プロセスコントロールシステム内の特定のプロセスコントロールコンポーネントによって消費される供給ガスを正確に測定するためのシステムおよび方法が開示されている。測定精度の向上は、該プロセスコントロールシステムの正常動作モードで該プロセスコントロールコンポーネントの消費を測定することによって導出される。１つのプロセスコントロールコンポーネントによって使用される流体量は流体コントロールシステムによって、他のプロセスコントロールコンポーネントを起動する際に使用される供給ガス量と分離される。各コンポーネントによって使用される流体量は、この動作中に各コンポーネントに供給ガスを独立して供給する既知量を有する容器内の流体の減少を測定することによって判断可能である。 （もっと読む）

【課題】水蒸気が含有されているにもかかわらず、ガスのみの流量を計測できる高精度流量計を形成する方法の提供。
【解決手段】管体に取り付けられた第１流量計により流量値が検出されるガス供給経路にあって、第１流量計の下流側の管体に、第１流量計よりも測定精度が優れる第２流量計を取り付け、第２流量計の検出出力から水蒸気を含まないガスの流量を演算し、流量の演算結果から第１流量計により検出された流量値を補正し、この補正された流量値を第１流量計の出力値とし、第２流量計に替えて第３流量計を取り付け、第１流量計の出力値から第３流量計により検出された流量値を補正し、この補正された流量値を第３流量計の出力値とし、第１流量計における補正された流量値および第３流量計における補正された流量値はいずれも水蒸気を含まないガスの流量値に相当する値となっているとともに、管体から取り外した第３流量計を高精度流量計として得る。 （もっと読む）

【課題】 水蒸気を含んだガスの流量値から該水蒸気を低減させた前記ガス単独の流量値を算出させることができる演算型流量計の提供。
【解決手段】 湿りを含む可能性の有るガス体を計測流体とする流量計であって、
ガス流量抽出回路を具備し、このガス流量抽出回路は、少なくとも、計測されたガスのモル分率を求める演算手段と、該モル分率から前記ガスのモル質量を求める演算手段と、該モル質量から前記ガスの密度値を求める演算手段と、該密度値から前記ガスの湿り分を除いた質量流量値を求める演算手段と、該質量流量値から前記ガスの湿り分を除いた容積流量値を求める演算手段とから構成され、
かつ、このガス流量抽出回路からの前記容積または質量流量値に相当する情報を当該流量計以外の他の機器に出力させる出力端子を備える。 （もっと読む）

【課題】各種圧力を検出する孔や、圧力センサに不具合が生じた場合であっても、流量の精確な計測を続行することの可能な流量計測装置を提供する。
【解決手段】総圧、後流圧、静圧をそれぞれ検出する圧力検出管１０と、総圧、後流圧、静圧に対応した信号を出力する圧力センサ２０ａ等と、圧力センサ２０ａ等からの信号に基づいて求められる総圧と後流圧の差圧に基づいて流量値Ｑａを算出し、圧力センサ２０ａ等からの信号に基づいて求められる総圧と静圧の差圧に基づいて流量値Ｑｂを算出し、圧力センサ２０ａ等からの信号に基づいて求められる静圧と後流圧の差圧に基づいて流量値Ｑｃを算出する流量値演算２１と、圧力センサ２０ａ等からの信号に基づいて求められる総圧、後流圧、静圧の値から不具合箇所を判定する判定部２２と、判定部２２より特定された不具合箇所を示す情報を出力する不具合情報出力部２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】目盛とフロート位置の視認性に優れ、しかも構造簡単でスリムな流量式空気マイクロメータを提供する。
【解決手段】フロート１４を内設し、その外周に目盛を有するテーパ管５の外周にフロート位置観測窓１３を有する防護筒体１２を設け、防護筒体の円弧状内周に明色の反射膜層を設ける構成とすることにより、作業室内の自然光を反射膜面から反射させ、その反射光がテーパ管の目盛面近辺に焦点を結ぶことにより、視認性を高めるものである。 （もっと読む）

