【課題】レーザーソースに対して安定した位置にビームスプリッタおよび基準反射器を支持するための、固定具を必要としない光コヒーレント検出器を提供すること
【解決手段】超ルミネッセントダイオード（ＳＬＤ）によって生じるゴースト−コヒーレント反射（２６０）を検出するようになっている検出器（２１０、３１０）である。ゴースト反射（２６０）は、前記ＳＬＤキャビティ（２１３）内での反射の整数倍の回数である、表面（３５０、４５０、５５５）からの反射によって生じる光コヒーレンスに基づいて検出され、よってゴースト反射は光コヒーレント検出器で特徴的な精密分解能の弁別性を有する。好ましい実施形態では、検出器（２１０、３１０）は、内部反射の特定の倍数の回数の、表面からのゴースト反射（２６０）を検出するようになっており、他の倍数の回数のゴースト反射（２６０）は、光学的に減衰される（３３０）か、またはかかる反射が変化しないことが分かれば、較正方法によりキャンセルされる。 （もっと読む）

【課題】トンネル坑口や陸橋下など背景が急激に変化してもパンタグラフを見失わずデータ抜けが生じないパンタグラフ測定装置を提供するにある。
【解決手段】車両１の屋根上に設置したラインセンサ２からパンタグラフ３付近の映像を取得し、この映像を画像処理部６により画像処理して時空画像を生成し、パンタグラフ３の位置と加速度を測定するパンタグラフ測定装置において、パンタグラフ３には、光の反射しやすい領域４ｂと光の反射しにくい領域４ａとが縞模様となったマーカー４をラインセンサ２による走査方向を横切るように設置し、画像処理部６は、時空画像において、縞模様に対応するマーカーパターンを単位時間毎に高さ方向に走査して一致又は一定以上に近似する箇所を探索することにより照合するパターンマッチングを行うことで、昼間でも背景と明確に切り分けができ、また、トンネル坑口など、背景の輝度が急に変化する場合においても連続的にデータを取得することができる。 （もっと読む）

【課題】布帛の検査項目、特に炭素繊維織物における開口率を簡便、かつ、高精度で信頼性高く検査を実施する
【解決手段】照明装置により布帛を照明し、撮像装置によって布帛および照明光を撮像して被検査布帛である炭素繊維布帛を検査する方法であって、少なくとも次の工程を有する欠点の最小サイズから検査条件を設定するキャリブレーション工程被検査布帛の検査面における照度が３０〜４００ｌｘの範囲となる条件で布帛画像を撮像する撮像工程撮像した画像の濃度分布からバイナリ画像に変換する前処理工程バイナリ画像から被検査布帛における開口部、炭素繊維糸条の隙間または端部の形状情報を抽出する抽出工程被検査布帛の形状情報から布帛における開口率、炭素繊維糸条幅、炭素繊維糸条の配列密度、糸条の斜行、弧形または布帛総幅を算出する演算工程算出された被検査布帛の情報が欠点であるか否かを判定する判定工程判定結果を出力装置に出力する出力工程 （もっと読む）

【課題】フォトレジストに対する光計測を用いた測定の精度を改善する方法及びシステムを提供する。
【解決手段】基板上の光学的に調節可能なソフトマスク（ＯＴＳＭ）中に改善された参照用構造体を形成する工程７１０；その改善された参照用構造体を計測装置によって測定することで、参照用データを生成する工程７２０；改善された参照用信号若しくは改善された参照用プロファイル形状若しくは参照用プロファイルパラメータ又はこれらの結合と、改善された波長の組によって特徴付けられる改善されたプロファイルライブラリ内のデータとを比較する工程７３０；及び一致条件が見つかったときには、その一致条件に関連する改善されたプロファイルライブラリデータを用いることによって改善された参照用構造体を特定７４０し、一致条件を見つけることができなかったときには、第１補正作用を適用７５０する工程、を有する。 （もっと読む）

