【課題】溶接後の受圧面に及ぶ残留応力を抑制し、経年劣化を改善した圧力センサー用のダイアフラム、およびこれを搭載した圧力センサーを提供する。
【解決手段】外面が外部圧力を受けて変形し、内面がハウジング１２内部の感圧素子３８に力を伝達する中央部（ダイアフラム本体）４０と、前記中央部（ダイアフラム本体）４０の外側であって、ハウジング１２に形成された口金２２の外周と溶接される周縁部（フランジ）４４と、を一体として同心円状に有し、前記口金２２を封止する圧力センサー１０用のダイアフラム３２であって、前記中央部（ダイアフラム本体）４０と前記周縁部（フランジ）４４との間に段差を形成する緩衝部４２を設けてなる。 （もっと読む）

【課題】シール性が損なわれることが抑制されたシール構造を提供する。
【解決手段】第１部材と第２部材とが組み付けられ、第１部材と第２部材との対向部位間がシール部材によってシールされたシール構造であって、第１部材と第２部材とが互いに近接する磁力を発生する磁性部材を有し、第１部材と第２部材との対向部位間は、磁力によってシール部材が圧縮された状態で、離間している。 （もっと読む）

【課題】流量検出装置と圧力検出装置を一体設置しても流れによる動圧影響を極力受けないように構成し、汚損物質や水滴などが圧力検出部に到達しないようにする。
【解決手段】吸気管を構成する吸気管構成部材に設けられたセンサ挿入口に挿入し、前記吸気管に固定される流量測定装置と前記流量測定装置のハウジング部材に圧力を計測するための圧力検出装置が搭載され、前記圧力検出装置と吸気管の内部とを前記ハウジング部材に設けられた圧力導入孔によって連通させたセンサの構造において、前記圧力導入孔の開口部がハウジング部材の側面に設けられており、前記開口部の断面積は、前記圧力導入口の断面性よりも大きいことを特徴とするセンサの構造。 （もっと読む）

【課題】 複雑な圧力伝達機構を用いる必要がなく、簡単な構造のセンサを用いて感度よく測定することができる水圧測定装置を提供する。
【解決手段】 光ファイバ１０の片側に光源１１、他方側に光検出部１２とを備え、光ファイバ１０の中間領域に水圧を検出する水圧センサ部１３が設けられ、水圧センサ部１３は、光ファイバで形成される感圧部１０ａと、周期の溝面が形成され、溝面を感圧部の光ファイバに対し軸方向に沿って当接させる棒状の溝付き部材１５と、感圧部１０ａが溝付き部材１５の溝面に圧接されるように固定するファイバ圧接部材１６とからなる光透過型のＬＰＦＧにより構成されるようにすることで、ＬＰＦＧによる特定波長の減衰量を水圧に応じて変化させる。 （もっと読む）

【課題】複数の設備機器に対応し、施工前に設備機器が正常に動作する給水圧力であるか否かを容易に確認することができる水圧測定装置を提供する。
【解決手段】水圧測定装置は、水洗式便器、水栓等の設備機器に接続する給水管の吐水部の給水圧力を測定する。流動圧を測定する測定部と、この測定部で測定した水圧を表示する表示部とを備え、この表示部は、接続する設備機器の種類によって夫々の設備機器が有する給水時の圧力損失の影響を反映して、その設備機器が正常に動作する範囲の最低流動圧を示す第１目盛Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３を夫々の設備機器に応じて表示している。 （もっと読む）

