【課題】信号ラインとフレームグランド間の寄生容量とそのバラツキを抑えてノイズの減衰を図る共に、高圧・高耐圧特性を備えるセンサユニットを実現する。
【解決手段】所定の厚さをもって対向する第１面および第２面を有するセラミック部材と、
前記第１面側に実装されたセンサ部と、
前記第２面側に固定配置された複数の金属ピンと、
前記セラミック部材を貫通して前記センサ部と前記金属ピンとを接続する複数の内部配線と、
前記第２面側の周端部に形成され、溶接により筐体と結合する金属部材と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 圧力の急激な変化に正しく応答する圧力センサを提供する。
【解決手段】 本発明の圧力センサは、電極層２と圧電体層３とが複数積層され、各電極層２に第１の電極２１および第２の電極２２を備え、隣り合う電極層２の第１の電極２１と第２の電極２２とが圧電体層３を介して対向するように配置され、隣り合う電極層２の第１の電極２１の端部同士が積層方向に重なるとともに第１の電極２１の端部同士が接続部４を介して電気的に接続されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】第１部材と第２部材との機械的な接続強度が向上された構造体を提供する。
【解決手段】第１部材（１０）と第２部材（３０）とが接着固定された構造体。第２部材（３０）には、第１凹部（３２）、第１凹部（３２）の底面から突出した凸部（３３）、第２凹部（３４）が形成され、凸部（３３）と第１凹部（３２）によって構成された環状の溝部（３５）と第２凹部（３４）が連通され、第１部材（１０）が凸部（３３）に搭載され、第１部材（１０）の底面（１２ｄ）が溝部（３５）に貯留された液状の接着剤（５１）に接触した際、表面張力によって第２凹部（３４）に貯留された液状の接着剤（５１）が溝部（３５）に流入し、第１部材（１０）の側面（１２ａ）と第１凹部（３２）の側面（３２ａ）との間に濡れ広がることで、接着剤（５０）が側面（１２ａ）と側面（３２ａ）との間に介在されている。 （もっと読む）

【課題】トリガ機を必要とせず、かつ、位相差の算出のような演算量が多くなる手法によらずに、送信機が右車輪と左車輪のいずれに取り付けられているのかが特定する。
【解決手段】法線方向加速度の時間微分値と接線方向加速度との積の符号が正になるか負になるかによって、送信機が取り付けられたのが右車輪と左車輪のいずれであるかを特定する。このため、トリガ機も必要ないし、短いサンプリング周期で加速度のサンプリングを数多く行う必要もない。したがって、トリガ機を必要とせず、かつ、２軸のＧセンサの検出信号の位相差の算出のような演算量が多くなる手法によらずに、送信機２が右車輪と左車輪のいずれに取り付けられているのかを特定できる。 （もっと読む）

【課題】圧力センサなどのデバイスの製造工程中に空洞内の上下のシリコン面の固着がない半導体基板およびその製造方法を提供する。また、精度良い小型のダイアグラムを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】ＳＯＮ構造１０１のダイアフラム１００を有するシリコン基板１およびその製造方法において、ＳＯＮ構造１０１を構成する空洞２内の下側のシリコン面３に凸状の島４を形成する。半導体基板の表面に深さの異なるホール群を形成し、高温アニール処理することにより一つの大きな空洞を形成する。 （もっと読む）

【課題】支持基板の側面から電位を取出可能としたセンサとその他のセンサとを小型集積化させることのできるＭＥＭＳデバイスを得る。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイスＤは、支持基板２ａの側面２ｅに露出させた貫通電極２２ａ〜２２ｅの断面部を、可動電極４、５および固定電極２０ａ〜２１ｂの電位取出口として利用可能とした加速度センサ（第１のセンサ）Ｓ１と、この加速度センサＳ１に支持基板２ａを介して積層されるセンサ基板１Ａを有した圧力センサ（第２のセンサ）Ｓ２とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来慣用の製造方法を維持しつつ、さらなる小型化の可能性を保証する、圧力測定セルのための接続ユニットを提供する。
【解決手段】圧力測定セルは、少なくとも１つの接続点と、少なくとも１つの回路支持体と、を備える。回路支持体は、電子部品２６との接続点の接続のために、少なくとも１つの外在する導体路４７を有しており、さらに少なくとも１つのコンタクト手段５１を備えている。回路支持体に、コンタクト手段５１を収容するための少なくとも１つの開口６３が設けられている。開口６３が少なくとも部分的に、コンタクト手段５１を導電性接着剤により導体路４７に接続するための導電性接着剤面４９により包囲されている。 （もっと読む）

