【課題】コンパクトな構造で、ＸＹＺ軸方向の移動量および移動方向の高精度化と高分解能化が実現できる変位測定装置を提供する。
【解決手段】計測基準面である２次元回折格子１と、回折光を検出するセンサ・ユニット２を有する。センサ・ユニット２は、２次元回折格子１に対して垂直に配置された２次元回折格子２１と、レーザー光源２２と、レーザー光を２次元回折格子１および２次元回折格子２１に垂直に入射させるとともに、２次元回折格子１および２次元回折格子２１からの回折光を対物レンズ２６によって干渉させる光学系と、干渉光を検出するフォトダイオード４１ないし４４等からなるセンサを有する。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンの方向が分からなくても高感度な欠陥検査を行う。
【解決手段】 被検基板の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光により照明する手段と、直線偏光の振動面の方向と繰り返しパターンの方向との成す角度を任意の角度φに設定して、繰り返しパターンから発生した正反射光のうち直線偏光の振動面に垂直な偏光成分の光強度を測定する手段（Ｓ１,Ｓ２）と、上記の成す角度を、角度φとは異なる φ＋４５度 , φ−４５度 , φ＋１３５度 , φ−１３５度 の何れかの角度に設定して、繰り返しパターンから発生した正反射光のうち直線偏光の振動面に垂直な偏光成分の光強度を測定する手段（Ｓ３,Ｓ４）と、測定された各々の光強度を加算して、加算後の光強度に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する検出手段（Ｓ５,Ｓ６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、確実に良好な検査を行うことのできる表面検査方法、及びそれに好適な表面検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の表面検査方法は、被検基板上のパターンを偏光した照明光で照明すると共に、そこで生じた正反射光の偏光状態を示す反射信号を取得し、その反射信号に基づき前記被検基板の検査を行う表面検査方法であって、前記被検基板の検査に先立ち、前記照明光の波長を切り替えながら（Ｓ１，Ｓ３，Ｓ４）、予め用意されたテスト基板の前記反射信号を繰り返し取得し（Ｓ２）、取得された複数の反射信号に基づき前記被検基板の検査用の波長を決定する（Ｓ５）ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンの複数種類の欠陥に対して十分な検出感度を確保できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体２０の表面に形成された繰り返しパターンを照明し、繰り返しパターンの形状変化による正反射光Ｌ２の強度の変化を測定する第１測定手段(１３〜１５)と、繰り返しパターンを直線偏光により照明し、繰り返しパターンの繰り返し方向と直線偏光の振動面の方向との成す角度を斜めの角度に設定し、繰り返しパターンの形状変化による正反射光Ｌ２の偏光状態の変化を測定する第２測定手段(１３〜１５)と、第１測定手段と第２測定手段との各々が繰り返しパターンを照明する際に用いる光Ｌ１の波長を異なる波長に設定する設定手段(４４〜４６)とを備える。 （もっと読む）

【課題】広い波長域に適用でき、かつ、応答が速く、稼動温度領域の広い熱型センサを開発する。
【解決手段】上記の目的を達成するために、本発明の熱応力波焦点化現象を用いた赤外線検知装置は、熱型センサの一種であるが、一般の熱型センサがセンサの温度上昇を利用する方法をとっているのに対し、入射赤外線の吸収熱量による衝撃的熱膨張により瞬間的に励起される熱弾性波を焦点化して電気信号に変換して計測しているため、温度上昇を利用するセンサに比べて１０００倍程度速く応答し、また、適用温度領域は、１０００℃以上でも稼動させることができ、かつ、構造が至って、簡便である事を特徴としている。 （もっと読む）

【課題】誤差を生じにくく、多くの空間を占有しない、改良された精密測定システムを提供する。
【解決手段】測定システムに入力された第１の放射ビームが、第１の回折格子によって、１次および負の１次回折放射ビームに分割され、１次および負の１次回折放射ビームが、第２の回折格子によってさらに回折され、続いて再結合されて、第２の放射ビームを形成するように構成されており、この測定システムはさらに、１次回折放射ビームに由来する第２のビームの第１の成分と負の１次回折放射ビームに由来する第２のビームの第２の成分との間の位相差の決定から、第１の格子と第２の格子の相対変位を決定する。 （もっと読む）

