【課題】圧力検出が高感度、高精度、高確度で信頼性が高く、ウォッチに実装可能な小型
、低背型の絶対圧力感知ユニットを得る。
【解決手段】圧力感知ユニットは、振動部１１ａ、１１ｂ、及び振動部１１ａ、１１ｂの
両端に夫々接続される被支持部（基部）１２ａ、１２ｂを有する圧電振動片１０と、各被
支持部１２ａ、１２ｂを夫々支持する一対の突出部８ａ、８ｂを一面に備えたダイアフラ
ムとしての薄肉部７ａを有した基板６と、圧電振動片１０を含む薄肉部７ａの一面を気密
的に包囲するために基板６に固定された蓋部材２０と、を備えたことを特徴とする圧力感
知ユニットである。 （もっと読む）

【課題】 漏れ防止部材内に空気が侵入することによる残圧異常を防止することである。
【解決手段】 液体入口を有する接続部材６を設けた圧力測定機器と、油供給配管３と、上端が前記接続部材６に接続され下端が油供給配管３に接続される筒状の継手７と、開口部８が前記接続部材６側となり、かつ上向きとなるように継手７に形成された収容部９内に配置され、内部に液体が充填される弾性部材からなるキャップ状の漏れ防止部材１０とを備えた圧力測定装置において、油供給管３内に含まれる空気が継手７内壁と漏れ防止部材１０外壁との間を通って漏れ防止部材１０内に侵入することを防止する空気侵入防止部を備える。 （もっと読む）

ＭＥＭＳデバイス（１００）が集積回路チップ（１０１）と、リードフレームベースのプラスチック成形本体（１２０）を含むパッケージとを有し、パッケージは本体の厚み（１２１）を通る開口（１２２）を備える。可動フォイル部品（１３０）が本体（１２０）に固定され、開口（１２２）を少なくとも部分的に横切って延びうる。チップ（１０１）は、フォイルを横切って拡がるようにリード（１１０）にフリップ実装され、フォイル（１３０）からギャップにより隔てられうる。リードは、予め製造された個別部品のリードフレーム上にあってもよく、或いは犠牲キャリア上に金属を堆積し、その金属層をパターニングするプロセスフローによって製造されてもよい。その結果のリードフレームは平坦であってもよく、或いは積層型のパッケージ・オン・パッケージデバイスに有用なオフセット構造を有してもよい。
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【課題】放電を誘発させるための部材として永久磁石を用い、この永久磁石をポールピースに配置することにより放電が生じ易い冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】この冷陰極電離真空計１は、一端に開口が形成された筒状の陰極４３と、前記陰極の内部空間に配置された棒状の陽極４４と、前記陽極と前記陰極との間の電界に直交する磁界を形成し、該陽極と該陰極との間に放電を起こす磁性手段４５ａ，４５ｂと、前記陰極の開口縁に着脱自在に嵌合され、前記開口を覆うポールピース１４と、前記ポールピース１４に配置された永久磁石４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】製造ばらつきの少ない半導体圧力センサを得る。
【解決手段】シリコン基板１０は貫通孔１２を有する。シリコン基板１０上にポリシリコン膜２０が形成されている。ポリシリコン膜２０は、貫通孔１２の上方にダイヤフラム２４を有する。ポリシリコン膜２０上に絶縁膜２２が形成されている。ピエゾ抵抗効果を有するポリシリコンゲージ抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４が絶縁膜２２上に形成されている。ポリシリコン配線Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４は、ポリシリコンゲージ抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４をブリッジ状に接続する。ポリシリコンゲージ抵抗Ｒ１，Ｒ２は、ダイヤフラム２４の中央部に配置され、それぞれ並列接続された複数の抵抗を有し、構造及び向きが同じである。 （もっと読む）

