【課題】測定開始時間を短縮化できるとともに、測定範囲が狭い部位も測定可能な表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】ピックアップ１６を移動させるための駆動装置１８Ａ〜１８Ｃが複数備えられた表面粗さ測定装置１０において、駆動装置１８Ａ〜１８Ｃごとに測定待ち時間が設定される。駆動装置１８Ａ〜１８Ｃの一つがデータ処理部１４に接続されると、接続された駆動装置１８Ａ〜１８Ｃが特定され、その駆動装置１８Ａ〜１８Ｃに設定された測定待ち時間の情報が読み出される。測定時は、ピックアップ１６の移動直後の測定データは使用せず、測定待ち時間の経過後に得られる測定データに基づいて表面粗さの測定が行われる。 （もっと読む）

【課題】微細な孔内の形状測定が行えるとともに屈曲部分の干渉が回避できる接触式プローブおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】接触式プローブ１０は、棒状のステム１１と、ステム１１に対して交叉方向へ延びるチップ１２と、チップ１２とステム１１とで挟まれた部分に形成された切欠き状のピット１３とを有する。ピット１３は、ステムのチップが延びる方向の側面の延長線とチップのステムが接合された面の延長線との交点Ｃよりも深く形成される。 （もっと読む）

【課題】常に高精度な補正パラメータを算出できる三次元測定機を提供する。
【解決手段】三次元測定機を構成する補正パラメータ算出装置１０は、測定子２１１Ａに当接する当接面６１１を有し、当接面６１１に測定子２１１Ａが当接することで測定子２１１Ａの中心を回転中心とする回転変位を拘束することなく測定子２１１Ａの並進変位を拘束する拘束手段６と、駆動機構の動作を制御してプローブを移動させることで、当接面６１１に近接する方向に測定子２１１Ａを移動させる移動制御手段と、プローブの移動量、及び駆動機構の移動量を取得する情報取得手段と、情報取得手段にて取得されたプローブ２１の移動量、及び駆動機構の移動量に基づいて、補正パラメータを算出する補正パラメータ算出手段とを備える。当接面６１１は、測定子２１１Ａが当接した際に測定子２１１Ａと１点で点接触する。 （もっと読む）

【課題】エッチングを行うことなく膜厚を簡易に測定することができる膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置は、基板Ｓ上に形成された膜Ｓ１の膜面の一部を切削して基板面を露出させる切削部１と、露出された基板面と膜面との段差を測定して前記膜の膜厚を測定する測定部とを備えた膜厚測定装置であって、切削部は、膜面を切削する刃２１が設置された刃部２０と、前記刃部２０を移動させる移動手段と、前記刃２１を基板側に押圧する押圧手段とを備え、該押圧手段により刃２１が基板Ｓ側に押圧された状態で該刃部２０を移動させて膜面の一部を切削する。 （もっと読む）

【課題】被測定物を取り付けるための回転テーブルの中心位置に測定子の中心が届かなくても、その被測定物の形状を測定する測定子を、高精度に校正することができる形状測定用測定子の校正方法を提供する。
【解決手段】回転テーブル１１上のワークの形状を測定する測定子２２の校正方法において、校正用の基準円筒３０を、軸間距離Ｌに位置するテーブル回転軸Ｃ周りに旋回可能に設け、測定子２２の半径ｒ、基準円筒３０の半径Ｒ及び旋回角度α_tに基づいて、測定子２２の理論中心位置Ｏ_L，Ｏ_Rを設定し、この理論中心位置Ｏ_L，Ｏ_Rに位置決めした測定子２２と、旋回角度α_tに旋回させた基準円筒３０とが接触する理論接触位置及び実接触位置を求め、これらの間の旋回角度誤差、軸間距離Ｌ、測定子２２の半径ｒ、基準円筒３０の半径Ｒに基づいて求めた位置誤差に応じて、測定子２２を校正する。 （もっと読む）

【課題】接近が制約を受けるような部品群の間の空間を測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】細長部材６０１と、フランジ６０３と、測定システムと、を備えることができる。細長部材の端部は６０２、第１構造６０４の穴６３０を通って移動して、第１構造６０４と第２構造６０５との間に位置する空間６０６に進入するように構成される。フランジ６０３は細長部材６０１から延出する。細長部材６０３は、フランジが第１構造６０４の穴６３０から出た後に突出することにより、フランジ６０３が穴６３０を通り抜けて戻ることができないように構成される。測定システムは、細長部材６０１の端部６０２の移動量を測定して、第１構造６０４と第２構造６０５との間の空間の長さを同定するように構成される。 （もっと読む）

