０の往復移動方向と平行な垂直面内を水平線ＨＬに対して下方に傾いて延びる軸線４１回りに揺動自在に取り付けられ、下端のノズル部１４ａがスキージ１５の直下に位置するように上記垂直面内を垂直線ＶＬに対して斜め方向に延びるペースト供給姿勢とこのペースト供給姿勢から上記軸線４１回りにほぼ９０度揺動した格納姿勢との間での姿勢変換が可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】スキージの交換作業とペースト供給シリンジ内へのペーストの補充作業の双方を容易に行うことができるようにしたスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【解決手段】ペースト供給シリンジ１４が、スキージベース３０からスキージベース３０の往復移動方向と平行な垂直面内を水平線ＨＬに対して下方に傾いて延びる軸線４１回りに揺動自在に取り付けられ、下端のノズル部１４ａがスキージ１５の直下に位置するように上記垂直面内を垂直線ＶＬに対して斜め方向に延びるペースト供給姿勢とこのペースト供給姿勢から上記軸線４１回りにほぼ９０度揺動した格納姿勢との間での姿勢変換が可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】
スキージを用いて所定の位置に開口部を有する印刷マスクからペーストをテーブルに固定した被印刷物の所定の位置に転写する印刷装置において、印刷マスクの開口部における開口面積の大小に関わらず、精度良く安定して印刷することを実現する。
【解決手段】
スキージ先端の一方の角に円弧状の凹形状を形成し、円弧状の凹形状部を含むスキージの先端部分の表面を撥液性を有する膜で被覆して、所望のパターン開口部を有する印刷マスクにペーストを充填、転写する際、撥液性を有する膜で被覆した円弧状の凹形状部ペーストのローリングを促進し、印刷マスクのパターン開口部へのペーストの充填性を促進させた。 （もっと読む）

【課題】スキージの交換作業とペースト供給シリンジ内へのペーストの補充作業の双方を容易に行うことができるようにしたスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【解決手段】ペースト供給シリンジ１４が、スキージベース３０からスキージベース３０の往復移動方向と平行な垂直面内を水平線ＨＬに対して下方に傾いて延びる軸線４１回りに揺動自在に取り付けられ、下端のノズル部１４ａがスキージ１５の直下に位置するように上記垂直面内を垂直線ＶＬに対して斜め方向に延びるペースト供給姿勢とこのペースト供給姿勢から上記軸線４１回りにほぼ９０度揺動した格納姿勢との間での姿勢変換が可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】基板の大小に応じたスキージサイズの変更作業の作業性を向上させることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】スキージ３２を保持するスキージホルダ３１に取り付けた一対の漏れ防止部材３３をスキージ３２とともにマスク５上を摺動させることによってマスク５上でローリング中のペーストＰｓがスキージ３２の両側方に漏れ出ることを防止するにおいて、一対の漏れ防止部材３３を、スキージホルダ３１に保持させたスキージ３２の幅方向寸法に応じた間隔でスキージホルダ３１に取り付けるようにする。 （もっと読む）

【課題】スクリーン印刷機の状態の変化による印刷ずれを検出し、検出した印刷ずれ量をフィードバックすることによって、高精度の印刷の維持を可能とするスクリーン印刷機を提供する。
【解決手段】被印刷物にスクリーンを介してクリーム半田を印刷するスクリーン印刷機において、前記被印刷物の基準となるランドとこのランドに対応して印刷されたクリーム半田の画像を取得する基板認識カメラと、取得された画像から前記ランドと印刷されたクリーム半田とのずれ量を演算し、演算された前記ずれ量に１未満の所定の係数を乗算し、前記乗算した値を次の印刷時に印刷ずれ補正量として出力する制御部と、前記印刷ずれ補正量に基づいて前記次の印刷時に印刷ずれを補正する位置合わせ機構とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ペーストのスムーズなローリングを実現して印刷不良の発生を低減し得るようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】マスク５に対してスキージ３２を摺動させて基板２にペーストＰｓを転写させるにおいて、スキージホルダ３１に設けた漏れ防止部材３３をスキージ３２とともにマスク５上を摺動させることによってマスク５上でローリング中のペーストＰｓがスキージ３２の中央から幅方向に沿ってスキージ３２の両側方に漏れ出ることを防止する。このとき、マスク５上のペーストＰｓの高さＨ０がマスク５の上面からの漏れ防止部材３３の高さＨｍよりも高く、漏れ防止部材３３の高さＨｍよりも高い位置に位置するペーストＰｓが漏れ防止部材３３を超えてスキージ３２の中央から幅方向に沿ってスキージ３２の両側方に流出しない状態でペーストＰｓのローリングを行う。 （もっと読む）

【課題】従来の方法では困難であった、ひとつの基板上への異なる高さのペーストの供給を確実に行うことができるペースト供給方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第１電極２ａに対応して設けられた開口３２ａを有するマスク３２を第１電極２ａに合致させてスキージングを行うスクリーン印刷によって第１電極２ａにペーストＰｔを供給する第１のペースト供給工程（ステップＳＴ２〜ＳＴ５）と、第２電極２ｂに対応して設けられたブロック状部材３２の開口３２ａからペーストＰｔを圧出するペースト圧出ヘッド８により第２電極２ｂにペーストＰｔを圧出しつつ、ペースト圧出ヘッド８を基板２に対して相対的に上下方向に離間させることにより、第１のペースト供給工程によって第１電極２ａに供給されたペーストＰｔの高さよりも高い高さのペーストＰｔを第２電極２ｂに供給する第２のペースト供給工程（ステップＳＴ７〜ＳＴ１１）を実行する。 （もっと読む）