本発明は、侵襲性呼吸に適した人工呼吸器（１３）のための３アーム型チューブシステム（１１）に関する。この種の人工呼吸器は、能動的吸気弁と能動的呼気弁（２９）とを有する。チューブシステム（１１）は、吸気チューブアーム（１７）と、呼気チューブアーム（２７）と、マスク（５７）に接続させるための呼吸チューブアーム（３７）と、流量センサ（２３）とを有している。本発明によれば、前記呼吸チューブアーム（３７）に所定の漏出部（３９）が形成され、前記流量センサ（２３）は前記漏出部（３９）と前記マスク（５７）との間に配置されている。本発明は、さらに、このようなチューブシステムを備えた人工呼吸器及び人工呼吸器の作動方法にも関わる。
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【課題】持ち運び易く、流量と圧力を同時に計測でき、そのデータを保存できる携帯型気体計測装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】気体の流量を計測する気体連絡口を有した流量計１０，１１，１２と、気体の圧力を計測する気体連絡口を有した圧力計１６と、流量または圧力データを計測するデータ計測装置１３と、当該データ計測装置に接続する電源１７と、上記流量計１０，１１，１２または上記圧力計１６の気体連絡口に少なくとも一方が連結する連結部を有し、他方は配管チューブ１４に接続し、連続して連結可能な複数の異径の継手連結体１５と、上記流量計１０，１１，１２と上記圧力計１６と上記データ計測装置１３と上記異径の継手連結体１５との形状に対応した凹部に格納する固形の緩衝材１８を有したケース１９とを備え、計測地に携帯して気体の流量または圧力をリアルタイムに計測できる構成とした。 （もっと読む）

【課題】データ分析での主流センサと副流センサとの時間遅延を補償するため、この時間遅延の決定を信頼性高く行うことができる方法および装置を得る。
【解決手段】超音波主流フローセンサと副流ガスアナライザとの間の時間遅延を決定する装置であって、伝達時間法または飛行時間法に基づく医療用の超音波フローおよびモル質量センサ４ａ，４ｂと、マウスピース２を有する可換式または固定式のフローチューブ１と、例えば主流ガスフロー７から外れており主流ガスフロー７のごく少量のみが流入する副流ガスフロー９に配置する１個または複数個の副流ガスセンサ１１の組み合わせとにより構成した該装置において、副流ガスセンサ１１の出力信号と主流フロー信号との間における時間遅延を、モル質量信号と副流ガスセンサからの信号との相関関係の関連付けにより決定する。 （もっと読む）

【課題】被験者の呼吸気が漏れなく供給され、正確に呼吸気の流量を測定すること。
【解決手段】呼吸気流量測定装置１００に対して脱着可能な呼吸気流量測定用の管体１であって、呼吸気が流れる流路１２を形成する流路部１２０と、前記流路１２内に設けられ、呼吸気が流れることによって可動する可動部材１３と、前記流路と連通し、呼吸気を供給するマウスピース部１４とを設けた。 （もっと読む）

【課題】 流体の種別等に応じた各種の変更設定操作を簡単に行うことのできる取り扱い性に優れた汎用性の高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 熱式流量センサを備え、流量制御弁の開度を比例制御して流体の流量を制御する流量制御装置であって、流体の種別に対応付けて熱式流量センサにて計測可能な最大流量を登録したテーブルと、流量制御弁を介して制御する流体の種別を設定する種別設定手段と、設定された流体の種別に応じて前記テーブルを参照して求められる最大流量に従って最大制御レンジを自動設定するレンジ設定手段と、設定された最大制御レンジに対する相対値に従って運用制御レンジをマニュアル設定するレンジ変更手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数のメッシュ部材及びスペーサをモジュール化して組み付け作業を簡便に遂行すると共に、より一層整流効果を達成させることにある。
【解決手段】流速センサ２４が配置された流路１２の上流側に、円形状の複数の小孔６２が形成されたメッシュ部材６４とリング状のスペーサ６６とが軸方向に交互に複数積層され熱拡散接合によって一体的に結合された整流モジュール６０が配設され、前記メッシュ部材６４は、基準小孔６２ｘを中心として周方向に６０度の離間角度で同心円状に配置された複数の小孔６２ａ〜６２ｆが隣接する他の小孔６２との間で連続して該メッシュ部材６４の全面にわたって形成された同一構造からなり、軸方向に沿って隣接する一方のメッシュ部材６４ａと他方のメッシュ部材６４ｂとの間で前記小孔６２ａ〜６２ｆが互いに周方向に９０度の位相角度差を有する。 （もっと読む）