【課題】フォトレジスト対する光計測を用いた測定の精度を改善する方法及びシステムを提供する。
【解決手段】上に材料層を有する基板を供する工程８１０、及びその材料層上にレジスト層を堆積する工程８２０を有して良い。レジスト層は、レクチル及び放射線源を用いて生成されたパターンを有する放射線によって露光されて良い８３０。次に露光されたレジスト層を現像することによって、複数の改善されていない構造体がレジスト層内に形成されて良い８４０。複数の改善されていない構造体は、少なくとも１の改善されていない測定用構造体を有する。それに加えて、複数の改善されていない構造体を改善することによって、複数の改善された構造体がレジスト層内に形成されて良い８５０。少なくとも１の改善された測定用構造体は、少なくとも１の改善されていない測定用構造体を改善することによって生成されて良い。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で被検査物の微小な凹凸や突起等の表面欠陥及び表面の濃度変化を伴う欠陥を識別して検出する。
【解決手段】２つの照明手段２ａ，２ｂから異なる光学特性で略平行なラインビームを被検査物４表面に照射し、２つの撮像手段３ａ，３ｂで照明手段２ａ，２ｂの異なる光学特性の反射光を区別して受光し、撮像手段３ａ，３ｂからの信号の明度変化から、撮像手段３ａ，３ｂの実撮像位置と欠陥検出をするためにあらかじめ設定された撮像条件となる想定撮像位置とのずれ量を演算して、照明手段３ａ，３ｂで投射された被検査物４表面のラインを撮像手段３ａで撮像するときの読み出し間隔が短くて済むとともに、撮像手段３ａ，３ｂの位置ずれ修正を簡単な構成で安価に実現する。 （もっと読む）

【課題】金型成形されるレンズの光学面の偏心を前後それぞれに測定し、それに基づいて成形金型の補正を行う。
【解決手段】成形レンズ１の前後光学レンズ面１０、１１外周の光学面に影響しない前後二つの平面部１２、１３において、レンズ軸と同心の一つまたは複数の筋目１４、１５をそれぞれ加工形成しておき、工具顕微鏡２により拡大投影されたこれらの筋目の回転像からレンズ前後面の偏心度をそれぞれ測定し、成形金型を補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は高精度な測定を行うことのできる測定装置を提供することにある。
【解決手段】測定時において、ワーク２０に対して位置及び姿勢が変化しないように保持された基準部材１２と、該ワーク２０表面を走査しながら、該ワーク２０表面の凹凸に応じて上下方向に変位するスタイラス１４と、該スタイラス１４の特定部位３６の変位を該基準部材１２との比較において測定する変位計１６と、該スタイラス１４を該ワーク２０表面に沿って走査させる走査手段１８と、を備え、該基準部材１２は該走査によっても該ワーク２０に対する位置及び姿勢が変化せず、該スタイラス１４の特定部位３６の上下方向への変位を該基準部材１２を基準にして測定し、該測定されたスタイラス１４の特定部位３６の変位に基づき該ワーク２０の微細な形状を把握することを特徴とする測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】大型の対象物の光沢面の検査に好適なＬＥＤ照明装置を備えた表面検査装置を提供すること。
【解決手段】表面検査装置は、ＬＥＤを使用した照明装置１１、対象物の表面に写り込んだ照明装置１１の発光面を撮影するためのカメラ１２、カメラ１２を任意の位置および方向に移動可能なロボットアーム１０、ロボットアームを予め定められた経路に従って移動させ、カメラによる撮影の指示を繰り返すシーケンサ、カメラにより撮影された画像を取り込み、傷を検出して位置を表示するするコントローラを備える。照明にＬＥＤを使用することにより、発光面の面積が広く、広い面積に渡ってむらが少なく均一で、余分な拡散光が少ない照明が可能となるので、検出精度が向上すると共に検査時間が短縮できる。 （もっと読む）

