【課題】測定圧に対する感度を落とすことなく、高静圧下においても座屈せずに機能できる振動式圧力センサを実現する。
【解決手段】シリコン基板に設けられた板状のダイアフラムと、このダイアフラムに設けられた振動梁とを具備する振動式圧力センサにおいて、前記ダイアフラムの少なくとも一方の面に一方の面が接し前記ダイアフラムの周縁に沿って配置されリング状をなし前記シリコン基板よりヤング率が大で高静圧下での前記振動梁の座屈を防止する座屈防止部材を具備したことを特徴とする振動式圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】タイヤ状態を高精度に検出することができるタイヤ状態検出装置を提供すること。
【解決手段】タイヤ状態検出装置１００は、ホイールに固定される空気入りタイヤ２００のタイヤ状態を検出する装置であって、所定の振動をタイヤ２００に入力する振動入力部１１０と、所定の振動が入力されたときのタイヤ２００の周波数情報を取得する周波数情報取得部１２０と、取得された周波数情報からタイヤ２００の共振周波数および反共振周波数を抽出し、抽出したタイヤ２００の共振周波数および反共振周波数から、タイヤ２００を外側慣性モーメント、内側慣性モーメント、およびこれらの間に働く弾性力のばね定数を用いてモデル化したときの、外側慣性モーメントおよびばね定数を算出するタイヤ状態推定部１３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】センシング部を有するセンサ素子を基板上に搭載し、これらをモールド樹脂で封止するとともに、センサ素子の上面にてセンシング部をモールド樹脂より露出させてなるセンサ装置において、センシング部の上面である露出面だけでなく、センシング部の側面および下面もモールド樹脂と接触しないモールド樹脂フリー状態として、モールド樹脂からの応力のセンシング部への影響を極力排除する。
【解決手段】センシング部２０ａの全周を、センサ素子２０における基板１０との接着部および枠体１により囲み、枠体１の上面１ａとセンサ素子２０の上面２１とに、金型１００を当接させてセンシング部２０ａの露出面２１ａを、金型１００で封止するとともに、センシング部２０ａと基板１０および枠体１との隙間を金型１００で密閉した状態で、モールドを行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明の実施形態によれば、感度よく検知できる歪検知素子、および圧力セン
サを提供することができる。
【解決手段】 磁化方向が変化可能で外部歪が印加されていない状態では磁化が膜面垂
直方向を向いている磁化自由層と、磁化を有する参照層と、前記磁化自由層と前記参照層
との間に設けられたスペーサー層と、を備えた積層膜と、前記積層膜の積層面に対して垂
直方向に通電する一対の電極と、前記一対の電極の何れか一方に設けられた基板と、前記
基板が歪むと、前記磁化自由層の磁化の回転角度と前記参照層の磁化の回転角度が異なる
ことを特徴とする歪検知素子。 （もっと読む）

【課題】 温度検出機能を備えた圧力検出用パッケージを小型化する。
【解決手段】 絶縁基体１と、絶縁基体１の上面に形成された静止側電極パターン１１と、絶縁基体１上に静止側電極パターン１１を囲むように設けられた枠状部２と、絶縁基体１および枠状部２との間に密閉空間を形成するように枠状部２上に設けられたダイヤフラム３と、ダイヤフラム３の下面に設けられた、静止側電極パターン１１との間に静電容量を形成する可動側電極パターン３１とを備えており、可動側電極パターン３１は温度の変化に応じて抵抗値が変化するものであり、可動側電極パターン３１に接続された、抵抗値を計測するための配線導体７をさらに備えており、可動側電極パターン３１における電流の流れる方向に垂直な断面の断面積が、配線導体７における電流の流れる方向に垂直な断面の断面積よりも小さい圧力検出用パッケージ１０である。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、かつ、取り付けが簡単な、共鳴低減装置を提供する。
【解決手段】導圧管１の先端は燃焼室に挿入されると共に、導圧管１には圧力センサ２が取り付けられる。この導圧管１には、導圧管１の音響固有値に基づき生じる共鳴を低減する共鳴低減装置１００が備えられている。この共鳴低減装置１００は、複数の細管を有しており、複数の細管により共鳴を低減・吸収している。 （もっと読む）

【課題】硬化する流体による圧力スイッチの機能障害を確実に防止する。
【解決手段】受圧部材（４）が、一定の直径を備えた円筒形を有しており、しかも前記受圧部材（４）が、一定の穴直径を有するケーシング（２）内の穴に配置されており、前記受圧部材（４）の一方の端部が、前記流路（７）に突入して延びており且つ前記受圧部材の残りの延在部が、前記ケーシング（２）内に配置されているようにした。 （もっと読む）