【課題】
リソグラフィ装置におけるレベルセンサまたは高さセンサのキャリブレーションのための改良方法を提供する。
【解決手段】レベルセンサによって得られる基板位置測定のプロセス依存性を低減させるべく、複数のレベルセンサデバイスにおける測定値間の差を補い、かつ前記基板の特性に対応する、前記レベルセンサシステムについての少なくとも１つのキャリブレーション値を取得することと、少なくとも１つのキャリブレーション値に基づき、前記複数のレベルセンサデバイスを用いて、基板の表面の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】 照明系と受光系との各々に反射鏡を配置して高精度な欠陥検査を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体２０の表面に直線偏光Ｌ１を照射して表面を照明する照明手段１３と、表面から発生した光のうち、直線偏光の振動面に交差する偏光成分Ｌ４を受光する受光手段１４とを備える。照明手段および受光手段の各々の光路中には反射鏡３５,３６が配置される。そして、反射鏡には、基材側より順にバインダー層と反射層と保護層とが積層され、保護層の厚さは、５ｎｍ〜２０ｎｍであり、反射鏡に対する光の入射角度を１５度以下とする。 （もっと読む）

【課題】位相差測定の精度を高める偏光干渉位相差検出手段を提供すること。
【解決手段】干渉距離測定または干渉変位測定のための検出手段。検出手段は、互いに直交偏光し、偏光感度を有する光線屈折素子に向けて配向される対象物光路出力光線および参照光路出力光線を受け取る。光線屈折素子は、これらの直交偏光光線の一方または両方を屈折させ、これらの光線の間に所望の発散角度を形成する。分離光線は、合成偏光板に入射される。この合成偏光板から射出する光線は、同様に偏光されて干渉する。干渉する分離光線により、干渉縞が形成される。受光素子アレイの干渉縞の空間位相が、干渉計の対象物光線および参照光線の間の位相差とされる。 （もっと読む）

【課題】 照明系と受光系の各凹面反射鏡の配置に応じたノイズ成分のバラツキを小さく抑えることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体２０の表面に直線偏光Ｌ１を照射して表面を照明する照明手段１３と、表面から直線偏光の入射面３Ａに沿って発生した光Ｌ２のうち、直線偏光の振動面に交差する偏光成分を受光する受光手段１４とを備え、照明手段および受光手段の各々の光路中には凹面反射鏡３５,３６が配置され、照明手段の光路と受光手段の光路との少なくとも一方には、入射面に交差する光路（例えば光路６Ｂ）が含まれる。 （もっと読む）

【課題】ワークの厚み変化を求めることができる光学干渉計を提供する。
【解決手段】光学干渉計１００は、ワークＷのおもて面側に配設される第１光学干渉計２００と、ワークＷのうら面側に配設される第２光学干渉計３００とを備える。第１光学干渉計２００と第２光学干渉計３００とは、光発射部２１０、３１０と、ワイヤーグリッド２２０、３２０と、干渉縞取得部２３０、３３０と、を備える。第１光学干渉計２００のワイヤーグリッド２２０と第２光学干渉計３００のワイヤーグリッド３２０とはワイヤー配列方向が直交関係にある。ワークＷが配置されない状態では、第１光学干渉計２００のワイヤーグリッド２２０が第２光学干渉計３００からの光を反射して物体光を生成し、第２光学干渉計３００のワイヤーグリッド３２０が第１光学干渉計２００からの光を反射して物体光を生成する。 （もっと読む）

【課題】継続時間の比較的長い振動や衝撃が加わった場合であってもその発生位置を検知することが可能な装置を提供する。
【解決手段】本発明の検知装置は、偏光させた光波を折返部を介して往復させる並列した往路側導波手段および復路側導波手段と、往路側導波手段上に設けられ、負荷により所定の偏光成分強度に変化をもたらす往路側検知領域と、復路側導波手段上に設けられ、負荷により所定の偏光成分強度に変化をもたらす復路側検知領域と、往路側検知領域で生じた偏光成分強度を検知する第１の受光部と、往路側検知領域および復路側検知領域で生じた偏光成分の強度を検知する第２の受光部を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】腐食性流体を内部に収容する内張り付き容器の内張りの損傷を長期間にわたって簡便に検出する。
【解決手段】金属製母材の外表面に螺旋状の光ファイバセンサ６を固定し、光ファイバセンサ６により内張りの損傷に伴う金属製母材のひずみ変化を測定し、ひずみ変化に基づいて内張りの損傷を検知する。ひずみ変化測定は、光ファイバセンサ中を透過した光がドップラ効果による湾曲部での波長のずれを計測する方法、光ファイバセンサの屈折率の変化を計測する方法、光ファイバセンサの透過光後方散乱光分布を計測する方法、のいずれでもよい。 （もっと読む）

