【課題】本発明は、セラミックシートの自動的な検査にも適用できるものであり、大量のセラミックシートから反りなどの欠陥を効率良く且つ正確に検出するための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る固体酸化物形燃料電池の固体電解質膜用セラミックシートの検査方法は、当該セラミックシートの反りを三角測距式変位センサーで検出する工程；および、次に、セラミックシートの表面および内部に存在する欠陥を透過型光電センサーで検出する工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動環境下にある場合でも、振動に影響を受けることなく、物体の三次元形状を正確に計測できる三次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】物体Ｗに複数本のレーザスリット光２１ａ、２２ａを同時に照射して物体Ｗの表面に形成された光切断線２１ｂ、２２ｂを撮像した第１の光切断線画像Ｓ１１を取得する。そして、物体Ｗに複数本のレーザスリット光２１ａ、２２ａのうちの一部のレーザスリット光２１ａを照射して物体Ｗの表面に形成された光切断線２１ｂを撮像した第２の光切断線画像Ｓ１２を取得する。そして、第１の光切断線画像Ｓ１１と第２の光切断線画像Ｓ１２に基づいて、第１の光切断線画像Ｓ１１に撮像されている光切断線２１ｂ、２２ｂと複数のレーザスリット光２１ａ、２２ａとの対応関係を求める。 （もっと読む）

【課題】フォーカス値の測定時間を短縮し、かつ正確なフォーカス値を得ることができる半導体装置の製造方法及び露光装置を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、ウエハ３上に形成されたレジスト６より下層に形成された膜によって反射率が異なる領域について測定されたフォーカス値を取得し、反射率が低い第１の領域３１について得られたフォーカス値に、前記第１の領域３１よりも反射率が高い第２の領域３２について得られたフォーカス値を近づけて露光処理を行う。 （もっと読む）

【課題】夜間または濃霧などの視界の悪い状況下で、車両前方の路面領域を画像表示することができ、これにより舗装路、未舗装路を区別することなく移動体を操縦することができる車両操縦用画像表示装置および方法を提供する。
【解決手段】車両１に搭載された赤外線カメラ１０により車両前方の特定範囲の赤外線画像２を撮影し、車両に搭載された３次元形状測定装置２０により前記特定範囲の３次元形状３を計測し、演算処理装置３０により３次元形状から車両が通りやすい路面領域４を検出し、赤外線画像２上において路面領域が滑らかに見えるように画像処理した補正赤外線画像５を形成し、表示装置４０により補正赤外線画像５を表示する。 （もっと読む）

【課題】露光装置の光学的像面を精度よく計測可能な装置を提供する。
【解決手段】露光装置５０により所定のマスクパターンが投影露光されて表面に半導体パターンが形成されたウェハ１０を支持するステージ５と、ステージ５に支持されたウェハ１０の表面に照明光を照射する照明系２０と、照明光が照射されたウェハ１０の表面からの光を検出する撮像装置３５と、撮像装置３５に検出されたウェハ１０の表面からの光の情報に基づいて、露光装置５０により投影露光されるマスクパターンの像面の傾きを求める画像処理部４０とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】
周期構造物の構造を早くかつ正確に把握する方法を提供する。
【解決手段】
仮想周期構造物を設定して、前記設定された仮想周期構造物を多数の層に分けて、リープマン−シュウィンガー積分方程式をＭ次内挿法で離散化させて前記仮想周期構造物に対する反射率または透過率に対する物理量を計算する工程を含む、周期構造物分析方法に対するもので、Ｍ次内挿法を用いてより早い時間内により正確な非破壊検査ができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、ノイズレベルが低く、かつ感度が高い変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位（振動）可能に支持された金属層１４と、光学ガラス２３の表面に設けられた金属層２４とが所定のギャップｇを介して互いに対向配置されている。発光素子３０が所定の位置に固定されており、金属層２４の裏面に対して、所定の波長の光を所定の角度θで射出するようになっている。受光素子４０は、発光素子３０から射出された光のうち反射光を検出するようになっている。 （もっと読む）

