【課題】待機期間での液体の増粘を抑制する。
【解決手段】圧電素子４２２は、圧力室５０内のインクの圧力を変化させてノズル５６からインクを噴射させる。第１中間電位Ｖm1からの電位変動によりノズル５６からインクを噴射させる噴射波形ＰDが噴射期間にて圧電素子４２２に供給され、第２中間電位Ｖm2からの電位変動によりノズル５６内のインクの液面を微振動させる微振動波形ＱVが待機期間にて圧電素子４２２に供給される。第２中間電位Ｖm2は、圧電素子４２２に第１中間電位Ｖm1を供給した場合よりも圧力室５０を膨張させる電位に設定される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の駆動を効率的に行う液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の一方面側に圧力発生室１２に対応して設けられた第１電極６０、第１電極上に設けられた圧電体層７０及び圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００毎に対して個別に設けられた第１電極６０に電気的に接続されるリード電極９０と、第２電極８０が形成されておらず前記圧電体層７０が露出している領域の、前記第１電極６０が部分的に露出されている領域に、前記第１電極６０に少なくとも一部が接して設けられている導電層８１と、を具備し、リード電極９０は、前記導電層８１を介して前記第１電極６０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】硬化した余剰の接着剤に起因する液体流路の目詰まり等を防止する液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口のそれぞれに通じるノズル連通口及び前記ノズル連通口と繋がり、ノズルプレートに平行な方向に伸びた圧力室を備える圧力室形成基板と、前記圧力室形成基板に接合される封止板と、前記封止板の前記圧力室に対応する箇所に位置し、同封止板に変形をおこさせる圧電素子と、を有し、前記ノズルプレートと前記圧力室形成基板及び前記圧力室形成基板と前記封止板とは、接着剤により接続されており、前記ノズル連通口は、前記ノズルプレート面を底辺として、同底辺に繋がる前記圧力室側の壁面を第１壁面とした場合に、前記第１壁面と同第１壁面に相接する第２壁面の二つの面とには、前記ノズル連通口の外側に向かって落ち込んだ凹み部を有し、前記凹み部は、前記ノズル開口側に形成されている。 （もっと読む）

【課題】工程の簡略化を図ることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法は、第１基板２０の一方面２１側に圧電素子４０を形成する第１工程と、第１基板２０の一方面２１側に、貫通孔５６が形成された第２基板５０を接合する第２工程と、第１テープ１０２により貫通孔５６を塞ぐ第３工程と、酸化シリコンからなる絶縁膜１１０を形成し第１テープ１０２を覆う第４工程と、第１基板２０の他方面２２側に、ウェットエッチングにより開口部２９を形成する第５工程と、第２テープ１０４により開口部２９を塞ぐ第６工程と、絶縁膜１１０を除去する第７工程と、第１テープ１０２及び第２テープ１０４を剥離する第８工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電体に発生するクラックが少ない液体噴射ヘッドの製造方法を得ること。
【解決手段】加熱工程（Ｓ５）を行って冷却工程（Ｓ６）を行なう。加熱工程（Ｓ５）では、第１層８１の原子の再配列、歪の除去、応力の緩和が行なわれる。冷却工程（Ｓ６）では、第１層８１の熱膨張率が圧電体７０より大きいので、第１層８１の冷却による収縮量が圧電体７０と比較して大きく、熱膨張差による熱応力が、圧電体７０に加わる。この圧電体７０に加わる熱応力は、圧電体７０を圧縮する力として働く。したがって、第１層８１と接する圧電体７０の界面に圧縮する力が加わり、界面からのクラックの発生を抑えることができ、圧電体７０の変形量を大きくしても耐クラック性に優れたインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 第２電極８０に接続され圧力発生室１２に相対向する領域外に形成される配線層９５が設けられ、第２電極８０上の圧電体能動部３２０の４つの角部３２１に対向する領域には、圧電体能動部３２０の第１方向端部を中心として第１方向両側に延設される第１部分１２１と、第１部分１２１に連続し且つ圧電体能動部３２０の第１方向端部に沿って第２方向に延設される第２部分１２２とから構成されるＴ型金属層１２０を有し、Ｔ型金属層１２０と配線層９５とが配線層接続部１２３を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】液体流路を高精度に形成することができると共にコストを低減することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエーターが一方面に形成された流路形成基板１０の当該一方面に密着を向上する第１の金属層１９１と、配線となる第２の金属層１９２とを積層する工程と、前記第２の金属層１９２をウェットエッチングによりパターニングする工程と、前記第１の金属層１９１をドライエッチングによりパターニングする工程と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流路形成基板の取り数を増やして液体噴射ヘッドのコストの低減を図ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、複数のノズル２１のそれぞれに連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板と、ノズル２１を有し、流路形成基板に固定されるノズルプレート２０と、流路形成基板を収容するケース部材３０と、を具備し、ケース部材３０には、流路形成基板が収納される第１凹部３１と、流路形成基板の圧力発生室１２に対向し、ノズルプレート２０により封止されて各圧力発生室１２に共通する液体貯留部を構成する第２凹部３２とが形成されると共に、収納された流路形成基板と第１凹部３１の側面との間隙に連通する接着剤導入孔３５が形成され、間隙の第２凹部３２との接続部は、接着剤導入孔３５から導入された接着剤により埋設されている。 （もっと読む）

