【課題】小型化された校正ユニットにより、より迅速且つ高精度で行える、ビルドアップ（又はＲＯＲ）法による流量制御器の流量校正方法を提供する。
【解決手段】ガス供給路ＬにビルドアップタンクＢＴと開閉弁Ｖ_１及び開閉弁Ｖ_２と温度検出器Ｐｄ及び圧力検出器Ｔｄとから成る校正ユニット５を分岐状に連結し開閉弁Ｖ_２を真空排気装置に接続し、先ず各流量制御器の開閉弁Ｖｏ_１〜Ｖｏ_ｎ及びガス使用箇所の開閉弁Ｖ_０を閉鎖して開閉弁Ｖ_２及び開閉弁Ｖ_１を開放、次に被校正流量制御器の開閉弁のみを開放して設定流量のガスを校正ユニット５へ流入させ、時刻ｔ_０に於いてタンク内のガス温度及びガス圧力を計測し、その後開閉弁Ｖ_２を閉鎖してタンクＢＴ内のガスのビルドアップを行い、時刻ｔ_１に開閉弁Ｖ_１を閉鎖し、時刻ｔ_２にガス温度及びガス圧力を計測して各計測値からガス流量Ｑを演算して設定ガス流量と演算ガス流量Ｑとの対比により流量校正を行う。 （もっと読む）

【課題】弁体の動作速度をさらに高速にでき、かつ大流量を制御できる電動バルブを提供すること。
【解決手段】流路１３を流れる流体の流量を制御する目的で、流路１３に開度を可変可能な弁構造３５を設け、この弁構造３５の弁体３７と弁体３７のアクチュエータであるピエゾ素子４２との間に、ピエゾ素子４２の伸縮を拡大して弁体３７に伝達する変位拡大機構（ストローク拡大機構）５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化と腐食性ガスに対する耐腐食性を兼ね備えたマスフローコントローラシステムを提供する。
【解決手段】実施形態のマスフローコントローラシステム５００は、腐食性ガスが導入され、前記腐食性ガスに対する耐腐食性処理が施された第１マスフローコントローラ１００と、非腐食性ガスが導入される第２マスフローコントローラ２００と、前記第１マスフローコントローラに複数種類の腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第１ガス配管３１、３２、３３と、前記第２マスフローコントローラに複数種類の非腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第２ガス配管３４、３５、３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】煤による汚れ、および光源や光検出素子の温度依存性の影響を受けることなく、ＤＰＦの正常稼動を確実に検出することができるＤＰＦ不具合検出方法を提供する。
【解決手段】内燃機関から排出された排出ガス中の煤等の微粒子を除去するＤＰＦの不具合を検出するＤＰＦ不具合検出方法において、ＤＰＦを通過したＤＰＦ下流配管領域の排出ガスに光を照射し、その光の受光強度を検出するステップと、内燃機関から排出されＤＰＦ上流配管領域の排出ガスに含まれる微粒子量を推定するステップと、推定時における受光強度を複数取得し、推定微粒子量と受光強度の関係からＤＰＦの不具合の検出を行うステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】ガスの特性を容易に測定可能な温度拡散率測定システムを提供する。
【解決手段】発熱素子が複数の発熱温度で発熱したときの計測対象混合ガスの放熱係数又は熱伝導率の値を計測する計測機構１０と、複数の発熱温度に対する放熱係数又は熱伝導率を独立変数とし、温度拡散率を従属変数とする温度拡散率算出式を保存する温度拡散率算出式記憶装置４０２と、温度拡散率算出式の複数の発熱温度に対する放熱係数又は熱伝導率の独立変数に、複数の発熱温度に対する計測対象混合ガスの放熱係数又は熱伝導率の値を代入し、計測対象混合ガスの温度拡散率の値を算出する温度拡散率算出部３０５と、を備える温度拡散率測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】排ガスの流れに対する取付角度のずれが許容値内に収まるように、ピトー管をダクトに取り付けることができるピトー管取付具を提供する。
【解決手段】ピトー管取付具１ａは、ピトー管５０を挿入するための筒状の挿入部２ａを有し，ダクト等の側面に形成された分岐管５３ａのフランジ部５４に取り付けられる固定フランジ２と、フランジ部５４の外周面５４ａに設けられる凸状部３ａと、固定フランジ２の挿入部２ａの内部に設置されるスペーサ４と、固定フランジ２の周縁部２ｂに沿って設けられるガイド部３ｂと、スペーサ４の外面を押圧可能に，挿入部２ａの側面に形成されたネジ穴（図示せず）に螺入されるネジ５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】流路内を流通する被測定ガスの種類を自動的に判別することができる渦流量計を提供する。
【解決手段】ガスが流通する流路内に生じた渦により交番の流れが生成されるバイパス流路４、ガスの圧力を検出する圧力センサ３９、バイパス流路４内に配置されるヒータ１４、ガスの温度を検出する周囲温度センサ１７で検出された温度よりもヒータ１４の温度が一定温度高くなるようにヒータ１４を発熱させる駆動回路５、ヒータ１４に流れる電流値を検出する電流センサ６、電流値とガスの質量流量との相関関係情報をガス種毎に記憶するメモリ７、交番の流れの周波数と周囲温度センサ１７及び圧力センサ３９で検出された情報とに基づいてガスの質量流量を算出する質量流量算出部８１、算出した質量流量と検出した電流値とメモリ７に記憶されている相関関係情報とに基づいてガス種を判別するガス種判別部８２を備える渦流量計１である。 （もっと読む）