【課題】測定対象の突部の突出形状を容易かつ精度良く測定する。
【解決手段】ロータリーダイカッター１０のダイカットロール２０の刃型２２の突出形状を測定する突出形状測定装置１は、ロータリーダイカッター１０が載置された走査ステージ１６をダイカットロール２０の回転軸線Ｎの軸線方向に移動させる駆動装置１４と、走査時に変位計１１から逐次出力される変位出力Ｙおよび受光量ＬＩの走査位置ｘに応じた変化を検出する変位出力取得部５２および受光量取得部５３と、受光量ＬＩが最大の走査位置ｘでの変位出力Ｙにより刃型２２の刃先突出高さを検出する突出高さ算出部５４と、走査位置ｘに応じた受光量ＬＩの変化に係る状態量の検出値と、刃型２２の刃先幅および状態量をパラメータとして作成したモデルデータとを比較し、状態量の検出値に対応するモデルデータから刃先幅を検出する突出幅算出部５５とを備える。 （もっと読む）

【課題】高スループットかつ高感度の欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】広帯域波長の照明を用いて結像性能を向上させることが有効である。そこで、従来の屈折型光学系より広帯域波長の照明が使用可能な反射型光学系を用い、更に良好な収差状態を得られるレンズ外周部の円弧形状のスリット状視野にする。しかしこの方式は、受光面での各検出画素寸法の違いによる明るさの差と、センサの出力配列を視野内の位置座標に対応付けることが課題である。課題を解決するために、明るさの差及び座標を画素位置に応じて個別に補正する。 （もっと読む）

【課題】安価な撮像装置を用いてタイヤ表面歪みの変化を測定できるタイヤ解析システムおよびタイヤ解析方法を提供すること。
【解決手段】このタイヤ解析システム１は、所定の試験条件を入力したときのタイヤ形状の変化やタイヤ表面歪みの変化を測定することによりタイヤの挙動解析を行うシステムである。このタイヤ解析システム１は、タイヤ表面の一部にタイヤ周方向に沿って配列された複数の解析用格子面Ｓを相互に異なる方向から同時に撮像する複数のカメラ３１、３１と、これらのカメラ３１、３１から取得した画像データに基づき解析用格子面Ｓの三次元座標を算出すると共にこの三次元座標に基づきタイヤ表面歪みの変化を算出する処理装置４とを備えている。そして、タイヤ１０が回転して解析用格子面Ｓが所定の撮像位置に来たときに、カメラ３１、３１が解析用格子面Ｓを撮像している。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状の外観を効率良く把握できる三次元形状測定システム及び三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】色が規則的に変化する光パルスをパルス光源５６及びチャープ導入装置６０により生成し、生成された前記光パルスをワーク３０に照射し、該ワーク３０から反射された前記光パルスの反射光像をシャッタユニット４２により取得し、取得された前記反射光像の二次元情報及び色情報を用いてワーク３０の三次元情報をカラー二次元検出器８８により取得する。また、カラー二次元検出器８８により取得されたワーク３０の二次元情報に基づいて所定の箇所を選択し、該所定の箇所における三次元情報を取得する。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置は、光学面（４６；Ｍ６）と、光学面上の複数の別々の区域において光学面に関連するパラメータを測定する測定デバイス（９０）とを含む。測定デバイスは、個々の測定光ビーム（９４）を光学面上の区域に向けて誘導する照明ユニット（９２）を含む。各測定光ビームは、区域のうちの測定光ビームに関連付けられた少なくとも一部分と、隣接区域のうちの測定光ビームに関連付けられていない少なくとも一部分とを照明する。検出器ユニット（９６）は、各測定光ビームが光学面と相互作用した後に各測定光ビームに関する特性を測定する。評価ユニット（１０２）は、選択された区域に関連付けられた測定光ビームと、選択された区域に隣接する区域に関連付けられた少なくとも１つの測定光ビームとに対して検出器ユニット（９６）によって判断された特性に基づいて選択された区域に関する面関連パラメータを判断する。 （もっと読む）

