対象物（６）を少なくとも一次元で非接触で測定する方法であって、対象物（６）を走査ビームフィールド（１）の空間的に制限された有効範囲内で走査し、走査ビーム（Ｌ）の１本又は複数本の遮断を検出して測定次元での対象物（６）の大きさを推定するようにした前記方法を提案する。走査ビームフィールド（１）は直接アドレス化可能な複数本の個々のビーム（Ｌ）から構成されている。走査ビームフィールド（１）の空間的に制限された有効範囲のビームによる走査は、予め設定可能なステップのパターンにしたがって非線形ソーティング方法を使用して行なう。好ましい方法は二等分探索方法の適用にある。
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【課題】熱交換器の耐圧性を比較的簡単かつ正確に検査することができる熱交換器の耐圧性検査方法を提供する。
【解決手段】内部接合部を有する複数の偏平状熱交換管が並列状に設けられており、かつ隣接する熱交換管どうしの間が通風間隙となっているとともに通風間隙にフィンが配置されている熱交換器１の耐圧性を検査する方法である。熱交換器１の内部を加圧し、加圧開始前に熱交換器１の片側から光を照射するとともに、熱交換器１の反対側からＣＣＤカメラ44で撮像し、撮像範囲を複数のドットに分割し、各ドットにおける輝度情報を所定のしきい値により白部分および黒部分に２値化して、撮像範囲における白部分および黒部分のパターンを抽出する。また、加圧開始後連続的に上記と同様にして、撮像範囲における白部分および黒部分のパターンを抽出する。加圧開始前の上記パターン、および加圧後の上記パターンの連続的変化に基づいて熱交換器１の耐圧性を判定する。 （もっと読む）

【課題】距離画像を用いた人体検知方法および人体検知装置を提供する。
【解決手段】人体検知部２０は、距離画像センサ１０から得た距離画像を構成する複数の画素から、画素値が閾値以下となる画素領域を抽出する領域抽出処理を、閾値を画素値が最短の画素の画素値から段階的に伸ばして複数回行う。そして、人体検知部２０は、領域抽出処理を行う毎に、新たに抽出された画素領域が、既に抽出された画素領域と部分的に重複する場合は、部分的に重複する複数の画素領域を同一の物体と判断して、複数の画素領域の全体に同一の識別子を割り当てる識別子割当処理を行い、同一の識別子を割り当てた複数の画素領域の画素数が人体の大きさに相当する画素数を超えるという判定条件が成立すると、領域抽出処理および識別子割当処理を終了し、同一の識別子が割り当てられた画素領域を人体として抽出する。 （もっと読む）

【課題】 被検査面に特定パターンの検査光を照射する照明部と、照射された被検査面を撮像する撮像部とからなる撮像ユニット、被検査面を撮像ユニットに対して相対移動させる搬送機構、及び、得られた撮像画像に基づいて被検査面の欠陥を検知する欠陥検知手段を備えている表面検査装置を、比較的大きな寸法の欠陥でも欠陥として捕え易いように改良する。
【解決手段】 欠陥検知手段が、撮像画像における孤立した高輝度領域を欠陥候補と判定する孤立点抽出部を備え、検査光の所定パターンが、所定寸法の暗部Ｄと、暗部Ｄを外周から包囲する明部Ｌとからなる単位発光面Ｕを相対移動の方向と交差する方向に多数隣接配置した発光面列ＦＲと、発光面列と平行に連続的に延びた列状暗部ＤＲとを有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で対象物の実寸を求めることができる計測装置を提供する。
【解決手段】発光源２は対象空間に光を照射し、光検出素子１は対象空間を撮像する。画像生成部４は、発光源２から対象空間に照射された光と対象空間内の対象物Ｏｂで反射され光検出素子１で受光される反射光との対応関係によって対象物Ｏｂまでの距離を求め、画素値が距離値である距離画像と、受光光量である濃淡値を画素値とする濃淡画像とを生成することにより、同じ画素に距離値と濃淡値とを対応付ける。計測点抽出部５は、画像生成部４で生成された濃淡画像から対象物Ｏｂについて着目する複数の計測点を抽出する。実寸算出部６は、計測点抽出部５で抽出した計測点の位置の画素について画像生成部４で生成された距離画像から求めた距離値と距離画像内での計測点の位置とから対象物Ｏｂにおいて複数の計測点に対応する部位間の実寸を算出する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における外観不良を検査するに際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることを可能とする。
【解決手段】外観検査装置２１は、照明装置２２、カメラ２３及び画像処理装置２４等を備えている。照明装置２２により、錠剤５及び容器フィルム３に対し、青色光が照射され、当該青色光によって少なくともシート部領域の透過光検査が実施される。ここで、シート部領域に存在するシート部異常としては、フィルム製造過程で生じる過熱等により生じた塊状物の存在が代表的であり、従来ではかかる塊状物の検出が困難であった。この点、青色光が透過光として撮像されるため、黄色又は茶褐色の塊状物とのコントラストが大きく、当該塊状物を比較的容易に検出しやすい。 （もっと読む）