【課題】セラミック多孔質フィルタの良否判定を精度良く行なう。
【解決手段】収容室４内に挿置したセラミック多孔質フィルタ４に吸引ファン５によって通風して、その通過風量が良品のフィルタについて予め測定した標準通過風量に対し一定範囲内にある場合に良品と判定する。通過風量は風量センサ８によってフィルタ４の上流側で測定する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも計装コストを低減させる。
【解決手段】ガスが流通する流路１１に配置され、発熱抵抗体、上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子を有するセンサ１２と、発熱抵抗体を発熱させたときの上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子の検出温度に基づいてガスの物性値を算出する物性値算出部３１１と、上記検出温度に基づいてガスの流量を算出する流量算出部３１２と、ガスの置換時に開閉され、ガスの流量を調節する調節弁４０と、算出された物性値または流量に基づいて調節弁４０の開度を制御する弁制御部３３０と、センサ１２の出力信号を、物性値算出部３１１または流量算出部３１２のいずれか一方への入力に切り替える切替部３２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】排気路の排気流量を安定して測定することができる流量測定装置及び流量測定方法を提供する。
【解決手段】
排気路の排気流量を測定する流量測定装置８において、ミスト供給部８１は排気路７中にミストを供給し、撮像部８２はこのミスト供給部８１よりも下流側の排気路７を撮像する一方、推定部２００はミスト供給部８１から供給されたミストを前記撮像部８２により撮像した撮像結果に基づいて排気流量を推定する。 （もっと読む）

【課題】計算量が膨大でなく、且つ、各テーブルデータに基づき流量値を精度良く取得することができる酸素流量情報取得装置等を提供すること。
【解決手段】３個の特定の流量情報に対応する流量センサ電圧情報を、当該対応する流量情報と関連付けて、基準電圧情報及び基準流量情報として記憶する基準流量電圧情報記憶部を有し、流量センサの出力電圧情報に最も近い基準電圧情報を選択して目標基準電圧情報とし、目標基準電圧情報より電圧が低い電圧情報と、電圧が高い電圧情報を選択し、目標基準電圧情報、低い電圧情報、高い電圧情報に対応する基準流量情報を選択し、目標基準電圧情報と目標基準流量情報の直交座標系における交点の接線傾き情報を、最小二乗法を用いて求め、接線傾き情報、出力電圧情報、目標基準電圧情報及び目標基準流量情報に基づき、流量線さの出力電圧情報に対応する出力電圧対応流量情報を算出する構成となっている流量情報取得装置。 （もっと読む）