【課題】操作者の負担を増すことなく、最適な条件で精度の良い測定が可能な円形状特性測定方法、装置及びプログラムを提供することが可能となる。
【解決手段】円形状特性測定装置は、円形断面を有する被測定物の円形断面の輪郭形状を測定し測定データを得る形状測定機と、形状測定機で得られた測定データに対して転がり円処理及びフィルタ処理を行って得られた輪郭データに基づいて円形断面の円形状特性を算出する演算処理装置とを有する。演算処理装置は、フィルタ処理のカットオフ値、最小サンプリング点数、及び転がり円処理における円形断面の径と測定子の径の比からなる３つのパラメータのうちの１つを入力する入力装置と、３つのパラメータの関係を記憶し、入力されたパラメータから他の２つのパラメータを決定するパラメータテーブルと、最小サンプリング点数に基づいて測定データを間引き処理する間引き処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】精密なワークでも保持可能なワーク保持装置及びこのワーク保持装置を使用した３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】ワーク保持装置３は、ワークＷを保持する回転ヤトイ３１と、ベース部材３２と、回転昇降機構３３と、を有する。回転昇降機構３３は、支持部３４を上昇させ回転ヤトイ３１の背面３１Ｒと接触させ、この回転ヤトイ３１をベース部材３２から浮かせた状態で回転させる。また、支持部３４を下降させ、回転ヤトイ３１をベース部材３２に着座させた状態でワークＷの測定を行う。 （もっと読む）

【課題】管の端部の歪みを全周に亘って簡単に確認できる検査具を提供すること。
【解決手段】芯出し部材２と、芯出し部材の中心側に回転軸４を介して旋回可能に取り付けた枝部材３とを備えて、芯出し部材２の両端側に回転軸４と平行に突出する掛け部２２，２２’を設け、その各掛け部に、芯出し部材を管Ｐの端部に固定する把持片を芯出し部材の長手方向に進退可能に取り付け、芯出し部材２の両端側と枝部材３の先端側に、回転軸４からの距離を表示する目印を取り付けた。
これにより、検査具１の回転軸４を管の軸心に合わせて、枝部材３を管Ｐの端部に沿って管の軸心周りに真円を描くように旋回させることができるから、枝部材３の先端側に付けた目印の軌跡と管外面との管径方向の距離を確認して、管の全周に亘って管の歪みを確認することができる。 （もっと読む）

【課題】押圧専用バネを廃止することにより、軌道検測装置を移動させるに必要な力（移動搬力）を小さくする。
【解決手段】永久磁石のマグネット押圧力と軌間測定用センサ１１に設けられたセンサ押圧用バネ１１Ｆの反作用（バネ押圧力）を利用して固定アーム３に設けられたサイドローラ７を第１レールＲ１の側面に押圧する。これにより、軌道検測装置１の単純構造化及び軽量化が可能となるともに、押圧専用バネを廃止してバネによる押圧力を小さくすることができるので、移動搬力を小さくすることができる。延いては、移動（退避）時に、大きな衝撃力が軌道検測装置１に作用してしまうことを未然に防止できるので、移動時に軌道検測装置１が損傷してしまうことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】
特に軟らかい試料を針とびがなく、かつ変形が少ない最適の条件で測定できるようにする触針式段差計の針飛び抑制方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の針飛び抑制方法は、試料の段差、探針の走査速度、探針先の曲率半径、探針先の形状、探針を試料に押し付ける力、変位センサを支える支点周りの慣性モーメント、及び支点と探針間の距離のパラメーターで決まる探針の飛びの大きさすなわち飛びの高さ、飛び時間、飛び時間中に進む距離を、前記パラメーターの関数として算出して、飛びが起きない条件を予め求め、前記パラメーターに基く測定条件に応じて探針を試料に押し付ける最小限の力を設定することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良く、かつ、変位雑音が小さい表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法を提供する。
【解決手段】変位センサ２０の磁性体コアに固有雑音の小さい強磁性体のコアを使用し、低雑音の差動トランスとして形成し、低雑音の差動トランスの出力を、低雑音のデジタルロックインアンプで計測し、変位の測定結果からセンサ２０の固有振動に起因する雑音を、低域通過フィルターを用いて移動平均法で除去し、低域通過フィルターの遮断周波数を通常の１５Ｈｚ程度よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】測定開始時間を短縮化するとともに、測定範囲が狭い部位も測定可能とする表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】まず、ピックアップ１６で所定の試験片８０を走査し変位の測定データを取得する。測定はピックアップ１６の移動開始直後から実施する。次に測定により得られた変位の測定データを解析し、測定値が安定し始める点を測定値安定開始点として検出する。次に、ピックアップ１６が測定値安定開始点に到達するまでに要する移動時間を求める。そして、求めた移動時間を測定待ち時間に設定する。 （もっと読む）

