本発明は、少なくとも１つの高エネルギの加工ビーム（２２）、特に電子ビームまたはレーザービームを準備するように形成された、少なくとも１つの加工ヘッド（１６）を有する加工装置（１０）に関する。この種の加工装置は、工作物（２８）において材料を除去するため、あるいは工作物（２８）を材料結合で結合するため、特に溶接するために、使用される。本発明によれば、加工ヘッド（１６）に、表面走査のために設けられた、光学的な干渉トモグラフとして形成された、少なくとも１つの走査装置（３２）が対応づけられていることが提案される。さらに、光学的干渉トモグラフを用いて、工作物の未加工の、加工された、あるいは加工中の表面領域を走査するために、高エネルギの加工ビームを使用しながら、材料を加工する方法が提案される。
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【課題】ボンディング装置用撮像装置において、簡便な構造によって熱膨張による光学特性の変化を低減する。
【解決手段】金属材料でできたプリズムフレーム２５、レンズフレーム２７，撮像素子フレーム２９を炭素繊維強化プラスチックの平板２２に光軸方向に並んでそれぞれ独立して固定する。遮光板３０，３１はレンズフレーム２７に固定され両端に向かって伸び、両端の重ね合わせ部３３において熱膨張が吸収される。各平板２２，２３の膨張量は略ゼロであり、熱影響によってプリズム２４、レンズ２６、撮像素子２８の各光学部品の光軸方向に沿った位置はほとんど変化せず光学特性もほとんど変化しない。また、熱膨張を逃がす重ね合わせ部３３によって熱膨張を逃がすのでも撮像装置２１に熱応力が発生しない。 （もっと読む）

【課題】 光源からの光でレンズの球面収差により形成される光のリング像の大きさが十分でない場合であっても、リング像の中心位置を算出することができる位置演算システム、位置演算装置および位置演算方法を提供する。
【解決手段】 位置演算システムは、光源１〜４と、光源からの光で球面収差により光のリング像１１を形成するレンズ１２と、リング像を撮像するイメージセンサ１３と、撮像素子による撮像画像に対して連結成分解析を行って演算対象領域を設定し、この演算対象領域の輝度分布に基づいて算出したリング像の中心位置を用いて光源位置の演算を行う演算装置１４とを備える。リング像の中心位置は、例えば演算対象領域の輝度分布において輝度値を二値化することにより抽出したリング像のエッジ点に基づいて算出することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物の誤検出を防止する。
【解決手段】車両１０においてＥＣＵ１００は対象物検出処理を実行する。当該処理においては、画像センサ３００により車両１０の前方領域が撮像され、画像データが生成される。パターン検出部１３０は、この画像データによって表される画像からエッジパターンを検出する。検出されたエッジパターンのうち、対象物であると判別されるパターンが存在する場合、制御部１１０は、基本的に当該パターンを障害物として抽出する。一方で、車両１０が、トンネルの出入り口等、画像センサ３００の撮像領域に顕著な明るさの変化を生じさせる可能性のある構造物に接近中である旨が判別された場合には、パターン検出部１３０によるパターンの検出精度が十分に担保されないものと判断され、検出された対象物に対応するパターンは、対象物として抽出されることなく無視される。 （もっと読む）

【課題】特に雑音信号の回避によって測定品質が改善された干渉計を備えた光学測定装置を提供する。
【解決手段】信号評価ユニット２と、コヒーレンス長１ｃｍ以下の光を発生する光源３と、少なくとも１つの検出器４ａ、４ｄとを含む干渉計を備えた、物体１の光学的測定を行うための光学測定装置。信号評価ユニットは検出器）の測定信号から物体１の運動データを算出するように形成された振動測定評価部２ｆを含む。焦点制御部２ｄによって制御される光路長を変化させる光路長調整手段１１は、測定ビームまたは参照ビームの光路長を前記焦点制御部の制御信号に応じて変化させる。焦点制御部は、光路長調整手段を制御して、測定ビームと参照ビームの光路長を調整する。 （もっと読む）

