【課題】
光検査装置において、検出する光が微弱な場合に問題となる量子ノイズの影響を抑制する。
【解決手段】
光検査装置を、試料に光を照射する光照射手段と、参照光を発射する参照光手段と、光照射手段により光が照射された試料からの透過光または散乱光または反射光と、参照光手段から発射された参照光とを干渉させて干渉光を生成する光干渉手段と、光干渉手段により生成した干渉光を検出する光検出手段と、光検出手段により干渉光を検出して得られた検出信号に基づいて欠陥の有無を識別する欠陥識別手段と、試料からの透過光または散乱光または反射光の状態または参照光手段から発射された参照光の状態または光干渉手段により生成した干渉光の状態のうち少なくとも一つを変換する光変換手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】 プローブの伸び、及び周辺空気の温度、湿度の影響を抑えた高精度な形状測定を行うことのできる形状測定用の接触式プローブおよび形状測定装置を提供する。
【解決手段】 プローブシャフト２と先端球１６を備えた接触式プローブ１において、
前記プローブシャフト２内の測長光路の少なくとも一部に透明体を設けることにより、少なくともこの部分だけ空気に暴露された光路を減らすことができる。その結果、外気の屈折率変化による測定誤差を抑え、精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】参照面と被検面との間の距離の測定に有利な技術を提供する。
【解決手段】光源からの光を２つの光に分割して、一方の光を参照面に入射させ、他方の光を被検面に入射させ、前記参照面で反射された光と前記被検面で反射された光との干渉光を検出する検出部と、距離を求める処理を行う処理部、前記光源からの光の波長を固定しての干渉光である第１の信号と、前記光源からの光の波長を連続的に変更させながらの干渉光である第２の信号、前記第２の信号を周波数解析して前記第２の信号に含まれる周期誤差を算出し、前記第１の信号に含まれる周期誤差と前記第２の信号に含まれる周期誤差との対応関係を表すテーブルを用いて、前記算出された前記第２の信号に含まれる周期誤差に対応する前記第１の信号に含まれる周期誤差を特定し、前記第１の信号から前記特定された周期誤差を減算し、前記参照面と前記被検面との間の光路長に対応する位相を求める。 （もっと読む）

【課題】パターンの形状測定において、対象構造が計測可能か、又はどの程度の誤差が生じるかを分光反射率測定により事前に知る。
【解決手段】繰り返しパターンを分光検出して分光反射率を求めるとともに検出時に生じる検出波長ごとのノイズの量を求め、分光反射率の情報及び検出時に生じる検出波長ごとのノイズの量の情報と、繰り返しパターンの屈折率と消衰係数とを含む光学的材質の情報及び繰り返しパターンの形状の情報とを用いて繰り返しパターンの形状を算出して所定の精度で繰り返しパターンを計測することが可能かを評価し、評価した結果所定の精度で計測可能と判定した場合に繰り返しパターンと同一のパターンが形成された基板を順次分光検出してパターンの形状を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板表面に薄膜を形成する基板処理で、処理の進行具合をリアルタイムで把握して処理の終了時点を精度よく検出できる方法を提供すること。
【解決手段】基板１上に絶縁膜２を形成する基板処理装置１０であって、絶縁膜２を波長可変単色光ｓで照射し、絶縁膜２および基板１からの各反射光を干渉させる干渉光発生手段１２と、所望膜厚での干渉光強度Ｉが極小になるように単色光ｓの基準波長λ_０を設定する基準波長設定部２８と、基準波長を挟む２波長（λ_１、λ_２）間で単色光ｓを波長変調する変調部２６と、これに応じた干渉光強度Ｉを検出する干渉光検出器１８と、絶縁膜２が所望膜厚に達する直前から所望膜厚に達するまでの干渉光強度Ｉの変化に基づいて、最大波長（λ_２）時と最小波長（λ_１）時の干渉光強度の差分ΔＩが零または所定値になる時点を基板処理の終了時点として検出する終了時点検出手段２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法による干渉縞を用いた高さ計測装置において、位相シフト画像に内包する各種ノイズ成分の影響を抑制し高精度な光学的計測装置を提供する。
