【課題】圧電板に加わる外力を簡易な構造で高精度に検出することができる外力検出装置を提供すること。
【解決手段】水晶板２を容器１内に片持ちで支持する。水晶板２の例えば中央部にて上面及び下面に夫々励振電極３１、４１を形成する。水晶板２の下面側の先端部に、下面側の励振電極４１に引き出し電極４２を介して接続される可動電極５を形成し、この可動電極５に対向して容器１の底部に固定電極６を設ける。上面側の励振電極３１と固定電極６とを発振回路１４に接続する。水晶板２に外力が加わって撓むと、可動電極５と固定電極６との間の容量が変わり、この容量変化を水晶板の発振周波数の変化として捉える。また水晶板２の先端部の破損を抑えるために、水晶板２が過度に撓んだ際に水晶板２の先端部が容器１の内壁に衝突する前に水晶板２の胴体部にて接触するように突起部７を設ける。 （もっと読む）

【課題】特性が安定で、ローコスト化が可能な圧力センサを実現する。
【解決手段】測定ダイアフラムに歪センサが形成されている圧力センサにおいて、第１の半導体基板の一方の面に形成された半導体歪ゲージと、第１の半導体基板の一方の面に一方の面が接合された第２の半導体基板と、半導体歪ゲージを挟んで第１の半導体基板と第２の半導体基板の一方の面に直交して互いに対向して設けられ半導体歪ゲージを含む測定ダイアフラムを形成する第１，第２の測定室と、第１の半導体基板の他方の面に一面が接して設けられた支持基板と、支持基板の他方の面に低融点ガラスを介して一面が接する金属よりなる支持台と、一端が第１の測定室に連通し一端側が支持基板に設けられ他端側が支持台に設けられた他端が外部に開口する第１の導圧孔と、一端が第２の測定室に連通し一端側が支持基板に設けられ他端側が支持台に設けられた他端が外部に開口する第２の導圧孔とを具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】温度センサの温度検出素子とそのリードを保護する保護チューブとを良好にコーティングする。
【解決手段】温度検出素子１６と、一対のリード線１７、１８と、一対の保護チューブ２０、２１と、温度検出素子１６及び保護チューブ２０、２１を絶縁コーティングするコーティング材２５とを備えたものにおいて、リード線１７、１８及び保護チューブ２０、２１の先端部を、Ｙ字状に分岐させるように構成し、温度検出素子１６、リード線１７、１８及び保護チューブ２０、２１をコーティング材２５中に浸漬させるときに、コーティング材２５の液面がリード線１７、１８及び保護チューブ２０、２１の先端部のＹ字状の分岐部よりも下方に位置するように構成した。 （もっと読む）

【課題】大水深域の水底地盤へのコーン貫入試験用プローブの貫入深度を精度よく計測するのに適した高分解能の水圧計測装置、深度計測装置および貫入プローブを提供する。
【解決手段】水圧を計測する装置１０であって、高圧側導入部１２と低圧側導入部１４とからなり、高圧側導入部１２により導入された水圧と低圧側導入部１４により導入された水圧の差圧を計測する差圧計１６と、水中で基準となる水圧を導入可能な水圧室１８と、この水圧室１８と外部との連通を開閉する開閉弁２２とを有し、低圧側導入部１４は、水圧室１８の圧力を導入するようにする。 （もっと読む）

【課題】同一面に極性等の信号の異なるパッド電極を配置した場合であっても、パッド電極間の短絡を防止することを可能とする圧電デバイス、圧電モジュール、電子機器、電子システム及び圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサー１の感圧素子層１００は、一辺を二分するように切り欠くスリット１２６が設けられ、スリット１２６により一対の接続部が分離して配置され、前記一対の接続部は、少なくとも一部がダイアフラム層２００よりも外側へ露出しており、感圧素子層１００は、一対の接続部の一方の主面側に夫々設けられた互いに極性の異なる第１パッド電極３４、第２パッド電極３６と、一対の接続部のうちの何れか一方の接続部の側面に設けられ、他方の主面に設けられた第１引出し電極１０９と、該引出し電極１０９と極性が同じ第１パッド電極３４とを電気的に接続する側面電極１３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】計測される流体の圧力変動を再現性よく反映できる、隔膜式圧力計の校正装置を提供する。
【解決手段】計測される流体が導入される導入管１１、導入管１１の流路を開閉する元弁１ａ、導入管１１の末端を閉塞するように配置され、流体を受圧する隔膜２ｄ、及び隔膜２ｄで受圧した圧力がキャピラリチューブ２１を介して伝動される圧力計本体２２を有する隔膜式圧力計において、校正装置１０は、導入管１１の末端部側に設けた第１フランジ１１ｆと、隔膜２ｄで中央部が閉塞された第２フランジ２１ｆで挟持され、導入管１１の流路と隔膜２ｄを連通する校正室３０を内部に有する円筒状の校正器３を備える。校正器３は、校正室３０に連通し、校正用流体Ｇを導入可能に、校正用配管４１が接続される接続ポート３１ｐを有する。 （もっと読む）