【課題】必要スペースが小さく且つ高い感度を実現し得る物体の角度変化の光学的測定方法及び測定装置、並びに物体の変位の光学的測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】被検査物体Ｓに光を照射し、その鏡面反射光を画像センサ１２で受光するにあたり、受光素子の配列ピッチより大きいピッチの格子１３を画像センサ１２の前方に配置し、格子１３による格子状パターンを画像センサ上に形成し、被検査物体の角度変化の前後における該格子状パターンの移動量を該パターン上の複数の点によって検出し、該検出値を式 θ＝ｕ／（２ｔ） ［ｔ：格子から画像センサまでの距離、ｕ：画像センサの検出面での格子状パターン上の点の移動量、θ：被検査物体の角度変化］ に適用して最小二乗法により角度変化を求める光学的角度測定方法、及びその測定装置、並びに、同様の原理に基づく光学的変位測定方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】 計測誤差を迅速かつ正確に把握することができる面位置検出装置を提供する。
【解決手段】 光を被検面Ｗへ導く送光光学系ＳＬと、前記光を受光面へ導く受光光学系ＲＬと、前記受光面に配置された検出手段３８と、前記被検面Ｗへ導かれる前記光を測定光と参照光とに視野分割する分割手段４と、前記被検面Ｗを介して前記受光光学系ＲＬへ向かう前記測定光と、前記被検面Ｗを介することなく前記受光光学系ＲＬに向かう前記参照光を視野合成する合成手段５とを備え、前記検出手段３８は、前記受光面において、前記参照光と前記測定光を独立に検出する。 （もっと読む）

【課題】投影板を用いずにキャリブレーションを実行可能として、キャリブレーションの実行を容易とすることができるキャリブレーション装置を提供すること。
【解決手段】投光装置１，１のパターン光照射方向を移動させる第１駆動機構２１，２１と、カメラ２の撮像方向を移動させる第２駆動機構２２と、両駆動機構２１，２２を作動させるコントロールユニットＣＵ、を備えたキャリブレーション装置であって、コントロールユニットＣＵが、ピッチング検出時に、カメラ２が撮像する画像上のスリット光の水平方向の移動速度と、その画像上の位置とに基づいて、カメラ２の左右方向の位置を調節するようにした。 （もっと読む）

【課題】ｐおよびｓ偏光ビーム両方の測定にかかる時間を短縮する。
【解決手段】基板Ｗの特性を求めるために、基板Ｗから回折した後、２本の直交的に偏光したビームの同時測定を実行する。直交する方向に偏光された放射を有する直線偏光光源Ｐ、Ｓは、一方が他方に対して９０°回転した２つの非偏光ビームスプリッタを介して渡される。次に、組み合わせたビームは、基板Ｗで回折してから、非偏光ビームスプリッタを通して戻され、移相器およびウォラストンプリズム５０を通過してから、ＣＣＤカメラＣＣＤで測定される。この方法で、２つの偏光ビームの様々な位相段階で、位相および強度をこれによって測定することができ、ビームの偏光状態を求めることができる。移相器をゼロに変更する（つまり位相シフトがない）と、基板の回折格子は、そのパラメータが、同じ検出器システムでＴＥおよびＴＭ偏光で同時に測定される。 （もっと読む）

【課題】画像相関変位計で測定位置の特定を容易とする。
【解決手段】コヒーレント光の照明手段（レーザ２０、半導体レーザ５２）を備え、コヒーレント光の照明により得られるスペックル画像の相関から、測定対象の面内変位を測定する画像相関変位計において、非コヒーレント光の照明手段（白色光源４０、ＬＥＤ光源５０）を備えて、物体画像も得られるようにする。ここで、前記コヒーレント光の照明と非コヒーレント光の照明を同期して切り替えるようにすることができる。又、前記コヒーレント光の照明による動作と非コヒーレント光の照明による動作を含む動作モードを選択可能とすることができる。更に、前記物体画像を相関処理して、測定対象の位置を特定する手段（パターンマッチング回路５８）を備えることができる。 （もっと読む）