【課題】大気圧を基準として圧力を測定する圧力センサーであって、圧力センサーを構成する感圧素子の結露を防止する圧力センサーを提供する。
【解決手段】ハウジング１２と、前記ハウジング１２の開口部２２を封止し、受圧面で力を受けて前記受圧面に対して垂直方向に撓み変位するダイアフラム４０と、前記ハウジング１２の内部において前記ハウジング１２側と前記ダイアフラム４０側の夫々に、両端が各々接続される感圧素子４２と、両端が開放され、前記ハウジング１２に形成された圧力導入口２８ｂに一端が接続されたチューブ３６と、前記チューブ３６に導入され、前記チューブ３６内の前記一端側と他端側とを空間的に分離することにより前記ハウジング１２を気密封止し、前記ハウジング１２内の気圧が前記ハウジング１２外の気圧と等しくなるように前記チューブ３６内を移動可能な液体３８と、を有し、前記ハウジング１２内には、乾燥ガスが充填されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧力導入口がフラックスで塞がるのを防ぐことができる、圧力センサ装置及び該装置を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】半導体圧力センサ素子１１と、半導体圧力センサ素子１１に流体を導く圧力導入口１８の開口部１８Ｂ及びはんだ付け可能な端子１９が設けられた取り付け面１２Ｂを有する実装基板１２とを備える圧力センサ装置であって、開口部１８Ｂと端子１９との間に段部４１が設けられていることを特徴とする、圧力センサ装置。該圧力センサ装置と、開口部１８Ｂに連通する圧力導入口２２が設けられた被取り付け面２１Ａを有し、該圧力センサ装置が端子１９で被取り付け面２１Ａにはんだ付けされた回路基板２１とを備え、開口部１８Ａ及び段部４１が、圧力導入口２２の投影範囲内に位置する、電子機器。 （もっと読む）

【課題】パンク修理時にシーリング剤が連通路を塞ぐのを防止する。
【解決手段】タイヤ空気圧検出装置１０の装置本体１４の側壁にはタイヤバルブが接続され、他の側壁には空気流入口が開口されている。装置本体１４の内部にはセンサ室１８が設けられ、圧力センサ２４が取り付けられている。装置本体１４の側壁には、センサ室１８とタイヤ内部を連通させる連通路２２が設けられ、センサ室１８の圧力をタイヤ内圧と同一圧力に維持している。連通路２２のタイヤ内部側の端部は、突出量Ｈで装置本体１４から突き出されている。連通路２２及びセンサ室１８には、タイヤ内圧を圧力センサに伝達させる圧力伝達液２６が充填されている。圧力伝達液２６は、表面張力が７２．７５ｍＮ／ｍより大きい疎水性の液体が望ましい。連通路２２の断面積とセンサ室１８の断面積との比は０．１〜１．０の範囲内とされている。 （もっと読む）

【課題】圧力検出用部品において、枠状部に求められる寸法精度を低減する。
【解決手段】
圧力検出用部品１０は、絶縁基体１と、絶縁基体１上に設けられた枠状部２と、絶縁基体１との間に密閉空間１３を形成するように枠状部上に設けられたダイヤフラム３と、ダイヤフラム３の絶縁基体１と対向する側の面に相互に離間させて設けられた、静電容量形成用の第１の電極パターン４１および第２の電極パターン４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドに起こった環境状態の異常を検知することができる光学式センサを実現する。
【解決手段】本発明に係る光学式圧力センサ１のセンサヘッド２は、光源５から発せられた光を伝送する出射用光ファイバ１０と、出射用光ファイバ１０の端面に対する相対位置が圧力に応じて変位し、出射用光ファイバ１０の端面から出射された光を反射する反射板１５と、反射板１５が反射した光が入射される端面を有し、入射した光をそれぞれ第１および第２光検出器６・７に伝送する第１受光用光ファイバ１１および第２受光用光ファイバ１２とを備え、さらに、センサヘッド２内の湿度の変化に応じて、出射用光ファイバ１０の伝送損失を変化させる損失変化部１６を備える。 （もっと読む）