【課題】測定開始時の気体流量の急激な増大に対しても、損傷等を生ずることなく、対処を可能とする。
【解決手段】テーパ管１１の内部にはフロート１２が挿入され、テーパ管１１の上部にはストッパ１６が配置され、ストッパ１６の上方には空間部１７が設けられている。また、空間部１７の上部の隔壁１８には絞り孔１９が形成され、空間部１７内には上下に浮遊可能で急激な被測定流体の気体流量の増大があると、上昇して絞り孔１９を閉塞する絞り弁２０が配置されている。
測定開始時に管路のバルブが開かれ、気体が急激にテーパ管１１内に流入すると、フロート１２も上昇するが、絞り弁２０も急上昇し、絞り弁２０は絞り孔１９を閉塞する。これにより、気体の流入が阻止されるので、フロート１２のストッパ１６への衝撃値が小さくなり、テーパ管１１等が損傷することがなくなる。 （もっと読む）

【課題】電気伝送路からのエネルギー漏洩を防止する方法および装置を提供する。
【解決手段】伝送路からのエネルギー漏洩を防止する装置は、伝送路を「部分的に閉じられた」容器として扱う。周囲圧力とわずかに異なる圧力を有するガス流が伝送路の内部に供給され、ガスが伝送路と周囲環境の間を通過するのを可能にする導管が設けられる。次いで導管でのガス流量が検出され、監視される。流量が所定の閾値の外側に低下した場合は、電気エネルギー漏洩が示される。別の実施形態では、伝送路への入力ガスの圧力は、圧力スイッチによって絶えずチェックされ、この圧力スイッチは、伝送の完全性が損なわれた場合は圧力の変化を検出し、エネルギー源を無効にする。 （もっと読む）

【課題】工場内におけるプレス機や成型機などの末端の機械動力毎のエア流量を測定するにあたって、流量計を設置済配管に後付けで容易に取付けられるようにする。
【解決手段】計測を行うべき管路を分断し、分断箇所にユニット化した流量計測ユニット１を嵌め込むようにする。そして、その流量計測ユニット１を、分断した管路を置換え、流量計３を備える第１の配管２と、流量計３の前後をバイパスするように第１の配管２から分岐して並設される第２の配管５と、エアの経路を切換えるバルブ６１，６２；７とを備えて構成し、第１の配管２の一部分にフレキシブルチューブ２９を用いて可撓性を持たせる。したがって、フレキシブルチューブ２９の前記可撓性を利用して、容易に嵌め込むことができる。また、計測が不要な場合や、流量計３の目詰まり等に対するメンテナンスの場合は、第２の配管５を使用して通常通りのエアの供給（操業）を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】従来の熱式流量計は検出素子の故障の判定は可能であるが制御回路の故障に関して配慮が欠けていた。
【解決手段】発熱体３，発熱体温度検出手段５，引算器９，積分器１０，引算器７，発熱体駆動手段６によって発熱体温度制御系を構成し、外乱発生器８によって発生した外乱を引算器７によって積分器１０の出力から差し引くようにして発熱体温度制御系に入力する。故障判定手段１１において外乱発生器８の出力と積分器１０の出力とを比較することで発熱体温度制御系の故障を判定する。故障判定手段１１が故障と判定した場合には切り換え回路１３により流量信号をグランド電位に固定する。 （もっと読む）

