【課題】特定周波数帯の圧力を検出することが可能な圧力検知装置を提供する。
【解決手段】圧力検知装置１は、流体の圧力に応じて変位するダイアフラム１１ａを有し、当該ダイアフラム１１ａの変位に基づいて信号を出力する圧力センサ１０と、圧力センサ１０の周囲を覆って空間部２５を形成するパッケージ２０と、を備え、パッケージ２０は、ダイアフラム１１ａの下部に流体を導入する導入孔２３ａと、導入孔２３ａよりも小径とされダイアフラム１１ａの上部に流体を導入する小孔２３ｂとが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出装置用パッケージの圧力の測定範囲を拡げる。
【解決手段】 基部１１および基部１１の上部に位置する枠状部１２を有する絶縁基体１と、枠状部１２の内側であって、基部１１の上面に設けられた第１電極層３と、第１電極層３の上面との間に気密封止された空間を形成するように枠状部１２上に接合された、内面が上方に反っているダイヤフラム２と、ダイヤフラム２の内面であって平面視して第１電極層３と重なる領域に設けられた第２電極層４とを備えている圧力検出装置用パッケージ１０である。撓むことのできる範囲を拡げることが可能になるので、圧力の測定範囲を拡げることができる。 （もっと読む）

【課題】独立した２つの圧力センサを備える差圧センサにおける故障判定と修復を可能とする。
【解決手段】流体が流れる流路の第１及び第２の測定点にそれぞれ配置される第１及び第２の圧力センサと、第１及び第２の圧力センサの各出力から差圧出力を得る差圧計算手段と、第１及び第２の圧力センサと差圧計算手段との間に設けられて各圧力センサの出力を予め定められた補正特性でレベル補正する補正手段と、第１及び第２の圧力センサの正常又は異常を判別する判別データを予め保持するデータ記憶手段と、第１及び第２の圧力センサの補正された各出力及び差圧出力と判別データを比較して各圧力センサの正常又は異常の判別を行う判別手段と、異常と判別されたとき、異常に該当する圧力センサの出力の補正に使用された補正特性を前記補正手段に再設定する補正特性設定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 外部の圧力を感度良く検出することができる圧力センサ用パッケージおよび圧力センサを提供することにある。また、圧力センサ用パッケージの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の圧力センサ用パッケージは、内部空間Ｓを有する絶縁構造体１と、内部空間Ｓの互いに対向する内壁面の上側及び下側のそれぞれに設けられた上側電極６及び下側電極５とを備え、内壁面の上側或いは下側の少なくとも一方が、外部からの圧力が印加された際に可撓する可撓領域を有する圧力センサ用パッケージであって、絶縁構造体１には、内部空間Ｓから絶縁構造体１の外表面まで延びる空隙部７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧力センサの外部の圧力値を測定するにあたって、当該圧力センサの置かれる雰囲気の温度の影響を抑えること。
【解決手段】圧力センサの外部の圧力値に応じて発振周波数が変化するようにその長辺がＡＴカットの水晶基板２０における結晶軸方向のＸ軸に沿うように形成された主水晶振動子１４ａと共に、圧力センサの外部の圧力値によっては発振周波数がほとんど変化しないようにその長辺がＡＴカットの水晶基板２０におけるＸ軸から６０°ずれた方向と平行になるように形成された補助水晶振動子１４ｂを容器１３内に配置して、これら水晶振動子１４ａ、１４ｂにより検出される周波数ｆ_１、ｆ_２の差分を取る。 （もっと読む）

【課題】低コスト化かつ小型化を実現できる静電容量型圧力センサを提供すること。
【解決手段】圧力センサ１は、内部に基準圧室８が形成されたシリコン基板２と、シリコン基板２の一部からなり、基準圧室８を区画するようにシリコン基板２の表層部に形成されたダイヤフラム９と、ダイヤフラム９の周囲を取り囲んでダイヤフラム９をシリコン基板２の他の残余部分１１から分離する分離絶縁層１０とを含んでいる。ダイヤフラム９には、基準圧室８に連通した貫通孔１２が形成されていて、貫通孔１２内には、充填体１４が配置されている。 （もっと読む）

【課題】燃焼室圧力センサがハウジング１２０を有し、該ハウジングによって少なくとも部分的に包囲された内室１２８が設けられ、前記ハウジング１２０内に、圧力を検出するための少なくとも１つの機械電気式の変換エレメント１３４が支持され、前記ハウジング１２０が少なくとも１つのハウジング開口１４２を有し、該ハウジング開口１４２が少なくとも１つのダイヤフラム１１６によってシールされている形式の、内燃機関の燃焼室１１２内の圧力を検出するための燃焼室圧力センサ１１０を改良して、従来技術におけるようなダイヤフラムの圧力レベルに反作用として作用する、不都合な作用を十分に避けることができるような、内燃機関の燃焼室内の圧力を検出するための燃焼室圧力センサを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム１１６が、内室１２８に向かって凸状に湾曲する少なくとも１つの湾曲部１５４を有している。 （もっと読む）