【課題】温度上昇によって抵抗値が大きく低下することのない圧力センサ素子を提供すること。
【解決手段】圧力センサ素子は、上面と下面とを有する圧電素子と、前記上面と前記下面との少なくとも一方を少なくとも部分的に覆う高抵抗材料膜とを備えており、高抵抗材料膜の電気抵抗値は圧電素子の電気抵抗値よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】センサチップへの応力の伝達を防止し得るセンサチップの取付構造を提供する。
【解決手段】センサ１０は、主に、センサチップ２０と、このセンサチップ２０を取り付けるための部材である被取付部材３０と、センサチップ２０および被取付部材３０との間に介在する磁性流体４０等から構成されている。センサチップ２０は、受圧面２１が形成される面とは反対側の面である磁性流体側面２３にて、磁性流体４０の表面張力により当該磁性流体４０に保持されて固定されている。磁性流体４０は、被取付部材３０の永久磁石３３により当該被取付部材３０のチップ側面３１に磁気吸着により固定されている。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の発振周波数に基づいて周囲の圧力を検出する圧力センサーにおいて、圧力センサー間で感度のばらつきを抑えることである。
【解決手段】気密容器の一部を構成するためのダイヤフラムに、圧電振動子を、当該ダイヤフラムの撓みに応じて応力が発生すると共に当該ダイヤフラムに隙間が介在するように固定する工程と、前記ダイヤフラムを容器形成部材に固定して、内部に前記圧電振動子が収納された気密容器を形成する工程と、前記気密容器の形成後に、ダイヤフラムに加わる圧力に対する圧電振動子の発振周波数を調整するために、ダイヤフラムの表面に樹脂からなり、当該ダイヤフラムと共に撓む薄膜を形成する工程と、を備えるように圧力センサーを製造する。これによって、圧力センサー間の感度のばらつきを抑えることができ、さらに圧力センサーの強度も向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】コストを増大することなく導入管の形状を容易に変更することができる圧力センサを提供する。
【解決手段】薄膜のダイアフラム部１ａ及び該ダイアフラム部１ａの圧力による撓みを検出する検出素子が形成されたセンサチップ１と、センサチップ１を収納する一面を開口した略箱形のボディ１１並びにボディ１１に取り付けられて被圧力検出流体をボディ１１内部に導入する導入口１２ａを有する導入管１２から成るパッケージ１０とを備え、導入管１２には、その一端部の周方向に沿って外側に向けて突出する鍔部１２ｂが一体に設けられ、該鍔部１２ｂは、円形状に形成され、ボディ１１の上端の外周縁に係止され且つボディ１１の前記開口を塞ぐとともに、封止材６で封止されることでボディ１１に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧力センサ素子の耐久性を向上させることを目的とする。
【解決手段】圧力センサ素子３０は、センサ面３３１および側面３３３を有する板状のシリコン基板３３０と、シリコン基板３３０のセンサ面３３１に接合された第２平面３２２、および側面３３３と略同一平面上に配置された側面３２３を有する板状のガラス基板３２０とを備え、ガラス基板３２０は、更に、第２平面３２２から側面３３３に向かうに従ってセンサ面３３１から離間しながら第２平面３２２と側面３２３とを繋ぐ面取り面３２６を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧力センサ素子の耐久性を向上させることを目的とする。
【解決手段】圧力センサ素子３０は、センサ面３３１を有する板状のシリコン基板３３０と、シリコン基板３３０のセンサ面３３１に接合された第２平面３２２を有する板状のガラス基板３２０と、第２平面３２２に背向するガラス基板３２０の第１平面３２１に陽極接合された金属板３１０を備える。 （もっと読む）

【課題】圧力基準室として気密性の高い密閉空間が形成された圧力センサを提供する。
【解決手段】基板の厚さ方向と直交する面に凹部が形成された支持部と、前記基板の厚さ方向に直交する方向に薄いダイヤフラムであって、端部が前記凹部の側壁および底部と結合し前記凹部を二分しているダイヤフラムと、二分されている前記凹部のうち一方の凹部を前記支持部と前記ダイヤフラムとともに密閉している蓋部であって、前記支持部および前記ダイヤフラムと直接結合している蓋部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電膜の膜剥がれを防ぎ、ショートしにくい高い耐久性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子は、平板状の第１の電極１０と、第１の電極１０の一方主面を被覆するように形成された第１の圧電膜１１と、第１の電極１０の他方主面を被覆するように形成された第２の圧電膜１２と、第１の圧電膜１１または第２の圧電膜１２を介して第１の電極１０と対向するように配置された第２の電極２０とを備え、第１の圧電膜１１が一方主面から両側面を経て他方主面まで回り込んで形成されている。 （もっと読む）

