【課題】共焦点変位計による合焦点の周辺においてもピントが合った画像を撮像する。
【解決手段】計測装置において、共焦点変位計システムＯＰＴ−Ａは、レーザダイオード１と、コリメートレンズ４と、対物レンズ６と、ハーフミラー３と、絞り板３１と、フォトダイオード２とを含む。観察画像撮像系ＯＰＴ−Ｂは、テレセントリック受光光学系であり、白色光源９４と、対物レンズ６と、ダイクロイックミラー５と、絞り板８１と、結像レンズ８２と、イメージセンサ９とを含む。コリメートレンズ４は、振動子７により、両矢印方向に掃引される。絞り板８１の絞り孔の径は、対物レンズ６の被写界深度がコリメートレンズ４の掃引の振幅以上となるように設定される。 （もっと読む）

【課題】 外乱光の到達を抑制し再帰反射光を効率よく撮像することができる撮像装置、位置計測システムおよびプログラムを提供する。
【解決手段】 位置計測システムは、対象物に取り付けられた位置関係の分かっている複数の再帰反射体を有する再帰反射体セット１と、再帰反射体セットを撮像する撮像装置２と、撮像装置２で撮像した再帰反射体セット１の画像に基づいて再帰反射体セットの３次元位置および角度の少なくとも一方を演算する演算装置３とを備える。撮像装置２は、２次元撮像素子２１と、２次元撮像素子の前方に配置されたレンズ２２と、レンズの周囲に配置された光源２３と、レンズ２２および光源の前方に配置された誘電体多層膜帯域通過フィルタ２４，２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】計測装置において、計測対象物の変位計測または二次元画像の撮像について、より高度な計測を実現する。
【解決手段】コントローラ２００では、センサヘッド１００の変位計測部に、計測対象物５００の高さの計測のためのフォトダイオード２の受光信号を出力させ、これに基づき、計測対象物５００の表面の高さを計測する。次に、コントローラ２００では、計測対象物５００の高さに基づいて、画像取得タイミングを決定する。具体的には、テーブルから、算出された計測対象物５００の高さＴに対応するピント調整値Ｐが取得され、そして、当該ピント調整値Ｐを実現するタイミングで画像取得信号を撮像素子９に送信する。これにより取得された画像より、計測対象物５００の高さに基づいて、計測対象物５００上の２点間の長さを演算する。 （もっと読む）

【課題】測定値の信頼性に関する新たな情報を提供できるようにする。
【解決手段】カーブフィッティング法において理論干渉波形毎に得られる各フィッティングレベルと、各フィッティングレベルにそれぞれ対応する各理論干渉波形の膜厚との相関を示す相関図３６を作成して表示するとともに、膜厚むらによって変化する相関図３６の波形の谷部のピーク値について、しきい値Ｌ１，Ｌ２を設定し、谷部のピーク値が、しきい値Ｌ１，Ｌ２で規定される警報範囲に入ったときには、安定に測定が行われていないとして警報を出力するようにしている。 （もっと読む）

【課題】銀メッキが施されたリードフレーム及びリードフレーム封止体の外観不良を確実で簡易に検出可能であるとともに、リードフレーム及びリードフレーム封止体の検査を兼用可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】所定位置に配置された被検査体に向けて青色の光を照射する青色照明部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体の画像を撮像する撮像部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体に向けて赤色の光を照射する赤色照明部と、被検査体を挟んで撮像部と対向する位置に配置され、撮像部に向けて光を照射する第３の照明部と、被検査体の画像に基づいて２値化画像を生成するとともに、２値化画像に基づいて被検査体における不良の有無を判定する画像処理手段とを備え、青色照明部、赤色照明部及び第３の照明部の点灯を切換えつつ撮像部が被検査体の画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】 広い領域のステレオ撮影に必要な複数のカメラを設置する際に、容易にキャリブレーションを実行する技術を提供する。
【解決手段】 所定の空間領域(50)に対して異なる方向から撮影する二台のカメラと、その二台のカメラの撮影タイミングを制御する撮影制御装置と、前記所定の空間領域内を移動可能な被写体(たとえばラジコンヘリコプタ31)とを備える。 前記被写体(30)は、三次元の位置座標を取得可能なＧＰＳ装置(32)を搭載し、 前記撮影制御装置は、所定の空間領域(50)内の被写体(30)を前記二台のカメラ(11L,11R)にて撮影して画像データを取得する。 （もっと読む）

