【課題】簡単な構成で、流路内の流体の流量を連続的に測定可能にするとともに、廉価で簡単な構成で、流路内に設置する際の工事費用も低く抑え、定期的な検証や校正も容易にする。
【解決手段】上流側のダクト１１０内に注入管１を配設する。下流側のダクト１２０内に流体圧力検知装置２を配設する。ＣＯ₂ ガスを注入管１からダクト１１０内に注入するとともに、ＣＯ₂ ガスの注入量を確認する。流体圧力検知装置２の上流側の流体圧力検知体２１をサンプリング管として流用してＣＯ₂ ガスのサンプリングを行う。サンプリングしたＣＯ₂ ガスの濃度から流量を求める。上流側の流体圧力検知体２１と下流側の流体圧力検知体２２との流体の差圧を差圧指示計３で検出する。ガストレーサー法で求めた流量と差圧との関係を調査する。その後、流体圧力検知装置２で検出した差圧と上記関係から流量を求める。 （もっと読む）

【課題】風力発電装置において、風速計によって風速を検知し、風速の大きさによって風車の回転速度をコントロールすることが行われている。風速計は風車と別途設置されることが多く、組み込むために配線が煩雑になりコストがかかることから、風力発電装置において、簡易に風速を測定できる装置が要求されている。
【解決手段】風車１で風を受け発電機２で発電する風力発電装置において、発電機２と電力供給手段６によって風車駆動手段を構成し、風車１は、電力供給手段６からの供給電力により発電機２を力行運転することによって回転させる。また、電力供給手段６は、切替え素子としてのリレー６ａと、発電機２へ供給する電力を制御する出力調整手段６ｂを有している。風車駆動手段が発電機２へ供給する電力と、そのときの風の力とによって風車は回転し、そのときの電力に相当する風速を算出することで風速測定が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 高流量域における測定を行った場合に生じるセンサ出力信号のふらつきの影響を無くす。
【解決手段】 表示器１９３に流量を表示する際の表示分解能および、流路１２を通流する被測定流体の流量設定を行う際の分解能を流量に応じて変更するようにする。すなわち、表示部によって流量を表示する際の表示分解能を、表示値のふらつきが小さい低流量領域では表示分解能を小さくし、ふらつきが大きくなる流量域では表示分解能を大きくすることによって、表示値のふらつきをなくした流量計測が可能となる。流量設定を行う際の分解能も同様に設定することで、表示値のふらつきの影響をなくした流量制御が可能となる。 （もっと読む）

主流気体モニタリングシステム30、並びに、主流気道アダプタ32、及びそのアダプタ中の気体流動の検体を測定するために主流気道アダプタに結合される気体センシングアセンブリ34を使用することを含む方法が開示される。気体センシング部36は、主流気道アダプタ中の気体流動中の検体を示す信号を出力する。処理部38は、気体センシング部から信号を受け取って、気体センシング部からの信号に基づいて気体流動中の検体の量を決定する。処理部はまた、そのようなシステム及び方法を用いて行われる測定の精度を最大化するために、吸息の間の気体流動と呼息の間の気体流動との間の体積測定差を補償する。
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【課題】 圧力変動を吸収することができて流量の制御性が高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 流体を流す流路６に、流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段８と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって流量を制御する流量制御弁機構１０とを設ける。そして、外部から入力される流量設定信号Ｓ０と流量信号Ｓ１とに基づいて流量制御弁機構を制御する制御手段４４を設けてなる流量制御装置において、流路に流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段４２を設ける。前記制御手段は流量検出手段から得られる流量信号に基づいて、圧力検出信号を用いることなく流量信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第１制御モードがある。そして、圧力検出信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第２制御モードとを選択的に切り替える。 （もっと読む）

