【課題】駆動装置を用いることなく、小型であっても、高精度で計測対象物の変位を測定することができる変位センサを提供する。
【解決手段】光源部を有する投光部と、光源部が出射する光を、計測対象物へ向けて集光して照射する照射部と、計測対象物で照射されて反射された光を集光して受光する第１受光部とを具備する光学系を備える変位センサであって、投光部は、光源部と、第１レンズと、第１ハーフミラーとを具備し、照射部は、第１ハーフミラーと、第２レンズとを具備し、第１受光部は、第１ハーフミラーと、少なくとも４つの穴を有し、この４つの穴はそれぞれｘｙ軸上に配置されているスリット板と、第３レンズと、第１受光素子とを具備し、照射部及び第１受光部は、照射部の光軸と第１受光部の光軸とが一致するように配置され、投光部は、該投光部の光軸が照射部及び前記第１受光部の光軸と垂直に交わるように第１ハーフミラーを介して配置する。 （もっと読む）

【課題】鋼帯連続焼鈍ライン等の鋼帯連続処理ラインに設置されている縦型ルーパー設備において、ルーパーキャリッジの水平度を精度良く測定することができるキャリッジ水平度測定方法およびそれを用いた鋼帯の蛇行修正方法を提供する。
【解決手段】ルーパーキャリッジ１１の水平度（水平度異常量）を光学式距離計２１ａ〜２１ｄを用いて測定するとともに、鋼帯１の寄り量（蛇行量）を測定し、その蛇行量が許容範囲を超えている場合には、ルーパーキャリッジ１１の水平度を許容範囲内で変更して、鋼帯１の蛇行量が許容範囲内に収まるようにする。 （もっと読む）

【課題】広い範囲にわたって対象物体の三次元的な位置を光学的に検出することのできる光学式位置検出装置、光学式位置検出システム、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、第１光源モジュール１２６および第２光源モジュール１２７によって、検出光Ｌ２の放射角度範囲において強度が変化する光強度分布を形成した際の受光部１３の受光強度に基づいて対象物体ＯｂのＸＹ座標を検出する。第１光源モジュール１２６および第２光源モジュール１２７は、Ｚ軸方向で離間しており、検出光Ｌ２の放射角度範囲において強度が一定の光強度分布を形成した際の受光部１３の受光強度に基づいてＺ軸方向における対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡を用いて、一つの立体的な試料に対して、焦点距離の異なる多数の画像を得、これらの画像を組み合わせて、全領域の焦点が合った１枚の２次元合成画像を得るため、試料の高さ情報を表示する３次元プロファイルマップの作成方法を提供する。
【解決手段】試料を異なる高さから撮像して、焦点部位の異なる２次元試料画像を得、離散ウェーブレット変換を行うことにより得られた詳細サブーバンドにおいて、最大の詳細サブーバンド係数値を示す画像の撮像高さで、初期の高さ地図を作成し、それぞれの入力画像において、焦点整合度を計算し、フィルターをかけて、非合焦点のピクセル（非境界点）の高さ情報は除去し、除去されたピクセル（非境界点）の高さを、フィルターを通過したピクセル（境界点）の高さ値から内挿して算出し、前記高さ情報の除去されたピクセルに対して前記内挿によって算出された高さを代入して高さ地図を作成する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、照明装置２２、カメラ２３及び画像処理装置２４等を備え、まず照明装置２２から錠剤に対し照射される光の光量を段階的に変更し、当該錠剤を透過する透過光をカメラ２３により撮像することにより、複数通りの輝度画像データを取得する。そして、当該複数通りの輝度画像データにおける各座標毎の輝度値をそれぞれ合算して、錠剤の表面に係る三次元データを作成する。これに基づき、錠剤の外観形状が検査される。 （もっと読む）