【課題】ガスケットの規格サイズに左右されない設計の自由度を有し、測定精度，温度特性が向上されたダイアフラムシール型差圧測定装置を実現する。
【解決手段】接液シールダイアフラムを有するダイアフラムシールユニットと、前記接液シールダイアフラムに一方の面が接し他方の面が測定対象の取り付けフランジに接するガスケットとを具備するダイアフラムシール型差圧測定装置において、前記ガスケットと前記受圧ダイアフラムとの間に設けられたリング状の保護プレートと、前記ガスケットと前記受圧ダイアフラムとの間に設けられ前記保護プレートの内径に外径が固定され内径が前記ガスケットと同じあるいは小さい内径を有する保護リングとを具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装置である。 （もっと読む）

【課題】深い穴を有する金属部材を備えた圧力センサにおいて、金属部材中を透過するおそれの有る気体の圧力を精度良く検出することが可能な技術を提供する。
【解決手段】圧力センサは、気体の圧力を検出するために用いられるものである。この圧力センサは、一端が開口し他端に底を有する穴部であって前記気体が導入される穴部を備えた金属部材と、金属部材の外面の、穴部の底に対向する位置に設けられた圧力検知部と、穴部の底に配置され、気体の透過を抑制する金属製の透過抑制層と、透過抑制層を穴部の底に固定する樹脂層と、備えている。 （もっと読む）

【課題】 占有面積の縮小、容量の増大、ブラウンノイズの低減及び可動部の質量の増大等の二律背反の要請をバランスよく満足して検出精度を向上することができるＭＥＭＳセンサー及びその製造方法並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】 ＭＥＭＳセンサー１０は、固定部２０と、弾性変形部３０と、弾性変形部を介して固定部に連結され、周囲に空洞部が形成された可動錘部４０と、固定部に第１の方向Ａに沿って配列固定され、第１の方向と直交する第２の方向Ｂに沿って突出する複数の固定電極部５０と、可動錘部より第２の方向に沿って突出形成されて、複数の固定電極部５０にそれぞれ対向して配置され、第１の方向に沿って配列された複数の可動電極部６０とを有する。可動錘部４０は、複数の可動電極部と同一の層に形成され、複数の可動電極部を連結する連結部４２と、複数の可動電極部及び連結部とは異なる層に形成され、連結部に接続された付加錘部４６とを含む。 （もっと読む）

【課題】差圧伝送器又は圧力伝送器の点検作業を容易且つ確実に行うことができ、点検作業の効率化を図ると共に、プラントの安全性を向上させる。
【解決手段】差圧伝送器６の検出信号が異常レベルを示した場合、系統側又は差圧伝送器６側のどちらの異常かを判断するために、保守作業員は差圧伝送器６に対して「ゼロ点確認」を行う必要がある。このような場合、ロータ部材１６を時計方向に９０°回転させる。すると、系統側接続用流路２２Ｈにより系統側接続用ポート１７Ｈ，１７Ｌ間が連通すると共に、系統側接続用流路２２Ｌにより伝送器側接続用ポート１８Ｈ，１８Ｌ間が連通した状態となる。したがって、差圧伝送器６が正常であれば、その高圧側と低圧側とはバランスするので差圧はゼロとなるはずである。 （もっと読む）

【課題】従来とは異なる方式により、パンク修理剤を用いてタイヤのパンクを修理しても、タイヤの空気圧情報等のタイヤ情報を適切に計測し取得できる送信装置およびシステムを提供する。
【解決手段】送信装置は、タイヤ空洞領域に充填される気体の情報を計測するセンサと、計測した情報を無線により送信する送信機と、前記センサおよび前記送信機を覆う筐体と、を有する。筐体に、筐体の壁を貫通した複数の貫通孔が設けられ、前記貫通孔は、部材により、前記タイヤ空洞領域と前記筐体の内部空間との間が非連通となっている非連通貫通孔を含む。あるいは、筐体に、前記筐体の壁を貫通した貫通孔が少なくとも１つ設けられ、さらに、前記筐体の面から突出する突起と、前記筐体の壁を挟んで、前記突起の位置と対応する反対側の位置に設けられた凹部と、を備え、前記突起が折り取られることにより、前記凹部の位置に貫通孔を生成する貫通孔生成手段が、筐体に設けられる。 （もっと読む）