【課題】１回の成形のみで、ターミナルと電子部品との電気的接続部への水分等の浸入を防止可能なセンサを得る。
【解決手段】ターミナル１と電子部品２とを電気的に接続した後に、電子部品２を樹脂製の保護材４にて覆って第１部品を形成する。次に、第１部品をインサート部品として、ハウジング５をインサート成形する。このとき、電子部品２および保護材４がハウジング５にて封止されるようにハウジング５を成形することにより、ターミナル１と電子部品２との電気的接続部への水分等の浸入を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】センサデバイスと基板との間に発生する寄生容量を従来よりも抑制することができるとともに、センサデバイスと基板との電気的な結合を切り離すことによるセンサデバイスと基板との間の電気絶縁性を従来よりも向上することのできる三次元構造体を提供する。
【解決手段】三次元構造体１００は、第１の基板１と、第１の基板１の一方の面に形成された絶縁体からなる多孔層２と、多孔層２において第１の基板１が形成されている側の面と反対側の面に形成された第２の基板３とを備え、多孔層２における各孔２ａの積層方向に対する断面形状が、正六角形状の孔２ａを複数個並べたハニカム形状を有し、多孔層２の厚さは、１μｍよりも大きくなっている。 （もっと読む）

【課題】センサ上での、接続部およびワイヤボンドパッド等のメタライゼーション層の腐食を防止するためのデバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】デバイスは、メタライゼーション層３００の上に配置される絶縁層４００と、絶縁層４００の上に配置される接着層２００を備え、接着層２００の上に金から構成される耐食性層１００を配置する。これにより、耐食性層１００として金を使用することに対応しながら、従来のシリコン−ガラス接着技術を使用することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を重ね合わせて接合してなる積層構造において、接合材の接合面からのはみ出しを防止す積層体、これを備えた電子デバイス、圧電デバイス、これを備えた圧電モジュール、電子機器及び積層体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサー１は、積層して接合材４０で接合される感圧素子層１０、ダイアフラム層２０、ベース層３０を備え、感圧素子層１０の枠部１０８には溝部１０２ａ，１０２ｂが形成され、ダイアフラム層２０の他方の主面側の枠部２０６には溝部２０８が形成され、ベース層３０の一方の主面側の枠部３０４には溝部３０６が形成されている。溝部２０８は溝部１０２ａと互いに対向しないように位置をずらして配置され、溝部３０６は溝部１０２ｂと互いに対向しないように位置をずらして配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板の両面に配置された引出電極間の短絡を防止して生産の歩留を高めた圧電デバイス、圧電モジュールを提供する。
【解決手段】第１基板１４と、前記第１基板１４に導電性を有する第１の接合層６２Ａを介して積層された圧電振動基板２６と、を積層し、前記圧電振動基板２６は、圧電振動片（振動部３４Ａ、振動部３４Ｂ、第１基部３６、第２基部３８）と、前記圧電振動片の外周を囲むように設けられた枠部２８と、を有し、前記第１基板１４は、前記圧電振動片に対向する主面側に第１の凹部１６を有する圧電デバイス１０であって、前記枠部２８は、前記第１の凹部１６の内壁よりも前記圧電振動片側に突出していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】同一面に極性等の信号の異なるパッド電極を配置した場合であっても、パッド電極間の短絡を防止することを可能とする圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサー１の感圧素子層１００は、一辺を二分するように切り欠くスリット１２６が設けられ、一方の主面側であってスリット１２６により隔離された位置に夫々設けられ、スリット１２６により一対の接続部が分離して配置され、前記一対の接続部は少なくとも一部がダイアフラム層２００よりも外側へ露出しており、一対の接続部の一方の主面側に夫々設けられた互いに信号の異なる第１パッド電極３４、第２パッド電極３６と、前記一対の接続部の一方に設けられ厚さ方向に貫通する貫通孔１３４と、貫通孔１３４の内部に設けられた導通手段１３５とを備え、前記一対の接続部の他方の主面に設けられた引出し電極１０９は、導通手段１３５により引出し電極１０９と極性が同じ第１パッド電極３４とを電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】振動式圧力トランスデューサにおいて、圧力計測範囲を拡大する。
【解決手段】振動子１０１と、振動子を覆うシェル１０２とを備えたシリコン基板１００と、シリコンよりもヤング率の大きい部材で形成され、シリコン基板１０１に接合された補助基板２００とを備えた振動式圧力トランスデューサ。補助基板は、ヤング率の大きい材料の結晶方位が最大となる方向が、前振動子の長さ方向と平行となるように接合し、シリコン基板よりも厚い。 （もっと読む）

