【課題】従来に比べて小型化を図ることができるとともに、信頼性の向上を図ることのできる圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力検出素子５を軸線Ｘ方向に対して直交する素子載置面６０に保持する台座５は、絶縁性材料からなる。台座６の圧力検出素子５が配置された素子載置面６０から軸線Ｘと平行な台座６の側面６１にかけて導電性材料からなる複数の電気配線層６２、６３，６４が形成されている。素子載置面６０に形成された電気配線層６２、６３，６４と圧力検出素子５とがワイヤーボンディング７２，７３，７４によって電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】構成要素（１４）の内部における静圧を測定するための装置（１２）を提供する。
【解決手段】本装置（１２）は、構成要素（１４）に結合されたハウジング（２０）を含み、ハウジング（２０）は、その中に配置された可動構成要素（２６）を含み、可動構成要素（２６）は、構成要素（１４）の内部における静圧に応答して、作動可能に該構成要素（１４）内に伸長可能でありまた該構成要素（１４）から後退可能であり、また本装置（１２）はさらに、ハウジング（２０）内に配置されかつ構成要素（１４）の内部の流体から熱的に保護されたセンサ（５０）を含み、センサ（５０）は、構成要素（１４）の内部における静圧の測定を可能にするように構成される。 （もっと読む）

【課題】温度変化による誤差を補正し、且つ温度センサーが低消費電流である圧力検出ユ
ニットを得る。
【解決手段】圧力検出ユニットは、一対の振動腕２５ａ、２５ｂ及び一対の振動腕の両端
部に夫々一体化された基部２４ａ、２４ｂを有する第１の圧電振動片２３と、振動腕２８
及び振動腕の一端部に一体化された基部２７を有する第２の圧電振動片２６と、前記第１
の圧電振動片２３の基部２４ａ、２４ｂが接合される一対の支持部１３ａ、１３ｂを有す
るダイヤフラム１０と、前記ダイヤフラム１０と対向配置される基台１５と、を備えてい
る。前記第２の圧電振動片２６の基部２７は前記第１の圧電振動片２３の一方の基部２４
ａに同一面内で連結されている。 （もっと読む）

【課題】 外部の圧力を精度良く検出することができる圧力検出装置用基体および圧力検出装置を提供することにある。
【解決手段】 内部空間１ａを有する焼結体から成る絶縁基体１と、内部空間１ａの上面および下面に設けられた上側電極３および下側電極４とを備え、上面および下面の少なくとも一方に可撓領域１ｅを有し、可撓領域１ｅの外表面に、平面視で上側電極３または下側電極４を覆うように形成されたシールド層５と、内部空間１ａならびに上側電極３および下側電極４を囲むように配置され、シールド層５とは電気的に独立し、電極用導体層２の少なくとも１つに電気的に接続されたシールド導体６と、絶縁基体１の表面に形成されたシールド層５と電極用導体層２とを電気的に接続するための接続部７とを備えている圧力検出装置用基体。シールド層の表面へめっき層が被着されず、ノイズを遮蔽することが可能な圧力検出精度の高い圧力検出装置となる。 （もっと読む）

【課題】温度変化による誤差を補正し、且つ温度センサーが低消費電流である圧力検出ユニットを得る。
【解決手段】圧力検出ユニットは、一対の振動腕２５ａ、２５ｂ及び一対の振動腕の両端部に夫々一体化された基部２４ａ、２４ｂを有する第１の圧電振動片２３と、振動腕２８及び振動腕の一端部に一体化された基部２７を有する第２の圧電振動片２６と、前記第１の圧電振動片２３の基部２４ａ、２４ｂが接合される一対の支持部１３ａ、１３ｂを有するダイヤフラム１０と、前記ダイヤフラム１０と対向配置される基台１５と、を備えている。前記第２の圧電振動片２６の基部２７は前記第１の圧電振動片２３の一方の基部２４ａに同一面内で連結されている。 （もっと読む）

【課題】 量産性に優れる簡便な製造工程により、圧力センサの高感度化を達成するための、表面弾性波を利用した圧力センサの構造を提供すること。
【解決手段】 圧電体５上に設けられた表面弾性波を励起するための櫛歯電極６と、被膜上に形成されたシリコン膜から成る凸部２の上面に圧電膜３が形成された膜状構造体と、が気密空間１を介して櫛歯電極６と圧電膜３とが対向するように近接する構造を有し、膜状構造体に加わる外部からの圧力によって圧電膜３が櫛歯電極６に接することで、表面弾性波の共振周波数が変化し、圧力に対する共振周波数の変化量を検知する機能を具備した圧力センサとする。 （もっと読む）