【課題】安定して正確な圧力測定を行うことが可能な圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ１００は、ハウジング１０８、受圧ピン１３２、力検知素子１１６、充填部材１４０を備える。ハウジング１０８は、その先端面１０８ｃに開口している案内孔１２８ａを備えている。受圧ピン１３２は、案内孔１２８ａ内に変位可能に配置されている。力検知素子１１６は、受圧ピン１３２よりもハウジング後端側であって、受圧ピン１３２の後端面１３２ａと対向して配置されている。充填部材１４０は、受圧ピン１３２およびハウジング１０８に比してばね定数が小さい部材であり、受圧ピン１３２と案内孔１２８ａとの隙間に配置されている。充填部材１４０の先端面１４０ｃは、ハウジング１０８の先端面１０８ｃまたは受圧ピン１３２の先端面１３２ｃのうち、ハウジング後端側に位置している面に対して、同一面内またはハウジング先端側に位置している。 （もっと読む）

【課題】多ピン構造の表面実装部品においても、半田フラックス残渣を低減し、低背かつ小型で信頼性の高い実装構造体を提供する。
【解決手段】そこで本発明は、実装領域がパッケージ１１の少なくとも一つの面内にある表面実装部品１０を、実装基板としてのプリント配線基板２０に実装した実装構造体であって、パッケージ１１と実装基板の少なくとも一方が、前記パッケージと前記基板との相対向する領域内に、絶縁性の印刷パターン１３を有する。 （もっと読む）

【課題】運転状態でも真空度低下検出が可能であるとともに、リアルタイムに真空度低下検出および警報出力が可能なタンク形真空遮断器を提供する。
【解決手段】大地電位とされた外部タンク１０内に真空インタラプタ２０が収納されたかつ真空インタラプタ２０の固定電極２２ａ側の端を覆う固定側シールド３０ａを備えたタンク形真空遮断器１であって、真空インタラプタ２０のセラミック筺体２１の固定電極２２ａ側の端を密封する固定側金属栓２３ａの外面に取り付けられたかつセラミック筺体２１内の真空度が低下すると固定側シールド３０ａから先端が突出して外部タンク１０との間に放電を発生させる針状電極４１を備えた真空度低下検出装置４０と、真空遮断器１に取り付けられたかつ外部タンク１０と針状電極４１との間に発生した放電を検出するための放電検出アンテナ５１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】負圧検出手段の異常を簡易な構成で検出することが可能な負圧システムを提供する。
【解決手段】負圧システム２４では、アクチュエータ１２の駆動によって負圧を発生する負圧ポンプ６０と、負圧ポンプ６０と接続され、ブレーキペダル１８への操作入力を倍力する負圧式倍力装置２０と、負圧式倍力装置２０の負圧室２００に接続され、負圧室２００の圧力を検出する圧力検出手段４０と、アクチュエータ１２の作動時間又は作動状態及び圧力検出手段４０の検出値に基づいて圧力検出手段４０の異常を判定する異常判定手段２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】センサチップの支持強度を高めるとともにセンサチップへのノイズの影響を抑制し得る圧力センサを提供する。
【解決手段】各歪みゲージ抵抗４５ａ〜４５ｄが形成される第１のシリコン基板４１における第１の板面５１の面方位が（１１０）面であり、当該各歪みゲージ抵抗４５ａ〜４５ｄはその長手方向が＜１１０＞結晶軸方向に沿うように配置されている。そして、第２のシリコン基板４２における第２の板面５２には、＜１１０＞結晶軸方向に沿うセンサチップ側溝５２ａが所定の間隔にて複数形成されている。 （もっと読む）

【課題】低コストのマイクロ電気機械システムセンサを提供する。
【解決手段】マイクロ電気機械システムセンサ２０は、基板２１、基板２１に位置するマイクロ電気機械システム部品エリア２７、薄膜層２９、接着層２２、および、複数のＳｉ貫通電極２６を備える。基板２１は、第一表面２１１および第二表面２１２、ならびにマイクロ電気機械システム部品エリア２７を有する。薄膜層２９は、マイクロ電気機械システム部品エリア２７に被さってチャンバを密閉することによって密閉空間を形成する。キャップ２４は、接着層２２によってマイクロ電気機械システム部品エリア２７に固着する。複数のＳｉ貫通電極２６は、第二表面２１２まで伸びるようにマイクロ電気機械システム部品エリア２７に電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】スパークによる接合強度の低下を抑制するとともに、ゲル部材の変形による応力がダイアフラムに作用するのを効果的に抑制することのできる圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力伝達路（３３，４３）におけるゲル部材との接触部分の開口面積は、センサチップ搭載面（３１）側の端部で最小、ダイアフラム（２３）から最も離れた部分で端部の開口面積よりも大きく且つ最大とされ、任意位置の開口面積が、該任意位置よりもダイアフラム（２３）に近い位置の開口面積以上とされている。支持部材（１２）は、第１圧力伝達路（３３）を備え、接着材（５０）を介してセンサチップ搭載面（３１）にセンサチップ（１１）が固定された第１支持部材（３０）を有する。第１圧力伝達路（３３）におけるゲル部材との接触部分の開口面積は、ダイアフラム（２３）から最も離れた部分のほうが、センサチップ搭載面（３１）側の端部よりも大きくされている。 （もっと読む）