プラズマ処理システムの反応室における実ガス流量を決定する方法が提供される。方法は、質量流量コントローラ（ＭＦＣ）で制御されるガス流量供給システムによってガスを反応室の上流に位置するオリフィスに供給することを含む。また、方法は、ガスを加圧してオリフィス内にチョーク流れ状態を作り出すことを含む。さらに、方法は、一組のガスの上流圧力値を一組の圧力センサによって測定することを含む。さらに、方法は、一組の較正係数の較正係数を適用して実流量を決定することを含む。較正係数は一組の上流圧力値の平均値と一組の最良上流圧力値の平均値との比であり、一組の最良上流圧力値の平均値はＭＦＣの指示流量に関連している。 （もっと読む）

【課題】 バルブ等の他の構成部材と同じベース取付け部を有することでガス供給ラインを小型化できる集積タイプのマスフローコントローラを提供することである。
【解決手段】 本体ブロック１に流体入口８ａと流体出口８ｂを形成し、これら流体入口８ａと流体出口８ｂを接続する流体流路１１中に制御バルブ３１を設け、更に、流体入口８ａと制御バルブ３１との間に、流体Ｇをバイパスさせるバイパス素子７と、流体Ｇの流量測定を行う流量センサ部１０とを並列的に設け、前記流量センサ部１０からの流量測定信号と流量設定信号とを比較制御回路において比較し、この比較制御回路から出力される制御信号に基づいて制御バルブ３１の開度を制御するようにしたマスフローコントローラ３であって、前記本体ブロック１内に前記バイパス素子７を設けるとともに、前記本体ブロック１の側面ｎに前記流量センサ部１０を設ける一方、前記本体ブロック１の上面ｓに前記制御バルブ３１を設けている。 （もっと読む）

【課題】 製品出荷後に複数種類の実使用ガスと複数の流量レンジに対応したマスフローコントローラに仕様変更を可能とすること。
【解決手段】 質量流量制御装置の初期状態において、校正ガスを用いて流量設定信号に対する実流量を計測した校正ガス特性データを求め、この校正ガス特性データを制御手段に記憶し、一方、複数種類の実ガス毎に流量設定信号に対する実流量を計測した実ガス特性データを求め、この実ガス特性データを記憶媒体に保存し、その後、前記質量流量制御装置を稼働する前に、実使用ガスの実ガス特性データを前記記憶媒体からコンピュータを介して読み出し、また、前記制御手段に記憶した校正ガス特性データを読み出し、前記実ガス特性データを元に前記校正ガス特性データを制御流量補正データに変換し、制御流量補正データを制御手段に書き込み、この制御流量補正データを基に実ガス流量を補正する流量制御補正方法である。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、プレ真空供給ポンプ(20)、ガス検出器(18)及び流れセンサ(26)を有する漏れ検出器(10)に関する。本発明では、バッファボリューム(22)及びリストリクタ(24)が供給ポンプ(20)と流れセンサ(26)との間に配置されている。これにより、流れセンサ(26)は供給ポンプによって引き起こされる圧力の急上昇から保護される。 （もっと読む）

【課題】流路に臨むように配置され、該流路を流れる被測定流体の流量を検出するためのセンサの破損を回避することができ、さらに、小型化が可能となるフローセンサを提供する。
【解決手段】フローセンサ１０は、被測定流体の流量を測定する流量計である。該フローセンサ１０は、被測定流体が流れる流路１２と、前記流路１２を画成する天壁２６から流路１２に臨むように配置されたセンサ１６と、前記センサ１６が配置された部分の天壁２６と対向する絞り面２４ａと、前記絞り面２４ａの上流側に設けられ、前記流路１２の入口側に向かって流路が広くなるように設けられた傾斜面２４ｂとを有する。そして、前記傾斜面２４ｂはその延長線が前記センサ１６の検出部１６ａよりも上流側に偏位した位置を通過する角度に形成されている。 （もっと読む）

