【課題】
正確に検査を行うことができる検査装置及び検査方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法を提供すること
【解決手段】
本発明にかかる検査装置は、光源１からの光ビームを反射する回転反射面を有し、出射ビームの伝播軸線を時間とともに回転させて光ビームを走査するポリゴンミラー５と、球面凹面鏡８と補正レンズ９を有し、ポリゴンミラー５から出射された出射ビームを光軸に平行で、光軸からの距離が時間と共に変化する光ビームとするコリメータ光学系７と、光ビームの走査方向に沿って設けられ、試料１０で散乱した散乱光を集光するシリンドリカルレンズ２１と、シリンドリカルレンズ２１から出射された散乱光が入射するよう配置されたバンドルファイバ２３と、バンドルファイバ２３から出射した散乱光を検出するＰＭＴ２４とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】膜厚ムラを精度良く検出する。
【解決手段】ムラ検査装置１は、基板９を保持するステージ２、基板９の膜９２が形成された上面９１に向けて線状光を出射する光出射部３、基板９からの反射光を受光する受光部４、基板９と受光部４との間に配置されて光の波長帯を切り替える波長帯切替機構５、ステージ２を移動する移動機構２１、受光した光の強度分布に基づいて膜厚ムラを検査する検査部７を備える。ムラ検査装置１では、波長帯切替機構５により選択光学フィルタ５１ａが変更された場合、各光学フィルタ５１の光学特性による影響や選択波長帯の変更に伴うラインセンサ４１のＣＣＤ感度のばらつきの影響が、補正情報記憶部７６に予め記憶されている選択波長帯（選択された光学条件）に対応する補正情報に基づいて補正された後、膜厚ムラの検査が行われる。その結果、膜厚ムラをより精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】アライメントカメラ（アライメントセンサ）の位置がずれていたとしても、簡単にその位置を校正することができるようにする。
【解決手段】基準スケールの基準パターンにて校正されたアライメントカメラで校正用部材に形成された第１〜第３のマークを撮像する。第１のマークの座標（第１の座標）と第２のマークの座標（第２の座標）から第１の線分を求め、さらに、第１の線分とステージ移動方向と直交する方向（Ｘ方向）とのなす角（第１の角度θ１）を求める。前記第１の座標と第３のマークの座標（第３の座標）から第３の線分を求め、さらに、第３の線分とステージ移動方向（Ｙ方向）とのなす角（第２の角度θ２）を求める。そして、位置ずれ（調整角度φ）＝（第１の角度±θ１）−（第２の角度±θ２）を求め、この調整角度φが許容範囲を超えていれば、調整角度φだけアライメントカメラの位置を校正する。 （もっと読む）

【課題】 貫通穴の鮮明な開口画像を得ることができ、各開口の中心点間の距離を簡便に測定する貫通穴の同心測定方法及び貫通穴の同心測定装置を提供する。
【解決手段】 貫通穴４の内壁面１４に光を当てるように、第１の面６側から光を照射する。検査対象物２の第２の面８側に配置された撮像器２４によって、貫通穴４の第１の面６での開口１０の高さに焦点を合わせ、内壁面１４が第１の面６と接する第１の内壁端部１６を撮像して、第１の開口画像を取得する。貫通穴４の第２の面８での開口１２の高さに焦点を合わせ、内壁面１４が第２の面８と接する第２の内壁端部１８を撮像して、第２の開口画像を取得する。第１の開口画像の第１の中心点のｘｙ座標を示す第１の位置データを生成する。第２の開口画像の第２の中心点のｘｙ座標を示す第２の位置データを生成する。第１及び第２の位置データを比較して、第１及び第２の中心点間の距離を算出する。 （もっと読む）

【課題】大面積の基材に塗布された透明感光性樹脂被膜の塗布ムラを効率的に検出する方法を提供すること。
【解決手段】基材１表面に対し斜め方向から照射光Ｘを照射し、斜め方向に出射する反射光の光路上に凸レンズ２が配置されており、この凸レンズ２の作用によって基材１の像３が結像される。凸レンズ２の光軸２ａは前記基材１の表面の法線１ａに対して傾いており、像３も基材１表面の法線１ａに対し傾いた位置に結像する。そして、この像３をカメラで撮影して画素に対応する領域ごとに反射光強度を測定する。次に、測定された反射光強度から塗布ムラを検出する。 （もっと読む）

