【課題】複雑な形状の被測定物に対して精度を高めて測定する。
【解決手段】形状測定装置（１００）は、被測定物にライン光を照射する光照射部（２１）及びライン光の照射方向とは異なる方向から被測定物に照射されたライン光を検出する光検出部（２２）を有するセンサー部（２）と、光検出部（２２）からの検出結果に基づいて被測定物の形状を測定する形状測定部（５３）と、センサー部（２）と被測定物とを相対移動させる駆動部（１１）と、測定方向に相対移動する間に形状測定部（５３）によって得られた複数回の測定の結果に基づいて、測定時のセンサー部（２）と被測定物との少なくとも一方の姿勢を制御する測定制御部（５６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定装置もしくは帯状部材を移動させることなく、帯状部材の継ぎ目形状を精度よく測定する。
【解決手段】レーザー照射手段１２によりカーカスプライ２０の表面にコードの延長方向に直交する方向に延長するライン光を入射角４５°で照射し、その反射光のうちの前面散乱光Ｒ₁を撮影手段１３で直接受光し、正反射光Ｒ₂を第１の光学素子１４で反射させ側面散乱光Ｒ₃を第３の光学素子１５で反射させてそれぞれ撮影手段１３に受光させる構成とすることで、前面散乱光Ｒ₁による画像である上面像Ｇ₁と、正反射光Ｒ₂による画像である正面像Ｇ₂と側面散乱光Ｒ₃による画像である側面像Ｇ₃とを撮影し、撮影された上面像Ｇ₁と正面像Ｇ₂と側面像Ｇ₃とを用いてカーカスプライ２０の継ぎ目部分を含む照射部を３方位から見たときの変位量ｈ₁，ｈ₂及びｈ₃を求め、変位量ｈ₁，ｈ₂及びｈ₃を用いてカーカスプライ２０の照射部の厚さを求める。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤカメラの飽和露光量を超える過大な入力光量に対して、最短時間で測定可能なＣＣＤカメラ信号を得ることが可能な測定装置、及びその応答時間の短縮方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ＣＣＤカメラ１ａの露光時間を制御する測定装置１００の応答時間の短縮方法であって、ＣＣＤカメラは、異なる透過率の２つ以上のフィルタ出力を同時に使用し、入力光量の最小値を検出する第１の透過率の大きいフィルタ出力の測定範囲の最大値（飽和値）と、第２の透過率の低い第２のフィルタ出力の測定範囲の（最小値）とがラップするような透過率とし、第１のフィルタ出力が飽和している場合には、前記第２のフィルタ出力から、前記第１の透過率と前記第２の透過率との比率から、前記第１のフィルタ出力に換算した露光時間の補正ゲインを求め、一回の制御周期（測定周期）で入力光量を検知し、次の制御周期で第１のフィルタの露光時間を更新する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の計測処理を高速化すること。
【解決手段】スリット状の光線を計測対象物に対する照射位置を変更させながら照射する照射部と、前記光線が照射された前記計測対象物を順次撮像する撮像部と、前記撮像部によって撮像された画像を走査することによって前記画像における前記光線の位置を検出する位置検出部と、前記位置検出部による走査対象の画像よりも以前に前記撮像部によって撮像された画像における前記光線の位置に基づいて前記走査対象の画像における走査領域を決定する走査領域決定部とを３次元形状計測装置へ設ける。 （もっと読む）

【課題】検出部を被検物に対して移動させて測定位置毎に停止させて測定する場合の測定速度を向上させることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被検物に対しての相対位置が変更されて被検物の表面の形状を検出する検出部（２０）と、検出部により検出された被検物の表面の形状の変位を示す情報に基づいて、被検物に対して検出部が相対的に静止しているか否かを判定する判定部（静止判定部５８）と、判定部により検出部が相対的に静止していると判定された場合の形状に基づいて、被検物の表面の形状データを算出する算出部（座標算出部５３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】対象物体が検出用光源を配置した領域の外側に位置しても内側に位置しても対象物体の位置を検出できる光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、検出用光源部１２が検出光Ｌ２を射出した際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出部３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を検出する。検出空間１０Ｒからみたときに、光検出部３０は、複数の検出用光源部１２より内側に位置するとともに、複数の検出用光源部１２は各々、第１の発光素子１２Ａ１〜１２Ｄ１と第２の発光素子１２Ａ２〜１２Ｄ２とを備えている。従って、第１の発光素子１２Ａ１〜１２Ｄ１が点灯した際の光検出部３０での受光強度と第２の発光素子１２Ａ２〜１２Ｄ２が点灯した際の光検出部３０での受光強度との比較結果に基づいて対象物体Ｏｂが検出用光源部１２より外側に位置しても内側に位置しても対象物体Ｏｂの位置を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】精度良く障害を認識することができる移動体の障害認識方法を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る移動体の障害認識方法は、移動体の障害認識方法であって、移動体の路面データ取得手段で少なくとも高さデータを含む路面データを取得するステップと、取得した路面データを高さ順に並べ替えるステップと、並べ替えた路面データの変化点を抽出するステップと、変化点を境に障害を認識するステップと、を備える。これにより、精度良く障害を認識することができる （もっと読む）