【課題】流路を通流する気体に含まれる塵を効果的に除去して計測精度の向上を図り得る、コンパクトで簡易な構造の流量計を提供する。
【解決手段】流路に面して設けられた流量センサと、前記流路の横断面における中央部に多孔部を有し、前記流量センサの上流側に設けられて該流路を通流する流体を整流する整流板と、前記流路の横断面における前記中央部を避けた位置に開口部を有し、前記整流板との間に所定の間隔を存してその上流側に設けられて前記流路に沿った流体の前記多孔部への直接的な導入を阻止する集塵プレートとを備える。 （もっと読む）

【課題】質量流量を切り替えポイントに用いてより良いマルチ渦流量計を提供する。
【解決手段】マルチ渦流量計１は、容積流量で計測する渦流量計と質量流量で計測する熱式流量計とを備え、これら二つの流量計を流路１３を流れる被測定流体の流量に応じて使い分ける。マルチ渦流量計１は、質量流量を切り替えポイントに用いる。すなわち、マルチ渦流量計１は、二つの流量計の切り替えポイントを質量流量に基づくものとする。渦流量計の最小流量より大きく熱式流量計の最大流量よりも小さい範囲の切り替えポイント質量流量Ｑｍを、Ｑｍ＝Ｋ３＊√Ｐで決定する。但し、Ｐ：流路の圧力（変数）、Ｋ３：流路１３の面積、渦差圧、渦差圧に係る定数、０℃で１ａｔｍの密度、及び、１ａｔｍの時の圧力で決まる定数とする。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドに対応する単位情報を表示可能な検出センサ、そのセンサヘッド及びコントロールユニットを提供する。
【解決手段】複数種類のセンサヘッド１２から選択された一センサヘッド１２がコントロールユニット１１に接続され、このコントロールユニット１１の電源が投入されると、センサヘッド１２から電気信号Ｓ１及び識別信号Ｓ２が出力される。ＣＰＵ２４は、受けた識別信号Ｓ２に対応する換算式及び単位情報をメモリ２３から選択し、この選択した換算式を用いて上記電圧信号Ｓ１レベルを換算処理し、その換算した数値（検出値）を第一表示部２５に表示させる。 （もっと読む）

【課題】圧力測定が高精度並びに高感度でなされ、同時に製造コストを減じることのできる新規な透過体を備えた新規なガス放出センサーを提供する。
【解決手段】夫々圧力センサーに接続され、ガスが流されるダクト２０に開口した２つのピックアップ導管２６，２８を有し、透過体４０がこれら導管間で軸に沿って延びるように外体１２内にブッシュ１６を介して配置されている。前記透過体は、前記ダクトの断面と相補的な形状の断面を有する中心部を有し、この中心部は、これの外側面に径方向で開口するように軸Ａ１を中心として径方向に延びた複数のスロット４２ｂ，４２ｃを有する。これらスロットは透過体の全長に渡って軸方向に延びている。そして、前記スロットは、異なる深さの複数のグループのスロットを有する。 （もっと読む）

【課題】小型でデッドボリュームが少なくて、しかも作動気体の圧力が低くても確実に全閉動作を行うことができる遮断弁装置を提供する。
【解決手段】内部に一時的に気体が溜る弁室３６を有する弁ブロック体８０と、弁室に対して気体を流入させる流入路３４と、弁室から気体を流出させる流出路４０と、流入路の流入口と流出路の流出口の内のいずれか一方よりなる弁口４２に設けられた弁座４４と、弁座に対向させて弁室を区画するように配置されると共に、弁座に屈曲可能に当接して弁口を遮断する金属製のダイヤフラム弁体３８と、ダイヤフラム弁体を押圧するための押圧手段８２とを備え、押圧手段は、弁室の反対側にダイヤフラム弁体に対向するように配置された弾性体よりなるアクチュエータ板８４と、アクチュエータ板により区画されて作動気体が給排される作動室８６と、作動室内へ作動気体を給排させる作動気体給排機構８８とにより構成される。 （もっと読む）

