【課題】岩石試料内の単一天然亀裂の開口幅と形状の両方を高い分解能で且つ高精度で同時に測定でき、測定に際して岩石試料が消失することなく、測定に要する時間とコストの負担を軽減できるようにする。
【解決手段】単一亀裂を有する岩石試料を型として、亀裂を境とする２つの透明レプリカ試料１４ａ，１４ｂを、一方は無色の透明樹脂で、他方は染料で着色した透明樹脂で作製し、両者を組み合わせることで亀裂１２を復元し、亀裂内に前記染料とは異なる色の染料溶液を満たして岩石レプリカ試験体１０とする。それに白色光を照射し、透過光を各染料に対応したバンドパスフィルター２０を通して各色毎の２次元平面座標の光強度データをＣＣＤカメラ１８で取得し、各色毎の２次元平面座標の吸光度から２種類の染料で着色された部分の厚さをデータ収録装置２２で算出して亀裂開口幅と亀裂形状を同時に求める。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの設置毎に、事前に試験を行う必要がなく、不均一なひずみを有する変位であっても、正確に変位を計測することができる光ファイバ構造物変位計測装置及びその計測方法を提供する。
【解決手段】構造物２０は、非直線形状であり、かつ変位が発生した場合に不均一なひずみが発生する構造物である。構造物２０に固定された光ファイバ１に発生するブリルアン散乱光を検出して、ブリルアン散乱光から観測パワースペクトルデータを計測する。一方、構造物の変位の大きさに対応して発生するブリルアン散乱光のモデルパワースペクトル形状を理論的に算出し、このモデルパワースペクトル形状を観測パワースペクトルデータにあてはめる。あてはめられた最も適合する曲線形状のモデルパワースペクトル形状に基づき、構造物の変位を算出する。 （もっと読む）

【課題】計測対象の信号に発生するノイズを低減し、当該計測対象の三次元形状の計測精度を向上する。
【解決手段】空間を２分割する複数のパターン２１７〜２２０を順次計測対象に投射し、そのときの計測対象の画像データを得る。次に、アダマール行例に基づいて符号化された複数のパターン２２０〜２２３を順次計測対象に投射し、そのときの計測対象の画像データを得る。次に、アダマール行列の逆行列を用いて、アダマール行例に基づいて符号化されたパターン２２０〜２２３を投射して得られた画像データを、複数のスリット光からなるパターンのスリット位置をシフトさせた複数のパターンを投射して得られる画像データに変換する。次に、当該変換した画像データと、空間を２分割するパターン２１７〜２２０を投射して得られた画像データとに基づいて、三角測量の原理で計測対象の三次元形状を得る。 （もっと読む）

【課題】物体表面の角度の検出感度を向上させることができると共に、計測装置から物体表面までの計測距離に依存することなく精密に物体表面の角度を計測することができる表面角度計測方法及び表面角度計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
計測対象２の表面に計測光を照射すると共に、当該計測対象２で反射した計測反射光を受光することで計測対象２の表面の傾斜角度を計測する表面角度計測装置１において、計測反射光を金属薄膜１１で受光すると共に、金属薄膜１１で表面プラズモン共鳴を生じさせるプラズモンフィルタ部９を備える。さらに、その表面プラズモン共鳴が生じた金属薄膜１１からの反射光の強度を計測する強度検出部１５と、強度検出部１５で計測された反射光の強度を基に、計測対象２の表面の傾斜角度を算出する傾斜角度算出手段を有する演算部４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハを搬送する際に生じる振動に起因して測定データに現れるオフセット成分のバラツキを除去する。
【解決手段】Ｙ方向に光切断線を照射して平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０を求める。Ｘ方向に光切断線を照射して直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎを求める。平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０と直交断面形状データとの交差位置の高さデータが等しくなるようにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を求める。直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を加算し、補正直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０´，Ｚｇ＿Ｙ１´，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎ´を求める。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば、試料に熱ダメージを与えることなく、短時間で高精度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
試料の表面におけるある一方向について照明強度分布が実質的に均一な照明光を、前記試料の表面に照射し、前記試料の表面からの散乱光のうち互いに異なる複数の方向に出射する複数の散乱光成分を検出して対応する複数の散乱光検出信号を得、前記複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の存在を判定し、前記処理により欠陥と判定された箇所各々について対応する複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の寸法を判定し、前記欠陥と判定された箇所各々について前記試料表面上における位置及び欠陥寸法を表示する欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】検査感度を向上させることができるパターン検査装置を提供する。
【解決手段】第１の検出データと前記第１の遅延データとから解像限界以下のパターンのデータを抽出する第１の抽出部３３と、前記抽出された第１の検出データに係るデータの注目画素に対する周辺領域の出力レベルの平均値を演算し、前記抽出された第１の検出データに係るデータの出力レベルと前記平均値との差を演算する第１の出力変位演算部３４ａと、前記抽出された第１の遅延データに係るデータの注目画素に対する周辺領域の出力レベルの平均値を演算し、前記抽出された第１の遅延データに係るデータの出力レベルと前記平均値との差を演算する第２の出力変位演算部３４ｂと、前記第１及び第２の出力変位演算部による演算結果に基づいて、パターン欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】歪検出を簡易かつ高精度に行なうことができる。
【解決手段】検査面１ａに対し帯パターンが並行する所定の図形を照明パネル２Ａ，２Ｂによって所定角度で投影するステップと、投影された上記図形の画像をＣＣＤカメラ３Ａ，３Ｂにより検査画像として得るステップと、上記図形を上記所定角度と同一角度で平坦面に投影して得られた基準画像と上記検査画像の差分面積を検出するステップとを備え、差分面積の大きさによって前記検査面の歪の程度を検出する。 （もっと読む）

