【課題】 複数の３次元形状計測法、表面計測手法を相補的に組み合わせることで、測定対象の形状によらず高い計測精度を確保した３次元形状検査方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、検査対象の参照モデルの形状データである参照データを格納する格納部と、前記参照データから第１の形状データを取得する領域を特定する領域特定部と、前記領域特定部で特定した領域について前記第１の形状データを取得する第１の３次元形状センサと、前記領域特定部で特定した領域以外の領域について前記検査対象の前記第１の形状データとは異なる第２の形状データを取得する第２の３次元形状センサと、前記第１の形状データと前記第２の形状データとを統合する相補的統合部とを備えることを特徴とする３次元形状検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】透明性基板上に形成された不透明なデバイスパターンを観察像において明確に識別することができる観察方法、および観察装置を提供する。
【解決手段】デバイスパターン３が形成されている側に粘着シート４を貼り付けたうえで透明なステージ７に固定し、ステージ７の上方から同軸透過照明光Ｌ１と斜光透過照明光Ｌ２とを重畳的に照射するとともに、ステージ７の下方側からステージ７を介して裏面観察手段６で観察することで、観察像においては、デバイスパターン３に対応して、暗い（黒色の）デバイスパターン像が観察され、デバイスパターン像ＩＰ１以外の部分は明るく観察される。また、気泡５に対応する部分ＩＢ１についても十分に明るく観察される。これにより、観察像においてデバイスパターン３の形状を明確に特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】多数の板材を連続的に加工する加工機に好適な回転テーブルの回転角の誤差（ピッチエラー）を測定する方法に関し、ワークの連続加工中においても自動測定できるようにする。
【解決手段】ワークと略同形で、表面に所定角度毎に引いた放射状の計測線と、計測線の放射中心を検出させるマークを表示した測定用基板を用いる。加工機に設けられている搬入誤差検出手段により、テーブル上に搬入された測定用基板の中心の位置偏倚及び角度偏倚を検出し、次にテーブルを所定角度ずつ回動したときのカメラの画像上での各計測線の位置を検出し、先に検出した基板中心の偏差で補正した計測線の方向と、その本来の方向との差から、テーブルのピッチエラーを測定する。 （もっと読む）

【課題】複雑形状をした物体の外観検査において、目視では検出困難な形状の不良を定量的に評価し、検出する物体の外観検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】
物体の外観を検査する方法を、検査対象物体を載置して少なくとも一方向に連続的に移動させながら検査対象物体を撮像して検査対象物体の表面のテクスチャ情報を含む検査対象物体の画像を取得しながら検査対象物体の表面凹凸情報を取得し、この取得した検査対象物体の表面凹凸情報から検査対象物体の立体形状を復元し、取得した画像と復元した検査対象物体の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得、この得られた外観情報から複数の特徴を抽出し、この抽出した複数の特徴のうち少なくとも１つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも１つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価するようにした。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光軸に直交する２方向の光軸振れを高精度に測定する。
【解決手段】第１の偏光ビームスプリッタ４は、レーザ光源１から出射されたレーザ光２ａを、第１の直線偏光成分２ｂと第２の直線偏光成分２ｃとに分割する。光学系３は、第１の直線偏光成分２ｂの振れ方向と第２の直線偏光成分２ｃの振れ方向とが互いに直交するように第１の直線偏光成分２ｂ及び第２の直線偏光成分２ｃのうち少なくとも一方の直線偏光成分を光軸まわりに回転させて合成光とする。遮光部材８は、先端８ａを合成光に突出させて合成光の一部を遮光する。第２の偏光ビームスプリッタ９は、遮光部材８で遮光されずに通過した通過光を、第１の直線偏光成分２ｂと第２の直線偏光成分２ｃとに分割する。各受光素子１０ａ，１０ｂは、偏光ビームスプリッタ９で分割されたそれぞれの直線偏光成分の光量を測定する。演算部１２は、測定結果に基づきレーザ光２ａの振れ量を求める。 （もっと読む）

【課題】スピンドルに取り付けられて高い回転数で回転する極小径丸棒若しくは極小径工具の動的振れを測定可能な極めて実用性に秀れた測定装置の提供。
【解決手段】光源と、光源からの光線を被測定部材へ導くレンズ系と、被測定部材を介して光線を受光する複数のフォトダイオードとを備える光学系を有し、フォトダイオードでの受光量をもとに被測定部材の位置若しくは振れ量を測定する測定装置であって、光学系の光軸方向視において、複数のフォトダイオードにして被測定部材の軸心と交差する辺部が全て直線であり、複数のフォトダイオード間には、被測定部材の軸方向に対して傾斜する少なくとも１つのギャップを設け、このギャップの両端部は被測定部材の外形より外方に位置させ、ギャップを形成するフォトダイオードの辺部以外の被測定部材の軸心と交差する辺部がギャップと平行でないように構成する。 （もっと読む）