【課題】不正な戻り光を確実に除去できるレーザ干渉測長器を提供する。
【解決手段】測定光を光学系の基準光軸から平行にシフトさせ偏光ビームスプリッタ３に入射させ、集光レンズ５を介して反射面６から戻される光ビームの一部を、入射および反射光ビームがその法線方向に一致して進行させるように、平面鏡１４を、偏光ビームスプリッタ３の基準軸Ａに平行な開口に対し、部分的かつ偏光ビームスプリッタ３で反射した場合の基準軸Ａからずらして配置する。この平面鏡１４は、偏光ビームスプリッタ３で反射した１パス目の光ビーム位置を中心に（基準軸Ａからのずれ量ｄ）、１パス目の光ビーム全体が反射できる面積があれば良い。これにより、正規の戻り光（２パス反射光）と、不正な戻り光（１パス反射光）を空間的に分離でき、３パスより高次数の反射光に対する入射光となる、２パス反射光に含まれ偏光ビームスプリッタ３で反射される不正な成分をカットできる。 （もっと読む）

【課題】光結合素子の製造工程において使用できて、非破壊検査であって、検査精度が高く、検査タクト・設備調整時間が十分短く、検査コスト・設備コストが低くできる上に、材料コストの増大を防止でき、また、デバイスを覆う透明樹脂に使用しても、デバイスへの悪影響の発生を防止できる透明樹脂の検査方法を提供する。
【解決手段】リードフレーム２の一表面上に略半球形状の透明樹脂４を塗布形成して、略半球形状の透明樹脂４を硬化させた後、略半球形状の透明樹脂４に光を照射しながら、略半球形状の透明樹脂４からの反射光をＣＣＤラインセンサカメラ１３で受ける。ＣＣＤラインセンサカメラ１３がその反射光に基づいて作成した画像データによって、透明樹脂４の塗布量を判定する。 （もっと読む）

【課題】 露光装置に適用してその装置ダウンを防ぎ（延命し）、またスループット低下、光学系ユニット劣化を早期に警告することができる計測装置を提供する。
【解決手段】 光源１２と、蓄積型の２つの光検出器９、１０と、前記光源からの光の量を調節する、前記２つの光検出器に共通の調光器１１と、前記２つの光検出器の出力が許容範囲内になるように前記調光器を制御する制御器１３とを有し、前記調光器により光量が調節された光で照明された２つの対象物からの光を前記２つの光検出器でそれぞれ検出することにより計測を行う。ここで、前記制御器は、前記調光器を制御することにより前記２つの光検出器のうち一方のみの出力が該許容範囲内になった場合に、前記２つの光検出器のうち他方の出力が該許容範囲内になるように該他方の蓄積時間を設定する。 （もっと読む）

【課題】
ＰＳＤ対応にＰＳＤの検出値の補正することにより位置検出精度を向上させることができるＰＳＤの検出値の補正方法を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、実際に用いているＰＳＤについて二次関数の各係数Ａ，Ｂ，Ｃの値を得ておき、実際に用いているＰＳＤでレール（測定対象）を測定して検出値ｙaを得て、前記の一次式の係数ａ，ｂからレール変位量ｘを求め、さにらこのｘからΔＹ＝Ａｘ^２＋Ｂｘ＋Ｃを求めて検出値ｙaをΔＹで補正して補正した検出値ｙｂを得るものである。 （もっと読む）

