【課題】簡単な構成で、しかも低コストな装置により、ノズル１２からの流体の噴射状態を検出してその良否を判定する。
【解決手段】回転体１０の外周部に円周方向等間隔で複数のノズル１２が、また、各ノズル１２の下方に容器を支持するネックグリッパ１４が配置され、ノズル１２とネックグリッパ１４とが一体的に回転移動しつつノズル１２から過酸化水素ガスを噴射して容器を殺菌する。ノズル１２の移動経路内の容器が存在しない位置に、検出装置２０が設けられている。検出装置２０は、ノズル１２の移動経路の下方に配置された検出プレート３４と、この検出プレート３４に作用する荷重を検出するロードセル２２とを備えている。検出プレート３４にノズル１２から過酸化水素ガスが噴射されると、ロードセル２２がその重量を検出して制御装置４４に送り、比較判定部４８で、記憶部４６に記憶されている基準値と検出値とを比較する。 （もっと読む）

【課題】被測定ガスの漏洩を防止した差圧式ガス流量測定装置を提供する。
【解決手段】分析装置の検出器７からガスを排出するための継手１０に接続する接続チューブ２２又は２４の接続部２２ａの内側に、前記継手１０の外周に形成されているおねじに螺合する同一ピッチの連続した凹凸を設ける。これにより、前記継手１０と接続部２２ａ間の空隙部が小さくなり、この空隙部を通って外部に漏れるガス流体に対する流路の内部抵抗が上がり、漏洩ガス流量が減少する。 （もっと読む）

導管（３）を通る可変比率のガス混合物の流量を制御するための体積流量制御器（１）は、導管を通るガスの流量を調節するための弁手段（５）、この弁手段を駆動するための駆動手段（９）、導管を通るガスの流量を測定するための、例えばペルトンホイールなどの、体積流量計（７）を有し、そしてこの流量計が、駆動手段に供給される調整信号（１１）を発生させる増幅器（１５）での設定点信号（１７）との比較のためにフィードバック信号（２９）を提供する。設定点信号は、設定点信号発生手段（１９）により発生され、それは所望の流量に対応する値を入力するためのポテンショメーター（２１）と、以前の設定点から所望の設定点への変更を体積流量計に固有の応答の遅れを保証するのに十分な時間遅らせてガス流量を滑らか且つ安定に制御するための、抵抗器（２５）及びキャパシタ（２７）からなるスローダウン回路（２３）を含む。好ましくは、ポテンショメーターはディジタルポテンショメーター（４０３）であって、その電圧は回転エンコーダー（４１７）の独立した操作により変えることができる。
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本発明は、いくつかのセンサーを有するガスの正確な測定用の装置に関するものであり、環境条件を測定し、この環境条件に影響されずに、高い測定の正確さが与えられるように、マイクロコントローラを通して分析し評価がなされる。
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【課題】内部に流体製品を充填され、注入口を第２メンブレンの全周溶着によりシールされたバッグ容器の注入口シール部の漏れを、バッグ容器内の流体製品を注入口から漏れ出させることなく、しかも高い信頼度で検査する。
【解決手段】バッグ容器１の注入口３の先端に、検査ヘッド１０をその内部の空室を注入口３内に連通させて当接させた状態で、予め給気配管１６内の給気バルブ１８よりも上流側に供給しておいた一定圧の加圧空気を、給気バルブ１８を開いて検査ヘッド１０の空室内に供給し、バッグ容器１の注入口シール部に漏れが無いときの検査ヘッド１０への給気開始から給気バルブ１８よりも検査ヘッド１０側の給気配管１６内と検査ヘッド１０の空室内及びバッグ容器１の注入口３内の空間の空気圧が前記加圧空気の圧力になるまでの所要時間に応じて予め設定した時間後の流量計１９の測定値に基づいて、測定流量が０であるときに漏れ無しと判定し、前記測定流量が０でないときに漏れありと判定する。 （もっと読む）