発光装置の該発光装置の長軸の周りのロール角を検出するためのロール検出システムが開示される。該発光装置は、好適にはポインティングデバイス２である。本システムは更に、ポインティングデバイス２によって発せられた光を検出するための光検出装置４と、該ポインティングデバイスがどこに向けられているかを決定するための手段とを有する。ポインティングデバイス２は、少なくとも第１の光源Ｘ１と第２の光源Ｙ１とを有する。第１の光源Ｘ１と第２の光源Ｙ１とは、異なる偏光方向を持つ光を発する。光検出装置４は、偏光フィルタ３を備える。第１の光源Ｘ１及び第２の光源Ｙ１により発せられた光の偏光の方向は、９０°とは等しくない角度だけ異なる。本システムを用いることにより、ポインティングデバイス２のロール角が、大きな角度範囲に亘って決定されることができる。
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【課題】対象物を照明し、対象物の反射光から、対象物を撮像する撮像装置に関し、装置の小型化と組み立ての容易化を図る。
【解決手段】イメージセンサ（３０）の周囲の位置に、複数の発光素子（２２，２４）を搭載し、この複数の発光素子の光を、導光体（１０）で、撮像範囲に導き、照明する。又、この撮像系と照明系とが近接している撮像装置を、導光体（１０）の突起（１６）を、撮像範囲外の光を遮断するフード（７８）の下端（７８−５）で、押さえ、且つフード（７８）の上端をフィルタ（７６）で押さえる。このため、接着を最小限とする小型の撮像装置を実現でき、撮像装置の組み立ての作業性を向上し、不良率の低減、生産効率の向上に寄与する。 （もっと読む）

本発明は物体の形状測定の識別特徴を取得するステップと、取得した識別特徴を表わす物体の識別特徴とデータベースにおける識別特徴とを比較するステップとを含む、形状測定により物体を識別する方法に関する。物体の形状測定の識別特徴は、物体に対して長さＬ_ｉのパルスを有するレーザ光線を照準合わせすることにより得られ、この長さＬ_ｉはレーザの照準軸に沿った、関係する物体の長さＲ_ｕよりも少なくとも１０倍短い。
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【課題】薄板を傷付けることなく且つ反りを生じることなくセットステージに載置することができると共に、セットステージへの固定および固定解除を瞬時に行うことができる形態測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】帯電性を有する薄板Ｗ上に形成された薄膜の形態および帯電性を有する薄板の表面の形態のいずれかを、非接触で測定する形態測定装置１において、薄板Ｗをセットするセットステージ４と、セットステージ４にセットした薄板Ｗに非接触で臨み、薄膜の形態または薄板の表面の形態を測定する測定器６と、を備え、セットステージ４には、薄板Ｗを静電吸着する静電吸着機構５が組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】
様々な試料の形状を簡便に測定することができる干渉計及び測定方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる干渉計は、レーザ光源１１と、Ｘスキャナ１６と、回転可能に設けられた１／２波長板２０と、Ｙスキャナ２３と、２本の光ビームに分岐するＰＢＳ２６と、一方の光ビームを集光する試料用対物レンズ２７と、他方の光ビームを集光する参照用対物レンズ３０と、参照用対物レンズ３０で集光された光ビームを反射する参照用ミラー３１と、測定光と参照光との合成光を、照明光から分岐する第１の無偏光ビームスプリッタ２２と、合成光の光路中に設けられた１／４波長板４２と、１／４波長板４２からの合成光を第１偏光板５１を介して受光する第１ラインセンサ５２を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】励起レーザ光が波長ドリフトしても、励起レーザ光の波長に対するラマン散乱光の波長シフトの測定が高精度に行えるようにするため、励起レーザ光及びラマン散乱光の波長を同時に補正できるようにする。
【解決手段】試料Ｓからのラマン散乱光及び励起レーザ光１に起因するレーリー散乱光と基準光１３とを多波長同時検出手段８に導入し、各散乱光１ａのスペクトル及び基準光１３のスペクトルを測定する。各スペクトルをガウス関数などを用いてフィッティングしてピーク波長位置を求め、基準光１３の既知波長に基づいて補正値を求める。補正値を用いて各スベクトルのピーク位置を補正し、ラマンスペクトル及びレーリー散乱スペク卜ルのピーク波長位置を波数単位に変換して差分を求め、ラマンシフトを求める。 （もっと読む）

【課題】伝搬光による光スポットを微小化するとともに、その位置を変位させることができるようにする。
【解決手段】光軸対称で凸の錐体面を光射出面として有する透明な光学素子１０の光射出面１０Ａから、光軸ＡＸに直交する面内で光射出面の断面形状に相似な形状で、光軸から所望の内径と幅とを有する光軸対称な光束部分Ｌ１２を射出させて、光学素子外の光軸上に微小な光スポットＳＰを形成させ、光軸対称な光束部分Ｌ１２の光軸ＡＸからの内径：Ｒと幅：Δのうち、少なくとも光軸からの内径：Ｒを変化させることにより微小な光スポットＳＰの形成位置を変化させる。 （もっと読む）