【課題】 締付けトルク管理等の取付作業者のスキルに左右されることなく、ネジ止め時に発生する応力歪の伝達を抑制して計測精度、質量流量制御精度の向上を図ることができ、かつ、全体の軽量化も図ることができるようにする。
【解決手段】 複数の凹部５内に静電容量型圧力計３を収容配置して固定し、肉厚部には各圧力計３に流体圧力を作用させるための流体流路１０ａ〜１０ｄが形成されている直方体形状のボディブロック２のうち、圧力計３の固定保持部分２Ａ及び流体流路１０ａ〜１０ｄ外周の取り囲み部分２Ｂを除く残りの肉厚部分２Ｄが切り落とし除去され、かつ、複数の圧力計３の固定保持部分２Ａに対応させてマスフローコントローラの本体ボックスもしくはパネル１１へのネジ止め固定用の複数の取付部１２ａ〜１２ｃを形成している。
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【課題】 基板処理時に実際に生じ得るサーマルサイフォン現象に基づくゼロ点シフト量を正確に検出して的確な補正をする。
【解決手段】 熱処理部１１０内にガスを供給するガス供給路２１０と，ガス供給路のガス流量を検出する検出部からの出力電圧と予め設定された設定流量に対応する設定電圧とを比較して，ガス供給路のガス流量が設定流量になるように制御するＭＦＣ２４０と，制御部３００とを備え，制御部は，基板処理を実行する前に予め，ＭＦＣ内を少なくとも基板処理時に使用するガスで置換してＭＦＣの上流側と下流側に設けられる遮断弁２３０，２５０を閉じた状態でＭＦＣからの出力電圧を検出して記憶手段に記憶しておき，基板処理を実行する際には基板処理時に使用するガスのガス流量に対応する設定電圧を記憶手段に記憶されたＭＦＣの出力電圧に基づいて補正し，補正した設定電圧をＭＦＣに設定する。 （もっと読む）

【課題】 圧力式流量制御装置を分解、組立なしに、そのオリフィスを簡単に取り換えできるようにして、制御流量の切換を容易にする。
【解決手段】 コントロール弁２のバルブボディ２３の流体入口側と前記入口側取付用ブロック３９とを、並びに前記バルブボディ２３の流体出口側と前記出口側取付用ブロック４３とを、夫々解離可能に気密状に連結することにより、前記コントロール弁２を通して気体が流通する流路を形成すると共に、前記バルブボディ２３の出口側に設けたガスケット型オリフィス挿入孔４２ｃと出口側取付用ブロック４３のガスケット型オリフィス挿入孔４３ｂとの間に、圧力式流量制御装置Ａのガスケット型オリフィス３８を着脱自在に挿着する構成とする。 （もっと読む）