本発明は、軸線Ａを有するハウジング（２）と、圧力空間（３）に晒される平坦な端面（４）と、該端面（４）に配置されハウジング（２）に固定的に接続されたダイヤフラム（５）とを備える、射出成型において使用される低粘度媒体の圧力を測定するセンサに関する。ダイヤフラム（５）の撓みに基づき圧力空間（３）内に存在する圧力を推定することができる測定素子（１３）が、ダイヤフラム（５）の裏側に配置される。本発明によれば、端面においてセンサに密接に接続されるとともにこの接続部（１２’）の裏側にギャップ（１７）を有してハウジング（２）から一定の距離に配置された圧力スリーブ（６）が、ハウジング（２）の外側で該ハウジングの軸線Ａと同軸に配置される。この場合、このギャップ（１７）が、圧力空間（３）から離れる方向に、力の経路（１９）の領域よりも更に測定素子（１３）を越えて軸方向に延在している。
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【課題】圧力センサーを提供する。
【解決手段】パッケージ１２と、前記パッケージ１２の一面に形成され圧力を受けて撓み変形するダイアフラム３６と、前記ダイアフラム３６に形成され、シングルビーム構造の感圧素子２２の長手方向（Ｘ軸方向）の両端を支持する一対の支持部３８と、を有する圧力センサー１０であって、前記一対の支持部３８は、それぞれ先端部４０と末広がり部４２を有するテーパー状に形成され、前記先端部４０が互いに対向して配置されたものである。また前記感圧素子２２は、前記長手方向に沿って延びた振動腕２４と、前記振動腕２４の両端に接続された基部２６と、を有し、前記先端部４０は、それぞれ前記振動腕２４と前記基部２６との境界２６ａを支持し、前記末広がり部４２は、それぞれ前記基部２６の前記長手方向の端部２６ｂを支持するものである。 （もっと読む）

【課題】現状のＰＺＴ薄膜に代替可能な圧電特性を有するアルカリニオブ酸化物系の圧電薄膜を用いた圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイスを提供する。
【解決手段】基板１上に、Ｐｔ，Ａｕ等の下部電極２と、組成式（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）_ｙＮｂＯ_３で表されるアルカリニオブ酸化物系のペロブスカイト構造を有し、０.４≦ｘ≦０.７かつ０.７≦ｙ≦０.９４の範囲にある圧電薄膜３と、下部電極２と同様な材料の上部電極４とを備える圧電薄膜素子である。 （もっと読む）

【課題】圧力の感度を向上させた圧力センサー及びその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の圧力センサー１０は、ダイアフラム４０と、前記ダイアフラム４０の支持部４５に支持固定された感圧素子とを備え、前記ダイアフラム４０の撓みに基づく前記感圧素子の周波数変化から圧力を検出する圧力センサー１０であって、前記支持部４５は、前記ダイアフラム４０の密閉側の主面４４との間にくびれ部５０を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、ダイアフラムの受圧感度を高めると共に、耐衝撃性も十分確保することを可能とする圧力センサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の圧力センサー１０は、ダイアフラム４０と、感圧素子となる枠付き振動子３０と、基板２０を積層し、前記感圧素子の圧電振動片３１を密閉する内部空間Ｓを形成して、前記ダイアフラム４０の撓みに基づく前記感圧素子の周波数変化から圧力を検出する圧力センサー１０であって、前記内部空間Ｓに前記ダイアフラム４０の破壊限界を超えた撓みを抑制するストッパーを備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性と変位伝達効率とを向上させた測定精度の高い微差圧計を提供する。
【解決手段】ケース１０と、ダイアフラム２と、ダイアフラムの変位を伝達させる変位伝達機構４と、を備え、変位伝達機構は、ダイアフラムから伝達された変位を回動運動に変換する回動運動変換機構４３と、これに取り付けられた指針と、一端がケースの内部で固定され、他端には磁石が取り付けられた板ばね４１と、ダイアフラムと板ばねとをダイアフラムの中心軸上において連結する連結部材４５と、を備え、ダイアフラムの変位が板ばねを介して磁石へ伝達され、回動運動変換機構は、軸受保持された螺旋体を有し、螺旋体は磁石の動きに応じて回動するように磁気的に結合され、螺旋体の回動に応じて指針が回動する微差圧計１であって、板ばねとダイアフラムとの間に離隔自在に連結部材が挿通された管状部材５を有する微差圧計。 （もっと読む）

