【課題】本発明は、複数枚のウエハの表面粗さの測定を連続で自動的に行うことができ、測定効率を向上させることができる表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のウエハ７０を載置できる回転駆動可能なステージ１０と、
該ステージ上で前記複数のウエハを同心円状に位置決め固定する位置決め手段５０と、
上下方向及び水平方向に直線的に移動可能に支持された接触子２１を、所定の測定位置にあるウエハの表面に接触させて水平方向に直線移動させることにより、該ウエハの表面粗さを測定する表面粗さ測定手段２０と、
測定対象となる測定対象ウエハを前記所定の測定位置に前記ステージを回転させて移動させ、前記表面粗さ測定手段により該測定対象ウエハの表面粗さを測定する一連の動作を前記複数のウエハに対して順次行うように前記ステージ及び前記表面粗さ測定手段を制御する制御手段４０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 架線の偏位を測定する従来技術に係る測定器では、支柱自身の重みにより撓みが生じるため、正確な偏位を測定することができなかった。
【解決手段】 本願発明は、基台上に設けられた支柱及び腕部を有し、レーザー放射部材、的板、および引き手を備え、的板に付された的印がレーザー放射部材に設けられたレーザー放射口の直上を示すことを特徴とする偏位測定器である。本願発明によれば、上端部分が撓んだ状態の支柱を、容易に基台に対して垂直に補正することを可能とし、正確な偏位測定作業を迅速に行なうことができる偏位測定器を提供する。 （もっと読む）

【課題】装置の高コスト化を抑えながら、被検面の形状を高精度に計測することができる技術を提供する。
【解決手段】被検物を保持する保持面を含む保持部と、被検面と被検面の形状を計測するための基準となる基準位置との間の距離を計測する距離計測部と、基準位置が被検面に沿うように距離計測部を駆動する駆動部と、駆動部によって駆動される距離計測部の基準位置を測定する位置測定部と、距離計測部によって計測された被検面と基準位置との間の距離と位置測定部によって測定された基準位置とに基づいて被検面の形状を算出する処理部と、を有し、位置測定部は、距離計測部に配置されて互いに異なる測定軸を有するレーザ干渉計と、レーザ干渉計のそれぞれからの光をそれぞれ反射する基準ミラーとを含み、レーザ干渉計の原点と基準ミラーとの間の距離を測定することで基準位置を測定し、基準ミラーの法線が保持面を含む面に交差するように配置される。 （もっと読む）

【課題】 物品の表面の筋目の存在を容易かつ精度良く判定できるようにする。
【解決手段】 第１工程で、物品の表面の位置に対する高さの関係を示す第１の曲線（粗さ曲線）を相互に平行な複数の測定ラインに沿って測定し、第２工程で、第１の曲線をフーリエ変換することで物品の表面の凹凸の周波数に対する振幅の関係を示す第２の曲線に変換し、第３工程で、複数の第２の曲線のピークの重なり状態に基づいて物品の表面に測定ラインに交差する方向の筋目が存在するか否かを判定するので、複数の測定ラインに沿って第１の曲線を求める始点位置がずれても筋目の存在を確実に判定することができ、しかも第２の曲線のピークの高さから筋目の深さあるいは高さを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】フレア加工寸法測定用治具において、フレア加工により形成されたフレア部の開口端の外径が規定の寸法であるか否かを容易に測定することができるようにする。
【解決手段】フレア加工寸法測定用治具１０は、冷媒銅管１２の筒部１４に嵌り合う筒部嵌合部２４と、筒部嵌合部２４に接続され、冷媒銅管１２のフレア部１６に対応するように形成され、このフレア部１６に面接触するフレア部接触部２８とを有する。フレア部１６に面接触するフレア部接触部２８の表面は、規格のＡ寸法を有するフレア部１６の開口端１８が接触する領域と、そのＡ寸法より小さい寸法を有するフレア部１６の開口端１８が接触する領域とが、目視により識別可能に形成されている。この構成により、冷媒銅管１２のフレア部１６に治具１０を装着するだけで、フレア加工寸法が規定のＡ寸法内であるか否かを、容易に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 接触式プローブによって、垂直に近いような急傾斜面であっても、安定して接触力を制御し、高精度な形状計測を行う。
【解決手段】 接触式プローブを被測定物の表面に沿って移動させることで、被測定物の表面形状を測定する形状測定方法において、プローブに加わる接触力の分力の大きさにより、被測定面の傾斜を推定し、垂直に近い状態であると判断するとプローブ支持手段の移動方向に交差する方向にプローブ支持手段を移動させる。 （もっと読む）