その周りを洗流する流体（２２）の流速を検出するための測定要素（１）は、その長手方向に沿って電磁波を案内するための導体（４）と、この導体（４）に隣接して配置された電熱要素（５）とを有している。この電熱要素（５）によって、導体（４）に熱が供給される。導体に入力される電磁波は、流体の流速に関係する導体（４）の温度に影響される。
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流量を算出するために時間の関数としてガスの圧力低下を測定する流量調節器の内部独立式等温検査体積部は、内部に蓄熱部を有する。蓄熱部は、既知体積部の中を流れるガスが定常流状態のときに蓄熱部の温度をガス温度と等温にするとともに、ガスが膨張するとき、検証過程中の外部からの影響を最小限度に抑制しつつ、ガス温度を一定に維持するための熱の伝導を実施するために周囲からの影響を受けないよう隔離されている。
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【課題】 本発明は供給空気流または容積測定用空気流をモニタするデバイスに関し、詳細には極めて低い流速および／またはスループットの割合にも使用できる換気装置に関する。本発明の目的は、流速および／またはスループットの割合の変化に時間遅れなく反応する本質的に磨耗のない要素を備えるデバイスを安価かつ簡単に製造することである。
【解決手段】 該目的は、デバイスが近接型流体デバイスを含むことによって達成され、搭載に関してその位置は保持力Ｆ_Ｍに抗して変化させることができ、モニタのための空気流を衝突させてその位置に変化を発生させることができる。さらに、近接型流体デバイスの位置に応じて磁界を発生する磁性デバイスと、磁界を記録する検出手段と、磁界に応じて測定信号を発生する測定手段とが提供される。磁界は少なくとも保持力Ｆ_Ｍの一部を形成する。
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ピッチが調節可能であり、ピッチは所望の音に対応する信号、特に電気信号によって変調される、ウイングまたはブレードが設けられたモーター駆動ローターを備えるスピーカー，ＲＯＴＯＳＵＢ。特に、非常に低い周波数において、それぞれの音波長中に多回転する余裕のあるスピーカーローターは多量の空気を運ぶことができ、したがって大きな空気圧及び音圧を与えることができる。この技術はウイングの角度を変調することによる音波の発生に基づく。低周波においてローターは、高められた圧力を与える、信号１サイクル当り数回の回転を行う余裕がある。ウイングは任意の角度で軸旋回させることができるから、所望の態様で圧力を制御することができる。
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本発明の空気流センサーは、フレキシブルな基板に取り付けられたフレキシブルなトランデューサを有する。この空気流センサーは、空気通路の入り口付近に配置され、空気が入口に入らない間、入口をカバーする。空気圧が空気通路で減少すると、周囲圧力と空気通路内の圧力の差圧により、空気が空気通路内に入口から入る。流入する空気が、センサーに当たり基板を変形させる、即ちたわませる／曲げる。基板がたわむ／曲がることにより、トランデューサも曲がり、その結果トランデューサの電気値が変化する。センサーの曲がりは、フレキシブルなリードによって強調される。このリードは、入口カバー部分と搭載部分の間にヒンジの形態で伸びる。エアーシールドがセンサーの周囲に配置され、空気入口を通る空気の流れを方向付け／制限し、これによりセンサーの動きを強調する。
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イオンモビリティスペクトロメーターを用いて検体を含有する試料を導入、分析するための方法およびシステムが述べられている。このシステムは、受信された温度の指示値に従って試料の温度を調整するための温度モジュールと、受信された分割比の指示値に従って分割比を調整するための分割比モジュールを含む。イオンモビリティ分析器は検体のイオン移動度を定量する。イオンモビリティ分析器は検体のプラズマグラムを収集して、検体を同定し、定量する。 （もっと読む）

流路に差圧を発生させ、半導体デバイスに用いられるガスの流量を制御する差圧式流量制御器が提供される。差圧発生要素は半導体デバイスの製造に用いられるガスの流路に差圧を発生させ、流路上のバイパスに設置される圧力センサは差圧を検出し、中央処理装置（ＣＰＵ）はガスの流量を測定および制御する。その結果、本発明は、ガスの流量を精密かつ迅速に制御することができるとともに、差圧発生要素自体のフィルタリング機能によってガスの純度を高めることができる。

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【課題】半導体製造装置の配管を流通する全ガス流量が大きく変わった場合でも常に最適な検出精度で流量検出を行える様にする。
【解決手段】半導体製造装置の配管１に流量検出装置２が設けられ、該流量検出装置がガス導入路１６とガス導入路に対して並列に設けられた調整流路１３，１４，１５を具備する流量調整部とを有し、前記ガス導入路にガス流量検出器７を設け、前記ガス導入路を流通するガス流量が所定範囲となる様、前記調整流路の流路断面積を変更可能とした半導体製造装置に係り、又前記流量検出装置は複数の調整流路を有し、該複数の調整流路は独立して開閉され、ガス導入路を流れるガス流量を流量検出器の検出適正流量とすることで、配管の全ガス流量が大幅に変化したとしても流量検出器の持つ最適精度で流量検出を行う。 （もっと読む）