【課題】 最適パターン光投影のような強度変調パターン光投影手法による静止物体の三次元画像計測を行う。
【解決手段】 ワークＷにパターン光を投影するパターン投影機２１と全面照明機２２と、パターン光が投影されたワークＷを撮像して画像を撮像するカメラ２３、２４により撮像した画像のデータを処理するデータ処理装置４２とから構成され、パターン投影機２１によりパターン光を投影して画像を撮影する第１撮像モードと、全面照明機２２による全照明反射画像を撮像する第２撮像モードがワークＷの種類の特定によって判定される。その撮像結果によって三次元情報が算出されるので、精度の高い三次元情報を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】集積回路のような電子素子の製造において、光計測を用いた測定の精度を改善する方法及びシステムを提供する。また、調節可能なレジストの光学特性を変化させる方法及びシステムを提供する。
【解決手段】その調節可能なレジスト層は反応性ガス、液体、プラズマ、放射線若しくは熱エネルギー又はこれらを結合させたものを用いて処理されて良い。それによってフォトレジストは露光前に第１組の光学特性と異なる第２組の光学特性を得て、露光波長で又はその近傍の放射線に対して透明ではなくなり、ＯＴＳＭ構造４２０が光線４２５、４２６及び４２７を反射する。 （もっと読む）

【課題】二つの視点それぞれから得られた画像間の視差を算出する際、画像間の歪み又はずれの影響を抑え、精度の高い視差を簡易に算出する視差算出装置、距離算出装置及び視差算出方法を提供する。
【解決手段】視差算出装置１００は、第一カメラ１から得られた基準画像及び第二カメラ２から参照画像を取得する。画像分割部１０１は、条件設定部１０２によって設定される分割条件に従い、基準画像及び参照画像それぞれを複数の領域に分割する。補正量決定部１０３は、分割された領域毎に画像ずれ量を算出し、その画像ずれ量に基づき補正量を決定する。視差算出部１０４は、補正量決定部１０３によって決定された補正量に基づいて画像分割部１０１から得られる分割基準画像及び分割参照画像の各領域に対して画像の補正を行い、補正後の画像に基づいて視差を求める。 （もっと読む）

【課題】全体形状と局所的形状とを両方とも精度良く計測する。
【解決手段】プロジェクタ１は物体Ｍ上に映像を投影する。撮像装置２はプロジェクタ１によって物体Ｍ上に投影された映像を、プロジェクタ１とは異なる角度から撮像する。ステージ３及びステージ駆動装置４は、物体Ｍとプロジェクタ１及び撮像装置２との間の所定方向の相対走査を実行する。記憶部６には、ステージ３及びステージ駆動装置４による相対走査を実行しつつ、プロジェクタ１によりＹ軸方向に延びるスリット像を基準となる物体Ｍ上に投影させたときに撮像装置２によって撮像される動画像も記憶されている。制御部９は、ステージ３及びステージ駆動装置４による相対走査を実行しつつプロジェクタ１により記憶部６に記憶された動画像を計測対象の物体Ｍ上に投影させるとともに、撮像装置２により物体Ｍ上に投影された動画像を撮像させる。 （もっと読む）

【課題】被測定者の負担が少なく、かつ簡便な方法によって、眼窩下点などの解剖学的特徴点の位置を推定する方法および装置を提供する。
【解決手段】人（被測定者）の頭部の皮膚表面より、目頭点ＥＮＴ、目尻点ＥＣＴ、目頭点ＥＮＴの側の眼裂と眉との間の凹部にあたる瞼点ＰＬＰ、および耳珠上縁点の座標をそれぞれ取得する。取得された目頭点ＥＮＴ、目尻点ＥＣＴおよび瞼点ＰＬＰを通る仮想球面ＳＰＨの最下点の座標を算出することで眼窩下点ＯＲＢの位置を推定する。そして、一または二の眼裂に関する眼窩下点ＯＲＢおよび一または二の耳珠上縁点を含む少なくとも３点の座標に基づいてフランクフルト平面を算出する。 （もっと読む）