【課題】混合ガスの組成に依存することなく、混合ガス流における正味のオゾン流量を簡易的かつ高精度に計測可能なオゾン流量測定方法を提供する。
【解決手段】オゾンを含有する混合ガス中のオゾン流量を測定する方法であって、オゾンを含有する第１混合ガス中に含まれるオゾンを全て分解して第２混合ガスを生成する過程と、オゾンの分解熱による第２混合ガスの第１の温度上昇を計測する過程と、第２混合ガスを加熱する過程と、加熱による第２混合ガスの第２の温度上昇を計測する過程と、第１の温度上昇と第２の温度上昇とから、オゾンの分解により発生した熱量を算出する過程と、熱量から第１混合ガス中のオゾン流量を算出する過程と、を備えることを特徴とするオゾン流量の測定方法を採用する。また、付加的に全流量を測定することにより、オゾン流量と全流量からオゾン濃度を測定する方法を採用する。 （もっと読む）

本開示は、質量流量コントローラのような、質量流量給送／測定デバイスを通過する質量流量を測定し検証する質量流量検証システムおよび方法に関する。質量流量検証システムは、予め設定されている容積、温度センサ、および圧力センサを備えている。質量流量測定デバイスの中にある隙間容積から生ずる誤差を補償するために、質量流量検証システムによって測定、検証、および判定された流量を調節することができる。 （もっと読む）

【課題】オリフィスを設置する位置が制限されず、合理的な給排ガス管の配置を実現できる蓄熱式バーナの流量測定方法及びその方法を用い得る給気排ガス装置の提供。
【解決手段】交互燃焼する蓄熱式バーナ１ａ，１ｂに各々直結する引出管２ａ，２ｂを備え、引出管２ａ，２ｂに繋がる給気ブリッジ３及び排ガスブリッジ４を備え、給気ブリッジ３及び排ガスブリッジ４における給気管連結部３Ｊ又は排ガス管連結部４Ｊの両側に各側で交互に開閉する遮断弁７を備え、引出管２ａ，２ｂを流通する気体の温度を検出する温度検出器１０を設置し、引出管２ａ，２ｂに、オリフィス８、及びオリフィス前後の気圧差を検出する差圧検出器９を設置し、オリフィス８の前後に給気時及び排ガス時において旋回流の発生を抑制し得る直管部２Ｓａ，２Ｓｂを備え、差圧情報と温度情報を差圧・温度−流量特性に当て嵌め燃焼空気及び排ガスの流量を導出する蓄熱式バーナの流量測定回路。 （もっと読む）

【課題】熱式空気流量検出装置を用いて脈動発生時に正確な空気流量を得ることができる内燃機関の制御装置を提供する。
【解決手段】発熱抵抗体の信号を空気流量に変換するための複数の空気流量変換テーブルＴ１、Ｔ２を記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶されている複数の変換テーブルＴ１、Ｔ２の中から参照する変換テーブルを選択する選択手段と、選択手段により選択された変換テーブルを参照して発熱抵抗体の信号を空気流量に変換する変換手段とを有し、選択手段は、通路内に発生する空気流の脈動の状態を直接又は間接的に示す状態値に応じて変換テーブルの選択を行う。 （もっと読む）

【課題】オリフィス保持部材を用いてオリフィスを保持させるようにしたバイパス構造の流量測定装置において、オリフィス保持部材の製造ばらつき等による分流比の変化を小さくする。
【解決手段】流路ブロック５２に主流路５３を設けるとともに、主流路５３と並列に副流路５６を設ける。主流路５３の前半部においては、外周面に断面Ｃ字状のスペーサ収納部７４を凹設し、スペーサ収納部７４のない部分を流路壁部５４としている。主流路５３と副流路５６を連通させる分流導入路７２及び分流回収路７３のうち、分流導入路７２の分流口７２ａは主流路５３の前部にて流路壁部５４に開口し、分流回収路７３の回収口７３ａは主流路５３の後部にて主流路５３の壁面に開口する。オリフィス６３を前方から主流路５３内に納入して当止め部７５に当接させ、スペーサ収納部７４に前方から挿入したオリフィス保持スペーサ６５の端面でオリフィス６３を保持させる。 （もっと読む）