【課題】プローブの構成に関係なく、先端にかかる負荷を高感度に検出することができる形状測定センサを提供する。
【解決手段】被検物の表面形状を測定するための形状測定センサは、自身の軸方向に摺動可能に支持され、軸方法に摺動することにより被検物の表面形状に追従するプローブ１１と、プローブに向かって流体を供給しつつ、プローブを軸方向に摺動可能に支持する静圧軸受１２と、流体の動態の変化を監視することにより、プローブの先端部にかかる負荷を検出する加速度センサ１６とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エアー放出量を低減して省エネルギー化を図れる産業機械を提供する。
【解決手段】三次元測定機１（産業機械）は、エアーを供給するエアー供給部７と、エアー供給部７から供給されるエアーにより駆動される駆動機構２５と、エアー供給部７から駆動機構２５にエアーを導入するエアーレギュレータセット内に設けられ、エアーレギュレータセット内の空気供給路を開閉する電磁弁と、駆動機構２５が駆動停止してからの時間が予め設定された設定時間になると、電磁弁を制御して、空気供給路を閉塞させるモーションコントローラー３と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】本発明の解決すべき課題は、真円度測定機の機構を用い、被検球体の真球度、形状を効率よく測定することにある。
【解決手段】
回転テーブル１４と、
該回転テーブル１４と平行な赤道面上での被検球体輪郭を、回転テーブル１４の回転に伴い測定するプローブ２２と、
前記回転テーブル１４上に載置され、被検球体３０を保持する被検球体保持手段２４と、を備え、
前記被検球体保持手段２４は、被検球体３０の中心を前記回転テーブル１４の回転軸上に位置させ、かつ該被検球体３０を前記回転テーブル面に対して、正弦が１／√３となる角度を中心として±５度の範囲で傾けた傾斜軸線上で回転可能に保持することを特徴とする球体形状測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】より高精度、より簡便に構成可能な三次元座標測定機ゲージを提供するとともに、当該三次元座標測定機ゲージを用いた精度評価方法を提供する。
【解決手段】 基板３の表面に固定された第１の球体４及び第２の球体５と、前記基板３の表面から突出して設けられた第１の柱７上に固定された第３の球体６と、を備えることにより三次元座標測定機を精度評価するための三次元座標測定機ゲージ１を構成する。 （もっと読む）

【課題】管路の周方向の任意の位置において内径の測定を行うことのできる、管路の内径測定装置、及び、内径測定方法を提供すること。
【解決手段】内径測定装置１は、装置本体１０と、この装置本体１０に回転自在に設けられ、管路の径方向に移動可能な測定子３１を有する測定ユニット１１と、測定ユニット１１の回転中心を管路の中心軸線ＣＬ上に位置させるセンタリング機構１２と、測定ユニット１１を管路の周方向に沿って回転させるモータ１４とを備えている。そして、測定ユニット１１を装置本体１０に対して管路の周方向に沿って回転させることにより、管路の内面の測定子３１が当接する位置を周方向に変更し、管路内面の周方向複数位置について内径をそれぞれ測定する。 （もっと読む）

【課題】ロータリーカップリングによって下ハウジングを上ハウジングに対して連続的に回転させることを可能とするプローブヘッドを提供する。
【解決手段】測定プローブ２を支持する連結手首を有し、プローブを２つの回転軸Ａ、Ｂのまわりに回転させるプローブヘッド６であり、ヘッドは装置と接続するための上ハウジング１０と回転可能に接続し、第１モータＭＢによって上ハウジングに関して第１軸Ｂまわりに連続的に回転することができる、下ハウジング１２と測定プローブに回転可能に接続し、第２モータＭＡによって下ハウジングに関して前記第１軸を横切る第２軸Ａまわりに回転することができるキャリジ１４と、第１軸まわりの連続的な回転を可能として少なくとも第２モータのための電力経路ａを提供するロータリーカップリング９０と、を具えた。 （もっと読む）