【課題】振動子の長手方向の歪を検出して静圧を測定する振動式絶対圧トランスデューサにおいて測定精度を向上させる。
【解決手段】半導体基板と、両端が半導体基板に固定された振動子と、振動子を励振するための電圧を入力または振動子の周波数に応じた電気信号を取り出すための複数の端子とを備え、半導体基板は、ダイアフラムを有さない振動式絶対圧トランスデューサ。ここで、複数の端子のすべてが、半導体基板上において、振動子の一方の固定端を通り、振動子の長手方向と直交する固定端線よりも外側の領域に配置されていることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】タイヤ空気圧測定装置及びその着脱工具の提供。
【解決手段】このタイヤ空気圧測定装置は、固定シートと入気シートを有し、該入気シートに検出装置が接続され、且つ該固定シートに第１位置決めリングが、該入気シートに第２位置決めリングが設けられ、該着脱工具は外スリーブと該外スリーブに設置された内スリーブを包含し、該外スリーブに該第１位置決めリングを係止する第１位置決め部が設けられ、該内スリーブに該第２位置決めリングを係止する第２位置決め部が設けられ、該外スリーブと該内スリーブを介して該固定シートと該入気シートが駆動されて車輪のエアノズルに固定され、該固定シートと該入気シートが相互に圧接、緊迫し、これによりタイヤ空気圧測定装置が取付け空間が狭いことに影響されず、該着脱工具によりしっかりと任意の車両の車輪のエアノズルに取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】構成の小型化、製造工程の簡略化を達成し得る半導体圧力センサを提供することを課題とする。
【解決手段】半導体基板１３のダイヤフラム部１２に形成された複数のｎ型半導体領域２１と、各ｎ型半導体領域２１のそれぞれに対応してｎ型半導体領域２１内に形成されたピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４と、絶縁体薄膜層２２を介して各ピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４上に形成された導電性のシールド薄膜層２３とを有し、複数のピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４がホイートストンブリッジ回路を構成する半導体圧力センサ１１において、ｎ型半導体領域２１とピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４上に形成されたシールド薄膜層２３とは、ダイヤフラム部１２に形成されたコンタクト部２４によって電気的に接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導管の本体への位置決めを安定化するとともに固定作業を容易にすることができ、更に絞り手段の構造に工夫を凝らすことで小形化された圧力検出器を提供する。
【解決手段】加圧空間（圧力導入空間）１２に配設される脈動圧保護部材を脈動防止板８０として、構造を簡素化し、受け部材２に形成された開口２ｂを通して挿入された導管１１の先端が脈動防止板８０に当接した状態で、導管１１を受け部材２にロウ付け８５によって固着する。導管１１は受け部材２に当接した状態で位置決めされるために、導管１１に切削やリブ形成をする必要がなくなり、導管１１を受け部材２に取り付ける構成が単純化される。また、脈動防止板８０は、導管１１を通じて加圧空間１２との間での流体の流れを小孔で絞る簡単構造であり、脈動防止機能を持たせることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、感度が高く特性の向上した圧力センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】中空孔２２を内側に設けた筒部２３とこの筒部における中空孔の上部を閉塞する平板部２４とからなる容器２１と、この容器における平板部の上面に設けるとともに駆動電極および検出電極を設けた振動子と、前記容器に設けられ、前記振動子における駆動電極に駆動信号を入力し、かつ前記振動子における検出電極からの出力信号を処理する処理回路３５とを備え、前記処理回路により、振動子の固有振動数の変化を検出することにより、中空孔に充填された被検出液体３６の圧力を検出する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】 外来振動に対して圧電体の破損が起こりにくく、耐久性に優れた圧力センサ素子およびこれを備えた圧力センサを提供する。
【解決手段】
本発明は、平板状の電極２と圧電膜３とが積層された圧力センサ素子であって、少なくとも１つの電極が他の電極２２とは異なる形状の電極２１であることを特徴とするものである。これによって、振動波が乱反射されるようになり、外来振動による共振を抑制し、共振による圧電膜の破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】センサチップを圧力媒体から保護するゲル部材に結露した結露水の滞留を防止して検出精度の低下を抑制し得る圧力センサを提供する。
【解決手段】有底筒状に形成されるケース２０の周壁２２は、下壁２３の突出長さＸ１が上壁２４の突出長さＸ２よりも短く形成されるとともに、下壁２３は、底壁２１に近づくほど上壁２４に近づくように傾斜して形成される。そして、ゲル部材６０の第２ゲル６２は、下壁２３の突出端部２３ａに達するまでケース２０内に充填される。 （もっと読む）