【課題】 受光スポット同士が互いに重なるような場合でも、誤差を最小限に留めることが可能な角度測定装置を提供する。
【解決手段】 角度測定装置１０は検出光を出射する投光素子１１、コリメータレンズ１２、ハーフミラー１３、収束レンズ１４、撮像素子１５、制御部１７、設定手段１８を備え、単面測定モードと２面測定モード（多面測定モード）で測定を行うことができる。２面測定モードの際には、撮像素子１５の撮像面１５Ａには２つの受光スポットＳ１、Ｓ２が形成されるが、制御部１７は予め、撮像面１５Ａ上の領域を受光レベルが高い領域（指定領域♯１、♯２）と、それ以外の領域に分けて、受光レベルの高い領域♯１、♯２内の画素に基づいて受光スポットＳ１、Ｓ２の集光中心Ｃ１、Ｃ２の位置を決定する。従って、比較的遠く受光レベルが低い部分、すなわち受光スポットＳ１、Ｓ２が互いに重なる部分を集光中心の算出の対象から排除できる。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、熱圧着の際に生じる電極パッドの圧痕から電子部品の実装状態を検査する電子部品実装状態検査方法において、検査するものの個人差に依存すること無く、自動的に、熱圧着により電子パッド上に装着された電子部品の装着状態を検査することができる検査方法等を提供する。
【解決手段】 本発明に係る電子部品実装状態検査方法の一例では、まず、微分干渉顕微鏡１による透明な実装基板１０を介した電極パッド１０ａの観察像を、電子画像データとして得る。次に、当該得られた電子画像データに対し、特定方向の境界を強調する画像処理を施し、圧痕の強調処理値を求める。その後、予め用意している、圧着の際に印加される加圧力と圧痕の強調処理値との関係に基づいて、前述で求めた、圧痕の強調処理値から、圧着の際に印加された加圧力を求める。 （もっと読む）

【課題】 工作物の軌道に面した面の全体を検査できるようにする。
【解決手段】 建築限界計測装置は、軌道に沿って移動可能な台車を備えている。台車には、上下方向に沿った線状ビーム２４を周波数変調してプラットホームの端面に照射するレーザ光源２２と、三次元カメラ２０とが搭載してある。三次元カメラ２０は、線状ビーム２４の反射光３２を受光する光電変換器４６を有する。また、三次元カメラ２０は、演算制御ユニット８０を有し、演算制御ユニット８０にレーザ光源２２が出射した線状ビーム２４と反射光３２との位相差を求める位相差演算部と、周波数変調した線状ビーム２４の周波数差と、位相差演算部が求めた位相差とに基づいて、軌道の中心とプラットホームの端面の反射部との距離を求める距離演算部と、距離演算部が求めた距離に基づいて端面が建築限界以内にあるか否かを判定する判定部とを有している。 （もっと読む）

【課題】（１）監視領域における侵入物体の存在を正確に検知する。
（２）監視領域（レーザ光照射領域）に侵入物体が存在する場合に確実にレーザ光照射を停止することで、レーザ式積雪深計の信頼性を向上する。
【解決手段】所定の監視領域から放射される赤外線放射量を検出すると共に当該赤外線放射量に応じた赤外線検出信号を出力する赤外線検出手段と、前記赤外線検出信号の時間的変化に基づいて前記監視領域における侵入物体の存在を判定する侵入判定手段とを具備する、という手段を採用する。 （もっと読む）