【課題】座標読取値の信頼性の向上、およびラッチ処理の高速化を実現可能な測定装置を提供する。
【解決手段】三次元測定機（測定装置）は、被測定対象物に対して接触可能な測定子２１１、および測定子２１１の被測定対象物への接触を検出してタッチ信号を出力する接触検出センサー２１２を有するプローブ２１と、プローブ２１を互いに直交する３軸方向に沿って移動させる移動機構２２と、プローブ２１の位置座標を検出して座標検出信号を出力するスケールセンサー２５Ｘ，２５Ｙ，２５Ｚと、タッチ信号をカウントするタッチカウンタ２８１、および座標検出信号をカウントするスケールカウンタ２８２が組み込まれた集積回路２８を有する制御回路基板２６と、タッチカウンタの値、およびスケールカウンタの値を同タイミングでラッチするラッチ制御部２９と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】熱膨張によるラムのＺ軸シフト量を高精度に算出可能な産業機械を提供する。
【解決手段】三次元測定機１（産業機械）は、Ｚ軸に沿うコラム２２１およびサポータ２２５と、これらの間に設けられたビーム２２２上で移動可能なスライダ２２３と、スライダ２２３にＺ軸方向に移動可能に保持されたラム２２４と、コラム２２１、サポータ２２５、及びラム２２４のそれぞれの温度を検出する温度検出センサー２２６および温度検出部３２と、これらのコラム２２１、サポータ２２５、及びラム２２４の各温度、基準温度におけるこれらの位置関係を示す基準位置データ、及びこれらの熱膨張係数に基づいて、前記Ｚ軸シフト量を算出するシフト量算出部３３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】公知のゲージの欠点を克服した、機械部品の直径および形状誤差を検出するプラグゲージとしての検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、２つ以上の数のフィーラ３６と、前記フィーラ３６の測定方向に沿った相互移動を示す電気信号を生成する位置トランスデューサ３７とを備える検査装置であって、適合システムが前記フィーラ３６のうち少なくとも１つのフィーラ３６と結合され、前記少なくとも１つのフィーラ３６を、前記測定方向と垂直な適合方向に実質的に沿って動かすことができる。 （もっと読む）

【課題】短時間で簡易にレンズ計上を測定することのできる測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 レンズ基板を載置固定するステージと、レンズ基板の表面を検出する変位センサを備え、同一直線上に並んで配列された複数のプローブと、を含むレンズ形状測定装置とする。 （もっと読む）

【課題】 移動機構の揺動を抑えて移動機構を移動させることができ、制御対象物による測定誤差を低減できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、被測定物を載置するテーブル１１と、テーブル１１に対して移動可能な支持部２１３を有し、支持部２１３で支持されて所定の軸方向へ移動可能に設けられ、プローブ１２を所定の軸方向へ移動させる移動機構２と、移動機構２を制御する制御装置と、門型フレーム２１に取り付けられ、移動機構２と制御装置とを接続するケーブルを案内して収納するケーブルベア３とを備えるものであって、ケーブルベア３の重心を通ってＺ軸方向に延びる重心軸線Ｏ−Ｏが、Ｘ軸方向において、支持部２１３の中心を通ってＺ軸方向に延びる支持案内軸Ｐ−Ｐと一致している。 （もっと読む）

【課題】スピンドル内にエアーバランス機構を備えた構成において、外観を損なうことなく、スピンドルの上下動や測定精度にも影響を与えることが少ない三次元測定機を提供。
【解決手段】エアーバランス機構１９を備えた三次元測定機。エアーバランス機構は、Ｚ軸スピンドル１２内に設けられたシリンダ２０と、このシリンダ内に摺動可能に収納されたピストン２９と、このピストンをガイド筒２２等に支持する支持軸２８と、ピストンで区画されたシリンダ内の押上力発生室２０１とを備える。プローブ１３からの配線１３Ａを、シリンダの外面に接触させることなく、スピンドルの内面とシリンダの外面との間を通してスピンドルの外部へ導く誘導路４３がＺ軸スピンドル１２の内部に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 制御装置の機種の増加を抑えることができてコスト増を防止できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、複数の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構２と、移動機構２に接続されて移動機構２を各軸方向に制御する各軸の制御信号を送受信する第１ポート３２１と第２ポート３２２と第３ポート３２３とを有し、移動機構２を制御する制御装置３とを備えるものであって、制御装置３は、各軸の制御信号を生成する制御信号生成部３２４と、各ポート３２１〜３２３で送受信する各軸の制御信号をそれぞれ設定させる設定部３２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】外乱に基づいて不適切な幾何誤差が計測された場合であっても、そのような不適切な幾何誤差に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、きわめて効果的に防止することが可能な幾何誤差の計測方法を提供する。
【解決手段】幾何誤差の計測においては外乱誤差有無確認ステップを実行し、幾何誤差を同定する前に、Ａ軸およびＣ軸を複数の条件で割り出して、ターゲット球１２の直径を計測し、それらの計測値のバラツキを算出し、それらのバラツキが予め設定された直径変動量許容値Ｄａを超えた場合には、計測ミスと判断する。 （もっと読む）