【課題】高精度にかつ安価に製造することができる振動式トランスデューサを実現する。
【解決手段】真空室３３内に設けられ基板３１に対して引張の応力が付与され基板面に平行方向より垂直方向の断面厚さが長い断面形状を有し基板に平行に且つ互いに平行に設けられた第１，第２のシリコン単結晶の振動梁３２ａ、３２ｂと、基板面に平行に設けられ第１，第２の振動梁の一端に接続される板状の第１の電極板３４ａと、基板面に平行に設けられ第１，第２の振動梁の間に設けられた第２の電極板３４ｂと、第１，第２の振動梁の両側に第１，第２の振動梁を挟んで且つ第１，第２の振動梁と第１，第２の電極板と共に基板面に平行な一平面状をなす板状の第３，第４の電極板３４ｃ、３４ｄと、振動梁と第２、第３，第４の電極板との対向する側壁部面に設けられ相互の付着を防止する凸凹部３７とを具備した。 （もっと読む）

【課題】温度依存性を小さくできるとともに、製造が容易なピエゾ抵抗体等を提供する。
【解決手段】半導体材料に外力が作用したときの抵抗値の変化を利用するピエゾ抵抗体である。半導体材料として、表面の終端の少なくとも一部が水素終端とされたｐ型半導体特性を持つダイヤモンドを用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成のセンサを提供すること。
【解決手段】平板状に形成された圧電性基板１１と、圧電性基板の一方の面に接合され、圧電性基板との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、圧電性基板及び封止基板のうちの少なくとも一方に形成され、引出し電極を介してＩＤＴに導通された外部接続電極と、圧電性基板の他方の面に接合されたプレート基板６１と、を備え、圧電性基板は、パッケージ１３外部から作用する力学量に応じて変位する変位部を有し、プレート基板には、変位部を露出させる開口部Ｅが形成される。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１の一方の面に接合され、圧電性基板１１との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板１１の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、圧電性基板１１及び封止基板１２のうちの少なくとも一方に形成され、パッケージ１３外部に露出すると共に引出し電極を介してＩＤＴ１６に導通された外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板１１は、他方の面に内側を露出する凹部が形成されると共に、凹部の底面に位置する薄肉部分が、パッケージ外部から作用する力学量に応じて変位する変位部２１であるセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＩＤＴを用いてバースト信号の遅延時間変化より力学量を検地する表面弾性波力学量センサにおける位相誤測定を解決する。
【解決手段】ベース基板１０３と、前記ベース基板１０３の一方の面に接合され、前記ベース基板１０３との間に気密封止されたキャビティを形成する封止基板１０５と、前記ベース基板１０３に接合され、前記キャビティ内に配設された面内圧電等方性を有する圧電性基板１０１と、前記圧電性基板１０１の前記ベース基板１０３に接する面と反対の面上に形成されたＩＤＴ１０７と、を備え、前記ＩＤＴ１０７は、円弧形状に形成されると共に、各電極指が同心円状に形成され、前記封止基板１０７￥５は、前記キャビティ側の面上に突起部１０４を有するとともに、前記突起部１０４の先端は、前記同心円の中心に接触していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フランジを介した外部ケースとの固定に起因するダイアフラムの撓み感度の劣化を抑制し、安定的な物理量が得られる力検出器を提供する。
【解決手段】筒状の外形を有する容器と、前記容器の端面に配置され、力を受けて前記容器の内側または外側に変位するダイアフラム（ダイアフラム４４Ａ）と、力検出部（振動腕６０）と前記力検出部の両端に接続された一対の基部（第１の基部６２、第２の基部６４）とを有し、一方の基部が前記ダイアフラム側に接続され、他方の基部が前記容器側に接続され、前記基部同士を結ぶ線と平行な方向を検出軸とし、前記ダイアフラムの変位により生じた力を検出する力検出素子５８と、前記容器の側面から前記側面の外周側に突出し、前記側面の外周と同心となるフランジ部２２と、を備え、前記フランジ部２２は、前記ダイアフラムが配置された前記端面が前記フランジ部２２から前記フランジ部２２の厚み方向に突出するように配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特定周波数帯の圧力を検出することが可能な圧力検知素子を提供する。
【解決手段】圧力検知素子１は、貫通孔１１から気体を導入して基板表面に形成された流路１２に導き、流路１２を介して圧力を検出する圧力センサ部３０まで気体を導くものである。この圧力検知素子１の圧力センサ部３０は、気体の圧力に応じて変位するダイアフラム１３と、当該ダイアフラム１３の変位により一対の電極３１間の距離が増減する空間部２１と、電極３１間の距離の増減に応じた信号を出力するセンサ部３１とを有している。また、流路１２の長さｌ及び流路径ｄとにより、検出対象となる周波数域が設定されている。 （もっと読む）