【課題】測定時間の短縮が図れる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗを載置する回転テーブル２０と、被測定物の表面性状に応じた信号を発する検出手段３０と、回転テーブルおよび検出手段を相対移動させる検出器駆動機構４０と、検出手段からの信号を取り込み、この取り込んだ信号を処理して被測定物の形状や表面粗さなどの表面性状を求める処理装置６０とを備える。検出手段は、複数の検出器３１，３２を含んで構成される。処理装置６０は、複数の検出器３１，３２からの信号を順番に取り込んで処理する。 （もっと読む）

【課題】ボールねじナットの内周面の溝形状の検査を容易且つ短時間で行う。
【解決手段】ボールねじナットを回転テーブル２２により回転自在に支持するとともに、その回転角度をロータリエンコーダ２３で測定し、測定子３をＸＹＺテーブル１２により、ＸＹＺ方向に移動自在に支持するとともに、測定子３がボールねじナットの方向に移動するＸ軸方向の変位をリニアゲージ１３により測定し、測定子３が上下に移動するＺ軸方向の変位をダイヤルゲージ１４により測定する。これらセンサの検出信号をもとに、ボールねじナットにおける測定子３の位置座標を演算し、位置座標をもとにボールねじナットの各部の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】電極の整形方法に関わらず、死角を生じることなく電極の先端形状の良否を正確に判別する。
【解決手段】電極Ｗの先端が嵌合する凹部３ａを有する着座部材３と、着座部材３に対して可動に取り付けられ、電極の正規の先端形状に対応した形状の受け面４ａ１を有する受け部材４とを備え、着座部材３の凹部３ａに嵌合した電極Ｗの先端に受け部材４の受け面４ａ１を当接させ、このときの受け部材４の着座部材３に対する相対的な位置に基づいて、電極Ｗの先端形状の良否を判別する。 （もっと読む）

【課題】粘土を不要にして測定精度を高めることができ、測定者によるばらつきを回避できる隙間測定装置を提供する
【解決手段】本体部４と、該本体部４に配設された計測子５とを含み、前記本体部４と計測子５との合算値Ｃにより隙間を測定する隙間測定装置３であって、
前記計測子５は前記合算値Ｃが変化するように前記本体部４に移動可能に配設されている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の位置測定装置、形状測定装置、位置測定方法、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】位置測定装置１０は、支持部材１４と、支持部材１４に上端部が固定され自由状態で垂直配置された光ファイバー１１と、光ファイバー１１の下端部に設けられた探触子１２と、光ファイバー１１の上下方向中間位置にあって光ファイバー１１の撓みを検知する光学振れ検知機構１５と、測定対象物２３を載せてＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に測定対象物２３を移動させるＸＹＺステージ２５と、光学振れ検知機構１５及びＸＹＺステージ２５の制御部２６とを有し、光ファイバー１１は、光ファイバー１１を揺らす振動手段３０を介して支持部材１４に取付けられ、探触子１２がＸＹＺテーブル２５に載った測定対象物２３に当接した場合の光ファイバー１１の撓み量を光学振れ検知機構１５で検知し、測定対象物２３の特定部位の座標を検知する。 （もっと読む）

【課題】零点変動を抑え測定精度を向上したビードコアの内周長測定装置を提供する。
【解決手段】分割面を突き合わせることにより段付き円柱状体となる半割り段付き円柱状の第１、第２の測定台３，４と、前記第１の測定台３を水平に固定する固定台５と、前記第２の測定台４を分割面が互いに突き合わされる基準状態から離間方向に水平移動自在に支持するスライドレール６と、前記第２の測定台４を離間方向に付勢させる付勢手段７と、第２の測定台４の前記基準状態からの移動距離を測定する測定手段８を具える。分割面は、その一部を凹ますことにより残部を凸面部とし、基準状態において前記凸面部同士を互いに突き合わせる。 （もっと読む）

【課題】Ｒ１，０００以上、特にＲ１０，０００以上の大径を有する被測定物のＲ形状を高精度に計測することができ、かつ、持ち運びができるようなＲ形状計測装置並びにＲ形状計測方法及びＲ形状計測プログラムを提供する。
【解決手段】被測定物上の少なくとも３点における座標値を測定する手段と、測定された前記座標値に基づいて、Ｒ形状の中心値（ａ，ｂ）及び半径Ｒを、Ａ＝−２ａ、Ｂ＝−２ｂ、Ｃ＝ａ^２＋ｂ^２−Ｒ^２と置換した場合に、該Ａ、Ｂ及びＣのそれぞれを変数として、円の一般式の残差平方和を示す式を偏微分してなる連立方程式から取得するＲ形状算出手段と、を含む。 （もっと読む）

