【課題】パターン投影法による人の頭部等の３次元計測に用いられるパターン光を、簡易な装置で明るく、高精細に投影する。
【解決手段】フラッシュを光源とする事で簡易な構造とし、投影する直線状のパターンと平行な方向には広く、垂直な方向には狭いスリット状の絞りを設ける事により、投影された像のパターンと垂直な方向のぼけ幅を小さくし、高精細なパターン光を得る。また、ライトパイプを用いる事により明るいパターン光を得、高精度な３次元計測を行う。 （もっと読む）

【課題】半田の厚さに関係なくツノ不良及びブリッジ不良の判定を簡便かつ精度良く行う。
【解決手段】画像入力手段１２が、カメラ１の撮像したプリント基板の半田付け部位のＲＧＢカラー画像を取得し、画像変換手段１３がＨＳＶ色空間画像に変換する。半田領域抽出手段１４はＲＧＢカラー画像をＨＳＶ色空間画像と比較して半田領域を抽出し、ランド領域抽出手段１５はパターンマッチング用モデルデータ作成手段１１の作成したモデルデータでＲＧＢカラー画像をパターンマッチングしてランド領域を特定する。不良判定手段１６は、半田領域とランド領域の差領域に基づいて良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】光学システムにおいて、位相および振幅情報を含む波面分析、ならびに３Ｄ測定を実行する方法および装置、特に、光学システムの画像面のような、中間面の出力の分析に基づく方法および装置を提供する。
【解決手段】 薄膜コーティング、または多層構造の個々の層が存在する表面トポグラフィの測定について記載する。多重波長分析を、位相および振幅マッピングと組み合わせて利用する。マクスウェルの方程式の解に基づき、仮想波面伝搬を用いて、波面伝搬および再合焦によって位相および表面トポグラフィの測定を改良する方法について記載する。このような位相操作方法によって、または広帯域およびコヒーレント光源の組み合わせを利用する方法によって、光学撮像システムにおいてコヒーレント・ノイズの低減を達成する。本方法は、集積回路の分析に適用され、コントラストを高めることにより、または１回のショット撮像における３Ｄ撮像によってオーバーレイ測定技法を改善する。 （もっと読む）

【課題】高精度に対象物の動立体モデル（三次元動画像データ）を取得することができるモデル入力装置およびモデル生成システムを提供する。
【解決手段】モデル入力装置は、対象物の色彩データを取得する撮影部１０ｃと、可視光以外の波長を有する光を前記対象物へ照射する照射部１０ａと、前記対象物で反射された前記光を受光する受光部１０ｂと、内部に前記撮影部と前記照射部と前記受光部とを備えるユニット１０と、前記撮影部で得られた前記色彩データと前記受光部で得られた反射光に関する情報とをコンピュータへ出力可能なインターフェースと、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査ウインドウを自動的に精度よく設定する。
【解決手段】外観検査装置１０は、基板と該基板に実装されている部品とを備える被検査体１２を撮像して得られる被検査体画像を使用して被検査体１２を検査する。外観検査装置１０は、被検査体１２にパターンを投射する投射ユニット２６と、パターンが投射された被検査体１２のパターン画像に基づいて被検査体１２の表面の高さ情報を生成する高さ測定部３２と、高さ情報を用いて特定される被検査体画像上での部品の配置に基づいて被検査体画像に検査ウインドウを設定する検査データ処理部３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】データを表すデータパターンの間に設ける冗長セル（マージンパターンとも呼ぶ）の設定方法、及び、それに関連する種々の方法・装置を実現することを目的とする。
【解決手段】「データパターン」においては、各色彩の発光期間を１とし、「マージンパターン」中では、その中の各色彩の発光期間を３とする。例えば、マージンパターンとして、データパタン中のセルより「長いＲ（赤色）発光」を用いる。このように、マージンパターン中のセル（色彩）の発光期間（発光長）が、データパターン中のセル（各色彩）の発光期間とは異なっているので、受信側では、発光長の相違を検出することによって、マージンンパターンであるのか、データパターンであるのかを知ることが可能である。 （もっと読む）