【課題】カラーカメラを用いることなく低コストでスクリーン印刷後の半田検査を行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機における半田検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】モノクロカメラであるカメラ部７ａ、検査対象領域Ｒｇを垂直上方から照明する第１照明４１、検査対象領域Ｒｇをカメラ部７ａの撮像光軸７Ｊを取り囲む方向から照明する第２照明４２を備え、検査対象領域Ｒｇを第１照明４１により照明しながらカメラ部７ａにより撮像して検査対象領域Ｒｇ内のランド２ａが映し出された第１の画像を得るとともに、検査対象領域Ｒｇを第２照明４２により照明しながらカメラ部７ａにより撮像して検査対象領域Ｒｇ内のランド２ａ及び半田Ｓｄが映し出された第２の画像を得た後、第２の画像のランド２ａ及び半田Ｓｄの部分から第１の画像のランド２ａの部分を差し引いて半田Ｓｄのみが映し出された画像を得る。 （もっと読む）

【課題】スクリーン印刷機における段取り替え作業に伴う時間のロスが生じないようにした部品実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】スクリーン印刷機５が備える２つの印刷機構１０のうちの一方について段取り作業を行ってその印刷機構１０にスクリーン印刷作業を実行させ、その一方の印刷機構１０にスクリーン印刷作業を実行させている間、他方の印刷機構１０において、機種切り替えのための段取り替え作業を行う。 （もっと読む）

【課題】スキージがマスクに対して斜めに当接するようにしてペーストの角立ちの発生を確実に防止することができるようにしたスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】スキージベース３７に対してスキージ１４を下降させながら、スキージ１４が所定量ＳＬ下降したか否かの検出を行い、スキージ１４が所定量ＳＬ下降したことが検出されたら、スキージ昇降シリンダ３８によるスキージベース３７に対するスキージ１４の下降を停止させることなく、スキージベース３７をペースト掻き寄せ方向とは反対の水平方向に所定時間ＤＴ移動させてスキージ１４の下降とスキージベース３７の水平方向移動を停止させる。これによりスキージ１４がマスク１３の上面に当接したら、スキージベース３７をペースト掻き寄せ方向に移動させ、マスク１３の上面に供給されたペーストＰｓｔをスキージ１４で掻き寄せて基板２にペーストＰｓｔを転写させる。 （もっと読む）

【課題】オフコンタクト印刷方法において、マスクと基板とのギャップに起因する印刷剤の印刷位置ずれとマスクと基板の寸法の製造誤差を補正する。
【解決手段】印刷装置の枠体に固定されたマスクと、マスクの下方で移動可能に配設されたステージと、このステージに固定された基板と、マスク上に供給された印刷剤をマスクの開口から基板の電極に印刷するスキージとを有する印刷装置を用いて印刷剤を基板上にオフコンタクト印刷する印刷方法において、第１の基板に印刷される印刷剤の位置ずれ量を実測し、位置ずれ量が小さくなるように、第２の基板の印刷中に基板を載置したステージをずれ量に基づいて移動する。 （もっと読む）

【課題】スクリーン版上に供給されたペーストの粘度を調整することが可能なスキージ及びスクリーン印刷装置を提供する。
【解決手段】非ニュートン流体のペーストを掻き取るスキージ１１であって、平面視して移動方向に内側を向いて湾曲する湾曲部４０と、平面視して湾曲部の両端から直線状に外側に延びる直線部４１と、を有する。このスキージ１１は、上部がホルダ４５に保持された状態で、直線部４１と湾曲部４０とが成す角度θが可変となっている。 （もっと読む）

【課題】ペーストの厚さムラに起因する印刷精度の低下を防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板２の、マスク１５に対するスキージ１６の摺動方向と直交する水平面内方向であるスキージ１６の幅方向の寸法Ｒを記憶する寸法記憶部６２と、寸法記憶部６２に記憶された基板２のスキージ１６の幅方向の寸法Ｒを読み出し、その読み出した基板２のスキージ１６の幅方向の寸法Ｒに応じてペーストＰｓｔのマスク１５上でのスキージ１６の幅方向の長さＰＬを設定するペースト長さ設定部５０ｂとを備える。ペースト供給シリンジ１８は、ペースト長さ設定部５０ｂにより設定されたスキージ１６の幅方向の長さを有するペーストＰｓｔをマスク１５上に供給する。 （もっと読む）

【課題】マスク上を摺動するスキージによってマスクが引き摺られて移動しても印刷不良が発生しにくいスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】スキージ１４がマスク１３上で摺動した場合にマスク１３がスキージ１４に引き摺られて移動する移動距離Δがマスク移動距離Δとして記憶部８０ａに記憶され、この記憶部８０ａから読み出して得られるマスク移動距離Δだけ基板２の電極３がマスク１３のパターン孔１３ａよりもスキージ１４のマスク１３に対する移動方向にずれた状態で基板２をマスク１３に接触させるようにする。 （もっと読む）