【課題】 パターン投影法により測定対象物の表面形状を測定する測定システムにおいて、表面形状の測定時に、あわせて測定対象物の散乱特性を抽出することを目的とする。
【解決手段】 測定システムであって、ドットパターン光を所定の入射角で測定対象物１００に照射する照明部１１０と、反射光を、前記入射角と略等しい反射角で受光する反射光測定部１２０と、前記受光された反射光の受光位置と、所定の基準位置との間のずれ量に基づいて、測定対象物１００の表面の傾きを表面形状に関する情報として抽出するとともに、前記反射光の輝度値と、前記ドットパターン光のドットの径とを、散乱特性に関する情報として抽出する反射光抽出部１３０と、前記抽出された表面形状に関する情報と散乱特性に関する情報を、出力する出力部１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、非接触で、かつ、被計測体の周期的な検出を必須とせずに、並進運動と回転運動を伴う被計測体の所定計測位置の並進方向のたわみ量または移動量の計測可能な範囲を拡大できるたわみ量または移動量の計測方法を提供することにある。
【解決手段】発光部２ａから発射した光３を円筒面６ａ に当てる工程と、並進運動と回転運動を伴う被計測体１の動きに応じた円筒面６ａからの反射光５ａ、５ｅを受光部２ｂで受け、この反射光５ａ、５ｅの受光部２ｂにおける位置から被計測体１の所定計測位置の並進方向のたわみ量または移動量を求める工程と、を備えたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、測定対象物と当該測定対象物のモデルとの位置および／又は姿勢を比較する際の計算機による計算時間を短縮することを目的とする。
【解決手段】 本発明の情報処理装置は、測定対象物と当該測定対象物のモデルとの位置および／又は姿勢を合わせるための情報処理装置であって、前記測定対象物の撮像画像を取得する取得手段と、前記撮像画像に基づき、前記測定対象物の表面形状を示す情報を算出する算出手段と、前記表面形状を示す情報に基づき、前記モデルの位置および／又は姿勢を制限する制限手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高多層プリント配線基板の配線パターンを検査する際に誤報告の少ないキャリブレーション位置を決定すると共に、その検査性を評価しベリファイ作業時間を予測することができる検査システムを提供する。
【解決手段】検査システムにおいて、検査対象のプリント配線基板を構成する各層のＣＡＤデータとその層構成情報を元に検査面より透視した輝度成分マップを生成する。そして検査面を構成する輝度成分の組を求め、全組を網羅する１つ以上の輝度評価領域を決定した後、検査装置にて領域を撮像、各輝度成分に対応する統計輝度値を求め輝度成分マップに代入し、検査閾値を決定するための最適キャリブレーション位置を求め検査を行う。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動系により、アーム部材７１から移動体ＷＦＳのＸＹ平面に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対して計測ビームを照射して移動体のＸＹ平面内の位置を計測する第１計測系の計測結果と、レーザ干渉計を用いてアーム部材７１の変動を計測する第２計測系の計測結果と、に基づいて移動体が駆動される。この場合、駆動系は、第１計測系の計測結果に含まれるアーム部材の変動に起因する計測誤差を、第２計測系の計測結果を用いて補正する。 （もっと読む）

【課題】 粗微動ステージにおいて、微動ステージの位置を高精度に計測する。
【解決手段】 粗動ステージＷＣＳに保持された微動ステージＷＦＳのＸＹ平面内での位置情報の計測には、微動ステージのＸＹ平面に実質的に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対向して配置され、該グレーティングに計測ビームを照射するヘッドを含むエンコーダシステムが用いられる。そして、微動ステージは、駆動系によって、エンコーダシステムで計測された位置情報に基づいて、単独で、若しくは粗動ステージと一体で駆動される。この場合、エンコーダシステムのヘッドを微動ステージ（グレーティング）に近接して配置することができ、これにより、エンコーダシステムによる微動ステージの位置情報の高精度な計測が可能になる。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、安定して像担持体のホームポジションを検出可能な画像形成装置を提供すること。
【解決手段】最表面薄膜層３ｂが、厚みが比較的厚い厚膜領域３１および厚みが比較的薄い薄膜領域３２を有し、厚膜領域の厚みｄ_１（ｎｍ）および薄膜領域の厚みｄ_２（ｎｍ）が関係式；５０ｎｍ≦ｄ_１−ｄ_２≦９５０ｎｍ；２０ｎｍ≦ｄ_２＜ｄ_１≦１０００ｎｍ；を満たす像担持体３、および光センサ２０を備えた画像形成装置であって、像担持体のｄ_１およびｄ_２が、発光センサからの光に対する像担持体外周面の反射率Ｒと像担持体の最表面薄膜層の厚みｄ（ｎｍ）との関係を表す反射率関数Ｒ（ｄ）について、関係式；｜Ｒ（ｄ_１）−Ｒ（ｄ_２）｜≧０．５×｛Ｒ_ｍａｘ（ｄ）−Ｒ_ｍｉｎ（ｄ）｝をさらに満たす画像形成装置。 （もっと読む）

鉄道線路軌道のレールシート摩耗（ｒａｉｌ ｓｅａｔ ａｂｒａｓｉｏｎ）を決定するためのシステムおよび方法が開示される。検査システムが、レーザ、カメラ、およびレールシート摩耗が軌道に沿って存在するかどうかを決定するように適合されるプロセッサを含む。プロセッサは、検査システムが軌道に沿って動くときに遭遇される傾きを補償する数学ベースのアルゴリズムを用いる。
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