【課題】プローブを交換する事無く種々の測定精度を得ることができる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】第１のライン光を測定物に照射する第１光学系と、第１光学系の少なくとも一部の光学素子を有し、第１のライン光よりも長い第２のライン光を測定物に照射する第２光学系とを有する光照射部と、前記測定物による前記第１のライン光の散乱光を検出する第１の検出部と、前記測定物による前記第２のライン光の散乱光を検出する第２の検出部と、を備える形状測定装置である。 （もっと読む）

【課題】 最適パターン光投影のような強度変調パターン光投影手法による静止物体の三次元画像計測を行う。
【解決手段】 ワークＷにパターン光を投影するパターン投影機２１と全面照明機２２と、パターン光が投影されたワークＷを撮像して画像を撮像するカメラ２３、２４により撮像した画像のデータを処理するデータ処理装置４２とから構成され、パターン投影機２１によりパターン光を投影して画像を撮影する第１撮像モードと、全面照明機２２による全照明反射画像を撮像する第２撮像モードがワークＷの種類の特定によって判定される。その撮像結果によって三次元情報が算出されるので、精度の高い三次元情報を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】常に、受光量が最大値を示すピーク画素からの受光信号を利用する構成に比べて、検出可能な対象物の制約を抑制することが可能な技術を提供する。
【解決手段】変位センサシステムは、受光信号に基づき指定された少なくとも１つの領域について、当該領域内において受光量がピークを示す画素であるピーク画素が複数存在する場合、当該複数のピーク画素の中からいずれかを、選択画素として選択するピーク選択部と、上記少なくとも１つの領域について、ピーク選択部で選択された選択画素からの受光信号に基づき投受光感度を設定する感度設定部と、各領域内の走査線の受光信号を、当該領域に対応する投受光感度下で前記受光処理部に取り出させ、その取り出された受光信号に応じた検出処理を実行する受光制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法による３次元計測を可能にしながらも、液晶シャッタにおける隣接する画素の透過率を連続的に変化させる場合に比べて応答時間を短縮する。
【解決手段】投影装置１は、光源１１と、処理装置３からの制御信号により透過率が個別に制御される画素が２次元格子上に配列された液晶シャッタ１２と、光源１１から出力され液晶シャッタ１２を透過した光束の少なくとも一部を混合して計測対象４の表面に照射させるレンズ１３とを備える。処理装置３は、液晶シャッタ１２にそれぞれ複数列の画素からなり平均透過率が周期的に変化する複数の帯領域を形成させるように制御信号を出力し、レンズ１３は、帯領域を透過した光束を混合して計測対象４の表面に縞状の光パターンを形成させる。 （もっと読む）

【課題】広い視野に渡る計測対象の三次元形状情報を迅速かつ容易に計測する。
【解決手段】三次元形状測定装置１０は、計測対象に投影された光パタンを解析することによって、計測対象の三次元形状を計測する装置である。ここで、三次元形状測定装置１０は、光パタンが投影された計測対象を画像として読み取るためのラインセンサ１６と、ラインセンサ１６により読み取られた画像における光パタンを空間縞解析法に基づいて解析して、計測対象の三次元形状の情報を算出する画像解析部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】二つの視点それぞれから得られた画像間の視差を算出する際、画像間の歪み又はずれの影響を抑え、精度の高い視差を簡易に算出する視差算出装置、距離算出装置及び視差算出方法を提供する。
【解決手段】視差算出装置１００は、第一カメラ１から得られた基準画像及び第二カメラ２から参照画像を取得する。画像分割部１０１は、条件設定部１０２によって設定される分割条件に従い、基準画像及び参照画像それぞれを複数の領域に分割する。補正量決定部１０３は、分割された領域毎に画像ずれ量を算出し、その画像ずれ量に基づき補正量を決定する。視差算出部１０４は、補正量決定部１０３によって決定された補正量に基づいて画像分割部１０１から得られる分割基準画像及び分割参照画像の各領域に対して画像の補正を行い、補正後の画像に基づいて視差を求める。 （もっと読む）

【課題】全体形状と局所的形状とを両方とも精度良く計測する。
【解決手段】プロジェクタ１は物体Ｍ上に映像を投影する。撮像装置２はプロジェクタ１によって物体Ｍ上に投影された映像を、プロジェクタ１とは異なる角度から撮像する。ステージ３及びステージ駆動装置４は、物体Ｍとプロジェクタ１及び撮像装置２との間の所定方向の相対走査を実行する。記憶部６には、ステージ３及びステージ駆動装置４による相対走査を実行しつつ、プロジェクタ１によりＹ軸方向に延びるスリット像を基準となる物体Ｍ上に投影させたときに撮像装置２によって撮像される動画像も記憶されている。制御部９は、ステージ３及びステージ駆動装置４による相対走査を実行しつつプロジェクタ１により記憶部６に記憶された動画像を計測対象の物体Ｍ上に投影させるとともに、撮像装置２により物体Ｍ上に投影された動画像を撮像させる。 （もっと読む）

