【課題】配管に圧力計等の検知機器を容易に取り付けられるようにした接続用アダプタを提供する。
【解決手段】本発明の接続用アダプタ１Ａは、配管５と連通して気体または液体が通る流路形成穴部２０が設けられ、配管５の経路中または末端に取り付けられる本体部２Ａを備え、本体部２Ａに、配管５を通る気体または液体の圧力を検知する圧力計１０が取り付けられる１個または複数個の計器取付穴部２１を一体で備える。接続用アダプタ１Ａは、本体部２Ａの両面に配管取付面２２が設けられ、一方の配管取付面２２から他方の配管取付面２２まで、本体部２Ａを貫通した取付穴２３が設けられて、一方の配管５のフランジ部５０の穴部５１から、本体部２Ａの取付穴２３、他方の配管５のフランジ部５０の穴部５１へボルト３０を通して、本体部２Ａがフランジ部５０の間に固定される。 （もっと読む）

【課題】 センサデバイスに関する装置及び関連する作成方法が提供される。
【解決手段】 センサデバイスは、第１部分に形成された検出装置を有する第１部分及び第２構造を含むセンサ構造を含む。封止構造は、前記センサ構造と前記第２構造との間に挿入され、ここで、封止構造は、センサ構造の第１部分を囲む。封止構造は、第１部分の第１側に固定基準圧力を設け、第１部分の対向側は周囲圧力にさらされる。 （もっと読む）

【課題】中継ターミナル部材と出力側ターミナル部材の、ターミナル平面方向の位置決めを、容易且つ正確に行えるようにする。
【解決手段】出力側ターミナル部材の出力側ターミナルは、短冊状で平行に配置されている。中継ターミナル部材２０は、中継ターミナル２００、２０１として、出力側ターミナルと電気的に接続される円弧状の接続部が同心円状に配置された複数の円弧状中継ターミナル２００と、出力側ターミナル２２１と電気的に接続される中心接続部が円弧状中継ターミナル２００の中心に配置された中心部中継ターミナル２０１とを備えている。中心部中継ターミナル２０１の中心接続部に突起部２０３を設け、出力側ターミナルにおける中心接続部に電気的に接続される部位に孔を設け、突起部２０３を孔に挿入することにより、中継ターミナル部材２０と出力側ターミナル部材のターミナル平面方向の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】圧力検出部の感度を低下させずに、高周波成分による圧力検出部のダメージを抑制できる燃焼圧センサを提供する。
【解決手段】燃焼圧センサ（１０）は、中空筒状のハウジング（１１）、ハウジング（１１）の開口端部（１１ａ）に設けられた受圧用のダイアフラム（１２）、ハウジング（１１）の底部（１１ｂ）外面に固定された圧力検出部（１３）、ハウジング（１１）に収容され、ダイアフラム（１２）に印加される燃焼圧を、底部（１１ｂ）を介して圧力検出部（１３）に伝達する棒状の圧力伝達部材（１４）を備える。圧力伝達部材（１４）は、その表面に第１凸部（１５ａ）及び第１凹部（１５ｂ）の少なくとも一方を有する第１減衰部（１５）を有する。そして、空気より粘性係数の大きい材料からなる粘性部材（１６）が、ハウジング（１１）に収容されるとともに、第１減衰部（１５）の表面とハウジング（１１）の内面（１１ｃ）の両方に接触している。 （もっと読む）

【課題】モールドＩＣおよび中継ターミナル部材と出力側ターミナル部材との回転方向の相対位置が不定であるセンサ装置において、モールドＩＣ等を電気ノイズから保護するための構造を小さい体格で実現する。
【解決手段】モールドＩＣ１６および中継ターミナル部材２０の側面を覆う第１シールド部材５０と、出力側ターミナル部材２２における側面および反ハウジング側端面を覆う第２シールド部材５２とを備え、第１シールド部材５０に対して第２シールド部材５２を第１シールド部材５０の周方向の任意の位置で固定可能にする。これにより、第２シールド部材５２の形状を出力側ターミナル部材２２の外形に合わせたコンパクトな形状にすることができる。 （もっと読む）

【課題】歪抵抗薄膜全体としてのＴＣＲ値を低く抑えることが可能であると共に、温度サイクルに対して、比抵抗ρに代表される電気特性が安定で、かつ優れた高温安定性と高いゲージ率とを実現可能な歪抵抗薄膜および当該歪抵抗薄膜を用いたセンサの提供。
【解決手段】積層膜からなる歪抵抗薄膜１０、２０であって、上記積層膜が、クロム薄膜、酸化クロム薄膜または窒化クロム薄膜からなる第一の薄膜１１、２１と、第一の薄膜１１の両主面のうち第一面１１１または第一面２１１と第二面２１２に積層され、薄膜の膜厚を同一としたときのＴＣＲ値［ｐｐｍ・Ｋ^−１］が第一の薄膜より小さい第二の薄膜１２、２２、２３とを少なくとも一層以上有し、上記積層膜を構成する第二の薄膜１２、２２の一つが上記積層膜の表出面Ｓとして表出している歪抵抗薄膜とする。 （もっと読む）