【課題】 耐食性を有しながらも圧力の検出の性能を従来より向上することができる圧力検出装置を提供する。
【解決手段】 圧力検出装置１０は、気体が接触する接ガス面２０ａが形成されて気体の圧力を検出する静電容量型の圧力センサモジュール２０を備えており、圧力センサモジュール２０は、接ガス面２０ａに施されたアモルファス金属の保護膜２５と、保護膜２５に覆われて気体の圧力に応じて変位するシリコンダイヤフラム２２ａとを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧力センサにおいて、ボンディングワイヤが台座押さえに接触する可能性を低減する技術を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサは、軸線方向に延びるハウジングと、圧力検出素子と、台座と、回路部が配置された中間部材と、中間部材の先端側周囲を囲むように配置され、ハウジングに固定された台座押さえであって、台座の面のうち素子載置面とは反対側に位置する台座後端面と当接することで台座の軸線方向についての動きを規制する台座押さえと、ハウジングに収容され、圧力検出素子と回路部とを電気的に接続するための電気配線路と、を備える。また、電気配線路は、ボンディングワイヤを含む。台座押さえには、ボンディングワイヤを受入れるための空間部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】被測定圧の圧力表示を視認可能な圧力計本体に対する首振りや回転が可能な圧力計を提供する。
【解決手段】被測定圧の圧力表示を視認可能な圧力計本体２に対して、被測定圧が内部に導入される筒状の圧力導入部６が圧力導入口２１に挿入されていて回転可能に構成されており、首振りが可能となっている。また、この圧力計本体２に対して、周方向に回転可能な回転蓋１１が回転可能に構成されており、回転蓋１１に取り付けられた基板１０上の液晶表示器１００とともに回転が可能となっている。 （もっと読む）

【課題】スペーサとして従来のビーズを用いた場合と比較して、センサチップの温度特性を改善する。
【解決手段】弾性変形によって熱応力を緩和する高分子接着剤２を介して、センサチップ３が被着体４に接着された力学量センサの製造方法において、被着体４のセンサチップ３との接着予定領域の一部に、接着剤２と同じ材料を硬化させることにより、センサチップ３と被着体４との間隔を保つためのスペーサ１２を形成する。このとき、接着剤２と同じ材料の液滴の状態での塗布と硬化とを複数回繰り返す。そして、スペーサ１２によってセンサチップ３を保持しながら、センサチップ３と被着体４との間の接着剤２を硬化させる。これによると、接着剤２の硬化後においては、スペーサ１２は接着剤２と同じヤング率となるので、温度変化による接着剤の収縮時にセンサチップ３がスペーサから受ける応力を低減でき、センサチップ３の温度特性を改善できる。 （もっと読む）

【課題】 検出対象の初期圧力にかかわりなく、微小な差圧を正確に検出できること。
【解決手段】 高圧変動対象に接続した高圧検出室３６と、低圧変動対象に接続した低圧検出室３７と、これら高圧検出室３６及び低圧検出室３７に隣接し、フラッパー２とノズル１０とを備えた圧力増幅機構とを備え、圧力増幅機構には、ノズル１０に流体を供給する流体供給経路１２と、ノズル１０を通過した流体を排出する排出経路１５とを設け、上記圧力増幅機構で増幅された圧力に基づいて上記高圧検出室３６と低圧検出室３７との差圧を検出する差圧検出装置において、上記圧力増幅機構と区画された基準圧力室２０と、この基準圧力室２０と上記低圧検出室３７とを連通する連通路２４と、上記増幅機構によって増幅された圧力と上記基準圧力室の圧力との差圧を検出する差圧検出手段４、１３、１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】温度特性が安定で、ローコスト化が可能な、圧力センサを実現する。
【解決手段】測定ダイアフラムに歪センサが形成されている圧力センサにおいて、第１の半導体基板の一方の面に形成された測定ダイアフラムと、この測定ダイアフラムの外表面に形成された歪センサと、前記第１の半導体基板の一方の面に前記測定ダイアフラムに対向して設けられた第１の測定室と、前記第１の半導体基板の一方の面に一方の面が接して設けられた第２の半導体基板と、この第２の半導体基板の前記一方の面に前記測定ダイアフラムに対向して前記測定ダイアフラムを挟んで前記第１の測定室と対象形状をなして設けられた第２の測定室と、を具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】第１部材（３）と第２部材（２）とを長尺なフレキシブルプリント基板（１３）により電気的に接続するものにあって、フレキシブルプリント基板（１３）のたるみに起因する不具合を未然に防止する。
【解決手段】ハウジング（２）とコネクタケース部（３）との間を電気的に接続するためのＦＰＣ（１３）の中間部分に、鉄からなるチップ状の吸着部材（１５）を固着する。吸着部材（１５）の重量を、共振防止の観点から予め設定する。ＦＰＣ（１３）の一端側を、圧力検出素子（７）にボンディングワイヤ（１６）により接続し、他端側を、ターミナル（１０）にはんだ付けにより接続する。ＦＰＣ（１３）は、接続作業上、長尺になるため、ハウジング（２）とコネクタケース部（３）との間で中間部にたるみ部分が生ずるが、その中間部分を、収容凹部（９ａ）内に収容する。収容作業は、磁性治具により、吸着部材（１５）を、コネクタケース部（３）の外部から磁気的に吸引することにより行う。 （もっと読む）