センサヘッド（２）と光学ユニット（３）との互いにマッチングされたパーツを含む、対象物表面の非接触式光学走査のための走査センサシステム。前記光学ユニット（３）は、取り付け装置（４）によって、前記センサヘッド（２）上に高精度で取り付け、位置決めすることができる。前記取り付け装置（４）は、そこに前記光学ユニット（３）を取り付け、位置決めすることが可能な三つの軸受け（２０，２１，２２）を備え、これら三つの軸受け（２０，２１，２２）のそれぞれは、その軸受け部対の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）のそれぞれが、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ｂ，１８ｂ，１９ｂ）の少なくとも１つの軸受け面と接触する軸受け面を備える、その形状と位置とが互いにマッチングされた一対の軸受け部（１７ａ，１７ｂ；１８ａ，１８ｂ；１９ａ，１９ｂ）を有し、前記軸受け部対の一方の軸受け部（１７ｂ，１８ｂ，１９ｂ）は前記光学ユニット（３）上に配設され、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）は前記センサヘッド（２）上に配設されている。前記軸受け部対は、前記軸受け（２０，２１，２２）を貫通して延出する軸受け面に対して、側方方向において、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ｂ，１９ｂ，１９ｂ）に対する一方の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）の側方移動に対して異なる移動制約を加えるように、即ち、第１軸受け部対（１７ａ，１７ｂ）については、全く側方移動が許容されないように、そして、第２の軸受け対部（１８ａ，１８ｂ）については、一空間方向における直線側方移動のみが許容され、そして第３の軸受け対部（１９ａ，１９ｂ）については、二つの空間方向における二次元的側方移動が許容されるように、構成されている。
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【課題】ノッチ形状誤差等によるノッチ位置決め誤差が補正でき、半径方向結晶方位の測定の精度が高い結晶方位測定装置を提供する。
【解決手段】円筒状結晶２をその円筒軸に対し回転させる回転部１１と、円筒状結晶２を回転し、円筒状結晶２の周側面に設けられたノッチ２ａを基準に円筒状結晶２を位置決めする位置決め部１２と、円筒状結晶２が位置決めされると、回転軸に対するノッチ２の位置を測定するノッチ測定部１２と、周側面にＸ線を照射して半径方向の結晶方位を測定する結晶方位測定部１３と、結晶方位測定部１３で測定した結晶方位をノッチ測定部１２で測定したノッチの位置で補正して半径方向の結晶方位を求める補正部１４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置を簡素化できるとともに車路の狭い場所においても設置条件の制約が少ない車長判別装置を提供する。
【解決手段】本発明の車長判別装置１０は、車路１において車両走行方向前後の所定範囲をスキャンするスキャニングセンサ１２と、スキャニングセンサ１２からのスキャンデータに基づき車路１を通過する車両３の長さを判別する処理装置１４と、を備える。スキャニングセンサのスキャンエリアにおいて、車両走行方向に車長判別のための規定長さｂを有する規定エリアＢと規定エリアＢの前後に隣接する前エリアＡ及び後エリアＣとを予め設定しておく。処理装置１４は、車両３が前エリアＡ及び後エリアＣに存在せず規定エリアＢのみに存在する期間があるか否かによりその車両３が規定長さｂ以内であるか否かを判別する。 （もっと読む）

ヒゲ剃り時などの皮膚上の力を測定するための光学測定システムとともに使用するため、皮膚にパターンを適用するための除去可能な入れ墨。転写紙には、異なるサイズのドットのランダムなパターンが印刷される。パターンは、２又は３種類の異なるサイズのドットを有することができる。ドットのパターンは、約４０％〜約６０％のパターン密度を有する。パターンは、湿ったヒゲ剃り環境に耐えるように水溶性ではない、皮膚との接触に適したインクで印刷される。パターンは、アルコールで被験者から除去することができる。
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【課題】認識対象物の中心と走査ウィンドウの中心とのずれに起因する認識対象物の姿勢の誤認識を抑制する。
【解決手段】物体認識装置１は、入力画像と照合するための複数の回転テンプレート画像の特徴ベクトル及び複数の並進テンプレート画像の特徴ベクトルに関して記述されたテンプレート辞書を記憶するテンプレート記憶部１６と、走査ウィンドウによって入力画像から処理対象領域として部分的に選択される部分画像の特徴ベクトルを算出する特徴ベクトル算出部１３と、テンプレート辞書及び部分画像の特徴ベクトルに基づいて、入力画像内に含まれる認識対象物の位置及び姿勢を推定する推定部（テンプレート照合部１５及び結果統合部１７）とを有する。さらに、複数の回転テンプレート画像は、認識対象物を複数の方向から見た画像の集合であり、複数の並進テンプレート画像は、直線軌道に沿った複数の視点から認識対象物を部分的に捉えた画像の集合である。 （もっと読む）

【課題】画像中から特定の物体を検出する際に、画像の奥行き方向に存在する物体と垂直方向に存在する物体とを判別可能にし、検出精度を向上させる。
【解決手段】画像処理装置は、処理対象画像から物体が占有する物体領域を抽出する前処理部１０２と、物体領域の重心を基準として物体領域を複数の小領域に分割する領域分割部１０３と、複数の小領域の重心の位置関係から物体の傾きを検出する傾き検出部１０４と、物体の傾きと予め設定した物体の傾きとを比較し検出すべき特定の物体であるか否かを識別する物体識別部１０５とを備え、これら一連の処理を行うことによって処理対象画像中から特定の物体を判別する。 （もっと読む）