【課題】改良した校正機構によって工具ホルダでより正確な校正を行うことができる測定装置につき、当該測定装置で測定される工具を合わせるための工具ホルダを提供する。更に、そのような測定装置と、その測定装置の校正に適した方法を提供する。
【解決手段】測定装置で測定される工具を合わせるための工具ホルダは、当該工具ホルダの垂直軸を規定する対称軸２２を有する固定可能な本体２０と、当該工具ホルダに取り付けられる工具用に規定された工具のゼロ点２３と、前記工具の前記ゼロ点２３から所定の水平距離及び所定の垂直距離を隔てた校正機構２４と、を備え、前記校正機構２４は、前記工具の前記ゼロ点２３を含む垂直線の所定高さに半円状外縁部を備え、前記半円状外縁部の中心角が１３５°を上回るように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 加工工具や工具保持機構の寸法を安価且つ簡便な装置構成で測定できる工具形状測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明の工具形状測定装置は、中心軸４ａの周りに回転可能な加工工具１及び加工工具１を保持する工具保持機構を撮像して撮像画像を得るカメラ５と、撮像画像から加工工具１及び／又は工具保持機構の寸法を示す寸法データを生成する寸法データ生成部１３とを具備する。カメラ５は、その光軸５ａが前記中心軸４ａと垂直に交わるように位置している。寸法データ生成部１３には、光軸５ａと垂直であり且つ中心軸４ａを含むように規定された基準平面Ｓからカメラ５までの距離である基準距離Ｌと、撮像画像の上における単位長さと基準平面Ｓの上の長さとの対応を表す対応データとが設定され、寸法データ生成部１３は、撮像画像と、基準距離Ｌと、対応データとを用いて前記撮像画像の遠近誤差を補正して寸法データを生成する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光量安定性、光量分布、光軸ぶれによる測定誤差を低減することのできる変位測定装置及び変位測定方法を提供する。
【解決手段】ビームスプリッタ３により、レーザ光源１から出射されたレーザ光を被測定物４に向かう第１分割レーザ光２ａ及び第２分割レーザ光２ｂに分割すると共に、第２受光素子６ｂにより第２分割レーザ光２ｂを受光する。そして、第２受光素子６ｂを、第２受光素子６ｂに入射する第２分割レーザ光２ｂの光量の割合と第１受光素子６ａに入射する第１分割レーザ光２ａの光量の割合とが一致する位置に配置し、位置演算器８は、第１受光素子６ａの出力及び第２受光素子６ｂの出力の差に基づいてレーザ光源１に対する被測定物４の変位を演算する。 （もっと読む）

【課題】回転工具の形状と性状を同時に測定する方法を提供する。
【解決手段】画像記憶部１０７は、回転する物体を撮影した画像を記憶する。画像処理部１０８は、一の撮影した画像の輝度値と他の撮影した画像の輝度値を画素毎に比較して輝度値画像を生成する。また、画像処理部１０８は、基準となる形状を示す基準画像の輝度値と輝度値画像の輝度値との差分に基づいて差分画像を生成する。性状算出部１１０は、差分画像に基づいて物体の性状を示す性状変数を算出する。 （もっと読む）

【課題】ワークの加工精度をより一層向上させることができる工具寸法の測定方法及び測定装置、並びに工作機械を提供する。
【解決手段】工作機械において、撮像装置は、送り方向に移動中の工具を撮像する。撮像に基づき生成された複数の画像データの各々で輪郭線５１が特定される。この輪郭線５１に基づき工具の移動軌跡５２及び中心軸線５３が特定される。移動軌跡５２と中心軸線５３との間にずれがある場合には、そうしたずれは工作機械で工具の位置決めの補正に用いられることが可能である。その結果、ワークの加工精度は向上する。また、例えば傾斜姿勢の工具の寸法が測定されれば、傾斜姿勢における実際の刃先位置や工具径が特定されることが可能である。こうした刃先位置や工具径は工作機械の位置決めの補正に用いられることが可能である。ワークの加工精度はさらに向上する。 （もっと読む）