【課題】設置スペースが限られていても測定しやすい干渉計を提供すること。
【解決手段】レーザ光源２からの光Ｌ１を参照面７２１に入射させるとともに被測定物４に入射させ、偏光面が直交する参照光Ｌ４および測定光Ｌ５を得、それらの合波光Ｌ６を射出するセンサヘッド７が、レーザ光源２などを備える本体部１０に、可撓性を有する偏波保存ファイバ３０９により接続されているので、センサヘッド７を適宜の位置に配置でき、設置スペースが限られていても簡単に被測定物４の変位量を測定できる。また、センサヘッド７が、偏光面を保存して導光する偏波保存ファイバ３０９により本体部１０と接続されているので、センサヘッド７から射出された合波光Ｌ６が偏波保存ファイバ３０９を透過する際に、参照光Ｌ４および測定光Ｌ５の偏光面が互いに直交した状態のまま保存される。そのため、合波光Ｌ６から被測定物４の変位量を正確に測定できる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの２つの層の間のアライメント・オーバーレイの非破壊特性決定方法を提供する。
【解決手段】波長または入射角度の関数としての１つの実施例として、入射ビームの放射は、ウェーハ表面上に向けられ、結果として得られる回折ビームの特性が決定される。スペクトル的、または角度的に分解された回折ビームは、オーバーレイ・フィーチャのアライメントと関連する。計算された回折スペクトルのライブラリは、オーバーレイ・アライメントにおける予期される変動の全ての範囲をモデル化することにより確立される。少なくとも２つの層におけるアライメント・ターゲットを有する実際のウェーハの検査により得られたスペクトルは、実際のアライメントの特性を決定するため、最も適合するもの（ベスト・フィット）を識別するように、ライブラリと比較される。比較の結果は、上流および／または下流処理制御への入力として使用される。 （もっと読む）

【課題】複数の薄膜が積層された状態で各薄膜の膜厚を計測すること。
【解決手段】薄膜検査装置は、第１透明薄膜及び第２透明薄膜の少なくとも一方の膜厚変動に影響を受ける分光反射スペクトルの特徴量の中から少なくとも２つの特徴量を選択し、選択した該特徴量の各々と第１透明薄膜の膜厚及び第２透明薄膜の膜厚とをそれぞれ関連付けた少なくとも２つの特徴量特性が格納された記憶部１４と、被検査基板Ｓに対して透明ガラス基板側から白色光を照射する光照射部１１と、被検査基板Ｓからの反射光を受光する受光部１２と、受光された反射光に基づく分光反射スペクトルから記憶部１４に格納されている各特徴量の実測値を求め、求めた各特徴量の実測値と記憶部１４に格納されている特徴量特性とを用いて、第１透明薄膜及び第２透明薄膜の膜厚をそれぞれ求める演算部１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像計測用および膜厚計測用のヘッドを兼用できるようにするとともに、光源からの照明光の光量の損失を抑制して、効率的な計測が行えるようにする。
【解決手段】画像計測用の第１，第２の光源からの照明光を１つに結束された出射端から出射する画像計測用ライトガイド１１からの照明光は、拡散板１３を介して対物レンズ１７に導かれるので、第１，第２の光源の内のいずれかを選択して駆動させたときの照明ムラが拡散板１３によって解消される一方、膜厚計測用ライトガイド１２からの照明光は、拡散板１３を介することなく、対物レンズ１７に導かれるので、拡散板１３による光量の損失がない。しかも、いずれのライトガイド１１，１２からの照明光も共通の対物レンズ１７から対象物に照射できる、すなわち、対物レンズ１７を共用することができる。 （もっと読む）

【課題】カラーライン撮像装置のライン撮像部の傾きと回転ドラムの軸方向とを容易且つ正確に調整することができる粉粒体異物検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体を搬送しながら平準化する粉粒体搬送機構３と、該粉粒体搬送機構から落下する粉粒体を外周面で受けて滑落位置まで搬送する透光性の回転ドラム１１と、回転ドラム１１の粉粒体落下位置から前記滑落位置までの間で、少なくとも回転ドラムを軸方向に延長するライン状照明領域１２で照明する照明機構１３と、ライン状照明領域１２を撮像するカラーライン撮像装置１４と、回転ドラム１１の外周面に着脱自在に載置する傾き検出用パターンを表示した校正部材と、前記校正部材を回転ドラムに載置した状態で、カラーライン撮像装置１４で撮像したカラー画像情報に基づいて少なくともカラーライン撮像装置１４の傾きを検出する撮像装置傾き検出部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】欠陥散乱光の偏光特性に依存されずに欠陥像を顕在化する空間フィルタリング技術と正常パターンの明るさ飽和を抑制して欠陥捕捉率を向上する欠陥検査方法とその欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検出光路を偏光分岐して少なくても一つ以上の光路にてアレイ状の空間フィルタを配置し、正常パターンからの回折光や散乱光をフィルタリングすることを特徴とする。また、正常パターンの散乱光量に応じて照明光量或いは／及び検出効率を画像検出中に制御することにより明るさの飽和を抑制した画像を得る。 （もっと読む）