【課題】 外部の圧力を精度良く検出することができ、信頼性に優れた圧力検出装置用基体および圧力検出装置を提供する。
【解決手段】 互いに平行に対向する上面および下面がある内部空間１ａを有し、表面に複数の電極用導体層２を有する絶縁基体１と、内部空間１ａの上面および下面にそれぞれ電極用導体層２の少なくとも１つに電気的に接続されて形成された、互いに対向する上側電極３および下側電極４とを備え、上面および下面の少なくとも一方が、可撓領域１ｅである圧力検出装置用基体であって、可撓領域１ｅの中央部に対応する絶縁層５の表面に、上側電極３および下側電極４とは電気的に独立な、絶縁層５で被覆されていない上側電極３または下側電極４との接触を検知するための検知用電極６を備えた圧力検出装置用基体である。上側電極３または下側電極４と検知用電極６とが短絡することで、ダイアフラムが対向する面に接触したことを検知できる。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動モードの圧電振動片を用いた圧力センサーにおいて、振動漏れの抑制、絶対圧力及び相対圧力を測定可能にし、センサー感度の向上を図る。
【解決手段】圧力センサー素子板２１は、振動ビーム２７の少なくとも一方の基端部２８から幅方向に延出して該振動ビームと平行に延長する力伝達アーム３４ａ，３４ｂを有する圧電振動片２５と、その外側に配置されて圧電振動片の基端部に結合される支持フレーム２６と、基端部２８と支持フレーム間を連結する連結部３２とを備え、連結部には振動ビームの長手方向に沿ってかつその厚さ方向の中心線２７ａに関して上下非対称に形成された薄肉部３３を有する。圧力センサー素子板を上下に挟んで積層した第１及び第２ダイヤフラム板２２，２３は、その薄板部３７，４０内面に形成した突起部３８ａ，３８ｂ，４１ａ，４ｂが、対応する力伝達アームの上下面にそれぞれ固着されている。 （もっと読む）

【課題】基板接合強度及びダイアフラムの耐圧限界を高める半導体圧力センサの製造方法を得る。
【解決手段】半導体基板のキャビティ側の面に、縦横２列で隣接する４つのキャビティの中央にそれぞれ位置させて所定深さの内基準穴を形成してから鏡面加工を施すことによって、その表面高さが最大かつ均一となった接合面を形成する。そして、この接合面を介して半導体基板とベース基板を接合し、これら基板をチップ単位にダイシングして個々の半導体圧力センサを得る。 （もっと読む）

【課題】管における測定器のデッドスペースがなく、測定プローブを収容できるアダプタがしっかり取付けられた開口部を有する管部からなり、物理的な大きさを測定するための測定器の提供。
【解決手段】管部２は、平坦部、即ち、開口部３を有する水平面からなる平らな箇所を有し、アダプタ４が、平坦な管部の開口部を埋め、アダプタ４が、材料融合によって開口部３の層においてまたは平らな箇所に対し平行な層において平坦な管壁に取付けられる。アダプタ４によって閉塞された前記平坦な管部における前記開口部３は、円形状である。前記管部２の平坦な部分が、平らな箇所の一方の幅Ｂ１が前記アダプタ４の直径Ｄ１と少なくとも同等またはそれ以上となるように十分に平坦に構成されている。管部２の平坦部における管壁の厚さにおける溶接輪郭が、前記アダプタを包囲している。前記水平面の部分が、本来の管部の断面内に設けられている （もっと読む）