【課題】複数のライン光を照射する低コストで小型なライン照明装置を提供することにある。
【解決手段】本発明のライン照明装置９Ａは、同一基板９４上に色別にそれぞれ複数個一列に配置された光源９１，９２と、複数個の前記光源から照射される色別の光をそれぞれライン状に結像する単一の集光光学系９３もしくは光軸方向に配列された複合の集光光学系と、を備えている。これにより、多種類の光源の光を、１つの集光光学系のみにより集光することができるので、多種類の集光光学系を設計・製作する必要がなく部品点数を減少させて低コスト化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】基板上の膜厚を測定可能な検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、表面に薄膜が設けられたウェハＷを支持するステージ１０と、ステージ１０に支持されたウェハＷの表面に照明光を照射する照明系２０と、照明光が照射されたウェハＷの表面からの光を検出する撮像装置３５と、撮像装置３５により検出された光の情報から薄膜の膜厚を測定する膜厚算出部５０と、照明光の実際の波長を測定する画像処理部４５とを備え、膜厚算出部５０は、画像処理部４５により測定された照明光の実際の波長を用いて、撮像装置３５により検出された光の情報から膜厚を求める。 （もっと読む）

【課題】複数の部品が任意に配置されている場合であっても、部品の配置による見え方の相違を吸収して大きさや形状等の外観を検査する。
【解決手段】複数の部品を撮影した画像をブロブ処理し、抽出されたエッジから求まるエッジ接線ベクトルを用いてエッジ接線画像に変換し、サンプルエッジ接線画像に対するマスターエッジ接線画像の畳み込み処理により抽出された個々のブロブに基づいて、マスター部品の所定部位のサイズ、位置ｘｍ、及び角度θｍを定めたテーブルを用いて、検出されたサンプル部品の位置ｘｓ及び角度θｓに対応するサイズを補完計算して、検出されたサンプル部品の所定部位のサイズと比較して、サンプル部品を検査する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、サンプルの厚み情報を短時間で精度よく取得する。
【解決手段】本発明は、取得した位相差像の基準像に対する相関状態を算出し、該相関状態に応じて組織切片ＴＳの厚み情報を取得するようにしたことにより、１つの位相差像から組織切片ＴＳの厚み情報が取得でき、またサンプルの厚み方向の分布を反映した厚み情報を取得することができ、かくして厚み情報を短時間で精度よく取得することができる。 （もっと読む）

【課題】試料に形成された周期構造の特性を実時間で分析する。
【解決手段】波長の関数としての信号を発生させる分光計測モジュールがを使用する。出力信号はプロセッサーにより方形構造の理論的な初期モデルを構築する。次いで、プロセッサーは、この試料の広帯域放射に対する理論的な光学的応答を計算する。光学的応答の計算結果は、複数の波長において計測され正規化された値と比較される。この比較に基づいて、モデルの構成は実際の計測された構造により近づくよう修正される。プロセッサーは修正されたモデルの光学的応答を再計算し、計算結果を正規化されたデータと比較する。最適な方形が得られるまでこの処理が反復して繰り返される。その後、モデルを各々幅と高さを持つ層に分割しモデルの複雑さを反復して増大させる。構造が周期構造に類似するような最適なモデルが得られるまで、反復処理によりデータが最適化される。 （もっと読む）