【解決手段】測定対象物の測定面の高さと上記測定面の高さに応じた複数の異なる波長の光による干渉縞画像内の各点の明るさが変化する部分の位相との関係を所定の演算式に数式化するとともに、上記測定対象物の測定面の高さと測定面の高さに応じた上記複数の異なる波長の光による干渉縞画像内の各点の明るさが変化する部分の位相との組合せを、同数式化した所定の演算式に基いて演算し、この演算により求めた位相情報を位相コード変換テーブルに反映させることによって、上記測定対象物の測定面の高さを計測する。 （もっと読む）

【課題】部品およびはんだに対する３次元計測結果に基づく検査の結果や検査対象部位の状態を、ユーザが容易に確認できるような表示を行い、検査結果の確認作業を支援する。
【解決手段】基板上の部品およびはんだに、それぞれ異なる手法の３次元計測を実施し、それぞれの計測により得た３次元情報をはんだ付け部毎および種別毎に読出可能に蓄積する。そして、これらの蓄積情報に基づき、はんだ付け部位毎に部品とはんだとの関係を表す画像を生成し、この画像を含む画面を検査結果の確認用の画面として表示する。好ましい確認用画面では、はんだの３次元情報が表す立体形状を部品のはんだへの接合面の近傍位置で切断した場合に得られるはんだの断面を正面として、このはんだの断面と部品との関係を示す画像（ＹＺ図またはＸＺ図）が表示される。 （もっと読む）

【課題】プローブの撓みの影響を受けずに高精度の形状測定を行う。
【解決手段】プローブ先端部３に一体に平面ダイクロイックミラー１０及び球面ミラー１６を設ける。オートコリメータ光学系５により平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量を測定し、並進移動量測定光学系１２により球面ミラー１６のＸ，Ｙ軸方向のずれ量を測定する。ずれ量算出部４２ｂは、測定した平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量及び球面ミラー１６のずれ量に基づいて、プローブ先端部３において被測定物４の表面に接触する接触点となる球１９の基準位置に対するＸ，Ｙ軸方向のずれ量を算出する。推定部４２ｃは、ずれ量算出部４２ｂにより算出されたずれ量から、プローブ先端部３の球１９のＸ，Ｙ軸方向の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】
被測定用光ファイバのみを用いてブリルアン散乱を測定可能なブリルアン散乱測定装置を提供すること。
【解決手段】
プローブ光ａ_０とポンプ光ｂ_０とを生成する測定用光生成手段と、該測定用光生成手段で生成されたプローブ光とポンプ光とを、偏波面が異なる状態で合成する偏波合成手段４０と、該偏波合成手段からの合成光が一端に入射される被測定用光ファイバ４１と、該被測定用光ファイバの他端側に配置され、合成光の偏波面を回転すると共に、合成光中のプローブ光のみを反射させて該被測定用光ファイバの他端に再入射させる回転反射手段４２と、該被測定用光ファイバの一端側に配置され、該回転反射手段により反射したプローブ光ａ_３を検出するプローブ光検出手段とを有することを特徴とするブリルアン散乱測定装置である。 （もっと読む）

【課題】移動体の絶対位置を高い精度で求めること。
【解決手段】絶対位置測定装置は、移動体２に形成された２つの減圧空間部３，２３に個々に収容されて、中心波長が単一の光源を用いて移動体に光を照射して干渉信号を得る２つの干渉計６，２５と、２つの減圧空間部の少なくとも一方を減圧して、２つの減圧空間部を互いに異なる圧力にする真空ポンプ４及び真空排気流路５，２４と、２つの干渉計より得られる干渉信号の位相を検出する２つの位相検出器１７，３５と、２つの位相検出器で検出される位相を比較する位相比較器１９と、位相比較器１９における位相比較結果に応じて原点を設定する原点信号発生器２１と、原点信号発生器２１で設定される原点を基準として移動体の絶対位置を求める絶対位置算出器２２，３７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】光学マルチ波長インターフェロメトリーを使用した薄膜素子測定方法の提供。