【課題】 測定対象が光反射性材料（たとえば金属材料）の表面を有するときに、その稜線（エッジ）の位置を正確に測定する。
【解決手段】 測定対象の稜線を境界とする一方の側の表面に光吸収性材料の被膜を形成する光吸収性被膜形成過程と、前記光吸収性材料の被膜が形成された測定対象の稜線の位置である稜線位置を光学的に測定する稜線位置測定過程と、２つの稜線位置から２つの稜線の間隔を演算する開口間隔演算過程と、を有するようにした稜線測定方法、およびその稜線測定方法が適用される測定対象としてのダイヘッド。 （もっと読む）

【課題】対象物体の形状およびその表面情報（テクスチャ情報）を同時にかつ容易に取得することができる分光情報および形状情報同時取得装置を提供する。
【解決手段】物体の幾何形状と表面のテクスチャ情報を同時に取得する装置であって、それぞれ異なる分光透過特性の光学フィルタを装着した４台以上の画像取得手段と、画像取得手段による画像データ取得のタイミングを同期させる同期手段と、画像取得手段により同期して取り込まれたそれぞれの画像データの視点位置の違いによる各画像データ間の対応点位置の違いと、画像取得手段の位置関係とに基づいて物体の幾何形状情報を求める形状情報取得手段と、分光透過特性の異なる光学フィルタ装着した画像取得手段によって得られたそれぞれの画像データ間における重なり領域を構成する画素の輝度値から物体表面のテクスチャ情報を取得する分光情報取得手段とを備えたこと特徴とする。 （もっと読む）

【課題】容器に貼付されたラベルの良否がラベラ内で検査できるラベル検査装置を提供する。
【解決手段】自転しながら公転軌道３ａを公転する容器２にラベル７を貼付するラベラ１と、ラベラ１の公転軌道３ａを挟んで対向し、かつラベルの正面方向またはラベルの側面方向に設置された少なくとも一対の撮像手段１２ａ〜１２ｄと、撮像手段１２ａ〜１２ｄが撮像した容器２の画像をから容器２に貼付されたラベル７の特徴点を計測する画像計測演算手段２２と、ラベル７の良否を判定する基準値が設定された良否判定基準値設定手段２３と、画像計測演算手段２２が計測した特徴点と基準値とを比較演算してラベル７の良否を判定する良否判定演算手段２５とから構成したもので、ラベラ１内に撮像手段１２ａ〜１２ｄを設置するだけでよいため、既存のラベラにも容易かつ安価に実施することができる。 （もっと読む）

１つ以上の平基板の歪及び／または寸法変化を測定する座標測定装置が開示されている。一態様において、１つ以上の平基板の歪及び／または寸法変化を測定するための座標測定装置は、平基板を受け取るための形状につくられた上面を有する定盤を含む集成ベース及び、それぞれの画像取込デバイスが、視野を有し、定盤の上面の少なくとも一部分と平行な平面に、上から位置合せされて、配置されている、画像取込デバイスの多次元アレイを備える。複数の画像取込デバイスは、それぞれの画像取込デバイスの視野が定盤の上面の少なくとも一部分を捕捉できるように、多次元アレイの平面に垂直な方位に向けられる。さらに、複数の画像取込デバイスのそれぞれは多次元アレイの平面内に定められた既定の座標に選択的に配置することができる。
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【課題】本発明は、接触式の測定装置と、撮像装置を用いた測定装置との間で、両者間の基準位置の校正を正確且つ容易に実行できる、基準位置校正治具、外形測定装置、外観検査装置、測定対象物保持装置、基準位置校正方法、外形測定方法、及び外観検査方法を実現する。
【解決手段】本発明による基準位置校正治具は、測定対象物に接触して形状を測定する接触式形状測定装置、及び測定対象物の画像を取得して形状を測定する画像認識形状測定装置において基準位置を校正するための基準位置校正治具であって、平坦面と、当該平坦面に形成されており、当該平坦面に垂直な周縁壁を有する円形の凹部又は円柱と、を備える。外形測定装置、外観検査装置、測定対象物保持装置は、当該基準位置校正治具を備える。基準位置校正方法、外形測定方法、及び外観検査方法は、これらの基準位置校正治具、外形測定装置、外観検査装置、又は測定対象物保持装置を用いる。 （もっと読む）