三次元（３Ｄ）計測表面の表示（ディスプレイ）を生成するための方法および装置を開示する。この方法は、点クラウド座標空間においてオブジェクトの表面の３Ｄ点クラウド表現を求めることを含む。オブジェクトの画像が毛米良座標空間で取得され、点クラウド座標空間に変換される。変換された画像が３Ｄ点クラウド表現に写像されてオブジェクトの表面のリアルな表示を生成する。一実施例では、３Ｄ点クラウドを求めるための画像を取得するのに使用する計測カメラは、オブジェクトの画像を取得するのにも使用されるので、座標空間の変換は行われない。表示は、表現におけるピクセルまたは表面エレメントに対するグレイスケールまたはカラーの陰影付けを含む。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの温度特性と光ファイバの歪み特性とを分離して測定する。
【解決手段】ブリルアン散乱光から得られるブリルアン周波数シフト量と、レイリー散乱光から得られるレイリー散乱波形に関する相関ピーク周波数シフト量とに基づいて、光ファイバの温度特性と光ファイバの歪み特性とを分離して測定する。 （もっと読む）

半導体ウエハの端部を検査する装置に関し、照明用経路（１０）と解析用経路（２０）を有する共焦点色顕微鏡（７）を有し、照明用経路（１０）は多色光源（１１）とスロット（１２）と少なくともアッベ数５０未満の材料からなるレンズからなる軸上色収差対物レンズ（１５）とを有し、解析用経路（２０）は対物レンズと、色フィルタスロット（２２）と光強度センサ（２４）をこの順番に有し、照明用経路のスロットおよび解析用経路のスロットは検査されるウエハの端部からの光学距離がほぼ同じ場所に設けられている。 （もっと読む）

【課題】噴霧粒子を撮像し、画像処理を行い、粒子径および粒度速度を同時に測定する噴霧粒子撮像解析システムおよび解析方法を提供すること。
【解決手段】噴霧粒子撮像解析システムは、噴霧粒子の集合（Ｍ）に光を照射する光源部（１、２）と、噴霧粒子の前記集合を所定の時間間隔で撮像する撮像部（３、４）と、撮像部によって撮像された画像を記録する記録部と、制御部（８）とを備え、制御部が、画像から粒子を検出し、粒子の粒子径及び円形度を求め、円形度が所定のしきい値以上である粒子を焦点深度内の粒子の候補として選択し、連続測定した２枚の画像の相互相関から平均速度を求め、連続測定した２枚の画像における全粒子の組み合わせについて粒子速度を求め、粒子速度と平均速度の方向が一致し、粒子径が一致し、且つ、粒子速度が平均速度に対して所定範囲内にある粒子を対応する粒子として決定する。 （もっと読む）

【課題】層構造を有する計測対象の複数の特定構造要素を適切に抽出すると共に、該特定構造要素毎の領域を検出する。
【解決手段】処理部２２は、光立体構造像生成部２２０、形状格納部２２１、閾値格納部２２２、断面画像抽出部２２３、特定要素抽出部２２４、特定要素分布算出部２２５、分布境界ライン抽出部２２６、欠落領域抽出部２２７、欠落領域特定要素抽出部２２８、欠落領域特定要素分布算出部２２９、欠落領域分布境界ライン抽出部２３０、合成画像生成部２３１、表示制御部２３６、Ｉ／Ｆ部２３７とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】膜厚測定対象が非平面でもテラヘルツエコーパルスのパルス幅の増大がなく、膜厚測定分解能が低下しない膜厚測定装置を提供すること。
【解決手段】テラヘルツ波パルスＬtを発生するテラヘルツ波発生手段１と、テラヘルツ波パルスＬtを膜厚測定対象に入射させる入射光学系５と、膜厚測定対象から反射されてくるテラヘルツエコーパルスＬteを受光する受光光学系６と、テラヘルツエコーパルスＬteのパルス幅を短パルス化する短パルス化手段１５と、テラヘルツエコーパルスＬteの電場振幅時間分解波形を検出する検出手段７と、を有する膜厚測定ユニット１７を備えることを特徴とする非接触膜厚測定装置。 （もっと読む）

【課題】 インラインにおいても金属膜の実際の膜厚を測定することが可能な金属膜の膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】 膜厚測定用の測定光を測定対象物１１に照射する工程と、測定対象物１１からの反射光からこの測定対象物１１の反射率を検出する工程と、検出された測定対象物１１の反射率から得た測定反射率データと、膜厚判断の基礎となる基礎反射率データとに基づいて、測定対象物１１の膜厚を決定する工程と、を備え、測定対象物１１が導電性を有する金属膜であり、金属膜の膜厚が、金属膜に透過した測定光がこの金属膜中で全て吸収されない膜厚以下である。 （もっと読む）

物体(12)の振動特性を測定するための方法および装置が開示される。この方法は、少なくとも2つの光源(17)を使用して物体(12)を照光するステップであって、少なくとも2つの光源(17)は、異なる色の光を発光し、少なくとも2つの光源(17)のそれぞれは、それぞれの遅延でストロボ発光させられるステップと、結果として物体(12)の1つの画像となるように、物体(12)からの反射光を取り込むステップであって、画像は、光の異なる色を識別することが可能な、少なくとも2つの識別可能色チャネルを含むステップと、画像の少なくとも2つの識別可能色チャネルで、物体(12)上の点の位置から、物体(12)に関連する振動特性を計算するために、画像を処理するステップとを含む。
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