【課題】温度変化及び感圧素子の経年変化に伴う圧力測定値の誤差を減少させた圧力センサーを提供する。
【解決手段】力を受けて変位する可撓部（中央領域２４ａ）と前記可撓部の外周に接続された周縁部２４ｃとを有する受圧手段（ダイアフラム２４）と、感圧部と前記感圧部の両端に接続された一対の基部を有するとともに前記基部同士を結ぶ線に平行な検出軸を有し、前記検出軸の方向が前記可撓部の変位方向と平行に配置された第１感圧素子４０及び第２感圧素子４２と、を有する圧力センサー１０であって、前記第１感圧素子４０は、一方の基部（第１の基部４０ａ）が前記可撓部に固定されるとともに、他方の基部（第２の基部４０ｂ）が前記周縁部２４ｃに支持された第１支持部材４４に固定され、前記第２感圧素子４２は、一方の基部（第１の基部４２ａ）が前記周縁部２４ｃに固定されるとともに、他方の基部（第２の基部４２ｂ）が前記可撓部に支持された第２支持部材４６に固定されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子刺激離脱（ＥＤＳ）によるガス放出量を一層低減することができる電離真空計を提供する。
【解決手段】軸状のイオンコレクタ１と、イオンコレクタ１の径方向の周囲に設けられたコイル状のグリッド２と、グリッド２の外側に設けられた熱電子放出フィラメント３と、グリッド２と導通を確保しつつ支持する支柱部６とを有する電離真空計であって、イオンコレクタ１の径方向において、グリッド２及びフィラメント３に対向する支柱部６の表面を被覆し、フィラメント３よりも低い電位に保たれるコーティング１６ａを備えることで、支柱部６の表面からのＥＤＳによるガス放出を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 共振そのものが抑えられたブルドン管式圧力計の内機を提供することを課題とする。そして、当該圧力計内機を提供することにより、耐振動および耐脈動性に顕著に優れたブルドン管式圧力計を提供することを課題とする。
【解決手段】 ブルドン管の‘一方の管先’が、ロットを介してセクター軸を回転軸とするセクターギアと連結され、前記ブルドン管の伸縮が前記セクターギアの動きを介してピニオン軸を回転させる力として伝達される構造を有するブルドン管式圧力計内機において、；（ａ）ブルドン管の‘もう一方の管先’が圧力導入パイプと連結され、当該圧力導入パイプを介して、圧力計の株の内部にある圧力導入路と連結しうる構造、及び、（ｂ）ブルドン管が、伸縮拡大機構を構成する部品（駆動部品を除く）のいずれか１ヵ所に直接取り付けて固定された構造、；を有することを特徴とする、ブルドン管式圧力計内機を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡略な構成で過大圧力による影響を排除することができ、上限圧力の変更調整作業を簡易に行う。
【解決手段】測定対象の流体を収容し、流体の圧力を検出する本体部２と、本体部２内に流体を導入する導入流路３ｈを有する流体導入部３と、を備える圧力センサ１であって、本体部２は、導入流路３ｈの一端と連なる導入孔２１ｈを有する固定部２１と、固定部２１の導入孔２１ｈが形成されている面と対向する面に形成される感圧部２２ｄ、２２ｓを有する可動部２２と、固定部２１と可動部２２とを連結し、本体部２内に収容される流体の圧力に応じて伸縮可能な伸縮連結部２３と、導入流路３ｈに挿通され、流体導入部３の導入口を閉塞可能な蓋部２５ｃを一端に有する棒状体２５と、棒状体２５の他端を可動部２２内に連結支持する支持部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧力センサをパッケージする際に、封止樹脂が拡がることを防止するため、基材上にパッケージカバーを接合した後に樹脂を滴下していたが、パッケージカバーの天井部に設けられた圧力導入口が樹脂により塞がれる問題が発生した。
【解決手段】樹脂で覆われた表面に外部の圧力を測定可能な圧力受感部を有する圧力センサと、圧力センサに電気的に接続された基材と、圧力センサを内部に収容する基材に接合されたパッケージカバーとを備え、パッケージカバーには外部の圧力を圧力センサに反映させる圧力導入口があり、パッケージカバーの内面に圧力導入口を囲むよう突出部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムシールの溶接位置を変えることで、ダイアフラムシール破損の可能性を低くし、信頼性の向上が図れるダイアフラムシール付き伝送器を実現する。
【解決手段】一方の面が取付フランジにリング状のガスケットを介して取付けられるダイアフラムシールボディと、このダイアフラムシールボディの前記一方の面に周縁部がリング状に溶接固定されるダイアフラムシールとを具備するダイアフラムシール付き伝送器において、前記ガスケット内径の最大公差直径寸法より大なる直径寸法を有し前記ダイアフラムシールボディの一方の面に前記ダイアフラムシールをリング状に溶接する溶接部を具備したことを特徴とするダイアフラムシール付き伝送器である。 （もっと読む）

【課題】寸法が小型であるばかりでなく、実効的に大量に製造され得る高感度圧力センサを製造する方法を提供する。
【解決手段】センサ、及びセンサを製造する方法が開示され、この方法は一実施形態では、エッチングされた半導体基材ウェーハ（３００）を、シリコン積載絶縁体型ウェーハを含むエッチングされた第一のデバイス・ウェーハに接着し、次いでこの接着体をシリコン積載絶縁体型ウェーハを含む第二のデバイス・ウェーハに接着して通気孔付き懸吊構造を形成し、この構造の曲げが、埋め込まれた感知素子（１４０）によって感知されて差圧を測定する。一実施形態では、センサに埋め込まれた相互接続路（４００）によって、他のデバイスとの相互接続性を確保しつつデバイスの滑らかなパッケージ形状を容易にする。 （もっと読む）

【課題】部品点数やコストを削減する。
【解決手段】第１被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ａと、第２被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ｂと、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂの温度を検出する温度センサ４と、圧力センサ３Ａの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第１被測定対象の測定信号として出力する第１補正部と、圧力センサ３Ｂの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第２被測定対象の測定信号として出力する第２補正部と、を備え、温度センサ４を、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂと相互に接触した状態で一体化する。 （もっと読む）