【課題】レンズをデフォーカスさせた場合であっても、スポット光の重心位置を高精度に算出することができる画像処理装置および画像処理方法を得る。
【解決手段】光源からの光を集光させたスポット光が入射した画像におけるスポット光の重心位置を算出する画像処理装置（方法）であって、スポット光が入射した画像の各画素の輝度値に基づいて、画像の１次重心を決定する１次重心決定手段（ステップ）と、１次重心を中心とする所定半径の円を描く円描画手段（ステップ）と、所定半径の円と各画素との重複割合を算出する重複割合算出手段（ステップ）と、重複割合を、０から１までの重みに切り詰める重み設定手段（ステップ）と、各画素の輝度値に重みを乗算して、スポット光の重心位置を算出する重心位置算出手段（ステップ）とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】物体光について光路長を変えて何度も多数の干渉縞を撮影する必要なく、バンプの高さ測定や形状検査を、簡単かつ正確に行うことを可能とする。
【解決手段】２つの光源２１、２２からの互いに異なる波長の光を重ね合わせたビート光を、分割して、一方を参照ミラー２８で反射させて参照光とし、他方をバンプ２３に照射し反射させて物体とし、参照光と物体光を重畳し干渉させて生じる干渉縞をＣＣＤ３０で撮影して、干渉縞像からバンプの高さ測定又は形状検査を可能とし、ビート光の波長Λ／２は、測定すべきバンプ２３の設計仕様における高さより大きくなるように、２つの光源のそれぞれの波長λ１、λ２を設定する。 （もっと読む）

【課題】高精度な被写体シルエット画像を必要とせず、さらに、各視点においては２値のシルエット抽出を行わずに、多視点映像をもとに高精度な被写体の３次元モデルを構築する方法を提供する。
【解決手段】本発明の方法は、複数の背景画像の画素値と複数の被写体画像の画素値とから、ボクセル空間中の各ボクセルの背景尤度を表す連続値を算出し、各ボクセル間の隣接関係を考慮したエネルギー関数を定義し、これを最小化するように、各ボクセルに被写体領域または背景領域のいずれかに割り当てることで、被写体領域を決定し、ボクセルデータを構築する。 （もっと読む）

【課題】 大変形を高精度かつ動的に計測可能な計測装置及び計測方法を提案する。
【解決手段】 スペックル干渉を用いた変形計測において、２光束のうち一方の光束が非コリメート光となる光路と平行平面状の透明物体を利用し、キャリア縞を形成することが可能となる。具体的には、非コリメート光となる光路上に上記透明物体を設置、または光路上からの除去、もしくは光路上に設置した透明物体の屈折率、厚み、光軸に対する傾斜角を変更する。上記処理とスペックル干渉パターンの取得を繰り返し行うことにより、変形に応じた縞画像からの位相解析を行うことができ、大変形を高精度かつ動的に計測できる。 （もっと読む）