【課題】均一な光量分布の回折パターンが得られる回折光学素子を提供する。
【解決手段】複数の基本ユニットが２次元的に配列されており、入射する光に対して２次元的な回折光を発生させる回折光学素子であって、前記回折光を平面上に投影させることにより、前記平面上の所定の範囲内に複数の光スポットを発生させるものであり、前記所定の範囲を４角形とした場合、前記所定の範囲を略同一形状となるＮ_ｘ×Ｎ_ｙ個以上の領域に均等に分割し、前記分割された領域のうち、前記所定の範囲の中心領域における領域の前記光スポットの数をＭ_ｃとし、前記所定の範囲の４隅における領域の前記光スポットの数の平均をＭ_ｏとし、前記所定の範囲に照射される最大の回折角度をθｄとした場合に、Ｎ_ｘ及びＮ_ｙはともに３以上の奇数であって、１５°≦θｄ、Ｍ_ｏ／Ｍ_ｃ＞−０．０２１７３×θｄ＋１．３１４であることを特徴とする回折光学素子を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】より高い分解能を得ることが可能な変位センサを提供する。
【解決手段】センサヘッド１００は、レンズ１０（対物レンズ）と、レンズ１０を変位させるための振動子８と、フォトダイオード２（受光部）と、反射光の光路上に位置するピンホール７ａが形成された絞り板７と、レンズ９（コリメートレンズ）とを備える。光軸Ｘは、レンズ９，１０の光軸であるとともに、ピンホール７ａの中心軸に対応する。遮光部材１３は、ピンホール７ａの中心軸に対して反射光の光路が傾いた状態で、反射光にピンホール７ａを通過させる。遮光部材１３を省略し、レーザダイオード１の光軸をピンホール７ａの中心軸に対して傾けてもよい。これにより、フォトダイオード２からの受光信号に対する電気的ノイズあるいはスペックルの影響を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】回折構造体の測定パラメータモデルを利用する分光散乱システムおよび方法を提供する。
【解決手段】モデルの固有値を事前計算し、記憶し、ある共通の特性をもつ他の構造体に対して後に再利用する。１つ以上のパラメータの値を求めるために用いられる散乱データは、下敷フィルム特性に対して感度が低くなる波長におけるデータだけに制限することが可能である。代表的な構造体をスラブ２００’（ｉ）のスタックにスライスし、各スラブの近似を行うため四角形ブロック２１０，２１２，２１４，２１６，２１８のアレイを作成することによって三次元グレーティングに対するモデルを構築することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
光検査装置において、検出する光が微弱な場合に問題となる量子ノイズの影響を抑制する。
【解決手段】
光検査装置を、試料に光を照射する光照射手段と、参照光を発射する参照光手段と、光照射手段により光が照射された試料からの透過光または散乱光または反射光と、参照光手段から発射された参照光とを干渉させて干渉光を生成する光干渉手段と、光干渉手段により生成した干渉光を検出する光検出手段と、光検出手段により干渉光を検出して得られた検出信号に基づいて欠陥の有無を識別する欠陥識別手段と、試料からの透過光または散乱光または反射光の状態または参照光手段から発射された参照光の状態または光干渉手段により生成した干渉光の状態のうち少なくとも一つを変換する光変換手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】ユニークな特徴をもつ非周期パターンを投影して、なめらかな表面をもつ物体の三次元形状を計測する。
【解決手段】２種の菱形で構成した非周期パターン模様をワークに投影しステレオカメラで計測する。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置に応じて効率良く位置検出ができる光学式位置検出装置、電子機器及び表示装置等を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に沿って設定される検出エリアＲＤＥＴに照射光ＬＴを射出する光射出部３と、検出エリアＲＤＥＴにおいて照射光ＬＴが対象物ＯＢに反射したことによる反射光ＬＲを受光する受光部４と、受光部４の受光結果に基づいて、対象物ＯＢの位置情報を検出する検出部５０とを含む。光射出部３は、Ｘ−Ｙ平面に直交するＺ軸での対象物ＯＢのＺ座標位置に応じて、受光部４が検出する位置情報の検出精度を異ならせるように照射光ＬＴを射出する。 （もっと読む）