【課題】ケース内部に電子回路とアンテナとを収容してもアンテナの送信利得の低下を低減した情報取得装置を提供する。
【解決手段】コイル状アンテナ450のコイル軸ｘ方向端部の開口面周縁位置からコイル軸ｘに対して外側方向に所定角度θをなす仮想面によって囲まれる空間Ｅ以外のケース内部空間に検出・送受信回路を形成する電子部品や導電体などを配置する。角度θは５度以上の角度であり、好ましくは９０度である。アンテナ450の磁流を大きく変化させなければ、上記空間Ｅ内に微小な電子部品や微小導電体を配置しても良い。 （もっと読む）

【課題】静電容量型トランスデューサーの製造コストを抑制しつつ感度を高める。
【解決手段】基板層（１０１）と、基板層に積層された絶縁層（１０２）と、絶縁層に積層されたシリコン層（１０３）とを含むダイを備え、支持部１１ａと、支持部に少なくとも一辺が結合し基板層の主面と垂直である厚さ１μｍ未満のシート状の可撓電極１１ｂと、基板層の主面と平行な方向において可撓電極と対向し基板層の主面と垂直な側面を有する固定電極１０ａ、１０ｂとがシリコン層によって形成され、支持部と固定電極とが絶縁層によって前記基板層に結合され、可撓電極と基板層との間には絶縁層に対応する空隙（Ｇ）が形成されている、ナノシートトランスデューサ。 （もっと読む）

【課題】高精度な圧力検出を可能としつつ、圧電振動素子の面方向に対して手垂直な方向の衝撃に対する耐性が高い圧力センサーを提供する。
【解決手段】受圧方向へ変位する中央部３０と、中央部３０の外周に位置して変位することを抑えられた周縁部３４とを有するダイアフラム２８と、前記中央部の変位方向に沿って検出軸を定めた感圧部としての振動腕４０と振動腕４０を挟持する一対の基部（第１の基部４２と第２の基部４４）とを有し、第１の基部４２を中央部３０における一方の面に固定される感圧素子３８と、ダイアフラム２８の外周側に配置され、感圧素子３８配置側に位置する主面に段差部２７を備えるリング部２２と、感圧素子３８における第２の基部４４をダイアフラム２８における周縁部３４、または段差部２７に接続する支持板本体５０と、支持板本体５０と平行に配置され、感圧素子３８の傾倒を防止するストッパー６０，６４とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】感圧素子の素子面に対し交差する方向から作用する振動・衝撃を抑制する圧力センサーを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の圧力センサー１０は、容器と、前記容器の開口部２２を封止し、受圧部の外側に周縁部を有すると共に力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記周縁部２４ｃに一端３２ａを固定し、他端３２ｂを前記一端３２ａから前記受圧手段の変位方向と平行に延出した複数の支持手段３２と、前記受圧部に固定される第１の基部４０ａを有し、第２の基部４０ｂを前記第１の基部４０ａから前記受圧手段の変位方向と平行に配置した感圧素子４０と、前記感圧素子４０の前記第２の基部４０ｂを固定する第１の接続片３６と、前記第１の接続片３６の両端を前記第１の接続片３６のいずれか一方の主面側に延出させて前記支持手段３２の他端３２ｂと接続する第２の接続片３８を備えた固定板３４と、を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ｇ荷重吸収ショルダーを備えたセンサを提供する。
【解決手段】その中心線から半径方向距離にあるロータ上の対象測定点に配設され、略円筒形状と第１及び第２対向端部２７、２８を有する本体２６と、第１及び第２対向端部２７、２８の一方に連結される検知端部２９であって、第１及び第２対向端部２７、２８の他方は通信システムに連結されている検知端部２９とを含み、検知端部２９は、対象測定点において検出された状態を反映する信号を生成するように構成された検知装置２９９を含み、第１及び第２対向端部２７、２８の少なくとも一方は、重力荷重を吸収するショルダー部分２７７、２８８を画定するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧力を測定するための燃焼エンジン用のピエゾ抵抗圧力測定プラグが開示される。
【解決手段】圧力測定プラグは、プラグボディ（２）と感知構造（４）とを含む。プラグボディは、プラグボディを燃焼エンジンのシリンダーにネジ止めするための外側のネジを有するネジ付きプラグボディ部（２ａ）と、プラグの先端を形成しかつプラグボディと燃焼エンジンとの間に封止を提供するよう構成された封止プラグボディ部（２ｄ）とを含む。プラグボディ部はさらに、ネジ付きプラグボディ部と封止プラグボディ部との間に位置決めされた感知ボディ部（２ｃ）を含む。感知ボディ部は、一体形成でありかつ円筒状ボディ部（２ｃ１）と、移動部（２ｃ２）と、感知構造とを含む。感知構造は、円筒状ボディ部と移動部との間の接続を形成し、かつ移動部が円筒状ボディ部のシリンダー軸（６）に沿って円筒状ボディ部に相対的に移動することを可能にする。 （もっと読む）