【課題】露光装置で、複数のヘッドを含むエンコーダシステムを用いてウエハステージの位置を管理することが出来る移動体駆動方法を提供する。
【解決手段】制御装置により、エンコーダシステムのＸエンコーダとＹエンコーダとを少なくとも各１つ含む３つのエンコーダＥｎｃ１，Ｅｎｃ２及びＥｎｃ３を用いてステージＷＳＴの移動面内の位置情報が計測され、該位置情報の計測結果と該位置情報の計測に用いられたヘッド（エンコーダ）Ｅｎｃ１，Ｅｎｃ２及びＥｎｃ３の移動面内での位置情報（ｐ₁，ｑ₁）、（ｐ₂，ｑ₂）及び（ｐ₃，ｑ₃）とに基づいて、ＸＹ面内でステージＷＳＴが駆動される。これにより、複数のヘッドを含むエンコーダシステムを用いてステージＷＳＴの移動中に制御に用いるヘッド（エンコーダ）を切り換えながら、ステージの移動を精度良く制御することが可能になる。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
実質的に所定の平面に沿って移動体を駆動する移動体駆動方法であって、
前記平面に平行な第１方向を周期方向とするグレーティングに計測ビームを照射し、前記グレーティングからのビームを受光し、前記第１方向に交差する方向に配列された複数の第１ヘッドを含むエンコーダシステムの少なくとも１つの第１ヘッドを用いて前記第１方向に関する前記移動体の位置情報を計測し、該位置情報の計測結果と該位置情報の計測に用いられた少なくとも１つの第１ヘッドから射出される計測ビームの前記平面に平行な面内における位置情報とに基づいて、前記平面に沿って前記移動体を駆動する工程を含む移動体駆動方法。

【図１】

【図２】

【図３】

【図４】

【図５】

【図６】

【図７】

【図８】

【図９】

【図１０】

【図１１】

【図１２】

【図１３】

【図１４】

【図１５】

【図１６】

【図１７】

【図１８】

【図１９】

【図２０】

【図２１】

【図２２】

【図２３】

【図２４】

【図２５】

【図２６】

【図２７】

【図２８】

【図２９】

【図３０】

【図３１】

【図３２】

【図３３】

【図３４】

【図３５】

【図３６】

【図３７】

【公開番号】特開２０１２−１６９６５５（Ｐ２０１２−１６９６５５Ａ）
【公開日】平成２４年９月６日（２０１２．９．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−９６２２７（Ｐ２０１２−９６２２７）
【出願日】平成２４年４月２０日（２０１２．４．２０）
【分割の表示】特願２００８−５３３１４２（Ｐ２００８−５３３１４２）の分割
【原出願日】平成１９年９月３日（２００７．９．３）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】