【課題】耐圧が向上された差圧・圧力測定装置を実現する。
【解決手段】半導体圧力センサ本体の一方の面に一方の面が接合されこの半導体圧力センサ本体の他の面を隙間を有して覆いモールド材よりなるモールドパッケージとを具備する半導体圧力測定装置において、凹部を有する２個の耐圧性の耐圧カバー部材と、この耐圧カバー部材の前記凹部の開口部が対向配置されこの凹部内に隙間を有して前記モールドパッケージが配置され前記凹部の前記開口部が互いに溶接接合されて形成される耐圧カバーと、前記耐圧カバーに設けられ前記隙間に連通する信号取出し孔と、この信号取出し孔に集中して配置された８個の信号端子と、前記信号取出し孔を介して前記隙間に充填され前記モールドパッケージの前記モールド材よりヤング率の大きな接着材よりなる充填体と、を具備したことを特徴とする差圧・圧力測定装置である。 （もっと読む）

【課題】 簡素な形状でありながらも、複数の第１、第２接続端子１１〜１４、２１〜２４を誤接続することなく、対応した第１、第２接続端子１１〜１４、２１〜２４同士を容易に導通接合することを課題とする。
【解決手段】 センサターミナル導体群は、部分円筒状のセンサターミナル電極部１５〜１８が、センサアッシー回転中心線を中心とする円周方向にセンサターミナル電極数／３６０°の等角度間隔で分割されている。また、センサターミナル電極部１５〜１８は、センサアッシー回転中心線を中心とする同一円周上にセンサターミナル電極数／３６０°の角度間隔で設置されている。また、燃料圧力センサＳおよびセンサターミナル導体群（複数の第１接続端子１１〜１４）は、インジェクタボディに対して、センサターミナル電極数／３６０°以内の精度で組み付けることができる。 （もっと読む）

【課題】１５０℃以上の使用温度でも絶縁特性が良好で、かつノッキングの検出特性に優れたノッキングセンサを提供する。
【解決手段】筒状部１１Ａおよび鍔部１１Ｂを含む主体金具１１、圧電素子１４、鍔部１１Ａとの間に圧電素子１４を挟んで配置されたウエイト１７、圧電素子１４および鍔部１１Ｂの間に配置された鍔部側電極板１３、圧電素子１４およびウエイト１７の間に配置されたウエイト側電極板１５、鍔部１１Ｂおよび鍔部側電極板１３の間に配置された鍔部側絶縁板１２、ウエイト１７およびウエイト側電極板１５の間に配置されたウエイト側絶縁板１７、を有するセンサ本体１０と、センサ本体１０を被覆すする樹脂製の樹脂成形体３０と、を備え、樹脂成形体３０はＰＰＳからなり、鍔部側絶縁板１２およびウエイト側絶縁板１６はエステル結合を含まない樹脂からなり、温度によるセンサ静電容量の変化を抑制し、ノッキング検出の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 耐ノイズ性と簡易構造とを兼ね備えた別体コネクタ構造を実現することを課題とする。
【解決手段】 ピエゾアクチュエータＡの正極側、負極側ピエゾリード線４およびピエゾコネクタＢの正極側、負極側ピエゾターミナル１２と、燃料圧力センサＳの第１〜第４センサリード９およびセンサコネクタＣの第１〜第４センサターミナル２２とが、互いに所定の距離分だけ隔離された位置に設置されている。これにより、ピエゾアクチュエータＡの駆動信号がノイズとしてアナログ圧力信号に重畳し難くなるので、耐ノイズ性の向上を図ることができる。また、複雑な形状の回転位置合わせコネクタを廃止することができるので、第１〜第４センサリード９の各センサ電極２１と第１〜第４センサターミナル２２との電気的な接続構造を簡素化（単純化）できる。 （もっと読む）

【課題】 センサデバイスに関する装置及び関連する作成方法が提供される。
【解決手段】 センサデバイスは、第１部分に形成された検出装置を有する第１部分及び第２構造を含むセンサ構造を含む。封止構造は、前記センサ構造と前記第２構造との間に挿入され、ここで、封止構造は、センサ構造の第１部分を囲む。封止構造は、第１部分の第１側に固定基準圧力を設け、第１部分の対向側は周囲圧力にさらされる。 （もっと読む）

【課題】被測定圧力の変化を検出するダイアフラム構造を備えた圧力センサにおいて、圧力センサのパッケージにリードピンを気密封止するハーメチックシール部に作用する応力を大幅に低減する。
【解決手段】パッケージ１０内部の基準真空室１０Ｂと圧力導入部１０Ａとを隔絶するセンサチップ１０と、一端がセンサチップ１０に接続され他端が挿通孔１３ａを介してパッケージ１０外部に露出しケーブル９０に接続される複数のリードピン４１と、挿通孔１３ａと各リードピン４１との間を気密的に封止するハーメチックシール部４３・６０と、各リードピン４１の他端とケーブル９０との接続部を電磁シールドする電磁シールド部７０と、を備える圧力センサ１０である。電磁シールド部７０は、複数のリードピン４１を導入する複数の導入孔７１ｂが設けられた板状部７１ａを有する。板状部７１ａに応力緩和部を設ける。 （もっと読む）