【課題】被測定物に傷をつけたり、障害物との衝突による測定プローブの破損を防止すること。
【解決手段】測定プローブによる押し込み量の設定が不適切な場合には、位置制御からフォーカス制御に切り換わらない構成とし、また、光検出器１１ａ、１１ｂの検出信号とフォーカス誤差信号のいずれかが設定範囲を超えるとＸ軸方向あるいはＹ軸方向の駆動を停止し、それまでの移動方向と逆方向に設定量駆動するので、被測定物２１に傷をつけたり、測定プローブと障害物等との衝突による測定プローブの破損を防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 高速回転する回転工具の振れが，加工形状精度の劣化を来すため，回転工具の切れ刃稜の振れを高精度に測定可能にし，この振れを補正できるようにする．
【解決手段】 光源モジュールと，回転工具の切れ刃稜の中心と，共焦点をもつ２個のレンズと，撮像素子を，共通する一つの光軸上にこの順に並べ，該レンズの他の２つの焦点のうち，光源モジュール側の焦点には切れ刃稜のボール中心を，もう一方の焦点には撮像素子を，また共焦点にはアンチピンホールフィルタを配置し，撮像素子から得られた電気信号をパソコンに導入して，切れ刃稜のエッジ像の鮮明度を向上させている． （もっと読む）

【課題】計測精度を維持してウエハアライメントのスループット性を向上させた位置計測方法等を提供すること。
【解決手段】Ｚステージ１８をフォーカス方向における第１移動範囲（ラフ計測範囲）内で、複数の計測箇所に移動・停止させて、各計測箇所でアライメントマークＡＭ１、ＡＭ２の撮像信号を取得するラフ計測を行い（Ｓ１０２）、このラフ計測結果から第１移動範囲よりも狭い第２移動範囲（ファイン計測範囲）を絞り込み（Ｓ１０４）、この絞り込んだ第２移動範囲内において、Ｚステージ１８を、ラフ計測時よりも短い間隔の複数の計測箇所に移動・停止させて、各計測箇所でアライメントマークＡＭ１、ＡＭ２の撮像信号を取得するファイン計測を行い（Ｓ１０５）、このファイン計測により最適フォーカス位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】 極低速回転から１００，０００／ｍｉｎ以上の高速回転領域において，回転工具の切れ刃稜の振れをサブミクロン精度で測定可能にすることにある．
【解決手段】 回転工具の切れ刃稜とレンズＢの前側焦点が一致するようにレンズＢを配置し，レンズＢの後側焦点に減光フィルタを配置し，レンズＣの前側焦点をレンズＢの後側焦点と一致させ，レンズＣの後側焦点に撮像素子を配置することにより，該撮像素子より切れ刃稜のフラウンフォファ像または陰影回折像を取得し，回転工具のボール中心位置の算出精度を向上させ，振れを計算している． （もっと読む）

【課題】 移動体としてのステージ自体に歪みが生じていてもステージの位置検出精度を向上させることができる面形状計測方法等を提供する。
【解決手段】 レーザ干渉計１３を用いてウェハステージＷＳＴに設けられた移動鏡１２のＺ軸に対する傾きを計測し、この計測結果に基づいてＺ軸に対する移動鏡１２の傾きが零となるようにウェハステージＷＳＴの姿勢を制御し、多点フォーカス位置検出系２１を用いてこのときのウェハステージＷＳＴの姿勢を計測する。以上の処理を計測対象の移動鏡１２の鏡面に沿ってウェハステージＷＳＴを微小移動させながら繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 左打ちに対応できると共に経済性に優れ、ゴルフの練習機乃至ゲーム機として適したゴルフボール試打機を提供する。
【解決手段】 打席の正面側に設置されショット直後のゴルフボール１０に対して少なくとも２回の撮影操作を行う撮影部２０と、撮影部２０で撮影された画像を処理し、２以上のゴルフボール像の比較からゴルフボールの運動を解析して球道を算出する演算部３０と、演算部３０で算出された球道を２Ｄ表示又は３Ｄ表示する表示部４０とを具備する。撮影部２０は、１台のカメラ２１に複数個の発光手段２２，２３を組み合わせた多重露光方式であり、発光手段２２，２３の発光順序を変更できるように構成されると共に、設置位置を変更できるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 センサ原点のドリフトを抑制する。
【解決手段】 被計測手段のリファレンスの位置を計測手段で定期的に計測して該計測結果を記憶手段に記録データとして記憶し、システムリセットが発生した時に、前記計測手段を初期化し（Ｓ２３）、前記記憶手段に記憶された記録データのうち最新の記録データに基づいて原点オフセットを算出し（Ｓ２５）、被計測手段の位置を前記計測手段で計測し（Ｓ２６）、当該計測結果及び原点オフセットに基づいて定められる位置を位置調整動作の基準となる原点とする。 （もっと読む）