【課題】液体貯留部材を取り付ける際等に発生する衝撃が流路内の液体を伝播することによりメニスカスが破壊されることを抑制できる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体貯留部材３内の液体を液体導入部２１から液体流路を通じて圧力室４３に液体を供給し、圧力発生手段４６の作動によって圧力室４３内の液体をノズル４４から液滴として噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、前記液体流路の一部に、弾性部材３５で形成した弾性流路部３６を設け、該弾性流路部３６に下端部が対向すると共に、上端部が液体貯留部材３に当接する当接部材２９を備え、該当接部材２９は、前記液体貯留部材３の姿勢の変化に応じて上下に移動可能に構成され、該当接部材２９の移動により、該当接部材２９の下端部が前記弾性流路部３６を押し潰して内部の流路を縮小させた。 （もっと読む）

【課題】均一に形成でき、液体吐出特性を長期間一定に維持することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】シリコンからなり、液体を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０を具備し、前記流路形成基板の、前記圧力発生室が形成され前記液体の流路となる面に、金属シリサイドからなる保護膜が設けられている。 （もっと読む）

【課題】配線基板とアクチュエーター装置とを確実に導通させて、コストを低減すると共に小型化を図ることができる液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、流路形成基板１０上に設けられた複数の実装部９０を有するアクチュエーター装置３００と、アクチュエーター装置３００に駆動信号を供給する可撓性を有する複数の配線基板２００と、実装部９０側に設けられると共に複数の配線基板２００を挿通可能な貫通孔１０２を有する保護基板３０と、を備え、貫通孔１０２内に露出する複数の実装部９０同士の間に、配線基板２００と実装部９０を電気的に接続し固定する導電性材料２１０の流出を防止する段差１０３が設けられる。 （もっと読む）

【課題】圧電インクジェットプリントヘッドの噴射密度を高めるため、従来のアセンブリより製造が容易な電気相互接続層を有するプリントヘッドの組立て方法を提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドを形成するための方法は、複数の圧電素子２０をダイヤフラム３６へ付着することと、前記ダイヤフラムを覆って侵入型層５０を計量分配することと、複数の導電素子６２を複数の圧電素子へ電気結合することと、侵入型層を硬化することと、を含むことができる。侵入型層内の複数の電気絶縁される導電粒子５４は、複数の導電素子を複数の圧電素子へ電気結合する。導電粒子は、侵入型層誘電体全体に渡って一様に分散されることができ、または各圧電素子の頂面上へ局在化されかつ複数の圧電素子と複数の導電素子との間に挿入されることができる。導電素子は、フレックス回路マニホールドプリント基板６０の一部であってもよい。 （もっと読む）

【課題】配線基板とアクチュエーター装置とを確実に導通させる。
【解決手段】異方性導電性接着剤を介して実装部の上方から配線基板を電気的に接続してあるので、同配線基板から駆動信号を加えると、異方性導電性接着剤を介して実装部に流れ、アクチュエータ装置に印加される。同アクチュエータ装置に駆動信号が印加されると、流路形成基板の所定の流路に充填されている液体が各流路に対応するインク等の液体がノズルより吐出される。異方性導電性接着剤を介して配線領域に配線基板を接着するため、位置合わせ用の目印を形成する。配線基板と配線領域の間には異方性導電性接着剤が塗布されることになるが、この目印は同配線領域よりも高い位置に形成しているので、異方性導電性接着剤が所定位置よりもはみ出たとしても目印を覆ってしまい、目印として機能しなくなることがない。 （もっと読む）