筐体と固定された少なくとも一つの測定用毛細管と場合によっては更に別のセンサーを備えたハンドヘルド・テンシオメーター用筐体と、操作・表示手段と、電流供給源と、少なくとも一つの測定用毛細管の所に泡を発生させるためのガス源と、バブル存続期間を設定するための手段と、測定用毛細管内に導入するガス体積流量を測定し、制御するための手段と、全ての内部シーケンスを制御するための電子回路／プロセッサユニットと、データを保存するための手段とを有する、バブル存続期間を自動的に制御して泡圧法により液体の表面張力又は液体内の物質濃度を測定するためのハンドヘルド・テンシオメーターにおいて、ガス体積流量を測定して設定するか、或いは測定して制御することによって、一つ以上の予め設定可能な、或いは固定的に設定された目標値に応じて、バブル存続期間又は一連のバブル存続期間を自動的に制御するものである。
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【課題】層流発生部を挟む上流と下流の差圧を可及的に大きくでき、また層流発生部の長さを可能な限り短くし、さらにキャピラリー管を不要としてガスの流量を検出すること。
【解決手段】 流路を上流側と下流側とに仕切る多孔質部材からなる層流素子３０と、層流素子３０の上流側と下流側との差圧ΔＰを検出する手段１７、２６と、下流側の圧力Ｐ2を検出する手段２６と、差圧ΔＰに基づいて体積流量Ｑを
Ｑ＝Ａ＊ΔＰ＊（ΔＰ＋2＊Ｐ2＋Ｂ）
（ただし、Ａは多孔質部材の形状係数を、またＢはガスの圧縮率に対する補正値を表す。）
なる関係により算出する手段３２とにより構成されている。 （もっと読む）

【課題】より安価な燃費計測装置および燃費計測方法を得る。
【解決手段】燃料タンク２の内外を所定径のオリフィス１０で連通し、このオリフィス１０をチェックバルブ１１によって燃料タンク２内の負圧状態で連通させるとともに、燃料タンク２内の圧力を圧力センサ１２で計測し、計測した燃料タンク２内の負圧値Ｐｔに基づいてオリフィス１０から燃料タンク２内に流入する空気流量Ａを算出し、その流入空気流量Ａから燃料Ｆの消費量Ｒを算出するようにした。 （もっと読む）

流体速度センサは、流路壁によって規定される低抵抗流路を通って流れる流体の流体特性を検出するためのセンサダイを含む。１つまたは複数のタップは、チャネル壁によって規定される流路を通って流れる流体の連続した流れの方向に面して向きを合わせることができ、ここで（複数）タップは、流れをセンサダイへ導く低抵抗流路に通じる。少なくとも１つまたは複数の他のタップは、センサダイを通り過ぎた後の流体が、流れの方向に垂直にまたはそれに向かい合って面する他の（複数）タップまで低抵抗経路をたどり続けるように、流れの方向に垂直に面するように設置できる。流体速度センサは、単方向または双方向の流体の流れの構成内に配置できる。 （もっと読む）

【課題】 水蒸気を含んだガスの流量値から該水蒸気を低減させた前記ガス単独の流量値を算出させることができる演算型流量計の提供。
【解決手段】 湿りを含む可能性の有るガス体を計測流体とする流量計であって、
ガス流量抽出回路を具備し、このガス流量抽出回路は、少なくとも、計測されたガスのモル分率を求める演算手段と、該モル分率から前記ガスのモル質量を求める演算手段と、該モル質量から前記ガスの密度値を求める演算手段と、該密度値から前記ガスの湿り分を除いた質量流量値を求める演算手段と、該質量流量値から前記ガスの湿り分を除いた容積流量値を求める演算手段とから構成され、
かつ、このガス流量抽出回路からの前記容積または質量流量値に相当する情報を当該流量計以外の他の機器に出力させる出力端子を備える。 （もっと読む）