【解決手段】光学マルチ波長インターフェロメトリー使用の薄膜素子測定方法が開示される。本発明は異なる波長での薄膜の反射係数を使用して薄膜の厚さと光学定数を測定する。試験表面と参考表面の間の反射位相差由来の位相差は異なる波長での測定を行うことで参考光束と試験光束の間の空間経路差に由来する位相差と区別され、なぜならそれらは測定波長変化に伴い異なった変化を示すためである。反射位相がそれから得られる。薄膜の測定反射率と結合され、薄膜の反射係数が得られる。各点の反射係数が収集され、該薄膜の厚さと２次元の光学定数分布が計算される。表面輪郭が、参考光束と私見光束の間の空間経路差を通して知られる。これらは動的干渉計で測定されて振動影響が回避される。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の位置を高精度に測定する測定装置を低コストで提供する。
【解決手段】変調部によって第１周波数で変調された基準光からデジタル基準信号を取得し、前記第１周波数で変調された光が照射された測定対象物から反射された測定光からデジタル測定信号を取得し、前記デジタル基準信号と前記デジタル測定信号とを処理して前記測定対象物の位置を測定する装置は、前記デジタル測定信号に前記デジタル基準信号と同期したサイン信号又はコサイン信号を乗算して、第２周波数および高調波の成分を有する信号をそれぞれ出力する第１および第２同期検波部と、前記第１又は第２同期検波部から出力された信号をデシメーション周波数でフィルタリングして前記高調波の成分を減衰させる第１および第２デシメーションフィルタと、前記第１および第２デシメーションフィルタから出力された信号に基づいて前記測定対象物の位置を演算する演算部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 複数波長による表面形状の測定方法およびこれを用いた装置によって測定する場合に発生するクロストーク現象のクロストーク補正係数を算出する。
【解決手段】 測定対象面の平面領域内から輝度の異なる６点以上の干渉輝度信号を取得し、前記輝度信号に干渉縞モデルとクロストークモデルとの組み合わせを適合（フィッティング）することにより、クロストーク補正係数を一括して算出するクロストーク補正係数算出方法、また、該方法を実行できる装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】部品のターミナルを短絡させるブリッジを検出することのできるブリッジ接続不良検出方法を提供する。
【解決手段】部品のターミナルの間を短絡させるブリッジ（bridge）を検出するためのブリッジ接続不良検出方法は部品が実装された基板に照射され反射された複数の光を通じて２Ｄイメージ及び高さ基準情報を獲得する段階と、２Ｄイメージ及び高さ基準情報のうち少なくとも一つ以上を用いて部品の回転情報を獲得する段階と、回転情報を用いて部品のブリッジ接続不良を検出するための検査領域を設定する段階と、２Ｄイメージを用いて検査領域内の第１ブリッジ領域を抽出する段階と、高さ基準情報を用いて検査領域内の第２ブリッジ領域を抽出する段階と、第１及び第２ブリッジ領域のうち少なくとも一つ以上を用いて部品のブリッジ接続不良可否を判断する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】小型で適正なカラー画像の位置検出ができるカラー画像位置検出装置を提供する。
【解決手段】用紙１２上の直交方向画像補正パターン１０と斜め方向画像補正パターン１１を検出するカラー画像位置検出装置であって、１つの共用緑色光源３と、それを中間にして一方側に設けられた第１の赤色光源２ａと、他方側に設けられた第１の青色光源４ａを用紙１２の搬送方向に対して直交する方向に配置した第１の検出グループ３６と、共用緑色光源３を中間にして一方側に設けられた第２の赤色光源２ｂと、他方側に設けられて第２の青色光源４ｂを用紙１２の搬送方向に対して斜め方向に配置した第２の検出グループ３９と、各光源からの反射光を受光する受光素子５ａ，５ｂとを１つの光源ホルダ１に設置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板に実装された部品を検査する基板検査方法に関わり、より詳細には正確な端子領域を検出して部品の実装状態を検査することのできる基板検査方法を提供する。