【課題】流体が流通しているか否かを簡単な構造で視認する。
【解決手段】指示計Ａは、流体の供給手段（流量調整器Ｂ）から供給される流体が流通しているか否かを指示するために、内部がテーパ状に形成された透明な管１１と該管１１の内部に配置された断面が円形の浮き１２とからなる流体の流れを指示する指示部材１０と、指示部材１０を保持する保持穴５４と、流体の供給手段に対して着脱可能に装着する装着部２０と、流体を供給すべき被供給手段を取り付ける取付部３０とを有する本体５０を有し、本体５０には、該本体５０に設けた装着部２０から指示部材１０の下端部に至る上流側流路４１，４２と、指示部材１０の上端部から本体５０に設けた取付部３０に至る下流側流路４３，４４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】面倒な校正、調整作業を行うことなく、各種の供給気体の質量流量制御を高精度で行うことのできる気体供給装置を提案すること。
【解決手段】気体供給装置１では、重量計測部１３によって材料の重量変化量ΔＷ、すなわち実際の材料消費量を測定し、これに基づき算出した実際の質量流量Ｑｍが目標質量流量Ｑｍｒｅｑに収束するように、流量制御部６に設定されている設定質量流量Ｑｍｓｅｔを補正している。材料の実際の消費重量に基づき、流量制御部６を適宜、校正することができる。校正、調整作業を定期的に行うことなく、また、取り扱う供給気体の種類、使用する流量制御部６の制御精度に左右されることなく、再現性良く、質量流量制御を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 限られた占有スペース内で必要なコンダクタンスを精度よく求めて、所定のガス流量を安定よく、かつ、再現性よく設定することができるガス流量制御方法を提供する。
【解決手段】 ガス配管２の途中に設けられる流量制限部材８に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝１５を機械加工することによってコンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路１６を形成し、その単一制限流路１６によるコンダクタンスＣと圧力差（Ｐ１−Ｐ２）とにより、プロセスチャンバー１へ供給されるガス流量Ｑを設定する。
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【課題】超音波送受信器間の超音波伝搬時間にもとづいて流体の流速および／または流量を計測することで流体通路を監視することを目的とするものである。
【解決手段】流体流路１内に計測ユニット３を設置し、この計測ユニット３は、前記流体流路１を流れる被測定流体の一部が導入される計測流路４と、この計測流路４の上流側と下流側に少なくとも１対設けられた超音波送受信器５ａ，５ｂとを具備し、前記超音波送受信器５ａ，５ｂ間の超音波伝搬時間にもとづき計測流路４を流れる被測定流体の流速および／または流量を演算手段を介して計測することで前記流体流路内を流れる被測定流体の流れ状態を監視するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】精密流量制御装置を用いて混合気体用質量流量計を校正し、高精度の補正係数を求め、またガス組成分析装置を精密に校正して燃料電池の発電効率を精密に測定する。
【解決手段】ガスＡ、Ｂ、Ｃの質量流量を秤で精密に計測し、その計測データにより各ガスの供給管に設けた流量計の計測データを実時間校正して精密流量制御装置１、２、３とする。混合器７で混合した各精密流量制御装置からの混合ガスを熱式等の質量流量計９で計測し、その計測データを各精密流量制御装置から供給した各ガスの流量を加算器１５で加算したデータで校正することにより混合気体の精密流量測定装置とする。またそれによりバルブ１４を制御して精密流量制御装置とする。更に、その校正データにより質量流量計の補正係数ＣＦを得て、精密な混合ガスの質量流量計として現場等で用いる。各ガスの精密流量制御装置１〜３を用いてガス組成分析装置の校正も可能となる。 （もっと読む）

【課題】燃料電池を内蔵し且つ内蔵燃料電池のための改質器を新たにメータ筐体内に設けることが不要なガスメータを提供する。
【解決手段】都市ガスを流入させるための都市ガス流入口１０ａと、都市ガス流入口１０ａから流入された都市ガスの流量を計測する流量計測部３と、外部から供給される水素ガスにより発電して流量計測部３の駆動電力を流量計測部３に供給する内蔵燃料電池９と、流量計測部３及び内蔵燃料電池９が収納される筐体２と、内蔵燃料電池９に供給される水素ガスを筐体２外部から流入させるための水素ガス流入口１０ｂとを有する。 （もっと読む）