【課題】想定外の工具であっても簡単に測定部位を特定することができる工具寸法の測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る工作機械によれば、表示画面Ｓ上には工具２０の輪郭線５１が表示される。寸法測定の操作者がタッチパネルの表示画面Ｓ上で輪郭線５１を指で辿って接触教示すれば、表示画面Ｓ上で工具の測定部位すなわち輪郭線５１が自動的に特定されることが可能である。こうして操作者は極めて簡単に工具２０の寸法を測定することができる。加えて、操作者が例えば工具２０の輪郭線５１の特定の位置を指定することによって工具２０の工具径や刃先位置が自動的に測定されることが可能である。従って、こうした工具の寸法測定方法によれば、例えば多段工具などの複雑な輪郭線を有する想定外の工具の測定部位が簡単に特定されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】微小な回転工具の刃先位置を、ＸＹＺ軸の３方向について高分解能かつ高精度に検出可能な工具位置測定装置を提供する。
【解決手段】回転工具１２の刃先１２ａにＺ軸方向の光を入射させ、その反射光を受光する第一光学装置２２を備える。刃先１２ａをＺ軸方向から見た底刃画像を撮像する第一撮像装置２４と、底刃画像を基に、回転工具１２の位置を測定する処理装置を備える。第一光学装置２２は、Ｘ軸方向に照射光を発する第一光源３０を有する。照射光をＺ軸方向に偏向して刃先１２ａに入射させ、刃先１２ａからの反射光を逆向きのＸ軸方向に偏向する第一偏向ミラー３８を有する。刃先１２ａと第一偏向ミラー３８との間に、入射光及び反射光が通過する第一対物レンズ２０を有する。第一撮像装置２４は、第一偏向ミラー３８によって偏向された刃先１２ａからの反射光による底刃画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】撮像環境の変化を検出し、工具寸法を高精度に測定できるように撮像条件を自動的に調整したり、画像を補正するようにした、撮像式工具測定装置および撮像式工具測定方法を提供する。
【解決手段】撮像部１２からの工具像にかかる信号、または画像前処理部２０からの処理信号に基づいて撮像環境・条件を検出する撮像環境・条件検出部２５と、撮像環境・条件検出部２５の検出情報を基に、撮像の適正条件を判断し、調整指令を導出する撮像条件判断・調整指令部２７と、前記撮像条件判断・調整指令部２７からの調整指令信号により、撮像条件を調整する調整手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】曲率が大きな曲面の三次元画像計測が可能なターゲット治具を提供する。
【解決手段】湾曲構造部材Ｗを複数個所からフラッシュ撮影して得た複数の画像を解析して湾曲構造部材Ｗの形状を計測する三次元画像計測法に用いられるターゲット治具１であって、複数の保持駒１０及びこれらの保持駒を長尺状に繋ぐ連結駒２０を具備して、湾曲構造部材Ｗの二次元的な曲面に沿って配置可能とした治具本体２と、フラッシュ光を反射して画像上で計測点を認識させる複数のターゲット３を備え、複数の保持駒１０には、治具本体２を湾曲構造部材Ｗの二次元的な曲面に配置した状態で、湾曲構造部材Ｗの断面に沿うターゲット保持面１３がそれぞれ形成され、複数の保持駒１０における各ターゲット保持面１３の間隔は互いに等しく設定され、複数のターゲット３は、各ターゲット保持面１３にそれぞれ保持されている。 （もっと読む）

【課題】 回転体の回転軸心の運動の軌跡を計測する方法を提供する。
【解決手段】 主軸に回転体を取り付けることと、前記回転体の前記回転軸心に垂直な垂直面内に、前記回転体の一部を挟んで対向する３組の発光部及び受光部の組を配置することと、回転体を、前記主軸と一体的に回転させつつエッジ光の光量を測定することと、エッジ光の光量に基づいて、回転体の断面形状と異なる仮想断面形状を求めることと、エッジ光の光量及び仮想断面形状に基づいて、回転体の回転軸心の運動の軌跡を求めることとを備える方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】チップコンデンサやチップ抵抗、二次電池内部の積層電極用アルミニウム箔の製造等に用いて好適な切断装置の刃物の刃先の検査装置を提供する。
【解決手段】光源２０からの光を直立して配されている刃物の側面の第１の研削面１１、第２の研削面１２、第３の研削面１３を横切るように照射しながら移動させる。そして上記刃物に対して側方において、光軸が水平な状態で配されたＣＣＤカメラ２２によって各研削面１１、１２、１３からの反射光を検出し、そのピークから反射面の数を、ピークの幅から各研削面の幅を、またピークが現れる角度から研削面の角度をそれぞれ検出する。またＣＣＤカメラ２２に取込まれた画像によって、各研削面の表面性状を観察する。 （もっと読む）

【課題】回転中の工具と被加工物間の間隙を直接測定する手法を確立する。
【解決手段】回転工具とそれに対向配置した被加工物との間の間隙を超える幅を有するパルス化レーザ光を発生して、発生レーザ光の光軸を被加工平面に対して傾斜させて間隙に照射する。パルス化レーザ光は、回転工具の１回転又は整数回転当たり１パルスの発振パルス周期を有し、該発振パルスオン期間の間に回転工具の同一角度範囲に照射する。間隙に照射されて該間隙により遮蔽されずに回折した光を受光センサーにより検出して、間隙長さを測定する。 （もっと読む）

【課題】 スキップ信号が読み込まれない場合であっても、工具の移動を確実に停止させることができる工具長測定方法及び工具測定装置を提供する。
【解決手段】 工具を４所定位置から所定方向に移動させて、前記工具４によりレーザー光６を遮光したときの、前記工具４の前記所定位置からの移動量に基づいて前記工具の長さを測定する工具長測定方法において、前記工具４がレーザー光６を遮光していることを示すスターティック信号Ｂが検知されたとき、前記工具４のレーザー装置本体５へ接近する方向への移動を停止する。 （もっと読む）