【課題】少ない部品で対象物体の位置を高い分解能で検出することのでき、さらには、少ない部品で対象物体の三次元座標を高い分解能で検出することのできる光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、導光部材４０、第１検出用光源１２１および第２検出用光源１２２を備えた線状光源ユニット１３が複数並列配置されており、点灯した線状光源ユニット１３が切り換わった際の光検出部３０での受光結果によりＹ軸方向（第２方向）における対象物体Ｏｂの位置を検出する。また、第１検出用光源１２１と第２検出用光源１２２とが順次点灯した際の光強度分布を利用してＸ軸方向における対象物体Ｏｂの位置を検出する。さらに、第１検出用光源１２１および第２検出用光源１２２が同時点灯した際の光強度分布を利用してＺ軸方向における対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】対象表面までの距離測定用で改善された範囲対分解能比を持った小型のクロマティック共焦点ポイントセンサ光学ペンを提供すること。
【解決手段】光学ペン２２０は測定範囲対分解能比を拡張する多段の光学的構造を含み、該光学的構造は少なくとも第一および最後の軸方向分散合焦要素２５０Ａ，２５０Ｂを含む。軸方向合焦要素は光学的に結合して光学ペン全体での軸方向色分散量の増加に貢献する。第一の軸方向分散合焦要素は光源放射光を受けてこれを多段の光学的構造内の第一の焦点領域に合焦する。最後の軸方向分散合焦要素は多段の光学的構造内の最後の焦点領域から放射光を受けて測定ビームＭＢを出力する。中間の焦点領域を形成する中間合焦要素を設けてもよい。このような光学的構造によって今までにない拡張された測定範囲Ｒ２、小さいレンズ径、および高い開口数を結合した光学ペンを提供できる。 （もっと読む）

【課題】オーバーレイ測定、非対称性測定、およびインダイオーバーレイターゲットの再構築を可能にする。
【解決手段】四分くさび光デバイス（ＱＷ）は、基板から散乱した放射の回折次数を別々に再誘導し、第１方向および第２方向の各々に沿って照明から回折次数を分離する。例えば、０次（０、０’）および１次（−１、＋１’）を、各入射方向について分離する。マルチモードファイバ（ＭＦ）での捕捉の後、スペクトロメータ（Ｓ１−Ｓ４）を使用して波長（Ｉ_０’（λ）、Ｉ_０（λ）、Ｉ_＋１’（λ）、およびＩ_−１（λ））の関数としての空間的に再誘導された回折次数の強度を測定する。そして、これをオーバーレイエラーの計算、または単一格子の非対称パラメータの再構築に用いる。 （もっと読む）

【課題】露光装置で、複数のヘッドを含むエンコーダシステムを用いてウエハステージの位置を管理することが出来る移動体駆動方法を提供する。
【解決手段】制御装置により、エンコーダシステムのＸエンコーダとＹエンコーダとを少なくとも各１つ含む３つのエンコーダＥｎｃ１，Ｅｎｃ２及びＥｎｃ３を用いてステージＷＳＴの移動面内の位置情報が計測され、該位置情報の計測結果と該位置情報の計測に用いられたヘッド（エンコーダ）Ｅｎｃ１，Ｅｎｃ２及びＥｎｃ３の移動面内での位置情報（ｐ₁，ｑ₁）、（ｐ₂，ｑ₂）及び（ｐ₃，ｑ₃）とに基づいて、ＸＹ面内でステージＷＳＴが駆動される。これにより、複数のヘッドを含むエンコーダシステムを用いてステージＷＳＴの移動中に制御に用いるヘッド（エンコーダ）を切り換えながら、ステージの移動を精度良く制御することが可能になる。 （もっと読む）