【課題】複数の検出対象物の位置をそれぞれ検出すること。
【解決手段】光学式位置検出装置は、相互に異なる第１の波長域及び第２の波長域に光強度を備えた位置検出光Ｌ２を放出する位置検出用光源部１４０と、第１の波長域の反射率が第２の波長域より高い反射特性を備えた第１検出対象物３１０と、第２の波長域の反射率が第１の波長域より高い反射特性を備えた第２検出対象物３２０と、第１の波長域の検出感度が前記第２の波長域より高い感度特性を備え第１の光検出信号を出力する第１光検出部４１０と、第２の波長域の検出感度が前記第１の波長域より高い感度特性を備え第２の光検出信号を出力する第２光検出部４２０と、位置検出用光源１４０を制御して光強度分布を形成するとともに、第１の光検出信号に基づいて第１検出対象物３１０の位置を検出し、第２の光検出信号に基づいて第２検出対象物３２０の位置を検出する位置検出部４００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】画像検査装置において、被検体からの光を複数の波長帯域に分けて画像を取得して画像検査を行う場合に、簡素な構成により高精度な検査を行うことができるようにする。
【解決手段】画像検査装置５０は、可視光Ｌ_１と、赤外光Ｌ_２とを、導体パターン２に照射する照明部４と、導体パターン２で反射された可視光Ｌ_１および赤外光Ｌ_２を結像する撮像光学系６と、撮像光学系６によって結像された像を撮像する撮像素子８と、導体パターン２と撮像素子８との間の光路上で進退可能に設けられ、可視光Ｌ_１の透過を阻止するとともに赤外光Ｌ_２を透過させる可視光カットフィルタ７ｂと、導体パターン２と撮像光学系６との間の光路上で進退可能に設けられ、赤外光Ｌ_２の透過を阻止するとともに可視光Ｌ_１を透過させる赤外光カットフィルタ７ａと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 連続移動する測定対象物の三次元形状を、位相シフト法により高速に測定すると共に、垂直解像度や深度を柔軟に設定できる構成とする。
【解決手段】
被測定対象物に対して斜め上方から、投影方向に沿って光の強度が正弦波状に変化する格子縞を投影する格子縞投影器１と、鉛直上方に位置しエリアセンサ６を備えたカメラ２と、被測定対象物を一定方向へ移動させるステージ３とを備え、格子縞は位相が互いにπ／２ずつシフトした４つの帯状領域に分かれており、エリアセンサ６上の各帯状領域につき一本の水平ライン、計４本から画像を読出し、位相シフト法の原理を用いて位相を算出して高さに変換し、被測定対象物の三次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】所望する場所で手軽に被測定物の３次元形状測定を行なうことができる携帯電話機を用いた３次元形状測定システムおよび同携帯電話機を提供する。
【解決手段】３次元形状測定システムは、携帯電話機１００と３次元形状測定装置２００とを備えている。携帯電話機１００は、被測定物ＷＫに明部と暗部とからなる縞状パターンを投影するための投影部１２０と、同縞状パターンが投影された被測定物ＷＫを撮像して複数の撮像画像データを生成する撮像部１４０と、同撮像画像データを記憶するための記憶部１１４と、被測定物ＷＫの３次元形状を表示するための液晶表示部１３１とをそれぞれ内蔵して構成されている。３次元形状測定装置２００は、携帯電話機１００との通信を制御する通信制御部２０１と、撮像画像データに基づいて被測定物ＷＫの３次元形状を表す形状測定データを位相シフト法や空間コード法を用いて計算する３次元形状計算部２０２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】少ない数の光検出器や位置検出用光源によって、検出領域内の対象物体の位置を検出することのできる位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】位置検出機能付き表示装置１００において、表示パネル８は、画像表示領域２０Ｒに、複数の表示用発光素子６を備えている。また、画像表示領域２０Ｒには、検出領域１０Ｒに位置検出光Ｌ２を出射する複数の位置検出用光源１２が配置されている。従って、複数の位置検出用光源１２の発光バランスを調整すれば、検出領域１０Ｒに位置検出光Ｌ２の強度分布を形成することができる。従って、検出領域１０Ｒ内の対象物体Ｏｂで反射した位置検出光Ｌ２を光検出器３０によって検出すると、その検出結果に基づいて、対象物体Ｏｂの位置を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】高精度な面形状計測に有利な面形状計測装置を提供する。
【解決手段】被検面の形状を計測する面形状計測装置では基準点から光を放射し被検面で正反射して戻ってくる被検光を検出することによって、前記基準点と前記被検面との間の距離または前記被検面から前記基準点への法線の方位を計測する計測ヘッドと、前記計測ヘッドを走査する走査機構と、前記計測ヘッドを使って計測された前記距離または前記方位と、前記基準点の座標と、に基づいて前記被検面の形状を計算する処理部とを備え、前記処理部は、前記走査機構によって前記計測ヘッドを走査経路に沿って走査しながら前記計測ヘッドを使って前記距離または前記方位を計測した結果に基づいて、前記被検面の形状を計算する際に用いられる前記基準点の座標を校正し、前記被検面の面形状を計測する際は、校正時における前記走査経路と同一の経路に沿って前記走査機構によって前記計測ヘッドが走査される。 （もっと読む）