【解決手段】印刷回路基板上に形成された部品の端子のチップ位置設定方法は基板上に形成された部品の端子と隣接して形成されたハンダに対して測定された測定高さを設定された基準高さと比較して仮象チップラインを設定することと、端子の長さ方向に沿って端子の幅方向に関する中心ラインを設定することと、仮象チップライン及び中心ラインの交差点から中心ラインによる測定高さを用いて端子のチップ位置を設定することと、を含む。従って、より正確な端子のチップ位置を獲得することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で参照面と被検物との間の絶対距離を高精度かつ高速に計測する。
【解決手段】第１の波長走査範囲について検出された第１の干渉信号による波数に対する前記第１の干渉信号の位相の傾きである第１の位相の傾きと前記第１の波長走査範囲に含まれる任意の波数における前記第１の干渉信号の位相である第１の位相の端数成分とを決定し第２の波長走査範囲について検出された第２の干渉信号に基づいて前記第２の波長走査範囲に含まれる任意の波数における前記第２の干渉信号の位相である第２の位相の端数成分を決定し前記第１の位相の傾きと前記第１の位相の端数成分と前記第２の位相の端数成分とにより第１の干渉次数差を決定し前記第１の干渉次数差と前記第１の位相の端数成分と前記第２の位相の端数成分とにより前記光束の波数に対する前記第１の干渉信号および前記第２の干渉信号を含む干渉信号の位相の傾きである第２の位相の傾きを決定する。 （もっと読む）

【課題】 干渉計測の応答速度を損なう事無く高精度な屈折率補正を実現可能な干渉計測方法を提供する。
【解決手段】 参照面で反射された光束と被検面で反射された光束との干渉信号を検出することによって被検光路の幾何学的距離を計測する干渉計測方法において、互いに波長が異なる複数の光束を用いて被検光路の光路長を算出する多波長光路長算出工程、多波長光路長算出工程で算出された被検光路の光路長から被検光路の空気の屈折率を算出する屈折率算出工程、屈折率算出工程で算出された屈折率を平滑化することによって平滑化屈折率を算出する平滑化屈折率算出工程、平滑化屈折率算出工程で算出された平滑化屈折率から被検光路の幾何学的距離を算出する幾何学的距離算出工程を有する事を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プリント板上の測定しようとするはんだ箇所に対し、高さの基準となる基準面を設定し、その基準面に対するはんだの高さを求めるときに、部品実装後のプリント板を分割するために加工された分割用加工部の影響を受けないようにする技術を提供する。
【解決手段】変位センサがはんだが印刷されたプリント板を光学的に計測し、このプリント板の高さの変位を示す変位情報を出力し、分割ライン決定部がプリント板を分割するための分割用加工部を変位情報に基づき検出し、プリント板の分割ラインを分割ライン情報として出力する。基準面算出領域設定手段は、分割ライン情報を受け分割ラインの内側の領域内に基準面算出領域を設定し、基準面算出手段が基準面算出領域内の変位情報に基づいて、基準面算出領域に形成される平面を基準面として設定する。変位測定部は、はんだ箇所のはんだの高さを、はんだ箇所の変位情報と設定された基準面とから算出する。 （もっと読む）

【課題】 対象物の高さを高精度かつ迅速に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】 計測範囲内にある対象物の高さを計測する計測装置は、複数の波長を含む光を出射する光源と、軸上色収差を有する光学ユニットを含み、前記光源から出射された光を複数の光束に分割して、前記計測範囲を含むが異なる焦点範囲に前記複数の光束を前記光学ユニットによって集光させる第１光学系と、前記複数の光束について前記対象物の表面に焦点位置を有する波長を検出する検出部と、前記第１光学系と光路の一部を共有していて、前記第１光学系によって集光され前記対象物の表面で反射された前記複数の光束を前記検出部に導く第２光学系と、前記複数の光束から１つの光束を選択し、該選択された光束の前記検出部により検出された波長を用いて前記対象物の高さを算出する処理部と、を備える。 （もっと読む）