【課題】装着時において操作者に圧迫感や不快感を与えることなく、操作者の意図を高精度に反映した操作を実現する。
【解決手段】操作信号出力装置１００は、ＬＥＤ１０１〜１０４から発光された照射光を操作者Ｍの人体の一部に照射するように、人体に装着するリング本体１０５と、人体の一部に照射され、照射部位における散乱光あるいは透過光を受光する複数の受光素子１０６ａ〜ｄ，１０７ａ〜ｄ，１０８ａ〜ｄ，１０９ａ〜ｄを有し、これら複数の受光素子１０６ａ〜ｄ，１０７ａ〜ｄ，１０８ａ〜ｄ，１０９ａ〜ｄにおける照射光の受光結果の組み合わせに基づき、操作者Ｍの動作状態に対応した操作信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッド評価装置には、高精度なスピンスタンド、高精度なヘッド位置制御システムが用いられており、非常に高価な設備である。
【解決手段】スピンドルモータには、製品ＨＤＤに使用されているスピンドルモータ１０３が用いられる。ヘッド移動機構としてのＶＣＭアクチュエータには、製品ＨＤＤに使用されているＶＣＭアクチュエータ１０８が用いられる。ランプ機構には、製品ＨＤＤに使用されているランプ機構１１５が用いられる。さらにレーザー測長器などの非接触型位置検出器４０を備え、ロードビーム１１１の側面にレーザビームを照射し、その反射光を検出することにより、ロードビーム１１１の磁気ディスク１０１上の絶対位置を検出する。ロードビーム１１１に対するＨＧＡ１０７の取り付けは、マウントプレート１２６のカシメ穴１２７を利用して行われる。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡が表面に追従する能力を高め、表面トポグラフィの描画精度を向上させること。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）アクチュエータ（１１０）によって垂直方向に制御されるプローブ先端の位置を推定する推定器（１８０）を設けた。 （もっと読む）

【課題】受光素子（フォトダイオード）の面積を低減した光源方向検知器、２つの光源方向検知器を用いて光源までの距離を検出して光源の位置を検知することができる光源位置検知装置、光源方向検知器または光源位置検知装置を適用して正確で迅速な遠隔制御が可能となる電子機器を提供する。
【解決手段】光源方向検知器１は、互いに分離して平面上に配置された複数の受光素子ＰＤ（第１受光素子ＰＤ１、第２受光素子ＰＤ２）と、光源ＬＥＤからの光信号（光信号ＬＳａ、光信号ＬＳｂ、光信号ＬＳｃ）を受光素子ＰＤへ集光するレンズ１１とを備える。第１受光素子ＰＤ１が出力した第１光信号検出値ＬＤ１および第２受光素子ＰＤ２が出力した第２光信号検出値ＬＤ２に対して演算処理部１３により演算処理を行ない、求めた演算処理値ＳＶｏｕｔに基づいて検知器出力ＳＧを出力する。 （もっと読む）

【課題】 撮影装置から入力される画像列から指標やセンサの配置情報計測のために必要な画像を自動判定して取得できるようにする。
【解決手段】 現実空間上に存在する指標の撮影画像を用いて、指標の配置情報または計測対象の配置情報または撮影部の位置及び姿勢を算出する情報処理方法であって、取得した撮影画像の位置及び姿勢情報と、検出した指標の配置情報とを用いて、該位置及び姿勢に対応する撮影画像を前記算出に使用するか否かを判定する。そして、使用すると判定された撮影画像を用いて、前記指標の配置情報または計測対象の配置情報または前記撮影部の位置及び姿勢を未知パラメータとし、指標の画像座標の実測値と、パラメータの概略値から推定した指標の画像座標の理論値との誤差を最小化するようなパラメータを求める。 （もっと読む）

【課題】画像相関法による変位、変形、歪みを測定する画像処理方法、画像処理装置および画像処理プログラムの提供。
【解決手段】対象物Ｔの変化前後の画像データ取得過程と微小領域４の大きさと解析点３の移動量解析範囲５回転角解析範囲６および歪み解析範囲７の数値データのパラメータ取得過程と微小領域４をアフィン変換によりマスク８を生成する回転処理過程と各マスク８を走査しながら変化後画像データ２との相関値を計算する第一相関値算出過程と、最大相関値となる位置および角度を検出する位置角度検出過程と、最大相関値を示すマスク８をアフィン変換により伸縮させた二次マスク９を生成する伸縮処理過程と各二次マスク９と変化後画像データ２との第二相関値算出過程と最大相関値となる伸縮率を検出する伸縮率検出過程と最大相関値を与える位置、角度および伸縮率から解析点の移動量、回転角および歪みを決定する状態決定過程からなる画像処理方法。 （もっと読む）