【課題】検出精度が低下することを抑制することができる力学量センサを提供する。
【解決手段】物理量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部２１が形成されたセンサチップ２０と、センシング部２１を露出させつつセンサチップ２０を片持ち支持する支持部材４０と、を有する力学量センサにおいて、センサチップ２０の平面形状を矩形状において隣接する二つの角の除去により構成される角部２３ａを有する形状とし、センサチップ２０のうち角部２３ａ側の端部を支持部材４０に封止する。 （もっと読む）

【課題】検出器に対して容易に変換器を回転させることができる検出器と変換器の回転構造を提供する。
【解決手段】 検出器と変換器の回転構造において、大径部と小径部からなる断面凸状に形成された検出器と、該検出器の小径部が挿入され、一端が前記検出器の大径部に接触した状態で他端が前記小径部の端部と略面一になる程度に形成され、かつ前記他端側から所定の深さに形成され前記検出器の小径部との間に円筒状の空間を有する変換器と、前記空間に前記小径部を巻き回して配置されたコイルばねと、前記コイルばねを押圧するばね押圧部材を備えると共に、前記検出器の大径部と前記変換器の接触部を噛合い構造とし、前記コイルばねは前記変換器を持ち上げて前記コイルばねを押圧したときに前記噛合いが外れる程度に形成されている。 （もっと読む）

【課題】真空環境において環境を乱さずに圧力値を正確に計測する。
【解決手段】真空装置内の必要な箇所に配置される熱伝導型方式の圧力センサ部２と真空装置外壁に配置される制御部３からなるマイクロ圧力センサである。圧力センサ部２は、底面と円筒状または四角状の枠で形成され空洞部を有する高分子フィルム支持体と、高分子フィルム支持体の枠の上面に、高分子フィルム２１が接着剤で貼られ、高分子フィルム２１の中央部に一つの圧力センサ２２と、圧力センサ２２の周辺に、一つ又は複数の温度センサ２３を備え、各圧力センサ２２と、温度センサ２３はそれぞれ、電極を介して制御部３に接続される。制御部３は圧力センサ２２に、加熱電力を与え一定温度に加熱制御し、温度センサ２３で圧力センサ２２の周りの温度を抵抗変化で計測し、抵抗変化で加熱電力に対応する真空装置内の圧力値を補正することで正確な真空装置内の圧力値を測定する。 （もっと読む）

【課題】センサ手段を最適な固定状態で固定可能にするとともに、センサ手段の緩みを防止し、且つセンサ手段とセンサ取付壁部との間のかじり付きを防止する。
【解決手段】センサ取付構造Ａは、センサ取付壁部１７を貫通し、その中間部に外部から内部に向かって内径が小さくなる縮径部２１を有するセンサ挿入穴２０と、センサ挿入穴２０に外部から挿入されて縮径部２１に当接して軸方向に位置決めされ、その軸心部に形成されたセンサ保持孔３７にセンサ手段１５が固定されるセンサホルダ３０と、センサホルダ３０に続いてセンサ挿入穴２０に螺合されることにより、センサホルダ３０のみを軸方向に押圧してセンサホルダ３０をセンサ挿入穴２０の縮径部２１に圧接させる押圧スリーブ５０とを具備してなることを特徴とする。センサ手段１５はセンサ保持孔３７に最適な締め付けトルクで螺合され、回り止め部材６０によって緩みを防止される。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１の一方の面に接合され、圧電性基板１１との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板１１の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、封止基板１２の圧電性基板１１と接合する面と反対の面に形成され、パッケージ１３外部に露出すると共に引出し電極を介してＩＤＴ１６に導通された外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板１１は、パッケージ１３外部から作用する力学量に応じて変位する変位部を有し、圧電性基板１１には、変位部２１を圧電性基板１１の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられ、パッケージ１３は、封止基板１２の外部接続電極１８を形成した面を回路基板上に表面実装するセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板の一方の面１１ａに接合され、圧電性基板との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、両基板のうちの少なくとも一方に形成され、パッケージ外部に露出すると共に引出し電極を介してＩＤＴに導通された外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板が、パッケージ外部から作用する力学量に応じて変位する変位部２１を有し、圧電性基板には変位部を圧電性基板の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられているセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来技術を改善する装置および方法を提供することである。
【解決手段】半導体本体（８０）の上側の面で垂直ベクトル方向に、プラスチック部材（３０）が開口部（２０）の外の領域では壁（１１０）よりも大きな高さを有し、壁（１１０）の基面と半導体本体（８０）の上側との間に固定層（１０５）が形成されており、壁（１１０）は開口部（２０）内に形成されたセンサ面から離間している。 （もっと読む）