【課題】高速に搬送される計測対象の物体の３次元形状計測を高精度に行う。
【解決手段】プロジェクタ２は、Ｙ軸方向に並ぶ明暗ピッチによりコード化されたスリットパターンがＸ軸方向に複数配列され、Ｙ位置が同じビットデータを各スリットパターンから抽出してＸ軸方向に沿って並べたときのビット列の値がＹ軸方向に沿って線形に変化するように各スリットパターンがコード化されたスリットパターン像を、物体Ｍの搬送経路上に投影する。撮像装置３は、物体ＭがＸ軸方向に搬送されスリットパターン像を通過する様子を、プロジェクタ２とは異なる角度から撮像する。コード生成部６は、撮像された動画像に基づいて、物体Ｍ上における計測対象の位置が、各スリットパターンにそれぞれ到達したときの明暗をコード化する。高さ算出部７は、コード化されたコードに基づいて、計測対象の位置の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】ズーム機能を用いた場合であっても、精度よく三次元モデルを作成する。
【解決手段】画像取得部１１は、ペア画像を取得する。特徴点対応抽出部１２Ｂは、画像取得部１１が取得したペア画像のそれぞれの画像から、特徴点対応の組を抽出する。誤対応除去部１２Ｃは、特徴点対応抽出部１２Ｂによって抽出された特徴点対応の組において、垂直座標の差が所定値以上ある組を誤対応として除去する。第１補正部１２Ｄは、誤対応が除去された後の特徴点対応の組の垂直座標に基づいて、画像取得部１１が取得したペア画像を、三次元モデル作成に適した画像に補正する。三次元モデル生成部１３は、画像取得部１１が取得し、画像補正部１２が補正したペア画像から、被写体の三次元モデルを生成する。 （もっと読む）

【課題】ステレオ法を用いた三次元測定に適したカメラ校正を行い、三次元位置の測定における測定精度を向上させることができるカメラ校正方法を提供すること。
【解決手段】複数の特徴点が設けられ、各特徴点の相対位置が既知である校正器を撮像する（Ｓ２）。撮像した校正器の画像情報から校正器の特徴点を抽出する（Ｓ３）。２つのカメラそれぞれのカメラパラメータの初期値を算出する（Ｓ４）。算出したカメラパラメータを用いて、２つ以上の特徴点の三次元位置座標を算出する（Ｓ５）。三次元位置座標を算出した各特徴点のうち、２つの特徴点間の距離を算出する（Ｓ６）。算出した距離と実際の距離との誤差を算出する（Ｓ７）。算出した誤差を用いてカメラパラメータの修正量を算出する（Ｓ８）。算出した修正量の分、カメラパラメータを修正して更新する（Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】エネルギ照射装置と２次元撮像装置を用いることで、種々の条件下で頑健に動作する対象物認識システムおよび見守りシステム、監視システムを提供する。
【解決手段】観測対象となる空間に向けて、所定の位置から照射方向を変えながら、エネルギを照射する照射手段と、照射手段で照射されたエネルギの反射エネルギを２次元的に感知し、対象となる空間を２次元的に撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像した撮像画像上の切断曲線の特徴を用いて対象物の認識を行う認識手段とを備える対象物認識システムおよび該システムを備える見守りシステム、監視システム。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で容易に平坦度を検出可能な平坦度検出装置、および平坦度検出方法を提供する。
【解決手段】平坦度検出装置１は、三次元測定装置２から計測データを取得する計測データ取得手段１４１と、検査対象計測面上の第一計測点を取得する第一計測点取得手段１４３と、第一計測点から検査対象計測面の幾何形状式を算出する第一形状算出手段１４４と、計測データから隣接計測面に属する第二計測点を取得する第二計測点取得手段１４５と、第二計測点から隣接計測面の幾何形状式を算出する第二形状算出手段１４６と、検査対象計測面および隣接計測面の交線または交点を算出する外周縁算出手段１４７と、交線または交点に基づいて補正検査対象計測面の幾何形状式を算出する補正計測面算出手段１４８と、補正検査対象計測面の幾何形状式に基づいて検査対象面の平坦度を検出する平坦度検出手段１４９と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】改良されたレベルセンサを提供する。
【解決手段】レベルセンサはリソグラフィ装置において基板表面高さを測定する。レベルセンサには、検出用の放射を基板に発する光源と、基板から反射された放射を測定するための検出器ユニットと、が設けられている。光源は、リソグラフィ装置において基板を処理するために使用されるレジストが反応する波長域の検出用放射を発する。 （もっと読む）