【課題】円形ワーク等を含む種々のワークの形状を短時間で簡易かつ正確に測定できるワーク寸法測定装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを挟んで両側に位置させられ、ワークＷに向けて一定長の線状レーザ光Ｌを照射する一対のレーザ変位計４Ａ，４Ｂと、これらレーザ変位計４Ａ，４Ｂを互いに対向する方向で離間ないし接近方向へ移動させるスライダ機構２Ａ，２Ｂと、ワークＷに照射された線状レーザ光ＬがワークＷの表面に線像を生じさせた際の移動距離に基づいてワークＷの外形寸法を算出するパソコン６とを備える。ワークＷは円形であり、その外周面に生じる線像は頂点を有する円弧状をなし、パソコン６は上記移動距離と頂点の位置に基づいてワークＷの外径を算出する。 （もっと読む）

【課題】心ずれ量を算出して補正することにより、基準測定物とは異なる直径値の測定物の直径値を正確に算出する。
【解決手段】測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、直径値の異なる複数の基準測定物２６−１、２６−２をそれぞれ測定し、その測定差を検出する手段と、前記測定差に基づいて、前記基準測定物２６−１、２６−２の母線と前記検出器の前記基準測定物に対する検出点とのずれ量である心ずれ量Ｙを算出する手段と、前記算出した心ずれ量Ｙに基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】樹脂基板の厚みを再現性良く測定することが可能な基板厚み測定装置及び基板厚み測定方法を提供する。
【解決手段】樹脂基板１がテーブルに搭載されていない状態で、基準棒１２の先端の平坦面１２ｆをテーブル１１に接触させると共に、接触センサ１３の先端部１３ｔをテーブル１１に接触させて、接触センサ１３とテーブル１１との接触位置を基準値として保持し、樹脂基板１がテーブル１１に搭載された状態で、基準棒１２の先端の平坦面１２ｆを樹脂基板１の上面に接触させると共に、接触センサ１３の先端部１３ｔをテーブル１１に接触させて、接触センサ１３とテーブル１１との接触位置を測定値とし、基準値と測定値との差分から樹脂基板１の厚みを求める。 （もっと読む）

【課題】制御性能を向上させる制御装置、および測定装置を提供する。
【解決手段】駆動制御回路３は、測定子を変位させる駆動機構２５を駆動制御し、駆動機構２５に流れる電流を検出する電流検出センサ２７と、駆動機構２５を駆動させる駆動速度に応じた目標電流を設定する速度制御部３２と、目標電流および電流検出センサ２７により検出された検出電流の電流偏差に、積分ゲインおよび比例ゲインをかけて駆動機構２５に出力する出力電流を設定する電流制御部３３と、を具備し、電流制御部３３は、駆動機構２５の駆動速度に応じて、積分ゲインおよび比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を切り替える。 （もっと読む）

【課題】支持体が支持部の上部側に移動したときに支持体との摩擦力によって振り子運動が停止してしまうことを防止できて、支持体と支持部とがスムーズに相対変位できる変位測定装置を提供する
【解決手段】構造物に固定され凹状の湾曲面が形成された支持部２と、湾曲面に沿って振り子運動可能に支持された支持体３および球体４と、構造物又は支持部２と、支持体３との相対変位量を測定し、構造物の絶対変位量を算出する絶対変位算出部５とを備える。支持体３は、球体４を支持可能な開口部３１ａが形成された支持板部３１と、該支持板部３１に設けられ湾曲面に当接された車輪（移動輪）３２と、を備える。開口部３１ａに球体４を配置したときに、球体４は開口部３１ａ内を移動可能に構成されているとともに、球体４は湾曲面に当接されており、球体４と湾曲面との間の摩擦係数は、移動輪３２と湾曲面との間の摩擦係数よりも小さくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ＪＩＳ Ｂ ７４４０−２に関する三次元座標測定機の寸法検査（目盛校正）の簡易検査と同時にＪＩＳＢ ７４４０−５に関するマルチスタイラスの簡易検査およびそれぞれのスタイラスまたは方向性の相関の評価も行える三次元座標測定機簡易検査用ゲージを提供する。
【解決手段】三次元座標測定機簡易検査用ゲージ１は、基台３と、前記基台３上に設けられる半球状の本体４と、それぞれ一方の端部に保持具６を介して球体７が取り付けられ、もう一方の端部が前記本体４に固定される複数本のシャフト５からなり、該複数本のシャフト５（５−１〜５−９）のうち、１本のシャフト５−９は前記本体の極から鉛直方向に延びるように取り付けられ、残りのシャフト５−１〜５−８は平面視したときに隣のシャフトと一定の角度をなすように且つ斜め上方向に延びるように取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、申し込み用紙、配送伝票などに代表される各種帳票、あるいは帳票の表面にカード類が貼付されたカード付き帳票の厚みを、簡易なシステムで正確に厚み検査を行うことができる厚み検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】 本発明は、搬送ベルト６０の載置面６１に載置され搬送される帳票１０の所定箇所と接触する接触子３２の相対位置を検出する検出手段３０によって得られる相対位置のデータから厚みを測定し、測定結果を判定手段５０で基準となる厚みと比較し、正常品であるか否かを判定することにより、上記の課題を解決した。 （もっと読む）