【課題】 外乱光の影響を受けにくく，精度の高い形状認識を行うことが可能な被加工物形状認識装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る被加工物形状認識装置は，被加工物１００を支持する支持部材１０２と，支持部材１０２と被加工物１００とを照明する照明手段２０と，被加工物１００の像を撮影してビデオ信号を出力する撮影手段３０と，このビデオ信号を処理して被加工物１００の形状を認識する形状認識手段とを備え，支持部材１０２は，被加工物１００とは異なる正反射率を有し，撮影手段３０は，被加工物１００と支持部材１０２との表面で正反射された照明光を直接受ける位置に配置され，被加工物１００を明部，支持部材１０２を暗部として映し出すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学的な検出によるオフセット等の悪影響を防止して、基板表面の形状を高精度にかつ簡便に計測することのできる表面形状計測装置を提供すること。
【解決手段】この表面形状計測装置は、基板の表面近傍に配置され、表面の高さ変化に応じて位置が変化する複数の非光学的検出素子を配列して構成される高さ検出器と、非光学的検出素子に向けて測定光を発する光源と、非光学的検出素子からの測定光の反射光を受光することにより非光学的検出素子の位置を光学的に検出する光検出器とを有する。 （もっと読む）

【課題】対象物の濃淡ムラを検査するムラ検査において、エッジ近傍におけるムラ検査の精度を向上する。
【解決手段】基板９に塗布されたレジストの濃淡ムラを検査するムラ検査装置１では、基板９の撮像画像が圧縮された後にローパスフィルタ処理が行われ、さらにハイパスフィルタ部４２１４によりハイパスフィルタ処理が行われる。ハイパスフィルタ部４２１４では、ハイパスウィンドウがエッジ近傍に存在する場合には、ハイパスウィンドウが縮小されてフィルタ処理による画素値算出の対象となる注目画素が属する領域以外の領域を避ける。このように、ムラ検査装置１では、ハイパスフィルタ処理に利用される画素群を、ハイパスウィンドウ内の画素、すなわち、実質的に注目画素が属する領域内の画素に制限することにより、エッジ近傍におけるムラ検査の精度を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】測定可能範囲を超える対象物の検出による距離の誤測定を防止し、しかも対象物の反射率が低い場合でも測定可能範囲を比較的遠方まで広げる。
【解決手段】発光源２は対象空間に所定周期の変調信号で変調された光を照射し、光検出素子１は対象空間を撮像する。画像生成部４は、発光源２から対象空間に照射された光と対象空間内の対象物Ｏｂで反射され光検出素子１で受光される反射光との変調信号の位相差によって対象物Ｏｂまでの距離を求める。また、画像生成部４は、変調信号の周期で規定される測定可能な最大距離までの距離範囲内において対象物Ｏｂまでの距離が大きいほど小さくなるように距離に応じて設定された基準閾値と受光光量の代表値とを比較するとともに当該代表値が求めた距離に対する基準閾値より小さいときには求めた距離を距離画像の画素値として採用しないようにしてある。 （もっと読む）

【課題】エリアセンサを使用して照明の輝度を上げずに、ノズルに吸着・保持された電子部品を移動しながら、撮像した電子部品の画像を取込んで画像認識処理し、認識ミスのない部品認識方法及び装置を提供する。
【解決手段】部品認識装置は、ノズル１６に吸着・保持されたチップ部品１８が、ＣＣＤカメラ２９の視野内を移動中に複数回撮像して得られた画像を合成して階調差のはっきりした画像を生成して画像認識処理することにより正確な画像認識データを生成する。 （もっと読む）

【課題】 二次元配列型共焦点光学系を用いながら、三次元形状計測を高速に精度よくなし得、作製や各部の位置合わせも容易な形状測定方法を提供する。
【解決手段】 光源１から出射した光を複数に分岐して対物レンズ５を介して被測定物体９に照射し、光軸方向に被測定物体９を相対移動させて、その移動の時々の反射光を光検出器アレイ８で検出し、被測定物体９の前記光軸方向における時々の位置データとそのときの光検出器アレイ８の検出信号とを対にしてデータ処理して、被測定物体９の表面形状を三次元計測するとともに、光源１から出射した光を回折格子３を介して前記複数に分岐する。 （もっと読む）

【課題】パターン光が投影された対象物を撮像することによって取得されるパターン画像に基づき、対象物の３次元情報を取得する技術において、その３次元情報を取得するためにパターン画像に適用される閾値を設定する技術を改良する。
【解決手段】パターン画像の各部分における空間周波数特性に基づき、各部分に対応する空間フィルタ（例えば、可変窓ＶＷの列方向サイズである幅）をパターン画像の各部分ごとに設定する。さらに、パターン画像の各部分に対して空間フィルタを施して取得される画像情報に基づき、対象物の３次元情報を取得するためにパターン画像の各部分に適用される閾値ＴＨを各部分ごとに設定する。 （もっと読む）