【課題】計測ヘッドを走査して形状計測するには、傾斜角および変位量の双方を検出する必要があり、計測ヘッドが大型化し、重量も重くなるため、計測ヘッドの小型化および軽量化に有利な技術を提供する。
【解決手段】被検面の形状を計測する面形状計測装置は、基準点から光を放射し被検面１０で正反射して戻ってくる被検光と参照光との干渉を検出することによって基準点と被検面との間の距離を計測するための計測ヘッド１１０と、計測ヘッドを走査する走査機構と、計測ヘッドを使って計測された垂直距離と前記基準点の座標とに基づいて被検面の形状を計算する処理部とを備え、処理部は、基準点の座標を（ｓ，ｔ，ｕ）、基準点から被検面までの垂直距離をｑ、前記被検面上の点の座標を（ｘ，ｙ，ｚ）としたときに、（ｘ，ｙ，ｚ）＝（ｓ，ｔ，ｕ）−ｑ（α，β，γ）（α，β，γ）＝（∂ｑ／∂ｓ，∂ｑ／∂ｔ，∂ｑ／∂ｕ）に基づいて被検面の形状を計算する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の特徴である可干渉性を利用して被測定物の厚みを高精度に測定する厚み測定方法及び厚み測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る厚み測定方法及び厚み測定装置によれば、測定光を分割し、第１測定光を被測定物６の第１測定点Ｓ１に照射し、第２測定光を裏面に位置する第２測定点Ｓ２に照射する。そして、これらの干渉光の明部のピーク位置とその位置における干渉光の対称性に基づいて、第１測定光、第２測定光と参照光との光路長が等しくなる反射点の位置を取得する。そして、その位置に基づいて被測定物６の厚みｔを測定する。よって、レーザ光の可干渉性を用いた高精度な厚み測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】面形状計測装置における計測ヘッドの小型化および軽量化に有利な技術を提供する。
【解決手段】被検面の形状を計測する面形状計測装置は、基準点から光を放射し被検面で正反射して戻ってくる被検光を検出することによって前記被検面から前記基準点への法線の方位を計測するための計測ヘッドと、前記計測ヘッドを走査する走査機構と、前記計測ヘッドを使って計測された法線の方位と前記基準点の位置とに基づいて前記被検面の形状を計算する処理部とを備え、前記処理部は、前記基準点の座標を（ｓ，ｔ，ｕ）、前記被検面から前記基準点への単位法線ベクトルを（α，β，γ）、前記被検面上の点の座標を（ｘ，ｙ，ｚ）、ｑ_０を定数としたときに、（ｘ，ｙ，ｚ）＝（ｓ，ｔ，ｕ）−ｑ（α，β，γ）ｑ＝ｑ_０＋∫（αｄｓ＋βｄｔ＋γｄｕ）に基づいて前記被検面の形状を計算する。 （もっと読む）