【課題】支点上でバランスする探針と変位センサで構成される触針式段差計の感度と変位分解能を向上させる方法及び該方法を実施している表面形状測定用触針式段差計を提供する。
【解決手段】Fを探針に加える力、Ｉを支点回りの慣性モーメント、ｒを支点−探針間の距離、ｚを探針の先端の変位、ｔを時間としたときに成り立つ、探針の先端の運動方程式Ｆ＝Ｉ／ｒ^２ｄ^２ｚ／ｄｔ^２に基づき、探針に加える力に応じて支点−探針間の距離ｒを決め、支点と探針の先端とを結ぶ線を水平より４５度傾け、探針の先端を下げる。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良くて、より実物に近い段差部形状が得られ、かつ、変位雑音が小さい触針式段差計における測定精度の改善方法及び装置を提供する。
【解決手段】変位雑音を小さくするために遮断周波数が１５Ｈｚ程度の低域通過フィルターとして、計算処理で行うデジタルフィルターを用いて計測結果をフィルタリングし、その際の窓関数としてブラックマン窓等を用いる。 （もっと読む）

【課題】変位センサ等に影響を与えずに、蓋部材の着脱を簡単にすることができる触針式表面形状測定器を提供する。
【解決手段】触針式表面形状測定器は、差動トランスを支持する第一支持部材２及び探針１６を支持する第二支持部材１５を収容する収容ケース１を設け、ケース本体１ａと、蓋部材１ｂとから成り、前記ケース本体１ａに、２つの蓋固定用磁石を、それらの磁極が互いに反対向きになるように隣接して配置すると共に、前記蓋部材固定用磁石の側面及び一端面を囲むように強磁性体材料から成る周囲壁を設け、前記蓋部材１ｂにおける、ケース本体１ａに装着した時に前記蓋部材固定用磁石に対面する位置に、強磁性体材料から成る被吸着部を設け、蓋部材１ｂをケース本体１ａに装着した時に、ケース本体１ａの周囲壁と前記蓋部材１ｂの被吸着部とで前記蓋固定用磁石の周囲が囲まれる。 （もっと読む）

【課題】計測結果の確認時に不用意に計測線にさわることなく、不要な警報の発生を抑制することができ、また、どのような設置環境においても計測結果を確認することのできる地表伸縮計測装置を提供する。
【解決手段】杭の移動量をワイヤ２２及び計測線７を介して計測部にて計測する。作業者は、ボタン４，５，６を操作して計測結果を液晶表示部３に表示し確認する。そして、作業者がそれらのグラフ或いは計測値データ等の計測結果を確認する場合には、ボタン４，５，６を操作して、液晶表示部３の表示方向を１８０°回転する。 （もっと読む）

【課題】平面視で直線的な測定経路内に障害部分のある被測定物でも、障害部分に妨げられることなく測定を行えるようにする。
【解決手段】被測定物（Ｂ）の表面（Ｈ）に接触されるスタイラス（３０、３２）を有するスタイラスアーム（２２）を備え、該スタイラスアームを平面視で１つの軸線に沿って駆動することにより、スタイラスが被測定物の表面の凹凸に従って上下動することに基づいて当該被測定物の表面の粗さや形状を測定する輪郭形状測定装置に用いられるスタイラスアーム。このスタイラスアームは、細長いアーム部（１９）と、該アーム部の長さ方向で間隔をあけて設けられ、それぞれ、被測定物の表面に接触可能とされた接触端を有する第１及び第２のスタイラス（３０、３２）とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ上に形成されたエピタキシャル層の層厚測定用試料を簡便に製造できる層厚測定用試料製造装置を提供する。
【解決手段】エピタキシャル層３が形成されたウエハ片１を、そのエピタキシャル層３の一部を残してエピタキシャル層３をエッチングして層厚測定用試料を製造し、エッチング後のウエハ片１上に段差として残ったエピタキシャル層３の層厚を測定するための層厚測定用試料製造装置１０において、ウエハ片１を挟み込む開閉自在の２枚の樹脂板１１，１２と、これら２枚の樹脂板１１，１２の一方に設けられ、ウエハ片１上に形成されたエピタキシャル層３の一部をエッチングから保護すべくエピタキシャル層３の一部と密着するエッチング防止ゴム１３とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】再現性の高い高精度の測定を、短時間で行える生産性に優れたボールねじ軸の累積リード誤差測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】被測定ボールねじ軸Ｗを回転不動に固定する固定支持台１と、前記被測定ボールねじ軸Ｗのねじ溝に当接させるボール接触子５と、ボール接触子５を被測定ボールねじ軸Ｗの軸心Ｌｚに対し直交方向に往復移動させるとともにボール接触子５を所定の押し込み力で前記ねじ溝に当接させるボール接触子スライド手段と、ボール接触子スライド手段を軸心Ｌｚと平行に水平往復移動する位置検出スライド手段と、位置検出スライド手段を前記被測定ボールねじ軸Ｗのねじ部間で往復移動させる位置決め往復スライド手段２と、ボール接触子５の軸心Ｌｚ方向における位置を検出するリード位置測定手段６と、を備える。 （もっと読む）