【課題】外骨格および伝達手段を有するＣＭＭアームを提供する
【解決手段】 ベース端及びプローブ端を有する内部ＣＭＭアームと、複数の伝達手段を介して内部ＣＭＭアームを駆動する外骨格とを備える、外骨格を有するＣＭＭアームの装置が提供される。１つ又は複数の接触プローブ、光学プローブ、及び工具が、プローブ端に取り付けられる。外骨格を有するＣＭＭアームは、手動操作可能な実施形態及び自動実施形態で提供される。外骨格を有するＣＭＭアームは、高精度測定のため、又は高精度動作を行うために動作可能である。外骨格を有するＣＭＭアームの動作の方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】被測定物全体が加圧された状況下での変形状態を形状データと分布圧力データとして瞬時に測定する装置を提供する。
【解決手段】ベース４０と、前記ベース４０の上部に取り付けられた面圧シート１０と、前記面圧シート１０の上部に複数取り付けられたプローブピン２０と、複数の前記プローブピン２０を各々覆うように取り付けられた複数のガイド筒３０から構成されており、前記プローブピン２０は下側ピン２２と前記下側ピン２２を覆うように配置されたプローブカップ２４と前記下側ピン２２とプローブカップ２４の間に挟まるように配置された弾性体とから構成されており、前記面圧シート１０と前記下側ピンと２２が接触している。 （もっと読む）

【課題】プローブの運動の履歴に基づく測定誤差を補正することができ、測定精度を向上させることができる形状測定装置の提供。
【解決手段】形状測定装置１は、装置本体２と、装置本体２を制御する制御手段３とを備える。装置本体２は、プローブ４を備え、プローブ４は、被測定物に接触する測定子を先端側に有する棒状のスタイラス４１と、スタイラス４１の基端側を支持する支持機構４２とを備える。支持機構４２は、スタイラス４１の位置を検出するプローブセンサ４２１を備え、スタイラス４１を一定の範囲内で移動可能に支持する。制御手段３は、プローブセンサ４２１にて検出されるスタイラス４１の位置を入力とし、測定子、及び被測定物の接触する位置を出力とする伝達関数に基づいて、測定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】 短時間で容易かつ確実に原点位置の検出ができる産業機械および産業機械の制御方法を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２を移動させる駆動力を発生する駆動モータ３と、スピンドル２の位置を制御するとともに駆動モータ３の回転速度を制御する制御装置４とを備えるものであって、スピンドル２の位置に基づく信号を検出するインクリメンタル型のリニアエンコーダ１１と、駆動モータ３の絶対角度に基づく信号を検出するアブソリュート型のロータリーエンコーダ１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】レール面測定装置の運搬性を高める。
【解決手段】レール面測定装置Ｘは、所定の長さのガイドバー１と、ガイドバー１をスライドしてレールＲの頭頂面８の凹凸を測定する測定器７０と、を備えている。ガイドバー１は、第一ガイドバー部１０及び第二ガイドバー部２０と、第一ガイドバー部１０の長手方向の端面１６ａと第二ガイドバー部２０の長手方向の端面２６ａとが互いに接触し、各ガイドバー部１０，２０が一直線上に並んでいる使用可能状態と、レール幅方向Ｗｒで、各ガイドバー部１０，２０が重なり合っている運搬可能状態との間で、測定器７０の接触子の変位方向Ｈを向いている回転軸を中心として、第一ガイドバー部１０に対して第二ガイドバー部２０を揺動可能に連結するヒンジ３０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】スタイラスの摩耗や欠損に対して、スタイラスの交換時期を適正に知らせることができるスタイラス摩耗検出方法および表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面に周期的に変化する凹凸が形成された標準片の表面に沿ってスタイラスをトレースしながら、そのトレース方向に対して交差する方向のスタイラスの変位を検出し、この変位から標準片の測定曲線を取得する測定曲線取得工程と、測定曲線に対して周波数解析を行う周波数解析工程と、この周波数解析工程で得られた周波数解析結果からスタイラスの摩耗量を演算する摩耗量演算工程と、この摩耗量演算工程で演算された摩耗量を表示する摩耗量表示工程と、を備える。 （もっと読む）