【課題】カット面形状に歪みが存在する場合でも反射光を均一に受光できるように照射し、中空部と樹脂部のコントラストを向上させて誤検出を低減することができ、併せて端面のカッター異常を早期に発見することのできる中空糸膜モジュール検査装置および中空糸膜モジュールの検査若しくは製造方法を提供する。
【解決手段】平面型照明と中空糸膜モジュールからの反射光を受光する第１の撮像手段と、リング型照明と中空糸膜モジュールからの散乱光を受光する第２の撮像手段と、それぞれの撮像手段で得られた画像を処理する欠陥判別手段と、モジュールを移動させるモジュール走査手段とを有し、中空糸膜モジュール端面に発生する欠陥を検出するようにしたことを特徴とする中空糸膜モジュール検査装置。 （もっと読む）

【課題】 本発明は観察対象である試料を照明する照明手段と、この試料上のパターンの特定の空間周波数成分を除去する空間フィルタとを簡単な構成で実現する顕微鏡装置及びその照明方法を提供する。
【解決手段】 顕微鏡装置の光源４０を、対物レンズ３の瞳面８又はこの瞳面と共役な平面２３上に設け、これらの面上にこの光源４０を支持するための支持手段４０を空間フィルタとして使用する。 （もっと読む）

【課題】対象空間での光量変化の影響を受けずに凹凸を有する対象物を抽出できる画像処理装置を提供する。
【解決手段】発光源２は対象空間に光を照射し、光検出素子１は対象空間を撮像する。画像生成部４は、発光源２から対象空間に照射された光と対象空間内の対象物Ｏｂで反射され光検出素子１で受光される反射光との対応関係によって対象物Ｏｂまでの距離を求め、対象空間の各方向に対応する画素値が距離値である距離画像を生成する。微分処理部５は、距離画像から距離微分値を画素値とする距離微分画像を生成する。微分処理部５で生成された対象物Ｏｂの距離微分画像は、類似度算出部６においてあらかじめ登録されているテンプレートと照合され類似度が算出される。対象物抽出部７は類似度算出部６で算出された類似度が所定値以上になる部位をテンプレートに相当する対象物として抽出する。 （もっと読む）

【課題】施工性が良好で誤動作しにくい侵入警戒センサを提供する。
【解決手段】侵入警戒センサ１は、建物の内部に設置され、建物内への侵入路となる開口部を含めた対象空間に強度が周期的に変化する強度変調光を照射する発光源５、および、受光光量に応じた電気出力を発生する複数個の感光部が配列されて対象空間を撮像する光検出素子３を具備し、発光源５から対象空間に照射された光が対象空間内の対象物で反射され各感光部で受光されるまでの強度変調光の位相差を対象物までの距離に換算することにより画素値が距離値である距離画像を生成する距離画像センサ部２と、距離画像センサ部２から入力される距離画像より、隣接する画素間の画素値の差が所定のしきい値を超える画素を抽出し、抽出した画素で囲まれる部分を開口部として検出するとともに、距離画像から開口部の近傍における侵入物体の存否を検出する信号処理回路１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 検査対象部位や検査の目的が変わっても、同じ構成の照明系を用いて検査に適した照明を実施できるようにする。
【解決手段】 基板４の上方に、カメラ１を光軸を下方に向けて配備し、このカメラ１の撮像対象領域を、複数のフルカラーＬＥＤランプを有する照明装置により照明する。照明装置の各ＬＥＤランプは、前記カメラ１の光軸を取り囲み、かつ基板４上の撮像対象領域の中心点Ｏに対し、所定の角度幅をもつ範囲に配置される。これらのＬＥＤランプを、角度範囲の異なる複数の領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに分類し、領域単位で制御することによって、検査の内容に応じた照明パターンを実現する。 （もっと読む）

【課題】 測距装置、特に撮像測距装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、三次元光景に対して同時に測距が可能な測距装置に関するものである。照射手段（２２）は、スポット（１２）の２次元アレイを使用して光景を照射する。検出器（６）は、照射手段（２２）の近くに位置し、光景の方向を見るように配置される。プロセッサ（７）は、検出器（６）からの出力に応答し、光景の画像内のスポットの位置からそのスポットまでの距離を判断する。どの投射スポットが考慮されているかを判断する際の曖昧さを解消するために様々な技術が使用される。
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【課題】対象空間での光量変化の影響を受けずに対象物を抽出できる画像処理装置を提供する。
【解決手段】発光源２は対象空間に光を照射し、光検出素子１は対象空間を撮像する。画像生成部４は、発光源２から対象空間に照射された光と対象空間内の対象物で反射され光検出素子１で受光される反射光との対応関係によって対象物Ｏｂまでの距離を求め、対象空間の各方向に対応する画素値が距離値である距離画像を生成する。微分処理部５は、距離画像から距離微分値を画素値とする距離微分画像を生成する。さらに、対象物判定部６は、距離微分値を用いることにより対象物と背景の境界付近を抽出する。 （もっと読む）