【課題】被測定圧力の検出精度の低下を回避することを課題とする。
【解決手段】
圧力センサ１１が他の別体構成要素の専用回路１２ならびに走行センサ１３と混載されてリードフレーム１４に搭載され、圧力センサ１１と専用回路１２ならびに走行センサ１３とが一体的に樹脂封止された圧力センサの実装構造において、圧力センサ１１は、専用回路１２ならびに走行センサ１３が実装されて接地電位が与えられたリードフレーム１４のダイパッド部１５ｂと電気的に分離されて電気的にフローティング状態のリードフレーム１４のダイパッド部１５ａに搭載されて実装されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化を安価に図ることができるセンサを提供する。
【解決手段】継手１にセンサモジュール２を設け、このセンサモジュール２を筐体３で収納し、この筐体３にターミナル端子５を設け、継手１にキャップ状のベース４を設け、ベース４を、センサモジュール２の外周面に対向する壁部４２と、この壁部４２と同一面上に形成される脚部４３と、を備えて構成した。そして、この脚部４３の端部を継手１のフランジ部１２の底面に開口した取付溝１２Ａに差し込むとともに脚部４３の外面と取付溝１２Ａの外壁面１２Ａ２との間にスペース１Ｂを形成した。そのため、電子実装品８が設けられたベース４の脚部４３を、フランジ部１２の取付溝１２Ａに差し込むことで、ベース自体の継手の底面からの高さ寸法が低くなり、センサの高さ寸法をより小さくして小型化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】被測定圧力の検出精度の低下を回避することを課題とする。
【解決手段】実装基板を構成するリードフレーム１４を貫通して設けられた圧力導入孔１７を介して被測定圧力が圧力導入室１５に導入される静電容量式の圧力センサ１１がリードフレーム１４に実装される圧力センサの実装構造において、リードフレーム１４に設けられた圧力導入孔１７の周囲に、リードフレーム１４を貫通して圧力導入室１５の内外を連通する貫通孔１６を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁界によって感度が変化する真空計の測定子を、磁界中の最適位置に配するように構成された真空処理装置を提供する。
【解決手段】真空処理装置１００は、真空ポンプ３６により内部が減圧された真空処理室３０と、真空処理室３０内に磁界を形成する一対の磁界形成手段３２、３３と、真空処理室３０内の圧力を測定できる真空計５０と、を備え、真空計５０の測定子は、磁界形成手段の対３２、３３の一方による磁界の強度が、磁界形成手段の対３２、３３の他方による磁界の強度によって相殺される取り付け空間に配されている。 （もっと読む）

【課題】気室容量を拡張することによって圧力センサの感度を高める。
【解決手段】背部気室となる空間を有する基板と、固定電極を形成しているプレートと、前記固定電極とともに静電容量を構成する可動電極を形成し、前記背部気室を隔て、圧力変化によって変位するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムが前記基板から離間するように支持する絶縁部と、を備え、前記空間は、前記基板の底面に開口を有し前記ダイヤフラムを底とする柱形の主気室と、前記主気室と通じ、前記基板の前記底面に前記主気室の開口より狭い開口を有し前記主気室より浅い柱形の複数の副気室と、を有し、前記副気室は、前記主気室の周囲に配列され前記主気室に通じて前記空間を拡張している、圧力センサ。 （もっと読む）

【課題】高感度な圧力センサを提供すること。
【解決手段】ベース体２２と蓋部２１とで密閉収納される水晶振動子２３を備え、外部から加えられた圧力によって水晶振動子２３の固有の周波数が変化することで圧力を感知する圧力センサにおいて、水晶振動子２３の基端部をベース体２２の環状壁２２ｂの上面部と蓋部２１の環状壁２１ｂの下面部とで挟み込み、また水晶振動子２３の先端部を蓋部２１の円板部２１ａの中央部に形成された突起２４の先端面に固定させた片持ち梁構造とする。 （もっと読む）

【課題】温度の影響を除去し、圧力測定精度を改善した低消費電流型の圧力検出ユニット
を得る。
【解決手段】圧力検出ユニット１は、一対の振動腕及び該一対の振動腕の両端部に夫々一
体化された基部を有する第１の圧電振動片２０と、振動腕及び該振動腕の一端部に一体化
された基部を有する第２の圧電振動片２５と、前記第１の圧電振動片２０の基部が接合さ
れる一対の支持部１３ａ、１３ｂを有するダイヤフラム１０と、前記ダイヤフラム１０と
対向配置される基台１５と、を備えている。そして、前記第２の圧電振動片２５は、前記
ダイヤフラム１０の厚み方向において前記第１の圧電振動片２０と重なり合わない位置に
配置されている。 （もっと読む）

【課題】 押圧部材に掛かる荷重に偏荷重成分や横方向に振動する荷重が含まれていても、これらの影響が生じ難く、圧力Ｐを精度よく検出できる圧力センサを提供すること。
【解決手段】 筒内圧センサ付きグロープラグ１００のうち、押圧部材１２５は、Ｓｉ素子１３０の第１主面１３０ａの４つの角部１３０ａｈ１等を避けつつ、第１主面１３０ａの４つの外周辺１３０ａｊまで達する形態で、第１主面１３０ａに接合している。また、Ｓｉ素子１３０に形成された感圧抵抗体１３１は、Ｓｉ素子１３０の第１主面１３０ａのうち、感圧抵抗体１３１が形成された感圧体領域１３０ａｒの中心Ｋを中心とした点対称形とされている。 （もっと読む）