【課題】 撮像画像における対象物体の特徴点の追跡の良否を高精度に判断できる画像処理装置及び画像処理方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 撮像画像における対象物体の特徴点を追跡する画像処理装置１であって、位置関係が分っている複数の撮像手段２，３と、複数の撮像手段２，３で各々撮像した各撮像画像中の対象物体の特徴点を各々追跡する複数の追跡手段１１，１２と、複数の追跡手段１１，１２で各々追跡した対応する各特徴点に基づいて当該特徴点の三次元位置を推定する推定手段１３と、推定手段１３で推定した特徴点の三次元位置間の三次元距離と対応する特徴点の基準三次元位置間の三次元距離に基づいて特徴点の追跡が異常か否かを判断する判断手段１４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】容易に姿勢調整が可能であり、迅速に測定できる非球面偏心測定装置等を提供すること。
【解決手段】非球面レンズ１０１を保持するレンズホルダ１１０と、保持する吸着力を制御する吸着力可変機構１１４と、レンズホルダ１００を回転軸１２０の周りに回転させるモータ１１２等と、その回転角を検出するエンコーダ１１３と、非球面１０２、１０３からの反射光によるスポットの軌跡を検出するスポット軌跡検出部１１５と、非球面１０２、１０３の形状を測定する形状測定部１１７、１１８と、スポット軌跡検出部１１５と形状測定部１１７等とエンコーダ１１３との各検出結果に基づいて、非球面偏心を演算する演算部１１９とを有し、吸着力可変機構１１４は、レンズホルダ１１０上で非球面レンズ１０１の姿勢調整が可能な第１の吸着力と、第１の吸着力よりも大きな第２の吸着力とに制御する。 （もっと読む）

【課題】 侵入検知に伴う検知用光ファイバの損傷の恐れが少なく、長い距離のフェンスでも要する光ファイバ長を低減でき、侵入者を検知し進入箇所を特定できる侵入者検知装置付きフェンス。
【解決手段】 侵入者検知機能付きフェンスを、フェンスの枠体に張られて固定された網と、フェンスの延設方向に亘って延設された光ファイバと、光ファイバの端部に接続された投光受光解析装置とを備え、網は複数の区画毎に枠体を区画の内側に向かって弾性変形させて張られるとともに、光ファイバは、複数の区間に順次配設され少なくともフェンスの上縁側に位置する枠体に沿って取り付けられ、投光受光解析装置は、光ファイバにその一端から投光し、光ファイバにおいて損傷に至らない変形を受けた箇所で発生する散乱光を一端側から受光して光ファイバが変形を受けたことを検出し、且つ、その箇所までの距離を算出するように構成されてなるようにした。 （もっと読む）

【課題】安定的、高精度に撮像、検出可能な周期性パターンムラ検査装置が望まれていた。
【解決手段】光軸に平行な撮像側平行光学系を備え、画像を撮像する手段を具備する撮像部と、検査対象基盤を裁置し、位置の認知と、Ｘ軸およびＹ軸方向に駆動する手段のを具備するＸＹステージと、光軸の上下方向および前記ＸＹステージの左右平行方向及び光軸で回転する上下左右回転駆動部と、概駆動部の先端に固定した光軸に平行な照明側平行光学系の照明をする手段を具備する斜め透過照明と、撮像画像及び透過光源へ偏光フィルター及び反射防止膜を備え、前記撮像部及びＸＹステージ及び透過照明部を管理し、周期性パターンのムラの検査をする検査装置を提供する。 （もっと読む）