【課題】分光器の分解能が異なる場合に発生するコントラスト差を補正する。
【解決手段】光源から照射された測定光の対象物体からの戻り光と、光源から照射された参照光のミラーからの戻り光とを合波して、分光器により分解されて検出された波長スペクトルに基づいて対象物体の断層像を構成する構成部を備える光干渉断層撮像装置であって、分光器の分解能を含む対象物体の測定条件を選択する選択部と、構成部により構成された断層像の光強度を、選択部により選択された分光器の分解能ごとに予め定められた伝達関数によって規格化する規格化部と、規格化部により規格化された断層像の光強度から画像を形成する画像形成部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】カメラの台数を増やすことなく、帯状部材の端部位置などの複数箇所の変位量を計測して、帯状部材の形状を効率良く測定する方法とその装置、及び、この装置に用いられる変位センサーとを提供する。
【解決手段】帯状部材４０の表面に帯状部材の長手方向に沿って延長するレーザー光を照射するレーザー装置１２１と、レーザー光の反射像を撮影する撮像手段１４と、前記反射像から帯状部材４０の変位量を計測する変位量計測手段１５とを備え、変位量計測手段１５で計測された帯状部材４０の変位量に基づいて、帯状部材の表面形状を測定する帯状部材の形状測定装置において、照射するレーザー光を透過光と回折光とに回折分離して、帯状部材の幅方向に互いに離隔した複数のレーザー光Ｔ１〜Ｔ３を帯状部材４０に照射することで、帯状部材４０の幅方向の複数箇所の変位量を計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】位相変調された干渉信号を検出し、干渉信号の位相を求める信号処理演算を行うことによってナノメータオーダでの分解能で表面形状測定を行うことのできる、表面形状の測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】半導体レーザ光源11からのレーザ光を偏光方向が互いに直交し位相が異なる２つの光の合成光に変換してから回転多面体ミラー32に導き、レンズ33を通過した合成光を構成する２つの光を偏光ビームスプリッタ34により分離してその一方の光を参照面ミラー42、他方の光を被測定物体41の表面に照射する。参照面ミラー42からの反射光と被測定物体41の表面からの反射光を偏光ビームスプリッタ34により再び重ね合わせ、偏光板52を通過させることにより参照面ミラー42からの反射光と被測定物体41の表面からの反射光を干渉させる。 （もっと読む）

【課題】光学素子の傾き精度の影響を受けず、構成が簡単かつ小型化が可能であって、回折格子の面方向の位置ずれに対しても影響が小さく、光学分解能の調整が可能な変位計測を行う。
【解決手段】レーザ光源１２からのレーザ光１３を、コリメータレンズ１４によって平行光１５とし、第１の回折格子１６を通過させて半透過半反射ミラー２２まで進行させ、一部を反射させて第１の回折格子１６を通過する第１の戻り光Ｌrev１とする。平行光１５の残りは全反射ミラー２４まで進行して反射され、半透過半反射ミラー２２と第１の回折格子１６を通過する第２の戻り光Ｌrev２となる。第１の回折格子１６による第１，第２の戻り光Ｌrev１，Ｌrev２の所定次数の回折光を、第１の光センサ２８で光量検出し、半透過半反射ミラー２２に対する全反射ミラー２４の軸方向の相対的移動量に対応する干渉縞もしくはその信号から変位量を得る。 （もっと読む）

【課題】粒子像のボケを利用して１台のカメラで粒子の三次元定量的情報を計測するデフォーカス法において、粒子数が多い場合や粒子が合焦点に近いところに位置する場合でも、粒子の識別ができる手法を提供する。
【解決手段】カメラのレンズに装着するマスクの３箇所（正三角形の各頂点）に孔を設け、それぞれの孔に赤、緑、青の色フィルタを取り付けて撮影すると、浮遊粒子が合焦点位置にあるときには粒子像は１点に集中して１つの白色輝点として観察されるが、合焦点位置から外れると赤、緑、青３輝点で形成される三角形が観測される。それぞれの輝点の中心をつないでできる三角形に外接する外周円を想定し、その半径を求め、その三角形の向きを正負で表し、予め作成しておいた較正曲線に当てはめて、粒子の合焦点位置からの光軸方向への位置のずれ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】超電導線材の欠陥を感度よく検査する
【解決手段】超電導線材の検査装置は、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向に光を照射する青色ＬＥＤ（１）と、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向と角度をなす方向に光を照射する赤色ＬＥＤ（２）と、超電導線材（２０）からの反射光（Ｂ１）を主として受光し、かつ超電導線材（２０）からの散乱光（Ｃ２）を主として受光するカラーラインセンサ（３）と、カラーラインセンサ（３）にて受光した光の光量を積算して出力するコンピュータ（５）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】モードロックレーザを用い高速で波長を掃引しても高コヒーレンス性を保つ光源を用いて光断層画像表示システムの分解能、および深達度を向上させること。
【解決手段】波長走査型レーザ光源１０に一対の回折格子３２，３３を対向して配置し、これを分散素子として用いる。この分散素子に半導体光増幅器３５を接続し、モードロック信号発生部３８よりクロック信号を与えて光信号を増幅する。このクロック信号のクロック周波数を変化させることによってクロック周波数に応じて発振波長を走査することで、高速で波長を可変でき、この光源を用いることで光断層画像表示システムの分解能、および深達度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】移動体にレーザレーダを搭載して地面や壁面に照射し、移動しながら目標物の位置を計測しようとする場合、複数のレーザレーダを用いることは多いが、レーザレーダを単に平行に並べて設置すると、移動速度によって計測点の密度にムラが発生したり、走行に平行な方向と垂直な方向とで計測点の密度差が大きい、という問題があった。
【解決手段】レーザレーダ同士に角度を持たせて設置することにより、計測点の密度のムラや方向による密度差の大きさを軽減することができる。 （もっと読む）