【課題】特に複数の感圧素子の一方が他方の圧力変化に影響されることがない流速センサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の流速センサー１０は、筐体の収容空間の第１の開口部を封止する第１のダイアフラム２０ａと、収容空間の第２の開口部を封止する第２のダイアフラム２０ｂと、感圧部と一対の基部を有して一対の基部を結ぶ方向を検出軸とする感圧素子４０と、を有し、感圧素子４０は、一対の基部を前記ダイアフラムの支持部に接続し、検出軸はダイアフラムの受圧面に平行であり、第１のダイアフラム２０ａは、流体の流れる方向に向けた動圧導入口から導入された圧力を受圧し、第２のダイアフラム２０ｂは、流体の流れる方向とほぼ直交した方向に向けた静圧導入口から導入された圧力を受圧し、第１及び第２のダイアフラム２０ａ，２０ｂの受圧面側に断熱部６０が設けられたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１の一方の面に接合され、圧電性基板１１との間に気密封止されたキャビティＣを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板１１の一方の面に形成され、圧電性基板１１と前記封止基板１２との接合部及びキャビティＣ内に配設されたＩＤＴ１６と、封止基板１２又は圧電性基板１１を厚み方向に貫通すると共にＩＤＴ１６に導通する貫通電極３３と、圧電性基板１１及び封止基板１２のうちの少なくとも一方に形成され、貫通電極３３に導通する外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板１１は、パッケージ外部から作用する力学量に応じて変位する変位部２１を有し、圧電性基板１１には、変位部２１を圧電性基板１１の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられているセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来構造を大きく変更することなく、導管のノイズを低減させる圧力測定構造を提供する。
【解決手段】ガスタービンの燃焼器１の内筒２に設けられ、内筒２を貫通するボス５と、貫通部５に挿入され、燃焼器１の外筒の外側まで導く導管６とを有し、導管６の外側の端部に取り付けられた圧力センサを用いて、燃焼器１の内部の圧力を測定する圧力測定構造において、ボス５の開口部分に多孔質の貫通金具７を設けた。 （もっと読む）

【課題】車輪の周方向における位置を適切に判定することができ、しかも製造コストや消費電力を抑制することができるようにする。
【解決手段】タイヤセンサユニット３は、タイヤの状態を検出するタイヤ状態検出部と、タイヤ状態データ信号を無線送信する送信部１６と、重力加速度に応じた検出信号を発生する加速度センサ１３と、加速度センサ１３の検出信号に基づいて、車輪の周方向におけるタイヤセンサユニットの位置を判定するセンサユニットコントローラ１４と、を備えている。センサユニットコントローラ１４は、所定の読み取り時間間隔で加速度センサ１３の検出信号を読み取るとともに、車輪１回転当たりにおける検出信号の読み取り回数が一定値となるよう、車輪の回転速度に応じて読み取り時間間隔を変更する。 （もっと読む）

【課題】リフロー等の高温処理による圧力検出値のドリフトが生じるのを低減する力検出器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧力センサー１の枠部１０８とダイアフラム層２０とは第１接合材４０で接合され、感圧素子層１０の一対の基部１６ｂと一対の支持部２１０とは、第１接合材４０の融点よりも高い融点を有する第２接合材５０で接合されている。 （もっと読む）

【課題】高精度にかつ安価に製造することができる振動式トランスデューサを実現する。
【解決手段】シリコン単結晶の基板に設けられた振動梁と、振動梁の周辺に隙間が維持されるように振動梁を囲み基板と共に真空室を構成するシリコン材よりなるシェルと、振動梁を励振する励振手段と、振動梁の振動を検出する振動検出手段とを具備する振動式トランスデューサにおいて、真空室内に設けられ基板に対して引張の応力が付与され基板面に平行方向より垂直方向の断面厚さが長い断面形状を有するシリコン単結晶の振動梁と、基板面に平行に設けられ振動梁に一端が接続される板状の第１の電極板と、基板面に平行に振動梁に対向して設けられ振動梁と第１の電極板と共に基板面に平行な一平面状をなす板状の第２電極板と、振動梁と第２の電極板との対向する側壁部面に設けられ相互の付着を防止する凸凹部と、を具備したことを特徴とする振動式トランスデューサ。 （もっと読む）

【課題】 枠体内外部にダイヤフラム、コア、コイル、及びコンデンサなどを備え、コイルとコンデンサで発振回路を形成し発振周波数の変化で水位を検出する水位センサにおいて、一定水位での発振周波数の変化量の大小は水位の検出精度に影響する。コイルを高くしコアの移動量を増やして変化量を大きくする方法があるが、全体の大きさ、価格などで難があり当面の課題になっている。
【解決手段】 ダイヤフラムの受圧面は剛性が必要で、多くは樹脂製ベースを当て補強している。この樹脂製ベースを板状の磁性体（ＳＵＳ４３０など）にすることで、剛性が確保でき、更にコイルの抵抗変化が大きくなり、発振周波数の変化量も大きくできる。 （もっと読む）