【課題】小型化及び高解像度化を実現する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室１２の列が複数設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板の一方面側に形成される複数列の圧力発生素子３００とを具備し、流路形成基板の圧力発生室の列の並設方向に交差する方向の両側に配置された列の圧力発生素子のそれぞれに対応して形成された個別電極に接続される個別電極用の端子９１が、前記列の中央部に設けられ、個別電極用の端子上に、外部からの電気信号を個別電極に電気的に接続させる駆動回路２００が実装されており、駆動回路と重畳するように下側に配置され、圧力発生素子に対して共通の電極となる共通電極に接続する共通電極用配線９５と、駆動回路に外部から電気信号を供給するための端子及び共通電極用配線の端子とからなる可撓性のテープ基板４００が接続される実装部４１０と、が設けられている。 （もっと読む）

【課題】液体を効率良く加熱することができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル２７が開設されたノズルプレート２２、および、圧力室３１を含むインク流路を有する流路ユニット２１と、圧電素子３５と、当該圧電素子の駆動に係る駆動ＩＣ５２と、インク導入路４２を有するユニットケース２６と、を備えたヘッドユニット１６であって、駆動ＩＣは、ノズルプレートおよびユニットケースに接触または熱伝導性部材を介して接合された状態で配置された。 （もっと読む）

【課題】残留振動に基づいて吐出部を検査する際の誤判定を抑制する。
【解決手段】プリンターは、インクを吐出する複数の吐出部と、残留振動に応じた電気信号ＳＷを検出する検出部２９０と、電気信号ＳＷに基づいて吐出部を検査する検査部１０４とを備え、検出部２９０による電気信号ＳＷの検出の際、検査対象の吐出部における駆動素子６６を接地させる接地端子７２を、他の接地端子７２および接地ラインＧＬから電気的に切り離す。 （もっと読む）

【課題】レジスト残りを抑制し、歩留まりの向上を図ることができる配線基板の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】フォトリソグラフィ工程と、ホルダ１２０を用い、レジスト１６０をマスクとしてパターン形成するドライエッチング工程と、を複数回繰り返し、多層配線構造体を形成する流路形成基板の製造方法であって、上記ドライエッチング工程において、ホルダ１２０とレジスト１６０との一部がウェハ１０１の表面に沿う方向において重複状態でパターン形成するパターン形成工程と、上記フォトリソグラフィ工程と上記ドライエッチング工程とを複数回繰り返すうち、少なくとも１回は、上記フォトリソグラフィ工程の後、上記ドライエッチング工程の前に、上記重複状態となる領域を含む領域のレジスト１６０を除去するレジスト除去工程と、を含むという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】 流路形成基板のクラックの発生を抑制することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の流路形成基板１２が一体的に形成されたウェハー１００の各流路形成基板１２の間に、流路形成基板１２毎に分割するためのブレイクパターン２００を形成する工程と、ウェハー１００と接合基板との間に接着剤を塗布する塗布工程と、塗布工程後にウェハー１００と接合基板とを加熱する加熱工程と、ウェハー１００をブレイクパターン２００に沿って、接合基板が接着された複数の流路形成基板１２に分割する分割工程と、を具備し、ブレイクパターン２００は、流路形成基板１２の長辺端部が他の部分よりも脆弱となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】酸素プラズマアッシング処理による膜ダメージを低減し、特性や品質の低下を抑制できる配線基板の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】レジストパターン１６０を介してリード電極９０及び島状のカウントマーク１２０をパターニングするパターニング工程と、パターニング工程の後、レジストパターン１６０を酸素プラズマによって剥離するアッシング工程と、を有する流路形成基板１０の製造方法であって、パターニング工程では、アッシング工程におけるレジストパターン１６０の剥離特性に基づいてカウントマーク１２０の平面形状を設定するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】流路形成基板の取り数を増やして液体噴射ヘッドのコストの低減を図ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の液体噴射ヘッドは、複数のノズル開口のそれぞれに連通する圧力発生室が形成された流路形成基板１０と、ノズル２１を有し、流路形成基板に固定されるノズルプレート２０と、流路形成基板を収容するケース部材３０と、を具備し、ケース部材には、流路形成基板が収納される第１凹部３１と、流路形成基板の圧力発生室に対向し、ノズルプレートにより封止されて各圧力発生室に共通する液体貯留部を構成する第２凹部３２とが形成されると共に、収納された流路形成基板と第１凹部の側面との間隙に連通する接着剤導入孔３５が形成され、間隙の第２凹部との接続部は、接着剤導入孔から導入された接着剤により埋設されている。 （もっと読む）