【課題】誘電体素子１０を用いた圧力変化検出装置において、誘電体素子１０が経年劣化することを抑制する。
【解決手段】センシング部を構成する誘電体素子１０と、内部に検出室２０を備え、検出室２０に誘電体素子１０を収容する容器２１と、誘電体素子１０と電気的に接続され、容器２１の外部に引き出される導体１２と、を有し、容器２１によって、検出室２０を気密封止し、容器２１の少なくとも一部を外気の圧力変動に伴って変位することにより検出室２０の体積を変化させるダイヤフラム２３ａで構成し、誘電体素子１０に、検出室２０の体積変化に伴って変化する検出室２０における気体の圧力変化、または、温度変化に応じた電気的信号を出力させる。 （もっと読む）

【課題】タイヤ空気圧監視装置（ＴＰＭＳ）用の送信機付き圧力センサーを空気式防舷材の空気圧検知に使用する場合であっても、コストを増加させることなく簡単な機構によりＴＰＭＳ用の送信機付き圧力センサーの転用を可能にする空気式防舷材の空気圧検知装置を提供する。
【解決手段】ＴＰＭＳ用の送信機付き圧力センサー１１を容器１２に収納した状態にして、その容器１２を空気式防舷材の空気充填バルブ５に接続し、空気充填バルブ５から空気を注入開始するとき、容器１２内の空気圧が圧力センサー１１の起動圧力以上に達したとき容器１２が破壊するように構成する。 （もっと読む）

【課題】エンジン用の圧力センサの不慮の振動を抑制する。
【解決手段】エンジン用の圧力センサ１は、エンジンのプラグ取付穴７に挿入される円筒状のパイプ部材４と、パイプ部材４の先端部に設けられた圧力検出部材２ｄと、パイプ部材４の後端部に設けられ、圧力検出部材２ｄと電気的に接続された端子金具１０を側部に備えるキャップ部材５と、パイプ部材４の中心軸から見て端子金具１０とは逆側に設けられ、前記中心軸を中心とした当該圧力センサ１の重量の偏りを抑制するバランス部材４ｅとを備える。 （もっと読む）

【課題】ハウジング内に配置されるセンサチップから信号を取り出すための配線部を圧力媒体に曝すことなくセンサチップに確実かつ容易に接続し得る圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ハウジング１１の中空部１１ａの内周面に対し面接触して固定され、各取出配線部４２が圧力導入方向に貫通して形成される信号取出部材４０が設けられている。また、中空部１１ａには内方へ突出する環状凸部１５が形成されるとともに、この環状凸部１５の内縁には反圧力導入側へ突出する環状支持部１５ａが形成されている。センサチップ２０は、各電極３０が各取出配線部４２に電気的に接続された状態で信号取出部材４０の一側端面４１ａに固定されるとともに、一側当接面２０ｄにて環状支持部１５ａに当接する。また、中空部１１ａの内周面とこの内周面に対向するセンサチップ２０の表面との間には非導電性の接着剤５０が充填される。 （もっと読む）

【課題】感圧素子とダイヤフラムとの接合強度が維持されつつ、小型化された圧力センサーの提供。
【解決手段】圧力センサー１は、振動片部１３と振動片部１３の両端に接続される一対の基部１４とを有する双音叉素子１５と、双音叉素子１５の一対の基部１４が接合部材４０を介して接合される一対の支持部２３を有するダイヤフラム層２０と、を備え、各支持部２３の搭載面２４に、段差部２５が設けられ、各支持部２３と各基部１４とが、搭載面２４と一方の主面１１との間で接合され、更に各段差部２５の側壁２６と、側壁２６に対向する基部１４の側壁１８との間で接合されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】樹脂製の継ぎ手に固定された金属製のブルドン管の継ぎ手からの抜けを抑制することが可能なブルドン管圧力計を提供すること。
【解決手段】ブルドン管圧力計は、圧力容器に取り付けられる樹脂製の継ぎ手３と、基端部が継ぎ手３に固定される金属製のブルドン管４とを備えている。継ぎ手３には、ブルドン管４の基端部が差し込まれて接着固定される固定孔３ａが形成され、固定孔３ａの側面３ｊには、扁平方向Ｙに窪む凹部３ｍが形成されている。凹部３ｍは、固定孔３ａの奥側に向かって形成され、固定孔３ａの内部の、凹部３ｍが形成された部分の少なくとも一部は、扁平方向Ｙにおいて、ブルドン管４の差込口となる固定孔３ａの開口部３ｅよりも広がっている。 （もっと読む）